407389 A7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 B7五、發明説明（1 ) [產業上之利用領域] 本發明係鬮於用來排列內裝在内部係.被抽成真空氣氛 而由兩片玻璃基板所成真空玻璃外圍器内的支柱之支柱排 列用具。 [M往之技術] 用於收容在真空氣氛中放出電子之電子放出源，及由 所發出之電子激發而發光之螢光體等發光體之顯示裝置之 真空外圍器，一般係使用由使用玻璃所構成之真空玻璃外 圍器。此真空玻璃外圍器係由第一基板，和與第一基板隔 着微小間隔而對向配置的第二基板所構成，而在其内部收 容有形成平面狀顯示面之發光體，和使此發光體發光之電 子放出源。而且，採取在第一基板和第二基板之間設置支 柱之措施，俾於内部被抽成真空時亦能使第一基板和第二 基板保持預定間隔。 此情形表示於第7圖，由圖可知，眾多支柱101被挾持 在第一基板102及第二基板103之間。該支柱101為坡璃纖 維製，其尺寸為例如，直徑約為50win,畏度為約200um 〇 由於以手工作桊將如此般微小的支柱101設在第一基 板102和第二基板103間之預定位置之作業極為困雔.所以 ，以一種設有眾多可使支柱101排列在預定位置的支柱穴 1 1 4之排列板1 0 0為排列用具（j U )而使用。 此情形表示於第6 _ ,此排列用具之排列板1 0 0上.設 有用來插入支柱1 0 1的下部之支拄六1 1 4 ,排列板1 0 0下面 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4说格（210X2W公缝） 3 3 8 9 1 3 經濟部中央橾準局員工消費合作社印製 407289 at B7五、發明説明（2 ) 則設有多孔質部112。而賴由自該多孔質部112抽出空氣， 使支柱101豎立在支柱穴114內。接着，將黏接用之齎糊（ PaSte)121縛印在豎立的支柱101之前端部，使第一基板 102黏接，即可使支柱材101植設在第一基板102上。 玆參照第8圓，更詳加以說明如下：首先，將支柱 101之材料，例如直徑約為50y m之玻璃纖維切成約200w m 之長度。 經予洗淨所切斷之支柱101後，藉排列用具101來實施 相對於第一基板102之定位。 該排列用具U0,如第8(a)圖所示，係呈箱形，而由 具有用來使經切斷之支柱101豎立在其上部的支柱穴U4之 排列板111,以及位於其下方之由多孔質材料所成之多孔 質部1 1 2 ,和用於排氣排列用具1 1 0内部之排氣部1 1 3所構 成。 此外，支柱穴114之位置係相對應於在第一基板102上 配設支柱101之位置而設成。 在如上述般所形成之排列用具1 1 0 ,當將泵連接於排 氣部1 1 3 ,邊排氣排列用具1 1 0内部，邊在排列用具1 1 〇之 排列板1 1丨上敗布經切斷之支柱1 01時，由於自支柱穴1 1 4 抽引之氣體勢必經由多孔質部1 1 2而自排氣部1 1 3排出，使 得支柱101如同豎立般進入直徑破形成為比經予切斷的支 柱1 0〗之直徑大一些之支柱穴1 1 4内.而成為如第8 ( a )圖所 示之豎立狀態。 於此狀態下，如第8(b)圖所示，將塗布有轉印蕾糊 —---------裝------ΪΤ,-------成_. (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標隼（CNS ) A4規格（210X29·/公釐） 3 8 9 1 3 407289 a7 B7 五、發明説明（3 ) 121之玻璃基板120配置在排列用具110上，使玻璃基板 1 2 0接觸支柱1 0 1 , Μ使音糊1 2 1轉印在保持於排列用具 110的支柱101之上端面。 之後，使第一基板102之位置對準於如第8(c)圖所示 保持有經轉印脅糊121的支柱101之排列用具110上而描放， 使支柱101之一端面附着於第一基板102。並且藉膏糊121 之黏接力（附着力）將支柱轉印在基板102。 按耷糊121係以混合有氧化鉛之低軟化點之密封玻璃 為其主成分，俾使熱膨脹率接近於玻璃製之第一基板102, 並視需要而混入溶劑等而做成具有黏着性之糊狀物者。 