JPH09500836A - 駆動システムをその一方の側でのみ接続できるインクジェットプリントヘッドおよびその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 その一方の側でのみ接続できるインクジェットプリントヘッドおよびそれを製造するための関連した方法。インクジェットプリントヘッドは、下側本体部分上面に組み付けられた複数の導電性の区域と、前記下側本体部分の底側から突出する、対応する複数の導電性のピンとを具備する下側本体部分を含む。導電性の区域のそれぞれは、導電性のピンの対応する一つに電気的に接続されている。それぞれは、下側本体部分の上面に平行な第１の方向に指示された活性な圧電材料から形成され、全体的に平行で、長手方向に延びる複数の第１の中間本体部分のそれぞれの底面は、下側本休部分の上面の一部分に導電的に組み付けられている。それぞれは、第１の方向に逆向きの第２の方向に指示された活性な圧電材料から形成され、全体的に平行で、長手方向に延びる複数の第２の中間本体部分のそれぞれの底面は、第１の中間本体部分の対応する一つの上面に導電的に組み付けられ、絶縁性の上側本体部分の底面は、複数の第２の中間本体部分のそれぞれの上面に導電的に組み付けられている。

Description

【発明の詳細な説明】 駆動システムをその一方の側でのみ接続できるインクジェットプリントヘッドお よびその製造方法 本発明は一般的にインクジェットプリントヘッド装置に関し、特に、一方の側 でのみ関連する駆動システムと接続できるインクジェットプリントヘッドを製造 する方法に関する。 圧電的に作動されるインクジェットプリントヘッドは、プリンタにより動作に 従って供給された紙の上に、極小なインク液滴を選択的に吐出するために用いら れる相当に小形の装置であり、プリントヘッドが組み込まれたプリンタは、プリ ントヘッドにより、前記紙の上に選択された文章および／または画像を、吐出さ れたインク液滴から形成する。その一つの代表的な構成において、インクジェッ トプリントヘッドは、複数の内部インク受け取り液路からなる水平方向に間隔を 開けた平行なアレイを具備する。これらの内部液路は、前方の終端において、間 隔をあけた一連の小さなインク放出開口が貫通しているプレート部材によって覆 われている。各液路は、間隔をあけた開口の別々の一つを通して外側に開放され ている。 プリントヘッド本体の間隔をあけた一連の内部圧電側壁部は、液路の長さに沿 って液路を分離し横方向の境界をなしている。放出開口の選択された一つを通し てインク液滴を吐出するために、選択された開口に関連する液路の横方向の境界 をなしているプリントヘッドの２つの側壁部は、液路の内側に圧電的に偏向(def lected)され、その後に通常の偏向されていない位置に戻される。対向する液路 壁 部の内側に駆動された偏向は、液路内部のインクの圧力を充分に増加させ、放出 開口を通して外部方向へ液滴形状の少量のインクの吐出を開始する。 必要なプリントヘッドの液路側壁偏向を発生させ制御するために必要な電気信 号は、典型的には適切な電子駆動装置によって発生される。たとえ小さなインク ジェットプリントヘッド構造においても存在する、多数の非常に接近した間隔の インク液路に起因して、結果として生じるこれらの電気信号の数は、大変高いが 、一方、必要なプリントヘッド／駆動装置接続を作成するために各インク液路に おいて使用できる物理的な領域は、大変小さい。したがって、プリントヘッドか ら関連する電子駆動装置への接続は、典型的に、重要な接続性の設計への挑戦を 提供している。 この接続性の問題に対する一つの試みは、付属の回路とともに電子駆動装置を プリントヘッド本体に直接組み付け、プリントヘッド構造からインクジェット印 刷システム全体への多数の相互接続の必要性を除去することであった。最も一般 的に、このことは、長手の下側本体部分を備えることによって達成された。この 本体部分の後部の上面は、前述の電子駆動装置と、付属の回路と、残りのプリン タ電子回路を電子駆動装置と接続するための領域とを組み付けるための、一般に 後部ポーチ("back porch")と言われる表面を備えている。しかしながら、以下に 詳細に述べるように、この試みは、プリントヘッド構造の全費用が非常に多大な 増加という望ましくない結果となる。 この接続性の問題に対するもう一つの試みは、電子駆動装置をプリントヘッド から離れたところに組み付けることと、プリントヘッ ド液路側壁から、離れた所に配置された駆動装置への必要な電気的接続を設ける こととであった。このプリントヘッド−駆動装置間の接続構造を設けるために以 前に提案された一つの方法は、プリントヘッド本体の後部ポーチ上に、導電性の 表面軌跡線の高密度の平行なアレイを形成するとともに、これらの高密度の軌跡 線と、駆動装置に関連したプリント回路基板上のずっと低い密度の平行なアレイ との間の接続を形成するために、特別に設計されたフレキシブルリボンコネクタ を使用することであった。 この方法に従ってフレキシブルコネクタは、その上に、プリントヘッド本体の 後部ポーチ上の軌跡線と見当合わせ可能な高密度な一連の導電性のある表面軌跡 線と、駆動装置の回路基板上の対応する軌跡線に見当合わせ可能な低密度の一連 の導電性の表面軌跡線と、高密度および低密度のコネクタ軌跡線を接続させる軌 跡線出力部(trace "fan-out" section)とを形成していた。プリントヘッド−駆 動装置の接続を実際に形成する際には、フレキシブルコネクタ上の高密度および 低密度軌跡線部は、プリントヘッド本体上の高密度軌跡線部と、駆動回路基板上 の低密度軌跡線部とにそれぞれ半田付けされる（圧力／熱リフロー工程）。 プリントヘッドを関連する電子駆動装置に電気的に接続しようとするこの相当 に直接的な試みに拘わらず、このような方法のフレキシブルリボンコネクタの使 用も、全体のプリントヘッド／駆動装置のシステムに関連する費用を非常に増加 させる。フレキシブルコネクタで要求される重要なピッチ変位（代表的な変位は 、約３ミル(mil)ピッチから約５０ミルピッチである）の故に、特別に設計され たフレキシブルコネクタの費用は、一緒に使われるプリントヘッド構造の費用を 実質的に越えることもある。 加えて、前述の全ての技術において、駆動システムの組み付けのためにしろ、 フレキシブルコネクタの接続にしろ、インクジェットプリントヘッドの後部の使 用は、最も一般的にプリントヘッドの後部に形成されたインク多岐管用いる、プ リントヘッドとインク供給との接続をますます困難にする。液路の内側側面が、 不活性な材料で覆われる不動態化工程は、駆動システムの組み付けあるいは接続 のためのインクジェットプリントヘッドの後部、そこにおいて駆動システムおよ びそれへの全ての接続部は、液路の不動態化に用いられる材料から清潔に保たれ なければならない後部の使用によって同じように複雑となる。最後に、組み付け あるいは接続のために後部ポーチを形成する目的で下側本体部分を突出させる必 要性があることが、材料の相当な量を無駄にし、それにより、そのようなプリン トヘッドの製造費用を増加させる。 前述のことを鑑みるに、一方の側でのみ関連する駆動システムと接続できるイ ンクジェットプリントヘッドを提供すること、およびそのようなプリントヘッド を製造する方法を提供することが望ましいということが容易に分かる。したがっ て、本発明の目的は、そのようなプリントヘッドやその製造方法を提供すること である。 一実施例において、本発明は、そこからインク液滴の吐出のための、全体とし て平行で、長手方向に延びるインク搬送液路を具備し、関連する駆動システムを その一方の側でのみ接続できるインクジェットプリントヘッドのベース部分を製 造する方法である。絶縁材料のブロックが用意され、ブロックの上面から底面に 延びる複数の開口がその中に形成される。次に導電材料が、絶縁性のブロックの 内 部表面と上面とに堆積される。上面の導電材料は、複数の区域に配置され、それ ぞれは、残りの区域から電気的に絶縁され、開口の一つを画定する内部側面の上 に堆積された導電性材料と電気的に接続される。上面の上に堆積された導電材料 の区域の一つと電気的に接続されるピンは、絶縁材料のブロックの中に形成され た開口のそれぞれに差し込み可能に組み付けられる。 もう一つの実施例において、本発明は、その一方の側でのみ接続できるインク ジェットプリントヘッドのための液路アレイを製造する方法である。上面に沿っ て形成された導電材料からなり、全体として平行で、長手方向に延びる複数の細 片と、底面から突出している対応する複数の導電性のピンと、前記複数のピンの それぞれを前記複数の細片の対応する一つに電気的に接続する手段とを具備する 絶縁性の下側本体部分が用意される。前記下側本体部分に全体として平行である 第１の方向に指示された活性な第１の中間本体部分の底面が、前記下側本体部分 の前記上面に導電的に組み付けられ、逆向きの第２の方向に指示された第２の活 性な中間本体部分の底面が、前記第１の活性な中間本体部分の上面に導電的に組 み付けられる。導電材料の細片間に位置付けられた下側本体部分の上面の全体と して平行で、長手方向に延びる部分を露出させるために、第２の中間本体部分を 貫通して延びる、全体として平行で、長手方向に延びる複数の溝が、次に、第２ の中間本体部分の上面に沿って間隔をあけた配置で形成される。絶縁性の上側本 体部分の底面が、次に、第２の中間本体部分の上面に導電的に組み付けられる。 