JPH0947630A - 自己診断機能付き加熱再生式空気冷却乾燥装置及びその診断方法 - Google Patents
自己診断機能付き加熱再生式空気冷却乾燥装置及びその診断方法Info
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- JPH0947630A JPH0947630A JP7205696A JP20569695A JPH0947630A JP H0947630 A JPH0947630 A JP H0947630A JP 7205696 A JP7205696 A JP 7205696A JP 20569695 A JP20569695 A JP 20569695A JP H0947630 A JPH0947630 A JP H0947630A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 吸着剤の寿命を予測し、吸着剤が使用不能と
なる前に通知する。 【解決手段】 前段の乾燥手段により冷却乾燥された空
気をさらに乾燥する吸着剤を充填した2つの吸着塔と、
吸着塔で乾燥された空気の一部を加熱し再生空気とする
加熱手段と、空気乾燥に使用する吸着塔と再生する吸着
塔とを切り換える切り換え弁とを備え、吸着塔の一方を
空気乾燥に使用するときには、他方の吸着塔には前記再
生空気を流して再生し、両吸着塔について使用と再生と
を繰り返す加熱再生式空気冷却乾燥装置にあって、吸着
塔における吸着剤の温度を計測する温度計測手段と、温
度計測手段の計測結果に基づき、吸着剤の再生時におけ
る吸着剤温度上昇特性から当該吸着剤の劣化状態を診断
し、その診断結果を報知する吸着剤診断手段とを備えた
自己診断機能付き加熱再生式空気冷却乾燥装置。
なる前に通知する。 【解決手段】 前段の乾燥手段により冷却乾燥された空
気をさらに乾燥する吸着剤を充填した2つの吸着塔と、
吸着塔で乾燥された空気の一部を加熱し再生空気とする
加熱手段と、空気乾燥に使用する吸着塔と再生する吸着
塔とを切り換える切り換え弁とを備え、吸着塔の一方を
空気乾燥に使用するときには、他方の吸着塔には前記再
生空気を流して再生し、両吸着塔について使用と再生と
を繰り返す加熱再生式空気冷却乾燥装置にあって、吸着
塔における吸着剤の温度を計測する温度計測手段と、温
度計測手段の計測結果に基づき、吸着剤の再生時におけ
る吸着剤温度上昇特性から当該吸着剤の劣化状態を診断
し、その診断結果を報知する吸着剤診断手段とを備えた
自己診断機能付き加熱再生式空気冷却乾燥装置。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、オゾン発生装置の
原料空気供給装置などに用いられる加熱再生式空気冷却
乾燥装置に係わり、特に、吸着剤の性能劣化を診断して
報知する自己診断機能付き加熱再生式空気冷却乾燥装置
及びその診断方法に関する。
原料空気供給装置などに用いられる加熱再生式空気冷却
乾燥装置に係わり、特に、吸着剤の性能劣化を診断して
報知する自己診断機能付き加熱再生式空気冷却乾燥装置
及びその診断方法に関する。
【0002】
【従来の技術】オゾン発生器などの原料空気供給用とし
て低露点の乾燥空気を供給するための装置の1つとして
加熱再生式空気冷却乾燥装置が用いられている。この空
気乾燥装置について、図6を引用して説明する。
て低露点の乾燥空気を供給するための装置の1つとして
加熱再生式空気冷却乾燥装置が用いられている。この空
気乾燥装置について、図6を引用して説明する。
【0003】図6は従来の加熱再生式空気冷却乾燥装置
を示すブロック図である。この装置は、ブロワ3から供
給される圧縮空気をアフタークーラ4を用いて冷却し、
冷凍式エアドライヤ5でもう1段の冷却と除湿をした
後、更に吸着剤6a又は6bによって水分を吸着除去
し、−50℃以下の非常に低露点の乾燥空気をオゾン発
生器1に供給できるように構成されている。
を示すブロック図である。この装置は、ブロワ3から供
給される圧縮空気をアフタークーラ4を用いて冷却し、
冷凍式エアドライヤ5でもう1段の冷却と除湿をした
後、更に吸着剤6a又は6bによって水分を吸着除去
し、−50℃以下の非常に低露点の乾燥空気をオゾン発
生器1に供給できるように構成されている。
【0004】また、連続運転が可能なように吸着剤6
a,6bを充填した吸着塔7a,7bは通常2塔設けら
れ、吸着塔7a,7bの下部及び上部にある4方向弁1
0,11を切り替え操作して一度に片方のみの吸着塔を
使用し、例えば一方の吸着塔7aが吸着工程にあるとき
にもう一方の吸着塔7bを再生し、一定時間毎に交互に
使用することで連続運転が可能な方式となっている。
a,6bを充填した吸着塔7a,7bは通常2塔設けら
れ、吸着塔7a,7bの下部及び上部にある4方向弁1
0,11を切り替え操作して一度に片方のみの吸着塔を
使用し、例えば一方の吸着塔7aが吸着工程にあるとき
にもう一方の吸着塔7bを再生し、一定時間毎に交互に
使用することで連続運転が可能な方式となっている。
【0005】吸着塔7a,7bの再生方式には種々の方
式が用いられているが、その1つに乾燥空気の2割程度
を調節弁12から取り込み再生用として利用して、この
乾燥空気をヒータ13により加熱し、200℃程度まで
加熱された乾燥空気を再生する吸着塔(7a又は7b)
に供給し、吸着剤(6a又は6b)を加熱再生する方式
がある。
式が用いられているが、その1つに乾燥空気の2割程度
を調節弁12から取り込み再生用として利用して、この
乾燥空気をヒータ13により加熱し、200℃程度まで
加熱された乾燥空気を再生する吸着塔(7a又は7b)
に供給し、吸着剤(6a又は6b)を加熱再生する方式
がある。
【0006】このような加熱再生方式の場合、加熱再生
した状態では再生された吸着塔(7a又は7b)は非常
に高温となっているため、次に使用する前に常温まで冷
却する必要がある。したがって加熱再生後は加熱ヒータ
13を切って冷却乾燥空気により常温まで冷却するよう
にしている。
した状態では再生された吸着塔(7a又は7b)は非常
に高温となっているため、次に使用する前に常温まで冷
却する必要がある。したがって加熱再生後は加熱ヒータ
13を切って冷却乾燥空気により常温まで冷却するよう
にしている。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】従来のこの方式におい
ては、吸着剤6a,6bの水分吸着性能が十分なときに
は、吸着塔7a,7bを一定時間おきに切り替えて吸
着、再生、冷却を繰り返せば加熱再生式空気乾燥装置2
の出口空気露点は−50℃以下の値に維持されている。
ては、吸着剤6a,6bの水分吸着性能が十分なときに
は、吸着塔7a,7bを一定時間おきに切り替えて吸
着、再生、冷却を繰り返せば加熱再生式空気乾燥装置2
の出口空気露点は−50℃以下の値に維持されている。
【0008】しかしながら、吸着剤(6a又は6b)が