接着，將第二基板103面對於支柱101之一端面係Κ預 定間隔複數個熔接而成之第一基板102而對向配置，以構 成玻璃外圍器，而將此玻瑀外圍器内抽成真空，即可製得 如第7圖所示賴由大氣壓將支柱101挟持固定在第一基板 102和第二基板103間而成之真空玻璃外圍器。此外，由第 一基板102和第二基板103所形成空間之周緣，係均由密封 .- r I、11-^ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 示 圖 予 未 則 中 圖 7 第 但 閉 封 以 加 材 經濟部中央梯隼局貝工消费合作社印製 用 採 外 此 柱 支 在 種 板 基 二 第 使 糊 齎 印 轉 Κ 予 亦 面10 端板 一 基 另 一 之 第 01準 對 置 位 之 合 叠 Μ 予 後 之 1 ί ο 11 柱 支 使 化 熔 糊 音 印 轉 使 接 封 内 訄 接 封 在 着 接 5¾ 分 湍 兩 之 1L ο 11 柱 支 使 M « 接 熔 3 ο 氣 板 基 二 第 和 面 端 1 另 板 基 在 定 固 柱 支 内 器 圍 外 璃 坡 可 亦 器 圍 外 璃 玻 空 舆 作 製 以 式 方 之 空 真 在 設 配 隔 間 之 右 左 米 奄 5 至 2 約 K ¾ 本紙張尺度適用中國國家埭準（CNS ) Α4規格（210:< 297公t ) 經濟部中央橾準局員工消費合作社印製 A7 40728^--- 五、發明説明（4 ) [欲解決之問題] 然而，由第9圆所示之支柱101填充在排列板111之支 柱穴114之吠態圖可知，會產生因支柱101相對於支柱穴傾 斜而位移之情形。 此原因，其一乃在於用來插入支柱101的支柱穴114之 直徑雖為使支柱101不致因磨擦力而卡住而形成為具有少 許間隙之約53ιιπ，但因支柱101有土 3/im之公差，同時支 柱穴有+5/-0un之公差，以致往注會造成間隙過大之緣故 〇 其二乃在於如欲K高精確度製得形成有支柱穴114之 排列板1 1 1 ,則因如後述理由，不能形成為厚度約7 〇 w m Μ 上之尺寸，以致支柱101在排列板111上突出達約130w π而 成為不安定之緣故。 基於這些原因支柱將對支柱穴114中心產生最大約20 wn之位移量δ,若作為像素間距為360Wm、像素間隔為 80wm之螢光顯示管用之真空外圍器之情形時，當支柱101 之位置精確度偏移約20wni時，支柱101會妨碍顯示部之顯 示，或造成内部霣氣配線之短路等事故之虞。 下面，說明為何不能將排列板1 1 1形成為厚度約7 〇 u m 以上之理由，惟其原因乃與其製造方法有Μ。因此配合第 1 0圖將排列板Π 1之製作方法說明於後。 首先，如第10(a)圈所示，在不綉網板13丨塗敷光敏抗 蝕劑132,如第10(b)鬮所示，在其上面將在其一面形成有 光罩134之玻璃板133限置在光敏抗蝕劑132上，搭照射光， mf- ^^^^1 n·^— nn ti t tnn ml 1^11¼ ^ n»l9 ^^^^1 In— • 穿 i \ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 3 8 9 1 3 --407289 五、發明説明（5 ) 劑 蝕 抗 敏 光 使 示 所 圖 影 顯 劑 蝕 抗13 敏劑 光蝕 將抗 , 敏 著光 接的 〇 光 光曝 曝使 32僅 第 如 板 網 锈 不 於 下 留 上 置 13位 板之 網設 锈配 不而 在立 係豎 其 是 , 於 個 ， 數 法 多 薄 成 電 形 之 上to材 鏑 電 為 鎳 Μ 加 施 下 1310態 劑柱狀 蝕支此 抗使於 敏於 ， 光用後 該為然 置 位 形 上 IX 3 1Χ 板 鋼 綉 不 之 製 属 金 在 僅 Μ 得 示 所 〇 S 6 圖 3 v\#/ 1L (d板 ο ) 1X · 1 第(N 如練 , 成 劑 蝕 抗 敏 光 去 除 後 其 有 佔 所 5 3 ΊΧ 劑 蝕 抗 敏 光 使 (請先閲讀背面之注意事項再填商本頁) -裝· 上 6 3 1Χ 板 0 在 間 空 3 板 鋼 锈 不 白 穴 柱 支 是 乃 穴11 此穴 〇 柱 成支 形有 而成 穴 形 為該 成離 剌 板 鎳 之 可 板 列 bLr 之 穴 柱 支 多 眾 有 成 形 得 劑 蝕 抗 敏 光 之 上 11 3 1X 板 鋼 锈 不 在 敷 塗 厚 加 予 雖 惟 劑 蝕 抗 敏 光 但 加 增 度 厚 之 11 11 τί 板 列 fch 使 可 即 射 敗 之 内 2 3 iA 劑 蝕 抗 敏 光 在 光 之 射 照 所 時 光 曝 因 厚 加 成 形 型 圖 之 2 3 11 劑 蝕 抗 敏 光 成 造 致 Μ 大 增 會 度 幅 a 低 降 度 確 精 .