JPH09314549A - 着脱自在ワイヤリール及び着脱自在ワイヤリールを用いたワイヤソー - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】小型、軽量で、かつ着脱が容易な着脱自在ワイ
ヤリール及び着脱自在ワイヤリールを用いたワイヤソー
の提供。 【解決手段】ワイヤリール６０は、ターンテーブル６２
に連結されたスピンドル６４に筒体６６を介して装着さ
れる。筒体６６は周方向に拡縮自在に形成されており、
前記スピンドル６４の先端に拡径リング７６を装着する
と、その拡径リング７６に内周面を押圧されて拡径す
る。拡径した筒体６６は、前記ワイヤリール６０の内周
面を押圧し、これにより、前記スピンドル６４にワイヤ
リール６０が固定される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、着脱自在ワイヤリ
ール及び着脱自在ワイヤリールを用いたワイヤソーに係
り、特にシリコン、ガラス、セラミックス等の脆性材料
を切断するワイヤソーの着脱自在ワイヤリール及び着脱
自在ワイヤリールを用いたワイヤソーに関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、ワイヤソーに用いられるワイヤリ
ールは、巻き取るワイヤの張力に耐え得る構造とするた
めに、大型、大重量のものが用いられていた。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
ワイヤリールは、大型、大重量であるが故に、その着脱
作業に大変手間がかかっていた。一方、近年、ワイヤリ
ールに巻き取るワイヤの張力を低減させることができる
機構を備えたワイヤソーが提案されており、このワイヤ
ソーでは、前記のような大型、大重量のワイヤリールを
用いる必要がなくなっている。

【０００４】本発明は、このような事情に鑑みてなされ
たもので、小型、軽量で、かつ、着脱が容易な着脱自在
ワイヤリール及び着脱自在ワイヤリールを用いたワイヤ
ソーを提供することを目的とする。

【０００５】

【課題を解決する為の手段】本発明は前記目的を達成す
るために、一対のワイヤリール間を走行するワイヤを複
数の溝付ローラに巻きかけてワイヤ列を形成し、該ワイ
ヤ列に砥粒を含む加工液を供給しながら被加工物を押し
当てることにより、該被加工物を多数のウェーハに切断
するワイヤソーにおいて、回転駆動源に着脱自在に連結
されたスピンドルと、中空状に形成され、前記スピンド
ルに装着される前記ワイヤリールと、前記スピンドルと
前記ワイヤリールとの間に介装され、周方向に拡縮自在
な筒体と、前記スピンドルに取り付けられ、前記筒体の
内周面を押圧して該筒体を拡径させる拡径部材と、から
なり、前記拡径部材で拡径させた前記筒体で前記ワイヤ
リールの内周面を押圧して、前記ワイヤリールを前記ス
ピンドルに固定するとともに、前記筒体を縮径させて前
記ワイヤリールを前記スピンドルから取り外し可能とす
ることを特徴とする。

【０００６】本発明によれば、ワイヤリールは、回転駆
動源に連結されたスピンドルに筒体を介して装着され
る。装着されたワイヤリールは、スピンドルに設けられ
た拡径部材で筒体の内周面を押圧して筒体を拡径させ、
その拡径させた筒体で前記ワイヤリールの内周面を押圧
して、スピンドルに固定する。

【０００７】

【発明の実施の形態】以下、添付図面に従って本発明に
係る着脱自在ワイヤリール及び着脱自在ワイヤリールを
用いたワイヤソーの実施の形態について詳説する。図１
は、本発明に係る着脱自在ワイヤリールを用いたワイヤ
ソーの実施の形態の構成図である。

【０００８】同図に示すように、ワイヤ１０は、モータ
１１Ａ、１１Ｂで回転駆動される一対のワイヤリール１
２Ａ、１２Ｂ間を走行し、そのワイヤ走行路に配設され
た３本の溝付ローラ１４、１４、１４に巻きかけられて
水平なワイヤ列１６を形成する。被加工物であるインゴ
ット１８は、このワイヤ列１６に砥粒を含む加工液を供
給しながら押し当てることにより、その砥粒のラッピン
グ作用で多数のウェーハに切断される。

