JPH0943254A - 走査型プローブ顕微鏡においてバックグランド除去データを得る方法及び走査型プローブ顕微鏡 - Google Patents
走査型プローブ顕微鏡においてバックグランド除去データを得る方法及び走査型プローブ顕微鏡Info
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- JPH0943254A JPH0943254A JP7189924A JP18992495A JPH0943254A JP H0943254 A JPH0943254 A JP H0943254A JP 7189924 A JP7189924 A JP 7189924A JP 18992495 A JP18992495 A JP 18992495A JP H0943254 A JPH0943254 A JP H0943254A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 走査型プローブ顕微鏡を用いて測定対象物体
表面状態を観察するにあたり、該物体表面のうねりや顕
微鏡におけるメカニカルな凹凸動作に起因するバックグ
ランドノイズを除去して、直接的に該物体表面の原子レ
ベル等の微細な表面状態を示すデータを得る方法、及び
かかるデータを得ることができる走査型プローブ顕微鏡
を提供する。 【解決手段】 走査型プローブ顕微鏡を用いて測定対象
物体４表面の状態を観察するにあたり、物体４表面を顕
微鏡プローブ３で所定方向Ｐに走査して所定ピッチ間隔
ΔＰで物体表面状態に応じた顕微鏡出力ｆ（Ｐｎ）をサ
ンプリングし、次いで各隣合うサンプリング出力の差Ｊ
（Ｐｎ）を求め、該差Ｊ（Ｐｎ）のうち最小のものを求
め、該最小のＪ（Ｐｎ）を所定値にするように各Ｊ（Ｐ
ｎ）を補正して最終バックグランド除去データＫ（Ｐ
ｎ）を求めることを特徴とする走査型プローブ顕微鏡に
おいてバックグランド除去データを得る方法、及び該デ
ータＫ（Ｐｎ）を得ることができる走査型プローブ顕微
鏡。
表面状態を観察するにあたり、該物体表面のうねりや顕
微鏡におけるメカニカルな凹凸動作に起因するバックグ
ランドノイズを除去して、直接的に該物体表面の原子レ
ベル等の微細な表面状態を示すデータを得る方法、及び
かかるデータを得ることができる走査型プローブ顕微鏡
を提供する。 【解決手段】 走査型プローブ顕微鏡を用いて測定対象
物体４表面の状態を観察するにあたり、物体４表面を顕
微鏡プローブ３で所定方向Ｐに走査して所定ピッチ間隔
ΔＰで物体表面状態に応じた顕微鏡出力ｆ（Ｐｎ）をサ
ンプリングし、次いで各隣合うサンプリング出力の差Ｊ
（Ｐｎ）を求め、該差Ｊ（Ｐｎ）のうち最小のものを求
め、該最小のＪ（Ｐｎ）を所定値にするように各Ｊ（Ｐ
ｎ）を補正して最終バックグランド除去データＫ（Ｐ
ｎ）を求めることを特徴とする走査型プローブ顕微鏡に
おいてバックグランド除去データを得る方法、及び該デ
ータＫ（Ｐｎ）を得ることができる走査型プローブ顕微
鏡。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、物体表面上の微細
な凹凸状態、不純物混入状態、格子配列状態その他の物
体表面状態のうち１又は２以上を知るための走査型プロ
ーブ顕微鏡を用いて測定対象物体表面状態を観察するに
あたり、該測定対象物体表面のうねりや顕微鏡における
メカニカルな凹凸動作に起因するバックグランドノイズ
を除去したデータを得る方法、及びかかるデータを得る
