JPH0957963A - 液滴噴射装置および液滴噴射方法 - Google Patents

液滴噴射装置および液滴噴射方法

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JPH0957963A
JPH0957963A JP7213442A JP21344295A JPH0957963A JP H0957963 A JPH0957963 A JP H0957963A JP 7213442 A JP7213442 A JP 7213442A JP 21344295 A JP21344295 A JP 21344295A JP H0957963 A JPH0957963 A JP H0957963A
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droplets
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竜一 小島
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泰弘 大塚
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文則 滝沢
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 液滴が吐出される開口部よりも遥かに小さな
液滴を1滴ずつ所望の着弾位置に飛翔でき、しかも液滴
の大きさを容易に可変できる液滴吐出装置を提供する。 【構成】 開口部13を有する液滴噴射室10と液滴噴
射室10内に充填された液体の自由表面15上に液滴噴
射点17方向に進行する表面波16を発生させる。表面
波は、液滴噴射室10、振動板11およびピエゾアクチ
ュエータ12から構成される表面波発生手段21により
発生させる。表面波発生手段21により液滴噴射点17
から概略等距離の位置に表面波16を発生させると、干
渉により表面波16の波高は徐々に増幅され高くなり、
液滴噴射点17で液滴(図示せず)を分離し吐出する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は液滴を噴射する装置
に関し、さらに詳しくは微小な液滴を被記録媒体へ飛翔
させ画像記録を行うインクジェット用記録ヘッドに関す
る。また、本発明は液滴を噴射する装置に関し、さらに
詳しくは常温では固体であり加熱により溶融する導電性
材料を液滴の状態で回路基板等に飛翔させ、回路基板上
にLSI等との接続で用いるバンプを形成する装置に関
する。
【0002】
【従来の技術】従来、インクジェットプリンタ等で用い
られる液滴噴射装置として、図13(a)に示すよう
に、ピエゾ素子12を振動させてインク室30の容積を
膨張させインクタンク(図示せず)からインク等の液体
14を吸引し、その後、図13(b)に示すようにイン
ク室30の容積を収縮させ液体14に圧力を加えてノズ
ル31から液滴20を紙などの記録媒体に飛翔させるも
の(米国特許第3946398号)がある。また、特公
昭61−59911号公報に記載されているようにイン
ク室に発熱素子を内蔵させ、熱エネルギにより瞬間的に
インク中に気泡を生じさせ、気泡の膨張力によりインク
を吐出させるものである。従来は、以上のようなポンプ
の原理を利用した液滴の吐出装置が数多く提案されてい
る。
【0003】また、インクを霧状にして飛翔させる液滴
噴射装置として、特開平4−14455号公報、特開平
4−299148号公報、特開平5−38810号公報
等が知られている。特開平4−14455号公報では、
図14(a)、(b)に示すように圧電性を有する伝搬
板32の伝搬面33の一端に複数の対をなす櫛形電極I
DT34を形成しこれを駆動手段として用い、該駆動手
段に約20MHz程度の高周波交流電圧35を印加し、
伝搬面33の表面を励振し表面弾性波Aを発生させる。
発生した表面弾性波Aは矢印方向に進行し、伝播面33
がインク14と接する部分に至ると、そこからインク1
4へ漏洩し縦波弾性波(音響波)となり、この弾性波に
よりスリット36で露出しているインクの表面37を励
振させ、霧状に液滴20を飛翔させる。
【0004】特開平4−299148号公報では、図1
5に示すようにスリット部材38と共振子39の間に間
隙を形成しインク室30を形成する。インク室30内に
は毛細管現象によりインク14を満たし、共振子39に
厚さ方向の共振振動を加え、その振動エネルギをインク
に伝搬させ、最終的にインク吐出口40のインク界面4
1にランダムな表面波を形成し、表面波の干渉により共
振子の振動周波数に応じたインク粒子を霧状に噴射す
る。
【0005】特開平5−38810号公報では、図16
に示すように圧電体基板42の表裏に一対の電極43が
形成されており、圧電体基板42はギャップ支持材44
を介してノズルプレート45が接合されており、そのギ
ャップ空間には毛細管力によりインク14が満たされて
いる。この電極43により形成される交差領域46に圧
電体基板42の厚さで決まる共振周波数で変位する電圧
を印加すると、圧電体基板42は共振し、インク14中
に超音波を発生させる。超音波はインク14中を伝搬