さらにもう一つの実施例において、本発明は、下側本体部分の上側に組み付け られた複数の導電性の区域と、下側本体部分の底側から突出している、対応する 複数の導電性のピンとを具備する下側本 体部分を含むその一方の側でのみ接続できるインクジェットプリントヘッドであ る。導電性の区域のそれぞれは、導電性のピンの対応する一つに電気的に接続さ れる。それぞれが、下側本体部分の上面に平行な第１の方向に指示された活性な 圧電材料から形成され、全体として平行で、長手方向に延びる複数の第１の中間 本体部分のそれぞれの底面は、下側本体部分の上面の一部分に導電的に組み付け られている。それぞれが、第１の方向とは逆向きの第２の方向に指示された活性 な圧電材料から形成され、全体として平行で、長手方向に延びる複数の第２の中 間本体部分のそれぞれの底面は、第１の中間本体部分に対応する一つの上面に導 電的に組み付けられ、絶縁性の上側本体部分の底面は、複数の第２の中間本体部 分のそれぞれの上面に導電的に組み付けられている。 好ましい実施例の詳細な説明を以下の図面に関し考慮することにより、本発明 の良好な理解が得られる。 図１Ａは、その一方の側でのみ駆動システムと接続でき、本発明の教示に従っ て構成されたインクジェットプリントヘッド下側本体部分の概観図である。 図１Ｂは、図１Ａで示される下側本体部分への製造に適切な絶縁材料のブロッ クを示す、図１Ａのライン１Ｂ−Ｅ〜１Ｂ−Ｅに沿って描かれた第１の断面図で ある。 図１Ｃは、その上面と底面との間に延びる開口を形成した後の、図１Ｂで示さ れる絶縁材料のブロックの図１Ａのライン１Ｂ−Ｅ〜１Ｂ−Ｅに沿って描かれた 第２の断面図である。 図１Ｄは、その表面状への導電材料の堆積後における、図１Ｃで示された絶縁 材料の穴を開けられたブロックの図１Ａのライン１Ｂ −Ｅ〜１Ｂ−Ｅに沿って描かれた第３の断面図である。 図１Ｅは、堆積された導電材料の一部が取り除かれ、そこに導電性のピンが組 み付けられた後における、図１Ｄで示された金属化された開口を有する絶縁材料 のブロックの図１Ａのライン１Ｂ−Ｅ〜１Ｂ−Ｅに沿って描かれた第４の断面図 である。 図２は、第１，第２の中間本体部分が導電的にそこに組み付けられた後におけ る図１Ａの下側本体部分の概観図である。 図３は、一連の全体として平行で、長手方向に延びる溝がその中に形成された 後における図２の下側本体部分および第１，第２の中間本体部分の概観図である 。 図４は、その底面から接続可能である、駆動システムをその一方の側でのみ接 続できるインクジェットプリントヘッドのための液路アレイを形成するために、 上側本体部分が導電的にそこに組み付けられた後における、図３の溝が設けられ た下側本体部分および第１，第２の中間本体部分の概観図である。 図５は、その底面から接続可能な駆動システムを具備している、完全に組み立 てられたインクジェットプリントヘッドの概観図である。 図６Ａは、図５のライン５〜５に沿って描かれ、図５の駆動システムをその一 方の側でのみ接続できるインクジェットプリントヘッドのための液路アレイを示 す拡大部分断面図である。 図６Ｂは、関連する駆動システムによって作動されたときの液路アレイの側壁 の変位を図示する図６Ａの拡大図である。 図６Ｃは、関連する駆動システムによって作動されたときの、図６Ｂにおいて 示された側壁の構成の代わりの実施例の拡大図である。 図６Ｄは、図５〜図６Ｃで示された駆動システムに底面で接続で きるインクジェットプリントヘッドのもう一つの代わりの実施例である。 図６Ｅは、図５〜図６Ｃで示された駆動システムに底面で接続可能なインクジ ェットプリントヘッドのさらにもう一つの代わりの実施例である。 図７は、その上面から接続可能である、図４の駆動システムをその一方の側で のみ接続できるインクジェットプリントヘッドのための液路アレイの代わりの実 施例である。 図８は、その上面から接続可能である、図４の駆動システムをその一方の側で のみ接続できるインクジェットプリントヘッドのための液路アレイの第２の代わ りの実施例である。 まず、図１Ａを参照すると、関連する駆動システムをその一方の側でのみ接続 できるインクジェットプリントヘッド１２の下側本体部分１０が見て取れる。下 側本体部分１０は、パターン形成可能な絶縁材料のブロック、例えばフォトセラ ム(fotoceram)材料のブロックから形成されたベース部１４を含んでいる。ベー ス部１４の上面１４ａに形成されているのは、それぞれが金属のような導電材料 から形成された、全体的に平行で長手方向に延びている一連の細片(strips)１６ である。以下に、より詳しく説明されるように、各細片１６は、外部の駆動シス テムおよびインクジェットプリントヘッド１２のための側壁動作部の間の電気的 接続を与える。各細片１６に沿って形成されているのは、金属メッキされた開口 、すなわちビア(via)１８である。このビアは、対応する細片１６と電気的に接 続される上面１４ａから、対応する導電性のピン２０と電気的に接続される下側 本体部分１０の底面１４ｂまで延びている。好ましい ことであるが、ビア１８は、接点ピッチをそれと接続するのに容易とする、互い 違いのパターンに形成されている。さらに、ビア１８の全ては、プリントヘッド １２の前方の終端に形成されてもよく、したがって、後方の終端は、プリントヘ ッド１２にインクを供給する多岐管および内部導管を形成するために用いられて もよいと考えられる。 ピン２０は、インクジェットプリントヘッド１２の選択された圧電側壁動作部 に電圧を印加し、選択された側壁動作部によって部分的に画定されるインク搬送 液路に、選択された側壁動作部の偏向(deflection)を生起し、それによって、そ こからインク液滴の吐出を開始させることができる圧縮圧力パルスを与えるとい う目的で、インクジェットプリントヘッド１２の一側面を駆動システム（図１Ａ では見られない）と接続するために用いられる。 次に図１Ｂ〜図１Ｅを参照すると、図１Ａのライン１Ｂ１Ｅ−１Ｂ１Ｅから見 た第１，第２，第３，第４の断面が、より詳細に説明される下側本体部分１０を 製造する方法を図示している。図１Ｂにおいて見られるように、下側本体部分１ ０の製造は、フォトセラムのようなパターン形成可能な絶縁材料のブロックから 形成された下側本体部分１４を準備することから始められる。次に図１Ｃに転じ ると、一連の開口１８が、絶縁ベース部１４に、例えば、当該技術で良く知られ た従来のリソグラフィー工程およびエッチング工程によって形成されている。 好ましいことであるが、開口１８は、２段階の工程で形成されている。その工 程において、第１に、それぞれ、内向きのテーパを付けられ、ベース部１４の中 に第１の距離だけ延びる開口部１８ａが、ベース部１４の上面１４ａに沿って、 第１の一連の間隔をあけた配 置で形成され、第２に、それぞれ第１の開口部１８ａよりも大きな直径を有し、 内向きのテーパを付けられた開口部１８ｂが、ベース部１４の底面１４ｂに沿っ て、第２の一連の間隔をあけた配置で形成されている。各第２の開口部１８ｂは 、内部表面１５が露出され、対応する第１，第２の開口部１８ａおよび１８ｂが 互いに連絡するようにベース部１４の中に所定距離だけ延びている。図示を容易 にするために、図１Ａは、ベース部１４に形成された９個の開口１８を示してい る。しかしながら、開口１８は、インクジェットプリントヘッド１２の全ての側 壁動作部が、ここに開示される技術に従って製造されるよう形成されると考えら れている。典型的には、ここに開示されたものと同様なインクジェットプリント ヘッドは、インチ長当たり約１５０−４００台の液路を含む。 次に図１Ｄに転ずると、そこでベース部１４は、例えば、従来の堆積工程を用 いて金属化される。したがって、上面および底面１４ａ，１４ｂの全体と、第１ ，第２の開口部１８ａ，１８ｂを画定する露出された内部表面１５，２２，２３ とが、導電材料、例えば金属の薄い層２４で覆われる。図１Ｄにおいて示される ように、導電性の層２４は、上面１４ａを覆う第１の部分と、底面１４ｂを覆う 第２の部分と、露出した内部表面１５，２２，２３を覆う第３の部分２４ｃとを 含む。 次に図１Ｅに転ずると、底面１４ｂの上に堆積された導電材料の層２４ｂの全 体と、上面１４ａの上に堆積された導電材料の層２４ａの一部とは、例えばパタ ーン形成工程を用いて、取り去られる。図１Ａに示されるように、層２４ａの主 要な部分が取り去られた後には、導電材料からなる一連の長手の細片１６のみが 、ベース部分１４の上面１４ａの上に残る。好ましいことであるが、細片１６は 、 以下により充分に説明されるように、細片１６の上に形成され、細片１６に導電 的に取り付けられるべく、側壁動作部３９の幅よりも僅かに小さな幅をもつよう に形成されている。導電性のピン２０は、各ピン２０が開口１８のうちの一つの 内部表面１５に係合するように、例えば半田付け工程を用いて、開口１８の第２ の開口部１８ｂの各々に差し込まれて組み付けられている。このことにより、ピ ン２０を、開口１８を画定する内部表面１５，２２，２３の上に堆積された導電 性の層２４の一部２４ｃを介して、導電材料からなる対応する細片１６に電気的 に接続する。 上で詳細にされたパターン形成工程において取り除かれることよりはむしろ、 本発明のもう一つの実施例においては、下側本体部分の上面１４ａの上に堆積さ れた導電材料の層２４の一部２４ａは、最初はそのままにしておいてもよいと考 えられている。しかしながら、この実施例においては、上面１４ａに堆積された 導電材料からなる部分のみに対する各ピン２０の電気的な接続の絶縁は、インク ジェットプリントヘッドのための液路アレイ(channel array)の組立の間に達成 される。