JPH09309028A - 支柱材整列用治具 - Google Patents
支柱材整列用治具Info
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- JPH09309028A JPH09309028A JP8152942A JP15294296A JPH09309028A JP H09309028 A JPH09309028 A JP H09309028A JP 8152942 A JP8152942 A JP 8152942A JP 15294296 A JP15294296 A JP 15294296A JP H09309028 A JPH09309028 A JP H09309028A
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- H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
- H01J9/24—Manufacture or joining of vessels, leading-in conductors or bases
- H01J9/241—Manufacture or joining of vessels, leading-in conductors or bases the vessel being for a flat panel display
- H01J9/242—Spacers between faceplate and backplate
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- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J29/00—Details of cathode-ray tubes or of electron-beam tubes of the types covered by group H01J31/00
- H01J29/86—Vessels; Containers; Vacuum locks
- H01J29/864—Spacers between faceplate and backplate of flat panel cathode ray tubes
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- H01J31/00—Cathode ray tubes; Electron beam tubes
- H01J31/08—Cathode ray tubes; Electron beam tubes having a screen on or from which an image or pattern is formed, picked up, converted, or stored
- H01J31/10—Image or pattern display tubes, i.e. having electrical input and optical output; Flying-spot tubes for scanning purposes
- H01J31/12—Image or pattern display tubes, i.e. having electrical input and optical output; Flying-spot tubes for scanning purposes with luminescent screen
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- H01J2329/00—Electron emission display panels, e.g. field emission display panels
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- Manufacturing & Machinery (AREA)
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- Automatic Assembly (AREA)
- Manufacture Of Electron Tubes, Discharge Lamp Vessels, Lead-In Wires, And The Like (AREA)
- Electroluminescent Light Sources (AREA)
- Finishing Walls (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】支柱材を支柱穴に充填しやすいと共に、支柱位
置精度を向上できるようにする。 【解決手段】同一の構成とされた同一の厚さの整列板１
と整列板２とを位置合わせして重ね合わせることによ
り、整列板を構成する。各整列板に形成された支柱穴１
０はテーパ状とされており、上部の径が大きくされてい
るので、支柱穴１０に支柱材１を容易に充填することが
できる。また、支柱穴１０に充填された支柱材１は、支
柱穴１０の径の細くされた２ヶ所の部分で位置決めされ
るため、その位置精度を向上することができる。
置精度を向上できるようにする。 【解決手段】同一の構成とされた同一の厚さの整列板１
と整列板２とを位置合わせして重ね合わせることによ
り、整列板を構成する。各整列板に形成された支柱穴１
０はテーパ状とされており、上部の径が大きくされてい
るので、支柱穴１０に支柱材１を容易に充填することが
できる。また、支柱穴１０に充填された支柱材１は、支
柱穴１０の径の細くされた２ヶ所の部分で位置決めされ
るため、その位置精度を向上することができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、内部が真空雰囲気とさ
れる２枚のガラス基板からなる真空ガラス外囲器に内蔵
される支柱材を整列させる支柱材整列用治具に関するも
のである。
れる２枚のガラス基板からなる真空ガラス外囲器に内蔵
される支柱材を整列させる支柱材整列用治具に関するも
のである。
【０００２】
【従来の技術】真空雰囲気中において電子を放出する電
子放出源と、放出された電子により励起されて発光され
る蛍光体等の発光体を収容している表示装置の真空外囲
器は、一般にガラスを用いて構成された真空ガラス外囲
器とされている。この真空ガラス外囲器は第１基板と、
第１基板に微少間隔を持って対向するよう配置される第
２基板とにより構成され、その内部に平面状の表示面を
形成する発光体と、この発光体を発光させる電子放出源
とが収納されている。また、内部が真空に引かれても第
１基板と第２基板とが所定間隔を保持するようにするた
めに、第１基板と第２基板の間に支柱材を設けるように
することが行われている。この様子を図７に示すが、第
１基板１０２と第２基板１０３間に多数の支柱材１０１
が挟持されている。この支柱材１０１は、ガラスファイ
バー製とされており、例えば直径約５０μｍ、長さ約２
００μｍとされている。
子放出源と、放出された電子により励起されて発光され
る蛍光体等の発光体を収容している表示装置の真空外囲
器は、一般にガラスを用いて構成された真空ガラス外囲
器とされている。この真空ガラス外囲器は第１基板と、
第１基板に微少間隔を持って対向するよう配置される第
２基板とにより構成され、その内部に平面状の表示面を
形成する発光体と、この発光体を発光させる電子放出源
とが収納されている。また、内部が真空に引かれても第
１基板と第２基板とが所定間隔を保持するようにするた
めに、第１基板と第２基板の間に支柱材を設けるように
することが行われている。この様子を図７に示すが、第
１基板１０２と第２基板１０３間に多数の支柱材１０１
が挟持されている。この支柱材１０１は、ガラスファイ
バー製とされており、例えば直径約５０μｍ、長さ約２
００μｍとされている。
【０００３】このように微小な支柱材１０１を手作業で
第１基板１０２と第２基板１０３間の所定位置に設ける
ようにすることは困難なため、所定位置に支柱材１０１
を整列させる支柱穴１１４を多数設けた整列板１００を
治具として用いるようにしている。この様子を図６に示
すが、この治具の整列板１００には、支柱材１０１の下
部が挿入される支柱穴１１４が多数設けられており、整
列板１００の下に多孔質部１１２が設けられている。そ
して、この多孔質部１１２の下からエアーを引くことに
より、支柱材１０１を支柱穴１１４内に起立させるよう
にしている。次いで、起立された支柱材１０１の先端部
に接着用のペースト１２１を転写して、第１基板１０２
を接着することにより、第１基板１０２に支柱材１０１
を植設することができるようにしている。
第１基板１０２と第２基板１０３間の所定位置に設ける
