JPH09505534A - パターン中に正確に配置された光学補助素子を有する光学素子の製造に使用する成形部を製造する方法及び、この方法を実施する装置 - Google Patents

パターン中に正確に配置された光学補助素子を有する光学素子の製造に使用する成形部を製造する方法及び、この方法を実施する装置

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Abstract

(57)【要約】 本発明は、例えば、二次元直交または六角形マトリクスの球状レンズ(71,193,219)、または二次元直交マトリクスの切欠部(155,241)を持つ切面レンズ(149,225)を持つマイクロレンズ配列(69,171,203)のようなパターンに正確に配置される正確に調整できる光学補助素子(71,155,193,219,241)が設けられた光学素子(69,149,171,203,225)を製造する方法に関する。この方法によると、光学素子(69,171,203,225)が、複製技術によって成形部(7,141)から製造される。成形部(7,141)は、延性金属から形成され、そして光学補助素子(71,155,193,219,241)のパターンに対応しかつ、成形部(7,147)において、パターンにより連続的な位置に予圧で成形部(7,147)に押圧されるダイス表面(67,131)を有するダイス(65,129)による補助素子(71,155,193,219,241)のパターンに対応する成形形状(83,161)が与えられる。この方法で製造される光学素子(69,149,171,203,225)は、特別に高い精度と、そして特別に大きな光学的に利用する表面領域とを有する。

Description

【発明の詳細な説明】 パターン中に正確に配置された光学補助素子を有する光学素子の製造に使用する 成形部を製造する方法及び、この方法を実施する装置 技術分野 本発明は、パターンに応じて、相互に正確に隣接する光学補助素子が設けられ た光学素子の製造で使用する成形部を製造する方法に関する。この方法により、 補助素子のパターンに対応する成形形状が成形部に与えられる。 本発明は同様に、相互に対応するパターンで配置された、正確に調整された光 学補助素子が設けられる光学素子を製造する方法に関連し、この方法により、補 助光学素子のパターンに対応する成形形状が与えられ、そして光学素子が複製技 術による成形部で製造される。 本発明は同様に本発明による方法を実施する装置に関する。 本発明はさらに、本発明による方法を実施する装置における使用に適するダイ スホルダに関する。 本発明は同様に、本発明による方法により製造される光学素子が設けられる画 像表示装置に関する。 本発明はさらに、本発明による方法により製造される光学素子が設けられる画 像表示装置に関する。 本発明は同様に、本発明による方法により製造される光学素子が設けられる平 明パネル表示装置に関する。 本発明は同様に、本発明による方法により製造される光学素子が設けられる固 体画像センサに関する。 本発明は同様に、本発明による方法により製造される光学素子が設けら得るカ メラに関する。 本発明はさらに、カラー画像管用のフロントパネルを製造する方法に関する。 この方法においては、本発明により製造される光学素子が使用される。 本発明は同様に、カラー画像管用のフロントパネルを製造する装置に関する。 この装置には、本発明の方法で製造された光学素子が設けられる。 背景技術 前段で述べた成形部及び光学素子を製造する方法は、日本国特許公開公報昭和 58ー171021号公報から既知である。既知の方法で製造される光学素子は、レンズ アレイと呼ばれ、二次元配置の球状レンズを有する。この既知の方法によると、 レンズアレイに対応するダイスは、各々がレンズアレイのレンズに対応する球状 ダイス面を有しかつ、多数のレンズに対応する多数の補助ダイスが、レンズアレ イのパターンと相互に結合されるように製造される。この場合、ダイスは粘土質 セラミック材料の成形部に圧力により押し込まれ、この結果、成形部には、レン ズアレイに対応する成形形状が与えられ、成形部の粘土質セラミック材料が熱処 理により硬化される。溶融した合成材料は、圧力により成形部に流され、そして 冷却され、この結果、成形形状に対応する合成樹脂レンズアレイが形成される。 この既知の方法の欠点は、既知の方法で使用されるダイスの製造が複雑になり 、そして時間を浪費する。なぜならば、ダイスの各補助ダイスに、正確な方法で レンズアレイのレンズに対応するダイス表面が個別に設けられねばならないため である。このような既知の方法は、比較的大きな値(1mm)または丁度0.1mmま たはそれ以下の直径の比較的多くのマイクロレンズを有するマイクロレンズアレ イの製造に特に適する。付け加えると、レンズアレイの個々のレンズに対応する 調整された補助成形部の間を迅速に移動することが成形部内で発生しない。なぜ ならば、ダイスが成形部に押圧される場合に、補助ダイスの間の粘土質セラミッ ク材料の隙間を完全に貫くことができないからである。この結果、既知の方法で 製造されたレンズアレイの個々のレンズは、相互になめらかに組合わされ、そし てレンズアレイの光学的利用面領域が、レンズアレイのレンズ間のなめらかな変 位により限定される。 発明の開示 本発明は、前述の既知の方法の欠点が可能な限り解決され、この結果、成形部 及び光学素子が簡単かつ時間を浪費しない方法で製造され、そして光学素子が比 較的大きな光学的利用面領域を持つ方法により製造される前段で述べたような成 形部及び光学素子を製造する方法を提供することを目的とする。 本発明によると、成形部を製造する方法及び光学素子を製造する方法において 、成形部は、延性金属から形成されかつ、光学補助素子の形状に対応するダイス 表面が設けられかつ、前記パターンに対応する連続的な位置に所定の力で成形部 を押圧するダイスにより成形形状が与えられることを特徴とする。このダイスは 、成形部において、例えば、光学素子の多数の補助素子に対応して多数繰返され るパターンに対応する連続的な位置に押圧される。これは、必要とされる光学補 助素子に対応するダイス表面が、ダイスの製造中、正確な方法で一度だけ作られ ることを意味する。成形部におけるダイスの複製の製造に要求される時間が光学 補助素子に対応するダイスを製造するために必要な時間と比較して非常に短い場 合、本発明による方法は、比較的短い時間で複製できる。要求されたダイスが、 比較的簡単な構造を持ち、そして一般的かつ既知の位置合わせ装置によって、こ のパターンに対応する連続的な位置を成形部に対して設定できる。ダイスが毎時 所定の力で成形部に押圧されることにより、個々の光学補助素子に対応する成形 形状の連続的な補助形状が、略々独立した形状を持つ。