ことができる走査型プローブ顕微鏡に関する。
な凹凸状態、不純物混入状態、格子配列状態その他の物
体表面状態のうち１又は２以上を知るための走査型プロ
ーブ顕微鏡を用いて測定対象物体表面状態を観察するに
あたり、該測定対象物体表面のうねりや顕微鏡における
メカニカルな凹凸動作に起因するバックグランドノイズ
を除去したデータを得る方法、及びかかるデータを得る
ことができる走査型プローブ顕微鏡に関する。
【０００２】
【従来の技術】走査型プローブ顕微鏡は物体表面の原子
レベル等の微細な凹凸状態、不純物混入状態、格子配列
状態その他の物体表面の微細な状態を検出するために用
いられている。例えば、走査型プローブ顕微鏡の一つで
ある走査型トンネル顕微鏡（ＳＴＭ）では、プローブを
測定対象物体表面に接近させることで発生するトンネル
電流を利用し、該プローブで物体表面を走査し、該表面
の原子レベルの凹凸に起因して生じるトンネル電流の変
動を計測し、これをＳＴＭ像としてディスプレイに表示
させて該物体表面の状態を観察する。
レベル等の微細な凹凸状態、不純物混入状態、格子配列
状態その他の物体表面の微細な状態を検出するために用
いられている。例えば、走査型プローブ顕微鏡の一つで
ある走査型トンネル顕微鏡（ＳＴＭ）では、プローブを
測定対象物体表面に接近させることで発生するトンネル
電流を利用し、該プローブで物体表面を走査し、該表面
の原子レベルの凹凸に起因して生じるトンネル電流の変
動を計測し、これをＳＴＭ像としてディスプレイに表示
させて該物体表面の状態を観察する。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、かかる
走査型トンネル顕微鏡その他の物体表面の微細な状態を
検出するための走査型プローブ顕微鏡において検出され
るデータ乃至信号は、原子レベルの凹凸等に起因する微
細な変動分だけでなく、測定対象物体表面のうねりや顕
微鏡におけるメカニカルな凹凸動作に起因するバックグ
ランドノイズをも含んだものであり、原子レベル等での
微細な変動分を抽出して直接観察することはできず、こ
のバックグランドが目的とする像観察の支障となってい
る。
走査型トンネル顕微鏡その他の物体表面の微細な状態を
検出するための走査型プローブ顕微鏡において検出され
るデータ乃至信号は、原子レベルの凹凸等に起因する微
細な変動分だけでなく、測定対象物体表面のうねりや顕
微鏡におけるメカニカルな凹凸動作に起因するバックグ
ランドノイズをも含んだものであり、原子レベル等での
微細な変動分を抽出して直接観察することはできず、こ
のバックグランドが目的とする像観察の支障となってい
る。
【０００４】そこで本発明は、走査型プローブ顕微鏡を
用いて測定対象物体表面状態を観察するにあたり、該測
定対象物体表面のうねりや顕微鏡におけるメカニカルな
凹凸動作に起因するバックグランドノイズを除去して、
直接的に該物体表面の原子レベル等の微細な表面状態を
示すデータを得る方法、及びかかるデータを得ることが
できる走査型プローブ顕微鏡を提供することを課題とす
る。
用いて測定対象物体表面状態を観察するにあたり、該測
定対象物体表面のうねりや顕微鏡におけるメカニカルな
凹凸動作に起因するバックグランドノイズを除去して、
直接的に該物体表面の原子レベル等の微細な表面状態を
示すデータを得る方法、及びかかるデータを得ることが
できる走査型プローブ顕微鏡を提供することを課題とす
る。
【０００５】