【０００９】ところで、同図に示すように、一方のワイ
ヤリール１２Ａとワイヤ列１６との間、及び、他方のワ
イヤリール１２Ｂとワイヤ列１６との間には、それぞれ
ダンサローラ２０Ａ、２０Ｂが配設されており、走行す
るワイヤ１０は、この一対のダンサローラ２０Ａ、２０
Ｂで所定の張力が付与される。一方、前記一対のダンサ
ローラ２０Ａ、２０Ｂとの間には、前記ワイヤ列１６の
張力をコントロールする張力調整手段２２が設けられて
おり、該張力調整手段２２は、次のように構成される。

【００１０】図１に示すように、前記張力調整手段２２
は、走行するワイヤ１０を互いに引張する一対の引張ユ
ニット２４Ａ、２４Ｂ、該引張ユニット２４Ａ、２４Ｂ
を駆動制御する制御装置２６、及び、前記ワイヤ列１６
にかかる張力を検出するテンションゲージ２８Ａ、２８
Ｂを主要構成として構成される。図２は、前記一方の引
張ユニット２４Ａ（以下、第１の引張ユニット２４Ａと
いう）の構成を示す正面図であり、図３は、その側面断
面図である。なお、両引張ユニット２４Ａ、２４Ｂは、
同一構成を有しているため、他方側の引張ユニット２４
Ｂ（以下、第２の引張ユニット２４Ｂという）について
は、その説明を省略する。

【００１１】前記第１の引張ユニット２４Ａは、前記一
方のダンサローラ２０Ａとワイヤ列１６との間に配設さ
れ、ワイヤ１０が巻きかけられる一対のローラ３０Ａ、
３２Ａを有している。この一対のローラ３０Ａ、３２Ａ
のうち図中上側に位置するローラ３０Ａ（以下、上ロー
ラ３０Ａという）は、ワイヤソーの本体フレーム３４に
設けられた回動自在な軸受ユニット３６に装着されてお
り、その外周面には、ワイヤ１０が巻きかけられる複数
の溝が所定ピッチで形成されている。

【００１２】前記軸受ユニット３６は、前記ワイヤソー
の本体フレーム３４に固定されたシャフト３８と、その
シャフト３８にベアリング４０、４０を介して回動自在
に支持された回転ドラム４２とから構成され、前記上ロ
ーラ３０Ａは、この回転ドラム４２の外周面に装着され
る。そして、前記回転ドラム４２に装着された上ローラ
３０Ａは、前記回転ドラム４２の先端部にボルト止めさ
れた挟持キャップ４４と前記回転ドラム４２の基端部に
形成されたフランジとで挟持されて固定される。

【００１３】一方、図中下側に位置するローラ３２Ａ
（以下、下ローラ３２Ａという）は、円筒状に形成され
たホイール４６の外周に一体固着されており、該ホイー
ル４６は滑りクラッチ４８を介してモータ５０に連結さ
れている。この滑りクラッチ４８には、公知のパウダー
クラッチが使用されており、該パウダークラッチは印加
した励磁電流に応じて伝達トルクを可変する（この他、
公知のパウダーブレーキや電磁クラッチ等、伝達トルク
を可変できるクラッチであればよい）。

【００１４】なお、図３に示すように、前記ホイール４
６は前記滑りクラッチ４８の出力側ロータ４８Ａにボル
ト５２、５２を介して連結されており、前記モータ５０
はカップリング５４を介して前記滑りクラッチ４８の入
力側シャフト４８Ｂに連結されている。また、前記滑り
クラッチ４８は、図示しないブラケットを介して前記ワ
イヤソーの本体フレーム３４に固定されており、前記上
ローラ３０Ａと前記下ローラ３２Ａとの間隔を一定に保
っている。

【００１５】前記のごとく構成された第１の引張ユニッ
ト２４Ａは、その上下一対のローラ３０Ａ、３２Ａに走
行するワイヤ１０が複数回巻きかけられる。なお、前記
下ローラ３２Ａには、前記上ローラ３０Ａのように外周
部に溝が形成されていないが、これは次の理由による。
すなわち、下ローラ３２Ａにも同様に多数の溝を形成す
ると、上ローラ３０Ａと下ローラ３２Ａとを位置合わせ
して設置する必要があり、その困難さを回避するためで
ある。たとえ下ローラ３２Ａの外周部に溝を形成してい
ないとしても、上下のローラ３０Ａ、３２Ａに巻きかけ
られるワイヤ１０は、上ローラ３０Ａに形成された溝で
ガイドされるため、位置ズレは生じない。したがって、
巻きかけられたワイヤ１０同士が絡まって断線すること
はない。

