JPH0980404A - 基板吸着装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】ガラス基板の反りあるいは吸着ステージの異物
に係わらずに、ガラス基板を正確に吸着させることので
きる基板吸着装置を提供する。 【構成】吸着ステージ１の中心を通る二分線に関して対
称な位置かつロボットアーム挿入溝11から離れる方向に
同心的に分割された複数の吸引溝7a,7b,7cと、吸引溝内
に開口して真空力を形成するための吸引口と4a,5a,6aの
それぞれに一端を接続した複数の導管の他端をそれぞれ
独立した開閉バルブ17a,17b,17c を介して共通に接続す
るマニホールド20に真空力を印加する真空吸引ポンプ21
と、載置されたガラス基板を複数の吸引溝のロボットア
ーム挿入溝に近接する側から離れる側に順次時間差を持
って吸引するごとく開閉バルブ17a,17b,17c の開閉を制
御する制御装置22とを備えた。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、基板吸着装置に係り、
時に液晶表示素子を構成するガラス基板上に電極パター
ン等の所定の薄膜構造を形成する工程で前記ガラス基板
を吸着ステージ上に真空力で吸着して所定の位置に保持
するための基板吸着装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】パソコンやワープロ、その他の情報機器
のための表示デバイスとして、近年、液晶表示素子を用
いた薄型，軽量かつ低消費電力の表示装置が多用される
ようになった。

【０００３】液晶表示素子は、基本的には水平と垂直に
配列された多数の電極で形成されるマトリクスと上記水
平と垂直の電極の間に液晶層を有し、２つの電極の交差
部分で画素を構成して２次元画像を表示するものであ
る。

【０００４】この種の液晶表示素子には、水平と垂直の
電極に印加するパルスのタイミングで所定の画素を選択
する所謂単純マトリクス方式と、各画像にトランジスタ
等の非線型素子を配置して所定の非線型素子を選択する
所謂アクティブ・マトリクス方式とがある。

【０００５】例えば、アクティブ・マトリクス方式の液
晶表示装置は、マトリクス状に配列された複数の画素電
極のそれぞれに対応して非線形素子（スイッチング素
子）を設けたものである。各画素における液晶は理論的
には常時駆動（デューティ比 1．０）されているので、
時分割駆動方式を採用している、いわゆる単純マトリク
ス方式と比べてアクティブ方式はコントラストが良く、
特にカラー液晶表示装置では欠かせない技術となりつつ
ある。スイッチング素子として代表的なものとしては薄
膜トランジスタ（ＴＦＴ）がある。

【０００６】なお、薄膜トランジスタを使用したアクテ
ィブ・マトリクス方式の液晶表示装置は、例えば特開昭
６３−３０９９２１号公報や、「冗長構成を採用した１
２．５型アクティブ・マトリクス方式カラー液晶ディス
プレイ」( 日経エレクトロニクス、１９３〜２１０頁、
１９８６年１２月１５日、日経マグロウヒル社発行）で
知られている。

【０００７】図８は本発明が適用されるアクティブ・マ
トリクス方式カラー液晶表示装置の一画素とその周辺を
示す平面図である。

【０００８】同図に示すように、各画素は隣接する２本
の走査信号線（ゲート信号線または水平信号線）ＧＬ
（ゲートライン）と、隣接する２本の映像信号線（ドレ
イン信号線または垂直信号線）ＤＬ（データライン）と
の交差領域内（４本の信号線で囲まれた領域内）に配置
されている。

【０００９】各画素は薄膜トランジスタＴＦＴ（ＴＦＴ
１，ＴＦＴ２）、透明な画素電極ＩＴＯ１および保持容
量素子Ｃadd （付加容量）を含む。走査信号線ＧＬは図
では左右方向に延在し、上下方向に複数本配置されてい
る。また、映像信号線ＤＬは上下方向に延在し、左右方
向に複数本配置されている。