これは、成形部とダイス との間の接触面領域で、成形部の延性金属が可塑的かつ排他的に変形されるよう に成形部に押圧され、この接触面の周囲の変形が著しく小さく、この結果、成形 部に設けられかつ、光学補助素子に対応する補助形状は、調整された補助形状の 並びにおいてそれ以上変形されない。ダイスがパターンに対応する連続的な位置 の成形部に押圧されると、補助形状の間の急激な変化部が形成される。これに応 じて製造された成形部は、特別に高い精度を持ち、この成形部により形成された 光学素子は、高精度及び比較的大きな光学的利用面領域を持つ。 本発明による特別な実施例は、成形部には、当該成形部に光学素子に要求され る平滑度の面が望ましくは設けられた後、ダイスにより成形形状が設けられるこ とを特徴とする。延性金属は、成形形状の製造の間に可塑的に変形される。成形 形状用に、ダイスは所定の力で毎回成形部中に押圧され、延性金属の平滑面は、 変形が実質的に維持される間存在する。成形部に光学素子に要求される光学的品 質の平滑度の面が最初に設けられ、そしてダイスにより成形形状が与えられると 、 成形形状及び成形部により製造される光学素子は、所望の平滑度の面が得られる 。 本発明による方法の更なる実施例は、成形部が、前記ダイスによる前記成形形 状を処理する間、液層に浸されることを特徴とする。液層に成形部を浸すことは 、簡単かつ効果的な方法で、空気中に存在する埃や微塵がダイスと成形部との間 に入り込んで、ダイスにより製造されるべき成形形状が損傷してしまうことを防 止する。 本発明による方法の更なる実施例は、延性金属が、銅、アルミニウム、亜鉛を 含有することを特徴とする。これら金属は、これらの良好な変形性によって、本 発明による方法で使用することが際だって適している。 本発明による方法の特別な実施例は、ダイスには球状ダイス表面が設けられか つ、六角形パターンで成形部に押圧されることを特徴とする。この方法の実施例 により製造される光学素子は、実質的に限定されない光学的利用表面領域を持つ 球状レンズの二次元六角形マトリクスを有する。 本発明による方法の更なる実施例は、ダイスが平坦なダイス表面を持ちかつ、 方形パターンで成形部に押圧され、さらにダイスがパターンの連続的な位置の2 つの正確な直交ピポット軸上で、所望の角度でピポット回転されることを特徴と する。この方法の実施例により製造される光学素子は、二次元方形マトリクスを 有する切面レンズと呼ばれるもので、各切面レンズの切面は、基準面に平行に延 在する二つの正確な直交ピポット軸上で、切面レンズの基準面に対してピポット 回転される平坦なレンズ面を有する。ダイスがパターンの連続位置でピポット回 転される角度は予め規定され、その結果、異なるピポット角度を持つ切面に対応 する切面レンズを、この方法の実施例により製造できる。 本発明による方法を実施する装置は、モジュールを固定する動作片ホルダと、 ダイスを固定する部品ホルダと、位置合わせ装置とが設けられ、部品ホルダには 、位置合わせ装置によって動作片ホルダに対応して配置可能な直線ガイドと、当 該直線ガイドに対応して移動可能なように案内されかつ、所定の予圧の作用の基 で直線ガイドの停止位置に停止されるダイスホルダとが設けられたことを特徴と する。ダイスは、位置合わせ装置によって、パターンに応じて成形部に対する連 続的な位置に配置され、そして成形部に押圧される。ダイスが位置合わせ装置に よ り次の位置に移動されるとき、ダイスホルダは停止位置で休止し、そしてダイス が位置合わせ装置により成形部に押圧されるとき、予圧に対応して停止位置から 放たれ、そしてダイス及び成形部に力が作用する。予圧は、例えば機械的スプリ ングにより提供される。この予圧は、ダイスが押圧方向に平行な方向でダイスホ ルダが支配する位置で実質的に自由に成形部を押圧する力を持ち、機械的スプリ ングの弾性部材を適切に選択することにより実現する。この力は即ち、正確に規 定された値で、この結果、成形部形状が正確な方法で実現する。 本発明による方法を実施する装置の特別な実施例では、ダイスホルダが、直線 ガイドに対応して移動可能なように案内される第1担体と、当該第1担体のピポ ット案内に対応してピポット回転される第2担体と、当該第2担体のピポット案 内に対応してピポット回転される第3担体とを有し、ダイスを第3担体に固定可 能でかつ、二つの正確な直交ピポット軸の各々が、第1担体のピポットガイドと 第2担体のピポットガイドの各々の仮想軸を形成することを特徴とする。二つの ピポットガイドを使用することは、角度を設定することで、ダイスが二つのピポ ット軸上で拘束されてピポット回転されることをもたらす。例えば、一般的で既 知の二つのアクチュエータを角度を設定する装置として使用しても良い。 特別な目的のために使用される、光学素子の特性が使用されかつ、本発明によ る方法で製造される液晶表示パネルは、光学素子がマイクロレンズアレイで、表 示パネルに、画像表示素子のパターンを有しかつ、光が入射する側でマイクロレ ンズアレイと隣接する液晶層が設けられ、マイクロレンズアレイの各光学補助素 子が、液晶層の画像表示素子の一つに対応することを特徴とする。 特別な目的のために使用される、光学素子の特性が使用されかつ、本発明によ る方法で製造される液晶表示パネルは、光学素子がマイクロレンズアレイで、画 像表示装置に、光学放射源、ビーム形成光学システム、少なくとも一つの画像表 示パネルを持つ画像表示システムと、プロジェクションレンズシステムと、画像 プロジェクションスクリーンとが設けられ、画像表示パネルには、放射源に対向 する側にマイクロレンズアレイが設けられることを特徴とする。 特別な目的のために使用される、光学素子の特性が使用されかつ、本発明によ る方法で製造されるフラット表示装置は、画像素子がマイクロレンズアレイで、 平面パネル表示装置には、照明用ビームを供給する照明システムと、表示される べき画像情報を変調する画像表示素子の定義されたパターンを持つ画像表示パネ ルとが設けられ、マイクロレンズアレイが、表明システムと画像表示パネルとの 間に配置されかつ、画像表示パネルの画像表示素子のパターンに対応する光学補 助素子が設けられることを特徴とする。このようなフラットパネル表示装置(バ ックライト表示装置)には、例えば、文献“Developers Cultivate TFT LCDs Sp ecifically for Notebook Computers”by Sakae Araiin Display Devices,Spri ng 1994,no.9,pp.14-17から既知であるマイクロレンズアレイが設けられる 。 上述の画像表示装置及びフラットパネル表示装置で使用される画像表示パネル は、例えば、液晶表示装置(LCD)と呼ばれている。このような表示パネルは 、二次元配列で配置されたかつ、個別に調整可能な多数の画像表示素子またはピ クセルを有する。独立したピクセルの各々は、ピクセルの光学的利用表面領域が 限定される電気的調整素子を持つ。