この場合、アレイの液路を構成するとき、液路が形成される工程は、こ の工程の間に形成される各溝がベース部分１４に延び、導電性の層２４ａの一部 が絶縁性のベース部分１４の一部を露出させるべく取り除かれるように修正され る。各露出部分は、アレイの一つのインク搬送液路のための底面壁として機能す る。このように液路を形成することにより、導電材料からなるこの層２４ａは、 実際上、それぞれが単一のピン２０に電気的に接続された、一連の導電性の細片 １６を形成するためにパターン形成される。しかしながら、そのような技術は、 工程の間に形成される各溝が一対の細片１６の間に位置付けられるように、液路 アレイの中に 溝を形成するのに用いられる鋸(saw)やその他の装置を整列させようとするとき に発生する問題を有利に回避する。 次に、図１Ａおよび図２〜図４を参照して、その一方の側でのみ関連する駆動 システムと接続できるように構成され、本発明の教示に従って構成されたインク ジェットプリントヘッドのための液路アレイ４５を製造する方法を、より詳細に 説明するであろう。下側本体部分１０から始まって、活性な圧電材料、例えば、 ジルコニウム酸チタン酸鉛（または "PZT"）から構成され、全般に下側本体部分 １０に平行な第１の方向２３に指示され、上面および底面２２ａ，２２ｂにそれ ぞれ組み付けられた導電材料、例えば金属からなる第１，第２の層２６，２８を 具備する第１の中間本体部分２２は、導電性の層２８が導電性の細片１６に導電 的に組み付けられるように整列され、合わされ、導電接着剤（不図示）、例えば 導電性エポキシで導電的に接着される。次に、活性な圧電材料、例えばＰＺＴか ら構成され、下側本体部分１０に平行であるが、第１の方向２３とは反対の第２ の方向３２に指示され、上面および底面３０ａ，３０ｂにそれぞれ組み付けられ た導電材料、例えば金属からなる第１，第２の層３４，３６を具備する第２の中 間本体部分３０は、第１の中間本体部分２２の上面２２ａに、整列され、合わさ れ、再び導電接着剤（不図示）、例えば導電性エポキシを用いて導電的に接着さ れる。 次に図３を参照すると、最も普通には従来のダイヤモンドソー工程を用いて、 一連の長手方向に延びる全体的に平行な溝３８が液路アレイ４５に形成されてい る。好ましくは、各溝３８は、導電性の層３４、第２の中間本体部分３０、導電 性の層３６、導電性の層２６、第１の中間本体部分２２、導電性の層２８を貫通 し、液路アレ イ４５の絶縁性の下側本体部分１０に部分的に入り込むように形成されるべきで ある。形成工程の間において、溝３８は、長手方向に延び、全体として平行な導 電材料の細片１６の間に形成されるように、正確に位置付けられる。しかしなが ら、与えられた導電性の細片１６の一部が、導電性の層２８と電気的に接続され ている限り、形成工程の間における鋸の位置決めの誤調整による導電性の細片１ ６の一部の不注意な除去が、どんな意味においてもインクジェットプリントヘッ ド１２の動作に強い影響をあたえることはないということに注目すべきである。 このように溝３８を形成することにより、一連の全体として平行に長手方向に 延びる圧電側壁動作部３９は、一本の導電性の細片１６が、一本の側壁動作部３ ９の長手方向の延長に沿って長く延びるとともに、動作部３９よりも僅かに小さ い幅を持つという風に、形成されるのが好ましい。もしも、溝３８が導電性の細 片１６の間に正確に位置付けられているならば、各細片１６の電気的な絶縁を確 実にするために、溝が導電性の層２８を貫通して延びる必要もないし、下側本体 部分１４の一部の中に延びる必要もないということに注意すべきである。とにか く、製造を容易にすることと、鋸処理工程における小さな誤調整の発生の場合に も細片の電気的な絶縁を確実にすることとの両方のために、溝が下側本体部分１ ４の中に延びるように溝３８が形成されるということが強く推奨される。加える に、導電性の層２４ａが、複数の長手方向に延びる全体として平行な細片１６に パターン形成されない本発明の実施例においては、それぞれ単一の側壁動作部３ ９に電気的に接続され、導電材料からなり電気的に絶縁されている細片１６を形 成するために、溝３８は、導電性の層２４ａを貫通して延び、さらに下側本体部 分１４の中に 延びなければならない。 次に図４を参照すると、絶縁材料から構成され、上面および底面４０ａ，４０ ｂを具備する上側本体部分４０は、第２の中間本体部分３０の上面３０ａに対し て、整列され、合わされ、例えば、導電性エポキシのような導電性接着剤（不図 示）を用いて、導電的に接着される。したがって上側本体部分４０の底面４０ｂ の上に形成された導電材料、例えば金属の層４２は、第２の中間本体部分３０の 上面３０ａの上に形成された導電材料の層３４に導電的に組み付けられている。 このように、複数の長手方向に延びる全体として平行なインク搬送液路４４は、 それぞれが下側本体部分１４の一部と、第１の中間本体部分２２の区域１９およ び第２の中間本体部分３０の区域２１から構成される第１の側壁動作部３９と、 上側本体部分４０の一部と、同様に第１の中間本体部分２２の区域１９および第 ２の中間本体部分２２の区域２１から構成される第２の側壁動作部３９とによっ て画定されるように、形成されている。その一方の側でのみ関連する駆動システ ムに接続できるインクジェットプリントヘッド１２のための液路アレイ４５の組 み立ては今や完成している。 次に図５を参照すれば、液路アレイ４５を組み込んで完全に組み立てられたイ ンクジェットプリントヘッド１２が見て取れよう。液路アレイ４５のインク搬送 液路４４にインクを供給するために、外部の多岐管４７は、インクジェットプリ ントヘッド１２の後部（不図示）が、その内部４９の中に受け入れられるように 、インクジェットプリントヘッドに組み付けられている。多岐管４７は、内部液 路５１が、インク搬送液路４４の開放された後方の終端と連絡しているように、 その内部４９に沿って形成され、、横に延びる内部液路５１を具備する。内部液 路５１と連絡している一端を具備する内部 の垂直方向の導管５３は、外部の多岐管４７の中に形成されている。そこで内部 導管５３は、外部導管４６に接続されたインク源４８からインク供給液路４４に インクを供給する手段を提供するために、外部インク導管４６に接続されている 。次に開口プレート５０の背面５０ａは、開口プレート５０を貫通して延びる各 開口５２が、対応する一本のインク搬送液路４４と連絡しているように、液路ア レイ４５の前面４５ａに組み付けられている。したがって、液路４４の一部を画 定している側壁動作部３９への電圧印加によって液路４４が圧縮されるとき、圧 縮された液路４４に連絡している開口５２から、その直後にインク液滴が吐出さ れ、外部導管４６と、内部導管５３と、内部液路５１とを介して、そこからイン ク液滴が吐出された液路４４にインク供給源４８からの追加のインクが引き込ま れる。 従来のインクジェットプリントヘッドに比較して、当業者によって真価が認め られるように、インクジェットプリントヘッド１２の電気的な接続は、大変に簡 素化された。インクジェットプリントヘッド１２を電気的に接続するために、導 電材料４２の層は、図５に図示されるように、電気的にグランドに接続されるべ きであり、以下においてより充分に説明されるように、側壁動作部３９の動作を 制御する各ピン２０は、ピン２０に正極性あるいは負極性の電圧を選択的に印加 することができる駆動装置に電気的に接続されている。例えば、ピン２０を受け 入れる複数のピン受入開口（不図示）を具備する駆動装置基板４６が、液路アレ イ４５の底面１４ｂにスナップ式に組み付けられてもよい。好ましくは、駆動装 置基板４６は、側壁動作部３９のうちの選択されたものを作動させる制御信号を 発する制御装置と、制御装置によって発せられた命令に応答して、そ の出力において正極性および負極性の電圧を発生することができる一連のスイッ チング構造とを含むべきである。駆動装置基板４６が、液路アレイ４５にスナッ プ式に組み付けられるとき、スイッチング構造の各出力は、ピン２０の一つに電 気的に接続されるようになるべきである。このように、スナップ式の駆動装置基 板４６は、インクジェットプリントヘッド１２の各側壁動作部３９に個別の電気 的な接続を与えるために用いられてもよい。 従来のインクジェットプリントヘッドに比較して、さらに、当業者によって真 価が認められるように、インクジェットプリントヘッド１２とインク供給源４８ との接続に相当の融通性が付け加えられている。従来のインクジェットプリント ヘッドにおいては、インクジェットプリントヘッドとそれの制御装置との間の電 気的な接続は、プリントヘッドの後部で行われていた。その為以前は、全てのイ ンク搬送液路に供給されるべきインクに必要な多岐管および内部インク導管の使 用が推奨されていた。その上面あるいは底面である、一方の側でのみ接続できる インクジェットプリントヘッド１２を備えることにより、インクジェットプリン トヘッドの後部は、ここに説明された後部組み付け多岐管４７のような他の使用 に利用できる。 次に図６Ａを参照すると、インク搬送液路４４ａ−４４ｆおよび液路４４ａ− ４４ｆを画定する液路アレイ４５の一部がより詳しく見て取れる。例えば、イン ク搬送液路４４ｃは、第１の中間部分２２−１と第２の中間部分３０−１とによ って形成され、長手方向に延びる第１の側壁動作部３９−１と、上側本体部分４ ０の一部と、第１の中間部分２２−２と第２の中間部分３０−２とによって形成 された第２の側壁動作部３９−２と、下側本体部分１４の一部とによって画定さ れている。