JPH0943595A - 平板状表示パネル - Google Patents

平板状表示パネル

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JPH0943595A
JPH0943595A JP19517495A JP19517495A JPH0943595A JP H0943595 A JPH0943595 A JP H0943595A JP 19517495 A JP19517495 A JP 19517495A JP 19517495 A JP19517495 A JP 19517495A JP H0943595 A JPH0943595 A JP H0943595A
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JP
Japan
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layer
panel
layers
upper electrode
display panel
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JP19517495A
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Yuji Segawa
雄司 瀬川
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Sony Corp
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Sony Corp
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 表示画面内において液晶の応答速度を均一化
して表示品位を向上させることを可能とし、近時の要請
である平板状表示パネルの大画面化及び高精細化の実現
を図ることができる平板状表示パネルを提供する。 【解決手段】 中間層5を、第2の基板22上に各上部
電極12に対応して形成されるCr等を材料とする金属
層23と、当該金属層23上に形成されるカーボン分散
樹脂よりなる樹脂層24とを配し、R着色層31,G着
色層32,及びB着色層33よりなるカラーフィルタ層
25を各着色層毎に順次埋設形成して構成し、各樹脂層
24が対応する上部電極12と電気的に接続して当該上
部電極12と金属層23とを導通させる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、一対のパネルが液
晶層を介して接着固定されてなる平板状表示パネルに関
する。
【0002】
【従来の技術】一般に、平板状表示パネルの代表的なも
のとしては、電気光学材料として液晶を用いた画像表示
装置に用いる液晶パネルがある。この液晶パネルは、そ
れぞれガラス材よりなる基板上に電極が形成されてなる
一対の第1,第2のパネルがスペーサを介して対向配置
され、スペーサ位置やスペーサ自身に有機接着剤が塗布
され接着固定されて、各パネル間に液晶層が挿入された
かたちの構造を有している。
【0003】特に、上記平板状表示パネルがカラー表示
を行うカラー液晶パネルである場合、当該カラー液晶パ
ネルは、上部に配される第2のパネルが、その第2の基
板と透明電極である上部電極との間(上部電極の上
部)、或は上部電極と液晶層との間(上部電極の下部)
に、R着色層,G着色層,B着色層の3層を1組として
順次形成されてなるカラーフィルタ層を有して構成され
ている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】ところで、カラー液晶
パネルにおいて、液晶分子がねじれ分子構造を有し、そ
のねじれ角が180〜200゜程度とされた液晶層をも
つSTN方式や、2層の金属層間に絶縁層が設けられて
なる非線形スイッチ素子をもつMIM方式、第1のガラ
ス基板上に配される電極がプラズマ電極とされるPAL
C方式等の場合では、各透明電極が帯状に形成されてい
る。このとき、当該透明電極は比較的大きな分布容量を
有しており、その駆動端と終端との間で信号波形の遅延
が起こる。その結果、表示画面内において液晶の応答速
度にばらつきが発生し、表示品位が損なわれることにな
る。
