JPH0933485A - 分析装置 - Google Patents
分析装置Info
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- JPH0933485A JPH0933485A JP18719995A JP18719995A JPH0933485A JP H0933485 A JPH0933485 A JP H0933485A JP 18719995 A JP18719995 A JP 18719995A JP 18719995 A JP18719995 A JP 18719995A JP H0933485 A JPH0933485 A JP H0933485A
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Abstract
る異常を検知する。 【構成】 制御部2は、10msec 周期で分析条件を定め
るための設定データを制御回路3に転送する。これによ
って制御回路3は10msec 周期で復旧されることにな
る。また、制御部2は設定データの転送後、次の設定デ
ータの転送までの間に 100μsec 周期で所定のパターン
のパルス列を転送する。制御回路3は当該パルス列を受
けると、そのまま制御部2に返送する。高圧放電によっ
て制御回路3あるいは通信回線10に異常が発生した場
合には、制御部2は正しいパルス列を受信することがで
きないので、異常が発生したと判断してホストコンピュ
ータ9にその旨を通知する。
Description
圧を用いる分析装置に係り、特に高圧放電による異常を
検知することができる分析装置に関する。
有している。筐体1の内部には、制御部2、制御回路
3、電源回路4、イオン化部5、電磁場部6、検出部7
が配置されている。また、外部の装置として、種々の分
析条件を設定するためのキーボード等から構成される入
力部8、及び検出部7からの検出データを取り込んで分
析のための処理を行うホストコンピュータ9が配置され
ている。
された分析条件に基づいて、制御回路3に対して通信回
線10を介して、当該分析条件に応じた電圧、電流の発
生を指示するものであり、マイクロプロセッサ(以下、
MPUと称す)及びその周辺回路で構成される。
ものであり、制御部2から指示された電圧、電流を電源
回路4で発生させる処理を行う。この制御回路3もMP
U及びその周辺回路で構成される。
必要な高電圧、生成されたイオンを加速するための高電
圧、電場セクタに印加するための高電圧、磁場セクタに
供給する電流、検出部7に印加する所定の電圧等種々の
電圧、電流を発生するためのものであり、上述したよう
にその出力電圧、出力電流は制御回路3によって制御さ
れる。
あるが、ここでは生成されたイオンを加速する加速部を
も含むものとする。従って、このイオン化部5には電源
回路4から試料をイオン化するための高電圧及び加速電
圧が印加されることになる。
に図2には図示せず)を含むものであり、電場セクタに
は分析条件に応じた高電圧が、磁場セクタには分析条件
に応じた電流がそれぞれ電源回路4から供給される。
の検出器には電源回路7から当該検出器を動作させるた
めの所定の電圧が印加される。
である検出データを取り込むと共に、制御部2から設定
された分析条件を取り込み、質量分析のための処理を行
うものである。
と共に、入力部8を操作して分析条件を設定して分析開
始のための操作を行うと、制御部2は当該分析条件に対
応する各部の電圧、電流を決定して通信回線10を介し
て制御回路3に通知する。
示された電圧、電流を電源回路4から発生させ、これら
の電圧、電流はイオン化部5、電磁場部6、検出部7に
供給される。これによって試料はイオン化され、加速さ
れて電磁場部6を通過し、検出部7に至る。
トコンピュータ9に取り込まれ、処理されて質量分析が
行われることになる。
うに電源回路4は高電圧電源を含むのであるが、そのた
めに高圧放電が発生することがあり、その際に制御回路
3の動作が異常になることがある。また、通信回線10
を介して制御部2が制御回路3に対して何等かのデータ
を送信しているときに高圧放電が発生すると、その高圧
放電によるノイズが通信回線10に入り込み、送信中の
データが変形されて、いわゆるデータ化けが生じてしま
うこともある。
各部は正しい分析条件で動作しなくなるので、検出部7
からの検出データも異常なものとなり、分析そのものが
無効になってしまうものである。
ているのであるが、電源回路4とは隔離されて配置さ
れ、しかも適宜な絶縁対策が施されているのが通常であ
るので、高圧放電によって影響を受けることは殆どない
ものである。従って、ここでは制御部2は高圧放電によ
る影響は受けないものとすることにする。
で設定された分析条件に基づくデータ(以下、このデー
タを設定データと称する)を制御部2から制御回路3に