図示の容易化のために、図６Ａ−Ｃは、両 者が同じ幅を持っているように図示しているが、導電性の細片１６は、側壁動作 部３９よりも僅かに小さな幅を持っているということに注意すべきである。 次に図６Ｂを参照して、液路４４ｃの中に第１の側壁動作部３９−１および第 ２の側壁動作部３９−２を偏向させることによって発生させられる、液路４４ｃ からのインク液滴の吐出が、より詳しく説明されるであろう。第１の側壁動作部 ３９−１を液路４４ｃの中に偏向させるために、それに電気的に接続されたビア １８を用いる関連する駆動システムによって正極性の電圧が導電性の細片１６− １に印加され、それによって中間本体部分２２−１，３０−１とグランド（導電 性の層４２）との間に電圧降下を生じせしめる。第１の中間本体部分２２−１は 、電圧降下に全体として直交する第１の方向２３に指示されており、第２の中間 本体部分３０−１は、第１の方向２３とは逆であるが、電圧降下に対してやはり 直交する第２の方向３２に指示されているので、第１，第２の中間本体部分２２ −１，３０−１の両方は、図６Ｂに図示されているように、剪断モードで液路の 中に偏向する。 導電性の細片１６−１に正極性の電圧を印加するのと同時に、第１，第２の中 間本体部分２２−２，３０−２の第１，第２の極性方向２３，３２に直交する導 電性の細片１６−２とグランド（導電性の層４２）との間に電圧降下を生ぜしめ るために、再びそれに接続されたビア１８を用いて同じ大きさの負極性の電圧が 導電性の細片１６−２に印加される。同じ極性向き２３，３２を保ちつつ、電圧 降下の向きを逆にすることにより、第１，第２の中間本体部分２２−２，３０− ２が、図６Ｂに示されるように液路４４ｃの中へであるが、逆の方向に今や偏向 するであろう。もちろん、導電性の細片 １６−１および１６−２において、それぞれ負極性および正極性電圧を印加する ことにより、第１，第２の中間部分２２−１，３０−１は、液路４４ｄの中に偏 向されてもよいし、第１，第２の中間部分２２−２，３０−２は、液路４４ｂの 中に偏向されてもよい。例えば、インク搬送液路４４の中に側壁動作部３９の偏 向を生ぜしめる適切な正極性および負極性の電圧は、＋４０および−４０ボルト である。 次に図６Ｃを参照すると、側壁動作部３９−１および３９−２によって、液路 ４４ｃの中への偏向の延長を増加させる、側壁動作部３９−１および３９−２の 代わりの構成がそれぞれ見られよう。この構成において、導電性のスペーサ５４ の上側５４ａは、導電性の層３６に導電的に組み付けられ、導電性のスペーサ５ ４の底面側５４ｂは、導電性の層２６に導電的に組み付けられている。 次に図６Ｄを参照して、底面接続可能なインクジェットプリントヘッドの代わ りの実施例が、今やより詳細に説明されるであろう。ここで、矢印５９の方向に 指示された活性な圧電材料からそれぞれが形成された一連の中間側壁部分５７は 、不活性な下側本体部分６５の突出部６３に接着層６１によって組み付けられて いる。次に導電材料からなる層６７は、液路７１の側壁および底面壁を画定する 内部表面６９に付けられる。そこで、液路アレイの組み立ては、上側本体部分７ ３を、活性な中間側壁部分５７の上面７５に組み付けることにより完成される。 液路７１の中への中間側壁部分５７の剪断モード偏向は、導電性の層６７の選択 されたものへの電圧の印加を必要とする。前述のような方法で下側本体部分６５ に形成されたビア１８は、選択された導電性の層６７に電圧を印加するために用 いられる。しかしながら、この実施例において、ビア１８は、図６ Ａ−Ｃにおいて図示された前述の発明の実施例で述べられた側壁というよりはむ しろ液路７１への電気的な接続を与える。 次に図６Ｅを参照して、底面接続可能なインクジェットプリントヘッドのもう 一つの代わりの実施例がより詳細に説明される。ここで、一連のインク搬送液路 １４４は、一連の長手方向に延び、全体的に平行な突出部１２２を具備する下側 本体部分１１４と、長手方向に延び、全体的に平行な中間部分１３０と、上側本 体部分１４０の一部とで画定される。中間部分１３０は、方向１３２に指示され た活性な材料から形成されている。図６Ａにおいて図示された第１の中間部分２ ２が取り除かれ、液路１４４が今や下側本体部分１１４の中に延びているという 点でのみ、この実施例は図６Ａ−Ｂに図示されたものからは異なる。したがって 、この実施例において側壁１３９は、下側本体部分１１４の不活性な突出部１２ ２と、それに対する電圧の印加時に、剪断モードで液路１４４の中に偏向するで あろう活性な中間本体部分１３０とから構成されている。したがって、この実施 例において、ビア１８は、側壁偏向電圧が中間本体部分１３０に直接印加される ように、導電性の層１１６まで延長されるべきである。 次に図７を参照すれば、本発明の実施例においては、上面であるその一方の側 でのみ関連する駆動システムと接続できる、適切な液路アレイ５６の代わりの実 施例が見て取れよう。この実施例においては、第１の方向６２に指示された活性 な圧電材料から構成され、その上面に形成された導電材料からなる層６０を具備 する下側本体部分５８が最初に用意される。次に、その上面および底面にそれぞ れ形成された導電材料からなる第１，第２の層６６，６８を具備する中間本体部 分６４の底面は、下側本体部分５８の上面に導電的に 組み付けられる。中間本体部分６４は、第１の方向６２と平行であるが、逆方向 に向けられた第２の方向７０に指示された活性な圧電材料から形成される。 下側および中間本体部分５８，６４を一緒に組み立てた後に、中間本体部分６ ４と下側本体部分５８の一部の全体に渡って貫通して延びる、一連の全体として 平行で、長手方向に延びる溝が、例えば鋸工程(sawing process)によって形成さ れる。次に、図１Ａの下側本体部分に対し、形では同じようであるが、向きは逆 にされている上側本体部分７２の底面は、導電材料からなる層６６の上に導電的 に組み付けられている。上側本体部分は、絶縁材料から形成されるとともに、複 数の全体として平行で、長手方向に延びる導電性の、その底面に形成された細片 ７４（図７の影像に示された）を具備する。各導電性の細片７４は、導電性の層 ６６と、上側本体部分７２を貫通して延びるビア７８と、関連する駆動システム との接続が容易に達成されるであろう上面７２ａとに導電的に接続されている。 このように液路アレイ５６を形成することにより、それぞれが、第１の中間本 体部分６４と、下側本体部分５８の一部と、第２の中間本体部分６４と、上部本 体部分７２の一部とによって画定される、複数のインク搬送液路７６が形成され る。各インク搬送液路７６は、そこに関連した第１，第２，第３の動作部を具備 する、すなわち、第１および第２の中聞本体部分６４と、液路７６の一部分を画 定する下側本体部分５８の全体としてＵ字型をした部分８２とを具備する。イン ク搬送液路７６、例えば液路７６−１を作動させるために、正極性の電圧が、液 路７６−１を部分的に画定する第１の側壁８０−１に電気的に接続された第１の ビア７８−１に印加され、負極性の電圧が、液路７６−１を部分的に画定する第 ２の側壁８０−２に 電気的に接続された第２のビア７８−２に印加される。このことは、中間本体部 分６６−１と、下側本体部分１４の全体としてＵ字型をした部分８２の腕状部８ ４と、中間本体部分６６−２との全てを、インク吐出圧縮圧力パルスをそこに与 えるために液路７６−１の中に偏向させるところの、導電性の層６６−１から導 電性の層６６−２までの電圧降下を作り出す。例えば、第１，第２の中間本体部 分６４と、下側本体部分５８のＵ字型をした部分８２の腕状部８４とに、インク 搬送液路７６への偏向を生ぜしめるための適切な正極性および負極性の電圧は、 ＋８０および−８０ボルトである。 次に図８を参照すれば、インクジェットプリントヘッドのための上面駆動シス テム接続可能な液路アレイ８６の第二の実施例が今や見て取れよう。この実施例 においては、その上面の上に形成された導電材料の層９０と、方向９４ａに指示 された活性の圧電材料から形成され、その上面および底面にそれぞれ形成された 、導電材料からなる層９６および９８を具備する第１の中間本体部分９２とを具 備する絶縁性のベース部分８８が用意されている。第１の中間本体部分９２の導 電性の層９８は、下側本体部分８８の導電性の層９０に導電的に組み付けられて いる。図８において模式的に示されるように、導電性の層９０は、さらにグラン ドに接続されている。 方向９４ｂに指示された活性な圧電材料から形成され、それぞれその上面およ び底面に形成された、導電材料からなる層１０２および１０４を具備する第２の 中間本体部分１００は、次に、層９６および１０４を互いに導電的に組み付ける ことにより、第１の中間本体部分９２に導電的に組み付けられる。導電性の層９ ０を露出させるために、第２および第１の中間本体部分１００および９２を貫通 して延びる、一連の全体として平行で、長手方向に延びる溝が、次 に、例えば鋸工程によって形成される。次に、図７で示されたものに同じである 上側本体部分７２は、導電性の層１０２に導電的に組み付けられ、それによって 複数のインク搬送液路１０６、それぞれは、下側本体部分８８の一部と、一対の 第１の中間本体部分９２と、一対の第２の中間本体部分１００と、上側本体部分 ７２の一部とによって画定されるインク搬送液路１０６を形成する。 インク搬送液路、例えばインク搬送液路１０６−１を作動させるために、正極 性の電圧が、関連する駆動システムによって導電性の層１０２−１に印加され、 負極性の電圧が、関連する駆動システムによって導電性の層１０２−２に印加さ れる。そうすることによって、全体として極性方向９４に直交する第１，第２の 電圧降下は、導電性の層１０２−１，１０２−２とグランドとの間にそれぞれ形 成され（導電層９０）、それによって、４つの活性な中間本体部分９２−１，９ ２−２，１００−１，１００−２の全てに液路１０６−１への偏向を生ぜしめ、 インク吐出開始圧縮圧力パルスを液路１０６−１に与える。例えば、液路１０６ −１への中間本体部分９２−１，９２−２，１００−１，１００−２の偏向を生 ぜしめるための適切な正極性および負極性電圧は、＋４０および−４０ボルトで ある。 このように、関連する駆動システムをその一方の側でのみ接続できるインクジ ェットプリントヘッドが、説明され図示された。しかしながら、当業者は、取り 立てて述べられたもの以外に、多くの修正や変更が、本発明の概念から実質的に 離れることなしに、ここに述べられた技術で行われてもよいことを認識するであ ろう。したがって、ここに述べられた発明の形態は、単なる例であって、発明の 範囲に対する限定として意図されているわけではないことが、はっ きりと理解されるべきである。