【0005】通常、STN方式では、10インチクラス
で透明電極の面抵抗値が10Ω/□程度以下であれば、
上述の信号波形の遅延に関して問題は生じないものとさ
れている。しかしながら、更なる大画面化や高解像度化
の要請に答えるためには、透明電極の狭幅化を進める必
要があり、それに伴って透明電極の更なる低抵抗化を実
現することが必須となる。透明電極の比抵抗値は技術的
に1.5×10-4Ωcm程度(0.2μm厚で7.5Ω
/□程度)が限界値である。透明電極の膜厚を厚くする
ことにより面抵抗値を低下させることはできるが、エッ
チング特性や透過率に悪影響が出てくる。
【0006】そこで、透明電極の低抵抗化を実現する一
例として、カラーフィルタ層が第2のガラス基板と透明
電極との間に配される場合、以下に示すものが提案され
ている。
【0007】すなわち、図6に示すように、第2のパネ
ル101が、ガラス材よりなる第2の基板102上にカ
ラーフィルタ層103が積層され、このカラーフィルタ
層103上に帯状の上部電極104が形成され、さらに
各上部電極104上にCr等よりなる金属層105が積
層された構造に構成される。また他例として、図7に示
すように、第2のパネル111が、第2の基板102上
にカラーフィルタ層103が積層され、このカラーフィ
ルタ層103上に帯状の上部電極104が形成され、さ
らに各上部電極104の両側壁にCr等よりなる金属層
106が形成された構造に構成されるものも案出されて
いる。
【0008】ところがこの場合、上部電極104及び金
属層105或は金属層106の2層がカラーフィルタ層
103上にスパッタリングや真空蒸着法により成膜され
るため、成膜時にカラーフィルタ層103に及ぼされる
熱応力や膜応力の制御が困難であり、当該カラーフィル
タ層103にクラックやしわ等が発生し易くなって歩留
りの低下を招来する虞れがある。
【0009】また、金属層105或は金属層106が上
部電極104上或は側壁に存するために、有効画面の開
口率を低下させるという問題もある。
【0010】これらの点を考慮すると、カラーフィルタ
層が透明電極と液晶層との間に配される場合の方が透明
電極の低抵抗化を比較的容易に実現することが可能であ
るが、以下に示すいくつかの不都合が生じる。
【0011】先ず、透明電極に印加した駆動電圧の一部
がカラーフィルタ層にも印加されてしまうため、透明電
極に印加される駆動電圧が低下して表示画質の低下を来
す。したがって、駆動電圧を増大させる必要が生じて消
費電力が増加する。
【0012】また、STN方式(TN方式も含む)で
は、液晶の誘電率異方性が正値となり、オン電圧とオフ
電圧とで画素の電気容量が変化することことから、液晶
駆動電極間にカラーフィルタ層が狭持されることになる
と、液晶層に印加されるオン/オフ電圧比が顕著に悪化
する。これは、コントラストを低下させる一因となる。
【0013】このように、現在のところ、作製時にカラ
ーフィルタ層が損傷を受けたり画質を低下させたりする
ことなく透明電極の低抵抗化を図ることは極めて困難な
状況にある。
【0014】本発明は、上述の課題に鑑みてなされたも
のであり、その目的とするところは、表示画面内におい
て液晶の応答速度を均一化して表示品位を向上させるこ
とを可能とし、近時の要請である平板状表示パネルの大
画面化及び高精細化の実現を図ることができる平板状表
示パネルを提供することにある。
【0015】
【課題を解決するための手段】本発明の対象とするもの
は、第1の基板上に複数の帯状の下部電極が各々平行に
配列してなる第1のパネルと、第2の基板上に複数の帯
状の上部電極が中間層を介して前記下部電極と直交して
各々平行に配列してなる第2のパネルとを備え、第1の
パネルと第2のパネルとが液晶層を介して互いに各電極
が対向するように配置されてなる平板状表示パネルであ
る。ここで、下部電極層及び上部電極層がそれぞれ透明
電極である場合を主に想定している。
【0016】本発明の平板状表示パネルは、前記中間層
が、第2の基板上に各上部電極に対応して形成される金
属層と、当該金属層上に形成されるカーボン分散樹脂よ
りなる樹脂層とを有し、各金属層及び樹脂層間に赤色
(R)着色層,緑色(G)着色層,及び青色(B)着色
層よりなるカラーフィルタ層が各着色層毎に順次埋設形
成されるとともに、各樹脂層が対応する上部電極と電気