【００１６】前記第１の引張ユニット２４Ａと同様の構
成を有する第２の引張ユニット２４Ｂは、図１に示すよ
うに、他方のダンサローラ２０Ｂとワイヤ列１６との間
に配設される。そして、前記第１の引張ユニット２４Ａ
と対を成して、次のように作用する。前記両引張ユニッ
ト２４Ａ、２４Ｂの下ローラ３２Ａ、３２Ｂに連結され
たモータ（図示せず）は、それぞれワイヤ１０の走行速
度よりも速い速度で、かつ、前記ワイヤ１０の走行方向
と同方向に回転している。前述したように、前記各モー
タから前記各下ローラ３２Ａ、３２Ｂに伝達される回転
力は各々の間に介装された滑りクラッチ（図示せず）で
調節することができる。この滑りクラッチを調節して、
前記第２の引張ユニット２４Ｂの下ローラ３２Ｂを前記
ワイヤ１０の走行速度よりも速い速度で回転させるとと
もに、前記第１の引張ユニット２４Ａの下ローラ３２Ａ
をワイヤ１０の走行方向よりも遅い速度で回転させる。

【００１７】前記第２の引張ユニット２４Ｂの下ローラ
３２Ｂをワイヤ１０の走行速度よりも速い速度で回転さ
せることにより、走行するワイヤ１０は、通常の走行速
度よりも速い速度で送られる。一方、前記第１の引張ユ
ニット２４Ａの下ローラ３２Ａをワイヤ１０の走行方向
よりも遅い速度で回転させることにより、走行するワイ
ヤ１０には、その下ローラ３２Ａによってブレーキがか
けられる。この結果、両引張ユニット２４Ａ、２４Ｂ間
を走行するワイヤ１０は、両引張ユニット２４Ａ、２４
Ｂに引張されて、張力が付与される。

【００１８】前記第１、第２の引張ユニット２４Ａ、２
４Ｂの各々の下ローラ３２Ａ、３２Ｂに与える回転力
は、各下ローラ３２Ａ、３２Ｂに連結された滑りクラッ
チに印加する励磁電流を変えることにより可変すること
ができるので、この印加する励磁電流を調節することに
より、前記両引張ユニット２４Ａ、２４Ｂ間の張力を調
節する。

【００１９】前記制御装置２６は、前記テンションゲー
ジ２８Ａ、２８Ｂで検出される両引張ローラ３２Ａ、３
２Ｂ間の張力に基づき、前記両引張ローラ３２Ａ、３２
Ｂに連結された滑りクラッチに印加する励磁電流を制御
して、両引張ローラ３２Ａ、３２Ｂ間の張力制御する。
前記のごとく構成された本発明に係るワイヤソーの実施
の形態の作用は次の通りである。

【００２０】図１に示すように、ワイヤ１０は、一対の
ワイヤリール１２Ａ、１２Ｂ間を図中右方向に向かって
走行する。インゴット１８は、前記ワイヤ１０で形成さ
れたワイヤ列１６に砥粒を含む加工液を供給しながら押
し当てることにより、その砥粒のラッピング作用で多数
のウェーハに切断される。ところで、切断中のワイヤ列
１６に付与する張力は、張力調整手段２２で調整し、該
張力調整手段２２は次のように作用する。

【００２１】前記切断中のワイヤ列１６にかかる張力
は、テンションゲージ２８Ａ、２８Ｂで検出され、その
検出値は制御装置２６に出力される。制御装置２６は、
その検出値に基づき両引張ユニット２４Ａ、２４Ｂの滑
りクラッチに印加する励磁電流の電流値を制御する。例
えば、前記ワイヤ列１６にかかる張力が設定値よりも低
い場合は、前記励磁電流を制御して、前記ワイヤ列１６
の上流側に位置している第２の引張ユニット２４Ｂの下
ローラ３２Ｂの回転力を上げ、ワイヤ１０の送り量を上
げるか、又は、前記ワイヤ列１６の下流側に位置してい
る第１の引張ユニット２４Ａの下ローラ３２Ａの回転力
を下げ、下ローラ３２Ａに付与する負荷量を上げる。こ
の結果、前記両引張ユニット２４Ａ、２４Ｂ間のワイヤ
引張力が上昇し、ワイヤ列１６にかかる張力が高くな
る。

