JPH0963470A - 陰極線管の製造方法 - Google Patents
陰極線管の製造方法Info
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- JPH0963470A JPH0963470A JP7214420A JP21442095A JPH0963470A JP H0963470 A JPH0963470 A JP H0963470A JP 7214420 A JP7214420 A JP 7214420A JP 21442095 A JP21442095 A JP 21442095A JP H0963470 A JPH0963470 A JP H0963470A
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- Electrodes For Cathode-Ray Tubes (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 排気炉２０内の温度分布にバラツキがあっ
て、電子ビームを発生する電界放出型冷陰極１０が良好
なエミッション特性を発揮するのに必要な実質温度に到
達できない。 【解決手段】 炉内雰囲気温度設定ヒータ２１と排気ポ
ンプ２３とを有する排気炉２０と、バルブ２のネック２
ａ内部に配置された電子銃３の電界放出型冷陰極１０部
をネック２ａ外周に装着したネック加熱ヒータ２２で部
分的に加熱しながら排気する陰極線管の製造方法を提供
する。
て、電子ビームを発生する電界放出型冷陰極１０が良好
なエミッション特性を発揮するのに必要な実質温度に到
達できない。 【解決手段】 炉内雰囲気温度設定ヒータ２１と排気ポ
ンプ２３とを有する排気炉２０と、バルブ２のネック２
ａ内部に配置された電子銃３の電界放出型冷陰極１０部
をネック２ａ外周に装着したネック加熱ヒータ２２で部
分的に加熱しながら排気する陰極線管の製造方法を提供
する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、電界放出型冷陰極
を電子ビーム発生源とする陰極線管の製造方法に関し、
特にネック内部に配置している電界放出型冷陰極を加熱
しながら排気する陰極線管の製造方法に関する。
を電子ビーム発生源とする陰極線管の製造方法に関し、
特にネック内部に配置している電界放出型冷陰極を加熱
しながら排気する陰極線管の製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】電子ビームの発生源となる電界放出型冷
陰極の構造を図２の概略斜視図に示す。図２に示すよう
に、電界放出型冷陰極１０は、ガラス等の絶縁基板１１
上にアルミニウム等からなる微少の円形の開口を有する
第一の電極１２が被着形成され、この第一の電極１２上
にシリコン薄膜等よりなる抵抗層１３が全面的に被着形
成されている。そして、この第一の電極１２の開口上の
中心部位置とそれより隔離した位置に配置され、タング
ステン、モリブデン等の低融点の金属からなる、尖鋭な
先端形状を有する円錐状のカソード１４が抵抗層１３を
介して形成されている。
陰極の構造を図２の概略斜視図に示す。図２に示すよう
に、電界放出型冷陰極１０は、ガラス等の絶縁基板１１
上にアルミニウム等からなる微少の円形の開口を有する
第一の電極１２が被着形成され、この第一の電極１２上
にシリコン薄膜等よりなる抵抗層１３が全面的に被着形
成されている。そして、この第一の電極１２の開口上の
中心部位置とそれより隔離した位置に配置され、タング
ステン、モリブデン等の低融点の金属からなる、尖鋭な
先端形状を有する円錐状のカソード１４が抵抗層１３を
介して形成されている。
【０００３】前記カソード１４の周囲に微小の開口幅ｗ
をもったキャビティ１５を有する酸化珪素等よりなる絶
縁層１６が形成され、この絶縁層１６の上に、タングス
テン、モリブデン、ニオブ等の高融点金属または金属化
合物からなる第二の電極であるゲート電極１７がカソー
ド１４の対向電極として配置された構造になっている。
このような電界放出型冷陰極１０は、第二の電極である
ゲート電極１７とカソード１４との間に、ある電界強度
を付与する電圧、例えば上記素子の場合には数ボルトを