マイクロレンズアレイの各光学補助素子が表 示パネルのピクセルの一つに対応するマイクロレンズアレイは、独立したピクセ ルの各々の光学的利用面領域で、表示パネルに入射する光の焦点合わせを行うマ イクロレンズアレイが本発明による方法で製造されると、比較的大きな光学的利 用面領域を持ち、ビーム形成光学システムから到来するビームが、独立したピク セルの光学的利用部分に焦点合わせされ、この結果、表示装置は、特に強い光を 出力する。表示装置で使用される表示パネルは、例えば、既知のディジタルマイ クロミラー装置(DMD)等であっても良いことに注意されたい。 特別な目的のために使用される、光学素子の特性が使用されかつ、本発明によ る方法で製造される固体画像センサは、光学素子がマイクロレンズアレイで、固 体画像センサが、電荷結合素子と、放射を電荷に変換する画像センサ素子のパタ ーンとを持つ表面に設けられる半導体基体を有し、マイクロレンズアレイの各光 学素子が、半導体基体の画像センサに対応することを特徴とする。 特別な目的のために使用される、光学素子の特性が使用されかつ、本発明によ る方法で製造されるカメラは、光学素子がマイクロレンズアレイで、カメラには 、対物レンズシステムと、当該対物レンズシステムに対向する側にマイクロレン ズアレイが設けられる少なくとも一つの固体画像センサを持つ画像センサシステ ム が設けられることを特徴とする。 カメラで使用される固体画像センサは、二次元配列に配置された多数の画像セ ンサ素子を有する。固体画像センサの光学的利用面領域は、画像センサ素子によ り発生される電荷が伝送される手段による電荷結合素子(CCD)の存在により 限定される。マイクロレンズアレイの各光学補助素子が固体画像センサの画像セ ンサ素子の個々に対応するマイクロレンズアレイは、独立した画像センサ素子の 光学的利用面領域で、画像センサ装置に入射する光を焦点合わせする。本発明に より製造されたマイクロレンズアレイが比較的大きな光学的利用面領域を持つと 、対物レンズシステムから発生する光が独立した画像センサ装置の光学的利用部 分で実質的に全て焦点合わせされ、その結果、固体画像センサは、特別に強い感 光性を持つ。 特別な目的のために使用される、光学素子の特性が使用されかつ、本発明によ る方法で製造されるカラー画像管のフロントパネルを製造する方法は、フロント パネルの内側に感光材料の層が設けられ、フロントパネルが、当該フロントパネ ルの内側に配置されたシャドウマスクを介して点光源によって連続的に照明され 、光学素子がシャドウマスクと光源との間に配置されることを特徴とする。 特別な目的のために使用される、光学素子の特性が使用されかつ、本発明によ る方法で使用されるカラー画像管のフロントパネルを製造する装置は、点光源と 、光学素子用の第1ホルダと、フロントパネル及び当該フロントパネルの内側に 配置されるべきシャドウマスク用の第2ホルダが設けられることを特徴とする。 シャドウマスク及び照明材料の構造を介して点光源によりフロントパネル上の 感光材料を照明することは、画像管の製造工程で燐光物質が堆積される開口を持 つフロントパネルの内側で、対称ブラックマトリクスと呼ばれる構造を形成する 。使用される光学素子は、二次元方形アレイの切面を有する切面レンズである。 切面レンズを使用すると、フロントパネルとシャドウマスクを形成するカラー画 像管において、フロントパネル上でシャドウマスクにより形成される光源の投影 が、シャドウマスクによりフロントパネル上で形成される電子ビームの衝突点に 入射するということを実現する。カラー画像管用のフロントパネルを製造するこ のような方法は、例えば、ヨーロッパ特許出願公開第0294867号公報から既知で ある。 使用される切面レンズが本発明による方法で製造されると、このレンズは非常に 小さな切面間隔を持ち、この結果、個々の切面の間の間隔により形成される切面 レンズの非連続性も特別に小さくなる。非常に均一なフロントパネルの照明は、 非常に小さな非連続性により実現される。 図面の簡単な説明 第1図は本発明による方法を実現する装置の平面図である。 第2図は図1に示したII−II部分の断面図である。 第3図は成形中に第2図の装置のダイスが押圧する工程を示す図である。 第4A図は図1の装置により形成された成形部の平面図である。 第4B図は第4A図のIVb−IVb部分の断面図である。 第4C図は第4A図のIVc−IVc部分の断面図である。 第5A図は第4A図の成形部で形成されるレンズ配列の位置を示す平面図であ る。 第6図は本発明による方法を実現する装置の他の実施例の部品ホルダ及び第ホ ルダを、一部を側面図として、一部を断面として示した図である。 第7図は第6図の部品ホルダ及びダイスホルダを、一部を正面図として、一部 を断面図として示した図である。 第8A図は第6図に示したような装置の他の実施例により形成された成形部の 平面図である。 第8B図は第8A図のVIIIb−VIIIb部分の断面図である。 第8C図は第8A図のVIIIc−VIIIc部分の断面図である。 第9A図は第8A図の成形部分で形成される切面レンズ部分の平面図である。 第9B図は第9A図のIXb−IXb部分の断面図である。 第10A図は第1図の装置により形成される成形部で形成されるレンズ配列を 持つ画像表示装置を示す図である。 第10B図は第10A図の画像表示装置の多数のピクセルを示す図である。 第10C図は第10A図の画像表示装置のマイクロレンズ配列を示す図である 。 第11A図は固体画像センサを有するカメラを示す図である。 第11B図は第11A図のカメラの固体画像センサの部分を示す図である。 第12図はカラー画像管用のフロントパネルの形成する切面レンズを有する装 置を示す図である。 発明を実施するための最良の形態 第1図及び第2図に示したような本発明による方法を実現する装置1は、X方 向と、このX方向と交差するY方向に平行に延在する支持面5を持つ作動片ホル ダ3を有する。このホルダ上には、形成されるべき成形部7を配置でき、そして 第2図に示されたようにクランプ手段9により固定できる。装置1はさらに、第 1および第2図に示されたように、X方向に平行に延在する直線ガイド13とX スライダ15とを持つ位置合わせ装置11を有する。Xスライダ15は、伝達装 置19を介してモータ21により駆動可能なスピンドル17により、直線ガイド 13に沿って配置可能である。スピンドル17は、装置1のフレーム23に対し て移動され、そして電気モータ21はフレーム23に固定される。Xスライド1 5には、伝達装置31を介して電気モータ33により駆動できるスピンドル29 により配置可能なYスライド27に沿ったY方向と平行に延在する直線ガイド2 5が設けられる。スピンドル29は、Xスライド15に沿って移動され、そして 電気モータ33は、Xスライド15に固定される。第2図に示すように、Yスラ イド27には、X及びY方向と交差するZ方向に延在する直線ガイド35が設け られている。