JPH0935662A - 電子銃構体 - Google Patents
電子銃構体Info
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- JPH0935662A JPH0935662A JP7179734A JP17973495A JPH0935662A JP H0935662 A JPH0935662 A JP H0935662A JP 7179734 A JP7179734 A JP 7179734A JP 17973495 A JP17973495 A JP 17973495A JP H0935662 A JPH0935662 A JP H0935662A
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- electron gun
- cold cathode
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J29/00—Details of cathode-ray tubes or of electron-beam tubes of the types covered by group H01J31/00
- H01J29/46—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the ray or beam, e.g. electron-optical arrangement
- H01J29/48—Electron guns
- H01J29/50—Electron guns two or more guns in a single vacuum space, e.g. for plural-ray tube
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
- H01J9/02—Manufacture of electrodes or electrode systems
- H01J9/18—Assembling together the component parts of electrode systems
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
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- H01J29/48—Electron guns
- H01J29/481—Electron guns using field-emission, photo-emission, or secondary-emission electron source
-
- H—ELECTRICITY
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- H01J2201/30—Cold cathodes
- H01J2201/304—Field emission cathodes
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Electrodes For Cathode-Ray Tubes (AREA)
- Vessels, Lead-In Wires, Accessory Apparatuses For Cathode-Ray Tubes (AREA)
- Manufacture Of Electron Tubes, Discharge Lamp Vessels, Lead-In Wires, And The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 電界放出型冷陰極を組み込んだ電子銃構体を
ガラスバルブに封入するときにエミッタが酸素バーナの
輻射熱に曝され、酸化するのを防ぐ。 【解決手段】 下方に貫通するカソードピン40を植設
したハーメチックシール製の支持体20の上面には電界
放出型冷陰極10が形成され、この支持体20の外周を
締結する支持金属21の下端と制御電極30の外周下端
とが溶接され、輻射熱遮断材80がカソードピン40を
含む支持体20下部面と制御電極30の外周面に形成さ
れた電子銃構体。 【効果】 電界放出型冷陰極を組み込んだ電子銃構体を
ガラスバルブに封入するときに酸素バーナの輻射熱を遮
断するため、エミッタの温度が上昇せず、先端が酸化し
ないのでエミッションの劣化がなく、良質の陰極線管が
得られる。
ガラスバルブに封入するときにエミッタが酸素バーナの
輻射熱に曝され、酸化するのを防ぐ。 【解決手段】 下方に貫通するカソードピン40を植設
したハーメチックシール製の支持体20の上面には電界
放出型冷陰極10が形成され、この支持体20の外周を
締結する支持金属21の下端と制御電極30の外周下端
とが溶接され、輻射熱遮断材80がカソードピン40を