【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
本発明は、走査型プローブ顕微鏡を用いて測定対象物体
表面の状態を観察するにあたり、測定対象物体表面を該
顕微鏡のプローブで所定方向Ｐに走査して所定ピッチ間
隔で該物体表面状態に応じた顕微鏡出力ｆ（Ｐｎ）をサ
ンプリングし、前記サンプリング出力ｆ（Ｐｎ）のうち
各隣合う出力の差Ｊ（Ｐｎ）を求め、前記差Ｊ（Ｐｎ）
のうち最小のものを求め、該最小のＪ（Ｐｎ）を所定値
にするように前記各Ｊ（Ｐｎ）を補正して最終バックグ
ランド除去データＫ（Ｐｎ）を求めることを特徴とする
走査型プローブ顕微鏡においてバックグランド除去デー
タを得る方法、及び測定対象物体表面をプローブで走査
して該表面の状態を観察する走査型プローブ顕微鏡であ
って、前記プローブによる前記物体表面の所定方向Ｐに
おける走査において所定ピッチ間隔で該物体表面状態に
応じた顕微鏡出力ｆ（Ｐｎ）をサンプリングする手段
と、、前記サンプリング出力ｆ（Ｐｎ）のうち各隣合う
サンプリング出力の差Ｊ（Ｐｎ）を求める手段と、前記
差Ｊ（Ｐｎ）のうち最小のものを求め、それを所定値に
するように前記各差Ｊ（Ｐｎ）を補正して最終バックグ
ランド除去データＫ（Ｐｎ）を求める手段とを備えたこ
とを特徴とする走査型プローブ顕微鏡を提供するもので
ある。
本発明は、走査型プローブ顕微鏡を用いて測定対象物体
表面の状態を観察するにあたり、測定対象物体表面を該
顕微鏡のプローブで所定方向Ｐに走査して所定ピッチ間
隔で該物体表面状態に応じた顕微鏡出力ｆ（Ｐｎ）をサ
ンプリングし、前記サンプリング出力ｆ（Ｐｎ）のうち
各隣合う出力の差Ｊ（Ｐｎ）を求め、前記差Ｊ（Ｐｎ）
のうち最小のものを求め、該最小のＪ（Ｐｎ）を所定値
にするように前記各Ｊ（Ｐｎ）を補正して最終バックグ
ランド除去データＫ（Ｐｎ）を求めることを特徴とする
走査型プローブ顕微鏡においてバックグランド除去デー
タを得る方法、及び測定対象物体表面をプローブで走査
して該表面の状態を観察する走査型プローブ顕微鏡であ
って、前記プローブによる前記物体表面の所定方向Ｐに
おける走査において所定ピッチ間隔で該物体表面状態に
応じた顕微鏡出力ｆ（Ｐｎ）をサンプリングする手段
と、、前記サンプリング出力ｆ（Ｐｎ）のうち各隣合う
サンプリング出力の差Ｊ（Ｐｎ）を求める手段と、前記
差Ｊ（Ｐｎ）のうち最小のものを求め、それを所定値に
するように前記各差Ｊ（Ｐｎ）を補正して最終バックグ
ランド除去データＫ（Ｐｎ）を求める手段とを備えたこ
とを特徴とする走査型プローブ顕微鏡を提供するもので
ある。
【０００６】これら本発明にかかる方法及び顕微鏡にお
いて、前記サンプリング出力ｆ（Ｐｎ）（ｎは正の整
数）は、所定の走査方向Ｐにおける所定ピッチ間隔ごと
の位置（Ｐ1 ）、（Ｐ2 ）、（Ｐ3 ）・・・・・におけ
る顕微鏡出力ｆ（Ｐ1 ）、ｆ（Ｐ2 ）、ｆ（Ｐ3 ）・・
・・・であり、Ｊ（Ｐｎ）（ｎは正の整数）は、Ｊ（Ｐ
1 ）＝ｆ（Ｐ1 ）−ｆ（Ｐ2 ）、Ｊ（Ｐ2 ）＝ｆ
（Ｐ2 ）−ｆ（Ｐ3 ）、・・・・・であり、これはバッ
クグランドノイズを除去した顕微鏡出力変動値を表して
いる。また、最終的なバックグランド除去データＫ（Ｐ
ｎ）（ｎは正の整数）は、代表的にはＫ（Ｐ1 ）＝Ｊ
（Ｐ1 ）＋α、Ｋ（Ｐ2 ）＝Ｊ（Ｐ2 ）＋α、Ｋ
（Ｐ3 ）＝Ｊ（Ｐ3 ）＋α、・・・・・で求められる。
いて、前記サンプリング出力ｆ（Ｐｎ）（ｎは正の整
数）は、所定の走査方向Ｐにおける所定ピッチ間隔ごと