劣化し吸着性能が低下してくると、加熱再生式空気冷却
乾燥装置2の出口空気露点を低露点に維持できなくなっ
てしまう。このとき、吸着剤(6a又は6b)の劣化は
急激に進行し一気に吸着性能が低下するため、露点の高
い空気がオゾン発生器1に送り込まれることになり、オ
ゾン発生効率の低下やNOx 等の発生によるオゾン発生
器1の缶体内の汚れを引き起こす原因となっていた。
劣化し吸着性能が低下してくると、加熱再生式空気冷却
乾燥装置2の出口空気露点を低露点に維持できなくなっ
てしまう。このとき、吸着剤(6a又は6b)の劣化は
急激に進行し一気に吸着性能が低下するため、露点の高
い空気がオゾン発生器1に送り込まれることになり、オ
ゾン発生効率の低下やNOx 等の発生によるオゾン発生
器1の缶体内の汚れを引き起こす原因となっていた。
【0009】本発明は、このような実情を考慮してなさ
れたもので、吸着剤の寿命を予測し、吸着剤が使用不能
となる前に自動的にオペレータに知らせることにより、
露点の高い空気がオゾン発生器に送り込まれることを未
然に防ぎ、かつ、適時なメンテナンスを可能としてメン
テナンスコストを削減できる自己診断機能付き加熱再生
式空気冷却乾燥装置及びその診断方法を提供することを
目的とする。
れたもので、吸着剤の寿命を予測し、吸着剤が使用不能
となる前に自動的にオペレータに知らせることにより、
露点の高い空気がオゾン発生器に送り込まれることを未
然に防ぎ、かつ、適時なメンテナンスを可能としてメン
テナンスコストを削減できる自己診断機能付き加熱再生
式空気冷却乾燥装置及びその診断方法を提供することを
目的とする。
【0010】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、請求項1に対応する発明は、流入される空気を冷却
し乾燥する前段の乾燥手段と、この前段の乾燥手段によ
り冷却乾燥された空気をさらに乾燥するための吸着剤を
充填した2つの吸着塔と、吸着塔で乾燥された空気の一
部を加熱し再生空気とする加熱手段と、空気乾燥のため
に使用する吸着塔と再生する吸着塔とを切り換える切り
換え弁とを備え、吸着塔の一方を空気乾燥のために使用
しているときには、他方の吸着塔には再生空気を流して
再生し、両吸着塔について使用と再生とを交互に繰り返
すようにした加熱再生式空気冷却乾燥装置にあって、吸
着塔における吸着剤の温度を計測する温度計測手段と、
温度計測手段の計測結果に基づき、吸着剤の再生時にお
ける吸着剤温度上昇特性から当該吸着剤の劣化状態を診
断し、その診断結果を報知する吸着剤診断手段とを備え
た自己診断機能付き加熱再生式空気冷却乾燥装置であ
る。
に、請求項1に対応する発明は、流入される空気を冷却
し乾燥する前段の乾燥手段と、この前段の乾燥手段によ
り冷却乾燥された空気をさらに乾燥するための吸着剤を
充填した2つの吸着塔と、吸着塔で乾燥された空気の一
部を加熱し再生空気とする加熱手段と、空気乾燥のため
に使用する吸着塔と再生する吸着塔とを切り換える切り
換え弁とを備え、吸着塔の一方を空気乾燥のために使用
しているときには、他方の吸着塔には再生空気を流して
再生し、両吸着塔について使用と再生とを交互に繰り返
すようにした加熱再生式空気冷却乾燥装置にあって、吸
着塔における吸着剤の温度を計測する温度計測手段と、
温度計測手段の計測結果に基づき、吸着剤の再生時にお
ける吸着剤温度上昇特性から当該吸着剤の劣化状態を診
断し、その診断結果を報知する吸着剤診断手段とを備え
た自己診断機能付き加熱再生式空気冷却乾燥装置であ
る。
【0011】また、請求項2に対応する発明は、請求項
1に対応する発明において、吸着塔により乾燥された空
気の露点を計測する空気露点計と、空気露点計の計測結
果に基づき、吸着塔の吸着開始時からの空気露点下降特
性から吸着剤の劣化状態を診断し、その診断結果を報知
する第2の吸着剤診断手段とを備えた自己診断機能付き
加熱再生式空気冷却乾燥装置である。
1に対応する発明において、吸着塔により乾燥された空
気の露点を計測する空気露点計と、空気露点計の計測結
果に基づき、吸着塔の吸着開始時からの空気露点下降特
性から吸着剤の劣化状態を診断し、その診断結果を報知
する第2の吸着剤診断手段とを備えた自己診断機能付き
加熱再生式空気冷却乾燥装置である。
【0012】さらに、請求項3に対応する発明は、流入
される空気を冷却し乾燥する前段の乾燥手段と、この前
段の乾燥手段により冷却乾燥された空気をさらに乾燥す
るための吸着剤を充填した2つの吸着塔と、吸着塔で乾
燥された空気の一部を加熱し再生空気とする加熱手段
と、空気乾燥のために使用する吸着塔と再生する吸着塔
とを切り換える切り換え弁とを備え、吸着塔の一方を空
気乾燥のために使用しているときには、他方の吸着塔に
は前記再生空気を流して再生し、両吸着塔について使用
と再生とを交互に繰り返すようにした加熱再生式空気冷
却乾燥装置にあって、吸着塔における吸着剤の温度を計
測し、吸着剤の再生時における計測された吸着剤温度上
昇特性に基づいて、当該吸着剤の劣化状態を診断し、そ
の診断結果を報知する加熱再生式空気冷却乾燥装置の診
断方法である。
される空気を冷却し乾燥する前段の乾燥手段と、この前
段の乾燥手段により冷却乾燥された空気をさらに乾燥す
るための吸着剤を充填した2つの吸着塔と、吸着塔で乾
燥された空気の一部を加熱し再生空気とする加熱手段
と、空気乾燥のために使用する吸着塔と再生する吸着塔
とを切り換える切り換え弁とを備え、吸着塔の一方を空
気乾燥のために使用しているときには、他方の吸着塔に
は前記再生空気を流して再生し、両吸着塔について使用
と再生とを交互に繰り返すようにした加熱再生式空気冷
却乾燥装置にあって、吸着塔における吸着剤の温度を計
測し、吸着剤の再生時における計測された吸着剤温度上
昇特性に基づいて、当該吸着剤の劣化状態を診断し、そ
の診断結果を報知する加熱再生式空気冷却乾燥装置の診
断方法である。
【0013】したがって、請求項1又3に対応する発明
の自己診断機能付き加熱再生式空気冷却乾燥装置又はそ
の診断方法においては、上記構成を有する加熱再生式空
気冷却乾燥装置にあって、まず、温度計測手段により、
吸着塔における吸着剤の温度が計測されている。
の自己診断機能付き加熱再生式空気冷却乾燥装置又はそ
の診断方法においては、上記構成を有する加熱再生式空
気冷却乾燥装置にあって、まず、温度計測手段により、
吸着塔における吸着剤の温度が計測されている。
【0014】そして、吸着剤診断手段によって、温度計
測手段の計測結果に基づき、吸着剤の再生時における吸
着剤温度上昇特性から当該吸着剤の劣化状態が診断さ
れ、その診断結果が報知される。
測手段の計測結果に基づき、吸着剤の再生時における吸
着剤温度上昇特性から当該吸着剤の劣化状態が診断さ
れ、その診断結果が報知される。
【0015】また、請求項2に対応する発明の自己診断
機能付き加熱再生式空気冷却乾燥装置においては、請求