【００１０】なお、ＳＤ１はソース電極、ＳＤ２はドレ
イン電極、ＢＭはブラックマトリクス、ＦＩＬはカラー
フィルタである。

【００１１】また、図９は図８のＬ１−Ｌ１線で切断し
た断面図であって、液晶層ＬＣを基準にして下部透明ガ
ラス基板ＳＵＢ１側には薄膜トランジスタＴＦＴおよび
透明画素電極ＩＴＯ１が形成され、上部透明ガラス基板
ＳＵＢ２側にはカラーフィルタＦＩＬ、遮光膜すなわち
ブラックマトリクスＢＭが形成されている。この上部透
明ガラス基板を一般にカラーフィルタ基板と称する。

【００１２】透明ガラス基板ＳＵＢ１、ＳＵＢ２の両面
にはディップ処理等によって形成された酸化シリコン膜
ＳＩＯが設けられている。

【００１３】上部透明ガラス基板ＳＵＢ２の内側（液晶
層ＬＣ側）の表面には、ブラックマトリクスＢＭ、カラ
ーフィルタＦＩＬ、保護膜ＰＳＶ２、共通透明画素電極
ＩＴＯ２（ＣＯＭ）および上部配向膜ＯＲＩ２が順次積
層して設けられている。

【００１４】上記した各種の電極を含む薄膜の成膜とパ
ターニングは、主として紫外線を用いたマスク露光とエ
ッチング処理等の湿式現像により行われる。

【００１５】このような液晶表示素子の製造工程では、
ガラス基板に各種の電極を形成した後、その電極パター
ンが正しい線幅で形成されているか否かを検査する工程
がある。

【００１６】この種の線幅検査工程では、電極をパター
ニングしたガラス基板を吸着ステージに真空力で吸着固
定し、ビデオカメラを有する光学検査システムを備えた
自動線幅検査装置を用いている。

【００１７】

【発明が解決しようとする課題】従来の自動線幅検査装
置に備える吸着ステージは、ガラス基板の広がり面積に
応じて分散配置した複数の真空吸着用の吸引溝を有し、
当該複数の真空吸着用の吸引溝に共通の真空力を与えて
ガラス基板の平面を一括的に吸引し、固定した上で、光
学検査システムにより線幅の検査を行っていた。

【００１８】しかし、ガラス基板は一般にある程度の反
りを持っているため、吸着溝とガラス基板との間隔にバ
ラツキが生じて真空力がリークしてしまい、確実な固定
ができずに吸着ミスを招いて、検査工程の可動率を低下
させてしまうという問題があった。

【００１９】本発明の目的は、上記従来技術の問題を解
消し、ガラス基板の反りの存在あるいは吸着ステージに
異物が存在した場合に係わらずに、吸着ステージに対し
て常に正確に吸着させることのできる基板吸着装置を提
供することにある。

【００２０】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、請求項１に記載の第１の発明は、液晶表示素子を構
成するガラス基板上に電極パターン等の所定の薄膜構造
を形成する工程で前記ガラス基板を吸着ステージ上に真
空力で吸着して所定の位置に保持するための基板吸着装
置において、前記吸着ステージ１が、略前記ガラス基板
の形状と相似形かつ若干大サイズの矩形状の硬質材料の
板体からなり、前記板体の中心線を跨いで搬送ロボット
のアームを挿抜するためのロボットアーム挿入溝と、前
記板体の中心を通る二分線に関して対称な位置かつ前記
ロボットアーム挿入溝のから離れる方向に同心的に分割
された複数の吸引溝と、前記対称配置された吸引溝ごと
に独立して前記の吸引溝内に開口し、前記吸引溝のそれ
ぞれの内部に真空力を形成するための吸引口と、前記吸
引口のそれぞれに一端を接続した複数の導管の他端をそ
れぞれ独立した開閉バルブを介して共通に接続するマニ
ホールドと、前記マニホールド内に真空力を印加する真
空吸引ポンプと、前記吸引ステージに載置されたガラス
基板を前記複数の吸引溝の前記ロボットアーム挿入溝に
近接する側から離れる側に順次時間差を持って吸引する
ごとく前記開閉バルブのそれぞれの開閉を制御する制御
装置とを備えたことを特徴とする基板吸着装置。