印加することにより、カソード１４を熱することなく電
子を放出させることができる。なお、電界放出型冷陰極
の別のタイプのものとして、導電性を有する基板上に直
接カソードを形成し、第一の電極と抵抗層を形成しない
構造のものもある。
をもったキャビティ１５を有する酸化珪素等よりなる絶
縁層１６が形成され、この絶縁層１６の上に、タングス
テン、モリブデン、ニオブ等の高融点金属または金属化
合物からなる第二の電極であるゲート電極１７がカソー
ド１４の対向電極として配置された構造になっている。
このような電界放出型冷陰極１０は、第二の電極である
ゲート電極１７とカソード１４との間に、ある電界強度
を付与する電圧、例えば上記素子の場合には数ボルトを
印加することにより、カソード１４を熱することなく電
子を放出させることができる。なお、電界放出型冷陰極
の別のタイプのものとして、導電性を有する基板上に直
接カソードを形成し、第一の電極と抵抗層を形成しない
構造のものもある。
【０００４】また、上記電界放出型冷陰極１０は、カソ
ード１４から放出される電子が安定して動作することが
極めて重要であることから、この安定した放出電子を維
持できるように、電界放出型冷陰極１０単体の製造工程
において、規定の時間内でかつ必要量の電子を放出させ
る製造工程いわゆるエージング工程を設けている。
ード１４から放出される電子が安定して動作することが
極めて重要であることから、この安定した放出電子を維
持できるように、電界放出型冷陰極１０単体の製造工程
において、規定の時間内でかつ必要量の電子を放出させ
る製造工程いわゆるエージング工程を設けている。
【０００５】上述した構造の電界放出型冷陰極１０を電
子ビーム発生源とする陰極線管１の概略構成図を図３に
示す。図３に示すように、陰極線管１は、バルブ２のネ
ック２ａ内部に電界放出型冷陰極１０を備えた電子銃３
が配置され、ここでは説明を省略するが蛍光面、カラー
陰極線管であればシャドウマスク等から構成される。な
お、電子銃３は陽極４、４ａはアノード端子、収束電極
５、制御電極６、電界放出型冷陰極１０から構成されて
いる。
子ビーム発生源とする陰極線管１の概略構成図を図３に
示す。図３に示すように、陰極線管１は、バルブ２のネ
ック２ａ内部に電界放出型冷陰極１０を備えた電子銃３
が配置され、ここでは説明を省略するが蛍光面、カラー
陰極線管であればシャドウマスク等から構成される。な
お、電子銃３は陽極４、４ａはアノード端子、収束電極
５、制御電極６、電界放出型冷陰極１０から構成されて
いる。
【０００６】詳細説明は省略するが、陰極線管１を製造
する工程の中で、陰極線管１は封着工程、封入工程、排
気工程を順次流れる。図４は、排気工程における陰極線
管１の排気処理方法を示す要部概略構成図である。図４
に示すように、排気工程では、排気炉２０の両側に炉内
雰囲気温度設定ヒータ２１が配置され規定の炉内温度を
維持するようになっている。前工程から移動式ハンガー
で搬送されてきた陰極線管１は、移動式ハンガーで搬送
されたままの状態で、排気炉２０内を通過するが、この
通過時にバルブ２の排気管７と配管２４とを接続して真
空ポンプ２３により排気、真空にしている。一般に、電
界放出型冷陰極１０は、真空中で４００℃以上の過熱処
理を行うと、エミッタ表面に形成された不所望な酸化物
が解離し、エミッタの仕事関数が低下することにより、
エミッタ特性が向上することが知られている。
する工程の中で、陰極線管１は封着工程、封入工程、排
気工程を順次流れる。図４は、排気工程における陰極線
管１の排気処理方法を示す要部概略構成図である。図４
に示すように、排気工程では、排気炉２０の両側に炉内
雰囲気温度設定ヒータ２１が配置され規定の炉内温度を
維持するようになっている。前工程から移動式ハンガー
で搬送されてきた陰極線管１は、移動式ハンガーで搬送
されたままの状態で、排気炉２０内を通過するが、この
通過時にバルブ２の排気管７と配管２４とを接続して真
空ポンプ２３により排気、真空にしている。一般に、電
界放出型冷陰極１０は、真空中で４００℃以上の過熱処
理を行うと、エミッタ表面に形成された不所望な酸化物
が解離し、エミッタの仕事関数が低下することにより、
エミッタ特性が向上することが知られている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】上述したように、電子