—線 經濟部中央標準局負工消费合作社印製 將 面 斷 之 5 3 ΊΙ 劑 蝕 抗 敏 光 示 所 圖 \1/ C /V ο f --* 第 如 之 ^11π 換 厚 之 11 11 1ί 板 列 bh 此 因 ο 狀 形 梯 成 光 曝 而 散 擴 被 光 射 照 因 t /(V 雄 圓 為 成 形 被 愈 4 1L 11 穴 柱 支 之 成 形 所 厚 愈 度 化 惡 性 確 精 寸 尺 其 使 狀 在 成 形 或 fb 0 度 確 精 寸 尺 之 4 1 ί 1L 穴 柱 支 BN JUFT 如 此 如 之 4 1L ，~ 穴 往 支 成 造 將 狀 维 圓 成 變 4 11 1L 穴 柱 支 之 11 1L «Hi 板 列 bh 支 在 充 填 瞭 明 W 得 即 圖 9 第 由 如 異 互 徑 部 r 與 徑 部 上 本紙张尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 3 8 9 1 3 經濟部中央標準局員工消费合作社印製 407389 ^ 五、發明説明（6 ) 柱穴114内的支柱材10,自支柱穴114中心位置之偏位量會 愈大，而造成不適合做為螢光顯示管之真空玻璃外圍器之 用。 基於上述理由，排列板1 1 1之厚度乃不能設定為約7 0 w m Μ 上。 為解決此問題，申請人曾提案一種如第11圖所示之支 柱排列用具。該用具中之排列板係二層结構，係由形成有 高精確度支柱穴之厚度約為30w m之排列板150,和不太講 究支柱穴之精確度之厚度為約90/i m之排列板151所構成。 此外，形成在排列板151之支柱穴之徑係形成為比支柱 101之徑大。 此棰情形時，支柱101係賴排列板150之支柱穴來定位 。由於上述排列板所支持之支柱101之位置較高且支柱穴 之精確度亦佳，可提高支柱101之位置精確度。 然而，第11圖所示形狀之排列板，卻有將支柱101填 充於排列用具之作業發生困難之缺點。 具體言之，形成在第9圖所示排列板111之圓维（推拔） 狀支柱穴114之上部徑係在於4 60u m左右，而對支柱101 之平均柱徑而言，係具有約ΙΟϋΐη之間隙，所Μ支 柱101之填充作業極其容易。與此相對，第11圖所示二層 结構之排列板，其支柱穴1 1 4之上部徑為4 5 3 + 3 / - 0 w n , 對支柱101之平均柱徑0 50u π而言，僅艮有約3至m左 右之間隙，此點乃是造成作業困難之原因。 再者.上述排列用具係為了供於支柱艮度為1 5 0至 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2丨0乂 297公鳘） 3 38913 ----,--.--.裝------訂------成 - „ - (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) A7 A7 經濟部中央標準局負工消費合作社印製 33913 __407 aaa__ 五、發明説明（7 ) 300u in者之用而設計。亦即，就陽極電壓為200至600V左 右之螢光顯示管而言，為了耐該陽極電壓須要將閘極。陽 極間之間隔設定為150至300w m之間隙。 然而，一般螢光體之發光效率雖有陽極電壓越高越增 高之傾向，但如要提高陽極霄懕，則須增大閘極•陽極間 之間隔以提高耐壓。例如，如欲使陽極電壓達到1000V, 則須使閘極•陽極間之間隔作成500wni以上。 然而，對具有上述排列板之排列用具而言，為形成如 上述精確度良好的支柱穴，則不能將排列板厚度做成為大 於70m m左右，以致有不能K良好精確度下配設長度500 w mK上之支柱101之問題。 