ようにすることは困難なため、所定位置に支柱材１０１
を整列させる支柱穴１１４を多数設けた整列板１００を
治具として用いるようにしている。この様子を図６に示
すが、この治具の整列板１００には、支柱材１０１の下
部が挿入される支柱穴１１４が多数設けられており、整
列板１００の下に多孔質部１１２が設けられている。そ
して、この多孔質部１１２の下からエアーを引くことに
より、支柱材１０１を支柱穴１１４内に起立させるよう
にしている。次いで、起立された支柱材１０１の先端部
に接着用のペースト１２１を転写して、第１基板１０２
を接着することにより、第１基板１０２に支柱材１０１
を植設することができるようにしている。
【０００４】図８を参照しながらさらに詳細に説明する
と、まず、支柱材１０１の材料である、例えば直径約５
０μｍのガラスファイバーを約２００μｍの長さになる
ように切断する。切断された支柱材１０１は洗浄された
後、治具１１０により第１基板１０２に対する位置決め
がなされる。この治具１１０は図８（ａ）に示すように
箱形をしており、その上部に切断された支柱材１０１を
起立させるための支柱穴１１４を有する整列板１１１
と、その下に多孔質材料からなる多孔質部１１２と、治
具１１０の内部を排気する排気部１１３とから構成され
ている。なお、支柱穴１１４の位置は第１基板１０２に
支柱材１０１を配設する位置に対応して設けられてい
る。
と、まず、支柱材１０１の材料である、例えば直径約５
０μｍのガラスファイバーを約２００μｍの長さになる
ように切断する。切断された支柱材１０１は洗浄された
後、治具１１０により第１基板１０２に対する位置決め
がなされる。この治具１１０は図８（ａ）に示すように
箱形をしており、その上部に切断された支柱材１０１を
起立させるための支柱穴１１４を有する整列板１１１
と、その下に多孔質材料からなる多孔質部１１２と、治
具１１０の内部を排気する排気部１１３とから構成され
ている。なお、支柱穴１１４の位置は第１基板１０２に
支柱材１０１を配設する位置に対応して設けられてい
る。
【０００５】このように形成された治具１１０におい
て、排気部１１３にポンプを接続して治具１１０内部を
排気しながら、治具１１０の整列板１１１上に、切断さ
れた支柱材１０１を散布すると、支柱穴１１４から引か
れた気体が多孔質部１１２を通過して排気部１１３から
排気されるようになるため、切断された支柱材１０１の
径より若干大きい径とされている支柱穴１１４に支柱材
１０１が起立するよう入り込み、支柱材１０１は支柱穴
１１４内に吸引されて図８（ａ）に示すように起立した
状態となる。
て、排気部１１３にポンプを接続して治具１１０内部を
排気しながら、治具１１０の整列板１１１上に、切断さ
れた支柱材１０１を散布すると、支柱穴１１４から引か
れた気体が多孔質部１１２を通過して排気部１１３から
排気されるようになるため、切断された支柱材１０１の
径より若干大きい径とされている支柱穴１１４に支柱材
１０１が起立するよう入り込み、支柱材１０１は支柱穴
１１４内に吸引されて図８（ａ）に示すように起立した
状態となる。
【０００６】この状態において、図８（ｂ）に示すよう
に転写するペースト１２１を塗布したガラス基板１２０
を治具１１０上に配置し、治具１１０に保持されている
支柱材１０１の上端面にペースト１２１が転写されるよ
うに、ガラス基板１２０を支柱材１０１に接触させる。
次いで、同図（ｃ）に示すようにペースト１２１が転写
された支柱材１０１が保持された治具１１０上に第１基
板１０２を位置合わせして載置し、第１基板１０２に支
柱材１０１の一端面を付着させる。そして、ペースト１
２１の接着力（付着力）により、基板１０２に支柱材１
０１を転写する。
に転写するペースト１２１を塗布したガラス基板１２０
を治具１１０上に配置し、治具１１０に保持されている
支柱材１０１の上端面にペースト１２１が転写されるよ
うに、ガラス基板１２０を支柱材１０１に接触させる。
次いで、同図（ｃ）に示すようにペースト１２１が転写
された支柱材１０１が保持された治具１１０上に第１基
板１０２を位置合わせして載置し、第１基板１０２に支
柱材１０１の一端面を付着させる。そして、ペースト１
２１の接着力（付着力）により、基板１０２に支柱材１
０１を転写する。
【０００７】なお、ペースト１２１は、ガラス製の第１
基板１０２と熱膨張率が近くなるよう酸化鉛が混入され
た低軟化点のシールガラスが主成分とされ、必要に応じ
てこれに溶剤等を混入して粘着性を有するペースト状と
されたものである。次いで、支柱材１０１の一端面が所
定間隔で複数溶着されている第１基板１０２に、対向し
て第１基板１０３を対向配置してガラス外囲器を構成
し、このガラス外囲器内を真空に引くことにより、図７
に示すように大気圧により第１基板１０２と第２基板１
０３間に支柱材１０１が挟持されて固着された真空ガラ
ス外囲器が作製される。なお、第１基板１０２と第２基
板１０３とで形成される空間の周縁はシール材により閉
じられているが、図７では図示されていない。
基板１０２と熱膨張率が近くなるよう酸化鉛が混入され
た低軟化点のシールガラスが主成分とされ、必要に応じ
てこれに溶剤等を混入して粘着性を有するペースト状と
されたものである。次いで、支柱材１０１の一端面が所
定間隔で複数溶着されている第１基板１０２に、対向し
て第１基板１０３を対向配置してガラス外囲器を構成
し、このガラス外囲器内を真空に引くことにより、図７
に示すように大気圧により第１基板１０２と第２基板１
０３間に支柱材１０１が挟持されて固着された真空ガラ
ス外囲器が作製される。なお、第１基板１０２と第２基
板１０３とで形成される空間の周縁はシール材により閉
じられているが、図７では図示されていない。
【０００８】また、支柱材１０１の他端面にもペースト
を転写して、第１基板１０２に第２基板１０３を位置合
わせしてから重ね合わせ、次いで、封着炉内にて封着す
ることにより、転写ペーストを溶融させ、支柱材１０１
の他端面と第２基板１０３とを溶着することにより、支
柱材１０１の両端を基板１０２，１０３にそれぞれ固着
するようにして真空ガラス外囲器を作製するようにして
もよい。また、支柱材１０１は約２〜５ｍｍ程度の間隔
で複数本が真空ガラス外囲器内に配設されている。
を転写して、第１基板１０２に第２基板１０３を位置合
わせしてから重ね合わせ、次いで、封着炉内にて封着す
ることにより、転写ペーストを溶融させ、支柱材１０１
の他端面と第２基板１０３とを溶着することにより、支
柱材１０１の両端を基板１０２，１０３にそれぞれ固着
するようにして真空ガラス外囲器を作製するようにして
もよい。また、支柱材１０１は約２〜５ｍｍ程度の間隔
で複数本が真空ガラス外囲器内に配設されている。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】ところで、整列板１１
１の支柱穴１１４に支柱材１０１が充填された状態を図
９に示すが、図示するように支柱材１０１が支柱穴に対
して傾くことにより、位置ずれを生じる場合がある。こ
の原因は、第１に支柱材１０１が挿入される支柱穴１１
４の径は、支柱材１０１が摩擦力等により引っ掛からな
いように、僅かの隙間を持たせるよう約５３μｍとして
形成されているが、支柱材１０１の公差が±３μｍある
と共に、支柱穴が＋５／−０μｍの公差を持っており、
場合によっては隙間があきすぎるからである。第２に支
柱穴１１４の形成された整列板１１１を精度よく製作す
るには、後述するように約７０μｍの厚さ以上に形成す
ることができず、支柱材１０１が整列板１１１上に約１
３０μｍも突出して不安定になるからである。
１の支柱穴１１４に支柱材１０１が充填された状態を図
９に示すが、図示するように支柱材１０１が支柱穴に対
して傾くことにより、位置ずれを生じる場合がある。こ
の原因は、第１に支柱材１０１が挿入される支柱穴１１
４の径は、支柱材１０１が摩擦力等により引っ掛からな
いように、僅かの隙間を持たせるよう約５３μｍとして
形成されているが、支柱材１０１の公差が±３μｍある
と共に、支柱穴が＋５／−０μｍの公差を持っており、
場合によっては隙間があきすぎるからである。第２に支
柱穴１１４の形成された整列板１１１を精度よく製作す
るには、後述するように約７０μｍの厚さ以上に形成す
ることができず、支柱材１０１が整列板１１１上に約１
３０μｍも突出して不安定になるからである。
【００１０】これらの原因により支柱材１０１は支柱穴
１１４の中心に対し最大約２０μｍの位置ずれ量δが生
じるようになるが、画素ピッチが３６０μｍ、画素間隔
８０μｍとされている蛍光表示管の真空ガラス外囲器と
した場合では、支柱材１０１の位置精度が約２０μｍず
れると、支柱材１０１が表示部の表示の妨げになった
り、内部の電気配線の短絡を起こす等の事故の恐れが生
じることになる。
１１４の中心に対し最大約２０μｍの位置ずれ量δが生
じるようになるが、画素ピッチが３６０μｍ、画素間隔