Zスライダ37は、伝達手段41を介して電気モータ43により駆 動可能なスピンドル39により、直線ガイド35に沿って配置可能である。スピ ンドル39は、Yスライド27に対して移動され、そして電気モータ43はYす ダイスど27に固定される。Zスライド37の伝達手段41及び電気モータ43 のみが第1図で確認できることに注意されたい。 第2図がさらに示すように、部品ホルダ45は、Zスライド37に固定され、 このホルダには、Z方向と平行に延在する中心線49を持つ円筒段付きチャンバ 47が設けられている。この段付きチャンバ47は、第1チャンバ部分51と、 第1チャンバ部分51よりも小さな直径の第2チャンバ部分53とを有する。第 2チャンバ部分53は、第2チャンバ部分53に対応するZ方向に移動する形態 で案内されかつ、終端ディスク59が設けられたダイスホルダ57の円形シャフ ト55用の直線ガイドを形成する。この終端ディスク59は、段付きチャンバ4 7の肩部により形成される停止位置63に、第1チャンバ部分51に配置された 機械的なヘリカルスプリングによる明確に規定された予圧の作用の基で押圧する 。第2図に示すように、ダイスホルダ57に固定されるダイス65は、滑らかな 球状ダイス面67を持ち、そして例えば、更迭若しくはサファイアから形成され る。部品ホルダ45及びダイスホルダ57は、位置合わせ装置11により、X方 向、Y方向そしてZ方向に平行な方向に動作片ホルダ3に対して連動して位置合 わせ可能である。 成形部7は、詳しく第4A,B,C図に示されており、以下に説明される方法に よって、装置1により形成される。成形部7は、例えば、レンズ配列または切面 レンズと呼ばれるパターン中に相互に対応して配置される正確に調整された光学 補助部品が設けられた光学素子を製造するために設けられる。第5A,Bは、レ ンズ配列69の例を示す。レンズ配列69の光学補助素子は、二次元の六角形配 列に対応するレンズ配列69の一方の面73に設けられた球状レンズ71である 。第5B図は、外側に平面75が設けられたレンズ配列69を示す。レンズ配列 69は、一般的でかつ、例えば、成形部7が紫外線照射の作用で硬化する液状合 成樹脂で満たされる既知の複製技術による成形部7により製造され、この成形部 7は次いで第4B,C図に示されたプレート77で覆われ、そして成形部7中の 合成樹脂の屈折率に対応した屈折率を持つ透明合成材料から形成される。第4A 図は、プレート77の概略のみを破線で示すことに注意されたい。成形部7の合 成樹脂は、当面プレート77を介して照射される紫外線にさらされ、そして第5 A,B図に示される透明プレート77から構築されるレンズ配列69が形成され 、そして成形部7により形成される光学補助素子71の配列が形成される。 成形部7は、例えば、銅、アルミニウム、亜鉛、またはこれら材料を有する合 金のような延性金属から製造される。第4A図に示すように、成形部7は、平坦 な底81を持つ成形チャンバ79を有し、このチャンバの成形形状83は、製造 される光学素子69の補助素子71のパターンに対応するような方法により、装 置1に設けられる。第4A図は、簡略化のために成形形状83のいくつかの部分 のみを示すことに注意されたい。この方法によると、成形チャンバ79の底81 には、一般的、そして、例えばダイアモンド研磨工具によって、既知の方法で、 光学素子69として望まれる光学品質である滑らかな面が最初に与えられる。 成形部7は次いで、成形チャンバ79の底81がX及びY方向に平行に延在す るように、装置1の部品ホルダ3に固定される。ダイス65の球状ダイスの表面 67は、一つの光学補助素子、即ち製造されるべき光学素子69の一つの球状レ ンズ71に対応する。この方法によると、成形チャンバ79の底81の成形部の 形状83は、ダイス65が製造されるべき光学素子69の補助素子71の六角形 に応じて配置された装置11により、底81の対応する位置に配置され、ダイス 65が各位置において底81に押圧されることにより設けられる。ダイス65の 押圧工程は、第3図に詳細に記されている。ダイス65がXスライド15及び/ またはYスライド27の位置合わせによって次の位置に変位された後であって、 ダイスホルダ57たチャンバ47の停止位置63に対して静止している間、ダイ ス65は、Zスライド37の変位を介して底81に押圧される。第3図に示すよ うに、ダイスホルダ57の終端ディスク59はこの場合、停止位置63から離れ 、この結果、ダイス65は、機械的ヘリカルスプリング61の事前に規定された 予圧に応じた力で底81に押圧される。この押圧は、予圧及びヘリカルスプリン グ61の弾性モジュールを適切に選択して実現する。予圧は、終端ディスク59 のクリアランスについてヘリカルスプリング61の弾性力を増加させることは望 ましくは小さくし、この結果、底81に押圧されるダイス65が持つ力は、押圧 の間、Zスライダ37及びZ方向に平行な部品ホルダ45により規定される位置 に実質的に依存し、Z方向に平行な部品ホルダ45に実質的に依存する。 一方、ダイス65が成形部7の底に押圧されると、ダイス表面67の下方に位 置する成形部7の延性金属が可塑的に変形され、この結果、この金属は、ダイス 表面67、即ち光学素子69の光学補助素子71に対応する形状になる。ダイス 65の底81に形成される正確な成形形状83は、光学素子69のパターンに応 じた連続的な位置に繰返し押圧される。 ダイス65が成形部7に押圧される力の適切な選択は、成形部7の延性金属が ダイス65と底81との間の接触面の視野内に排他的に可塑的に変形される。こ の接触面から僅かに離れた位置における可塑的変形は、非常に小さい形で見つけ られ、この結果、接触面と隣接しかつ、成形部7に既に形成された成形形状83 の部分は、補助素子に対応する基本形状の押圧に対しては変形されない。接触面 から僅かに離れた位置の非常に小さな変形は、成形部7の延性金属が、ポリクリ スタリン構造を持つという事実から説明できると仮定すると、個々の結晶の間に 存在することになる。比較的小さな力が延性金属の面に作用されると、結晶と格 子の内側との間を切断しないことが実現するが、ダイス65の下に存在する延性 金属の僅かな圧力を介して作られる結晶の間に窪みが排他的に存在する。切断の 実施が無ければ、形成される成形形状83の部分の可塑変形は存在しないであろ う。より強い力の基で結晶と格子との間を切断するならば、この結果から、可塑 変形がダイス65から僅かに離れた場所に存在する金属に生じ、この変形は、配 置されるべき金属の量が球状ダイス表面67の比較的浅い押圧深さの点で比較的 少ないため、そして配置されるべき金属が比較的大きな量で伸縮するため、比較 的小さいであろう。 第4A,B,C図に示され、そして第5A図に示されたレンズ配列69の製造 に使用される成形部7は、球状押圧部85の二次元六角形配置を有する。