含む支持体20下部面と制御電極30の外周面に形成さ
れた電子銃構体。 【効果】 電界放出型冷陰極を組み込んだ電子銃構体を
ガラスバルブに封入するときに酸素バーナの輻射熱を遮
断するため、エミッタの温度が上昇せず、先端が酸化し
ないのでエミッションの劣化がなく、良質の陰極線管が
得られる。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、電界放出型冷陰極を組
み込んだ陰極線管用電子銃構体に関する。
み込んだ陰極線管用電子銃構体に関する。
【0002】
【従来の技術】図4に従来の熱陰極を用いた陰極線管用
電子銃構体の要部断面図を示す。図において、1は熱陰
極、2は熱陰極支持体、3は制御電極、4はピン、5は
ステム部、6は排気管である。この熱陰極1が組み込ま
れた電子銃構体を用いて陰極線管を作製するには、図5
に示すように電子銃構体のステム部5とガラスバルブの
ネック部7とを酸素バーナ8で加熱溶着し、次に排気管
6から排気して封止する。この加熱溶着時に酸素バーナ
8の輻射熱で電子銃構体のステム部5や陰極1の近傍が
加熱され高温になる。
電子銃構体の要部断面図を示す。図において、1は熱陰
極、2は熱陰極支持体、3は制御電極、4はピン、5は
ステム部、6は排気管である。この熱陰極1が組み込ま
れた電子銃構体を用いて陰極線管を作製するには、図5
に示すように電子銃構体のステム部5とガラスバルブの
ネック部7とを酸素バーナ8で加熱溶着し、次に排気管
6から排気して封止する。この加熱溶着時に酸素バーナ
8の輻射熱で電子銃構体のステム部5や陰極1の近傍が
加熱され高温になる。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】この熱陰極1の代わり
に図3に示す電界放出型冷陰極を取り付けた場合、冷陰
極チップ11単体での評価では良好な特性を得たもので
あっても、これを陰極線管に実装した時には満足な特性
が得られないことが多く、その改善が望まれていた。調
査の結果、冷陰極10を組込んだ電子銃構体をガラスバ
ルブに封入溶接する際、酸素バーナ8でガラスを溶かす
時に冷陰極10のエミッタ14の表面が550℃以上に
も上がり、エミッタ14の表面が酸化されるためである
ことが分かった。しかも冷陰極10のエミッタ14は錐
状突起で鋭利になっているため、表面からの酸化深さは
浅くとも先端からは、かなりの部分迄酸化されることが
判明した。エミッタ14の表面が酸化されるとその面の
仕事関数が大きくなり、電子放出するためにはその分だ
け大きなエネルギーが必要となり、同じゲート電圧を印
加した場合、それだけ特性が悪化することになる。本発
明はこのような状況に鑑みなされたもので、冷陰極を形
成した電子銃構体をガラスバルブに封入するときに、エ
ミッタ14が高温に曝されるのを防ぐことを目的とする
ものである。
に図3に示す電界放出型冷陰極を取り付けた場合、冷陰
極チップ11単体での評価では良好な特性を得たもので
あっても、これを陰極線管に実装した時には満足な特性
が得られないことが多く、その改善が望まれていた。調
査の結果、冷陰極10を組込んだ電子銃構体をガラスバ
ルブに封入溶接する際、酸素バーナ8でガラスを溶かす
時に冷陰極10のエミッタ14の表面が550℃以上に
も上がり、エミッタ14の表面が酸化されるためである
ことが分かった。しかも冷陰極10のエミッタ14は錐
状突起で鋭利になっているため、表面からの酸化深さは
浅くとも先端からは、かなりの部分迄酸化されることが
判明した。エミッタ14の表面が酸化されるとその面の
仕事関数が大きくなり、電子放出するためにはその分だ
け大きなエネルギーが必要となり、同じゲート電圧を印
加した場合、それだけ特性が悪化することになる。本発
明はこのような状況に鑑みなされたもので、冷陰極を形
成した電子銃構体をガラスバルブに封入するときに、エ
ミッタ14が高温に曝されるのを防ぐことを目的とする
ものである。
【0004】
【課題を解決するための手段】本発明は課題を解決する
ために、冷陰極支持体上に配設した電界放出型冷陰極を
電子ビーム発生源とする電子銃構体であって、前記冷陰
極を囲繞する輻射熱遮蔽手段を設けた電子銃構体を提供
する。また、前記輻射熱遮蔽手段がセラミック、ガラ
ス、あるいは耐熱性樹脂からなる輻射熱遮断材である電
子銃構体を提供する。また、セラミック、ガラスからな
る輻射熱遮断材に輻射熱反射手段を設けた電子銃構体を
提供する。また、前記輻射熱遮断材がペースト材の塗布
等によって作製された被膜からなる電子銃構体を提供す
る。また、前記輻射熱遮蔽手段が厚い冷陰極支持体で兼
用されている電子銃構体を提供する。
ために、冷陰極支持体上に配設した電界放出型冷陰極を
電子ビーム発生源とする電子銃構体であって、前記冷陰
極を囲繞する輻射熱遮蔽手段を設けた電子銃構体を提供
する。また、前記輻射熱遮蔽手段がセラミック、ガラ
