JPH0938567A - 硬基板塗布方法 - Google Patents
硬基板塗布方法Info
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- JPH0938567A JPH0938567A JP21133395A JP21133395A JPH0938567A JP H0938567 A JPH0938567 A JP H0938567A JP 21133395 A JP21133395 A JP 21133395A JP 21133395 A JP21133395 A JP 21133395A JP H0938567 A JPH0938567 A JP H0938567A
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Abstract
イクロロッドバーの下部を塗布液槽に浸漬し、このマイ
クロロッドバーとその上方に対向配置されたニップロー
ラとの間に硬基板を挟んで送ることにより、硬基板の下
面に塗布液を塗布する場合に、硬基板の送り速度の微少
変動による塗布ムラ特に横段ムラの発生を防止し、均質
な厚さに塗布できるようにする 【解決手段】 ニップローラが硬基板を挾んだ状態での
有効径の周速度がマイクロロッドバーの周速度よりも大
とならないようにマイクロロッドバーの回転速度を設定
しつつ塗布を行う。
Description
晶表示板などの製造に用いられ、フォトレジストなどの
塗布液を硬基板に薄く均一に塗布するための硬基板塗布
方法に関するものである。
などの硬基板にフォトレジストなどの塗布液を薄く均一
な厚さに塗布する工程がある。例えばカラー液晶板の製
造においては、透明電極を予め形成したガラス基板に、
フォトレジストの機能を有する赤のカラ−モザイク液を
均一に塗布した後、露光して赤に対応するカラ−モザイ
クを硬化させ、未硬化部分を除去し加熱乾燥（ベーク）
することにより赤のカラーモザイクを形成している。そ
してこれと同様な処理を緑、青などの他の色について繰
り返している。
塗布する場合、この液は均一な厚さ（例えば２μ±５％
程度）に厳密に管理して薄く塗布する必要がある。この
塗布の厚さが不均一であると、光の透過率のむらが生
じ、品質の低下を招くことになるからである。
いられていた。このスピンコータは回転させたガラス基
板の回転中心付近に塗布液を滴下し、この液を遠心力を
利用して飛散させることにより塗布するものである。し
かしこのスピンコータを用いる方法ではガラス基板の交
換に手間取り作業能率が悪くなるばかりでなく、飛散し
て捨てられる液の量が増えることになる。このためコス
トアップになるという問題があった。
間にガラス基板を挟んで塗布する装置を用いることが考
えられている。この装置は下のローラとなるマイクロロ
ッドバーの下部を塗布液に浸漬し、このマイクロロッド
バーとこの上方に位置するニップローラとの間にガラス
基板を挟んで送りながら、マイクロロッドバーによりガ
ラス基板の下面に塗布するものである。
状の芯金にステンレスなどのワイヤを密着させて巻き付
けたものである。またニップローラは芯金の外周を所定
の厚さのゴムで覆ったものであり、ゴムの弾力性を利用
してガラス基板を押圧するものである。
は、塗布面にガラス基板の送り方向に直交する方向（基
板幅方向）に長い塗布ムラ（横段ムラという）が発生す
るという問題があった。そこでその原因を調べたとこ
ろ、この横段ムラの発生の原因は、ガラス基板の送り速
度の微少な変動にあることが解った。
るものと考えられる。ニップローラをガラス基板に押圧
した時にはその表面のゴムが圧縮され、ゴムの一部がガ
ラス基板の接触部分の両側へ膨出する。ニップローラは
ガラス基板を送出する方向に回転しているので、この膨
出したゴムはガラス基板の進入側で次第に増大する（バ
ルジ現象という）。
ると一気にガラス基板との接触部分を乗り越えてガラス
基板の脱出側に移動する。この時にガラス基板の送り速
度が一時的に増加する。以上のようにガラス基板の進入
側に膨出するゴムの膨出量が一定量を越える度にガラス
基板の送り速度が変動し、この結果ガラス基板の幅方向
に平行なムラ（横段ムラ）が発生するものと考えられ
る。
ものであり、硬基板の送り速度の微少な変動による塗布
ムラ特に横段ムラの発生を防止し、均質な厚さに塗布す
ることができる硬基板塗布方法を提供することを目的と
する。
にワイヤを密着させて巻付けたマイクロロッドバーの下
部を塗布液槽に浸漬し、このマイクロロッドバーとその
上方に対向配置されたニップローラとの間に硬基板を挟
んで送ることにより、前記硬基板の下面に塗布液を塗布
する硬基板塗布方法において、前記ニップローラが前記
硬基板を挾んだ状態での有効径の周速度が前記マイクロ
ロッドバーの周速度よりも大とならないようにマイクロ
ロッドバーおよびニップローラの少くとも一方の回転速
度を設定し塗布を行うことを特徴とする硬基板塗布方
法、により達成される。
置図、図２はその塗布部の斜視図、図３はその非塗布状
態を示す断面図、図４は同じく塗布状態を示す断面図、
図５はマイクロロッドバーの断面図である。
ィルタに用いるガラス基板であり、硬基板となるもので
ある。このガラス基板１０は例えば幅３００〜５００ｍ
ｍ、長さ４００〜７００ｍｍ、厚さ０．７〜１．１ｍｍ
のものである。
ーである。マイクロロッドバー１４は断面円形のステン
レス製ロッド１４Ａ（図５参照）の表面に細いステンレ
スのワイヤ１４Ｂを密着するように巻き付けたものであ
り、金属線間の溝による毛細管現象を利用して液を塗布
するものである。マイクロロッドバー１４は塗布液槽１
２の中に設けたバックアップ材１６（図３、４）に載っ
た状態でモータ駆動される。