第4B ,C図に示された隣接する押圧部のピッチは、記載した例の場合、略々0.15mmで 、一方、第4B,C図において、押圧深さdは、略々6μmである。説明した実 施例によるこのような配列は、略々0.5mmの直径と、略々10Nの予圧を持つ球 状ダイス表面67により形成される。光学素子69の単一光学補助素子71に対 応するダイス表面67は、延性金属がダイス65の各押圧でダイス表面67の周 囲を適切に流れる、という事態を実現できる。この結果、球状境界87が、成形 工場83を形成する個々の押圧部85の間に形成される。第4B,C図に示すよ うに、成形部7の押圧部85の各々は、円の一部、即ち球状ダイス表面65の長 手方向に平行な部分にそれぞれ対応する境界87を形成する。成形部7は、即ち 、特別に高次元の精度を、即ち押圧部85の一つの球状面の位置部を形成する成 形形状83の表面の実質的に全ての面について有する。成形部7により製造され る光学素子69は、この結果、特に有用な光学面、即ち光学補助素子71の一つ の球状面の一部を形成する光学素子69の横73において実質的に有用である光 学 面を有する。 第5A,B図に示され、成形部7により製造されるレンズマトリクス69は、 マイクロレンズ配列と呼ばれる。このようなマイクロレンズ配列は、例えば1mm よりも小さな直径の多数のマイクロレンズを有する。ダイス65のダイス表面6 7を一つの光学補助素子のみ、即ちレンズアレイ69の一つのマイクロレンズ7 1のみに対応つけて使用することにより、ダイス65は、簡単な方法で作ること ができる。成形部7の底81の表面の平滑度は、成形部7の底81におけるダイ ス65の押圧工程により影響されないことが実験により見いだされた。底81に 本発明による所望の表面平滑度が設けられると、そしてダイス65により成形形 状83が与えられると、所望の表面平滑度が比較的簡単な方法で実現される。 一方、成形形状83が設けられる際、埃及び成形部7の底81とダイス表面6 7との間の微塵の存在は、このような埃及び微塵が成形形状83を破損するため に防止されねばならない。ダイス65により成形形状83を設けることは、例え ば整えられた空間のような実質的な無塵環境において実施されるべきである。装 置1の特別な実施例において、部品ホルダ3は、例えば、動作中に水が満たされ る第2図に破線で示したような液体層89に配置される。この特別な実施例にお いて、成形部7は、液体層89に浸され、そして成形部形状83が設けられ、ダ イス65と成形部7の底81との間の埃及び微塵の存在は、簡単かつ効果的な方 法で防げる。 第6図及び第7図は、本発明による方法を実施する装置95の他の実施例の部 品ホルダ91とダイスホルダ93とを示す。部品ホルダ91は、装置1の部品ホ ルダ45として実質的に示され、そして部品ホルダ45,91及び装置1,95 の対応する部分は、以後同一番号で示す。ダイスホルダ57のようなダイスホル ダ93は、部品ホルダ91の第2チャンバ部分53中を移動可能なように案内さ れる円形シャフト97と、第1チャンバ部分51に配置された機械的ヘリカルス プリング101の所定の予圧の作用の基で段状チャンバ47の停止位置63に向け て押圧する終端ディスク99とを有する。円形シャフト97及び終端ディスク9 9は、第1に、ダイスホルダ93の分岐担体103に依存する。第6図及び第7図 に示すように、第1担体103は、ピポットガイド105,107と協働する2つの回転ス ロット111,113が設けられたダイスホルダ93の第2担体109用の2つの回転ピボ ットガイド105,107を有する。第2担体109は、ピポットガイド105,107を使用し て、X方向に平行に向けられるピポットガイド105,107の第1仮想ピポット軸115 上で、第1担体103に対して回転可能である。さらに第6図及び第7図に示すよ うに、第2担体109は、ピポットガイド117,119と協働する二つの円形スロット12 3,125が設けられる第ホルダ93の第3担体121用に、二つの円形ピポットガイド 117,119を有する。第3担体121は、ピポットガイド117,119の使用を介して、Y 方向に平行に向けられかつ、第1仮想ピポット軸115と交差するピポット軸117,1 19の第2仮想軸127上で、第2担体109対して回転可能である。ダイス129は、第 3担体121に固定され、さらにこのダイスには平坦な長方形のダイス表面131が設 けられる。第1担体103に対する第2担体109及び第2担体109に対する第3担体1 21の自然な位置において、ダイス表面131は、X及びY方向に平行に延在し、そ して第1仮想ピポット軸115及び第2仮想ピポット軸127の交点が、ダイス表面13 1の中心Mに位置される。 さらに第6図及び第7図に示すように、一般的及び実質的に既知である第1線 形電気的アクチュエータ133は、第1担体103に固定され、このアクチュエータの 出力シャフト135は、第2担体109に固定された結合ロッド137に結合される。第 1アクチュエータ133と同一の第2線形電気的アクチュエータ139は、第2担体10 9に結合され、そして第3担体121に固定された結合ロッド143に結合された出力 軸141を有する。第1仮想ピポット軸115上の第2担体109のピポット角度αは、 第1アクチュエータ133により調整され、そして第2仮想ピポット軸127上の第3 担体121のピポット角度βは、第2アクチュエータ139により調整される。第6図 及び第7図に示すように、ダイスホルダ93の回転シャフト97は、弾性的に変 形可能な薄膜145を介して第1チャンバ部分51に固定され、この結果、担体103 ,109,121及びダイス129が、部品ホルダ91の中心線49上では回転できない。 装置95は、第8A,B,C図に示された成形部147を製造するために使用さ れ、そして切面レンズと呼ばれるレンズを製造するために設けられる。第9A, B,C図は、切面レンズ149の例を示す。切面レンズ149は、平坦な表面151を持 つ一方の側部と、方形光学補助素子155の二次元直交配列を持つ他の側部153に設 けられ、各補助素子155は、例えば、表面151である切面レンズ149の基準面に対 応する2つの正確に直交するピポット軸上で回転する平坦なレンズ面157を有す る。切面レンズ149は、例えば、レンズアレイ69を製造する上述のような複製 技術により、成形部147によって製造される。 成形部7のような成形部147は、延性金属で作られ、成形部147の底159は、切 面レンズ149に要求されるような光学品質の表面平滑度が設けられる。成形部147 は、成形部147の底159がX及びY方向に平行に位置するように、装置95の動作 片ホルダ3に固定される。ダイス129のダイス表面131の方形面は、切面レンズ14 9の或る光学補助素子155に対応する。