ス、あるいは耐熱性樹脂からなる輻射熱遮断材である電
子銃構体を提供する。また、セラミック、ガラスからな
る輻射熱遮断材に輻射熱反射手段を設けた電子銃構体を
提供する。また、前記輻射熱遮断材がペースト材の塗布
等によって作製された被膜からなる電子銃構体を提供す
る。また、前記輻射熱遮蔽手段が厚い冷陰極支持体で兼
用されている電子銃構体を提供する。
【0005】
【作用】冷陰極周囲の電極構体にセラミック、ガラスあ
るいは耐熱性樹脂からなる輻射熱遮蔽手段を設けること
で輻射熱が遮られ、封入時の冷陰極の温度上昇が450
℃以下に押さえられエミッタの先端の酸化が阻止される
ので、本来の所望通りのエミッション特性が得られる。
また、数多くの部品から組み立てられている冷陰極の表
面に輻射熱遮蔽手段を形成するには、ペースト材の塗布
による形成方法が、組み立てられた部品の凹凸に妨げら
れることなく形成できるので最適である。また、輻射熱
反射手段によってガラスバルブのネック部の軟化までの
時間が短くなり作業時間が短縮される。また、冷陰極支
持体を厚くした場合にも同様に熱輻射を遮るのでエミッ
タが酸化する温度までは上がらない。
るいは耐熱性樹脂からなる輻射熱遮蔽手段を設けること
で輻射熱が遮られ、封入時の冷陰極の温度上昇が450
℃以下に押さえられエミッタの先端の酸化が阻止される
ので、本来の所望通りのエミッション特性が得られる。
また、数多くの部品から組み立てられている冷陰極の表
面に輻射熱遮蔽手段を形成するには、ペースト材の塗布
による形成方法が、組み立てられた部品の凹凸に妨げら
れることなく形成できるので最適である。また、輻射熱
反射手段によってガラスバルブのネック部の軟化までの
時間が短くなり作業時間が短縮される。また、冷陰極支
持体を厚くした場合にも同様に熱輻射を遮るのでエミッ
タが酸化する温度までは上がらない。
【0006】
【実施例】次に、本発明の実施例について図1及び2を
参照して説明する。本発明の電子銃構体は電界放出型冷
陰極10がハーメチックシール製の冷陰極支持体20上
に配置されており、この冷陰極10と所定の間隔をもっ
て制御電極30が設けられている。各陰極10にはガラ
スステム50で気密封着され貫通したリード40を介し
て給電される。排気管60を有するガラスステム50は
ガラスバルブのネック部70に封止される。本発明の特
徴とする輻射熱遮断部材80が冷陰極11を囲繞するよ
うに配置される。この熱遮断部材80は材料及び配置構
造で後述するように種々の態様がある。
参照して説明する。本発明の電子銃構体は電界放出型冷
陰極10がハーメチックシール製の冷陰極支持体20上
に配置されており、この冷陰極10と所定の間隔をもっ
て制御電極30が設けられている。各陰極10にはガラ
スステム50で気密封着され貫通したリード40を介し
て給電される。排気管60を有するガラスステム50は
ガラスバルブのネック部70に封止される。本発明の特
徴とする輻射熱遮断部材80が冷陰極11を囲繞するよ
うに配置される。この熱遮断部材80は材料及び配置構
造で後述するように種々の態様がある。
【0007】冷陰極10は図3に示す冷陰極チップ11
から成る。このチップは基板12の表面に絶縁層13を
設け、この上にポリシリコン等のゲート16を堆積す
る。次にリソグラフィとエッチング手法により、ゲート
16と絶縁層13に小孔15を開け、蒸着法によりこの
上にMo等の金属を堆積させると小孔15の中には先端
が先鋭になったエミッタ14が形成される。この後、ゲ
ート16上のMoなどの金属を除去すると冷陰極チップ
11ができ上る。このチップ11を冷陰極支持体20に
銀ペーストや金・シリコンなどの接着材で取り付ける。
エミッタ14の先端は極めて鋭利にできており、ゲート
16はエミッタ14の先端のすぐ近くにあるので、この
間に数ボルト〜数十ボルトの電圧を印加するとエミッタ
14の先端には強電界が発生し、ここから電子が放出さ
れる。多数のエミッタ14から放出された電子は制御電
極30によって作られた電界分布によって電子ビームが
形成され、従来の熱陰極電子銃と同様の軌道で蛍光膜上
に焦点を結ぶ。なお、冷陰極支持体20の外周を締結す
る支持金属21の下端のフランジ部と制御電極30の外
周下端のフランジ部とを溶接し固定している。
から成る。このチップは基板12の表面に絶縁層13を
設け、この上にポリシリコン等のゲート16を堆積す
る。次にリソグラフィとエッチング手法により、ゲート
16と絶縁層13に小孔15を開け、蒸着法によりこの
上にMo等の金属を堆積させると小孔15の中には先端
が先鋭になったエミッタ14が形成される。この後、ゲ
ート16上のMoなどの金属を除去すると冷陰極チップ
11ができ上る。このチップ11を冷陰極支持体20に
銀ペーストや金・シリコンなどの接着材で取り付ける。
エミッタ14の先端は極めて鋭利にできており、ゲート
16はエミッタ14の先端のすぐ近くにあるので、この
間に数ボルト〜数十ボルトの電圧を印加するとエミッタ