項1に対応する発明と同様に作用する他、空気露点計に
よって、吸着塔により乾燥された空気の露点が計測され
る。
機能付き加熱再生式空気冷却乾燥装置においては、請求
項1に対応する発明と同様に作用する他、空気露点計に
よって、吸着塔により乾燥された空気の露点が計測され
る。
【0016】そして、第2の吸着剤診断手段によって、
空気露点計の計測結果に基づき、吸着塔の吸着開始時か
らの空気露点下降特性から吸着剤の劣化状態が診断さ
れ、その診断結果が報知される。
空気露点計の計測結果に基づき、吸着塔の吸着開始時か
らの空気露点下降特性から吸着剤の劣化状態が診断さ
れ、その診断結果が報知される。
【0017】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て説明する。 (第1の発明の実施の形態)図1は本発明の第1の実施
の形態に係る自己診断機能付き加熱再生式空気冷却乾燥
装置を用いたオゾン発生システムの一例を示す構成図で
ある。
て説明する。 (第1の発明の実施の形態)図1は本発明の第1の実施
の形態に係る自己診断機能付き加熱再生式空気冷却乾燥
装置を用いたオゾン発生システムの一例を示す構成図で
ある。
【0018】このオゾン発生システムは、供給される乾
燥空気からオゾンを発生させるオゾン発生器1と、オゾ
ン発生器1に乾燥空気を供給する加熱再生式空気冷却乾
燥装置本体2と、加熱再生式空気冷却乾燥装置本体2に
圧縮空気を供給するブロワ3と、オゾン発生器1及び加
熱再生式空気冷却乾燥装置本体2及びブロワ3を制御す
る制御盤18とによって構成されている。
燥空気からオゾンを発生させるオゾン発生器1と、オゾ
ン発生器1に乾燥空気を供給する加熱再生式空気冷却乾
燥装置本体2と、加熱再生式空気冷却乾燥装置本体2に
圧縮空気を供給するブロワ3と、オゾン発生器1及び加
熱再生式空気冷却乾燥装置本体2及びブロワ3を制御す
る制御盤18とによって構成されている。
【0019】また、加熱再生式空気冷却乾燥装置本体2
は、アフタークーラ4と、冷凍式エアドライヤ5と、吸
着剤6a,6bと、吸着塔7a,7bと、温度センサ8
a,8bと、温度設定器9a,9bと、4方向弁10
と、4方向弁11と、調節弁12と、加熱ヒータ13
と、温度センサ14と、温度設定器15と、遮断弁16
とによって構成されいる。
は、アフタークーラ4と、冷凍式エアドライヤ5と、吸
着剤6a,6bと、吸着塔7a,7bと、温度センサ8
a,8bと、温度設定器9a,9bと、4方向弁10
と、4方向弁11と、調節弁12と、加熱ヒータ13
と、温度センサ14と、温度設定器15と、遮断弁16
とによって構成されいる。
【0020】アフタークーラ4は、ブロワ3から供給さ
れる圧縮空気を冷却する。冷凍式エアドライヤ5は、ア
フタークーラ4で冷却した圧縮空気をもう1段冷却し、
除湿する。
れる圧縮空気を冷却する。冷凍式エアドライヤ5は、ア
フタークーラ4で冷却した圧縮空気をもう1段冷却し、
除湿する。
【0021】4方向弁10は、冷凍式エアドライヤ5か
らの冷却空気を吸着工程にある一方の吸着塔7aもしく
は7bに流入させると同時に、再生工程にある他方の吸
着塔7aもしくは7bからの空気を外部に流出させるよ
うに流路を設定し、また、弁切り換えにより両吸着塔の
上記関係を入れ替えるようになっている。
らの冷却空気を吸着工程にある一方の吸着塔7aもしく
は7bに流入させると同時に、再生工程にある他方の吸
着塔7aもしくは7bからの空気を外部に流出させるよ
うに流路を設定し、また、弁切り換えにより両吸着塔の
上記関係を入れ替えるようになっている。
【0022】ここで、冷凍式エアドライヤ5からの冷却
空気を吸着塔7aに流入させるように設定した場合に
は、冷却空気は弁出入口10aから弁出入口10bに流
れ、吸着塔7bからの空気は、弁出入口10cから弁出
入口10dに流れる。
空気を吸着塔7aに流入させるように設定した場合に
は、冷却空気は弁出入口10aから弁出入口10bに流
れ、吸着塔7bからの空気は、弁出入口10cから弁出
入口10dに流れる。
【0023】逆に、冷凍式エアドライヤ5からの冷却空
気を吸着塔7bに流入させるように設定した場合には、
冷却空気は弁出入口10aから弁出入口10cに流れ、
吸着塔7aからの空気は、弁出入口10bから弁出入口
10dに流れる。
気を吸着塔7bに流入させるように設定した場合には、
冷却空気は弁出入口10aから弁出入口10cに流れ、
吸着塔7aからの空気は、弁出入口10bから弁出入口
10dに流れる。
【0024】吸着剤6a,6bは、冷凍式ドライヤ5で
冷却し、除湿した乾燥空気から更に水分を吸着除去する
ものである。吸着塔7a,7bは、それぞれ吸着剤6
a,6bを充填する容器である。
冷却し、除湿した乾燥空気から更に水分を吸着除去する
ものである。吸着塔7a,7bは、それぞれ吸着剤6
a,6bを充填する容器である。
【0025】温度センサ8a,8bは、接点付き温度計
であり、それぞれ吸着塔7a,7b内の吸着剤6a,6
bの温度を測定する。温度設定器9a,9bは、接点付
き温度計の接点部であり、温度設定を行う。測定温度が
設定値以上となると、温度センサ8a,8bがオンとな
り、測温データが制御盤18に出力される。したがっ
て、温度測定を行う必要のない低温状態時においては温
度測定出力が行われないようになっている。
であり、それぞれ吸着塔7a,7b内の吸着剤6a,6
bの温度を測定する。温度設定器9a,9bは、接点付
き温度計の接点部であり、温度設定を行う。測定温度が
設定値以上となると、温度センサ8a,8bがオンとな
り、測温データが制御盤18に出力される。したがっ
て、温度測定を行う必要のない低温状態時においては温
度測定出力が行われないようになっている。
【0026】4方向弁11は、吸着工程にある一方の吸
着塔7aもしくは7bからの空気を遮断弁16及び調節
弁12方向側へ流出させると同時に、加熱ヒータ13か
らの高温乾燥空気を再生工程にある他方の吸着塔7aも
しくは7b側へ流出させるように流路を設定し、また、
弁切り換えにより両吸着塔の上記関係を入れ替えるよう
になっている。
着塔7aもしくは7bからの空気を遮断弁16及び調節
弁12方向側へ流出させると同時に、加熱ヒータ13か
らの高温乾燥空気を再生工程にある他方の吸着塔7aも
しくは7b側へ流出させるように流路を設定し、また、
弁切り換えにより両吸着塔の上記関係を入れ替えるよう
になっている。
【0027】ここで、吸着塔7aからの吸着された冷却
空気を遮断弁16及び調節弁12方向側へ流出させるよ
うに設定した場合には、冷却空気は弁出入口11aから
弁出入口11bに流れ、加熱ヒータ13からの空気は、
弁出入口11cから弁出入口11dに流れる。
空気を遮断弁16及び調節弁12方向側へ流出させるよ
うに設定した場合には、冷却空気は弁出入口11aから
弁出入口11bに流れ、加熱ヒータ13からの空気は、
弁出入口11cから弁出入口11dに流れる。