【００２１】また、請求項２に記載の第２の発明は、第
１の発明における前記吸着ステージの前記吸引溝が当該
吸引溝間を周回する隔壁と前記隔壁の内部で頂面が前記
隔壁の高さと同一の多数の凹凸を備えたことを特徴とす
る。

【００２２】さらに請求項３に記載の第３の発明は、第
１または第２の発明における前記吸着ステージに基板セ
ンサを備え、前記基板センサの基板検知信号に基づいて
前記制御装置の動作を開始させることを特徴とする。

【００２３】さらに、請求項４に記載の発明は、第１、
第２または第３の発明における前記吸着ステージの基板
載置面の複数箇所に空気吹上口を備えたことを特徴とす
る。なお、上記開閉バルブは閉成状態では前記吸引口と
前記マニホールドとを連通させ、開成状態では前記吸引
口を大気に開放するように制御される。

【００２４】また、前記バルブ開閉器は電磁アクチュエ
ータで制御される既知の形式の開閉装置を用いることが
できる。

【００２５】同様に、各開閉バルブに取り付ける真空ゲ
ージも真空度を電気信号として出力できる既知の形式の
真空計を用いることができる。

【００２６】

【作用】上記第１の発明の構成において、基板吸着装置
は、線幅検査装置等の液晶表示素子製造工程の所要部分
に配置され、液晶表示素子を構成するガラス基板上に電
極パターン等の所定の薄膜構造を形成する工程で前記ガ
ラス基板を吸着ステージ上に真空力で吸着して所定の位
置に保持し、電極パターンの線幅の検査等の所要の処理
を行う。

【００２７】前記吸着ステージ１は略前記ガラス基板の
形状と相似形かつ若干大サイズの矩形状の硬質材料の板
体から構成され、その板体の中心線を跨いで形成された
ロボットアーム挿入溝はガラス基板を搬入／搬出するた
めの搬送ロボットのアームを挿抜させる。

【００２８】前記板体の中心を通る二分線に関して対称
な位置かつ前記ロボットアーム挿入溝のから離れる方向
に同心的に分割された複数の吸引溝の底部には、前記対
称配置された吸引溝ごとに独立して吸引口が開口し、前
記吸引溝のそれぞれの内部に真空力を形成する。

【００２９】マニホールドは、前記吸引口のそれぞれに
一端を接続した複数の導管の他端をそれぞれ独立した開
閉バルブを介して共通に接続し、開閉バルブの閉成に応
じて当該吸引溝に真空力を与える。

【００３０】真空ポンプは前記マニホールド内に真空力
を形成して、マニホールド内の真空圧力を所定の値に維
持する。

【００３１】そして、制御装置は、前記吸引ステージに
載置されたガラス基板を前記複数の吸引溝の前記ロボッ
トアーム挿入溝に近接する側から離れる側に順次時間差
を持って吸引するごとく前記開閉バルブのそれぞれの開
閉を制御する。

【００３２】また、上記第２の発明の構成においては、
第１の発明における前記吸着ステージの前記吸引溝が当
該吸引溝間を周回する隔壁と前記隔壁の内部で頂面が前
記隔壁の高さと同一の多数の凹凸を備えたことでガラス
基板を均一な平面を保って吸引させる。

【００３３】さらに、上記第３の発明の構成において
は、第１または第２の発明における前記吸着ステージに
備えた基板センサは、基板搬送ロボットにより載置され
た画像形成装置基板を検知し、この検知信号を制御装置
に与えて前記の動作を開始させる。