し、交差領域46の真上のノズル31に満たされたイン
ク表面37に表面波を発生させる。この表面波が一定以
上の振幅を越えて大きくなると、ノズル31からインク
滴20が霧状に吐出する。
【0006】上記の特開平4−14455号公報、特開
平4−299148号公報、特開平5−38810号公
報は、それぞれインク液面に表面波を発生させる手段は
異なるが、何れの装置においても超音波加湿器の噴射原
理と同様にして、液体の自由表面にランダムに表面波を
発生させ、該表面波の干渉により不特定多数の噴射点か
ら液体を霧状にして噴射を行う。
【0007】また、アコースティックストリーミングに
よる音響圧力を利用した液滴吐出装置が、特開昭63−
162253号公報で開示されている。特開昭63−1
62253号公報記載の発明では、図17に示すように
圧電トランスデューサ47の振動により超音波音響波を
発生させ、これを球面状音響レンズ48により液体14
の自由表面上15の1点に収束させ、音響波が液体14
の自由表面15に衝突する際に生じる放射圧により、液
滴20を液体の自由表面から分離し噴射させる。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】インクジェット方式を
はじめとする各種プリンタには、ピクトリアルなカラー
画像出力への要望が高まっている。これを実現するため
には、ハイライト側からシャドー側に至るまでの連続し
た滑らかな濃度階調記録特性が必要となる。このような
階調記録特性をインクジェット方式で実現するために
は、1画素毎に吐出するインク滴量を変化させ濃度変調
を行うか、あるいは画素サイズよりも微細な複数のイン
ク滴で1画素を構成し、インク滴数により濃度変調を行
うことが必要となる。何れの方法においても、トーンジ
ャンプのない滑らかな階調表現を実現するためには、画
素サイズに比べ十分に微細な液滴を形成する、微小液滴
の形成技術が必須となる。ところが上記した従来の液滴
吐出装置では、以下に示すような理由により、このよう
な微小な液滴形成が困難であった。
【0009】図11に示した米国特許第3946398
号に記載されている液滴吐出装置、および特公昭61−
59911号公報に記載の液滴噴射装置は、何れもポン
プの原理を利用した液滴吐出方法のため、吐出可能な最
小液滴径はノズル径と同程度であり、例えば、ノズル径
の1/10の直径の液滴を吐出することは極めて困難で
あった。したがって、これらの液滴吐出装置で微小液滴
吐出を実現するためには、所望とする液滴径と同程度ま
でノズル径を小径化することが必要となる。ところが、
ノズルの小径化は、ノズルの目詰まりを発生させやすく
なるため信頼性の点で課題が生じる。このため、上記し
た従来のインクジェット装置で、例えば直径数μm 乃至
20μm といった微小液滴の形成は極めて困難であっ
た。また、ノズルの小径化に伴い、より高度な精密微細
加工が要求されるため、ポンプの原理を利用した液滴吐
出装置で微小液滴を吐出する場合には、上記した信頼性
の課題に加え、生産性の点でも課題があった。
【0010】次に、液体の自由表面に表面波を発生させ
霧状にして液滴を噴射する特開平4−14455号公
報、特開平4−299148号公報や特開平5−388
10号公報の液滴噴射装置では、直径数μm 程度の微細
な液滴を霧状に噴射することができる。また、噴射時間
を変化させることにより被記録媒体に着弾する液滴数を
制御することができる等の特徴を有す。しかし、これら
の液滴噴射装置では、液体の自由表面上にランダムに発
生させた表面波を干渉させた結果、不特定多数の液滴噴
射点から霧状に液滴を噴射させるため、吐出する液滴の
直径はバラツキがあり、また噴射方向や噴射速度も液滴
毎に異なる。このため、インクジェット用の記録ヘッド
やバンプの形成装置において要求される1滴毎の液滴の
制御性の点に課題があった。すなわち、液滴の被記録媒
体への着弾位置および着弾量を高精度に制御することが
困難であるという課題があった。
【0011】また、特開昭63−162253号公報に
記載されている音響波を利用した液滴吐出装置では、振
動エネルギの利用効率が低いため、個々のインク滴を発
生させる超音波振動子にサイズの大きなものが必要とな
り装置が大型化する課題があった。また、音響レンズの
焦点深度は極めて浅いためインク自由表面位置の高精度
な制御を実現する手段を必要とし、また個々の超音波振
動子に対し音響レンズが必要とされるため装置構成が複
雑となり、さらには数MHz乃至数百MHzの高周波信
号の発振、増幅を行う高周波電力増幅発生部、および記
録のための高周波電力スイッチ部等、数百MHzの信号
を通過させる帯域を持った回路構成が必要となるため、
装置が高価になるという課題があった。
【0012】本発明の目的はこのような従来の課題を解
決し、液滴が吐出される開口部よりも遥かに微細な液滴
を1滴ずつ所望の着弾位置に飛翔させることができ、し
かも簡易な構成で安価に実現できる液滴吐出装置を提供
することにある。さらに本発明の目的は、液滴の大きさ
を容易に可変できる液滴吐出装置を提供することにあ
る。
【0013】
【課題を解決するための手段】本発明の液滴噴射装置で
は、液滴噴射点を内包する開口部を有する液滴噴射室