【0028】逆に、吸着塔7bからの吸着された冷却空
気を遮断弁16及び調節弁12方向側へ流出させるよう
に設定した場合には、冷却空気は弁出入口11dから弁
出入口11bに流れ、加熱ヒータ13からの空気は、弁
出入口11cから弁出入口11aに流れる。
気を遮断弁16及び調節弁12方向側へ流出させるよう
に設定した場合には、冷却空気は弁出入口11dから弁
出入口11bに流れ、加熱ヒータ13からの空気は、弁
出入口11cから弁出入口11aに流れる。
【0029】調節弁12は、加熱再生空気量を調節し、
本実施の形態においては、4方向弁11から流出した吸
着された冷却空気のうち、20%を加熱ヒータ13側に
流すように調節されている。
本実施の形態においては、4方向弁11から流出した吸
着された冷却空気のうち、20%を加熱ヒータ13側に
流すように調節されている。
【0030】加熱ヒータ13は、調節弁12側から流入
した冷却乾燥空気を加熱し、吸着剤の再生用空気とし
て、4方向弁11の弁出入口11cの方向へ流出する。
温度センサ14は、接点付き温度計であり、加熱ヒータ
13の温度を測定する。
した冷却乾燥空気を加熱し、吸着剤の再生用空気とし
て、4方向弁11の弁出入口11cの方向へ流出する。
温度センサ14は、接点付き温度計であり、加熱ヒータ
13の温度を測定する。
【0031】温度設定器15は、温度設定器9a,9b
と同様に構成されている。遮断弁16は、4方向弁11
から流出した吸着された冷却空気をオゾン発生器1に流
すための配管上に設けられており、オゾン発生器1から
のオゾン化空気の逆流を防止する。
と同様に構成されている。遮断弁16は、4方向弁11
から流出した吸着された冷却空気をオゾン発生器1に流
すための配管上に設けられており、オゾン発生器1から
のオゾン化空気の逆流を防止する。
【0032】一方、制御盤18には、オゾン発生器1,
加熱再生式空気冷却乾燥装置本体2及びブロワ3の各部
を制御する図示しない各部制御部が設けられ、これによ
りオゾン発生システム全体が制御される。
加熱再生式空気冷却乾燥装置本体2及びブロワ3の各部
を制御する図示しない各部制御部が設けられ、これによ
りオゾン発生システム全体が制御される。
【0033】すなわち、まず、各部制御部は、2つの吸
着塔7a,7bを片側づつ吸着に使用するように4方向
弁10,11を操作し、オゾン発生器1へ乾燥空気を連
続的に供給する。
着塔7a,7bを片側づつ吸着に使用するように4方向
弁10,11を操作し、オゾン発生器1へ乾燥空気を連
続的に供給する。
【0034】一方、吸着に用いられない吸着塔において
は再生が行われる。この再生工程のために、各部制御部
は、加熱ヒータ13を制御する。つまり、調節弁12か
ら取り込まれる乾燥空気の一部を、温度センサ14の情
報に基づいて加熱ヒータ13により200℃程度まで加
熱させ、かつ、4方向弁10,11制御により吸着塔
(7a又は7b)に供給させて、吸着剤(6aまたは6
b)を加熱再生させる。
は再生が行われる。この再生工程のために、各部制御部
は、加熱ヒータ13を制御する。つまり、調節弁12か
ら取り込まれる乾燥空気の一部を、温度センサ14の情
報に基づいて加熱ヒータ13により200℃程度まで加
熱させ、かつ、4方向弁10,11制御により吸着塔
(7a又は7b)に供給させて、吸着剤(6aまたは6
b)を加熱再生させる。
【0035】したがって、例えば一方の吸着塔7aが吸
着工程にあるときにもう一方の吸着塔7bを再生し、一
定時間毎,本実施の形態においては8時間毎に吸着側と
再生側との切り換え制御を行うことで連続的な運転を実
現する。
着工程にあるときにもう一方の吸着塔7bを再生し、一
定時間毎,本実施の形態においては8時間毎に吸着側と
再生側との切り換え制御を行うことで連続的な運転を実
現する。
【0036】また、加熱再生した状態では、再生された
吸着塔(7aまたは7b)は非常に高温となっているた
め、次に使用する前に常温まで冷却する必要がある。し
たがって、制御盤18は、加熱再生後は加熱ヒータ13
を切って冷却乾燥空気により常温まで当該吸着塔を冷却
する。
吸着塔(7aまたは7b)は非常に高温となっているた
め、次に使用する前に常温まで冷却する必要がある。し
たがって、制御盤18は、加熱再生後は加熱ヒータ13
を切って冷却乾燥空気により常温まで当該吸着塔を冷却
する。
【0037】以上が、制御盤18各部制御部による加熱
再生式空気冷却乾燥装置本体2を含んだオゾン発生シス
テムにおける連続運転制御である。本実施の形態におい
て、制御盤18は、これらの基本的な運転動作の他、温
度センサ8a,8bからの温度情報に基づく吸着剤の状
態判定と、吸着剤状態に基づくオペレータに対するガイ
ダンス出力とを行うようになっている。
再生式空気冷却乾燥装置本体2を含んだオゾン発生シス
テムにおける連続運転制御である。本実施の形態におい
て、制御盤18は、これらの基本的な運転動作の他、温
度センサ8a,8bからの温度情報に基づく吸着剤の状
態判定と、吸着剤状態に基づくオペレータに対するガイ
ダンス出力とを行うようになっている。
【0038】このために、制御盤18には、判定部19
とガイダンス出力部20とが設けられている。判定部1
9は、過去の運転実績に基づく実際に吸着剤の吸着性能
が低下した際の実測値や吸着剤の吸着性能仕様等に基づ
き、吸着剤の再生工程における温度上昇率設定値TLHi
が設定されるようになっている。また、温度センサ8
a,8bからの温度情報と、設定された温度上昇率設定
値TLHi とに基づいて吸着剤の状態判定をする。
とガイダンス出力部20とが設けられている。判定部1
9は、過去の運転実績に基づく実際に吸着剤の吸着性能
が低下した際の実測値や吸着剤の吸着性能仕様等に基づ
き、吸着剤の再生工程における温度上昇率設定値TLHi
が設定されるようになっている。また、温度センサ8
a,8bからの温度情報と、設定された温度上昇率設定
値TLHi とに基づいて吸着剤の状態判定をする。
【0039】温度上昇率設定値TLHi は、加熱ヒータ1
3の加熱時間の設定値毎に対応する設定温度値であり、
例えば図2に示すような情報である。吸着剤の水分吸着
性能が劣化してくると水分離脱速度が低下する。したが
って、吸着剤が劣化していると、再生工程において、加
熱ヒータ13による加熱開始後からある時間が経過した
時点における吸着剤の温度上昇変化率が低下する。
3の加熱時間の設定値毎に対応する設定温度値であり、
例えば図2に示すような情報である。吸着剤の水分吸着
性能が劣化してくると水分離脱速度が低下する。したが
って、吸着剤が劣化していると、再生工程において、加
熱ヒータ13による加熱開始後からある時間が経過した
時点における吸着剤の温度上昇変化率が低下する。
【0040】判定部19は、この現象を吸着剤劣化判定
の基準としており、加熱時間の設定値tHi(例えばtHi
=1,2,3,...240分等)に対応する現在時間