【００２２】一方、前記ワイヤ列１６にかかる張力が設
定値よりも高い場合は、逆に前記ワイヤ列１６の上流側
に位置している第２の引張ユニット２４Ｂの下ローラ３
２Ｂの回転力を下げ、ワイヤ１０の送り量を下げるか、
又は、前記ワイヤ列１６の下流側に位置している第１の
引張ユニット２４Ａの下ローラ３２Ａの回転力を上げ、
下ローラ３２Ａに付与する負荷量を下げる。この結果、
前記両引張ユニット２４Ａ、２４Ｂ間のワイヤ引張力が
低下し、ワイヤ列１６にかかる張力が低くなる。

【００２３】前記制御装置２６は、前記テンションゲー
ジ２８Ａ、２８Ｂで検出されるワイヤ列１６の張力をフ
ィードバックし、滑りクラッチに印加する励磁電流を制
御する。上記実施の形態は、ワイヤ１０を一方向のみに
走行させて切断する場合の例であるが、ワイヤ１０を往
復走行させる場合は、次のようになる。

【００２４】ワイヤ１０が図１中右方向に走行する場合
は上記実施の形態によるが、走行方向が切り換わり、図
１中左方向に走行する場合、前記第１の引張ユニット２
４Ａの下ローラ３２Ａに連結されたモータ、及び、前記
第２の引張ユニット２４Ｂの下ローラ３２Ｂに連結され
たモータの回転方向を切り換え、ワイヤ１０の走行方向
と同方向に回転させる。そして、前記滑りクラッチを調
節して、前記第１の引張ユニット２４Ａの下ローラ３２
Ａを前記ワイヤ１０の走行速度よりも速い速度で回転さ
せるとともに、前記第２の引張ユニット２４Ｂの下ロー
ラ３２Ｂをワイヤ１０の走行速度よりも遅い速度で回転
させる。これにより、両引張ユニット２４Ａ、２４Ｂ間
を走行するワイヤ１０は、前記同様に両引張ユニット２
４Ａ、２４Ｂに引張されて、張力が付与される。

【００２５】このように、本実施の形態のワイヤソーに
よれば、ワイヤ列１６に付与する張力を張力調整手段２
２を用いて調整するため、例えば、ワイヤ速度変更時に
ダンサローラ２０Ａ、２０Ｂが上下動したとしても、ワ
イヤ列１６にかかる張力には影響が及ばない。したがっ
て、前記ワイヤ列１６には常に一定の張力が付与され、
この結果、高精度な切断が可能になる。

【００２６】また、前記ワイヤ列１６の張力を張力調整
手段２２で調整することにより、前記ワイヤリール１２
Ａ、１２Ｂで巻き取る又は繰り出すワイヤ１０の張力を
低減させることができる。すなわち、前記ワイヤ列１６
の張力を張力調整手段２２で調整することにより、前記
第１の引張ユニット２４Ａと一方のワイヤリール１２Ａ
との間を走行するワイヤ１０、及び、前記第２の引張ユ
ニット２４Ｂと他方のワイヤリール１２Ｂとの間を走行
するワイヤ１０の張力は、各々の間に配設されたダンサ
ローラ２０Ａ、２０Ｂで付与されることになる。このダ
ンサローラ２０Ａ、２０Ｂで付与するワイヤ１０の張力
は、前記ワイヤ列１６に付与する張力と同じである必要
はなく、極低い張力に設定することができる。この結
果、従来のワイヤソーに比べて、極めて低い張力でワイ
ヤ１０を巻き取ることができ、ワイヤリール１２Ａ、１
２Ｂにかかる負担を低減させることができる。

【００２７】また、ダンサローラ２０Ａ、２０Ｂは、そ
の変動量を計測してワイヤ１０の走行速度の制御データ
等に使用されるが、このダンサローラ２０Ａ、２０Ｂの
軽量化を図ることにより、ダンサローラ２０Ａ、２０Ｂ
の応答性が向上し、制御性能が向上する。さらに、ワイ
ヤ１０を極めて低い張力で巻き取ることができる結果、
ワイヤリール１２Ａ、１２Ｂの小型軽量化、及び、その
駆動部の小容量化を図ることができる。