【００３４】さらに、上記第４の発明の構成において、
第１、第２または第３の発明における前記吸着ステージ
の基板載置面の複数箇所に備えた空気吹上口は、処理終
了後の画像形成装置基板の搬出に先立って、当該ガラス
基板を吸着ステージから浮上させて搬出を容易にする。

【００３５】

【実施例】以下、本発明の実施例につき、図面を参照し
て詳細に説明する。

【００３６】図１は本発明による基板吸着装置の１実施
例の構造を説明する平面図であって、１は吸着ステー
ジ、１ａ，１ｂは第１隔壁、２ａ，２ｂは第２隔壁、３
ａ，３ｂは第３隔壁、４ａ，４ｂは第１吸引口、５ａ，
５ｂは第２吸引口、６ａ，６ｂは第３吸引口、７ａ，７
ｂは第１吸引溝、８ａ，８ｂは第２吸引溝、９ａ，９ｂ
は第３吸引溝、１０はピンチャック、１１はロボットア
ーム挿入溝、１２は基板センサ、１３ａ_1,１３ｂ_1,１３
ａ_2,１３ｂ_2,１４ａ_1,１４ｂ_1,１４ａ_2,１４ｂ₂は吹上
げ口である。

【００３７】図示したように、本実施例の基板吸着装置
を構成する吸引ステージ１は、液晶表示素子製造工程の
線幅検査装置に配置され、液晶表示素子を構成するガラ
ス基板上に形成した電極パターンを検査する工程に適用
される。

【００３８】吸着ステージ１は、図示しないガラス基板
を真空力で吸着して所定の位置に保持し、電極パターン
の線幅の検査を行う。

【００３９】吸着ステージ１は略ガラス基板の形状と相
似形かつ若干大サイズの矩形状の硬質材料の板体から構
成され、その板体の中心線を跨いで形成されたロボット
アーム挿入溝１１はガラス基板を搬入／搬出するための
搬送ロボットのアームを挿抜させるためのものである。

【００４０】そして、吸着ステージ１の中心を通る二分
線に関して対称な位置かつ前記ロボットアーム挿入溝１
１から離れる方向に同心的に分割された複数対の吸引溝
７ａ，７ｂ、８ａ，８ｂ、９ａ，９ｂの底部には、上記
対称配置された吸引溝ごとに独立した吸引口４ａ，４
ｂ、５ａ，５ｂ、６ａ，６ｂが開口し、対応する吸引溝
のそれぞれの内部に真空力を形成する。

【００４１】載置されたガラス基板は吸引ステージ１の
吸引溝７ａ，７ｂ、８ａ，８ｂ、９ａ，９ｂに形成され
たピンチャック１０上に保持されて平面状態を維持して
固定保持される。

【００４２】図２は本発明による基板吸着装置の１実施
例の構造とその真空配管を含めた吸着制御構成を説明す
る模式図であって、図１と同一符号は同一部分に対応
し、、１５ａは第１導管、１５ｂは第２導管、１５ｃは
第３導管、１６ａは第１真空ゲージ、１６ｂは第２真空
ゲージ、１６ｃは第３真空ゲージ、１７ａは第１バル
ブ、１７ｂは第２バルブ、１７ｃは第３バルブ、１８ａ
は第１バルブ開閉器、１８ｂは第２バルブ開閉器、１８
ｃは第３バルブ開閉器、１９ａは第１大気開放口、１９
ｂは第２大気開放口、１９ｃは第３大気開放口、２０は
マニホールド、２１は真空吸引ポンプ、２２は制御装置
である。

【００４３】同図において、各対の吸引溝７ａ，７ｂ、
８ａ，８ｂ、９ａ，９ｂには、それぞれ第１導管１５
ａ、第２導管１５ｂ、第３導管１５ｃが接続されてお
り、これらの各導管は第１バルブ１７ａ、第２バルブ１
７ｂ、および第３バルブ１７ｃの出力側に対ごとに独立
して接続されている。