【手続補正書】特許法第１８４条の８ 【提出日】１９９５年６月１日 【補正内容】 ド液路側壁から、離れた所に配置された駆動装置への必要な電気的接続を設ける こととであった。このプリントヘッド−駆動装置間の接続構造を設けるために以 前に提案された一つの方法は、プリントヘッド本休の後部ポーチ上に、導電性の 表面軌跡線の高密度の平行なアレイを形成するとともに、これらの高密度の軌跡 線と、駆動装置に関連したプリント回路基板上のずっと低い密度の平行なアレイ との間の接続を形成するために、特別に設計されたフレキシブルリボンコネクタ を使用することであった。 この方法に従ってフレキシブルコネクタは、その上に、プリントヘッド本体の 後部ポーチ上の軌跡線と見当合わせ可能な高密度な一連の導電性のある表面軌跡 線と、駆動装置の回路基板上の対応する軌跡線に見当合わせ可能な低密度の一連 の導電性の表面軌跡線と、高密度および低密度のコネクタ軌跡線を接続させる軌 跡線出力部(trace "an-out" section)とを形成していた。プリントヘッド−駆動 装置の接続を実際に形成する際には、フレキシブルコネクタ上の高密度および低 密度軌跡線部は、プリントヘッド本体上の高密度軌跡線部と、駆動回路基板上の 低密度軌跡線部とにそれぞれ半田付けされる（圧力／熱リフロー工程）。 プリントヘッドを関連する電子駆動装置に電気的に接続しようとするこの相当 に直接的な試みに拘わらず、このような方法のフレキシブルリボンコネクタの使 用も、全体のプリントヘッド／駆動装置のシステムに関連する費用を非常に増加 させる。フレキシブルコネクタで要求される重要なピッチ変位（代表的な変位は 、約３ミル(mil)ピッチから約５０ミルピッチである）の故に、特別に設計され たフレキシブルコネクタの費用は、一緒に使われるプリントヘッド構造の費用を 実質的に越えることもある。 加えて、前述の全ての技術において、駆動システムの組み付けのためにしろ、 フレキシブルコネクタの接続にしろ、インクジェットプリントヘッド後部のこれ らのための使用は、プリントヘッドの後部に形成されたインク多岐管を最も一般 的に用いるインク供給源の接続をますます困難にする。また液路の内側側面を、 不活性材料で覆う不動態化処理は、駆動システムおよびそれへの全ての接続部を 、液路の不動態化に用いられる材料から清潔に保たれなければならないから、駆 動システムの組み付けあるいは接続にインクジェットプリントヘッドの後部を使 用することは同じように複雑化される。最後に、組み付けあるいは接続のために 後部ポーチを形成するために下側本体部分を突出させる要求は、材料の相当な量 を無駄に使用するため、プリントヘッドの製造費を増加させる。 前述のことを鑑みるに、インクジェットプリントヘッドの一方側に関連する駆 動システムを接続できるインクジェットプリントヘッドを提供すること、および そのようなプリントヘッドを製造する方法を提供することが望ましいということ は容易に分かる。したがって、本発明の目的は、そのようなプリントヘッドやそ の製造方法を提供することにある。 一実施例において、本発明は、そこからインク液滴の吐出のための、全体とし て平行で、長手方向に延びる複数のインク搬送液路を具備し、その単一側面から 関連する駆動システムに相互接続可能であるインクジェットプリントヘッドのベ ース部分を製造する方法であって、上面および底面を具備する絶縁材料のブロッ クを用意し、前記絶縁材料のブロックの前記上面から前記底面まで延びる複数の 開口であって、前記開口のそれぞれは、内部側面によって画定され、前記複数の インク搬送液路の一つに対応する複数の開口を形成し、前記絶縁材料のブロック の前記内部側面の上と、前記上面の一部の上とに導電材料を堆積し、この場合、 前記上面の上の前記導電材料が、その複数の区域に配置され、それぞれが他の区 域から電気的に絶縁され、前記開口の一つを画定する前記内部側面の上に堆積さ れた前記導電材料と電気的に接続されるようにし、前記絶縁材料のブロックに形 成された前記開口のそれぞれに差し込み可能にピンを組み込むという工程を有し 、その場合、前記各ピンは、前記上面の上に堆積された前記導電材料の区域の一 つに電気的に連結している。 もう一つの実施例において、本発明は、その単一側面から相互接続可能である インクジェットプリントヘッドのための液路アレイを製造する方法であって、絶 縁材料から形成されるとともに、上面および底面と、前記上面に沿って形成され た導電材料からなり、全体として平行で、長手方向に延びる複数の細片と、前記 底面から突出している対応する複数の導電性のピンと、前記複数のピンのそれぞ れを前記複数の細片の対応する一つに電気的に接続する手段とを具備する下側本 体部分を用意し、前記下側本体部分に全体として平行である第１の方向に指示さ れた活性な圧電材料から構成された第１の中間本体部分の底面を、前記下側本体 部分の前記上面に導電的に組み付け、前記下側本体部分に全体として平行であり 、前記第１の方向とは逆向きの第２の方向に指示された活性な圧電材料から構成 された第２の中間本体部分の底面を、前記第１の中間本体部分の上面に導電的に 組み付け、前記第２の中間本体部分の上面に沿って間隔をあけた配置の、全体と して平行で、長手方向に延びる複数の溝 であって、導電材料からなる前記細片の聞に位置付けられた前記下側本体部分の 前記上面からなる、全体として平行で、長手方向に延びる部分を露出させるため に、前記第２の中間本体部分を貫通して延びる溝を形成し、絶縁材料から形成さ れた上側本体部分の底面を、前記第２の中間本体部分の前記上面に導電的に組み 付けるという工程を有する。 さらにもう一つの実施例において、本発明は、その単一側面から相互接続可能 であるインクジェットプリントヘッドのための液路アレイであって、上側および 底側を具備する下側本体部分と、前記下側本体部分の前記上面に組み付けられた 複数の導電材料の区域と、前記下側本体部分の前記底側から突出している、対応 する複数の導電性のピンと、前記複数の導電性のピンの対応する一つに、前記複 数の導電性の区域のそれぞれを電気的に接続する手段と、全体として平行で、長 手方向に延びる複数の第１の中間本体部分であって、前記第１の中間本体部分の それぞれは、前記下側本体部分の前記上面に平行な第１の方向に指示された活性 な圧電材料から形成され、そこに組み付けられた前記導電性の区域の一つを具備 する前記下側本体部分の前記上面の一部に導電的に組み付けられた底面を具備す る複数の第１の中間本体部分と、全体として平行で、長手方向に延びる複数の第 ２の中間本体部分であって、前記第２の中間本体部分のそれぞれは、前記下側本 体部分の前記上面に平行な、前記第１の方向とは逆向きの第２の方向に指示され た活性な圧電材料から形成され、前記第１の中間本体部分の一つの前記上面に導 電的に組み付けられた底面を具備する複数の第２の中間本体部分と、絶縁材料か ら形成され、前記複数の第２の中間本体部分のそれぞれの上面に導 電的に組み付けられた底面を具備する上側本体部分とを有する。 好ましい実施例の詳細な説明を以下の図面に関し考慮することにより、本発明 の良好な理解が得られる。 図１Ａは、その一方の側でのみ駆動システムと接続でき、本発明の教示に従っ て構成されたインクジェットプリントヘッド下側本体部分の概観図である。 図１Ｂは、図１Ａで示される下側本体部分への製造に適切な絶縁材料のブロッ クを示す、図１Ａのライン１Ｂ−Ｅ〜１Ｂ−Ｅに沿って描かれた第１の断面図で ある。 図１Ｃは、その上面と底面との間に延びる開口を形成した後の、図１Ｂで示さ れる絶縁材料のブロックの図１Ａのライン１Ｂ−Ｅ〜１Ｂ−Ｅに沿って描かれた 第２の断面図である。 図１Ｄは、その表面状への導電材料の堆積後における、図１Ｃで示された絶縁 材料の穴を開けられたブロックの図１Ａのライン１Ｂ−Ｅ〜１Ｂ−Ｅに沿って描 かれた第３の断面図である。 図１Ｅは、堆積された導電材料の一部が取り除かれ、そこに導電性のピンが組 み付けられた後における、図１Ｄで示された金属化された開口を有する絶縁材料 のブロックの図１Ａのライン１Ｂ−Ｅ〜１Ｂ−Ｅに沿って描かれた第４の断面図 である。 図２は、第１，第２の中間本体部分が導電的にそこに組み付けられた後におけ る図１Ａの下側本体部分の概観図である。 図３は、一連の全体として平行で、長手方向に延びる溝がその中に形成された 後における図２の下側本体部分および第１，第２の中間本体部分の概観図である 。 