【００２８】図４には、本実施の形態のワイヤソーに適
用されるワイヤリールの構成が示されており、以下その
構成について詳説する。図４に示すように、中空状に形
成されたワイヤリール６０は、ターンテーブル６２上に
連結固定されたスピンドル６４に筒体６６を介して装着
される。前記ワイヤリール６０が装着されるスピンドル
６４は、円柱状に形成されており、その基端部に前記タ
ーンテーブル６２と同径のフランジ６８が一体形成され
ている。このスピンドル６４が連結固定されるターンテ
ーブル６２は、円盤状に形成されており、前記ワイヤリ
ール６０を駆動するモータ６１の回転軸に連結されてい
る。

【００２９】前記ターンテーブル６２の上面中央には、
円錐台形の凸部６２Ａが形成されており、一方、前記フ
ランジ６８の端面中央には、前記ターンテーブル６２に
形成された凸部６２Ａと嵌合する円錐台形の凹部６８Ａ
が形成されている。連結時は、この凸部６２Ａと凹部６
８Ａを嵌合させて行い、これにより、前記ターンテーブ
ル６２とスピンドル６４は同軸上に連結される。

【００３０】連結されたスピンドル６４とターンテーブ
ル６２は、スピンドル６４のフランジ６８とターンテー
ブル６２とをボルト７０で固定する。固定はフランジ６
８とターンテーブル６２の端面３か所で行い（２か所の
み図示）、ターンテーブル６２側に形成された取付穴６
２Ｂにボルト７０を挿入したのち、フランジ６８側に形
成されたボルト穴６８Ｂに前記ボルト７０を螺合させて
固定する。

【００３１】前記スピンドル６４に装着される筒体６６
は、図５に示すように、その両端及び中央部に拡径され
た上部拡径部６６Ａ、下部拡径部６６Ｂ及び中央拡径部
６６Ｃを有している。この筒体６６の周面には、両端か
ら前記中央拡径部６６Ｃに向けて複数のスリット７２、
７２、…が等間隔で形成されており、これにより、前記
上部拡径部６６Ａ及び下部拡径部６６Ｂは、その外径を
拡縮することができる。

【００３２】また、図４に示すように、前記筒体６６の
両端内周部には、端面に向かって拡径するテーパ面６６
ａ、６６ａが形成されている。一方、この筒体６６が装
着されるスピンドル６４の基端部には、そのフランジ６
８に向かって拡径するテーパ面６４ａが形成されてい
る。この結果、前記筒体６６を前記スピンドル６４に装
着した状態で下方に押圧すると、筒体６６は、その下端
内周部に形成されたテーパ面６６ａがスピンドル６４の
基端部に形成されたテーパ面６４ａに押圧され、下部拡
径部６６Ｂの外径が拡径する。

【００３３】また、図４に示すように、前記スピンドル
６４の先端部には、円柱状に形成された突起７４がスピ
ンドル６４の先端部に一体形成されている。この突起７
４には、リング状に形成された拡径リング７６が装着さ
れており、該拡径リング７６は前記スピンドル６４の端
面にボルト７８、７８、…で固定されている。固定は４
か所で行われており（２か所のみ図示）、拡径リング７
６側に形成された取付穴７６Ａにボルト７８を挿入した
のち、スピンドル６４側に形成されたボルト穴６４Ａに
前記ボルト７８を螺合させて固定される。

【００３４】また、前記拡径リング７６の下端外周部に
は、下方に向かって縮径するテーパ面７６ａが形成され
ている。この結果、前記拡径リング７６を前記突起７４
に装着し、ボルト７８、７８、…で固定すると、そのテ
ーパ面７６ａが前記筒体６６に形成されたテーパ面６６
ａ（上側）を押圧し、前記筒体６６の上部拡径部６６Ａ
を拡径させる。

【００３５】前記拡径リング７６が装着、固定されるこ
とにより、筒体６６自体も下方に押圧されるので、この
結果、筒体６６の下部拡径部６６Ｂの径も拡径する。こ
のように、前記拡径リング７６が装着、固定されること
により、筒体６６は、その両端に形成された上部拡径部
６６Ａ及び下部拡径部６６Ｂの外径を拡径する。