と、前記液滴噴射室の開口部に形成される該液滴噴射室
に充填された液体の自由表面上に、前記液滴噴射点から
概略等距離の位置に前記液滴噴射点方向に進行する表面
波を形成する表面波発生手段とを少なくとも含み構成さ
れることを特徴とする。
【0014】また本発明の液滴噴射装置では、前記表面
波は、前記液滴噴射点を中心とする円形状であることを
特徴とする。
【0015】さらに本発明の液滴噴射装置では、前記表
面波発生手段は、表面波の波高および波長を任意に制御
できる、波形制御手段を具備することを特徴とする。
【0016】さらに本発明の液滴噴射装置では、前記表
面波発生手段は、表面から深さ方向に徐々に口径が拡が
る円形または多角形の開口部を有す液滴噴射室と、前記
液滴噴射室の底面近傍の前記液体に対し、前記液滴噴室
の底面側から表面側に向かう間欠的な液流を発生させる
液流発生手段とを少なくとも含み、かつ前記液流の作用
により前記液体の自由表面から液滴が噴射されないよう
に構成されることを特徴とする。
【0017】さらに本発明の液滴噴射装置では、前記液
流発生手段は、前記液流の流速と液流の発生時間を任意
に制御できる液流制御手段を具備することを特徴とす
る。
【0018】さらに本発明の液滴噴射装置では、前記液
流発生手段は、前記液滴噴射室の底面に接続された前記
液滴噴射室の底面から表面方向に変位可能な振動板と、
該振動板に接続されたアクチュエータとを少なくとも含
み構成されることを特徴とする。
【0019】さらに本発明の液滴噴射装置では、前記液
流発生手段は、前記液滴噴射室の底面近傍に発熱素子を
配置して構成されることを特徴とする。
【0020】さらに本発明の液滴噴射装置では、前記発
熱素子は、前記液滴噴射室の底面外周部に配置されたこ
とを特徴とする。
【0021】さらに本発明の液滴噴射装置では、前記液
体は、常温では固体であり加熱により溶融するホットメ
ルト媒体であり、かつ該ホットメルト媒体を加熱する手
段を具備したことを特徴とする。
【0022】さらに本発明の液滴噴射装置では、前記ホ
ットメルト媒体は、導電性を有することを特徴とする。
【0023】さらに本発明の液滴噴射方法では、液体の
自由表面上に液滴噴射点から概略等距離の位置に前記液
滴噴射点方向に進行する表面波を形成することを特徴と
する。
【0024】
【作用】図3を参照して、本発明の作用を説明する。図
3は液滴の吐出過程を示す液滴吐出装置の断面図であ
り、同図(a)、(b)、(c)はそれぞれ、表面波を
発生させた状態、表面波の進行により液柱が発生した状
態、および液滴が飛翔した状態を示す。同図において1
0は液滴噴射室、11は振動板、12はピエゾアクチュ
エータ、21は表面波発生手段、13は開口部である。
【0025】本発明の液滴噴射装置では、図3に示すよ
うに開口部13を有する液滴噴射室10と液滴噴射室1
0内に充填された液体の自由表面15上に液滴噴射点1
7方向に進行する表面波16を発生させる表面波発生手
段21を有す。
【0026】図3(a)に示すように、表面波発生手段
21により液滴噴射点17から概略等距離の位置に表面
波16を発生させる。すなわち、液滴吐出点17を中心
とした円形あるいは多角形の、全部あるいは一部の周上
に表面波16を発生させる。このような表面波16が液
滴吐出点17の方向に進行するにつれ位相のそろった表
面波が干渉し、表面波16の波高が徐々に増加する。そ
の結果、液滴噴射点17の近傍で図3(b)に示すよう
に液柱18を形成するようになる。液滴吐出点では波高
が最大となり、ついには図3(c)に示すように液柱1
8の先端から液滴20が分離し吐出する。
【0027】吐出する液滴20の直径は、図3(b)お
よび(c)から明らかなように、吐出直前の液柱18の
太さ(直径)に比例して変化する。また液柱18の直径
は表面波16の波長にほぼ比例して変化する。ここで表
面波の波長とは、図3(a)に示すλで定義するものと
する。また、液滴20が吐出するか否かは、液柱18の
高さ、すなわち表面波16の波高に依存する。このため
本発明の液滴噴射装置では、液滴の直径は開口部の大き
さには依存せず、表面波16の波長により可変できるこ
とが分かる。また、液滴を吐出するか否かは表面波16
の波高を変えることにより制御可能となる。
【0028】このような表面波は、図3(a)に示すよ
うな表面から底面に向けて開口部が徐々に拡がる液滴噴
射室10の底面側から表面側に間欠的な液流22を作用
させることにより形成することができる。液滴噴射室1
0の底面側から表面側に向かう液流22は、表面に近づ
くにつれ液滴噴射室10の開口径が小さくなるため液滴
噴射室10の壁面近傍の圧力が増加し壁面近傍の流速が
高まるため、液体自由表面15上において開口部13の
形状に従った表面波16が発生する。したがって、円形
の開口部を用いた場合には円形状の表面波を形成するこ
とができ、多角形の開口部を用いた場合には多角形状の
表面波を形成することができる。ここで、形成する表面
波16の波長λは主に液流22の発生時間を変化させる
ことで任意に制御でき、形成する表面波16の波高は主
に液流22の流速を変化させることで任意に制御できる
ことを実験により確認した。なお本発明で扱う“液流”