８０μｍとされている蛍光表示管の真空ガラス外囲器と
した場合では、支柱材１０１の位置精度が約２０μｍず
れると、支柱材１０１が表示部の表示の妨げになった
り、内部の電気配線の短絡を起こす等の事故の恐れが生
じることになる。
【００１１】次に、整列板１１１を約７０μｍの厚さ以
上に形成することができない理由を説明するが、その原
因はその作製方法にある。そこで、整列板１１１の作製
方法を図１０を参照しながら次に説明する。まず、図１
０（ａ）に示すようにステンレス板１３１にフォトレジ
スト１３２を塗布し、その上に同図（ｂ）に示すように
マスク１３４が一面に形成されたガラス乾板１３３をフ
ォトレジスト１３２上に載置して、光を照射することに
よりフォトレジスト１３２を露光させる。次いで、フォ
トレジストを現像することにより、同図（ｃ）に示すよ
うに露光されたフォトレジスト１３５だけがステンレス
板１３１上に残された状態とする。
上に形成することができない理由を説明するが、その原
因はその作製方法にある。そこで、整列板１１１の作製
方法を図１０を参照しながら次に説明する。まず、図１
０（ａ）に示すようにステンレス板１３１にフォトレジ
スト１３２を塗布し、その上に同図（ｂ）に示すように
マスク１３４が一面に形成されたガラス乾板１３３をフ
ォトレジスト１３２上に載置して、光を照射することに
よりフォトレジスト１３２を露光させる。次いで、フォ
トレジストを現像することにより、同図（ｃ）に示すよ
うに露光されたフォトレジスト１３５だけがステンレス
板１３１上に残された状態とする。
【００１２】このフォトレジスト１３５はステンレス板
１３１上に多数形成されており、その位置は支柱材１０
１を起立させて配設する位置とされている。そして、こ
の状態においてニッケルを電鋳材とする電鋳を行うと、
同図（ｄ）に示すように、金属製のステンレス板１３１
上だけにニッケル（Ｎｉ）板１３６が形成されるように
なる。次いで、フォトレジスト１３５を除去することに
より、フォトレジスト１３５が占めていた空間がニッケ
ル板１３６に穴として形成されることになる。この穴が
支柱穴１１４であり、この支柱穴１１４の形成されたニ
ッケル板１３６をステンレス板１３１から剥離すること
により、支柱穴１１４が多数形成されている整列板１１
１を得ることができる。
１３１上に多数形成されており、その位置は支柱材１０
１を起立させて配設する位置とされている。そして、こ
の状態においてニッケルを電鋳材とする電鋳を行うと、
同図（ｄ）に示すように、金属製のステンレス板１３１
上だけにニッケル（Ｎｉ）板１３６が形成されるように
なる。次いで、フォトレジスト１３５を除去することに
より、フォトレジスト１３５が占めていた空間がニッケ
ル板１３６に穴として形成されることになる。この穴が
支柱穴１１４であり、この支柱穴１１４の形成されたニ
ッケル板１３６をステンレス板１３１から剥離すること
により、支柱穴１１４が多数形成されている整列板１１
１を得ることができる。
【００１３】ところで、整列板１１１の厚さはステンレ
ス板１３１上に塗布されるフォトレジスト１３２を厚く
すれば厚くすることができるが、フォトレジスト１３２
を厚くすると露光のために照射された光がフォトレジス
ト１３２内で散乱する程度が増すようになり、フォトレ
ジスト１３２のパターニング精度を低下させることにな
る。すなわち、前記図１０（ｃ）に示すように、フォト
レジスト１３５は、照射光が拡散されるため断面が台形
状に露光されることになる。このため、整列板１１１の
厚さが厚くなるに従い、形成される支柱穴１１４がテー
パ状に形成されることになり、その寸法精度が劣化する
ようになる。
ス板１３１上に塗布されるフォトレジスト１３２を厚く
すれば厚くすることができるが、フォトレジスト１３２
を厚くすると露光のために照射された光がフォトレジス
ト１３２内で散乱する程度が増すようになり、フォトレ
ジスト１３２のパターニング精度を低下させることにな
る。すなわち、前記図１０（ｃ）に示すように、フォト
レジスト１３５は、照射光が拡散されるため断面が台形
状に露光されることになる。このため、整列板１１１の
厚さが厚くなるに従い、形成される支柱穴１１４がテー
パ状に形成されることになり、その寸法精度が劣化する
ようになる。
【００１４】このように、支柱穴１１４の寸法精度が劣
化したり、整列板１１１に形成された支柱穴１１４がテ
ーパ状となると、支柱穴１１４の上部の径と下部の径と
が異なるようになり、図９から容易に理解できるように
支柱穴１１４内に充填された支柱材１０１の支柱穴１１
４の中心からの位置ずれ量はますます大きくなるため、
蛍光表示管の真空ガラス外囲器としては不適当なものと
なる。このような理由から、整列板１１１の厚さを約７
０μｍ以上にすることができないのである。
化したり、整列板１１１に形成された支柱穴１１４がテ
ーパ状となると、支柱穴１１４の上部の径と下部の径と
が異なるようになり、図９から容易に理解できるように
支柱穴１１４内に充填された支柱材１０１の支柱穴１１
４の中心からの位置ずれ量はますます大きくなるため、
蛍光表示管の真空ガラス外囲器としては不適当なものと
なる。このような理由から、整列板１１１の厚さを約７
０μｍ以上にすることができないのである。
【００１５】これを解決しようとして、本出願人は特願
平６−３３２９１１号として出願した図１１に示すよう
な支柱整列用治具を提案している。この治具における整
列板は、２層構造とされており、精度よく支柱穴が形成
されている約３０μｍの厚さの整列板１と、支柱穴の精
度はそれほど必要としない約９０μｍの厚さの整列板２
とから構成されている。また、整列板２に形成されてい
る支柱穴の径は支柱材１０１の径に比べて大きく形成さ
れている。この場合、支柱材１０１は整列板１の支柱穴
で位置決めされるようになり、前記した整列板では支柱
材１０１を支持する位置が高いと共に、支柱穴の精度も
よいため、支柱材１０１の位置精度が向上する。
平６−３３２９１１号として出願した図１１に示すよう
な支柱整列用治具を提案している。この治具における整
列板は、２層構造とされており、精度よく支柱穴が形成
されている約３０μｍの厚さの整列板１と、支柱穴の精
度はそれほど必要としない約９０μｍの厚さの整列板２
とから構成されている。また、整列板２に形成されてい
る支柱穴の径は支柱材１０１の径に比べて大きく形成さ
れている。この場合、支柱材１０１は整列板１の支柱穴
で位置決めされるようになり、前記した整列板では支柱
材１０１を支持する位置が高いと共に、支柱穴の精度も
よいため、支柱材１０１の位置精度が向上する。
【００１６】しかし、図１１に示す形状の整列板の場合
は、支柱材１０１を治具に充填する作業が困難になると
いう問題点がある。というのは、図９に示す整列板１１
１に形成されているテーパ状の支柱穴１１４の上部の径
はφ６０μｍ程度あり、支柱材１０１の平均柱径φ５０
μｍに対し約１０μｍの隙間があることになるので、支
柱材１０１の充填作業は容易であった。しかしながら、
図１１に示す２層構造の整列板では、支柱穴１１４の上
部の径はφ５３＋３／−０μｍであり、支柱材１０１の
平均柱径φ５０μｍに対し約３〜６μｍ程度しか隙間が
ないことになるからである。
は、支柱材１０１を治具に充填する作業が困難になると
いう問題点がある。というのは、図９に示す整列板１１
１に形成されているテーパ状の支柱穴１１４の上部の径
はφ６０μｍ程度あり、支柱材１０１の平均柱径φ５０
μｍに対し約１０μｍの隙間があることになるので、支
柱材１０１の充填作業は容易であった。しかしながら、
図１１に示す２層構造の整列板では、支柱穴１１４の上
部の径はφ５３＋３／−０μｍであり、支柱材１０１の
平均柱径φ５０μｍに対し約３〜６μｍ程度しか隙間が
ないことになるからである。
【００１７】また、前記した治具は支柱材１０１の長さ
が１５０〜３００μｍ用に設計されたものである。すな
わち、アノード電圧が２００〜６００Ｖ程度とされる蛍
光表示管では、そのアノード電圧に耐えるためにゲート
・アノード間の間隔を１５０〜３００μｍの間隙として
いる。しかし、一般に蛍光体の発光効率はアノード電圧
が高いほど向上する傾向があるが、アノード電圧を高く
するには、ゲート・アノード間の間隔を大きくして耐圧
を向上させる必要がある。たとえば、アノード電圧を１
０００Ｖとするには、ゲート・アノード間の間隔を５０
０μｍ以上とする必要がある。しかしながら、前記した
整列板を備える治具では、前述したように精度よい支柱
穴を形成するには、整列板の厚さを７０μｍ程度以上厚
くすることができず、５００μｍ以上の長さの支柱材１
０１を位置精度よく配設することができないという問題
点があった。
が１５０〜３００μｍ用に設計されたものである。すな
わち、アノード電圧が２００〜６００Ｖ程度とされる蛍
光表示管では、そのアノード電圧に耐えるためにゲート