鑑於此，本發明之目的乃在於提供一種易於將支柱填 充於支柱穴，同時即使支柱為長度比徑較長者亦能提高支 柱之位置精確度之支柱排列用具。 本發明之另一目的乃在於提供一棰於配設比徑較長之 支柱時，亦能提高支柱材之位置精確度之支柱排列用具。 [解決問題之手段] 為達成上述目的，本發明之支柱排列用具係以下列方 式構成排列板。即，在至少具有兩片隔着微小間隔而對向 配置的真空玻璃外園器中，用於當該真空玻瑀外圍器内被 油成真空狀態時為使上述兩片玻璃板之間隔保持成預定間 隔而在上述兩片玻璃板之間配設支拄，而至少將兩片形成 有用來使上述支柱豎立的複數個支柱穴之薄Η狀同一厚度 的排列構件對準位置而叠合在一起，H Κ構成排列板者， 本紙張尺度適用中國國家標車((：阳）八4见格（210 / 297公釐） -1— I.....I- - I - - - ml - Hi - —!— I II •一'5J- i - - I i - - ! J (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 407289 A7 αι 經濟部中央橾隼局負工消资合作杜印製 五、發明説明（8 ) 而 且 在 上 述 支 柱 排 列 用 具 中 9 將 上 述 支 柱 穴 之 斷 面 形 狀 形 成 為 圓 維 狀 ， 並 於 叠 合 兩 片 上 述 排 列 構 件 來 構 成 排 列 板 時 9 將 上 述 支 柱 穴 之 徑 被 形 成 較 大 之 面 合 在 一 起 而 叠 合 者 0 此 外 9 在 上 述 支 柱 排 列 用 具 中 在 叠 合 複 數 片 而 成 之 排 列 構 件 中 1 形 成 在 中 間 層 的 排 列 構 件 之 上 述 支 柱 之 徑 係 形 成 為 大 於 形 成 在 最 上 層 和 最 下 層 之 排 列 構 件 之 上 述 支 柱 穴 之 徑 者 0 再 者 ， 本 發 明 之 另 一 支 柱 排 列 用 具 • 係 在 至 少 具 有 兩 片 隔 着 微 小 間 隙 而 對 向 配 置 的 玻 璃 板 之 真 空 玻 璃 外 圍 器 中 參 用 於 當 該 真 空 玻 璃 外 園 器 被 抽 成 真 空 狀 態 時 為 使 上 述 兩 片 玻 璃 板 之 間 隔 保 持 成 預 定 間 隔 而 在 上 述 兩 片 玻 璃 板 之 間 配 設 支 柱 » 而 至 少 將 兩 片 形 成 有 用 來 使 上 述 支 柱 豎 立 的 複 數 個 支 柱 穴 之 薄 板 狀 同 一 厚 度 之 第 一 排 列 構 件 對 準 位 置 而 叠 合 在 一 起 9 同 時 在 叠 合 之 兩 片 第 一 排 列 構 件 之 間 對 準 位 置 而 挾 裝 形 成 有 複 數 個 上 述 支 柱 六 之 不 同 厚 度 之 第 二 排 列 構 件 ， 藉 此 以 構 成 排 列 板 1 且 使 形 成 在 上 述 第 二 排 列 構 件 之 支 柱 穴 之 徑 形 成 為 大 於 形 成 在 上 述 第 一 排 列 構 件 之 支 柱 柱 之 徑 者 0 此 外 ， 上 述 支 柱 穴 之 斷 面 形 狀 係 形 成 為 圓 维 狀 » 假 設 上 述 支 柱 穴 之 徑 做 成 較 大 之 面 為 正 面 時 » α 有 使 上 述 第 二 排 列 板 詡 過 來 而 叠 合 在 起 者 0 根 據 本 發 明 由 於 至 少 將 甬 Η 薄 板 狀 的 同 一 厚 度 -V 排 列 構 件 對 準 位 置 而 叠 合 1 所 Μ 可 使 排 列 構 件 總 厚 度 變 厚 本紙張尺度適用中國國家梂準（CNS ) A4*t^ ( 210Χ 297公釐） 10 89 13 诗 先 閱 讀 背 ιέ 之 注 意 事 項 再 填 寫發. 本衣 頁 訂 明 説明發 、 五 407289 A7 B7 比 之支 柱設大 係 柱升 支配擴 徑 支提 大下可 部 。高可 改度圍 上柱提 ，使確範 之 支可此 即精度 穴 充但因 ，置長 持填不 ，板位柱 支易 ，厚 列的支 狀容成變排好的 維 板而度 合良設 圆 列合厚II持配 的排«總 由保地 板 對板之 藉在確 列故列板 ，可精 排 ，排列 外亦可 在度將排此 ， ， 成裕係 使 。