銃３の陰極に用いられた電界放出型冷陰極１０は、排気
炉２０を通過する際に、バルブ２内が真空となり、かつ
加熱処理されることによって、エミッション特性が向上
するはずである。しかしながら、上述した陰極線管１０
の製造方法では、排気炉２０内の温度分布にバラツキが
生じて、電子ビームを発生する電界放出型冷陰極１０が
十分に加熱されない。すなわち、電界放出型冷陰極１０
が良好なエミッション特性を発揮するのに必要な実質温
度に到達できないという課題がある。
銃３の陰極に用いられた電界放出型冷陰極１０は、排気
炉２０を通過する際に、バルブ２内が真空となり、かつ
加熱処理されることによって、エミッション特性が向上
するはずである。しかしながら、上述した陰極線管１０
の製造方法では、排気炉２０内の温度分布にバラツキが
生じて、電子ビームを発生する電界放出型冷陰極１０が
十分に加熱されない。すなわち、電界放出型冷陰極１０
が良好なエミッション特性を発揮するのに必要な実質温
度に到達できないという課題がある。
【０００８】そこで、本発明は上記問題点に鑑みて提案
されたもので、その目的とするところは、電子ビームを
発生する電界放出型冷陰極を十分に加熱する手段を提供
し、電界放出型冷陰極が効率よく電子を発生させ、エミ
ッション特性を向上させた陰極線管の製造方法を提供す
ることにある。
されたもので、その目的とするところは、電子ビームを
発生する電界放出型冷陰極を十分に加熱する手段を提供
し、電界放出型冷陰極が効率よく電子を発生させ、エミ
ッション特性を向上させた陰極線管の製造方法を提供す
ることにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明は、電界放出型冷
陰極を電子ビーム発生源とする陰極線管の製造方法であ
って、炉内雰囲気温度設定ヒータと排気ポンプとを有す
る排気炉と、バルブのネック内部に配置された電界放出
型冷陰極部を加熱する手段とを用いる陰極線管の製造方
法を提供する。
陰極を電子ビーム発生源とする陰極線管の製造方法であ
って、炉内雰囲気温度設定ヒータと排気ポンプとを有す
る排気炉と、バルブのネック内部に配置された電界放出
型冷陰極部を加熱する手段とを用いる陰極線管の製造方
法を提供する。
【００１０】また、電界放出型冷陰極を加熱する手段が
バルブのネック外周に装着してなる脱着可能なネック加
熱ヒータである陰極線管の製造方法を提供する。
バルブのネック外周に装着してなる脱着可能なネック加
熱ヒータである陰極線管の製造方法を提供する。
【００１１】さらに、ネック加熱ヒータでバルブのネッ
ク内部に配された電子銃の電界放出型冷陰極部を加熱し
ながら、バルブの排気を行なう陰極線管の製造方法を提
供する。
ク内部に配された電子銃の電界放出型冷陰極部を加熱し
ながら、バルブの排気を行なう陰極線管の製造方法を提
供する。
【００１２】
【発明の実施の形態】本発明の一実施例について、図面
を参照しながら説明する。図１は本発明による陰極線管
の排気処理方法を示す要部概略構成図である。図１にお
いて、１は陰極線管、２はバルブ、２ａはバルブ２のネ
ック、３は電子銃で、１０が電子銃３の電子ビームを発
生する電界放出型冷陰極である。また、２０は排気炉、
２１は炉内雰囲気温度設定ヒータ、２２はネック加熱ヒ
ータ、２３が排気ポンプである。
を参照しながら説明する。図１は本発明による陰極線管
の排気処理方法を示す要部概略構成図である。図１にお
いて、１は陰極線管、２はバルブ、２ａはバルブ２のネ
ック、３は電子銃で、１０が電子銃３の電子ビームを発
生する電界放出型冷陰極である。また、２０は排気炉、
２１は炉内雰囲気温度設定ヒータ、２２はネック加熱ヒ
ータ、２３が排気ポンプである。
【００１３】陰極線管１は、電子銃３の陰極として電界
放出型冷陰極１０を用いて形成し、例えば陰極線管１が
カラー陰極線管の場合には、同一構造の電界放出型冷陰
極１０が３個使用される。従来例と同じように、陰極線
管１を製造する工程の中で、陰極線管１は封着工程、封
入工程、排気工程を順次流れる。図１には、排気工程に
おける陰極線管１の排気処理方法を示している。
放出型冷陰極１０を用いて形成し、例えば陰極線管１が
カラー陰極線管の場合には、同一構造の電界放出型冷陰