この方法によると、切面レンズ149に対応 する成形形状161が与えられる成形部147の底159が、アクチュエータ133,139によ り仮想ピポット軸115,127上の角度α,βが適切に規定された各々の位置で回転 され、そしてヘリカルスプリング101の所定の予圧に対応する力で底159が実質的 に押圧される間、ダイス129が切面レンズ149の補助素子155の直交パターンによ り装置95の位置合わせ装置11により底159の連続した位置に移動される。角 度α,βは、個別に調整できる。付け加えると、角度α,βは、製造される連続 的な成形部用に、それぞれ調整されても良い。この結果、多数の異なる成形部を 装置95で作ることができる。第8A図は、簡略化のため、成形形状161の一部 分のみを示すことに注意されたい。 装置1に関連して上述したように、装置95は、比較的小さな径の比較的多数 の光学補助素子を有する光学素子の製造に特に適する。第9B,C図に示すよう に、成形部147により製造された切面レンズ149は、切面レンズ149を介して放射 される光の望まれない反射を生じる補助素子155各々の間の不連続な境界を通常 は有する。切面レンズ149が、例えば点光源とフラットスクリーンとの間に配置 されると、このスクリーンの照明の不均一性は、反射により生じる。成形部147 により製造された切面レンズ149が、それぞれ比較的小さな径の(例えば、1mm またはそれ以下)の比較的多数の補助素子155を持つことにより、不均一性が比 較的小さくかつ、スクリーンの平均的な照明が得られるように、非連続の境界16 3が比較的小さな径を持つ。 第10Aは、本発明による方法により製造されたマイクロレンズ配列171を有 する画像表示装置169を示す図である。このような画像表示装置には、例えば 、ヨーロッパ特許公開公報EP-A-0574269号から既知であるマイクロレンズ配置が 設けられる。放射源173により放射された光は、簡略化のために、単一コンデン サレンズ179として第10A図に示された集中光学システムによる平行ビーム177 に整えられる。画像表示装置169はさらに、例えば、第10A図に示された液晶 表示面181のような画像表示装置を有する。表示パネル181には、画像表示素子ま たはピクセル185の二次元直交配列を有する一般的で既知の液晶層183が設けられ る。液晶層183の長手方向端部のみが第10A図に示されていることに注意され たい。第10B図に示すように、ピクセル185の各々は、ブロックとしてのみ表 示された電気的なスイッチ素子189に囲まれた光学的利用部分187を有する。この スイッチ素子によると、ピクセル185の光学的利用部分187を個別に光学的に調整 できる。第10B図が示すように、各ピクセル185の光学的利用部分187は、スイ ッチ素子189の存在により、ピクセル185の中心部分に限定される。第10A図に 示すように、液晶表示パネル181には、光が入射する液晶層183の側部191に、上 述のマイクロレンズアレイ171が設けられる。第10C図に示すように、マイク ロレンズアレイ171は、各マイクロレンズ193が液晶表示層183のピクセル185の一 つに対応するような球状マイクロレンズ193の二次元直交マトリクスを有する。 マイクロレンズアレイ171は、液晶層183の独立ピクセル185の光学的利用面187に 平行ビーム177を向ける。第10A図に示すように、画像表示装置169はさらに、 フィールドレンズ195を有し、このレンズにより、表示パネル181からの光が、簡 略化のために単一プロジェクションレンズ197として示されるプロジェクション レンズシステム及びプロジェクションスクリーン199に、そこで収束するように 向けられる。マイクロレンズアレイ171が本発明により製造されると、マイクロ レンズアレイ171は、比較的大きな利用可能な光学面を持ち、この結果、平行ビ ーム177は、非常に限定された角度のみで反射され、そして液晶装置183の独立ピ クセル185の光学的利用面187上に略々正確に焦点合わせされる。画像表示装置16 9は、これに応じて、特に強い光の出力を有する。 第11A図は、本発明による方法で製造されたマイクロレンズアレイ203が設 けられるカメラ201を示す図である。カメラ201は、簡略化のため、第11A図の 単一対物レンズ205として示された対物レンズシステムを有する。カメラ201はさ らに、第11A図に示された固体画像センサ207を持つ画像センサシステムを有 しかつ、対物レンズ205に対向する側にマイクロレンズアレイ203が設けられる。 マイクロレンズアレイ203及び固体画像センサ207の長手方向端部のみが第11A 図に示されていることに注意されたい。固体画像センサ207は、第11B図に示 されている。IT形式(Interline Type)の固体画像センサには、既知の、例えば 日本特許出願公開公報平成1-257901号に記載されたようなマイクロレンズアレイ が設けられている。第11B図が示すように、固体画像センサ207は、画像セン サ素子または垂直電荷結合素子215及び水平電荷結合素子217と呼ばれるシステム を介して第11B図にのみ示された電気的読取りユニット218に伝送可能な電荷 への放射に変換する二次元直交配列を持つ面211に設けられた半導体本体209また はホトダイスオード213の何れかを有する。電荷結合素子215,217は、例えばアル ミニウムの保護層により、放射に対するシールドがなされる。第11B図から明 らかなように、固体画像センサ207の光学的利用面領域は、ホトダイオード213の 領域に限定される。明確化のために第11B図には示されていないマイクロレン ズアレイ203は、第10C図に示されたマイクロレンズアレイ171に対応する球状 マイクロレンズ219の二次元直交アレイを有する。各マイクロレンズ219は、固体 画像センサ207のホトダイスオード213に対応する。固体画像センサ207の光入射 側で、マイクロレンズアレイ203は、個々のホトダイスオード213の光学的利用面 の対物レンズ205を介して固体画像センサ207に入射光を焦点合わせする。本発明 による方法で製造されたマイクロレンズアレイ203においては、マイクロレンズ アレイ203が特に大きな光学的に利用可能な面領域を持ち、この結果、固体画像 センサ207の入射光が非常に限定された角度で反射され、そして個々のホトダイ スオード213の光学的利用面領域に正確に焦点合わせされる。ここで使用される カメラ201及び固体画像センサ207は、これに応じて、特に高い感光性を有する。 本発明により製造されたマイクロレンズアレイは、FTタイプ(Frame Transfer t ype)の固体画像センサに適応することに注意されたい。使用される電荷結合素 子は、所望の画像センサ素子及び、例えば、“静止画”撮像素子が設けられる素 子である。 第12図は、カラー画像管用のフロントパネル223を製造する装置221を示す図 である。装置221には、本発明により製造される切面レンズ225が設けられる。