の位置（Ｐ1 ）、（Ｐ2 ）、（Ｐ3 ）・・・・・におけ
る顕微鏡出力ｆ（Ｐ1 ）、ｆ（Ｐ2 ）、ｆ（Ｐ3 ）・・
・・・であり、Ｊ（Ｐｎ）（ｎは正の整数）は、Ｊ（Ｐ
1 ）＝ｆ（Ｐ1 ）−ｆ（Ｐ2 ）、Ｊ（Ｐ2 ）＝ｆ
（Ｐ2 ）−ｆ（Ｐ3 ）、・・・・・であり、これはバッ
クグランドノイズを除去した顕微鏡出力変動値を表して
いる。また、最終的なバックグランド除去データＫ（Ｐ
ｎ）（ｎは正の整数）は、代表的にはＫ（Ｐ1 ）＝Ｊ
（Ｐ1 ）＋α、Ｋ（Ｐ2 ）＝Ｊ（Ｐ2 ）＋α、Ｋ
（Ｐ3 ）＝Ｊ（Ｐ3 ）＋α、・・・・・で求められる。
【０００７】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
を参照して説明する。図１は本発明に係る走査型プロー
ブ顕微鏡の１例である走査型トンネル顕微鏡の概略構成
を示す図である。図１に示す本発明に係る走査型トンネ
ル顕微鏡は、顕微鏡フレームＦを備えており、フレーム
Ｆの上部にプローブ（探針）駆動ステージ１が支持され
ており、これにプローブホルダ２が取り付けられてい
る。ホルダ２はプローブ３を支持している。フレームＦ
の下部には測定対象物体４を設置する試料ホルダ５が設
けられている。
を参照して説明する。図１は本発明に係る走査型プロー
ブ顕微鏡の１例である走査型トンネル顕微鏡の概略構成
を示す図である。図１に示す本発明に係る走査型トンネ
ル顕微鏡は、顕微鏡フレームＦを備えており、フレーム
Ｆの上部にプローブ（探針）駆動ステージ１が支持され
ており、これにプローブホルダ２が取り付けられてい
る。ホルダ２はプローブ３を支持している。フレームＦ
の下部には測定対象物体４を設置する試料ホルダ５が設
けられている。
【０００８】プローブ３には電圧印加用の図示しない電
源が接続されているとともに、トンネル電流を検出する
ための電流計６、アンプ７が順次接続され、さらにイン
ターフェース８を介してコンピュータ１３に接続されて
いる。トンネル電流検出のための信号モードとしては定
電流モード又は可変電流モードが採用される。また、プ
ローブ駆動ステージ１にはステージ駆動モータ部９が連
結されており、ステージ１はこのモータ部９の運転によ
り、プローブ３を試料ホルダ５上の測定対象物体４の表
面にきわめて近く接近させ得るように上下方向（Ｚ軸方
向）に可動であり、さらに物体４の表面と略平行な一定
水平面（互いに直交するＸ軸−Ｙ軸からなり、Ｚ軸に垂
直な水平面）内で所定のＰ方向に移動できる。
源が接続されているとともに、トンネル電流を検出する
ための電流計６、アンプ７が順次接続され、さらにイン
ターフェース８を介してコンピュータ１３に接続されて
いる。トンネル電流検出のための信号モードとしては定
電流モード又は可変電流モードが採用される。また、プ
ローブ駆動ステージ１にはステージ駆動モータ部９が連
結されており、ステージ１はこのモータ部９の運転によ
り、プローブ３を試料ホルダ５上の測定対象物体４の表
面にきわめて近く接近させ得るように上下方向（Ｚ軸方
向）に可動であり、さらに物体４の表面と略平行な一定
水平面（互いに直交するＸ軸−Ｙ軸からなり、Ｚ軸に垂
直な水平面）内で所定のＰ方向に移動できる。
【０００９】また、モータ部９にはサーボ回路１０、ス
キャン回路１１が順次接続され、さらに該スキャン回路
１１はインターフェース１２を介してコンピュータ１３
に接続されている。コンピュータ１３には後述する最終
バックグランド除去データＫ（Ｐｎ）を表示するディス