【００４４】上記各バルブ１７ａ，１７ｂ，１７ｃの入
力側は共通のマニホールド２０に接続され、マニホール
ド２０は真空吸引ポンプ２１により所定の真空圧力に保
持されている。

【００４５】なお、本実施例では、共通のマニホールド
２０を用いているが、これに代えて各バルブ毎に真空圧
供給装置を接続した構成としてもよい。

【００４６】また、各バルブ１７ａ、１７ｂ，１７ｃ
は、その開放状態で第１導管１５ａ、第２導管１５ｂ、
第３導管１５ｃを大気圧に開放するための大気開放口１
９ａ、１９ｂ、１９ｃにを備えると共に、上記各導管側
にはそれぞれの真空圧力を測定して電気的な出力を発生
する第１真空ゲージ１６ａ、第２真空ゲージ１６ｂ、第
３真空ゲージ１６ｃが設置されている。

【００４７】さらに、この各バルブ１７ａ、１７ｂ，１
７ｃはそれぞれ第１バルブ開閉器１８ａ、第２バルブ開
閉器１８ｂ、第３バルブ開閉器１８ｃにより開閉される
ように構成されている。

【００４８】上記したように、マニホールド２０は、前
記吸引口４ａ，４ｂ、５ａ，５ｂ、６ａ，６ｂのそれぞ
れに一端を接続した複数の導管１５ａ，１５ｂ，１５ｃ
の他端をそれぞれ独立したバルブ１７ａ，１７ｂ，１７
ｃを介して共通に接続し、バルブ１７ａ，１７ｂ，１７
ｃの閉成に応じて該当する吸引溝７ａ，７ｂ、８ａ，８
ｂ、９ａ，９ｂに真空力を与える。

【００４９】真空ポンプ２１は、上記したように前記マ
ニホールド２０内に真空力を形成して、マニホールド内
の真空圧力を所定の値に維持する。

【００５０】そして、制御装置２２は、基板センサ１２
の基板検知に応じて、まず、第１バルブ開閉器１８ａを
動作させて第１バルブ１７ａを閉成し、次いで第２バル
ブ開閉器１８ｂを動作させて第２バルブ１７ｂを閉成
し、最後に第３バルブ開閉器１８ｃを動作させて第３バ
ルブ１７ｃを閉成して、吸引ステージ１に載置されたガ
ラス基板を複数の吸引溝７ａ，７ｂ、８ａ，８ｂ、９
ａ，９ｂのロボットアーム挿入溝１１に近接する側から
離れる側に順次時間差を持って吸引して吸着し固定す
る。

【００５１】なお、上記第１バルブ１７ａ、第２バルブ
１７ｂ、第３バルブ１７ｃの閉成タイミングは予め設定
した時間間隔で順次行うようにしてもよいが、第１真空
ゲージ１６ａが所定の真空度を検知したことに応じて第
２バルブ１７ｂを閉成し、第２真空ゲージ１６ｂが所定
の真空度を検知したことに応じて第３バルブ１７ｃを閉
成するように制御することにより、より確実な吸着を実
行できる。

【００５２】なお、第３真空ゲージ１６ｃはガラス基板
の吸着固定状態で第１真空ゲージ１６ａ、第２真空ゲー
ジ１６ｂと共に吸着溝の真空度の検出、監視、およびバ
ルブ開放時の各吸着溝の真空度の検出、監視のために設
置される。

【００５３】このようにして吸着されたガラス基板に対
して、図示しない検査システムにより電極パターンの線
幅の検査が実行される。

【００５４】この検査が終了すると、その終了した旨の
信号を制御装置２２に与えることにより、制御装置２２
は第１バルブ１７ａ、第２バルブ１７ｂ、第３バルブ１
７ｃを開放して、関連する吸引溝７ａ，７ｂ、８ａ，８
ｂ、９ａ，９ｂの圧力を大気開放口１９ａ、１９ｂ、１
９ｃを介して大気圧に開放する。この大気圧への開放は
第１バルブ１７ａ、第２バルブ１７ｂ、第３バルブ１７
ｃを一挙に開放する方法でもよいが、これらのバルブを
時間差をもって開放することにより、吸着を解除したガ
ラス基板の不所望な移動を抑制できる。