tHにおける温度センサ8a,8bからの温度値,すな
わち温度上昇率現在値THiが温度上昇率設定値TLHi よ
りも小さい場合には、吸着剤(6a又は6b)の吸着性
能が低下し、すなわち吸着剤が劣化したと判定して、そ
の旨をガイダンス出力部20に通知する。
の基準としており、加熱時間の設定値tHi(例えばtHi
=1,2,3,...240分等)に対応する現在時間
tHにおける温度センサ8a,8bからの温度値,すな
わち温度上昇率現在値THiが温度上昇率設定値TLHi よ
りも小さい場合には、吸着剤(6a又は6b)の吸着性
能が低下し、すなわち吸着剤が劣化したと判定して、そ
の旨をガイダンス出力部20に通知する。
【0041】ガイダンス出力部20は、判定部19より
通知を受けると、吸着塔(7a又は7b)の吸着剤(6
a又は6b)が寿命となった旨を出力することで、自動
的に吸着剤状態情報をオペレータに知らせる。
通知を受けると、吸着塔(7a又は7b)の吸着剤(6
a又は6b)が寿命となった旨を出力することで、自動
的に吸着剤状態情報をオペレータに知らせる。
【0042】なお、上記各構成と請求項に記載された事
項は、例えば以下のように対応する。まず、前段の乾燥
手段は、例えばアフタークーラ4と冷凍式ドライヤ5と
によって構成されている。次に、加熱手段は例えば加熱
ヒータ13により実現される。
項は、例えば以下のように対応する。まず、前段の乾燥
手段は、例えばアフタークーラ4と冷凍式ドライヤ5と
によって構成されている。次に、加熱手段は例えば加熱
ヒータ13により実現される。
【0043】また、温度計測手段は、例えば温度センサ
8a,8b、温度設定器9a,9bとによって構成され
ている。さらに、吸着剤診断手段は、例えば判定部19
とガイダンス出力部20とによって構成されている。
8a,8b、温度設定器9a,9bとによって構成され
ている。さらに、吸着剤診断手段は、例えば判定部19
とガイダンス出力部20とによって構成されている。
【0044】次に、以上のように構成された本発明の実
施の形態に係る自己診断機能付き加熱再生式空気冷却乾
燥装置の動作について説明する。図1において、吸着塔
7aが吸着側、吸着塔7bが再生側に切り換わり、吸着
剤6bが加熱ヒータ11を通った加熱再生空気により水
分を除去する再生工程に入った場合を想定する。
施の形態に係る自己診断機能付き加熱再生式空気冷却乾
燥装置の動作について説明する。図1において、吸着塔
7aが吸着側、吸着塔7bが再生側に切り換わり、吸着
剤6bが加熱ヒータ11を通った加熱再生空気により水
分を除去する再生工程に入った場合を想定する。
【0045】この場合、ブロワ3からオゾン発生器もし
くは再生・排気に至る空気流は以下のようになってい
る。まず、ブロワ3により圧縮空気となって供給され、
アフタークーラ4にて冷却された空気は、さらに冷凍式
ドライヤ5でもう1段の冷却と除湿をされた露点0℃程
度の空気流AF1となって4方向弁10に至る。
くは再生・排気に至る空気流は以下のようになってい
る。まず、ブロワ3により圧縮空気となって供給され、
アフタークーラ4にて冷却された空気は、さらに冷凍式
ドライヤ5でもう1段の冷却と除湿をされた露点0℃程
度の空気流AF1となって4方向弁10に至る。
【0046】4方向弁10において、弁出入口10a,
10bを通って吸着剤6aに流入した空気流AF2は、
吸着剤6aによって水分が吸着除去され、露点−60℃
程度,すなわち−50℃以下の非常に低露点の乾燥空気
として流出する。
10bを通って吸着剤6aに流入した空気流AF2は、
吸着剤6aによって水分が吸着除去され、露点−60℃
程度,すなわち−50℃以下の非常に低露点の乾燥空気
として流出する。
【0047】この空気流AF3は、4方向弁11で弁出
入口11a,11bを通過して2つに分岐する。そし
て、分岐した一方の80%程度が空気流AF4として遮
断弁16を介してオゾン発生器1に流入し、残りの20
%が空気流AF5として吸着剤6bの再生用空気として
用いられる。なお、このときの空気流AF4と空気流A
F5との流量比は調節弁12によって調整される。
入口11a,11bを通過して2つに分岐する。そし
て、分岐した一方の80%程度が空気流AF4として遮
断弁16を介してオゾン発生器1に流入し、残りの20
%が空気流AF5として吸着剤6bの再生用空気として
用いられる。なお、このときの空気流AF4と空気流A
F5との流量比は調節弁12によって調整される。
【0048】他方の空気流AF5は、調節弁12を介し
て加熱ヒータ13に流入し、200℃程度に加熱された
加熱再生空気流AF6となる。さらに、空気流AF6
は、4方向弁11で弁出入口11c,11dを通過して
再生工程にある吸着塔7bに流入する。
て加熱ヒータ13に流入し、200℃程度に加熱された
加熱再生空気流AF6となる。さらに、空気流AF6
は、4方向弁11で弁出入口11c,11dを通過して
再生工程にある吸着塔7bに流入する。
【0049】そして、吸着剤6bの再生に供された空気
流は、空気流AF7として吸着塔7bから流出し、4方
向弁10で弁出入口10c,10dを通過して加熱再生
式空気冷却乾燥装置本体2外に排気される。
流は、空気流AF7として吸着塔7bから流出し、4方
向弁10で弁出入口10c,10dを通過して加熱再生
式空気冷却乾燥装置本体2外に排気される。
【0050】ここで、吸着剤6a,6bの水分吸着性能
が十分なときには、吸着塔7a,7bを一定時間おきに
切り替えて吸着、再生、冷却を繰り返せば加熱再生式空
気冷却乾燥装置本体2の出口空気露点は−50℃以下の
値に維持される。
が十分なときには、吸着塔7a,7bを一定時間おきに
切り替えて吸着、再生、冷却を繰り返せば加熱再生式空
気冷却乾燥装置本体2の出口空気露点は−50℃以下の
値に維持される。
【0051】ところで、吸着塔7aを吸着側、吸着塔7
bを再生側に切換後の場合において、吸着塔が切り換わ
る前までは、吸着塔7bは吸着工程であったので、吸着
剤6bは冷凍式エアドライヤの出口空気温度と同一とな
っており、切り換わり後加熱再生空気が流れてきて徐々
に温度が上昇してくる。
bを再生側に切換後の場合において、吸着塔が切り換わ
る前までは、吸着塔7bは吸着工程であったので、吸着
剤6bは冷凍式エアドライヤの出口空気温度と同一とな
っており、切り換わり後加熱再生空気が流れてきて徐々
に温度が上昇してくる。
【0052】このとき、吸着剤の水分吸着性能が劣化し
てくると水分離脱速度が低下してくるため、加熱開始後
からある時間tH が経過した時点での吸着剤6bの温度
上昇率現在値THi(すなわち温度センサ8bに計測され
た温度)が低下してくる。
てくると水分離脱速度が低下してくるため、加熱開始後
からある時間tH が経過した時点での吸着剤6bの温度
上昇率現在値THi(すなわち温度センサ8bに計測され
た温度)が低下してくる。
【0053】このときの温度上昇率現在値THiが、予め