という言葉は、非圧縮的な液体の流れと液体の圧縮によ
る音響流の両者の総称として定義する。
【0029】表面波16は、円形状に形成した場合に干
渉による表面波の波高の増幅率が最も大きく、また完全
に位相のそろった表面波が干渉しながら液滴吐出点方向
に進行するため、最も効率的にかつ安定した信頼性の高
い液滴の吐出が可能となる。
【0030】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施例について図
面を参照して詳細に説明する。
【0031】(実施例1)図1(a)、(b)はそれぞ
れ、本発明の第一の実施例の液滴噴射装置の上面図、お
よび断面図を示す。図1(a)に示すように、実施例1
では液滴噴射装置を複数個並列に並べ、インクジェット
用記録ヘッドに応用した。一つ一つの液滴噴射装置は、
図1(b)に示すように、深さ方向に徐々に開口径が拡
がる液滴噴射室10と液滴噴射室10の底面に接続され
た振動板11と、振動板11に接続されたピエゾアクチ
ュエータ12から構成される。液滴噴射室10内には液
体インク14が充填されており、液滴噴射室10はイン
ク供給路26を通じてインクタンク19と連通してい
る。ここで、開口部13および液滴噴射室10の底面
は、それぞれ直径80μm 、および直径240μm の円
形とし、液滴噴射室の深さは100μm とした。また、
隣り合う開口の中心間隔は254μm とした。
【0032】まず、液滴噴射装置の液滴噴射特性につい
て調べた。ピエゾアクチュエータ12に図2に示すよう
な、時間幅が3μs、変位幅が0.2μm の単一の三角
波状の時間応答の変位を与えたところ、開口部13の中
心部から直径約15μm のインク滴が安定して吐出する
ことを確認した。この液滴20の吐出過程をストロボ観
察した。その結果、ピエゾアクチュエータ12を駆動し
て振動板11に変位を与えると、まず図3(a)に示す
ような円形の表面波16が形成される様子が観察され
た。この円形状の表面波16は中心方向、すなわち液滴
噴射点17方向に進行しながら徐々に波高が増幅され、
液滴噴射点近傍で図3(b)に示すような液柱18を形
成した。さらにその直後、図3(c)に示すように液柱
18から約直径15μm のインク滴20が分離し、上方
に飛翔した。以上のように本発明の液滴吐出装置では、
表面波の干渉を利用して液滴を吐出するため、開口部1
3の大きさよりも遥かに小さなインク滴20の吐出が可
能なことを確認した。本実施例ではピエゾアクチュエー
タ12の駆動波形は図2に示すような三角波としたが、
例えば正弦波や矩形波、あるいはこれらを合成した任意
の波形でも、液体の自由表面15に図3(a)に示すよ
うな表面波16が形成できれば、実施例1と同様に開口
部13よりも小さな直径の液滴を吐出できることを確認
した。
【0033】そこで次に、このような液滴噴射装置をイ
ンクジェット記録ヘッドに適用し、印字実験を行った。
図4(a)は印字装置の外観を示す斜視図、(b)は記
録ヘッドの記録用紙に対向した面の開口部を示す平面図
である。51は記録用紙、52は記録ヘッド、53はプ
ラテンを示す。記録ヘッド52は複数の開口部13を有
しており、このインク吐出点となる開口部が図4(b)
に示すように記録用紙を介してプラテン53に対向する
ように記録ヘッド52をキャリッジ54に固定した。こ
こでインク吐出点となる開口部13は、図4(b)に示
すように1列に32個の開口部13が4列に千鳥状に配
置されており、全体で128個の開口部13が63.5
μm のピッチで配列された記録ヘッド構成とした。な
お、個々の液滴噴射装置は、電気的な記録信号に応じて
各々独立にインク吐出の有無を制御することができるよ
うに構成した。
【0034】印字は以下のようにして行った。まず図4
(a)に示すように、記録ヘッド52をキャリッジ54
によりプラテン53の軸方向に走査(主走査)した。1
28個の液滴飛翔装置による液滴飛翔のタイミングを主
走査方向に15.875μm毎に画像信号に応じて制御
することにより、主走査方向に1600dpi、副走査
方向には400dpiの画素密度で4列分の画素を形成
した。次に、図4(a)に示すように記録用紙51を副
走査方向に15.875μm 送った後、1回目の走査方
向とは逆方向に記録ヘッド52を主走査させ、1回目の
走査と同様にして4列分の画素を形成した。以上のよう
な繰り返しを合計4回行うことにより、主走査方向、副
走査方向ともに1600dpiの画素密度で16列分の
画素を形成した。次に、記録用紙51を副走査方向に2
06.375μm 移動させた後に、上記のようにして1
6列分の印字を行った。以上のように、16列印字毎に
記録用紙51を副走査方向に206.375μm 移動さ
せる動作を繰り返すことにより、A4サイズの記録用紙
51上に主走査、副走査方向ともに1600dpiの解
像度で画像形成を行った。
【0035】なお、ここで液滴噴射装置から吐出される
インク滴の記録用紙51上でのドット径を測定したとこ
ろおよそ21μm であり、1600dpi相当の印字を
行う場合に、ベタ印字を行っても白抜けの無い適切なイ
ンク滴径であることを確認した。このように、本発明の
液滴噴射装置では、開口部13の間隔は400dpi相