【００５５】これにより、ガラス基板は吸着ステージ１
との吸着固定が解除される。その後ロボットアーム挿入
溝１１に基板搬送ロボットのアームを挿入して持ち上
げ、図示しない基板カセット搬入／搬出部に搬出する。

【００５６】なお、ガラス基板の吸着を解除した後にロ
ボットアームで搬出する際、吸着ステージ１に設けた吹
上げ口１３ａ_1,１３ｂ_1,１３ａ_2,１３ｂ_2,１４ａ_1,１４
ｂ_1,１４ａ_2,１４ｂ₂ から空気流を吹上げてガラス基板
を浮揚させてロボットアームで捕捉し搬送するようにし
てもよい。この空気吹上のための配管システムは特に図
示しない。またこの空気吹上げのタイミングは、ロボッ
トによる搬送シーケンスの開始信号等に基づき発生すれ
ばよい。

【００５７】図３は本発明による基板吸着装置の１実施
例における吸着ステージに形成したピンチャックの形状
を説明する部分斜視図である。

【００５８】同図は図１における第３隔壁３ａで区画さ
れた第３吸引溝９ａの一部を示すが、他の吸引溝につい
ても同様である。

【００５９】図示したように、ピンチャック１０は吸引
溝９ａの底部に等間隔で配置された多数の凸部から構成
され、その頂部の高さは隔壁３ａと同一の例えば０．５
ｍｍである。また、頂部の面積は例えば１ｍｍ×１ｍ
ｍ、各凸部の間隔は例えば３ｍｍである。

【００６０】吸着ステージ１に載置されたガラス基板
は、この凸部と隔壁に接して吸引されるため、ガラス基
板の平面に歪みを招くことがない。

【００６１】本実施例によれば、ガラス基板の反りの存
在に係わらずに、吸着ステージに対して常に正確に吸着
させることができる。

【００６２】次に、本発明の基板吸着装置を用いた自動
線幅検査装置に一例について説明する。

【００６３】図４は本発明の基板吸着装置を用いた自動
線幅検査装置の一例を説明する正面図、図５はその上面
図であって、３０は自動線幅検査装置、３１は吸着ステ
ージ駆動部、３２はＸ−Ｙ軸テーブル、３３はＺ軸移動
機構部、３４は真空制御部、３５は操作パネル部、３６
は電源部である。また、４０は基板搬送部、４１は基板
搬送ロボットである。

【００６４】同図において、自動線幅検査装置３０は内
部に吸着ステージ駆動部３１を備え、この吸着ステージ
駆動部３１を水平面で移動させるＸ−Ｙ軸テーブル３２
を有し、Ｘ−Ｙ軸テーブル３２上に吸着ステージ１が設
置されている。

【００６５】また、Ｘ−Ｙ軸テーブル３２上にはＺ軸移
動機構部３３に装架されたビデオカメラ３７が設けられ
ている。Ｘ−Ｙ軸テーブル３２は吸着ステージ駆動部３
１で駆動される。

【００６６】真空制御部３４は前記図２で説明したよう
な真空発生とバルブ制御装置を有し、基板搬送部４０に
設置した基板搬送ロボット４１が基板カセット搬入／搬
出部５０に搬送されてきた基板カセット５１からガラス
基板の一枚を吸着ステージ１に載置したした後、前記図
２での説明のように吸着制御を行う。

【００６７】吸着ステージ１に吸着されたガラス基板１
に対して、ビデオカメラ３７を上下させて焦点を合わ
せ、Ｘ−Ｙ軸テーブル３２による吸着ステージ１の平面
内での移動で当該ガラス基板に形成されている電極パタ
ーンの線幅を検査し、これを操作パネル部３５のモニタ
ーに表示したり、データとして格納し、ガラス基板の良
否を判断する。