14の先端には強電界が発生し、ここから電子が放出さ
れる。多数のエミッタ14から放出された電子は制御電
極30によって作られた電界分布によって電子ビームが
形成され、従来の熱陰極電子銃と同様の軌道で蛍光膜上
に焦点を結ぶ。なお、冷陰極支持体20の外周を締結す
る支持金属21の下端のフランジ部と制御電極30の外
周下端のフランジ部とを溶接し固定している。
【0008】80は本発明の特徴部分の輻射熱遮蔽手段
である輻射熱遮断材であり、セラミック、ガラス、ある
いは耐熱性無機樹脂などの材料で輻射熱を吸収しない白
色系の耐熱材が望ましい。この実施例では、冷陰極支持
体20の下部面や制御電極30の外周面を包囲すること
で外来の輻射熱を遮断し、冷陰極チップ11のエミッタ
14が高温になり酸化するのを防いでいる。本実施例で
はエミッタ14の温度は450℃以上にはならないこと
が分かり、エミッタ14の酸化防止の効果が確認でき
た。これらの輻射熱遮断材80をそれぞれの部位に形成
するには型による成形品を溶接してもよいが、フリット
ガラスや無機樹脂等をペースト材にて塗布し被膜を作る
のが一番簡便な方法で、多くの部品の組み立てられた凹
凸の多い電子銃には最適である。このようにして作製し
た冷陰極10を組み込んだ電子銃構体を図2に示すよう
にガラスバルブに挿入し、バルブのネック部70を酸素
バーナ8で加熱し電子銃構体のステム部50と溶接す
る。また、このセラミック、ガラスからなる輻射熱遮断
材80が輻射熱を反射するよう鏡面仕上げなどがされて
いる場合、熱反射でバルブのネック部70がより早く加
熱され短時間で溶融するので作業性が上るという効果も
あった。その後、バルブのフレア部90を切り落とし、
電子銃構体のステム部50に設けられた排気管60を通
してバルブ内を排気して陰極線管を完成する。なお、輻
射熱遮蔽手段として厚い冷陰極支持体を用いることもで
きる。また、熱伝導度が小さいものがより望ましい。
である輻射熱遮断材であり、セラミック、ガラス、ある
いは耐熱性無機樹脂などの材料で輻射熱を吸収しない白
色系の耐熱材が望ましい。この実施例では、冷陰極支持
体20の下部面や制御電極30の外周面を包囲すること
で外来の輻射熱を遮断し、冷陰極チップ11のエミッタ
14が高温になり酸化するのを防いでいる。本実施例で
はエミッタ14の温度は450℃以上にはならないこと
が分かり、エミッタ14の酸化防止の効果が確認でき
た。これらの輻射熱遮断材80をそれぞれの部位に形成
するには型による成形品を溶接してもよいが、フリット
ガラスや無機樹脂等をペースト材にて塗布し被膜を作る
のが一番簡便な方法で、多くの部品の組み立てられた凹
凸の多い電子銃には最適である。このようにして作製し
た冷陰極10を組み込んだ電子銃構体を図2に示すよう
にガラスバルブに挿入し、バルブのネック部70を酸素
バーナ8で加熱し電子銃構体のステム部50と溶接す
る。また、このセラミック、ガラスからなる輻射熱遮断
材80が輻射熱を反射するよう鏡面仕上げなどがされて
いる場合、熱反射でバルブのネック部70がより早く加
熱され短時間で溶融するので作業性が上るという効果も
あった。その後、バルブのフレア部90を切り落とし、
電子銃構体のステム部50に設けられた排気管60を通
してバルブ内を排気して陰極線管を完成する。なお、輻
射熱遮蔽手段として厚い冷陰極支持体を用いることもで
きる。また、熱伝導度が小さいものがより望ましい。
【0009】
【発明の効果】以上のように、電界放出型冷陰極を組み
込んだ電子銃構体をガラスバルブに封入するときに、ネ
ックガラスを軟化させるための酸素バーナの輻射熱を、
カソードピンを含むハーメチックシール製の冷陰極支持
体下部面や制御電極の外周面に形成した輻射熱遮蔽手段
で遮断することで、冷陰極のエミッタの温度が上昇せ
ず、エミッタの先端が酸化しないので仕事関数の上昇も
なく、冷陰極単体の時に比べてもエミッションの劣化が
起こらない良質の電界放出型冷陰極を用いた陰極線管が
得られる。
込んだ電子銃構体をガラスバルブに封入するときに、ネ
ックガラスを軟化させるための酸素バーナの輻射熱を、
カソードピンを含むハーメチックシール製の冷陰極支持
体下部面や制御電極の外周面に形成した輻射熱遮蔽手段
で遮断することで、冷陰極のエミッタの温度が上昇せ
ず、エミッタの先端が酸化しないので仕事関数の上昇も
なく、冷陰極単体の時に比べてもエミッションの劣化が
起こらない良質の電界放出型冷陰極を用いた陰極線管が
得られる。
【図1】 本発明の電子銃構体の要部断面図
【図2】 図1の電子銃構体をバルブネック部に封止す
る状態を示す部分断面図
る状態を示す部分断面図
【図3】 冷陰極チップの斜視図
【図4】 従来の電子銃構体の要部断面図
【図5】 図4の電子銃構体をバルブネック部に封止す
る状態を示す部分断面図
る状態を示す部分断面図
10 冷陰極 20 冷陰極支持体 30 制御電極 40 ピン 80 輻射熱遮蔽手段(輻射熱遮断材)