設定された温度上昇率設定値TLHiより大きいか否か
で、吸着剤状態の判定がなされるが、その動作を図3の
流れ図を用いて説明する。
設定された温度上昇率設定値TLHiより大きいか否か
で、吸着剤状態の判定がなされるが、その動作を図3の
流れ図を用いて説明する。
【0054】図3は同実施の形態の自己診断機能付き加
熱再生式空気冷却乾燥装置における吸着剤状態の自己診
断動作を示す流れ図である。同図において、まず、加熱
ヒータ13による加熱開始からの現在時間tH が、温度
上昇率設定値TLHi に対応する加熱時間の設定値tHiと
なっているかが判定される(ST1)。
熱再生式空気冷却乾燥装置における吸着剤状態の自己診
断動作を示す流れ図である。同図において、まず、加熱
ヒータ13による加熱開始からの現在時間tH が、温度
上昇率設定値TLHi に対応する加熱時間の設定値tHiと
なっているかが判定される(ST1)。
【0055】ここで、時間tH =加熱時間の設定値tHi
でなければ加熱時間が終了したか否かが判定され(ST
4)、加熱時間終了であれば加熱終了して次の制御動作
に移り、加熱時間終了でなければステップST1に戻
る。
でなければ加熱時間が終了したか否かが判定され(ST
4)、加熱時間終了であれば加熱終了して次の制御動作
に移り、加熱時間終了でなければステップST1に戻
る。
【0056】一方、ステップST1において時間tH =
加熱時間の設定値tHiであれば、温度上昇率現在値THi
が温度上昇率設定値TLHi より以下であるか否かが判定
される(ST2)。
加熱時間の設定値tHiであれば、温度上昇率現在値THi
が温度上昇率設定値TLHi より以下であるか否かが判定
される(ST2)。
【0057】ここで、温度上昇率現在値THi≦温度上昇
率設定値TLHi でなければ加熱時間が終了したか否かが
判定され(ST4)、加熱時間終了であれば加熱終了し
て次の制御動作に移り、加熱時間終了でなければステッ
プST1に戻る。
率設定値TLHi でなければ加熱時間が終了したか否かが
判定され(ST4)、加熱時間終了であれば加熱終了し
て次の制御動作に移り、加熱時間終了でなければステッ
プST1に戻る。
【0058】一方、温度上昇率現在値THi≦温度上昇率
設定値TLHi であれば、吸着剤の水分吸着性能の劣化に
よる水分離脱速度低下が予め設定された基準値に達し、
吸着剤6bが寿命になったものとみなし、その旨をオペ
レータにガイダンスする(ST3)。
設定値TLHi であれば、吸着剤の水分吸着性能の劣化に
よる水分離脱速度低下が予め設定された基準値に達し、
吸着剤6bが寿命になったものとみなし、その旨をオペ
レータにガイダンスする(ST3)。
【0059】また、ガイダンスがあった場合でも、特に
オペレータからの介入がない限り、オゾン発生システム
の動作そのものは継続し、ガイダンス後、ステップST
4に進む。
オペレータからの介入がない限り、オゾン発生システム
の動作そのものは継続し、ガイダンス後、ステップST
4に進む。
【0060】上述したように、本発明の実施の形態に係
る自己診断機能付き加熱再生式空気冷却乾燥装置及びそ
の診断方法は、温度センサ8a,8bで計測された温度
の温度上昇変化率現在値が、予め設定された温度上昇変
化率設定値より低下した場合に吸着剤(6a又は6b)
の吸着性能が低下したと判断して、吸着塔(7aまたは
7b)の吸着剤(6aまたは6b)が寿命となったこと
を自動的にオペレータに知らせるようにしたので、露点
の高い空気がオゾン発生器1に送り込まれることを未然
に防ぐことができる。
る自己診断機能付き加熱再生式空気冷却乾燥装置及びそ
の診断方法は、温度センサ8a,8bで計測された温度
の温度上昇変化率現在値が、予め設定された温度上昇変
化率設定値より低下した場合に吸着剤(6a又は6b)
の吸着性能が低下したと判断して、吸着塔(7aまたは
7b)の吸着剤(6aまたは6b)が寿命となったこと
を自動的にオペレータに知らせるようにしたので、露点
の高い空気がオゾン発生器1に送り込まれることを未然
に防ぐことができる。
【0061】したがって、オゾン発生効率低下やNOX
等の発生でのオゾン発生器1の缶体内の汚れを未然に防
ぐことができる。また、本発明の実施の形態によれば、
吸着剤6a,6bの寿命をより正確に知ることができ、
吸着剤交換時期を的確に把握できるので、吸着性能が低
下していないのに吸着剤を交換することがなく、メンテ
ナンスコストを削減することができる。 (第2の発明の実施の形態)図4は本発明の第2の実施
の形態に係る自己診断機能付き加熱再生式空気冷却乾燥
装置を用いたオゾン発生システムの一例を示す構成図で
あり、図1と同一部分には同一符号を付して説明を省略
し、ここでは異なる部分についてのみ述べる。
等の発生でのオゾン発生器1の缶体内の汚れを未然に防
ぐことができる。また、本発明の実施の形態によれば、
吸着剤6a,6bの寿命をより正確に知ることができ、
吸着剤交換時期を的確に把握できるので、吸着性能が低
下していないのに吸着剤を交換することがなく、メンテ
ナンスコストを削減することができる。 (第2の発明の実施の形態)図4は本発明の第2の実施
の形態に係る自己診断機能付き加熱再生式空気冷却乾燥
装置を用いたオゾン発生システムの一例を示す構成図で
あり、図1と同一部分には同一符号を付して説明を省略
し、ここでは異なる部分についてのみ述べる。
【0062】図4に示すオゾン発生システムには、第1
の実施の形態に係るシステムと同様の構成が設けられる
他、加熱再生式空気冷却乾燥装置本体2からオゾン発生
器1に送られる冷却乾燥空気の空気露点を計測する露点
計17が設けられている。
の実施の形態に係るシステムと同様の構成が設けられる
他、加熱再生式空気冷却乾燥装置本体2からオゾン発生
器1に送られる冷却乾燥空気の空気露点を計測する露点
計17が設けられている。
【0063】また、制御盤18の判定部19´は、第1
の実施の形態における判定部19と同様な判定動作を行
う他、露点計17の出力に基づいて吸着剤(6a又は6
b)の劣化状態の判定をも行う。
の実施の形態における判定部19と同様な判定動作を行
う他、露点計17の出力に基づいて吸着剤(6a又は6
b)の劣化状態の判定をも行う。
【0064】つまり、判定部19´は、再生工程後に切
り換えられて吸着工程に入った吸着剤について、露点計
17で計測されたその露点の応答特性から当該吸着剤が
寿命となっているかを判定し、その寿命となっている場
合にはその旨をガイダンス出力部20に報知する。
り換えられて吸着工程に入った吸着剤について、露点計
17で計測されたその露点の応答特性から当該吸着剤が
寿命となっているかを判定し、その寿命となっている場
合にはその旨をガイダンス出力部20に報知する。
【0065】判定部19´には、過去の運転実績に基づ
く実際に吸着剤の吸着性能が低下した際の実測値や吸着
剤の吸着性能仕様等に基づき、工程切り換え30分後に
一定露点に達したか否かを判定するための露点高設定値