当であるにも拘らず、開口部よりも遥かに小さな液滴の
噴射が可能なため、1600dpiと極めて高解像度で
画像を形成できることを確認した。
【0036】上記の実施例では、液流22の直接的な作
用により液体の自由表面15から液滴20が噴射されな
いように、ピエゾアクチュエータ12の駆動条件を調整
した。以下の実施例では、比較例として液流22の直接
的な作用による液滴20の吐出を試みた。ピエゾアクチ
ュエータ12の変位を0.2μm から徐々に増加し変位
量を0.35μm としたところ、図5(a)に示すよう
に、表面波16の形成と同時に表面波16の先端から複
数の微細な液滴20がランダムに吐出した。この状態で
は、液滴20の直径、飛翔方向ともにランダムなため、
1滴毎に液滴20の着弾位置を制御することはできなか
った。次に、さらにピエゾアクチュエータ12の変位を
増加して0.5μm とすると、図5(b)に示すよう
に、従来のポンプの原理を利用した吐出メカニズムによ
り、開口部13の直径にほぼ等しい大きな液滴20が吐
出した。以上のように、開口部13よりも小さな直径の
液滴20を着弾位置を制御して飛翔させるためには、液
流22の直接的な作用により液体自由表面15から液滴
20が噴射しないように、液流22を発生させる必要が
あることを確認した。
【0037】(実施例2、3)図6(a)、(b)は、
本発明の実施例2、3を示す液滴噴射装置の上面図であ
る。同図(a)は、直径80μm の円に外接する正十二
角形の開口部13を有する液滴噴射装置を、同図(b)
は直径80μm の円に外接する正六角形の開口部13を
有する液滴噴射装置の上面図を示す。開口部13の形状
以外は、図1(b)に示す液滴噴射装置と同様の構成と
した。実施例1と同様のピエゾアクチュエータの駆動条
件では、図6(a)、(b)何れの装置においても、液
滴は噴射されなかった。この時の様子を実施例1と同様
にしてストロボ観察した。その結果、実施例1と同様に
アクチュエータの駆動により多角形状の開口部の形状に
沿って表面波が形成され、次いでこの表面波が中心に向
かうにつれ徐々に波高が増幅され、液柱を形成する様子
が観察された。しかし、実施例1と比べると、表面波の
波高の増幅率が小さいため、液滴吐出にまでは至らない
ことが分かった。また表面波の波高の増幅率は、より円
形に近い正十二角形の方が大きいことが分かった。そこ
で、ピエゾアクチュエータの変位を増加して液滴吐出を
試みた結果、図6(a)の装置では変位量0.24μm
で、図6(b)の装置では変位量0.28μm で、直径
約20μm の液滴20の吐出が可能となった。
【0038】以上のように、開口部の形状が円形の場合
に比べ液滴吐出に必要とされる印加エネルギは若干増加
するものの、表面波の発生位置が液滴吐出点から概略等
距離となるような多角形状の開口部を有する液滴吐出装
置でも、表面波の干渉により開口部よりも小さな液滴を
吐出できることを確認した。さらには本実施例の噴射装
置も実施例1と同様に、図4に示すような記録ヘッド5
2に適用することにより、インクジェット記録方式で記
録用紙51上に画像形成できることを確認した。ただ
し、実施例2および3では液滴径が20μm と実施例1
の場合よりも大きいため、主走査方向、副走査方向とも
に1200dpiの解像度で画像記録を行った。その結
果、良好な画品質の高い画像を形成できることを確認し
た。
【0039】(実施例4)実施例4では、円形開口部1
3の大きさを実施例1に比べて増加し直径1mmとした。
開口部以外は、図1(b)と同様の構成とした。ピエゾ
アクチュエータの駆動時間をt=200μsecとし、
ピエゾアクチュエータ12の変位量dを徐々に増加させ
ていくと、d=4.8μm で安定した液滴の吐出が可能
となった。この時の液滴径は約280μm であった。こ
のように、開口径の大きさがmmオーダであっても開口部
13に比べ遥かに小さな液滴20の吐出が可能なことを
確認した。
【0040】次に、ピエゾアクチュエータ12の駆動波
形と、吐出する液滴径の関係について実験を行った。上
記の280μm の液滴を吐出した実施例では、ピエゾア
クチュエータ12の駆動時間をt=200μsecとし
たが、さらに駆動時間を145、100、60μsec
と変化させて液滴吐出を試みた。ここで駆動時間を変化
に応じてピエゾアクチュエータ12の変位量dも安定し
た液滴20の吐出が可能となるように調整した。その結
果、駆動時間を短くするにつれ液滴径を小さくできるこ
とが分かった。すなわち、t=145μsecではd=
4.0μm で液滴径約250μm であったのに対し、t
=100μsecではd=3.2μm で液滴径約200
μm 、さらにt=60μsecではd=2.2μm で液
滴径約140μm の安定した液滴吐出が可能となった
(表1参照)。
【0041】
【表1】
【0042】このように本発明の液滴噴射装置では、ア
クチュエータ12の駆動時間と変位量により液滴20の
直径を可変できることが分かった。アクチュエータの駆
動時間と変位量の変化は、すなわち液流の流速と液流を
発生させている時間の変化に相当する。すなわち、これ
ら液流の流速と液流の発生時間の制御により、液滴を自
由に制御できることを確認した。