プレイ１４も接続されている。コンピュータ１３は後ほ
ど説明する処理を行うように構成されている。
キャン回路１１が順次接続され、さらに該スキャン回路
１１はインターフェース１２を介してコンピュータ１３
に接続されている。コンピュータ１３には後述する最終
バックグランド除去データＫ（Ｐｎ）を表示するディス
プレイ１４も接続されている。コンピュータ１３は後ほ
ど説明する処理を行うように構成されている。
【００１０】この顕微鏡によると、本発明方法は次のよ
うに実施される。まず、ホルダ５上に測定対象物体４が
設置され、次いでコンピュータ１３からの指示に基づく
モータ部９によるプローブ駆動ステージ１のＺ軸方向の
駆動によりプローブ３が物体４表面の近くに設置され
る。引き続きプローブ駆動ステージ１が所定走査方向Ｐ
に駆動され、それによりプローブ３が測定対象物体４の
表面をＰ方向に走査する。
うに実施される。まず、ホルダ５上に測定対象物体４が
設置され、次いでコンピュータ１３からの指示に基づく
モータ部９によるプローブ駆動ステージ１のＺ軸方向の
駆動によりプローブ３が物体４表面の近くに設置され
る。引き続きプローブ駆動ステージ１が所定走査方向Ｐ
に駆動され、それによりプローブ３が測定対象物体４の
表面をＰ方向に走査する。
【００１１】ここでＰ方向はＸ軸方向、Ｙ軸方向、ＸＹ
方向のいずれでもよく、要するに物体４表面を走査しよ
うとする所定方向である。コンピュータ１３は、走査方
向Ｐにおいて所定ピッチ間隔ΔＰごとに、顕微鏡出力ｆ
（Ｐｎ）（ｎは正の整数）をサンプリングするサンプリ
ング処理を実行する。サンプリング出力ｆ（Ｐｎ）は、
ここではプローブ３において検出されるトンネル電流値
に基づくものである。図２はこのサンプリング出力の１
例を示している。
方向のいずれでもよく、要するに物体４表面を走査しよ
うとする所定方向である。コンピュータ１３は、走査方
向Ｐにおいて所定ピッチ間隔ΔＰごとに、顕微鏡出力ｆ
（Ｐｎ）（ｎは正の整数）をサンプリングするサンプリ
ング処理を実行する。サンプリング出力ｆ（Ｐｎ）は、
ここではプローブ３において検出されるトンネル電流値
に基づくものである。図２はこのサンプリング出力の１
例を示している。
【００１２】コンピュータ１３はさらに、サンプリング
出力ｆ（Ｐｎ）のうち各隣合うサンプリング出力の差Ｊ
（Ｐｎ）、すなわち、ピッチ間隔ΔＰをおいた各隣合う
走査位置間での原子レベルの凹凸に起因するトンネル電
流の変動に基づく変動値Ｊ（Ｐｎ）を求める演算処理を
行う。図３は図２のサンプリング出力例に基づく変動値
Ｊ（Ｐｎ）を表している。
出力ｆ（Ｐｎ）のうち各隣合うサンプリング出力の差Ｊ
（Ｐｎ）、すなわち、ピッチ間隔ΔＰをおいた各隣合う
走査位置間での原子レベルの凹凸に起因するトンネル電
流の変動に基づく変動値Ｊ（Ｐｎ）を求める演算処理を
行う。図３は図２のサンプリング出力例に基づく変動値
Ｊ（Ｐｎ）を表している。
【００１３】この変動値Ｊ（Ｐｎ）はもはや、測定対象
物体４表面のうねりや顕微鏡におけるメカニカルな凹凸
動作に起因するバックグランドノイズを含まないもので
あるが、多くの負値を含んでいるので、コンピュータ１
３は最小値検索処理を実行し、最小のＪ（Ｐｎ）を検索
し、これを０値にするように前記各Ｊ（Ｐｎ）に一定値
αを加算するゼロ値補正を行う。これにより最終的なバ
ックグランド除去データＫ（Ｐｎ）を求め、このデータ
Ｋ（Ｐｎ）をディスプレイ１４に表示する。図４は図２
のサンプリング出力例に基づくデータＫ（Ｐｎ）を表し