・アノード間の間隔を１５０〜３００μｍの間隙として
いる。しかし、一般に蛍光体の発光効率はアノード電圧
が高いほど向上する傾向があるが、アノード電圧を高く
するには、ゲート・アノード間の間隔を大きくして耐圧
を向上させる必要がある。たとえば、アノード電圧を１
０００Ｖとするには、ゲート・アノード間の間隔を５０
０μｍ以上とする必要がある。しかしながら、前記した
整列板を備える治具では、前述したように精度よい支柱
穴を形成するには、整列板の厚さを７０μｍ程度以上厚
くすることができず、５００μｍ以上の長さの支柱材１
０１を位置精度よく配設することができないという問題
点があった。
【００１８】そこで、本発明は、支柱材を支柱穴に充填
しやすいと共に、径に比べて長い支柱材としても支柱材
の位置精度を向上することのできる支柱材整列用治具を
提供することを目的としている。また、本発明は、径に
比べて長い支柱材を配設する場合でも位置精度を向上す
ることのできる支柱材整列用治具を提供することを目的
としている。
しやすいと共に、径に比べて長い支柱材としても支柱材
の位置精度を向上することのできる支柱材整列用治具を
提供することを目的としている。また、本発明は、径に
比べて長い支柱材を配設する場合でも位置精度を向上す
ることのできる支柱材整列用治具を提供することを目的
としている。
【００１９】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に、本発明の支柱材整列用治具は、微少間隔離隔されて
対向配置される２枚のガラス板を少なくとも備える真空
ガラス外囲器において、該真空ガラス外囲器内が真空状
態とされたときに前記２枚のガラス板の間隔が所定間隔
を保持するように、前記２枚のガラス板の間に支柱材を
配設するための支柱材整列用治具であって、前記支柱材
を起立させるための支柱穴が複数形成されている薄板状
の同一の厚さの整列部材を少なくとも２枚位置合わせし
て重ねることにより、整列板を構成するようにしたよう
にしたものである。
に、本発明の支柱材整列用治具は、微少間隔離隔されて
対向配置される２枚のガラス板を少なくとも備える真空
ガラス外囲器において、該真空ガラス外囲器内が真空状
態とされたときに前記２枚のガラス板の間隔が所定間隔
を保持するように、前記２枚のガラス板の間に支柱材を
配設するための支柱材整列用治具であって、前記支柱材
を起立させるための支柱穴が複数形成されている薄板状
の同一の厚さの整列部材を少なくとも２枚位置合わせし
て重ねることにより、整列板を構成するようにしたよう
にしたものである。
【００２０】また、前記支柱材整列用治具において、前
記支柱穴の断面形状がテーパ状とされており、前記整列
部材を２枚重ねて整列板を構成する場合に、前記支柱穴
の径の大きく形成されている面を合わせて重ね合わせる
ようにしたものである。さらに、前記支柱材整列用治具
において、複数枚重ね合わされた整列部材において、最
上段と最下段の整列部材に形成された前記支柱穴の径よ
り、中間段の整列部材に形成されている前記支柱穴の径
が大きく形成されているものである。
記支柱穴の断面形状がテーパ状とされており、前記整列
部材を２枚重ねて整列板を構成する場合に、前記支柱穴
の径の大きく形成されている面を合わせて重ね合わせる
ようにしたものである。さらに、前記支柱材整列用治具
において、複数枚重ね合わされた整列部材において、最
上段と最下段の整列部材に形成された前記支柱穴の径よ
り、中間段の整列部材に形成されている前記支柱穴の径
が大きく形成されているものである。
【００２１】さらにまた、本発明の他の支柱材整列用治
具は、微少間隔離隔されて対向配置される２枚のガラス
板を少なくとも備える真空ガラス外囲器において、該真
空ガラス外囲器内が真空状態とされたときに前記２枚の
ガラス板の間隔が所定間隔を保持するように、前記２枚
のガラス板の間に支柱材を配設するための支柱材整列用
治具であって、前記支柱材を起立させるための支柱穴が
複数形成されている薄板状の同一の厚さの第１の整列部
材を２枚重ね合わせると共に、重ね合わされた２枚の第
１の整列部材の間に前記支柱穴が複数形成されている厚
さの異なる第２の整列部材を位置合わせして介在させる
ことにより整列板が構成されており、前記第１の整列部
材に形成された支柱穴の径より、前記第２の整列部材に
形成された支柱穴の径の方が大きくされているものであ
る。
具は、微少間隔離隔されて対向配置される２枚のガラス
板を少なくとも備える真空ガラス外囲器において、該真
空ガラス外囲器内が真空状態とされたときに前記２枚の
ガラス板の間隔が所定間隔を保持するように、前記２枚
のガラス板の間に支柱材を配設するための支柱材整列用
治具であって、前記支柱材を起立させるための支柱穴が
複数形成されている薄板状の同一の厚さの第１の整列部
材を２枚重ね合わせると共に、重ね合わされた２枚の第
１の整列部材の間に前記支柱穴が複数形成されている厚
さの異なる第２の整列部材を位置合わせして介在させる
ことにより整列板が構成されており、前記第１の整列部
材に形成された支柱穴の径より、前記第２の整列部材に
形成された支柱穴の径の方が大きくされているものであ
る。
【００２２】さらにまた、前記支柱穴の断面形状がテー
パ状とされており、前記支柱穴の径の大きくされている
面をおもて面とするとき、前記第２の整列板のみが裏返
されて、重ね合わされているものである。
パ状とされており、前記支柱穴の径の大きくされている
面をおもて面とするとき、前記第２の整列板のみが裏返
されて、重ね合わされているものである。
【００２３】このような本発明によれば、薄板状の同一
の厚さの整列部材を少なくとも２枚位置合わせして重ね
るようにしたので、整列部材の全厚を厚くすることがで
きる。この場合、整列板に形成されているテーパ状とさ
れる支柱穴の上部の径は、支柱材の径に比べて余裕があ
るため、支柱材の整列板への充填を容易に行えるように
なる。また、整列板を重ね合わせたので、支柱材の支持
位置を高くすることができると共に、整列板の全厚を厚
くすることができるので、支柱材の位置精度を向上する
ことができる。さらに、整列板を重ね合わせることによ
り、支柱材の長さと径との比を大きくしても、長い支柱
材を良好な位置精度を保って配設することができるよう
になる。したがって、精度よく配設できる支柱材の長さ
を５００μｍ以上とすることができるため、アノード電
圧を高くすることができ、蛍光体の発光効率を向上する
ことができる。
の厚さの整列部材を少なくとも２枚位置合わせして重ね
るようにしたので、整列部材の全厚を厚くすることがで
きる。この場合、整列板に形成されているテーパ状とさ
れる支柱穴の上部の径は、支柱材の径に比べて余裕があ
るため、支柱材の整列板への充填を容易に行えるように
なる。また、整列板を重ね合わせたので、支柱材の支持
位置を高くすることができると共に、整列板の全厚を厚
くすることができるので、支柱材の位置精度を向上する
ことができる。さらに、整列板を重ね合わせることによ
り、支柱材の長さと径との比を大きくしても、長い支柱
材を良好な位置精度を保って配設することができるよう
になる。したがって、精度よく配設できる支柱材の長さ
を５００μｍ以上とすることができるため、アノード電
圧を高くすることができ、蛍光体の発光効率を向上する
ことができる。
【００２４】
【発明の実施の形態】本発明の支柱整列用治具に使用す
る整列板の第１の実施の形態の構成を図１に示すが、こ
の図では整列板に支柱材が充填されている状態を示す図
とされている。図１において、１は蛍光表示管の真空ガ
ラス外囲器を構成する第１ガラス基板と第２ガラス基板
とを所定間隔で保持するために、第１ガラス基板と第２
ガラス基板間に所定間隔毎に配設される支柱材、整列板
１は前記した図８に示す支柱整列用の治具１１０に用い
る整列板を構成する薄板状の第１の整列板、整列板２は
整列板１と同一の構成とされて、整列板１の下に位置合
わせして重ねられている薄板状の第２の整列板、１０は
整列板１および整列板２に多数形成されている支柱材１
が充填される支柱穴、１１２は整列板１および整列板２
からなる２層構造の整列板が載置されている多孔質部で
ある。なお、第１ガラス基板と第２ガラス基板とを所定
間隔で対向配置することにより構成された真空ガラス外
囲器は、その周縁にスペーサ等によるシール部が設けら
れている。
る整列板の第１の実施の形態の構成を図１に示すが、こ
の図では整列板に支柱材が充填されている状態を示す図
とされている。図１において、１は蛍光表示管の真空ガ
ラス外囲器を構成する第１ガラス基板と第２ガラス基板
とを所定間隔で保持するために、第１ガラス基板と第２
ガラス基板間に所定間隔毎に配設される支柱材、整列板
１は前記した図８に示す支柱整列用の治具１１０に用い
る整列板を構成する薄板状の第１の整列板、整列板２は
整列板１と同一の構成とされて、整列板１の下に位置合