TDHと、そのとき生じている露点差を評価する吸着性能
低下判定露点差設定値TDSとが予め設定されている。
く実際に吸着剤の吸着性能が低下した際の実測値や吸着
剤の吸着性能仕様等に基づき、工程切り換え30分後に
一定露点に達したか否かを判定するための露点高設定値
TDHと、そのとき生じている露点差を評価する吸着性能
低下判定露点差設定値TDSとが予め設定されている。
【0066】なお、上記各構成と請求項に記載された事
項の対応について、第2の吸着剤診断手段は、例えば判
定部19´とガイダンス出力部20とによって構成され
ている。
項の対応について、第2の吸着剤診断手段は、例えば判
定部19´とガイダンス出力部20とによって構成され
ている。
【0067】次に、以上のように構成された本発明の実
施の形態に係る自己診断機能付き加熱再生式空気冷却乾
燥装置の動作について説明する。図4において、吸着塔
7aが吸着側、吸着塔7bが再生側に切り換わり、吸着
剤6aが吸着工程に入った場合を想定する。
施の形態に係る自己診断機能付き加熱再生式空気冷却乾
燥装置の動作について説明する。図4において、吸着塔
7aが吸着側、吸着塔7bが再生側に切り換わり、吸着
剤6aが吸着工程に入った場合を想定する。
【0068】吸着塔が切り換わる前までは、吸着塔7a
は乾燥空気で冷却していたので、吸着剤6aは水分を十
分に離脱されており、切り換わり後すぐに低露点の空気
が露点計17に導かれる。
は乾燥空気で冷却していたので、吸着剤6aは水分を十
分に離脱されており、切り換わり後すぐに低露点の空気
が露点計17に導かれる。
【0069】このとき、露点計17の応答などを考慮し
て30分間ほど経過した時点の露点を測定する。吸着剤
の水分吸着性能が劣化してくると水分吸着能力が低下し
てくるため、切り換わり後30分経過してもあらかじめ
設定した所定の露点には到達しない。
て30分間ほど経過した時点の露点を測定する。吸着剤
の水分吸着性能が劣化してくると水分吸着能力が低下し
てくるため、切り換わり後30分経過してもあらかじめ
設定した所定の露点には到達しない。
【0070】また、30分経過後には所定の露点に到達
したとしても、その時点の露点と吸着工程終了時間の露
点との差があらかじめ設定された値以上の場合には、吸
着剤の吸着性能が低下していると判定できる。
したとしても、その時点の露点と吸着工程終了時間の露
点との差があらかじめ設定された値以上の場合には、吸
着剤の吸着性能が低下していると判定できる。
【0071】図5は同実施の形態の自己診断機能付き加
熱再生式空気冷却乾燥装置における吸着剤状態の自己診
断動作を示す流れ図である。まず、吸着工程開始から3
0分経過後の露点TD30 があらかじめ設定された露点高
設定値TDHより高い場合には(ST11)、吸着剤が寿
命となったことをオペレータにガイダンスし(ST1
2)、終了する。
熱再生式空気冷却乾燥装置における吸着剤状態の自己診
断動作を示す流れ図である。まず、吸着工程開始から3
0分経過後の露点TD30 があらかじめ設定された露点高
設定値TDHより高い場合には(ST11)、吸着剤が寿
命となったことをオペレータにガイダンスし(ST1
2)、終了する。
【0072】一方、吸着工程開始から30分経過後の露
点TD30 があらかじめ設定された露点高設定値TDHより
低い場合には(ST11)、さらに、露点TD30 と吸着
終了時の露点TDEとの差が、あらかじめ設定された吸着
性能低下判定露点差設定値TDSより大きいか否かを判定
し(ST13)、大きい場合には同様にオペレータにガ
イダンスする(ST14)。
点TD30 があらかじめ設定された露点高設定値TDHより
低い場合には(ST11)、さらに、露点TD30 と吸着
終了時の露点TDEとの差が、あらかじめ設定された吸着
性能低下判定露点差設定値TDSより大きいか否かを判定
し(ST13)、大きい場合には同様にオペレータにガ
イダンスする(ST14)。
【0073】上述したように、本発明の実施の形態に係
る自己診断機能付き加熱再生式空気冷却乾燥装置は、第
1の実施の形態と同様な構成を有する他、吸着工程に切
り換わり後30分経過しても予め設定した所定の露点に
は到達しない場合、もしくは、30分経過後には所定の
露点に到達したとしても、その時点の露点と吸着塔吸着
工程終了時点の露点との差があらかじめ設定された値以
上の場合には、吸着剤の吸着性能が低下していると判定
し、吸着塔(7a又は7b)の吸着剤(6a又は6b)
が寿命となったことを自動的にオペレータに知らせるよ
うにしたので、上記発明の実施の形態に係る自己診断機
能付き加熱再生式空気冷却乾燥装置と同様の効果が得ら
れる他、より一層確実に、露点の高い空気がオゾン発生
器1に送り込まれることを未然に防ぐことができる。
る自己診断機能付き加熱再生式空気冷却乾燥装置は、第
1の実施の形態と同様な構成を有する他、吸着工程に切
り換わり後30分経過しても予め設定した所定の露点に
は到達しない場合、もしくは、30分経過後には所定の
露点に到達したとしても、その時点の露点と吸着塔吸着
工程終了時点の露点との差があらかじめ設定された値以
上の場合には、吸着剤の吸着性能が低下していると判定
し、吸着塔(7a又は7b)の吸着剤(6a又は6b)
が寿命となったことを自動的にオペレータに知らせるよ
うにしたので、上記発明の実施の形態に係る自己診断機
能付き加熱再生式空気冷却乾燥装置と同様の効果が得ら
れる他、より一層確実に、露点の高い空気がオゾン発生
器1に送り込まれることを未然に防ぐことができる。
【0074】また、吸着剤6a,6bの寿命をより一層
正確に知ることができ、吸着剤交換時期を的確に把握で
きるので、吸着性能が低下していないのに吸着剤を交換
することがなく、メンテナンスコストの削減に一層貢献
することができる。なお、本発明は、上記各実施の形態
に限定されるものでなく、その要旨を逸脱しない範囲で
種々に変形することが可能である。
正確に知ることができ、吸着剤交換時期を的確に把握で
きるので、吸着性能が低下していないのに吸着剤を交換
することがなく、メンテナンスコストの削減に一層貢献
することができる。なお、本発明は、上記各実施の形態
に限定されるものでなく、その要旨を逸脱しない範囲で
種々に変形することが可能である。
【0075】
【発明の効果】以上詳記したように本発明によれば、吸
着剤の寿命を予測し、吸着剤が使用不能となる前に自動
的にオペレータに知らせることにより、露点の高い空気
がオゾン発生器に送り込まれることを未然に防ぎ、か
つ、適時なメンテナンスを可能としてメンテナンスコス
トを削減できる自己診断機能付き加熱再生式空気冷却乾
燥装置及びその診断方法を提供することができる。
着剤の寿命を予測し、吸着剤が使用不能となる前に自動
的にオペレータに知らせることにより、露点の高い空気
がオゾン発生器に送り込まれることを未然に防ぎ、か
つ、適時なメンテナンスを可能としてメンテナンスコス