Claims (5)
- 【請求項1】冷陰極支持体上に配設した電界放出型冷陰
極を電子ビーム発生源とする電子銃構体であって、前記
冷陰極を囲繞する輻射熱遮蔽手段を設けたことを特徴と
する電子銃構体。 - 【請求項2】前記輻射熱遮蔽手段がセラミック、ガラ
ス、あるいは耐熱性樹脂からなる輻射熱遮断材の単体ま
たは混合体で構成したことを特徴とする請求項1記載の
電子銃構体。 - 【請求項3】前記セラミック、ガラスからなる輻射熱遮
断材に輻射熱反射手段が施されたことを特徴とする請求
項2記載の電子銃構体。 - 【請求項4】前記輻射熱遮断材が被膜からなることを特
徴とする請求項2記載の電子銃構体。 - 【請求項5】前記輻射熱遮蔽手段が厚い冷陰極支持体で
兼用されてなることを特徴とする請求項1記載の電子銃
構体。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7179734A JPH0935662A (ja) | 1995-07-17 | 1995-07-17 | 電子銃構体 |
KR1019960028678A KR100195679B1 (ko) | 1995-07-17 | 1996-07-16 | 개선된 내열성을 갖는 전자 건 어셈블리 |
US08/680,837 US5698855A (en) | 1995-07-17 | 1996-07-16 | Electron gun assembly with improved heat resistance |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7179734A JPH0935662A (ja) | 1995-07-17 | 1995-07-17 | 電子銃構体 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0935662A true JPH0935662A (ja) | 1997-02-07 |
Family
ID=16070941
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP7179734A Pending JPH0935662A (ja) | 1995-07-17 | 1995-07-17 | 電子銃構体 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5698855A (ja) |
JP (1) | JPH0935662A (ja) |
KR (1) | KR100195679B1 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7573046B1 (en) | 2007-03-26 | 2009-08-11 | Kla-Tencor Technologies Corporation | Thermal field emission electron gun with reduced arcing |
CN103972009B (zh) * | 2013-01-29 | 2016-05-18 | 海洋王照明科技股份有限公司 | 场发射显示屏 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3766427A (en) * | 1970-06-15 | 1973-10-16 | American Optical Corp | Field emission electron gun |
US3813571A (en) * | 1973-04-09 | 1974-05-28 | Hughes Aircraft Co | Insulated cathode gun device |
JPS6091542A (ja) * | 1983-10-26 | 1985-05-22 | Hitachi Ltd | 電界放射形電子銃 |
-
1995
- 1995-07-17 JP JP7179734A patent/JPH0935662A/ja active Pending
-
1996
- 1996-07-16 KR KR1019960028678A patent/KR100195679B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1996-07-16 US US08/680,837 patent/US5698855A/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR970008292A (ko) | 1997-02-24 |
KR100195679B1 (ko) | 1999-06-15 |
US5698855A (en) | 1997-12-16 |
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