わせして重ねられている薄板状の第２の整列板、１０は
整列板１および整列板２に多数形成されている支柱材１
が充填される支柱穴、１１２は整列板１および整列板２
からなる２層構造の整列板が載置されている多孔質部で
ある。なお、第１ガラス基板と第２ガラス基板とを所定
間隔で対向配置することにより構成された真空ガラス外
囲器は、その周縁にスペーサ等によるシール部が設けら
れている。
【００２５】この第１実施例においては、整列板１と整
列板２とを位置合わせして積層することにより整列板を
形成している。そして、整列板１と整列板２は共に約６
０μｍの厚さとされており、前記した図１０に示すよう
な作成行程により作成されている。このため、整列板１
および整列板２に形成された支柱穴１０は精度よく形成
することができると共に、支柱穴１０はテーパ状に形成
される。そして、支柱穴１０の上部の径が大きくなるよ
うに整列板１および整列板２が位置合わせされて重ね合
わされている。
列板２とを位置合わせして積層することにより整列板を
形成している。そして、整列板１と整列板２は共に約６
０μｍの厚さとされており、前記した図１０に示すよう
な作成行程により作成されている。このため、整列板１
および整列板２に形成された支柱穴１０は精度よく形成
することができると共に、支柱穴１０はテーパ状に形成
される。そして、支柱穴１０の上部の径が大きくなるよ
うに整列板１および整列板２が位置合わせされて重ね合
わされている。
【００２６】この場合、整列板１および整列板２に形成
されているテーパ状の支柱穴１０の上部の径はφ６０μ
ｍ程度あり、支柱材１の平均柱径φ５０μｍに対し約１
０μｍ隙間があることになるので、支柱材１の充填作業
は容易となる。さらに、支柱材１が支柱穴１０内に充填
されたときに、支柱穴１０の下部の径（約φ５３μｍ）
の小さい部分で位置決めされることになるが、精度よく
支柱穴１０を形成することのできる薄板状の整列板１と
整列板２とを重ね合わせているため、支柱材１は支柱穴
１０の２カ所で位置決めされるようになり支柱材１の位
置精度を向上することができる。
されているテーパ状の支柱穴１０の上部の径はφ６０μ
ｍ程度あり、支柱材１の平均柱径φ５０μｍに対し約１
０μｍ隙間があることになるので、支柱材１の充填作業
は容易となる。さらに、支柱材１が支柱穴１０内に充填
されたときに、支柱穴１０の下部の径（約φ５３μｍ）
の小さい部分で位置決めされることになるが、精度よく
支柱穴１０を形成することのできる薄板状の整列板１と
整列板２とを重ね合わせているため、支柱材１は支柱穴
１０の２カ所で位置決めされるようになり支柱材１の位
置精度を向上することができる。
【００２７】このように、図１に示す第１の実施の形態
では、支柱穴１０に挿入されている支柱材１の位置ずれ
は整列板１および整列板２に形成された支柱穴１０の精
度のよい径の小さい部分により規制することができるの
で、整列板１および整列板２に形成される支柱穴１０の
テーパ精度を許容することができる。このため、整列板
１および整列板２を前記した電鋳法に加え、エッチング
法での形成も可能となり、治具を多数製作する場合のコ
ストダウンを図ることができる。さらに、整列板１およ
び整列板２は同一の構成とされているため、同一のマス
クを使用して製作した整列板を２枚重ね合わせることで
整列板を製作することができ、マスクは一版だけで済む
ようになる。
では、支柱穴１０に挿入されている支柱材１の位置ずれ
は整列板１および整列板２に形成された支柱穴１０の精
度のよい径の小さい部分により規制することができるの
で、整列板１および整列板２に形成される支柱穴１０の
テーパ精度を許容することができる。このため、整列板
１および整列板２を前記した電鋳法に加え、エッチング
法での形成も可能となり、治具を多数製作する場合のコ
ストダウンを図ることができる。さらに、整列板１およ
び整列板２は同一の構成とされているため、同一のマス
クを使用して製作した整列板を２枚重ね合わせることで
整列板を製作することができ、マスクは一版だけで済む
ようになる。
【００２８】さらに、薄板状の整列板１と整列板２とを
位置合わせして重ね合わせるようにしたため、整列板全
体の厚さを厚くすることができ、整列板から支柱材１の
突出する量を短くすることができるため、さらに位置ず
れ量を少なくすることができる。例えば、整列板１およ
び整列板２の厚さを約６０μｍとすると、支柱材１の径
を約５０μｍ、長さを約２００μｍとした場合、支柱材
１の突出量を約８０μｍとすることができ、従来に比べ
て位置ずれ量を格段に少なくすることができる。
位置合わせして重ね合わせるようにしたため、整列板全
体の厚さを厚くすることができ、整列板から支柱材１の
突出する量を短くすることができるため、さらに位置ず
れ量を少なくすることができる。例えば、整列板１およ
び整列板２の厚さを約６０μｍとすると、支柱材１の径
を約５０μｍ、長さを約２００μｍとした場合、支柱材
１の突出量を約８０μｍとすることができ、従来に比べ
て位置ずれ量を格段に少なくすることができる。
【００２９】なお、整列板１と整列板２とを重ね合わせ
る場合には、位置合わせをして重ね合わせるようにして
いるが、位置合わせは平行な吸着面とアライメント用顕
微鏡を備える装置により、２枚の整列板の位置合わせを
行い、その後両者を接着、またはスポット溶接等により
固定するようにしている。この場合の貼り合わせ精度
は、５μｍ以内とされていればよい。
る場合には、位置合わせをして重ね合わせるようにして
いるが、位置合わせは平行な吸着面とアライメント用顕
微鏡を備える装置により、２枚の整列板の位置合わせを
行い、その後両者を接着、またはスポット溶接等により
固定するようにしている。この場合の貼り合わせ精度
は、５μｍ以内とされていればよい。
【００３０】次に、本発明の支柱整列用治具に使用する
整列板の第２の実施の形態の構成を図２に示すが、この
図は、整列板に支柱材が充填されている状態を示す図と
されている。図２に示す第２の実施の形態は、図１に示
す第１の実施の形態と比べて、整列板１を裏返して重ね
合わせた構成が異なるだけであり、同一の構成とされて
いる薄板状の整列板１および整列板２からなる２層構造
とした構成は同様とされている。
整列板の第２の実施の形態の構成を図２に示すが、この
図は、整列板に支柱材が充填されている状態を示す図と
されている。図２に示す第２の実施の形態は、図１に示
す第１の実施の形態と比べて、整列板１を裏返して重ね
合わせた構成が異なるだけであり、同一の構成とされて
いる薄板状の整列板１および整列板２からなる２層構造
とした構成は同様とされている。
【００３１】第２の実施の形態においては、支柱材１が
支柱穴１０内に充填されたときに、整列板１の支柱穴１
０の精度のよい上部の径の小さい部分と、整列板２の支
柱穴１０の下部の精度のよい径の小さい部分とで位置決
めされることになるため、支柱材１は支柱穴１０の両端
の精度のよい２カ所で位置決めされるようになり支柱材
１の位置精度をより向上することができる。
支柱穴１０内に充填されたときに、整列板１の支柱穴１
０の精度のよい上部の径の小さい部分と、整列板２の支
柱穴１０の下部の精度のよい径の小さい部分とで位置決
めされることになるため、支柱材１は支柱穴１０の両端
の精度のよい２カ所で位置決めされるようになり支柱材
１の位置精度をより向上することができる。
【００３２】このように、図２に示す第２の実施の形態
においても、支柱穴１０に挿入されている支柱材１の位
置ずれは整列板１および整列板２に形成された支柱穴１
０の径の小さい部分により規制することができるので、
整列板１および整列板２に形成される支柱穴１０のテー
パ精度を許容することができる。このため、整列板１お
よび整列板２を前記した電鋳法に加え、エッチング法で
の形成も可能となり、治具を多数製作する場合のコスト
ダウンを図ることができる。さらに、整列板１および整
列板２は同一の構成とされているため、同一のマスクを
使用して製作した整列板を２枚重ね合わせることで整列
板を製作することができ、マスクは一版だけで済むよう
になる。
においても、支柱穴１０に挿入されている支柱材１の位
置ずれは整列板１および整列板２に形成された支柱穴１
０の径の小さい部分により規制することができるので、
整列板１および整列板２に形成される支柱穴１０のテー
パ精度を許容することができる。このため、整列板１お
よび整列板２を前記した電鋳法に加え、エッチング法で
の形成も可能となり、治具を多数製作する場合のコスト
ダウンを図ることができる。さらに、整列板１および整
列板２は同一の構成とされているため、同一のマスクを
使用して製作した整列板を２枚重ね合わせることで整列
板を製作することができ、マスクは一版だけで済むよう
になる。
【００３３】さらに、薄板状の整列板１と整列板２とを
位置合わせして重ね合わせるようにしたため、整列板全