転送することが考えられる。
ると、図3に示すように制御部2は制御回路3に対して
10msec 毎に設定データ11を転送するのである。
たとしても、次の設定データの転送が行われることによ
って制御回路3の動作を復旧させることができる。つま
り、高圧放電が発生して、それによって影響を受けたと
しても、設定データの転送周期単位、この場合には10m
sec 単位で制御回路3の動作を復旧させることができる
ので、高圧放電により影響される時間を短時間にとどめ
ることができるのである。
制御回路3に転送することによって当該周期単位で制御
回路3を復旧させることはできるのであるが、どの時点
で高圧放電が発生したのかを検知することはできないの
で、検出部7からの検出データの全てを信用することは
できないものである。
って、どの時点で異常が生じたかを検知することができ
る分析装置を提供することを目的とするものである。
めに、本発明の分析装置は、高電圧電源を含む電源回路
を制御する第1の制御手段と、第1の制御手段と通信回
線で接続され、第1の制御手段に対して設定された分析
条件に応じた電圧、電流の発生を通知する第2の制御手
段とを備える分析装置において、第1の制御手段と、第
2の制御手段とは定期的に予め定められたパターンを有
するパルス列の授受を行うことを特徴とする。
段、第2の制御手段を備える。第1の制御手段は、高電
圧電源を含む電源回路を制御するものであり、第2の制
御手段は、第1の制御手段とは通信回線で接続されてお
り、第1の制御手段に対して設定された分析条件に応じ
た電圧、電流の発生を通知するものである。
とは定期的に予め定められたパターンを有するパルス列
の授受を行う。
生し、それによって第1の制御手段、あるいは第1の制
御手段と第2の制御手段を接続する通信回線が影響を受
けたとすると、第1の制御手段または第2の制御手段は
正しいパルス列を受信することができなくなる。
手段は、正しいパターンのパルス列を受信できなかった
場合には、高圧放電等によって異常が生じたことを検知
することができる。
置からの検出データを処理する装置に転送すれば、当該
装置はどの部分の検出データが異常であるかを判断する
ことができ、それに基づいて適切な対応をとることがで
きる。
以下の実施例においては本発明を質量分析装置に適用し
た場合について説明するが、本発明は質量分析装置に限
らず、高電圧と真空排気系を有する荷電粒子線を利用し
た分析装置に対して一般的に適用できるものであり、従
って、透過型電子顕微鏡、走査型電子顕微鏡、X線マイ
クロアナライザ、オージェ電子分析装置、光電子分析装
置等にも適用できるものである。
様であるが、制御部2と制御回路3の動作が異なってい
る。即ち、制御部2は上述したと同様に所定の周期、例
えば10msec 周期で設定データを制御回路3に転送する
と共に、次の設定データの転送までの間に設定データの
転送周期より短い周期で予め定められたパターンのパル
ス列(以下、単にパルス列と称する)12を転送する。
ここではパルス列の転送周期は 100μsec であるとす
る。また、パルス列12のパターンは任意に定めること
ができ、例えば、「111111000000」、「10101010101010
10」等の 8〜16ビット程度のビット列でよい。
ま設定データの転送のタイミングが到来したとすると、
図1のステップS1のように制御部2は制御回路3に設
定データを転送する。なお、設定データには巡回冗長符
号チェック方式等の適宜な符号チェック方式が採用され
ているものとする。
当該受信した設定データをチェックし、正常であれば当
該設定データを用いて電源回路4を制御すると共に、こ
れまで用いられていた設定データを制御部2に返送する
が、チェックの結果設定データに異常があった場合に
は、予め定められている異常を示すデータを制御部2に
返送する。
に高圧放電によって制御回路3あるいは通信回線10に
異常が発生した場合には、制御回路3は正常な設定デー
タを受信できないので、このときにも制御回路3は異常
を示すデータを返送する。以上が図1のステップS2の
返送の処理である。
2は、返送されてきたデータが異常を示すデータであっ
た場合にはホストコンピュータ9に対して異常が発生し
たことを通知して次の処理に移行する。
御回路3で用いられていた設定データである場合には、
当該データをチェックし、正常であれば次の処理を実行
するが、異常であれば制御回路3または通信回線10に
異常が発生していると判断してホストコンピュータ9に
異常の発生を通知して次の処理に移行する。
からステップS2の返送が完了するまでの間に高圧放電
によって制御回路3あるいは通信回線10に異常が発生
した場合には、制御部2は正常なデータを受信できない
ので、この場合にも制御部2はホストコンピュータ9に
対して異常の発生を通知して次の処理に移行する。