切 面レンズが設けられたこのような装置は、例えば、ヨーロッパ特許出願公開EP-A -0294867号公報から既知である。第12図に示すように、装置221は、点光源231 が中心に配置された底229を持つ筐体227を有する。装置221により製造されるべ き切面レンズ225用の第1ホルダ233及びフロントパネル223用の第2ホルダ235が 、さらに筐体227に設けられる。第12図に示すように、フロントパネル223に沿 ったシャドウマスク239は、フロントパネル223の内側237において第2ホルダ235 上に配置される。シャドウマスク239は、フロントパネル223とシャドウマスク22 9が協働するカラー画像管中のフロントパネル223に対応するシャドウマスク239 により支配される位置に対応するフロントパネル223に対する対応位置に存在す る。 フロントパネル223の内側237には、装置221により、開口が設けられた対称ブ ラックマトリクスが設けられている。燐光物質がフロントパネル223を製造する 連続的な行程においてブラックマトリクスの開口に堆積され、この結果、後に所 望の燐光物質ドットが設けられる。フロントパネル223の内側237は、この目的の ため、最初に、例えば一般的で既知の陽子フォトレジストのような感光材料の層 が設けられる。フロントパネル223の感光材料が装置221によりシャドウマスク23 9を介して露光されると、その後、露光材料が現像液で現像される。この方法で 形成されるべきブラックマトリクスの開口がシャドウマスク239により、対応す るカラー画像管で形成される電子ビームの入射点と一致しなければならないこと により、そして一般に対応カラー画像管の電子ビームが湾曲経路に依存すること により、電子ビームの入射点と一致するフロントパネル223上のシャドウマスク2 39により形成される光源231の放射である光源231の光は、切面レンズ223で偏向 されねばならない。この目的のための切面レンズ225は、第9A図に示された切 面レンズ配置149に対応する方形切面241の二次元直交配列を有する。この切面は 、電子ビームの経路に依存する角度の値で、切面レンズ225の面151に平行に延在 する二つの共通垂直ピポット軸上でピポット回転する。第9A,B,C図に示さ れた切面レンズ149を参照して上述したように、本発明により製造された切面レ ンズ225は、比較的小さな径の比較的多数の補助素子241を有する。この結果、切 面 レンズ225に入射する光源231からの光は、非常に限られた角度でのみ反射し、そ して切面レンズ225によるフロントパネル223の特別に均一の照明が実現される。 上述の光学素子69,149,171,203,225は、光学補助素子71,155,193, 219,241を有し、光学素子69,171,203の光学補助素子71,193,219は、そ れぞれ同一である。本発明により同一ではない光学補助素子を持つ光学素子を製 造することが可能であることに注意されたい。上述の例の各光学素子は、切欠部 155,241が相互の異なる角度でピポット回転される切面レンズ149,225である。 この方法によるとしかしながら、レンズ配列は、相互に異なるレンズを設けて製 造されても良い。これを実現するためしかしながら、多数の異なるダイスが、製 造されるレンズアレイの多数の異なるレンズに対応して使用されねばならない。 付加えると、光学素子の製造を考慮する方法では、光学補助素子が異なるパター ンで配置される、光学補助素子が不規則なパターンで配置される、または異なる という形式の補助素子が使用される。光学補助素子が、レンズマトリクス69, 171,203及び切面レンズ149,225のような凸面、凹面、または平面レンズではな い方法、しかしながら、光学補助素子が、例えば、平面、凹面、または凹面鏡で ある方法により光学素子を製造することは可能である。 上述のダイス65,129が、それぞれ製造されるべき光学素子69,149,171 ,203,225の単一光学補助素子71,155,193,219,241にそれぞれ対応するダ イス表面67,131を有する。本発明による方法において、製造されるべき光学 素子の二つまたはそれ以上の光学補助素子に対応するダイス表面をダイスに設け ることが可能であることに注意されたい。このような多重、単一片のダイスの製 造には、より多くの時間を必要とする。しかしながら、成形形状の供給が、多重 ダイスにより迅速に進む。付け加えると、このような多重ダイスは、光学補助素 子間の間隔のずれが、一定間隔で発生すると製造されるべき光学素子の光学的な ずれを導くため、X及びY方向において、より正確に成形部に対して配置されね ばならない。単一ダイスが使用されると、光学補助素子間の間隔のずれは、各対 の隣接する補助素子の間に生じ、その結果、ここでは恒常的に繰返されるずれは 生じない。 上述の光学素子が紫外線の作用で硬化する合成樹脂から作られる複製技術を使 用する代わりに、繰り返し複製する技術、例えば、光学素子が熱硬化合成樹脂か ら作られる複製技術が使用されても良いことに注意されたい。 上述の成形部7,147は平坦な底81,159を有し、この底では、ダイス65, 129により所望の成形形状83,161が設けられる。成形形状は、成形部の平坦で はない底に、この目的に適するダイス用の位置合わせ装置が与えられて、繰り返 し設けられることに注意されたい。平坦ではない成形部の底は、例えば、ピポッ ト角度が大きな傾斜を有する切面レンズの製造で使用されても良い。成形部の底 には、例えば、ピポット角度の平均傾斜に対応する湾曲が設けられても良い。切 欠部が成形部の底に設けられる、即ち製造されると、ダイスは、小さな角度で底 の局部に対してピポット回転されることが必要となる。この結果、成形部の底は 、ダイスの押圧の間のみ小さな角度で可塑的に変形され、そして既に形成された 切欠部の調整の可塑変形が存在される。この方法により、例えば球状または非球 状の基本的な基体に配置された球状レンズのパターンが設けられる光学素子を製 造することが可能である。 位置合わせ装置11の代わりに、他の形式の位置合わせ装置が使用されても良 いことに注意されたい。同様に装置1,95に、例えばダイスの押圧力が油圧シ リンダにより供給されるダイスホルダのような異なる形式のダイスホルダが設け られても良い。 図示された上述の画像表示装置169及びカメラ201は、それぞれ単一の表示パネ ル181及び単一の固体画像センサ207のみを有する。最後に、このような画像表示 装置及びカメラは、それぞれ一つ以上の表示パネル及び固体画像センサの両者を 有しても良く、この装置及びカメラの各々には、一般的で既知の、例えば多数の 基本色にビームを分割する色分離プリズムのシステムが設けられ、一方、画像表 示装置及びカメラには、各色について、それぞれ分割表示パネル及び分割固体画 像センサが設けられる。