【００６８】図６と図７は本発明の基板吸着装置を適用
した自動線幅検査装置の線幅検査作業の一例を説明する
フローチャートであって、図６の続きが図７に示されて
いる。

【００６９】以下、このフローチャートを図１、図２お
よび図４と図５を参照して説明する。

【００７０】すなわち、自動線幅検査装置の線幅検査作
業がスタートすると、基板搬送ロボット４１がカセット
５１から一枚のガラス基板を吸着ステージ１に載置する
（Ｓ−１）。

【００７１】このガラス基板の載置で基板センサ１２が
ＯＮとなり基板検出信号を制御装置２２に与える（Ｓ−
２）。

【００７２】制御装置２２は基板検出信号の入力に応じ
て第１バルブ１７ａを閉成し（ｓ−３）、第１真空ゲー
ジ１６ａの真空圧の指度を監視して、それが所定の値に
達した場合（Ｓ−４）、第２バルブ１７ｂを閉止する
（Ｓ−５）。

【００７３】同様に、制御装置２２は第２真空ゲージ１
６ｂの真空圧の指度を監視して、それが所定の値に達し
た場合（Ｓ−６）、第３バルブ１７ｃを閉止する（Ｓ−
７）。

【００７４】そして、第３真空ゲージ１６ｃの真空圧の
指度が所定値に達したとき（Ｓ−８）、ガラス基板の吸
着が完了したことを示す信号を出力し（Ｓ−９）、線幅
の検査を実行する（Ｓ−１０）。なお、この線幅の検査
のアルゴリズムは本発明の要点ではないので、説明は省
略する。

【００７５】線幅の検査が終了すると（Ｓ−１１）、制
御装置２２は全てのバルブ１７ａ，１７ｂ，１７ｃを開
成して、吸引溝７ａ，７ｂ、８ａ，８ｂ、９ａ，９ｂを
大気圧に開放する（Ｓ−１２）。

【００７６】全ての真空ゲージ１６ａ，１６ｂ，１６ｃ
が大気圧を示す信号を制御装置２２に与えると（Ｓ−１
３）、制御装置２２は基板搬送部４０にガラス基板の搬
出を指示して基板移載を行わせる（Ｓ−１４）。

【００７７】そして、さらに検査すべきガラス基板があ
る場合は（Ｓ−１５）Ｓ−１に戻り、全てのガラス基板
の検査が完了したときは検査作業をエンドとする。

【００７８】このように、本発明による基板吸着装置を
用いることでガラス基板に反りが有っても、あるいは吸
着ステージに異物が有っても、真空力のリークによるガ
ラス基板の吸着ミスが発生することがなく、検査作業の
スループットが大幅に向上する。

【００７９】なお、本発明は、上記した自動線幅検査装
置に限らず、ガラス基板等の板体を真空力で吸着保持す
る装置の全てに適用できる。

【００８０】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
ガラス基板の反りの存在あるいは吸着ステージに異物が
有る場合にも、吸着ミスが発生することがなく、吸着ス
テージに対してガラス基板を常に正確に吸着させる基板
吸着装置を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による基板吸着装置の１実施例の構造を
説明する平面図である。