【0043】なお実施例4では、このような液流の流速
の制御をアクチュエータ12の駆動波形により制御した
が、同一のアクチュエータ12の駆動条件であっても、
開口部13の直径や液滴噴射室10底面の直径、あるい
は深さ等、液滴噴射室の形状を変化させることによって
も液流の流速分布を変化でき、飛翔する液滴径を変化で
きることを確認した。
【0044】(実施例5)上記の実施例1から実施例4
では、液流発生装置として振動板とピエゾアクチュエー
タ12から構成される装置を使用したが、実施例5で
は、図7に示すように液流発生装置として液滴噴射室1
0の底面に配置した発熱素子23を用いた。液流発生装
置以外については、図1に示した実施例1と同様の装置
構成とした。図7に示す液滴吐出装置では、発熱素子2
3の急速加熱により、液体14内に気泡24が発生す
る。この気泡24の発生に伴う圧力変化により、液体の
自由表面15方向に向かう液流22が発生し、実施例1
と同様に液滴噴射点17方向に進行する表面波16が発
生する。ここで、発熱素子23に印加するエネルギ量
は、気泡24の発生に伴う液流22の作用により、液体
14の自由表面から直接的に液滴20が発生しないよう
に調整した。
【0045】その結果、直径120μm の円形の発熱素
子にパルス幅3μsecで135μJのエネルギを投入
したところ、開口部13から液滴が直接噴射することな
く開口部13の周囲に表面波を形成することができ、直
径約25μm の微小な液滴20の吐出が可能となった。
ただし図7の装置では、発熱素子23への印加エネルギ
をわずかに増加するだけで、液流22の作用により液滴
20が飛翔しやすく、安定吐出を実現する発熱素子23
への印加エネルギ条件のマージンが狭いことが分かっ
た。
【0046】(実施例6)そこで実施例6では、図8に
示すように、発熱素子23を液滴噴射室10の底面外周
部にのみ配置した構成とする。すなわち、外周の直径が
240μm 、内周部の直径が200μm のドーナツ状の
発熱素子とした。その結果、図8に示す構成では液滴噴
射室10の中心部には気泡24が発生しないため、気泡
発生による直接的なインク滴の飛翔を抑制することが可
能となり、液滴20の吐出のための印加エネルギ条件に
関するマージン幅を大幅に増加できることが分かった。
実施例5では安定した液滴吐出を実現するために、発熱
素子へ投入するトータルのエネルギ量は135±7μJ
程度の範囲に制御する必要があったが、実施例6では、
70±20μJの範囲であれば安定吐出が可能であるこ
とを確認した。また、図8の構成の液滴噴射装置では、
発熱素子23への印加エネルギを変化することにより、
液滴20の直径を可変できることを確認した。発熱素子
23へのエネルギ投入量を42μJ(パルス幅3μse
c)としたところ、直径15μm の安定した液滴吐出を
確認した。次に、70μJ(パルス幅5μsec)を投
入したところ、直径18μm の液滴吐出が可能となっ
た。さらに、98μJ(パルス幅7μsec)を投入し
たところ、直径22μm の安定した液滴吐出が可能とな
った。
【0047】なお、実施例5および6の液滴噴射装置も
実施例1と同様に、図4に示すような装置構成の記録ヘ
ッド52に適用することにより、記録用紙51上にイン
クジェット方式で画像記録が可能なことを確認した。
【0048】(実施例7)次に実施例7では、液体とし
てワックスベースの樹脂にカーボンブラックを配合した
ホットメルト系のインク25を用いた。液滴吐出装置に
は、図9に示すように液滴噴射室10の内壁に沿うよう
にヒータ27を配置し、液滴噴射室10内のインクを溶
融状態として保持した。また、図示しないがインクタン
クにもヒータを配置し、ホットメルト系のインク25を
溶融状態で保持する構成とした。なお、液滴噴射室10
は図1と同様の形状とした。図9に示す装置により液滴
の吐出を試みた結果、水性のインクを用いた場合に比べ
ホットメルト系のインク25では、インク滴吐出に必要
とされるピエゾアクチュエータ12への印加エネルギが
増加し、変位0.42μm 、駆動時間5μsecが必要
となったが、実施例1と同様に開口部13よりも遥かに
小さな直径20μm 前後のインク滴の吐出が可能なこと
を確認した。本実施例ではワックスベースにカーボンブ
ラックを配合したホットメルト系のインクを用いたが、
他のホットメルト系のインクでも同様の効果が得られ
る。さらには本実施例の噴射装置も実施例1と同様にし
て、図4に示すような印字装置の記録ヘッド52に適用
することにより、記録用紙51に対してインクジェット
方式で画像記録が可能であることを確認した。
【0049】(実施例8)次に実施例8では、本発明の
液滴噴射装置を半導体の接続等で用いる微細バンプの形
成装置に応用した例を示す。液滴噴射装置は、図9に示
した実施例7と同様の構成とした。すなわち、液滴噴射
室10の内壁にヒータ25を設置した構成の液滴吐出装
置を用いた。図10を参照して実施例8を説明する。導
電性を有する液体としては融点が約110℃のインジウ
ムを用い、80μm ピッチで形成されたフレキシブル基
板28の先端接続部に直径50μm のインジウムバンプ
29の形成を試みた。ヒータにより液滴噴射室10内を
約125℃に加熱し、アクチュエータ12に変位量2.