───────────────────────────────────────────────────── 【要約の続き】 有する。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1.相互に関連し合うパターンで配置された正確に調整された光学補助素子が設 けられた光学素子の製造で使用する成形部を製造する方法であって、成形部に補 助素子のパターンに対応する成形形状が与えられる方法において、 前記成形部は、延性金属から形成されかつ、光学補助素子の形状に対応するダ イス表面が設けられかつ、前記パターンに対応する連続的な位置に所定の力で前 記成形部を押圧するダイスにより成形形状が与えられることを特徴とする成形部 を成型する方法。 2.相互に関連し合うパターンで正確に調整された光学補助素子が設けられた光 学素子を生成する方法であって、成形部に補助素子のパターンに対応する成形形 状が与えられる方法において、 前記成形部は、延性金属から形成されかつ、光学補助素子の形状に対応するダ イス表面が設けられかつ、前記パターンに対応する連続的な位置に所定の力で前 記成形部を押圧するダイスにより成形形状が与えられることを特徴とする光学素 子を成形する方法。 3.請求項1または2に記載の方法において、 前記成形部には、当該成形部に光学素子に要求される平滑面が望ましくは設け られた後、前記ダイスにより前記成形形状が設けられることを特徴とする成形部 または光学素子を成形する方法。 4.請求項1乃至3の何れか一項に記載の方法において、 前記成形部が、前記ダイスによる前記成形形状を処理する間、液体層に浸され ることを特徴とする成形部または光学素子を成形する方法。 5.請求項1乃至4の何れか一項に記載の方法において、 前記延性金属が、銅、アルミニウム、亜鉛を含有することを特徴とする成形部 または光学素子を成型する方法。 6.請求項1乃至5の何れか一項に記載の方法において、 前記ダイスには球状ダイス表面が設けられかつ、六角形パターンで前記成形部 に押圧されることを特徴とする成形部または光学素子を成形する方法。 7.請求項1乃至5の何れか一項に記載の方法において、 前記ダイスが平坦なダイス表面を持ちかつ、方形パターンで前記成形部に押圧 され、さらに前記ダイスが前記パターンの連続的な位置の2つの正確な直交ピポ ット軸上の所望の角度でピポット回転されることを特徴とする成形部または光学 素子を成形する方法。 8.請求項1乃至7の何れか一項に記載の方法を実施する装置において、 前記モジュールを固定する動作片ホルダと、前記ダイスを固定する部品ホルダ と、位置合わせ装置とが設けられ、 前記部品ホルダには、前記位置合わせ装置によって前記動作片ホルダに対応し て配置可能な直線ガイドと、当該直線ガイドに対応して移動可能なように案内さ れかつ、所定の予圧の作用の基で前記直線ガイドの停止位置に停止されるダイス ホルダとが設けられたことを特徴とする成形部または光学素子を成形する方法を 実施する装置。 9.請求項7に記載された方法を実施する請求項8に記載された装置において、 前記ダイスホルダには、前記直線ガイドに対応して移動可能なように案内され る第1担体と、当該第1担体のピポット案内に対応してピポット回転される第2 担体と、当該第2担体のピポット案内に対応してピポット回転される第3担体と を有し、 前記ダイスが前記第3担体に固定可能でかつ、前記二つの正確な直交ピポット 軸の各々が、前記第1担体のピポットガイドと前記第2担体のピポットガイド各 々の仮想軸を形成することを特徴とする成形部または光学素子を形成する装置。 10.請求項8または9に記載の装置における使用に適したダイスホルダ。 11.請求項2乃至6の何れか一項に記載の方法により製造される光学素子が設 けられた液晶表示パネルにおいて、 前記光学素子がマイクロレンズアレイで、 前記表示パネルに、画像表示素子のパターンを有しかつ、前記光が入射する側 で前記マイクロレンズアレイと隣接する液晶層が設けられ、 マイクロレンズアレイの各光学補助素子が、前記液晶層の両像表示素子の一つ に対応することを特徴とする液晶表示パネル。 12.請求項2乃至6の何れか一項に記載された方法により製造される光学素子 が設けられた画像表示装置において、 前記光学素子がマイクロレンズアレイで、 前記画像表示装置に、光学放射源、ビーム形成光学システム、少なくとも一つ の画像表示パネルを持つ画像表示システムと、プロジェクションレンズシステム と、画像プロジェクションスクリーンとが設けられ、 前記画像表示パネルには、前記放射源に対向する側に前記マイクロレンズアレ イが設けられることを特徴とする画像表示装置。 13.請求項2乃至6の何れか一項に記載された方法により製造される光学素子 が設けられる平面パネル表示装置において、 前記画像素子がマイクロレンズアレイで、 前記平面パネル表示装置には、照明用ビームを供給する照明システムと、表示 されるべき画像情報を変調する画像表示素子の定義されたパターンを持つ画像表 示パネルとが設けられ、 前記マイクロレンズアレイが、前記表明システムと画像表示パネルとの間に配 置されかつ、画像表示パネルの画像表示素子のパターンに対応する光学補助素子 が設けられることを特徴とする平面パネル表示装置。 14.請求項2乃至6の何れか一項に記載の方法により製造される光学素子が設 けられる固体画像センサにおいて、 前記光学素子がマイクロレンズアレイで、 前記固体両像センサが、電荷結合素子と、放射を電荷に変換する画像センサ素 子のパターンとを持つ表面に設けられる半導体本体を有し、 前記マイクロレンズアレイの各光学素子が、半導体本体の画像センサに対応す ることを特徴とする固体画像センサ。 15.請求項2乃至6の何れか一項に記載の方法により製造される光学素子が設 けられるカメラにおいて、 前記光学素子がマイクロレンズアレイで、 前記カメラには、対物レンズシステムと、当該対物レンズシステムに対向する 側にマイクロレンズアレイが設けられる少なくとも一つの固体画像センサを持つ 画像センサシステムが設けられることを特徴とするカメラ。 16.請求項7に記載の方法により製造される光学素子が使用される方法で、カ ラー画像管用のフロントパネルを製造する方法において、 前記フロントパネルの内側に感光材料の層が設けられ、 前記フロントパネルが、当該フロントパネルの内側に配置されたシャドウマス クを介して点光源によって連続的に照明され、 前記光学素子が前記シャドウマスクと前記光源との間に配置されることを特徴 とする方法。 17.請求項7に記載された方法により製造される光学素子が設けられ、カラー 画像管用のフロントパネルを製造する装置において、 点光源と、前記光学素子用の第1ホルダと、前記フロントパネル及び当該フロ ントパネルの内側に配置されるべきシャドウマスク用の第2ホルダが生けられる ことを特徴とする装置。
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