的に接続されて当該上部電極と金属層とが導通している
ことを特徴とするものである。
【0017】この場合、上記カーボン分散樹脂としては
ネガ型レジスト剤にカーボンが分散されてなるものを用
いることが好適である。
【0018】また、上記金属層は各上部電極に対応して
形成されているため、各画素のブラック・マスクとして
も機能する。
【0019】上述のように、本発明の平板状表示パネル
においては、各金属層及び樹脂層間にR着色層,G着色
層,及びB着色層よりなるカラーフィルタ層が各着色層
毎に順次埋設形成されており、当該カラーフィルタ層上
に上部電極(透明電極)が形成されている。この場合、
金属層及び樹脂層が積層形成された後にカラーフィルタ
層が埋設され、その後に上部電極が形成されるので、カ
ラーフィルタ層に対する熱応力及び膜応力の影響が減少
してクラックやしわ等の発生が抑止される。
【0020】それとともに、各樹脂層が対応する上部電
極と電気的に接続されて当該上部電極と金属層とが導通
するので、信号波形の伝播は上部電極に比して比抵抗値
が1桁以上高い金属層に依存する。したがって、上部電
極の駆動端と終端との間における信号波形の遅延は金属
層が存しない場合と比較して無視できる程度のものとな
り、表示品位が向上する。
【0021】すなわち、上記平板状表示パネルにおいて
は、金属層を設けることにより生じがちなカラーフィル
タ層の破損が防止されるとともに、上部電極の駆動端と
終端との間における信号波形の遅延が抑止されて画質が
向上することになる。
【0022】
【発明の実施の形態】以下、本発明の平板状表示パネル
の具体的な実施の形態を図面を参照しながら詳細に説明
する。
【0023】この実施の形態における平板状表示パネル
は、図1に示すように、それぞれ透明電極である下部電
極11及び上部電極12を有する一対の第1のパネル1
と第2のパネル2とがスペーサ4を介して液晶層3を狭
持するとともに、最下層及び最上層に所定の偏光板6,
7が配されて構成されている。
【0024】第1のパネル1は、ガラス材よりなる第1
の基板21上に複数の帯状の透明表示電極である下部電
極11が各々平行に配列され、下部電極11の一端部が
駆動電圧が印加される駆動端とされて構成されている。
【0025】第2のパネル2は、ガラス材よりなる第2
の基板22上に中間層5を介して複数の帯状の透明対向
電極である下部電極12が各々平行に配列され、下部電
極12の一端部が駆動電圧が印加される駆動端とされて
構成されている。
【0026】中間層5は、図2に示すように、第2の基
板22上に各上部電極12に対応して形成されるCr等
を材料とする金属層23と、当該金属層23上に形成さ
れるカーボン分散樹脂よりなる樹脂層24とを有し、各
金属層23及び樹脂層24間に、光の三原色R,G,B
を表すためのR着色層31,G着色層32,及びB着色
層33よりなるカラーフィルタ層25が各着色層毎に順
次埋設形成されて構成されており、各樹脂層24が対応
する上部電極12と電気的に接続されて当該上部電極1
2と金属層23とが導通している。ここで、各上部電極
12はその長手方向一側部が下部に位置する金属層23
と図2中接続部aと記す箇所で接続され、長手方向他側
部が隣接する上部電極12と接続された金属層23とカ
ラーフィルタ層25を介して図2中重複部bと記す箇所
で重複している。この重複部bは、いわゆる白ぬけを防
止するために設けられるものである。なお、この図2に
おいては、第2の基板22を下層側として示している。
【0027】ここで、上記カーボン分散樹脂は所定のネ
ガ型レジスト剤にカーボンが分散されてなるものであ
り、カラーフィルタ層25を構成するR着色層31,G
着色層32,及びB着色層33はそれぞれ赤色,緑色,
及び青色の顔料分散レジストを材料として形成されるも
のである。
【0028】また、金属層23は各上部電極12に対応
して形成されているために遮光率が高く各画素のブラッ
ク・マスクとしても機能して開口率が向上するととも
に、金属層23上にはカーボンを含有する樹脂層24が
されるために反射率が低下する。ここでは、遮光率(O
D)が3以上、反射率が可視光領域で0.5%以下であ
った。
【0029】ここで、上記平板状表示パネルの作製方法
について説明する。先ず、ガラス材よりなる第1の基板
21の表面に、酸化スズ,酸化インジウム、或はこれら