【図２】本発明による基板吸着装置の１実施例の構造と
その真空配管を含めた吸着制御構成を説明する模式図で
ある。

【図３】本発明による基板吸着装置の１実施例における
吸着ステージに形成したピンチャックの形状を説明する
部分斜視図である。

【図４】本発明の基板吸着装置を用いた自動線幅検査装
置の一例を説明する正面図である。

【図５】本発明の基板吸着装置を用いた自動線幅検査装
置の一例を説明する上面図である。

【図６】本発明の基板吸着装置を適用した自動線幅検査
装置の線幅検査作業の一例を説明するフローチャートで
ある。

【図７】本発明の基板吸着装置を適用した自動線幅検査
装置の線幅検査作業の一例を説明する図６に続くフロー
チャートである。

【図８】本発明が適用されるアクティブ・マトリクス方
式カラー液晶表示装置の一画素とその周辺を示す平面図
である。

【図９】図８のＬ１−Ｌ１線で切断した断面図である。

【符号の説明】

１ 吸着ステージ １ａ，１ｂ 第１隔壁 ２ａ，２ｂ 第２隔壁 ３ａ，３ｂ 第３隔壁 ４ａ，４ｂ 第１吸引口 ５ａ，５ｂ 第２吸引口 ６ａ，６ｂ 第３吸引口 ７ａ，７ｂ 第１吸引溝 ８ａ，８ｂ 第２吸引溝 ９ａ，９ｂ 第３吸引溝 １０ ピンチャック １１ ロボットアーム挿入溝 １２ 基板センサ １３ａ_1,１３ｂ_1,１３ａ_2,１３ｂ_2,１４ａ_1,１４ｂ_1,１
４ａ_2,１４ｂ₂ 吹上げ口 １５ａ 第１導管 １５ｂ 第２導管 １５ｃ 第３導管 １６ａ 第１真空ゲージ １６ｂ 第２真空ゲージ １６ｃ 第３真空ゲージ １７ａ 第１バルブ １７ｂ 第２バルブ １７ｃ 第３バルブ １８ａ 第１バルブ開閉器 １８ｂ 第２バルブ開閉器 １８ｃ 第３バルブ開閉器 １９ａ 第１大気開放口 １９ｂ 第２大気開放口 １９ｃ 第３大気開放口 ２０ マニホールド ２１ 真空吸引ポンプ ２２ 制御装置。

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】液晶表示素子を構成するガラス基板上に電
   極パターン等の所定の薄膜構造を形成する工程で前記ガ
   ラス基板を吸着ステージ上に真空力で吸着して所定の位
   置に保持するための基板吸着装置において、 前記吸着ステージ１が、略前記ガラス基板の形状と相似
   形かつ若干大サイズの矩形状の硬質材料の板体からな
   り、 前記板体の中心線を跨いで搬送ロボットのアームを挿抜
   するためのロボットアーム挿入溝と、 前記板体の中心を通る二分線に関して対称な位置かつ前
   記ロボットアーム挿入溝のから離れる方向に同心的に分
   割された複数の吸引溝と、前記対称配置された吸引溝ご
   とに独立して前記の吸引溝内に開口し、前記吸引溝のそ
   れぞれの内部に真空力を形成するための吸引口と、 前記吸引口のそれぞれに一端を接続した複数の導管の他
   端をそれぞれ独立した開閉バルブを介して共通に接続す
   るマニホールドと、 前記マニホールド内に真空力を印加する真空吸引ポンプ
   と、 前記吸引ステージに載置されたガラス基板を前記複数の
   吸引溝の前記ロボットアーム挿入溝に近接する側から離
   れる側に順次時間差を持って吸引するごとく前記開閉バ
   ルブのそれぞれの開閉を制御する制御装置とを備えたこ
   とを特徴とする基板吸着装置。
2. 【請求項２】請求項１において、前記吸着ステージの前
   記吸引溝が当該吸引溝間を周回する隔壁と前記隔壁の内
   部で頂面が前記隔壁の高さと同一の多数の凹凸を備えた
   ことを特徴とする基板吸着装置。
3. 【請求項３】請求項１または２において、前記吸着ステ
   ージに基板センサを備え、前記基板センサの基板検知信
   号に基づいて前記制御装置の動作を開始させることを特
   徴とする基板吸着装置。
4. 【請求項４】請求項１、２または３において、前記吸着
   ステージの基板載置面の複数箇所に空気吹上口を備えた
   ことを特徴とする基板吸着装置。