率此 形 有於可 度比因 於具由 亦確之 。 由較 ， ，精 徑柱 , 徑且置 置與支 時 之而位 位度的 此柱 撐 之長長 。支 支柱之較 至 發 之 體 光 螢 升 提 Μ 壓 電 極 陽 高 提 可 以 所 上 Μ m 率 效 光 例 施 賁 例 施 實 1 第 之 板 列 tt ttw 之 用 使 所 具 用 列 WPT Ηβ 柱 支 之 明 發 本 之 板 列 bh HW 在 充 填 正 柱 支 示 表 係 圖 此 ο 圖 11 第 於 示 表 成 構 之 圖 態 狀 第 中 _ 管 示 S3 光 螢 成 構 來 用 持 保 隔 間 定 預 以 為 係 間 定 預 按 而 板 基 璃 玻二 第 和 板 基 璃 玻 1 第 之 器 圍 外 空 真 的 板 列 bh 柱 支 之 間 板 基 璃 玻二 第 和 板 基 璃 玻 1 第 在 設 配 隔 kh tiw 之 ο IX 具 用 列 bH· 柱 支 示 所 圖 8 第 述 上 於 用 使 成 構 來 用 為 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) —裝.
.IT 線 經濟部中央橾準局員工消費合作社印製 板 列 OU. 與 有 具 為 b 2 板 列 hh 板 列 bh 0 1 第 之 狀 板 薄 之 板 列 薄 的 下 之 a 2 板 列 hr 在 合 # 而 置 位 準 對 係 而 成 構 之 同 相 板 列 HW二 第 之 狀 板 之 上 b 2 板 列 bh MM- 及 a 2 板 列 bh 在 成 形 為 穴 柱 支 之 1X 柱 支 充 填 來 用 個 數 多 板 列 hr HW 由 有 置 載 為 部 質 孔 多 之 板 列 tt 的 構 结 0 雙 成 所 b 2 板 列 bh 及 對 板 基 璃 坡二 第 和 板 基 瑀 玻 一 第 將 隔 間 定 預 Μ 外 此 Η 隔 間 用 使 有 没 緣 岡 庄 器 圍 外 璃 玻 空 真 成 構 所 置 配 向 本紙張尺度適用十國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） 3 8 9 I 3 407289 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明（10 ) 1 | (S pa c e Γ ) 等 之 密 封 (s e a 1 )部 〇 1 1 在 此 第 一 實 施 例 中 9 係 藉由 將 排 列 板 2 a 和 排 列 板 2b對 1 1 I 準 位 置 而 叠 層 來 形 成 排 列 板 。並 且 排 列 板 2a 和 排 列 板 請 先 1 1 1 2b均 將 其 厚 度 設 定 為 約 60 U m,並Μ如上述第10圖所示之 閲 讀 1 製 程 所 作 成 〇 因 此 9 形 成 在 排列 板 2a 及 排 列 板 2b之 支 柱六 背 '1 1 之 1 時使 注 I 10可 以 高 精 確 度 形 成 之 $ 同 得 支 柱 穴 10形 成 為 圓 维（ 意 I 事 項 再 1 1 t a p e Γ* )狀 0 然 後 1 使 支 柱 穴 10之徑 較 大 之 一 面 位 於 上 部之 1 填 % 本 裝 方 式 對 準 排 列 板 2 a 及 排 列 板 2b之 位 置 而 予 Μ β 合 0 頁 1 此 種 情 形 時 > 形 成 在 排 列板 2 a 及 排 列 板 2b之 圓 维 狀支 1 I 柱 六 1 0之 上 部 徑 有 Φ 60 U ΙΠ左右， 而相對於支拄1之 平 均柱 1 1 I 徑 φ 50 U in尚約有1 0 u m 之 裕 度， 所 Μ 支 柱 1之填充作業容 1 1 訂 易 0 此 外 當 支 柱 1填充在支柱穴10時， 係藉支柱穴10之 1 1 下 部 之 徑 (約 0 5 3 w m )較小之部分來定其位置， 但由於其 1 1 係 將 可 高 精 確 度 形 成 支 柱 穴10之 薄 板 狀 之 排 列 板 2 a 和排 1 線 列 板 2b叠 合 而 成 ， 所 支 柱 1勢必為支柱穴10之兩處所定 I I 其 位 置 1 以 提 升 支 柱 1之位置精確度。 