ている。
物体４表面のうねりや顕微鏡におけるメカニカルな凹凸
動作に起因するバックグランドノイズを含まないもので
あるが、多くの負値を含んでいるので、コンピュータ１
３は最小値検索処理を実行し、最小のＪ（Ｐｎ）を検索
し、これを０値にするように前記各Ｊ（Ｐｎ）に一定値
αを加算するゼロ値補正を行う。これにより最終的なバ
ックグランド除去データＫ（Ｐｎ）を求め、このデータ
Ｋ（Ｐｎ）をディスプレイ１４に表示する。図４は図２
のサンプリング出力例に基づくデータＫ（Ｐｎ）を表し
ている。
【００１４】かくしてデータＫ（Ｐｎ）から走査方向に
おけるピッチ間隔ΔＰで隣合う物体４表面上の位置間で
の原子レベルの凹凸に起因するトンネル電流の変動に基
づく変動値を直接的に観察することができ、これに基づ
き物体表面のうねりや顕微鏡におけるメカニカルな凹凸
動作に起因するバックグランドノイズの影響を受けるこ
となく物体４の原子レベルの微細な表面状態を判断する
ことができる。
おけるピッチ間隔ΔＰで隣合う物体４表面上の位置間で
の原子レベルの凹凸に起因するトンネル電流の変動に基
づく変動値を直接的に観察することができ、これに基づ
き物体表面のうねりや顕微鏡におけるメカニカルな凹凸
動作に起因するバックグランドノイズの影響を受けるこ
となく物体４の原子レベルの微細な表面状態を判断する
ことができる。
【００１５】データＫ（Ｐｎ）は必要に応じＮ倍して像
コントラストを変更することもできる。なお、図２から
図４に示すデータは、測定対象物体４をホルダ５上に設
置し、例えば走査範囲：Ｘ軸方向に５μｍ、信号モー
ド：可変電流モード、サンプリング間隔：５Åで該物体
表面を走査したときの例示データで、図４のデータＫ
（Ｐｎ）から物体表面の原子レベルでの凹凸状態を支障
なく観察できる。
コントラストを変更することもできる。なお、図２から
図４に示すデータは、測定対象物体４をホルダ５上に設
置し、例えば走査範囲：Ｘ軸方向に５μｍ、信号モー
ド：可変電流モード、サンプリング間隔：５Åで該物体
表面を走査したときの例示データで、図４のデータＫ
（Ｐｎ）から物体表面の原子レベルでの凹凸状態を支障
なく観察できる。
【００１６】
【発明の効果】以上説明したように本発明によると、走
査型プローブ顕微鏡を用いて測定対象物体表面状態を観
察するにあたり、該測定対象物体表面のうねりや顕微鏡
におけるメカニカルな凹凸動作に起因するバックグラン
ドノイズを除去して、直接的に該物体表面の原子レベル
等の微細な表面状態を示すデータを得る方法、及びかか
るデータを得ることができる走査型プローブ顕微鏡を提
供することができる。
査型プローブ顕微鏡を用いて測定対象物体表面状態を観
察するにあたり、該測定対象物体表面のうねりや顕微鏡
におけるメカニカルな凹凸動作に起因するバックグラン
ドノイズを除去して、直接的に該物体表面の原子レベル
等の微細な表面状態を示すデータを得る方法、及びかか
るデータを得ることができる走査型プローブ顕微鏡を提
供することができる。
【図１】本発明に係る走査型プローブ顕微鏡の１例であ
る走査型トンネル顕微鏡の概略構成を示す図である。
る走査型トンネル顕微鏡の概略構成を示す図である。
【図２】図１に示す顕微鏡によるサンプリング出力ｆ
（Ｐｎ）の例を示す図である。
（Ｐｎ）の例を示す図である。
【図３】図２のサンプリング出力ｆ（Ｐｎ）のうち隣合
う出力の差Ｊ（Ｐｎ）を示す図である。
う出力の差Ｊ（Ｐｎ）を示す図である。
【図４】図３に示すＪ（Ｐｎ）を補正して得られる最終
