JPS5833009B2 - 真空槽ガス出し装置 - Google Patents

真空槽ガス出し装置

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Publication number
JPS5833009B2
JPS5833009B2 JP51018154A JP1815476A JPS5833009B2 JP S5833009 B2 JPS5833009 B2 JP S5833009B2 JP 51018154 A JP51018154 A JP 51018154A JP 1815476 A JP1815476 A JP 1815476A JP S5833009 B2 JPS5833009 B2 JP S5833009B2
Authority
JP
Japan
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vacuum chamber
filament
gas
electrode
venting device
Prior art date
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Expired
Application number
JP51018154A
Other languages
English (en)
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JPS52101707A (en
Inventor
澄男 木村
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Jeol Ltd
Original Assignee
Nihon Denshi KK
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Publication date
Application filed by Nihon Denshi KK filed Critical Nihon Denshi KK
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    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
    • Y02E30/00—Energy generation of nuclear origin
    • Y02E30/10—Nuclear fusion reactors

Landscapes

  • Filling Or Discharging Of Gas Storage Vessels (AREA)
  • Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
  • Plasma Technology (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 不発明は真空槽内にプラズマを発生させることにより真
空槽内のガス出しを行う新規な装置に関するものである
。
一般に真空槽内の真空度を例えば１０−８ｔｏｒｒ以上
の超高真空度に保つ場合には排気を行う前に真空槽内壁
及び真空槽内におかれている部材に吸蔵されているガス
を放出する必要がある。
斯かるガス放出を行う装置として真空槽内でグロー放電
を発生させるものが従来広く使用されている。
これは真空槽内にアルゴンガス等を導入し、真空槽内を
１０ ” ｔｏｒｒ程度のアルゴンガス雰囲気になした
状態において真空槽とこの真空槽内に設けられた電極と
の間に数ＫＶ程度の直流電圧を印加することによりグロ
ー放電を発生させ、その除虫ずる熱及びイオンによるス
パッタリングによって真空槽内壁等を加熱し、ガス放出
を行うように構成したものである。
しかし乍ら斯様な装置においてはグロー放電中に発生し
たイオンが真空槽と電極との間に形成された電界により
加速を受け、この加速されたイオンが真空槽内壁や真空
槽内の部材に衝突し、これらの部材がスパックされるい
わゆるスパッタリング現象が生ずるため、ガス出し装置
としては好ましくない。
本発明は斯様なスパッタリング現象の発生しないガス出
し装置を提供するもので、以下図面に示した実施例に基
づき詳説する。
図において１は密閉された真空槽で、排気管２を介して
内部が真空ポンプに連絡している。
又該真空槽はパイプ３を介してアルゴンガスを満たした
ガスボンベ４に連絡し、リークバルブ５の操作により真
空槽内にアルゴンガスが導入される。
６は真空槽１内におかれたフィラメントで、該フィラメ
ントの両端は真空槽を貫通した電極棒７ａ。
７ｂに夫々保持されており、該両電極棒間には加熱電源
８が設けである。
前記電極棒７ａ、７ｂと真空槽１との間には碍子９ａ、
９ｂが夫々設けてあり、電気的に絶縁されている。
１０は絶縁物製支持体１１を介して前記真空槽１内に固
定された電極で、該電極と前記フィラメントとの間には
直流電源１２が設けられ、電極がフィラメントに対して
３０〜５０Ｖ程度の正の電圧に保たれる。
しかして今排気管２を介して真空槽１内を排気した状態
においてリークパルプ５を開放し、真空槽内にアルゴン
ガスを導入することにより内部の圧力を１０＝ ｔｏｒ
ｒ程度のアルゴンガス雰囲気にする。
この状態において加熱電源８によりフィラメント６を加
熱すると共に直流電源１２によりフィラメント６と電極
１０との間に３０〜５０Ｖ程度の直流電圧を印加すると
アーク放電が発生し、このアーク放電によりフィラメン
トと電極との間にプラズマが発生する。
このときフィラメント６からは電子が強制的に放出され
ているため、前記アーク放電により生ずるプラズマを多
量に発生させることかできる。
前記プラズマ中において、イオン・電子対は拡散によっ
て真空槽内壁部分に飛散して消滅するわけであるが、こ
の対の消滅にあたってはエネルギー放出が行なわれるた
め、このエネルギーの一部により真空槽内壁が加熱され
、吸蔵したガスが真空槽内壁から放出される。
又前記真空槽の内壁の電位はプラズマと殆んど同電位に
なるため、プラズマ中のイオンが真空槽内壁に衝突する
ことにより、真空槽内壁がスパッタされることはない。
斯くする事により本発明はスパッタリング現象を発生さ
せることなく真空槽壁の加熱（ガス出し）を行うことが
できる。
又フィラメントを使用しているため、多量のプラズマを
発生させることができ、従って真空槽内壁を槽内部から
効率よく加熱することができるため、金属ガスケットを
用いた真空槽は勿論、ガラス製の真空槽及びゴム等の熱
に弱いＯリングを用いた真空槽に対しても充分なガス出
しを行うことができる等、実用性大なる効果を有する。
同前述の説明では真空槽内にアルゴンガスを導入したが
、これに限定されることなく不活性ガスであれば何でも
よい。
【図面の簡単な説明】
図面は本発明の一実施例を示す構成略図である。 図において１は真空槽、２は排気管、３はパイプ、４は
ガスボンベ、５はリークバルブ、６はフィラメント、７
ａ及び７ｂは電極棒、８は加熱電源、９ａ及び９ｂは碍
子、１０は電極、１２は直流電源である。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. １ 真空槽内にこの真空槽に対して電気的に絶縁された
    フィラメントと電極とを夫々設置し、更に該真空槽内に
    不活性ガスを導入すると共に前記フィラメントを加熱し
    た状態で、前記フィラメントと電極との間に電圧を印加
    してアーク放電を生じせしめ、真空槽内にプラズマを発
    生させる事を特徴とする真空槽ガス出し装置。
JP51018154A 1976-02-20 1976-02-20 真空槽ガス出し装置 Expired JPS5833009B2 (ja)

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JPS52101707A JPS52101707A (en) 1977-08-26
JPS5833009B2 true JPS5833009B2 (ja) 1983-07-16

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JP (1) JPS5833009B2 (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61113436A (ja) * 1984-11-06 1986-05-31 松下電器産業株式会社 超音波探触子
JPS6245005U (ja) * 1985-09-06 1987-03-18
JPH0218093B2 (ja) * 1983-09-10 1990-04-24 Terumo Corp

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0218093B2 (ja) * 1983-09-10 1990-04-24 Terumo Corp
JPS61113436A (ja) * 1984-11-06 1986-05-31 松下電器産業株式会社 超音波探触子
JPS6245005U (ja) * 1985-09-06 1987-03-18

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JPS52101707A (en) 1977-08-26

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