1 1 1 如 上 述 ， 在 第 1圖所示之第- -實施例中， 插入支柱穴 1 1 1 0的 支 柱 之 位 置 傾 移 係 可 Μ 形成 在 排 列 板 2 a 及 排 列 板 2b之 1 1 支 柱 穴 1 0之 精 確 度 較 佳 的 徑 小的 部 分 來 加 Μ 限 制 t 因 此可 1 1 寬 容 在 排 列 板 2 a 及 排 列 板 2b所形 成 支 柱 六 1 0之 圓 雎 (推拔） 1 I 精 確 度 〇 因 此 ， 除 上 述 之 電 薄法 外 * 亦 可 採 用 蝕 刻 法 來形 1 I 成 排 列 板 2 a 及 排 列 板 2 b 1 故 可望 降 低 η 作 多 數 排 列 用 具時 1 1 I 之 成 本 0 1 1 12 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210Χ 297公釐） 3 3 3 1 3 407289 經濟部中央橾準局貝工消費合作杜印策 五、發明説明（11 ) 1 I 此 外 ， 由 於 排 列 板 2a 及 排 列 板 2b係 具 有 同 一 構 成 9 將 1 1 兩 片 使 用 同 一 光 罩 (m as k)所 製 成 排 列板 相 叠 合 即 可 製 得 排 1 1 I 列 板 » 使 得 光 罩 僅 用 版 即 成 0 請 先 閱 1 1 再 者 • 由 於 採 用 對 準 薄 板 狀 之 排列 板 2a 和 排 列 板 2 a 之 1 1 位 置 而 叠 合 之 方 式 t 所 Μ 可 增 大 排 列板 整 體 之 厚 度 > Μ 縮 背 冬 i 事 項 再 填 1 短 少 支 〇 柱 1從排列板突出之量， 使得位置偏移量可更加以減 1 1 裝 1 例 如 > 設 排 列 板 2a 及 排 列 板 2b之厚 度 為 約 60 U Ώ . 而 寫 本 頁 支 柱 1之徑為約5 0 ju m 9 長 度 為 約 2 0 0 “ m 時 可 使 支 柱 1之 1 I 突 出 1 作 成 約 80 u m » 與Μ往相較可顯著減少偏位置。 1 1 此 外 • 於 叠 合 排 列 板 2a 和 排 列 板2b時 » 係 採 用 經 對 準 1 1 位 置 後 叠 合 之 方 式 I 惟 對 準 位 置 係 藉具 備 平 行 的 吸 附 面 和 訂 對 準 (a 1 i g η me nt)用顯微鏡之裝置， 實施兩片排列板之位 1 1 置 對 準 9 之 後 黏 接 雙 方 或 以 點 焊 (s pot weld)等方法加以 1 1 固 定 0 此 種 情 形 時 之 貼 合 精 確 度 設 定為 bum 以 下 即 可 0 1 其 次 » 將 使 用 於 本 發 明 之 支 柱 排列 用 具 之 排 列 板 之 第 1 I 二 賨 施 例 之 構 成 表 示 於 第 2圖， 惟該圖為表示支柱填充在 1 1 ί 排 列 板 之 狀 m 圖 0 1 1 在 第 2圖所示之第二實施例， 與第1圖 所 示 第 一 實 施 例 1 1 者 相 較 » 只 是 將 排 列 板 2a 詡 過 來 而 叠合 之 構 成 不 同 而 已 9 1 1 採 用 由 屬 於 相 同 構 成 的 薄 板 狀 排 列 板2a 及 排 列 板 2b所 成 雙 1 | 層 结 構 之 點 乃 是 相 同 0 1 I 在 第 二 a 胞 例 中 » 當 支 柱 1被填充在支往穴10内時， 1 1 I 由 於 其 係 由 排 列 板 2 a 的 支 拄 穴 1 0之 高精 確 度 的 上 部 之 徑 小 1 1 13 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4说格（21〇Χ 297公釐） 3 3 9 1 3 407289 A7 B7 經濟部中央標準局員工消费合作社印51 五、發明説明（12 ) 1 | 之 部 分 » 和 排 列 板 2b的 支 柱 穴 10之下 部 的 高 精度 之 徑 小 部 1 I 分 所 定 位 * 使 得 支 柱 1即等於由支柱穴10之兩端的清 ί精確 I 1 | 度 之 兩 處 所 定 位 t 所 Μ 可 更 加 以 提升 支 柱 1之位置精確度 /—\ 請 先 閱 背 意 事 項 再 填 1 1 0 1 1 I 如 上 述 « 在 第 2_所示第二實胞例中， 插入於支柱穴 1 1 1 0之 支 柱 1之位置偏移乃可藉形成在排列板2 a及排列板2 b 1 i I 之 支 柱 穴 10的徑小 部 分 來 加 以 限 制， 因 此 > 可寬 容 形 成 在 1 裝 I 排 列 板 2 a 及 排 列 板 2b之 支 柱 穴 10之圓 维 精 確 度。 