4μm 、パルス幅20μsecの変位を与え、フレキシ
ブル基板28に向け液滴吐出を行ったところ、接続部に
直径50μm のインジウムバンプ29を形成することが
できた。インジウムバンプ29が形成されたフレキシブ
ル基板28を液晶パネルの接続に用いたところ、接続用
のバンプとしての十分な機能をはたし、信頼性の高い良
好な接続が可能なことを確認した。なお、本発明の実施
例では、バンプ材料としてインジウムを用いた例につい
て示したが、ハンダ等の低融点金属を用いても、あるい
は溶剤にAu,Al,Cu等の導電性粒子を分散させた
バンプ材料を用いても良い。
【0050】なお、上記の実施例1〜8では、液滴噴射
室10として開口径が深さ方向にテーパ状に直線的に増
加する液滴噴射室10を用いたが、図11(a)に示す
ようなラッパ状の形状でも、あるいは図11(b)に示
すように微細な段差を有しても、深さ方向に徐々に開口
径が拡がる構造であれば、液体の自由表面上に液滴噴射
点方向に進行する表面波を形成することができ、上記の
実施例と同様の効果を得られることを確認した。また、
本発明の実施例1〜4および実施例7、8では、振動板
に変位を与えるアクチュエータとしてピエゾ効果を利用
したアクチュエータを用いたが、電磁式のアクチュエー
タでも磁力を利用したアクチュエータでも、振動板に所
望の変位を与えることができるアクチュエータであれば
良い。また、本発明の実施例1〜4および実施例7、8
では、振動板を介してアクチュエータの変位を液体に伝
達させる構成としたが、振動板を除去してアクチュエー
タの端部で直接的に液体に変位を与えるような構成とし
ても上記の実施例と同様の効果が得られることを確認し
た。また、本発明の実施例では開口部の真下に振動板を
配置し表面波発生手段を構成したが、図3(a)に示し
たように液滴噴射室10の底面から開口部13方向に液
流が発生する構造であれば良く、例えば、図12(a)
〜(c)に示すような開口部13に対応した底面から離
れた位置にピエゾアクチュエータ12等を配置した構成
であっても本発明の実施例と同様の効果が得られること
を確認した。
【0051】
【発明の効果】本発明の液滴噴射装置では、液滴噴射点
の方向に進行する表面波の干渉により液滴を噴射させる
ため、開口部よりも遥かに微細な液滴を1滴ずつ所望の
着弾位置に飛翔できる効果がある。また、本発明の液滴
噴射装置では表面波の波長と波高を制御することによ
り、容易に液滴径を可変できる効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施例1、4における液滴吐出装置を
示す図であり、(a)および(b)はそれぞれ、液滴噴
射装置を複数個並べて構成したインクジェット用記録ヘ
ッド全体の上面図、および液滴吐出装置の断面図であ
る。
【図2】本発明の実施例1における、ピエゾアクチュエ
ータの駆動波形を示す図である。
【図3】本発明の実施例1による液滴の吐出過程を示す
図であり、(a)、(b)および(c)はそれぞれ、表
面波を発生させた状態を示す液滴吐出装置の断面図、表
面波の進行により液柱が発生した状態を示す液滴吐出装
置の断面図、および液滴が飛翔した状態を示す液滴吐出
装置の断面図である。
【図4】本発明の液滴噴射装置を記載したインクジェッ
ト記録装置の構成図であり、(a)および(b)はそれ
ぞれ記録装置の斜視図、記録ヘッドの正面図である。
【図5】本発明の実施例1による比較例を示す図であ
り、(a)および(b)はそれぞれ、液流の直接的な作
用により液滴が霧状に噴射した状態を示す液滴噴射装置
の断面図、および液流の直接的な作用により開口部の直
径にほぼ等しい大きさの液滴を吐出した状態を示す液滴
噴射装置の断面図である。
【図6】本発明の実施例2、3を示す液滴噴射装置の上
面図であり、(a)および(b)はそれぞれ、十二角形
の開口部を用いた液滴吐出装置、および六角形の開口部
を用いた液滴吐出装置を示す上面図である。
【図7】本発明の実施例5を示す液滴噴射装置の図であ
り、発熱素子と液滴噴射室から構成される表面波発生手
段を用いた液滴噴射装置の断面図である。
【図8】本発明の実施例6を示す液滴噴射装置の図であ
り、発熱素子を液滴噴射室の底面外周部にのみ配置して
表面発生手段を構成した液滴噴射装置の断面図である。
【図9】本発明の実施例7として、ホットメルト系イン
クを用いた場合の液滴噴射装置の断面図を示す。
【図10】本発明の実施例8におけるバンプ形成装置の
概略を示す側面図である。
【図11】本発明の液滴噴射装置を示す図であり、
(a)および(b)はそれぞれ、ラッパ状に開口部が深
さ方向に広がる液滴噴射室を有する液滴噴射装置の断面
図、階段状に開口部が深さ方向に広がる液滴噴射室を有