【００３６】前記ワイヤリール６０は、前記スピンドル
６４に上記筒体６６を介して装着され、装着されたワイ
ヤリール６０は、スピンドル６４のフランジ６８上に形
成された段部６８Ｃ上に載置される。この結果、ワイヤ
リール６０のフランジ６０Ａとスピンドル６４のフラン
ジ６８との間には、所定の間隔の隙間が生じる。この隙
間は、前記ワイヤリール６０のフランジ６０Ａに生じる
変形を吸収するために形成されている。すなわち、ワイ
ヤリール６０には数百メートルものワイヤが巻きかけら
れるため、そのワイヤの自重でワイヤリール６０のフラ
ンジ６０Ａが弓形に変形してしまう。

【００３７】ここで、ワイヤリール６０のフランジ６０
Ａとスピンドル６４のフランジ６８とが密着していると
すれば、スピンドル６４のフランジ６８やターンテーブ
ル６２までもが弓形に変形してしまい、この結果、スピ
ンドル６４のフランジ６８とターンテーブル６２とを固
定するボルト７０が変形し、ターンテーブル６２からス
ピンドル６４が取り外せなくなるという自体が発生す
る。また、新たなスピンドル６４を取り付ける際に、タ
ーンテーブル６２が変形していると、取付穴６２Ｂとボ
ルト穴６８Ｂとの位置が合わず固定できないという自体
も発生する。

【００３８】一方、前記隙間を形成することにより、ワ
イヤリール６０のフランジ６０Ａの変形は、この隙間で
吸収され、スピンドル６４のフランジ６８やターンテー
ブル６２への影響は生じない。前記のごとく構成された
ワイヤリール６０の作用は次の通りである。まず、ター
ンテーブル６２にスピンドル６４を連結し、次いで、連
結したスピンドル６４に筒体６６を装着する。

【００３９】筒体６６が装着されたスピンドル６４にワ
イヤリール６０を装着し、スピンドル６４に拡径リング
７６を取り付ける。そして、その拡径リング７６をボル
ト７８、７８、…で固定する。前記拡径リング７６をボ
ルト７８、７８、…で固定することにより、前記筒体６
６の上端内周に形成されたテーパ面６６ａは、前記拡径
リング７６の下端外周に形成されたテーパ面７６ａに押
圧される。この結果、筒体６６の上部拡径部６６Ａが拡
径する。

【００４０】一方、前記拡径リング７６でボルト７８、
７８、…を固定することにより、筒体６６自体も下方に
押圧されるので、この結果、筒体６６の下端内周に形成
されたテーパ面６６ａも、スピンドル６４の基端部に形
成されたテーパ面６４ａに押圧される。この結果、筒体
６６の下部拡径部６６Ｂも拡径する。前記のごとく拡径
した上部拡径部６６Ａ及び下部拡径部６６Ｂは、それぞ
れワイヤリール６０の上端及び下端内周部を押圧し、こ
の結果、ワイヤリール６０がスピンドル６４に一体固定
される。

【００４１】取り外しは、スピンドル６４の先端から拡
径リング７６を取り外せばよく、この結果、筒体６６の
上部拡径部６６Ａ及び下部拡径部Ｂが縮径してワイヤリ
ール６０の押圧は解除される。なお、取り付けは、あら
かじめワイヤリール６０を装着したスピンドル６４をタ
ーンテーブル６２に取り付けるようにしてもよい。

【００４２】このように、上記ワイヤリール６０によれ
ば、極めて簡単に取り付け、取り外しができる。また、
従来、中実状に形成されていたワイヤリール６０を中空
状に形成することにより、ワイヤリール単体の重量を極
めて軽くすることができる。この結果、ワイヤリール６
０の運搬や着脱作業を極めて容易に行うことができる。

【００４３】さらに、ワイヤリール６０の軽量、コンパ
クト化により、安価なワイヤリール６０を提供すること
ができ、この結果、使い捨てのワイヤリールを提供する
ことができる。すなわち、従来のワイヤリールは、大
型、大重量であるため、製造コストがかかり、高価格と
なっていた。このため、ワイヤリールは、ワイヤが磨耗
したら、新たなワイヤに巻き替えて繰り返し使用してい
た。しかしながら、このワイヤの巻き替え作業は、ワイ
ヤメーカが行っており、ユーザは磨耗したワイヤをワイ
ヤリールごとワイヤメーカに返却しなければならず、そ
の輸送コストが極めて高額となっていた。

【００４４】一方、前記のごとく、ワイヤリールの使い
捨て化を図ることにより、ワイヤリールはワイヤメーカ
から供給されるだけとなり、輸送コストの低減を図るこ
とができる。また、ワイヤリールの使い捨て化により、
ワイヤリールの保管等も容易に行うことができる。