極１０が３個使用される。従来例と同じように、陰極線
管１を製造する工程の中で、陰極線管１は封着工程、封
入工程、排気工程を順次流れる。図１には、排気工程に
おける陰極線管１の排気処理方法を示している。
【００１４】本発明の主眼は、図１に示すように、排気
工程でバルブ２のネック２ａ外周にネック加熱ヒータ２
２を挟着して電子銃３の電界放出型冷陰極１０を十分に
加熱することにある。前工程から移動式ハンガーで搬送
されてきた陰極線管１は、移動式ハンガーで搬送された
ままの状態で、ネック２ａの周縁部に脱着可能なネック
加熱ヒータ２２を挟着する。そして、バルブ２の排気管
７と配管２４とを接続して炉内雰囲気温度設定ヒータ２
１で管理制御された排気炉２０に導かれて真空ポンプ２
３により排気され、バルブ２内は真空状態になる。この
ようにして炉内温度が４００〜５００℃に維持された排
気炉２０内を、陰極線管１は、２．５〜３．５時間かけ
て通過するが、この通過時に陰極線管１の電子銃３、す
なわち電界放出型冷陰極１０は真空中で４００℃以上の
温度で十分に加熱され、図２で示したカソード１４がク
リーニングされることになる。
工程でバルブ２のネック２ａ外周にネック加熱ヒータ２
２を挟着して電子銃３の電界放出型冷陰極１０を十分に
加熱することにある。前工程から移動式ハンガーで搬送
されてきた陰極線管１は、移動式ハンガーで搬送された
ままの状態で、ネック２ａの周縁部に脱着可能なネック
加熱ヒータ２２を挟着する。そして、バルブ２の排気管
７と配管２４とを接続して炉内雰囲気温度設定ヒータ２
１で管理制御された排気炉２０に導かれて真空ポンプ２
３により排気され、バルブ２内は真空状態になる。この
ようにして炉内温度が４００〜５００℃に維持された排
気炉２０内を、陰極線管１は、２．５〜３．５時間かけ
て通過するが、この通過時に陰極線管１の電子銃３、す
なわち電界放出型冷陰極１０は真空中で４００℃以上の
温度で十分に加熱され、図２で示したカソード１４がク
リーニングされることになる。
【００１５】
【発明の効果】上述したように、本発明の陰極線管の製
造方法によれば、ネック加熱ヒータをバルブのネック周
縁部に挟着してネック部を加熱する工程に変更してい
る。従って、炉内雰囲気温度設定ヒータだけによる炉内
温度にバラツキがあっても、電子銃の電界放出型冷陰極
は十分に加熱され、カソードがクリーニングされ良好な
エミッション特性を発揮するのに必要な実質温度に到達
できる。すなわち、良好なエミッション特性を実現した
電界放出型冷陰極を電子ビーム発生源とする陰極線管を
提供できる。
造方法によれば、ネック加熱ヒータをバルブのネック周
縁部に挟着してネック部を加熱する工程に変更してい
る。従って、炉内雰囲気温度設定ヒータだけによる炉内
温度にバラツキがあっても、電子銃の電界放出型冷陰極
は十分に加熱され、カソードがクリーニングされ良好な
エミッション特性を発揮するのに必要な実質温度に到達
できる。すなわち、良好なエミッション特性を実現した
電界放出型冷陰極を電子ビーム発生源とする陰極線管を
提供できる。
【図１】 本発明による陰極線管の排気処理方法を示す
要部概略構成図
要部概略構成図
【図２】 電界放出型冷陰極の概略斜視図
【図３】 電界放出型冷陰極を備えた陰極線管を示す概
略構成図
略構成図
【図４】 従来の陰極線管の排気処理方法を示す要部概
略構成図
略構成図
１ 陰極線管 ２ バルブ ２ａ ネック ３ 電子銃 ７ 排気管 １０ 電界放出型冷陰極 ２０ 排気炉 ２１ 炉内雰囲気温度設定ヒータ ２２ ネック加熱ヒータ ２３ 排気ポンプ ２４ 配管
Claims (3)
- 【請求項１】電子ビーム発生源に電界放出型冷陰極を用
いる陰極線管の製造方法であって、炉内雰囲気温度設定
ヒータと排気ポンプとを有する排気炉と、陰極線管のバ
ルブのネック内部に配置された前記電界放出型冷陰極部
を加熱する手段とを用いることを特徴とする陰極線管の
製造方法。 - 【請求項２】前記電界放出型冷陰極部を加熱する手段が
バルブのネック外周に装着してなる脱着可能なネック加
熱ヒータであることを特徴とする請求項１記載の陰極線
管の製造方法。 - 【請求項３】前記ネック加熱ヒータでバルブのネック内
部に配された前記電界放出型冷陰極部を加熱しながら、
バルブの排気を行なうことを特徴とする請求項１記載の