図４は、その底面から接続可能である、駆動システムをその一方 の側でのみ接続できるインクジェットプリントヘッドのための液路アレイを形成 するために、上側本体部分が導電的にそこに組み付けられた後における、図３の 溝が設けられた下側本体部分および第１，第２の中間本体部分の概観図である。 図５は、その底面から接続可能な駆動システムを具備している、完全に組み立 てられたインクジェットプリントヘッドの概観図である。 図６Ａは、図５のライン５〜５に沿って描かれ、図５の駆動システムをその一 方の側でのみ接続できるインクジェットプリントヘッドのための液路アレイを示 す拡大部分断面図である。 図６Ｂは、関連する駆動システムによって作動されたときの液路アレイの側壁 の変位を図示する図６Ａの拡大図である。 図６Ｃは、関連する駆動システムによって作動されたときの、図６Ｂにおいて 示された側壁の構成の代わりの実施例の拡大図である。 図６Ｄは、図５〜図６Ｃで示された駆動システムに底面で接続で 請求の範囲 １．関連を持つ駆動システムをその一方の側でのみ接続が可能でかつ縦方向にほ ぼ平行して延びる複数のインク滴排出用インク収容溝（３８）を備えたインクジ ェットプリントヘッドの下側本体部分（１０）を製造する方法であって、 頂面（１４ａ）及び底面（１４ｂ）を有しかつ絶縁材料から成るベース部（１ ４）を用意する段階と、 上記複数のインク収容溝のそれぞれと対応して上記絶縁材料製ベース部の頂面 から底面に延びかつそれぞれが内部表面（１５，２２，２３）によって規定され る複数の穴（１８）を形成する段階と、 上記内部表面上と、上記絶縁材料製ベース部の頂面（１４ａ）上とに導電性材 料（２４ａ，２４ｃ）を溶着させ、上記頂面上の導電性材料は、それぞれが残り の断片から電気的に絶縁されるように複数の断片に整えられて、上記穴のそれぞ れを規定する内部表面の上に溶着させた導電性材料と電気的に結合される段階と 、 上記絶縁材料製ベース部に形成した上記各穴にピンを嵌着させる段階とから成 り、 上記各ピンは上記頂面に溶着された導電性材料製断片のそれぞれと電気的に接 続されるインクジェットプリントヘッドの下側本体部分（１０）を製造する方法 。 ２．上記絶縁材料製ベース部の頂面から底面に延びる複数の穴を形成する段階は 上記頂面（１４ａ）から上記絶縁材料製ベース部の内部表面（１５）に延びる複 数の内側に傾けた第１の穴部（２２）を形成する段階と、 上記底面（１４ｂ）から上記絶縁材料製ベース部の内部表面（１５）に延び、 対応する上記複数の第１穴部よりも大径でかつこれらの穴部とそれぞれ連通する 複数の内側に傾けた第２の対応する穴部（２３）を形成する段階とからさらに成 る請求項１記載の方法。 ３．上記各穴内にピン（２０）を嵌着させる段階は各ピンが上記絶縁材料製ベー ス部の内部表面（１５）に係合するまで上記各ピンを上記各第２穴部（２３）に 挿入する段階と、 上記各第２穴部（２３）に挿入されたピンを固定する段階とからさらに成る請 求項２記載の方法。 ４．上記絶縁材料製ベース部（１４）の頂面に溶着される導電性材料（２４）は 縦方向にほぼ平行して延びる複数の導電材料製細片（１６）に整えられて、それ ぞれ残りの細片から電気的に絶縁されると共に、各細片は上記複数のインク収容 溝（３８）のそれぞれと対応している請求項１〜３の何れか１つに記載の方法。 ５．上記細片（１６）は上記絶縁材料製ベース部の頂面に溶着した導電性材料（ ２４）の一部を除去することにより形成される請求項４記載の方法。 ６．頂面（１４ａ）及び底面（１４ｂ）を有しかつ絶縁材料（１４）製の下側本 体部分（１０）、上記頂面に沿って形成されると共に縦方向にほぼ平行して延び る複数の導電材料製細片（１６）、上記底面から突出させた複数の対応する導電 ピン（２０）及び上記複数のピンのそれぞれを上記複数の細片中の対応する１つ と電気的に接続 する手段をそれぞれ用意する段階と、 上記下側本体部分とほぼ平行な第一方向に極化された活性圧電材料から成る第 １の中間本体部分（２２）の底面を上記下側本体部分の頂面に導電的に装着する 段階と、 上記下側本体部分（１４）とほぼ平行でかつ上記第一方向とは逆向きの第二方 向に極化された活性圧電材料から成る第２の中間本体部分（３０）の底面（３０ ｂ）を上記第１の中間本体部分の頂面（２２ａ）に導電的に装着する段階と、 上記導電材料製細片（１６）間の下側本体部分頂面の、縦方向にほぼ平行して 延びる部分を暴露するように、上記第２の中間本体部分を貫いて縦方向にほぼ平 行して延びる複数の溝（３８）を上記第２の中間本体部分の頂面（３０ａ）に沿 って間隔を置き形成する段階と、 絶縁材料から成る上側本体部分（４０）の底面（４０ｂ）を上記第２の中間本 体部分の頂面（３０ａ）に導電的に装着する段階とから成ることを特徴とするそ の一方の側でのみ接続が可能なインクジェットプリントヘッド用の溝配列を製造 する方法。 ７．不活性導電材料から成る第３の中間本体部分（５４）の底面（５４ｂ）を上 記第１の中間本体部分（２２）の頂面（２２ａ）に導電的に装着する段階と、 上記第３の中間本体部分の頂面（５４ａ）を上記第２の中間本体部分（３０） の底面（３０ｂ）に導電的に装着する段階とからさらに成る請求項６記載の方法 。 ８．上記縦方向にほぼ平行して延びる溝（３８）を上記下側本体部 分（１４）の一部を貫いて延びるように形成する段階をさらに含む請求項６記載 の方法。 ９．上記複数のインク収容溝のそれぞれと対応して上記絶縁材料製ベース部（１ ４）の頂面（１４ａ）から底面（１４ｂ）に延びかつそれぞれが内部表面（１５ ，２２，２３）によって規定される複数の穴（１８）を形成する段階と、 上記細片（１６）を形成するために上記内部表面上及び上記絶縁材料製ベース 部の頂面上の一部に導電性材料（２４ａ，２４ｃ）を溶着する段階と、 上記絶縁材料製ベース部に形成した穴のそれぞれにビン（２０）を嵌着させる 段階とから成り、 上記各ピンは上記頂面上に溶着された導電材料製断片のそれぞれと電気的に接 続される請求項６〜９の何れか１つに記載の方法。 １０．上記絶縁材料製ベース部の頂面（１４ａ）上の一部に導電性材料を溶着す る段階は上記絶縁材料製ベース部の頂面上に導電性材料層（２４）を溶着する段 階と、 上記絶縁材料製ベース部の頂面に溶着させた導電性材料の一部を除去すること により、残された導電性材料が上記細片（１６）として整えられる段階とをさら に有する請求項９記載の方法。 １１．上記複数の穴を形成する段階は上記頂面から上記絶縁材料製ベース部の内 部表面（１５）に延びる複数の内側に傾けた第１の穴部（２２）を形成する段階 と、 上記底面から上記絶縁材料製ベース部の内部表面（１５）に延び、 対応する上記複数の第１穴部よりも大径でかつこれらの穴部とそれぞれ連通する 複数の内側に傾けた対応する第２の穴部（２３）を形成する段階とからさらに成 る請求項１０記載の方法。 １２．上記穴（１８）のそれぞれにピン（２０）を嵌着させる段階は各ピンが上 記絶縁材料製ベース部の内部表面（１５）に係合するまで上記各ピンを上記各第 ２穴部（２３）に挿入する段階と、 上記各第２穴部に挿入されたピンを固定する段階とからさらに成る請求項１１ 記載の方法。 １３．不活性導電性材料から成る第３の中間本体部分（５４）の底面（５４ｂ） を上記第１の中間本体部分（２２）の頂面（２２ａ）に導電的に装着する段階と 、 上記第３の中間本体部分の頂面（５４ａ）を上記第２の中間本体部分（３０） の底面（３０ｂ）に導電的に装着する段階とをさらに有する請求項１２記載の方 法。 １４．上記縦方向にほぼ平行して延びる溝（３８）を上記下側本体部分（１４） の一部を貫いて延びるように形成する段階をさらに含む請求項１３記載の方法。 １５．上記第１（２２）及び第２（３０）の中間本体部分が縦方向にほぼ平行し て延びる複数の側壁動作部（３９）に分割されるように、上記溝（３８）は上記 第１及び第２の中間本体部分を貫いて形成される請求項６〜１４の何れか１つに 記載の方法。 １６．頂面（１４ａ）及び底面（１４ｂ）を備える下側本体部分（１４）と、 上記下側本体部分の頂面に装着される複数の導電材料製断片と、 上記下側本休部分の底面から突出させた複数の対応する導電ピン（２０）と、 上記複数の導電材料製断片を、対応する上記複数の導電ビンにそれぞれ電気的 に接続する手段と、 上記下側本体部分の頂面に平行である第一方向に極化された活性圧電材料で形 成され、上記各導電性断片を備えた下側本体部分の頂面の一部と導電的に装着さ れた底面（２２ｂ）を有しかつ縦方向にほぼ平行して延びる複数の第１の中間本 体部分（２２）と、 上記下側本体部分の頂面に平行でありかつ第一方向とは逆向きの第二方向に極 化された活性圧電材料で形成されると共に、そのそれぞれが上記第１の中間本体 部分（２２）の各頂面と導電的に装着された底面（３０ｂ）を有しかつ縦方向に ほぼ平行して延びる複数の第２の中間本体部分（３０）と、 上記複数の第２の中間本体部分の各頂面（３０ａ）に導電的に装着される底面 （４０ｂ）を備えた絶縁材料製の上側本体部分とを具備することを特徴とするそ の一方の側でのみ接続が可能なインクジェットプリントヘッド用の溝配列。 １７．上記下側本体部分の頂面に装着される複数の導電材料製断片は縦方向にほ ぼ平行して延びる複数の導電材料製細片（１６）から成り、各細片は上記複数の 第１の中間本体部分（２２）の１つの底面（２２ｂ）とそれぞれぞれ導電的に接 続されている請求項１６記載の溝配列。 １８．上記第１の中間本体部分の各頂面（２２ａ）に導電的に装着された底面（ ５４ｂ）及び上記第２の中間本体部分（３０）の各底面（３０ｂ）に導電的に装 着された頂面（５４ａ）を有しかつ導電性材料から成る複数の縦方向にほぼ平行 して延びる第３の中間本体部分（５４）をさらに備えた請求項１７記載の溝配列 。 １９．上記各複数の導電性断片を、対応する上記複数の各導電ピン（２０）にそ れぞれ電気的に接続する方法は上記下側本体部分の頂面（１４ａ）から底面（１ ４ｂ）に延びかつそれぞれが上記下側本体部分の頂面に装着した各細片（１６） に電気的に接続された導電材料層（２４ｃ）を備える内部表面（１５，２２，２ ３）にて規定される複数の穴（１８）をさらに有し、 上記複数の各導電ピン（２０）は上記各穴（１８）に嵌着され、上記内部表面 に形成の導電材料層（２４ｃ）に電気的に接続される請求項１８記載の溝配列。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (81)指定国 ＥＰ(ＡＴ，ＢＥ，ＣＨ，ＤＥ， ＤＫ，ＥＳ，ＦＲ，ＧＢ，ＧＲ，ＩＥ，ＩＴ，ＬＵ，Ｍ Ｃ，ＮＬ，ＰＴ，ＳＥ)，ＯＡ(ＢＦ，ＢＪ，ＣＦ，ＣＧ ，ＣＩ，ＣＭ，ＧＡ，ＧＮ，ＭＬ，ＭＲ，ＮＥ，ＳＮ， ＴＤ，ＴＧ)，ＡＴ，ＡＵ，ＢＲ，ＣＡ，ＣＨ，ＣＮ， ＣＺ，ＤＥ，ＤＫ，ＥＳ，ＦＩ，ＧＢ，ＨＵ，ＪＰ，Ｋ Ｒ，ＮＬ，ＮＯ，ＮＺ，ＰＬ，ＰＴ，ＲＵ，ＳＥ