の混合物を用いて図示しない透明電極膜をスパッタリン
グ或は真空蒸着等の手法により成膜する。その後、透明
電極膜上にポジ型のフォトレジストを塗布し、フォトリ
ソグラフィー技術によりフォトマスクを介して露光・現
像を施して所定のレジストパターンを形成する。そし
て、このレジストパターンに倣って王水系のエッチャン
トを用いてウェットエッチングを施し、レジストパター
ンを剥離することにより帯状の下部電極11が各々平行
に略々等間隔をもって形成される。
【0030】次いで、図3に示すように、ガラス材より
なる第2の基板22の表面に、スパッタリング或は真空
蒸着等の手法によりCr膜を成膜する。その後、当該C
r膜上にポジ型のフォトレジストを塗布し、フォトリソ
グラフィー技術によりフォトマスクを介して露光・現像
を施して所定のレジストパターンを形成する。そして、
このレジストパターンに倣って硝酸第2セシウムアンモ
ニウムと過塩素酸との混合液をエッチャントして用いて
ウェットエッチングを施し、レジストパターンを剥離す
ることにより帯状の金属層23が各々平行に略々等間隔
をもって形成される。ここでは、金属層23をその膜厚
が0.2μm、面抵抗値が〜2Ω/□程度となるように
成膜した。
【0031】次に、図4に示すように、カーボンを分散
させたネガ型のフォトレジストを金属層23及び第2の
基板22上に塗布し、フォトリソグラフィー技術により
フォトマスクを介して露光,現像,ベーキングを施して
所定のレジストパターンを形成する。そして、このレジ
ストパターンに倣って金属層23上に樹脂層24を形成
し、レジストパターンを剥離する。
【0032】次いで、図5に示すように、各金属層23
及び樹脂層24間に、光の三原色R,G,Bを表すため
のR着色層31,G着色層32,及びB着色層33より
なるカラーフィルタ層25を各着色層毎に順次埋設形成
する。ここでは、赤色,緑色,及び青色の顔料分散レジ
ストをそれぞれR着色層31,G着色層32,及びB着
色層33の材料として用い、塗布、露光、現像、及びベ
ーキングの各工程を順次経ることにより上記各着色層3
1〜33よりなるカラーフィルタ層25が埋設形成され
る。
【0033】続いて、上記図2に示すように、カラーフ
ィルタ層25の表面に、酸化スズ,酸化インジウム、或
はこれらの混合物を用いて図示しない透明電極膜を常温
下でスパッタリング或は真空蒸着等の手法により成膜す
る。その後、透明電極膜上にポジ型のフォトレジストを
塗布し、フォトリソグラフィー技術によりフォトマスク
を介して露光・現像を施して所定のレジストパターンを
形成する。そして、このレジストパターンに倣って王水
系のエッチャントを用いてウェットエッチングを施し、
レジストパターンを剥離することにより帯状の上部電極
12が各々平行に略々等間隔をもって形成される。ここ
で、各上部電極12を成膜する際には、その長手方向一
側部を樹脂層24を介して金属層23と接続部aで接続
するとともに、その長手方向他側部を隣接する金属層2
3とカラーフィルタ層25を介して重複部bで重複させ
る。なお、当該上部電極12は膜厚が0.05μm、面
抵抗値が〜100Ω/□程度となった。
【0034】そして、上述の如く作製された第1のパネ
ル1と第2のパネル2とを、互いに透明電極である下部
電極11及び上部電極12を対向させてスペーサ4によ
り所定の離間距離を保って液晶層3を狭持するように突
き合せて接着固定し、最下層及び最上層に所定の偏光板
6,7を配することにより、上記図1に示す平板状表示
パネルが完成する。
【0035】上述のように、本実施の形態における平板
状表示パネルにおいては、各金属層23及び樹脂層24
間にR着色層31,G着色層32,及びB着色層33よ
りなるカラーフィルタ層25が各着色層毎に順次埋設形
成されており、当該カラーフィルタ層25上に上部電極
12が形成されている。この場合、金属層23及び樹脂
層24が積層形成された後にカラーフィルタ層25が埋
設され、その後に上部電極12が常温下で形成されるの
で、カラーフィルタ層25の色彩が損なわれることがな
く、当該カラーフィルタ層25に対する熱応力及び膜応
力の影響が格段に減少してクラックやしわ等の発生が抑
止される。
【0036】それとともに、各樹脂層24が対応する上
部電極12と電気的に接続されて当該上部電極12と金
属層23とが導通するので、信号波形の伝播は上部電極