する液滴噴射装置の断面図である。
【図12】本発明の液滴噴射装置を示す断面図である。
【図13】従来のポンプの原理を利用した液滴噴射装置
の断面図である。
【図14】表面波の干渉により霧状に液滴を噴射する、
従来の液滴噴射装置を示す図であり、(a)および
(b)はそれぞれ、斜視図および断面図である。
【図15】表面波の干渉により霧状に液滴を噴射する、
従来の液滴噴射装置の断面図である。
【図16】表面波の干渉により霧状に液滴を噴射する、
従来の液滴噴射装置の断面図である。
【図17】音響波の放射圧を利用して液滴を噴射させる
従来の液滴噴射装置を示す断面図である。
【符号の説明】
10 液滴噴射室 11 振動板 12 ピエゾアクチュエータ 13 開口部 14 液体(インク) 15 液体自由表面 16 表面波 17 液滴噴射点 18 液柱 19 インクタンク 20 液滴 21 表面波発生手段 22 液流 23 発熱素子 24 気泡 25 ホットメルト系インク 26 インク供給路 27 ヒータ 28 フレキシブル基板 29 インジウムバンプ 30 インク室 31 ノズル 32 伝搬板 33 伝搬面 34 櫛形電極 35 高周波交流電圧 36 スリット 37 インク表面 38 スリット部材 39 共振子 40 インク吐出口 41 インク界面 42 圧電体基板 43 電極 44 ギャップ支持材 45 ノズルプレート 46 交差領域 47 圧電トランスデューサ 48 球面状音響レンズ 51 記録用紙 52 記録ヘッド 53 プラテン 54 キャリッジ

Claims (11)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】液滴を噴射する装置において、液滴噴射点
    を内包する開口部を有する液滴噴射室と、前記液滴噴射
    室の開口部に形成される該液滴噴射室に充填された液体
    の自由表面上に、前記液滴噴射点から概略等距離の位置
    に前記液滴噴射点方向に進行する表面波を形成する表面
    波発生手段とを少なくとも含み構成されることを特徴と
    する液滴噴射装置。
  2. 【請求項2】前記表面波は、前記液滴噴射点を中心とす
    る円形状であることを特徴とする請求項1記載の液滴噴
    射装置。
  3. 【請求項3】前記表面波発生手段は、表面波の波高およ
    び波長を任意に制御できる、波形制御手段を具備するこ
    とを特徴とする請求項1または2記載の液滴噴射装置。
  4. 【請求項4】前記表面波発生手段は、表面から深さ方向
    に徐々に口径が拡がる円形または多角形の開口部を有す
    液滴噴射室と、前記液滴噴射室の底面近傍の前記液体に
    対し、前記液滴噴室の底面側から表面側に向かう間欠的
    な液流を発生させる液流発生手段とを少なくとも含み、
    かつ前記液流の作用により前記液体の自由表面から液滴
    が噴射されないように構成されることを特徴とする請求
    項1、2または3の何れかに記載の液滴噴射装置。
  5. 【請求項5】前記液流発生手段は、前記液流の流速と液
    流の発生時間を任意に制御できる液流制御手段を具備す
    ることを特徴とする請求項4記載の液滴噴射装置。
  6. 【請求項6】前記液流発生手段は、前記液滴噴射室の底
    面に接続された前記液滴噴射室の底面から表面方向に変
    位可能な振動板と、該振動板に接続されたアクチュエー
    タとを少なくとも含み構成されることを特徴とする請求
    項4または5記載の液滴噴射装置。
  7. 【請求項7】前記液流発生手段は、前記液滴噴射室の底
    面近傍に発熱素子を配置して構成されることを特徴とす
    る請求項4または5記載の液滴噴射装置。
  8. 【請求項8】前記発熱素子は、前記液滴噴射室の底面外
    周部に配置されたことを特徴とする請求項7記載の液滴
    噴射装置。
  9. 【請求項9】前記液体は、常温では固体であり加熱によ
    り溶融するホットメルト媒体であり、かつ該ホットメル
    ト媒体を加熱する手段を具備したことを特徴とする請求
    項1、2、3、4、5、6、7または8の何れかに記載
    の液滴噴射装置。
  10. 【請求項10】前記ホットメルト媒体は、導電性を有す
    ることを特徴とする請求項9記載の液滴噴射装置。
  11. 【請求項11】液滴の噴射方法において、液体の自由表
    面上に液滴噴射点から概略等距離の位置に前記液滴噴射
    点方向に進行する表面波を形成することを特徴とする液
    滴噴射方法。
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