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １．インク液滴を吐出するための全体として平行で、長手方向に延びる複数のイ ンク搬送液路を具備し、その単一側面から関連する駆動システムに相互接続可能 であるインクジェットプリントヘッドのベース部分を製造する方法であって、 上面および底面を具備する絶縁材料のブロックを用意し、 前記絶縁材料のブロックの前記上面から前記底面まで延びる複数の開口であっ て、前記開口のそれぞれは、内部側面によって画定され、前記複数のインク搬送 液路の一つに対応する複数の開口を形成し、 前記絶縁材料のブロックの前記内部側面の上と、前記上面の一部の上とに導電 材料を堆積し、この場合、前記上面の上の前記導電材料が、その複数の区域に配 置され、それぞれが他の区域から電気的に絶縁され、前記開口の一つを画定する 前記内部側面の上に堆積された前記導電材料と電気的に接続されるようにし、 前記絶縁材料のブロックに形成された前記開口のそれぞれに差し込み可能にピ ンを組み込むという工程を有し、 その場合、前記各ピンは、前記上面の上に堆積された前記導電材料の区域の一 つに電気的に連結している製造方法。 ２．その単一側面から相互接続可能であるインクジェットプリントヘッドのベー ス部分を製造する請求項１に従う製造方法であって、前記絶縁材料のブロックの 前記上面から前記底面まで延びる複数の開口を形成する工程は、 前記絶縁材料のブロックの前記上面から内部表面まで延びる第１ の複数の内向きのテーパを付けられた開口部分を形成し、 前記絶縁材料のブロックの前記底面から前記内部表面まで延びる第２の複数の 内向きのテーパを付けられた対応する開口部分であって、第２の複数の開口部分 の各々は、前記第１の複数の開口部分の一つよりも大きな直径を有するとともに 、前記第１の複数の開口部分の対応する一つに連絡している第２の開口部分を形 成するという工程をさらに有する製造方法。 ３．その単一側面から相互接続可能であるインクジェットプリントヘッドのベー ス部分を製造する請求項２に従う製造方法であって、前記開口のそれぞれにピン を差し込み可能に組み付ける工程は、 前記絶縁材料のブロックの前記内部側面に前記ピンが係合するまで、前記第２ の開口部分の各々に前記ピンを差し込み、 前記第２の開口部分の各々に差し込まれた前記ピンを固定するという工程をさ らに有する製造方法。 ４．その単一側面から相互接続可能であるインクジェットプリントヘッドのベー ス部分を製造する請求項１に従う製造方法であって、前記絶縁材料のブロックの 前記上面の上に堆積された前記導電材料は、導電材料からなる全体として平行で 、長手方向に延びる複数の細片となるように配置され、それぞれは、残りの細片 から電気的に絶縁され、前記複数のインク搬送液路の一つに対応する製造方法。 ５．そこからインク液滴を吐出するための全体として平行で、長手方向に延びる 複数のインク搬送液路を具備し、その単一側面から関連する駆動システムに相互 接続可能であるインクジェットプリント ヘッドのベース部分を製造する方法であって、 上面および底面を具備する絶縁材料のブロックを用意し、 前記絶縁材料のブロックの前記上面から前記底面まで延びる複数の開口であっ て、前記開口のそれぞれは、内部側面によって画定され、前記複数のインク搬送 液路の一つに対応する複数の開口を形成し、 前記絶縁材料のブロックの前記内部側面と前記上面との上に導電材料を堆積し 、 前記絶縁材料のブロックの前記上面に堆積された前記導電材料の一部分を除去 し、したがって、残りの導電材料は、一連の全体として平行で、長手方向に延び る細片として配置され、前記各細片は、残りの細片から電気的に絶縁され、、前 記複数の開口の一つを画定する前記内部側面の上に堆積された前記導電材料と電 気的に連絡し、前記インク搬送液路の一つに対応し、 前記絶縁材料のブロックに形成された前記開口のそれぞれに、ピンを差し込み 可能に組み付けるという工程を有し、 その場合、前記各ピンは、前記上面に沿って長手方向に延びる導電材料の前記 細片の一つと電気的に連絡している製造方法。 ６．その単一側面から相互接続可能であるインクジェットプリントヘッドのベー ス部分を製造する請求項５に従う製造方法であって、前記絶縁材料のブロックの 前記上面から前記底面まで延びる複数の開口を形成する工程は、 前記絶縁材料のブロックの前記上面から内部表面まで延びる第１の複数の内向 きのテーパを付けられた開口部分を形成し、 前記絶縁材料のブロックの前記底面から前記内部表面まで延びる 第２の複数の内向きのテーパを付けられた対応する開口部分であって、第２の複 数の開口部分の各々は、前記第１の複数の開口部分の一つよりも大きな直径を有 するとともに、前記第１の複数の開口部分の対応する一つに連絡している第２の 開口部分を形成するという工程をさらに有する製造方法。 ７．その単一側面から相互接続可能であるインクジェットプリントヘッドのベー ス部分を製造する請求項６に従う製造方法であって、前記開口のそれぞれにピン を差し込み可能に組み付ける工程は、 前記絶縁材料のブロックの前記内部側面に前記ピンが係合するまで、前記第２ の開口部分の各々に前記ピンを差し込み、 前記第２の開口部分の各々に差し込まれた前記ピンを固定するという工程をさ らに有する製造方法。 ８．その単一側面から相互接続可能であるインクジェットプリントヘッドのため の液路アレイを製造する方法であって、 絶縁材料から形成されるとともに、上面および底面と、前記上面に沿って形成 された導電材料からなり、全体として平行で、長手方向に延びる複数の細片と、 前記底面から突出している対応する複数の導電性のピンと、前記複数のピンのそ れぞれを前記複数の細片の対応する一つに電気的に接続する手段とを具備する下 側本体部分を用意し、 前記下側本体部分に全体として平行である第１の方向に指示された活性な圧電 材料から構成された第１の中間本体部分の底面を、前記下側本体部分の前記上面 に導電的に組み付け、 前記下側本体部分に全体として平行であり、前記第１の方向とは 逆向きの第２の方向に指示された活性な圧電材料から構成された第２の中間本体 部分の底面を、前記第１の中間本体部分の上面に導電的に組み付け、 前記第２の中間本体部分の上面に沿って間隔をあけた配置の、全体として平行 で、長手方向に延びる複数の溝であって、導電材料からなる前記細片の間に位置 付けられた前記下側本体部分の前記上面からなる、全体として平行で、長手方向 に延びる部分を露出させるために、前記第２の中間本体部分を貫通して延びる溝 を形成し、 絶縁材料から形成された上側本体部分の底面を、前記第２の中間本体部分の前 記上面に導電的に組み付けるという工程を有する製造方法。 ９．その単一側面から相互接続可能であるインクジェットプリントヘッドのため の液路アレイを製造する、請求項８に従う製造方法であって、 不活性な導電材料から形成された第３の中間本体部分の底面を、前記第１の中 間本体部分の上面に導電的に組み付け、 前記第３の中間本体部分の上面を、前記第２の中間本体部分の前記底面に導電 的に組み付けるという工程をさらに有する製造方法。 １０．その単一側面から相互接続可能であるインクジェットプリントヘッドのた めの液路アレイを製造する、請求項８に従う製造方法であって、 前記全体として平行で、長手方向に延びる溝を、前記下側本体部分の一部を通 って延びるように形成する工程をさらに含む製造方法。 １１．