是 以 9 排 本 頁 列 板 2a 及 排 列 板 2b > 除 上 述 之 電 薄法 外 9 亦 可採 用 蝕 刻 法 I 1 I 來 形 成 • 使 得 於 製 作 眾 多 排 列 用 具時 可 望 降 低成 本 0 1 I 此 外 9 由 於 排 列 板 2 a 及 排 列 板2a 係 具 有 同一 構 成 ， 只 1 1 要 將 兩 片 使 用 同 一 光 罩 所 製 作 之 排列 板 叠 合 即能 製 得 排 列 訂 板 > 故 光 罩 僅 箱 一 版 即 夠 0 1 1 更 因 採 用 將 薄 板 狀 之 排 列 板 2 a和 排 列 板 2b對 準 位 置 而 1 1 叠 合 之 方 法 9 所 Μ 排 列 板 整 體 之 厚度 可 予 增 厚， Μ 減 少 支 1 柱 1從排列板突出之1故可更加以減少位置爝移量。 ! I 例 如 » 假 設 排 列 板 2 a 及 排 列 板2b之 厚 度 為約 60 U 1 1 支 柱 1之徑為約5 0 w m 長 度 為 約 2 0 0 u m 時 » 可得 約 80 U m 1 1 之 支 柱 1之突出量. 所以與Μ往相比可顯著滅少位移量。 1 1 其 次 1 將 本 發 明 之 支 柱 排 列 用具 所 使 用 之排 列 板 之 第 1 1 三 實 胞 例 之 構 成 表 示 於 第 3_ , 惟該圖係表示支柱被填充 1 | 在 排 列 板 之 狀 m fH! 圈 0 1 | 在 第 3圖戶 听示之第三實拖例， 像構成為將5片 m 板 狀 之 1 1 | 排 列 板 2a 到 m 板 狀 之 排 列 板 2 e 對 準位 置 而 β 合者 〇 即 t 1 1 14 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐） 3 8 9 1 3 407289 A7 B7五、發明説明（l3 ) 與第1圖所示之第一寊施例者相比，第三實腌例只是相叠 為 均 e 2 板 列 bh 0 到 a 2 板 列 bh 0 而 已 而 同 不 數 片 之 板 列 th «W 的 合 成 構 同 相 時 ο 1X 穴 柱 支 於 充 填 被 1X 柱 支 當 中 例 施 實 三 第 在 位 定 來 分 部 小 徑 之 部 下 中 ο 11 穴 柱 支 之 Θ 2 至 a 2 板 列 th, 0 各 由 柱 支 升 提 可 故 位 定 所 處 5 之 ο 1A 穴 柱 支 由 ΊΛ 柱 支 此 因 度 確 精 置 位 之 置 位 準 對 Θ 2 板 列 •1LU 0 至 a 2 板 列 ΝΓ «W 之 狀 板 薄 使 於 由 外 此 大 增 使 BP 得 使 度 厚 之 體 整 板 列 thr 0 大 增 予 可 M 所 合 « 而 度 確 精 高 成 設 配 柱 支 將 能 亦 率 比 之 徑 其 與 度 長 之 Hi 柱 支 支 e u ο 7 約 為 度 厚 之 Θ 2 板 列 bh 至 a 2 板 列 fch «W 設 如 例 約 為 度 長 B ϋ ο 5 約 為 徑 之 1Χ 柱 虽 出 突 之 * 柱 支 使 即 故 右 左 4 / ΤΑ 約 之 長 缌 其 出 突 僅 IS m u ο 5 1Χ 約 為 成 將 量 移 偏 少 減 著 顯 可 亦 率 比 之 徑 其 與 度 長 之 11 柱 支 大 增 隔 間 之 間 極 陽 與 極 閘 的 管 示 顯 光 螢 大 增 可 於 由 Μ 是 效 光 發 之 體 光 螢 高 提 可 此 因 ο 壓 電 許 允 之 掻 陽 升 提 可 故 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -裝'