12に比して比抵抗値が1桁以上高い金属層23に依存
する。したがって、上部電極12の駆動端と終端との間
における信号波形の遅延は金属層23が存しない場合と
比較して無視できる程度のものとなり、表示品位が向上
する。
【0037】すなわち、上記平板状表示パネルにおいて
は、金属層23を設けることにより生じがちなカラーフ
ィルタ層25の破損が防止されるとともに、上部電極1
2の駆動端と終端との間における信号波形の遅延が抑止
されて画質が大幅に向上することになる。
【0038】
【発明の効果】本発明の平板状表示パネルによれば、表
示画面内において液晶の応答速度を均一化して表示品位
を向上させることを可能となり、近時の要請である平板
状表示パネルの大画面化及び高精細化の実現を図ること
ができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本実施の形態における平板状表示パネルを模式
的に示す断面図である。
【図2】平板状表示パネルの構成要素である第2のパネ
ルを模式的に示す断面図である。
【図3】平板状表示パネルの製造工程において、第2の
基板上に金属層が形成された様子を模式的に示す断面図
である。
【図4】金属層上に樹脂層が形成された様子を模式的に
示す断面図である。
【図5】各金属層及び樹脂層間にカラーフィルタ層が埋
設形成された様子を模式的に示す断面図である。
【図6】従来の平板状表示パネルにおいて、改良された
第2のパネルの一例を模式的に示す断面図である。
【図7】従来の平板状表示パネルにおいて、改良された
第2のパネルの他の例を模式的に示す断面図である。
【符号の説明】
1 第1のパネル 2 第2のパネル 3 液晶層 4 スペーサ 5 中間層 11 下部電極 12 上部電極 21 第1の基板 22 第2の基板 23 金属層 24 樹脂層 25 カラーフィルタ層 31 R着色層 32 G着色層 33 B着色層

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 第1の基板上に複数の帯状の下部電極が
    各々平行に配列してなる第1のパネルと、第2の基板上
    に複数の帯状の上部電極が中間層を介して前記下部電極
    と直交して各々平行に配列してなる第2のパネルとを備
    え、第1のパネルと第2のパネルとが液晶層を狭持して
    互いに各電極が対向するように配置されてなる平板状表
    示パネルであって、 前記中間層は、第2の基板上に各上部電極に対応して形
    成される金属層と、当該金属層上に形成されるカーボン
    分散樹脂よりなる樹脂層とを有し、各金属層及び樹脂層
    間に赤色着色層,緑色着色層,及び青色着色層よりなる
    カラーフィルタ層が各着色層毎に順次埋設形成されると
    ともに、 各樹脂層がそれぞれ対応する上部電極と電気的に接続さ
    れて当該上部電極と金属層とが導通していることを特徴
    とする平板状表示パネル。
  2. 【請求項2】 カーボン分散樹脂がネガ型レジスト剤に
    カーボンが分散されてなることを特徴とする請求項1記
    載の平板状表示パネル。
  3. 【請求項3】 下部電極層及び上部電極層がそれぞれ透
    明電極であることを特徴とする請求項1記載の平板状表
    示パネル。
  4. 【請求項4】 金属層が各画素のブラック・マスクとし
    て機能することを特徴とする請求項1記載の平板状表示
    パネル。
JP19517495A 1995-07-31 1995-07-31 平板状表示パネル Withdrawn JPH0943595A (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106353937A (zh) * 2016-11-28 2017-01-25 京东方科技集团股份有限公司 阵列基板、阵列基板的制造方法和显示装置

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106353937A (zh) * 2016-11-28 2017-01-25 京东方科技集团股份有限公司 阵列基板、阵列基板的制造方法和显示装置

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