トを削減できる自己診断機能付き加熱再生式空気冷却乾
燥装置及びその診断方法を提供することができる。
【図1】本発明の第1の実施の形態に係る自己診断機能
付き加熱再生式空気冷却乾燥装置を用いたオゾン発生シ
ステムの一例を示す構成図。
付き加熱再生式空気冷却乾燥装置を用いたオゾン発生シ
ステムの一例を示す構成図。
【図2】同実施の形態の自己診断機能付き加熱再生式空
気冷却乾燥装置において設定された温度上昇率設定値の
例を示す図。
気冷却乾燥装置において設定された温度上昇率設定値の
例を示す図。
【図3】同実施の形態の自己診断機能付き加熱再生式空
気冷却乾燥装置における吸着剤状態の自己診断動作を示
す流れ図。
気冷却乾燥装置における吸着剤状態の自己診断動作を示
す流れ図。
【図4】本発明の第1の実施の形態に係る自己診断機能
付き加熱再生式空気冷却乾燥装置を用いたオゾン発生シ
ステムの一例を示す構成図。
付き加熱再生式空気冷却乾燥装置を用いたオゾン発生シ
ステムの一例を示す構成図。
【図5】同実施の形態の自己診断機能付き加熱再生式空
気冷却乾燥装置における吸着剤状態の自己診断動作を示
す流れ図。
気冷却乾燥装置における吸着剤状態の自己診断動作を示
す流れ図。
【図6】従来の加熱再生式空気冷却乾燥装置を示すブロ
ック図。
ック図。
1…オゾン発生器、2…加熱再生式空気冷却乾燥装置本
体、3…ブロワ、4…アフタークーラ、5…冷凍式エア
ードライヤ、6a,6b…吸着剤、7a,7b…吸着
塔、8a,8b…温度センサ、9a,9b…温度設定
器、10,11…4方向弁、12…調節弁、13…加熱
ヒータ、14…温度センサ、15…温度設定器、16…
遮断弁、17…露点計、18…制御盤、19…判定部、
20…ガイダンス出力部、tH …加熱時間現在値、tHi
…加熱時間設定値、THi…温度上昇率現在値、TLHi …
温度上昇率設定値、TD30 …吸着開始後30分の露点、
TDH…吸着開始後30分後の露点高設定値、TDE…吸着
完了後の露点、TDS…吸着性能低下判定露点差設定値。
体、3…ブロワ、4…アフタークーラ、5…冷凍式エア
ードライヤ、6a,6b…吸着剤、7a,7b…吸着
塔、8a,8b…温度センサ、9a,9b…温度設定
器、10,11…4方向弁、12…調節弁、13…加熱
ヒータ、14…温度センサ、15…温度設定器、16…
遮断弁、17…露点計、18…制御盤、19…判定部、
20…ガイダンス出力部、tH …加熱時間現在値、tHi
…加熱時間設定値、THi…温度上昇率現在値、TLHi …
温度上昇率設定値、TD30 …吸着開始後30分の露点、
TDH…吸着開始後30分後の露点高設定値、TDE…吸着
完了後の露点、TDS…吸着性能低下判定露点差設定値。
Claims (3)
- 【請求項1】 流入される空気を冷却し乾燥する前段の
乾燥手段と、この前段の乾燥手段により冷却乾燥された
空気をさらに乾燥するための吸着剤を充填した2つの吸
着塔と、前記吸着塔で乾燥された空気の一部を加熱し再
生空気とする加熱手段と、空気乾燥のために使用する吸
着塔と再生する吸着塔とを切り換える切り換え弁とを備
え、前記吸着塔の一方を空気乾燥のために使用している
ときには、他方の吸着塔には前記再生空気を流して再生
し、両吸着塔について使用と再生とを交互に繰り返すよ
うにした加熱再生式空気冷却乾燥装置にあって、 前記吸着塔における吸着剤の温度を計測する温度計測手
段と、 前記温度計測手段の計測結果に基づき、前記吸着剤の再
生時における吸着剤温度上昇特性から当該吸着剤の劣化
状態を診断し、その診断結果を報知する吸着剤診断手段
とを備えたことを特徴とする自己診断機能付き加熱再生
式空気冷却乾燥装置。 - 【請求項2】 前記吸着塔により乾燥された空気の露点
を計測する空気露点計と、 前記空気露点計の計測結果に基づき、前記吸着塔の吸着
開始時からの空気露点下降特性から吸着剤の劣化状態を
診断し、その診断結果を報知する第2の吸着剤診断手段
とを備えたことを特徴とする請求項1記載の自己診断機
能付き加熱再生式空気冷却乾燥装置。 - 【請求項3】 流入される空気を冷却し乾燥する前段の
乾燥手段と、この前段の乾燥手段により冷却乾燥された
空気をさらに乾燥するための吸着剤を充填した2つの吸
着塔と、前記吸着塔で乾燥された空気の一部を加熱し再
生空気とする加熱手段と、空気乾燥のために使用する吸
着塔と再生する吸着塔とを切り換える切り換え弁とを備
え、前記吸着塔の一方を空気乾燥のために使用している
ときには、他方の吸着塔には前記再生空気を流して再生
し、両吸着塔について使用と再生とを交互に繰り返すよ
うにした加熱再生式空気冷却乾燥装置にあって、 前記吸着塔における吸着剤の温度を計測し、 前記吸着剤の再生時における計測された吸着剤温度上昇
特性に基づいて、当該吸着剤の劣化状態を診断し、その
診断結果を報知することを特徴とした加熱再生式空気冷
却乾燥装置の診断方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7205696A JPH0947630A (ja) | 1995-08-11 | 1995-08-11 | 自己診断機能付き加熱再生式空気冷却乾燥装置及びその診断方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7205696A JPH0947630A (ja) | 1995-08-11 | 1995-08-11 | 自己診断機能付き加熱再生式空気冷却乾燥装置及びその診断方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0947630A true JPH0947630A (ja) | 1997-02-18 |
Family
ID=16511200
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP7205696A Pending JPH0947630A (ja) | 1995-08-11 | 1995-08-11 | 自己診断機能付き加熱再生式空気冷却乾燥装置及びその診断方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0947630A (ja) |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100421716B1 (ko) * | 2001-07-26 | 2004-03-12 | 주식회사 은하에어테크 | 블로워를 채용한 순환가열 재생식 공기 건조장치 |
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-
1995
- 1995-08-11 JP JP7205696A patent/JPH0947630A/ja active Pending
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