的なバックグランド除去データＫ（Ｐｎ）を示す図であ
る。
的なバックグランド除去データＫ（Ｐｎ）を示す図であ
る。
Ｆ 顕微鏡フレーム １ プローブ駆動ステージ ２ プローブホルダ ３ プローブ ４ 測定対象物体 ５ 測定対象物体のホルダ ６ 電流計 ７ アンプ ８ インターフェース ９ モータ部 １０ サーボ回路 １１ スキャン回路 １２ インターフェース １３ コンピュータ １４ ディスプレイ
Claims (2)
- 【請求項１】 走査型プローブ顕微鏡を用いて測定対象
物体表面の状態を観察するにあたり、測定対象物体表面
を該顕微鏡のプローブで所定方向Ｐに走査して所定ピッ
チ間隔で該物体表面状態に応じた顕微鏡出力ｆ（Ｐｎ）
をサンプリングし、前記サンプリング出力ｆ（Ｐｎ）の
うち各隣合う出力の差Ｊ（Ｐｎ）を求め、前記差Ｊ（Ｐ
ｎ）のうち最小のものを求め、該最小のＪ（Ｐｎ）を所
定値にするように前記各Ｊ（Ｐｎ）を補正して最終バッ
クグランド除去データＫ（Ｐｎ）を求めることを特徴と
する走査型プローブ顕微鏡においてバックグランド除去
データを得る方法。 - 【請求項２】 測定対象物体表面をプローブで走査して
該表面の状態を観察する走査型プローブ顕微鏡であっ
て、前記プローブによる前記物体表面の所定方向Ｐにお
ける走査において所定ピッチ間隔で該物体表面状態に応
じた顕微鏡出力ｆ（Ｐｎ）をサンプリングする手段と、
前記サンプリング出力ｆ（Ｐｎ）のうち各隣合うサンプ
リング出力の差Ｊ（Ｐｎ）を求める手段と、前記差Ｊ
（Ｐｎ）のうち最小のものを求め、それを所定値にする
ように前記各差Ｊ（Ｐｎ）を補正して最終バックグラン
ド除去データＫ（Ｐｎ）を求める手段とを備えたことを
特徴とする走査型プローブ顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7189924A JPH0943254A (ja) | 1995-07-26 | 1995-07-26 | 走査型プローブ顕微鏡においてバックグランド除去データを得る方法及び走査型プローブ顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7189924A JPH0943254A (ja) | 1995-07-26 | 1995-07-26 | 走査型プローブ顕微鏡においてバックグランド除去データを得る方法及び走査型プローブ顕微鏡 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0943254A true JPH0943254A (ja) | 1997-02-14 |
Family
ID=16249494
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7189924A Withdrawn JPH0943254A (ja) | 1995-07-26 | 1995-07-26 | 走査型プローブ顕微鏡においてバックグランド除去データを得る方法及び走査型プローブ顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0943254A (ja) |
-
1995
- 1995-07-26 JP JP7189924A patent/JPH0943254A/ja not_active Withdrawn
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