対する処理を終了すると、制御部2はパルス列を転送す
る(ステップS3)。これに対して制御回路3は受信し
たパルス列をそのまま制御部2に返送する(ステップS
4)。
列を受けると、返送されてきたパルス列が正常であるか
否かを判断し、正常である場合には次の処理に移行す
る。
開始からステップS4のパルス列の返送の完了までの間
に高圧放電によって制御回路3あるいは通信回線10に
異常が発生した場合には、制御回路3から返送されてき
たパルス列は正常なパルス列とは異なるので、制御回路
3または通信回線10に異常が発生していると判断して
ホストコンピュータ9に異常の発生を通知して次の処理
に移行する。また、パルス列の転送後所定の時間内に制
御回路3からパルス列が返送されなかった場合にも制御
部2は異常が発生したとしてホストコンピュータ9に異
常の発生を通知する。
送から 100μsec 経過すると、再びパルス列を制御回路
3に転送する(ステップS5)。
列を転送し、前回の設定データの転送から10msec 経過
すると、制御部2は再び設定データを制御回路3に転送
する(ステップS6)。
返し行う。このように制御部2と制御回路3とで定期的
に定形パターンのパルス列の授受を行うことによって高
圧放電等による異常を検知しているので、ホストコンピ
ュータ9はどの時点で異常が発生したかを認識できるの
で、そのときに検出部7から取り込んだ検出データを無
視する等の処理を行うことができ、その結果分析結果の
信頼性を向上させることができる。
転送しているので、定期的に制御回路3を復旧させるこ
とができ、分析の再設定、分析の続行をスムーズに行う
ことができる。
に接続されているが、ホストコンピュータが備えている
入力手段を入力部として利用し、ホストコンピュータか
ら制御部にデータを入力するようにしてもよい。
明するためのタイミングチャートである。
である。
る。
5…イオン化部、6…電磁場部、7…検出部、8…入力
部、9…ホストコンピュータ、10…通信回線
Claims (1)
- 【請求項1】高電圧電源を含む電源回路を制御する第1
の制御手段と、 第1の制御手段と通信回線で接続され、第1の制御手段
に対して設定された分析条件に応じた電圧、電流の発生
を通知する第2の制御手段とを備える分析装置におい
て、 第1の制御手段と、第2の制御手段とは定期的に予め定
められたパターンを有するパルス列の授受を行うことを
特徴とする分析装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18719995A JP3284500B2 (ja) | 1995-07-24 | 1995-07-24 | 分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18719995A JP3284500B2 (ja) | 1995-07-24 | 1995-07-24 | 分析装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0933485A true JPH0933485A (ja) | 1997-02-07 |
JP3284500B2 JP3284500B2 (ja) | 2002-05-20 |
Family
ID=16201835
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP18719995A Expired - Fee Related JP3284500B2 (ja) | 1995-07-24 | 1995-07-24 | 分析装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3284500B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015184953A (ja) * | 2014-03-25 | 2015-10-22 | 株式会社日立製作所 | フェールセーフ制御装置及びフェールセーフ制御方法 |
-
1995
- 1995-07-24 JP JP18719995A patent/JP3284500B2/ja not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015184953A (ja) * | 2014-03-25 | 2015-10-22 | 株式会社日立製作所 | フェールセーフ制御装置及びフェールセーフ制御方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP3284500B2 (ja) | 2002-05-20 |
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