陰極線管の製造方法。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7214420A JPH0963470A (ja) | 1995-08-23 | 1995-08-23 | 陰極線管の製造方法 |
| US08/700,094 US5766054A (en) | 1995-08-23 | 1996-08-20 | Method of manufacturing cathode ray tube |
| KR1019960035057A KR100207336B1 (ko) | 1995-08-23 | 1996-08-23 | 음극선관의 제조 방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7214420A JPH0963470A (ja) | 1995-08-23 | 1995-08-23 | 陰極線管の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0963470A true JPH0963470A (ja) | 1997-03-07 |
Family
ID=16655499
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7214420A Pending JPH0963470A (ja) | 1995-08-23 | 1995-08-23 | 陰極線管の製造方法 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5766054A (ja) |
| JP (1) | JPH0963470A (ja) |
| KR (1) | KR100207336B1 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001035367A (ja) * | 1999-07-21 | 2001-02-09 | Mitsubishi Electric Corp | 陰極線管製造方法および陰極線管製造装置 |
| KR20200050787A (ko) | 2018-11-02 | 2020-05-12 | 한국단자공업 주식회사 | 부품박스와 박스커버의 체결장치 |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE2806534A1 (de) * | 1978-02-16 | 1979-09-06 | Licentia Gmbh | Elektronenstrahlroehre |
| JPS54142882A (en) * | 1978-04-27 | 1979-11-07 | Toshiba Corp | Method of evacuating bulb |
| US4406637A (en) * | 1981-07-02 | 1983-09-27 | Rca Corporation | Processing the mount assembly of a CRT to suppress afterglow |
| JPH04188535A (ja) * | 1990-11-21 | 1992-07-07 | Chugai Ro Co Ltd | ブラウン管排気炉 |
-
1995
- 1995-08-23 JP JP7214420A patent/JPH0963470A/ja active Pending
-
1996
- 1996-08-20 US US08/700,094 patent/US5766054A/en not_active Expired - Fee Related
- 1996-08-23 KR KR1019960035057A patent/KR100207336B1/ko not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US5766054A (en) | 1998-06-16 |
| KR100207336B1 (ko) | 1999-07-15 |
| KR970012875A (ko) | 1997-03-29 |
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