JPS6091542A

JPS6091542A - 電界放射形電子銃

Info

Publication number: JPS6091542A
Application number: JP58199073A
Authority: JP
Inventors: Naotake Saito; 斉藤　尚武
Original assignee: Hitachi Ltd
Current assignee: Hitachi Ltd
Priority date: 1983-10-26
Filing date: 1983-10-26
Publication date: 1985-05-22

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔発明の利用分野〕本発明は電界放射形電子銃に係り、特に電子銃室と陽極
の加熱脱ガス手段を備え、超高真空全容易に得ることが
出来る電界放射形電子銃に関するものである。

〔発明の背景〕

電界放射電子銃において、放射電子銃を安定させるため
には、電子銃室内’（ｉ＝１０−１Ｏ’ｐｏｒｒ以上の
超高真空にすることと、放射電子が衝突することによっ
てガス放出をし、真空低下を起さぬよう各都電極表面を
清浄にすることが必要である。このため、従来から電子
銃室を超高真空ポンプで排気し、排気の過程で電子銃室
壁と内部電極とを加熱脱ガスする方法をとっていた。

しかし、この電子銃は、原理上、第１陽極が高電圧側に
位置しているため、電気絶縁と同時に熱絶縁構造となっ
ており、しかも電界放射電子が最初に多量に衝突するた
め最も加熱脱ガスすべき電極が最も脱ガスできない構造
となっており、電子流の安定性を悪くする最大の要因と
なっていた。

〔発明の目的〕

本発明の目的は、上記した欠点をなくシ、効率的な超高
真空排気を行ない、安定な電界放射電流を大量に得るこ
とができる電界放射形電子銃を提供することにある。

〔発明の概要〕

本発明は、陽極温度を常に周囲の温度より高く保つ手段
を新たに設けたものである。

〔発明の実施例〕

第１図に本発明の一実施例を示す。第１図において、電
子銃室は第１の真空室１（陰極３を有する陽極室）と第
２の真空室１１（陽極６．１０を有する陽極室）とから
構成され、各室は各々独立ノ真空、Ｎ／、’１４．１５
で超高真空に排気される構造になっている。陰極室１の
空壁４の一部には絶縁体２を介して陰極３や陽性６の加
熱体８、さらに温度測定子９のリード線が接続され、そ
れぞれ真空外部の高圧電源１８やタイマー１９、加熱電
源２０及び温度測定回路２１に接続されている。

また電子銃室１．１１自体は、室壁４を外部加熱体１６
、タイマー２２、電源２３で加熱できる構造となってい
る。１７は加熱体１６による加熱時の温度測定子、２４
は測定回路である。また、１８は陰極３や陽極６への電
圧を供給する電源であり、１２は陽極室壁である。

以上の構成において、電界放射形電子銃の場合最も超高
真空を必要とするのは、陰極室１であり、また最もきれ
いな（ガス２６の吸着の無い）表面を必要とするのは陽
極６の陰極３に向いている側の表面７である。何故なら
、陰極３より放射された電子２５により表面に吸着した
ガス２６がたたきだされ、真空を悪化させるからである
。

以上の理由のために、電子銃室は外部より加熱体１６で
加熱し、かつ陽極６も加熱体８で加熱して、加熱時に発
生するガスを真空ポンプ１４および１５で排気する構造
になっている。しかし、この加熱方法には一つの問題が
ある。すなわち、加熱体１６および８の温度が単にほぼ
同一であれば問題がないが、どちらかの温度が高い場合
、高い温度に加熱された部分から発生したガスは、低い
温度の部分に吸着してしまい、低い温度の表面は結果と
してきれいな表面が得られなくなるという点である。特
にこの問題は、加熱体への通電を終了した後の全体が冷
却する過程で発生することが多い。すなわち、これは加
熱された室壁４や、陽性６の熱容量の相違により、冷却
速度に差があることにより生ずる。

そこで、本発明は、熱容量の小さい陽性８を加熱する時
間と、室壁を加熱する時間とに差をつけるためにそれぞ
れの加熱電源２０．２３にタイマ１９．２２ｔ−設ける
槽数としている。そして、陽性６の温度をＴ２とし、電
子銃室壁４の温度をＴ１としたとき、常に冷却時の温度
がＴｌ　＜Ｔ２となる条件にタイマ１９．２３を働かせ
て制御する方式としたものである。これにより、最もき
れいな表面を必要とする陽性６表面へのガス吸着は防ぐ
ことができる。第２図は、加熱温度とタイマー１９．２
２の動作時間関係を図示したものである。

この場合、陽性６の表面温度を測定するための測定子９
と、電子銃室壁４の温度を測定する測定子１７を設け、
各々測定回路２１．２４の出力により加熱電源２０．２
３の出力制御し、常にＴ１くＴ２の条件を保持するよう
に制御すれば、さらに優れた効果を得ることができる。

同様に、タイマ１９．２２のタイマ時間を制御すること
によってもさらに優れた効果を得ることができる。

〔発明の効果〕

以上の説明から明らかなように本発明によれば、超高真
空排気を効率的に行ない、安定な電界放射電流を大量に
得ることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明による電界放射形電子銃の一実施例を示
す図、第２図は電子銃室壁と陽極の温度及び加熱時間を
示す図である。１・・・陰極室、３・・・陰極、４・・・電子銃室壁、
６゜１０・・・陽極、８．１６・・・加熱体、９，１７
・・・温度測定子、１４．１５・・・真空ポンプ、１８
・・・高圧電源、１９．２２・・・タイマー回路、２０
．２３・・・加熱電源、２１．２４・・・温度測定回路
、２５・・・電子線、２６・・・吸着ガス。代理人　弁理士　高橋明夫

Claims

【特許請求の範囲】１、電界放射電子銃室と該電子銃室の加熱手段、電子銃
内電極と該電極の加熱手段とを備えた電界放射形電子銃
において、前記各加熱手段を、電子銃室温度が電子銃内
電極温度より常に低くなる条件に制御する制御装置を設
けたことを特徴とする電界放射形電子銃。２、前記制御装置は前記条件に各加熱時間を制御するタ
イマを有することを特徴とする特許請求の範囲第１項記
載の電界放射形電子銃。３、前記制御装置は電子銃室の温度測定子と電極の温度
測定子を有し、これら測定子の出力信号により各加熱手
段を制御することを特徴とする特許請求の範囲第１項記
載の電界放射形電子銃。