体の厚さを厚くすることができ、整列板から支柱材１の
突出する量を少なくすることができるため、さらに位置
ずれ量を少なくすることができる。例えば、整列板１お
よび整列板２の厚さを約６０μｍとすると、支柱材１の
径を約５０μｍ、長さを約２００μｍとした場合、支柱
材１の突出量を約８０μｍとすることができ、従来に比
べて位置ずれ量を格段に少なくすることができる。
位置合わせして重ね合わせるようにしたため、整列板全
体の厚さを厚くすることができ、整列板から支柱材１の
突出する量を少なくすることができるため、さらに位置
ずれ量を少なくすることができる。例えば、整列板１お
よび整列板２の厚さを約６０μｍとすると、支柱材１の
径を約５０μｍ、長さを約２００μｍとした場合、支柱
材１の突出量を約８０μｍとすることができ、従来に比
べて位置ずれ量を格段に少なくすることができる。
【００３４】次に、本発明の支柱整列用治具に使用する
整列板の第３の実施の形態の構成を図３に示すが、この
図は、整列板に支柱材が充填されている状態を示す図と
されている。図３に示す第３の実施の形態は、薄板状の
整列板１ないし薄板状の整列板５を５枚位置を合わせて
重ね合わせた構成している。すなわち、図１に示す第１
の実施の形態と比べて、第３の実施の形態は重ね合わせ
た整列板の枚数が異なるだけであり、整列板１ないし整
列板５は同一の構成とされている。
整列板の第３の実施の形態の構成を図３に示すが、この
図は、整列板に支柱材が充填されている状態を示す図と
されている。図３に示す第３の実施の形態は、薄板状の
整列板１ないし薄板状の整列板５を５枚位置を合わせて
重ね合わせた構成している。すなわち、図１に示す第１
の実施の形態と比べて、第３の実施の形態は重ね合わせ
た整列板の枚数が異なるだけであり、整列板１ないし整
列板５は同一の構成とされている。
【００３５】第３の実施の形態においては、支柱材１が
支柱穴１０内に充填されたときに、各整列板１〜５の支
柱穴１０の精度のよい下部の径の小さい部分で位置決め
されることになる。このため、支柱材１は支柱穴１０の
５カ所で位置決めされるようになり支柱材１の位置精度
を向上することができる。さらに、薄板状の整列板１な
いし整列板５を位置合わせして重ね合わせるようにした
ため、整列板全体の厚さを厚くすることができ、支柱材
１の長さとその径の比を大きくしても支柱材１を精度よ
く配設することができるようになる。
支柱穴１０内に充填されたときに、各整列板１〜５の支
柱穴１０の精度のよい下部の径の小さい部分で位置決め
されることになる。このため、支柱材１は支柱穴１０の
５カ所で位置決めされるようになり支柱材１の位置精度
を向上することができる。さらに、薄板状の整列板１な
いし整列板５を位置合わせして重ね合わせるようにした
ため、整列板全体の厚さを厚くすることができ、支柱材
１の長さとその径の比を大きくしても支柱材１を精度よ
く配設することができるようになる。
【００３６】例えば、整列板１ないし整列板５の厚さを
約７０μｍとし、支柱材１の径を約５０μｍ、長さを約
５００μｍとした場合、支柱材１の突出量は約１５０μ
ｍとなり、その全長の約１／４程度しか突出しないの
で、支柱材１の長さとその径の比を大きくしても位置ず
れ量を格段に少なくすることができる。このため、蛍光
表示管におけるゲートとアノードとの間隔を大きくする
ことができるので、許容されるアノード電圧を上昇させ
ることができる。このため、蛍光体の発光効率を向上さ
せることができるようになる。なお、前記した整列板１
ないし整列板５の厚さや、支柱材１の長さは一例であ
り、本発明はこれに限定されるものではない。
約７０μｍとし、支柱材１の径を約５０μｍ、長さを約
５００μｍとした場合、支柱材１の突出量は約１５０μ
ｍとなり、その全長の約１／４程度しか突出しないの
で、支柱材１の長さとその径の比を大きくしても位置ず
れ量を格段に少なくすることができる。このため、蛍光
表示管におけるゲートとアノードとの間隔を大きくする
ことができるので、許容されるアノード電圧を上昇させ
ることができる。このため、蛍光体の発光効率を向上さ
せることができるようになる。なお、前記した整列板１
ないし整列板５の厚さや、支柱材１の長さは一例であ
り、本発明はこれに限定されるものではない。
【００３７】また、図３に示す第３の実施の形態におい
ても、支柱穴１０に挿入されている支柱材１の位置ずれ
は整列板１ないし整列板５に形成された支柱穴１０の径
の小さい部分により規制することができるので、整列板
１ないし整列板５に形成される支柱穴１０のテーパ精度
を許容することができる。このため、整列板１ないし整
列板５を前記した電鋳法に加え、エッチング法での形成
も可能となり、治具を多数製作する場合のコストダウン
を図ることができる。さらに、整列板１ないし整列板５
は同一の構成とされているため、同一のマスクを使用し
て製作した整列板を５枚重ね合わせることで整列板を製
作することができ、マスクは一版だけで済むようにな
る。
ても、支柱穴１０に挿入されている支柱材１の位置ずれ
は整列板１ないし整列板５に形成された支柱穴１０の径
の小さい部分により規制することができるので、整列板
１ないし整列板５に形成される支柱穴１０のテーパ精度
を許容することができる。このため、整列板１ないし整
列板５を前記した電鋳法に加え、エッチング法での形成
も可能となり、治具を多数製作する場合のコストダウン
を図ることができる。さらに、整列板１ないし整列板５
は同一の構成とされているため、同一のマスクを使用し
て製作した整列板を５枚重ね合わせることで整列板を製
作することができ、マスクは一版だけで済むようにな
る。
【００３８】次に、上記した本発明の支柱整列用治具に
使用する整列板の第３の実施の形態の変形例の構成を図
４に示す。この図も、整列板に支柱材が充填されている
状態を示す図とされている。図４に示す第３の実施の形
態の変形例は、薄板状の整列板１ないし薄板状の整列板
５を５枚位置を合わせて重ね合わせた構成とされている
が、図３に示す第３の実施の形態と比べて、整列板２な
いし整列板４に形成されている支柱穴１０の径が、整列
板１および整列板５に形成されている支柱穴１０の径よ
り大きくされている。
使用する整列板の第３の実施の形態の変形例の構成を図
４に示す。この図も、整列板に支柱材が充填されている
状態を示す図とされている。図４に示す第３の実施の形
態の変形例は、薄板状の整列板１ないし薄板状の整列板
５を５枚位置を合わせて重ね合わせた構成とされている
が、図３に示す第３の実施の形態と比べて、整列板２な
いし整列板４に形成されている支柱穴１０の径が、整列
板１および整列板５に形成されている支柱穴１０の径よ
り大きくされている。
【００３９】これにより、整列板２ないし整列板４の位
置合わせを容易に行えるようになると共に、整列板２な
いし整列板４に形成される支柱穴１０のテーパ精度を許
容することができ、容易に治具を製作することができる
ようになる。また、第３の実施の形態の変形例において
は、支柱材１が支柱穴１０内に充填されたときに、整列
板１および整列板５に形成された支柱穴１０の精度のよ
い下部の径の小さい部分で位置決めされることになる。
このため、支柱材１は支柱穴１０の両端で位置決めされ
るようになり支柱材１の位置精度を向上することができ
る。さらに、薄板状の整列板１ないし整列板５を位置合
わせして重ね合わせるようにしたため、整列板全体の厚
さを厚くすることができ、支柱材１の長さとその径の比
を大きくしても支柱材１を精度よく配設することができ
るようになる。
置合わせを容易に行えるようになると共に、整列板２な
いし整列板４に形成される支柱穴１０のテーパ精度を許
容することができ、容易に治具を製作することができる
ようになる。また、第３の実施の形態の変形例において
は、支柱材１が支柱穴１０内に充填されたときに、整列
板１および整列板５に形成された支柱穴１０の精度のよ
い下部の径の小さい部分で位置決めされることになる。
このため、支柱材１は支柱穴１０の両端で位置決めされ
るようになり支柱材１の位置精度を向上することができ
る。さらに、薄板状の整列板１ないし整列板５を位置合
わせして重ね合わせるようにしたため、整列板全体の厚
さを厚くすることができ、支柱材１の長さとその径の比
を大きくしても支柱材１を精度よく配設することができ
るようになる。
【００４０】例えば、整列板１ないし整列板５の厚さを
約７０μｍとし、支柱材１の径を約５０μｍ長さを約５
００μｍとした場合、支柱材１の突出量は約１５０μｍ
となり、その全長の約１／４程度しか突出しないので、
支柱材１の長さとその径の比を大きくしても位置ずれ量
を格段に少なくすることができる。このため、蛍光表示
管におけるゲートとアノードとの間隔を大きくすること
ができるので、許容されるアノード電圧を上昇させるこ
とができる。このため、蛍光体の発光効率を向上させる
ことができるようになる。