十分に浸るようにその液面が一定に管理されている。な
おマイクロロッドバー１４の外径（直径）は約１２ｍｍ
である。２０はニップローラであり、マイクロロッドバ
ー１４の上方に保持されている。このニップローラ２０
はステンレス製の芯金２０Ａの外周面にゴム層２０Ｂを
一定の厚さに設けたものである。
ラ２２に載せた状態で図１、２、３の左側から一定速度
で搬送され、その前縁がマイクロロッドバー１４とニッ
プローラ２０の間に進入する。図２で２４はこの搬送ロ
ーラ２２の駆動機構を収容するケースである。
ロッドバー１４およびニップローラ２０の回転により右
側へ一定速度で送られ、その間にマイクロロッドバー１
４によってガラス基板１０の下面に液が塗布されるもの
である。そして塗布が終ったガラス基板１０はその左右
両縁を搬送ローラ２２に載せられてさらに送られ塗布液
が乾燥される。
０とは別々の電動モータ（図示せず）によって回転駆動
され、それぞれ独立に速度制御可能である。ここにニッ
プローラ２０がガラス基板１０を挾んだ図４の状態で
は、その半径Ｒ0は圧縮されて有効半径Ｒとなり、この
有効半径Ｒの周速度ＲＷが、マイクロロッドバー１４の
周速度（ｄ／２＋ｔ）ｗよりも大とならないように、両
者の少くとも一方の回転速度が制御される。
Ｗはニップローラ２０の角速度（ラジアン／ｓｅｃ）、
ｄはマイクロロッドバー１４のロッド１４Ａの直径、ｔ
はワイヤ１４Ｂの直径、ｗはマイクロロッドバー１４の
角速度（ラジアン／ｓｅｃ）である。前記の関係は、
［ＲＷ≦（ｄ／２＋ｔ）ｗ］で表すことができる。
が可能である。すなわちニップローラ２０の有効半径Ｒ
は、図３に示すように、その非圧縮時の半径Ｒ0 と、マ
イクロロッドバー１４のクリヤランスＣと、ガラス基板
１０の厚さＴとを用いて、［Ｒ＝Ｒ0 −（Ｔ−Ｃ）］で
表すことができる。また角速度Ｗ、ｗはそれぞれの回転
速度をＮ、ｎ（Ｒ．Ｐ．Ｍ）とすれば、Ｗ＝πＮ／６
０、ｗ＝πｎ／６０（ラジアン／ｓｅｃ）となる。従っ
て前記の関係式は、：π［Ｒ0 −（Ｔ−Ｃ）］・Ｎ≦π
（ｄ／２＋ｔ）・ｎ：となる。
ドバー１４およびニップローラ２０の少くとも一方の速
度を制御すれば、図４に示す塗布時において、ニップロ
ーラ２０のガラス基板進入側にできるゴム層２０Ｂの膨
出部分２０Ｃは増大するおそれがない。従ってこの膨出
部分２０Ｃが塗布中に増大してガラス基板１０との間を
乗り越えることがなくなり、ガラス基板１０の送り速度
の変動を防ぐことができる。
る場合には、ニップローラ２０とマイクロロッドバー１
４とのクリヤランスＣを調節するのが望ましい。しかし
この発明によれば、このクリヤランスＣを変更せずマイ
クロロッドバー１４およびニップローラ２０の少くとも
一方の速度制御だけで簡単に対応することも可能にな
る。このため板厚が異なるガラス基板１０を塗布する場
合に速やかに対応でき、装置の稼動率向上に適する。
ローラの塗布時の有効径の周速度が、マイクロロッドバ
ーの周速度よりも大とならないようにマイクロロッドバ
ーおよびニップローラの少くとも一方の速度を設定して
おくから、ニップローラのガラス基板の進入側接触部分
にできる膨出部分が塗布中に増大することがない。
板との間を乗り越えてガラス基板の脱出側へ移動するこ
とが無くなり、ガラス基板の送り速度の変動が防止さ
れ、塗布厚の変動（横段ムラ）がない均一厚さの優れた
塗布面仕上り状態を得ることが可能になる。
Claims (1)
- 【請求項１】 ロッド外周にワイヤを密着させて巻付け
たマイクロロッドバーの下部を塗布液槽に浸漬し、この
マイクロロッドバーとその上方に対向配置されたニップ
ローラとの間に硬基板を挟んで送ることにより、前記硬
基板の下面に塗布液を塗布する硬基板塗布方法におい
て、前記ニップローラが前記硬基板を挾んだ状態での有
効径の周速度が前記マイクロロッドバーの周速度よりも
大とならないようにマイクロロッドバーおよびニップロ
ーラの少くとも一方の回転速度を設定し塗布を行うこと
を特徴とする硬基板塗布方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21133395A JP3808529B2 (ja) | 1995-07-28 | 1995-07-28 | 硬基板塗布方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21133395A JP3808529B2 (ja) | 1995-07-28 | 1995-07-28 | 硬基板塗布方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0938567A true JPH0938567A (ja) | 1997-02-10 |
| JP3808529B2 JP3808529B2 (ja) | 2006-08-16 |
Family
ID=16604224
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21133395A Expired - Fee Related JP3808529B2 (ja) | 1995-07-28 | 1995-07-28 | 硬基板塗布方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3808529B2 (ja) |
-
1995
- 1995-07-28 JP JP21133395A patent/JP3808529B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3808529B2 (ja) | 2006-08-16 |
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