その単一側面から相互接続可能であるインクジェットプリントヘッドのた めの液路アレイを製造する方法であって、 上面および底面を具備する絶縁材料のブロックを用意し、 前記絶縁材料のブロックの前記上面から前記底面まで延びる複数の開口であっ て、前記開口のそれぞれは、内部側面によって画定され、前記複数のインク搬送 液路の一つに対応する複数の開口を形成し、 前記絶縁材料のブロックの前記内部側面の上と、前記上面の一部の上とに導電 材料を堆積し、この場合、前記上面の上の前記導電材料が、全体として平行で、 長手方向に延びる複数の細片となるように配置され、それぞれが他の細片から電 気的に絶縁され、前記開口の一つを画定する前記内部側面の上に堆積された前記 導電材料と電気的に接続されるようにし、 各ピンが、絶縁材料からなる前記ブロックの前記上面に沿って配置された導電 材料からなる前記細片の一つに電気的に連絡するように、前記絶縁材料のブロッ クに形成された前記開口のそれぞれに差し込み可能にピンを組み込み、 前記下側本体部分に全体として平行である第１の方向に指示された活性な圧電 材料からなる第１の中間本体部分の底面を、前記ベース部分の前記上面に導電的 に組み付け、 前記下側本体部分に全体として平行であり、前記第１の方向とは逆向きの第２ の方向に指示された活性な圧電材料からなる第２の中間本体部分の底面を、前記 第１の中間本体部分の上面に導電的に組み付け、 前記第２の中間本体部分の上面に沿って間隔をあけた配置で、全体として平行 で、長手方向に延びる複数の溝であって、導電材料か らなる前記細片の間に位置付けられた前記下側本体部分の前記上面からなる、全 体として平行で、長手方向に延びる部分を露出させるために、前記第２の中間本 体部分を貫通して延びる溝を形成し、 絶縁材料から形成された上側本体部分の底面を、前記第２の中間本体部分の前 記上面に導電的に組み付けるという工程を有する製造方法。 １２．その単一側面から相互接続可能であるインクジェットプリントヘッドのた めの液路アレイを製造する請求項１１に従う製造方法であって、前記絶縁材料の ブロックの前記上面の一部に導電材料を堆積する工程は、 前記絶縁材料のブロックの前記上面の上に導電材料の層を堆積し、 残る導電材料が、一連の全体として平行で、長手方向に延びる細片として配置 されるように、前記絶縁材料のブロックの前記上面の上に堆積された前記導電材 料の一部分を取り除くという工程をさらに有する製造方法。 １３．その単一側面から相互接続可能であるインクジェットプリントヘッドのた めの液路アレイを製造する請求項１２に従う製造方法であって、前記絶縁材料の ブロックの前記上面から前記底面まで延びる複数の開口を形成する工程は、 前記絶縁材料のブロックの前記上面から内部表面まで延びる第１の複数の内向 きのテーパを付けられた開口部分を形成し、 前記絶縁材料のブロックの前記底面から前記内部表面まで延びる第２の複数の 内向きのテーパを付けられた対応する開口部分であって、第２の複数の開口部分 の各々は、前記第１の複数の開口部分の 一つよりも大きな直径を有するとともに、前記第１の複数の開口部分の対応する 一つに連絡している第２の開口部分を形成するという工程をさらに有する製造方 法。 １４．その単一側面から相互接続可能であるインクジェットプリントヘッドのた めの液路アレイを製造する請求項１２に従う製造方法であって、前記開口のそれ ぞれにピンを差し込み可能に組み付ける工程は、 前記絶縁材料のブロックの前記内部側面に前記ピンが係合するまで、前記第２ の開口部分の各々に前記ピンを差し込み、 前記第２の開口部分の各々に差し込まれた前記ピンを固定するという工程をさ らに有する製造方法。 １５．その単一側面から相互接続可能であるインクジェットプリントヘッドのた めの液路アレイを製造する請求項１４に従う製造方法であって、 不活性な導電材料から形成された第３の中間本体部分の底面を、前記第１の中 間本体部分の上面に導電的に組み付け、 前記第３の中間本体部分の上面を、前記第２の中間本体部分の前記底面に導電 的に組み付けるという工程をさらに有する製造方法。 １６．その単一側面から相互接続可能であるインクジェットプリントヘッドのた めの液路アレイを製造する請求項１５に従う製造方法であって、 前記全体として平行で、長手方向に延びる溝を、前記下側本体部分の一部を通 って延びるように形成する工程をさらに含む製造方法。 １７．その単一側面から相互接続可能であるインクジェットプリントヘッドのた めの液路アレイであって、 上側および底側を具備する下側本体部分と、 前記下側本体部分の前記上面に組み付けられた複数の導電材料の区域と、 前記下側本体部分の前記底側から突出している、対応する複数の導電性のピン と、 前記複数の導電性のピンの対応する一つに、前記複数の導電性の区域のそれぞ れを電気的に接続する手段と、 全体として平行で、長手方向に延びる複数の第１の中間本体部分であって、前 記第１の中間本体部分のそれぞれは、前記下側本体部分の前記上面に平行な第１ の方向に指示された活性な圧電材料から形成され、そこに組み付けられた前記導 電性の区域の一つを具備する前記下側本体部分の前記上面の一部に導電的に組み 付けられた底面を具備する複数の第１の中間本体部分と、 全体として平行で、長手方向に延びる複数の第２の中間本体部分であって、前 記第２の中間本体部分のそれぞれは、前記下側本体部分の前記上面に平行な、前 記第１の方向とは逆向きの第２の方向に指示された活性な圧電材料から形成され 、前記第１の中間本体部分の一つの前記上面に導電的に組み付けられた底面を具 備する複数の第２の中間本体部分と、 絶縁材料から形成され、前記複数の第２の中間本体部分のそれぞれの上面に導 電的に組み付けられた底面を具備する上側本体部分とを有する液路アレイ。 １８．その単一側面から相互接続可能であるインクジェットプリントヘッドのた めの請求項１７に従う液路アレイであって、 下側本体部分の前記上側に組み付けられた導電材料からなる前記複数の区域は 、導電材料からなり、全体として平行で、長手方向に延びる複数の細片であり、 前記複数の細片のそれぞれは、前記複数の第１の中間本体部分の一つの前記底面 に導電的に組み付けられているという複数の細片をさらに有する液路アレイ。 １９．その単一側面から相互接続可能であるインクジェットプリントヘッドのた めの請求項１８に従う液路アレイであって、 全体として平行で、長手方向に延びる複数の第３の中間本体部分であって、前 記複数の第３の中間本体部分のそれぞれは、導電材料から形成され、前記第１の 中間本体部分の一つの前記上面に導電的に組み付けられた底面と、前記第２の中 間本体部分の一つの前記底面に導電的に組み付けられた上面とを具備するという 複数の第３の中間本体部分をさらに有する液路アレイ。 ２０．その単一側面から相互接続可能であるインクジェットプリントヘッドのた めの請求項１９に従う液路アレイであって、前記複数の導電性のピンの対応する 一つに、前記複数の導電性の区域のそれぞれを電気的に接続する前記手段は、 前記下側本体部分の前記上面から前記底面に延びる複数の開口であり、前記開 口のそれぞれは、その上に形成された導電性の材料からなる層を具備する内部側 壁によって画定され、前記各開口内の導電性材料からなる前記層は前記下側本体 部分の前記上面に組み付けられた前記細片の一つに電気的に接続されているとい う、複数の開 口をさらに有し、 この場合、前記複数の導電性のピンのそれぞれは、前記複数の開口の一つに差 し込み可能に組み付けられ、それの前記内部側壁の上に形成された導電材料の前 記層に電気的に接続されている液路アレイ。 ２１．その単一側面から関連する駆動システムと相互接続可能であるインクジェ ットプリントヘッドのための液路アレイを製造する方法であって、 第１の縦方向に指示された活性な圧電材料から形成され、その上面の上に形成 された導電材料の層を具備する下側本体部分を用意し、 前記第１の方向と平行であるが、逆向きの第２の方向に指示された活性な圧電 材料から形成された中間本体部分の底面を、前記下側本体部分の前記上面に導電 的に組み付け、 前記中間本体部分の上面に沿って間隔をあけた配置の、全体として平行で、長 手方向に延びる複数の溝であって、前記中間本体部分と前記下側本体部分の一部 とを貫通して延び、前記中間本体部分を全体として平行で、長手方向に延びる側 壁動作部に区分する複数の溝を形成し、 上側本体部分、すなわち、その底面に沿って形成された導電材料からなる全体 的に平行で、長手方向に延びる複数の細片であって、それぞれは、前記側壁動作 部の対応する一つに電気的に接続されている複数の細片と、前記上面のそれぞれ 間隔をあけた位置に、前記導電性の細片のそれぞれを電気的に接続する手段とを 具備する上側本体部分の底面を、複数のインク搬送液路を画定するために、前記 中間本体部分の上面に導電的に組み付けるという工程を有する製造 方法。 ２２．請求項２１の製造方法によって形成された製品。 ２３．その単一側面から関連する駆動システムと相互接続可能であるインクジェ ットプリントヘッドのための液路アレイを製造する方法であって、 絶縁材料から形成され、その上面の上に形成された導電材料の層を具備する下 側本体部分を用意し、 前記下側本体部分に全体として平行である第１の方向に指示された活性な圧電 材料から形成された第１の中間本体部分の底面を、前記下側本体部分の前記上面 に導電的に組み付け、 前記第１の方向に指示された活性な圧電材料から形成された第２の中間本体部 分の底面を、前記第１の中間本体部分の上面に導電的に組み付け、 前記第２の中間本体部分の上面に沿って間隔をあけた配置の、全体として平行 で、長手方向に延びる複数の溝であって、前記下側本体部分の前記上面の上に形 成された導電材料の前記層を露出させるために、第１，第２の中間本体部分を貫 通して延び、それによって、前記第１，第２の中間本体部分を全体的に平行で、 長手方向に延びる側壁動作部に区分する複数の溝を形成し、 上側本体部分、すなわち、その底面に沿って形成された導電材料からなる全体 的に平行で、長手方向に延びる複数の細片であって、それぞれは、前記側壁動作 部の対応する一つに電気的に接続されている複数の細片と、前記上面の上にそれ ぞれ間隔をあけた位置に、前記導電性の細片のそれぞれを電気的に接続する手段 とを具備する 上側本体部分の底面を、複数のインク搬送液路を画定するために、前記中間本体 部分の上面に導電的に組み付けるという工程を有する製造方法。 ２４．請求項２３の製造方法によって形成された製品。