【００４５】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
ワイヤリールの着脱作業を極めて容易に行うことができ
るとともに、ワイヤリールを軽量、コンパクト化するこ
とができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るワイヤソーの実施の形態の構成図

【図２】引張ユニットの構成を示す正面図

【図３】引張ユニットの構成を示す側面断面図

【図４】本発明に係るワイヤリールの実施の形態の側面
部分断面図

【図５】筒体の構成を示す斜視図

【符号の説明】

１０…ワイヤ １２Ａ、１２Ｂ…ワイヤリール １４…溝付ローラ １６…ワイヤ列 １８…インゴット ２０Ａ、２０Ｂ…ダンサローラ ２２…張力調整手段 ２４Ａ、２４Ｂ…引張ユニット ２６…制御装置 ２８Ａ、２８Ｂ…テンションゲージ ３０Ａ、３０Ｂ…上ローラ ３２Ａ、３２Ｂ…下ローラ ６０…ワイヤリール ６１…モータ ６２…ターンテーブル ６４…スピンドル ６４ａ…テーパ面 ６６…筒体 ６６ａ…テーパ面 ６８…フランジ ７２…スリット ７６…拡径リング ７６ａ…テーパ面

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 一対のワイヤリール間を走行するワイヤ
   を複数の溝付ローラに巻きかけてワイヤ列を形成し、該
   ワイヤ列に砥粒を含む加工液を供給しながら被加工物を
   押し当てることにより、該被加工物を多数のウェーハに
   切断するワイヤソーにおいて、 回転駆動源に着脱自在に連結されたスピンドルと、 中空状に形成され、前記スピンドルに装着される前記ワ
   イヤリールと、 前記スピンドルと前記ワイヤリールとの間に介装され、
   周方向に拡縮自在な筒体と、 前記スピンドルに取り付けられ、前記筒体の内周面を押
   圧して該筒体を拡径させる拡径部材と、 からなり、前記拡径部材で拡径させた前記筒体で前記ワ
   イヤリールの内周面を押圧して、前記ワイヤリールを前
   記スピンドルに固定するとともに、前記筒体を縮径させ
   て前記ワイヤリールを前記スピンドルから取り外し可能
   とすることを特徴とする着脱自在ワイヤリール。
2. 【請求項２】 前記筒体は、両端部周面に軸方向に沿っ
   たスリットを複数形成することにより、その両端部を拡
   縮自在に形成したことを特徴とする請求項１記載の着脱
   自在ワイヤリール。
3. 【請求項３】 一対のワイヤリール間を走行するワイヤ
   を複数の溝付ローラに巻きかけてワイヤ列を形成し、該
   ワイヤ列に砥粒を含む加工液を供給しながら被加工物を
   押し当ることにより、該被加工物を多数のウェーハに切
   断するワイヤソーにおいて、 前記一方のワイヤリールと前記ワイヤ列との間に設けら
   れ、走行するワイヤ列に所定の張力を与える第１のダン
   サローラと、 前記他方のワイヤリールと前記ワイヤ列との間に設けら
   れ、走行するワイヤ列に所定の張力を与える第２のダン
   サローラと、 前記第１のダンサローラと前記ワイヤ列との間、及び、
   前記第２のダンサローラと前記ワイヤ列との間に設けら
   れ、前記ワイヤ列に付与する張力を調節する張力調整手
   段と、 前記ワイヤ列の張力を検出する張力検出器と、 前記張力検出器の検出結果に基づいて前記張力調整手段
   を制御する制御手段と、 を有し、前記一対のワイヤリールは、 回転駆動源に着脱自在に連結されたスピンドルと、 中空状に形成され、前記スピンドルに装着される前記ワ
   イヤリールと、 前記スピンドルと前記ワイヤリールとの間に介装され、
   周方向に拡縮自在な筒体と、 前記スピンドルに取り付けられ、前記筒体の内周面を押
   圧して該筒体を拡径させる拡径部材と、 からなり、前記拡径部材で拡径させた前記筒体で前記ワ
   イヤリールの内周面を押圧して、前記ワイヤリールを前
   記スピンドルに固定するとともに、前記筒体を縮径させ
   て前記ワイヤリールを前記スピンドルから取り外し可能
   とすることを特徴とする着脱自在ワイヤリールを用いた
   ワイヤソー。