約７０μｍとし、支柱材１の径を約５０μｍ長さを約５
００μｍとした場合、支柱材１の突出量は約１５０μｍ
となり、その全長の約１／４程度しか突出しないので、
支柱材１の長さとその径の比を大きくしても位置ずれ量
を格段に少なくすることができる。このため、蛍光表示
管におけるゲートとアノードとの間隔を大きくすること
ができるので、許容されるアノード電圧を上昇させるこ
とができる。このため、蛍光体の発光効率を向上させる
ことができるようになる。
【００４１】次に、本発明の支柱整列用治具に使用する
整列板の第４の実施の形態の構成を図５に示す。この図
も、整列板に支柱材が充填されている状態を示す図とさ
れている。図５に示す第４の実施の形態は、薄板状の整
列板１と薄板状の整列板３との間に厚みの厚くされてい
る整列板２を挟み込むようにしたサンドイッチ構造とさ
れている。また、整列板２に形成された支柱穴１０の径
は、整列板１および整列板３に形成されている支柱穴１
０の径より大きく形成してもよい。さらに、整列板２に
形成されたテーパ状の支柱穴１０のテーパ方向が、整列
板１と整列板３に形成されているテーパ状の支柱穴１０
のテーパ方向と逆方向とされて、整列板の上部で位置決
めできるように、整列板２は裏返されてサンドイッチさ
れている。
整列板の第４の実施の形態の構成を図５に示す。この図
も、整列板に支柱材が充填されている状態を示す図とさ
れている。図５に示す第４の実施の形態は、薄板状の整
列板１と薄板状の整列板３との間に厚みの厚くされてい
る整列板２を挟み込むようにしたサンドイッチ構造とさ
れている。また、整列板２に形成された支柱穴１０の径
は、整列板１および整列板３に形成されている支柱穴１
０の径より大きく形成してもよい。さらに、整列板２に
形成されたテーパ状の支柱穴１０のテーパ方向が、整列
板１と整列板３に形成されているテーパ状の支柱穴１０
のテーパ方向と逆方向とされて、整列板の上部で位置決
めできるように、整列板２は裏返されてサンドイッチさ
れている。
【００４２】この第４の実施の形態の場合は、３枚の整
列板を位置合わせして重ね合わせることにより構成され
た整列板により、長さと径の比が大きくされた支柱材１
を精度よく配列させることができる。また、整列板２の
位置合わせを容易に行えるようになると共に、整列板２
に形成される支柱穴１０のテーパ精度を許容することが
できるので整列板２の厚さを厚くすることができ、容易
に治具を製作することができるようになる。また、第４
の実施の形態においては、支柱材１が支柱穴１０内に充
填されたときに、整列板１および整列板３に形成された
支柱穴１０の精度のよい下部の径の小さい部分で位置決
めされることになる。このため、支柱材１は支柱穴１０
の上下で位置決めされるようになり支柱材１の位置精度
を向上することができる。
列板を位置合わせして重ね合わせることにより構成され
た整列板により、長さと径の比が大きくされた支柱材１
を精度よく配列させることができる。また、整列板２の
位置合わせを容易に行えるようになると共に、整列板２
に形成される支柱穴１０のテーパ精度を許容することが
できるので整列板２の厚さを厚くすることができ、容易
に治具を製作することができるようになる。また、第４
の実施の形態においては、支柱材１が支柱穴１０内に充
填されたときに、整列板１および整列板３に形成された
支柱穴１０の精度のよい下部の径の小さい部分で位置決
めされることになる。このため、支柱材１は支柱穴１０
の上下で位置決めされるようになり支柱材１の位置精度
を向上することができる。
【００４３】例えば、整列板１および整列板３の厚さを
約７０μｍ、整列板２の厚さを約２１０μｍとすると、
支柱材１の径を約５０μｍ長さを約５００μｍとした場
合、支柱材１の突出量は約１５０μｍとなり、その全長
の約１／４程度しか突出しないので、支柱材１の長さと
その径の比を大きくしても位置ずれ量を格段に少なくす
ることができる。このため、蛍光表示管におけるゲート
とアノードとの間隔を大きくすることができるので、許
容されるアノード電圧を上昇させることができる。この
ため、蛍光体の発光効率を向上させることができるよう
になる。
約７０μｍ、整列板２の厚さを約２１０μｍとすると、
支柱材１の径を約５０μｍ長さを約５００μｍとした場
合、支柱材１の突出量は約１５０μｍとなり、その全長
の約１／４程度しか突出しないので、支柱材１の長さと
その径の比を大きくしても位置ずれ量を格段に少なくす
ることができる。このため、蛍光表示管におけるゲート
とアノードとの間隔を大きくすることができるので、許
容されるアノード電圧を上昇させることができる。この
ため、蛍光体の発光効率を向上させることができるよう
になる。
【００４４】以上の説明においては、整列板の重ね合わ
せ枚数やその寸法を限定して説明したが、本発明は上記
枚数や寸法に限定されるものではなく、必要とする任意
の重ね合わせの枚数や寸法とすることができる。また、
整列板には数個の支柱穴しか形成されていないように図
示されているが、実際には多数の支柱穴が形成されるも
のである。
せ枚数やその寸法を限定して説明したが、本発明は上記
枚数や寸法に限定されるものではなく、必要とする任意
の重ね合わせの枚数や寸法とすることができる。また、
整列板には数個の支柱穴しか形成されていないように図
示されているが、実際には多数の支柱穴が形成されるも
のである。
【００４５】
【発明の効果】本発明は以上説明したように、薄板状の
同一の厚さの整列部材を少なくとも２枚位置合わせして
重ねるようにしたので、整列部材の全厚を厚くすること
ができる。この場合、整列板に形成されているテーパ状
の支柱穴の上部の径は、支柱材の径に比べて余裕がある
ため、支柱材の整列板への充填を容易に行えるようにな
る。また、整列板を重ね合わせたので、整列板による支
柱材の支持位置を高くすることができると共に、整列板
の全厚を厚くすることができる。したがって、支柱材の
位置精度を向上することができる。
同一の厚さの整列部材を少なくとも２枚位置合わせして
重ねるようにしたので、整列部材の全厚を厚くすること
ができる。この場合、整列板に形成されているテーパ状
の支柱穴の上部の径は、支柱材の径に比べて余裕がある
ため、支柱材の整列板への充填を容易に行えるようにな
る。また、整列板を重ね合わせたので、整列板による支
柱材の支持位置を高くすることができると共に、整列板
の全厚を厚くすることができる。したがって、支柱材の
位置精度を向上することができる。
【００４６】さらに、整列板を重ね合わせることによ
り、支柱材の長さと径との比を大きくしても、長い支柱
材を良好な位置精度を保って配設することができるよう
になる。したがって、精度よく配設できる支柱材の長さ
を５００μｍ以上とすることができるため、アノード電
圧を高くすることができ、蛍光体の発光効率を向上する
ことができるようになる。
り、支柱材の長さと径との比を大きくしても、長い支柱
材を良好な位置精度を保って配設することができるよう
になる。したがって、精度よく配設できる支柱材の長さ
を５００μｍ以上とすることができるため、アノード電
圧を高くすることができ、蛍光体の発光効率を向上する
ことができるようになる。
【図１】本発明の支柱配列用治具に使用される整列板の
第１の実施の形態の構造を示す図である。
第１の実施の形態の構造を示す図である。
【図２】本発明の支柱配列用治具に使用される整列板の
第２の実施の形態の構造を示す図である。
第２の実施の形態の構造を示す図である。
【図３】本発明の支柱配列用治具に使用される整列板の
第３の実施の形態の構造を示す図である。
第３の実施の形態の構造を示す図である。
【図４】本発明の支柱配列用治具に使用される整列板の
第３の実施の形態の変形例を示す図である。
第３の実施の形態の変形例を示す図である。
【図５】本発明の支柱配列用治具に使用される整列板の
第４の実施の形態の構造を示す図である。
第４の実施の形態の構造を示す図である。
【図６】整列板上を用いて支柱材を配設する方法を説明
するための図である。
するための図である。
【図７】支柱材が真空ガラス外囲器内に収納される様子
を示す図である。
を示す図である。
【図８】支柱整列用整列板を備える治具を用いて支柱を
配設する方法を説明するための図である。
配設する方法を説明するための図である。
【図９】従来の支柱材の位置ずれを説明するための図で
ある。
ある。
【図１０】従来の整列板の製造過程を示す図である。
【図１１】他の整列板の構成を説明するための図であ
る。
る。
１, １０１ 支柱材 １０, １１４ 支柱穴 １０１ 第１基板 １０２ 第２基板 １１０ 治具 １１１ 整列板 １１２ 多孔質部 １１３ 排気部
Claims (5)
- 【請求項１】 微少間隔離隔されて対向配置される２
枚のガラス板を少なくとも備える真空ガラス外囲器にお
いて、該真空ガラス外囲器内が真空状態とされたときに
前記２枚のガラス板の間隔が所定間隔を保持するよう
に、前記２枚のガラス板の間に支柱材を配設するための
支柱材整列用治具であって、 前記支柱材を起立させるための支柱穴が複数形成されて
いる薄板状の同一の厚さの整列部材を少なくとも２枚位
置合わせして重ねることにより、整列板を構成するよう
にしたことを特徴とする支柱材整列用治具。 - 【請求項２】 前記支柱穴の断面形状がテーパ状とさ
れており、前記整列部材を２枚重ねて整列板を構成する
場合に、前記支柱穴の径の大きく形成されている面を合
わせて重ね合わせるようにしたことを特徴とする請求項
１記載の支柱材整列用治具。 - 【請求項３】 複数枚重ね合わされた整列部材におい
て、最上段と最下段の整列部材に形成された前記支柱穴
の径より、中間段の整列部材に形成されている前記支柱
穴の径が大きく形成されていることを特徴とする請求項
１記載の支柱材整列用治具。 - 【請求項４】 微少間隔離隔されて対向配置される２
枚のガラス板を少なくとも備える真空ガラス外囲器にお
いて、該真空ガラス外囲器内が真空状態とされたときに
前記２枚のガラス板の間隔が所定間隔を保持するよう
に、前記２枚のガラス板の間に支柱材を配設するための
支柱材整列用治具であって、 前記支柱材を起立させるための支柱穴が複数形成されて
いる薄板状の同一の厚さの第１の整列部材を２枚重ね合
わせると共に、重ね合わされた２枚の第１の整列部材の
間に前記支柱穴が複数形成されている厚さの異なる第２
の整列部材を位置合わせして介在させることにより整列
板が構成されており、前記第１の整列部材に形成された
支柱穴の径より、前記第２の整列部材に形成された支柱
穴の径の方が大きくされていることを特徴とする支柱材
整列用治具。 - 【請求項５】 前記支柱穴の断面形状がテーパ状とさ
れており、前記支柱穴の径の大きくされている面をおも
て面とするとき、前記第２の整列板のみが裏返されて、
重ね合わされているとを特徴とする請求項４記載の支柱
材整列用治具。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8152942A JP2956590B2 (ja) | 1996-05-27 | 1996-05-27 | 支柱材整列用治具 |
| US08/856,998 US5893788A (en) | 1996-05-27 | 1997-05-15 | Support aligning fixture |
| TW086106783A TW407289B (en) | 1996-05-27 | 1997-05-21 | Jig for arranging supporting posts |
| KR1019970020151A KR100263737B1 (ko) | 1996-05-27 | 1997-05-23 | 지주재 정열용 지그 |
| FR9706449A FR2749105B1 (fr) | 1996-05-27 | 1997-05-27 | Fixation d'alignement de support pour affichage lumineux |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8152942A JP2956590B2 (ja) | 1996-05-27 | 1996-05-27 | 支柱材整列用治具 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09309028A true JPH09309028A (ja) | 1997-12-02 |
| JP2956590B2 JP2956590B2 (ja) | 1999-10-04 |
Family
ID=15551532
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8152942A Expired - Fee Related JP2956590B2 (ja) | 1996-05-27 | 1996-05-27 | 支柱材整列用治具 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5893788A (ja) |
| JP (1) | JP2956590B2 (ja) |
| KR (1) | KR100263737B1 (ja) |
| FR (1) | FR2749105B1 (ja) |
| TW (1) | TW407289B (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002015670A (ja) * | 2000-05-30 | 2002-01-18 | Pixtech Sa | 平面ディスプレースクリーンにスペーサーを設けるためのツール |
| JP2009081026A (ja) * | 2007-09-26 | 2009-04-16 | Futaba Corp | 支柱材整列治具、支柱材整列治具の整列板、支柱材整列治具の整列板の製造方法、電界電子放出表示パネルの製造方法 |
| JP2009199907A (ja) * | 2008-02-22 | 2009-09-03 | Sony Corp | スペーサの取付け方法及び平面型表示装置の製造方法 |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5984748A (en) * | 1998-02-02 | 1999-11-16 | Motorola, Inc. | Method for fabricating a flat panel device |
| JP3689598B2 (ja) * | 1998-09-21 | 2005-08-31 | キヤノン株式会社 | スペーサの製造方法および前記スペーサを用いた画像形成装置の製造方法 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5789857A (en) * | 1994-11-22 | 1998-08-04 | Futaba Denshi Kogyo K.K. | Flat display panel having spacers |
| JP2727995B2 (ja) * | 1994-12-15 | 1998-03-18 | 双葉電子工業株式会社 | 支柱材整列用治具および支柱材整列用治具の製造方法 |
-
1996
- 1996-05-27 JP JP8152942A patent/JP2956590B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1997
- 1997-05-15 US US08/856,998 patent/US5893788A/en not_active Expired - Fee Related
- 1997-05-21 TW TW086106783A patent/TW407289B/zh active
- 1997-05-23 KR KR1019970020151A patent/KR100263737B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1997-05-27 FR FR9706449A patent/FR2749105B1/fr not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002015670A (ja) * | 2000-05-30 | 2002-01-18 | Pixtech Sa | 平面ディスプレースクリーンにスペーサーを設けるためのツール |
| JP2009081026A (ja) * | 2007-09-26 | 2009-04-16 | Futaba Corp | 支柱材整列治具、支柱材整列治具の整列板、支柱材整列治具の整列板の製造方法、電界電子放出表示パネルの製造方法 |
| JP2009199907A (ja) * | 2008-02-22 | 2009-09-03 | Sony Corp | スペーサの取付け方法及び平面型表示装置の製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US5893788A (en) | 1999-04-13 |
| JP2956590B2 (ja) | 1999-10-04 |
| TW407289B (en) | 2000-10-01 |
| KR970076963A (ko) | 1997-12-12 |
| KR100263737B1 (ko) | 2000-08-01 |
| FR2749105A1 (fr) | 1997-11-28 |
| FR2749105B1 (fr) | 1999-07-09 |
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