'1T 線 經濟部中央棣準局負工消资合作社印製 率 之 柱 支 或 度 厚 之 G 2 板 列 bh tiw 至 3 2 板 列 th Hff 述 上 於 Μ 者 再 此 於 定 限 THs 並 明 發 本 然 當 例 1 出 舉 均 度 長 {八 柱 支 人 c3 推 中 例 胞 實 三 第 之 示 所 圔 3 第 在 外 此 支 的 Θ 2 板 列 tl· 至 a 2 板 列 hr HW 在 成 形 0 可量 位 傾 之 1L 柱 支 之 列 tl· 在 成 肜 容 寬 可 Μ 所 制 限 Κ 加 來 分 部 、 徑 之 中 ο -- 穴 柱 板 列 tl·, 0- 此 因 度 確 精 维 圓 之 ο • - 穴 柱 支 之 e 2 板 列 th 至 a 2 板 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 5 11 3 3 9 1 3 五、發明説明（14 407289 A7 B7 成將 形以 來所 法， 刻成 蝕構 SB 同 可。相 亦本成 ， 成做 外之係 法時2e 鏞具板 電用列 之列排 11 OU- 1§t 0 上多 除眾板 , 作 列 2e製排 板低 ， 列降且 排可而 至而 至 a 板 列 tl·. 得 製 可 合 « 板 列 tb, 0 之 成 製 所 罩 光 1 同 用 使 片 夠 BP 版 一 需 只 罩 光 此 因 板 列 bh 之 具 用 列 kl· HW 柱 支 之 明 發 本 述 上 於 用 使 將 次 其 第 於 示 表 〇 成圖 構態 例狀 形之 變板 之列 例排 _ S圖 實充 4 三 填第 第柱 之支 圖 4 示 表 係 亦 圄 此 之 狀 板 薄 將 係 雖 例 形 變 之 例 施 實 三 第 之 示 所 板 列 •FT 之 狀 板 薄 到 a 2 板 列 bh 成 構 之 合 II 而 置 位 準 對 片 列 HW 在 成 形 其 使 比 相 者 例 實 三 第 示 所 圖 3 第 與 但 HW 及 a 2 板 列 kh 在 成 形 於 大 徑 之 ο 1L 穴 柱 支 之 Θ 2 板 列 tl· 0 到 C 2 板 行 進 易 容 準 對 置 位 之 e 2 板 列 bh 到 C ο 2 徑板 之列 0 P 1 穴 得 柱使 支 - 之此 b S 2 0 板 列 圓 之 ο 丄 穴 柱 支 之 e 2 板 列 kF 3¾ 到 C 2 板 列 bh 在 成 形 容 寬 可 亦 具 用 列 kl· HW 作 製 於 易 得 使 亦 度 確 精 維 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) —裝' -v4 線I! 經濟部中央橾牟局負工消費合作社印製 柱板 支列 當排 , 及 例2a 形板 變列 之排 例在 施成 實形 三 由 第將 在 ， , 時 且内 而10 Λ 柱 位柱 定 支 所升 分提 部可 小故 徑 -之位 部 定 下來 之端 高兩 較之 度10 確 穴 精柱 中支 10由 支 在 充 填 被 {八 柱 支 之 將 11 柱 支 此 因 度 tl 確 精 置 位 之 置 位 準 對 Θ 2 板 列 Ltr 到 a 2 板 列 bh HW 之 狀 板 薄 使 於 由 外 此 拄 支 使 即 得 使 度 厚 之 13 整 板 列 tl·. 大 增 可 此 因 合 叠 而 度 確 精 高 成 設 配 1ί 柱 支 將 可 亦 大 增 率 比 Ζ 徑 其 與 度 畏 之 11 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4現格（210X297公釐） 6 11 3 8 9 1 3 407289 A7 B7 五、發明説明（15 ) 0 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 例如，設排列板2 a到排列板2 e之厚度為約7 0 /i ra ,支 柱1之徑為約50wm,長度為約500Wm時，支柱1之突出虽 則為約1 5 0 w id ,而僅突出其總長之約1 / 4左右，因此，即 使增大支柱1之長度與其徑之比率，亦可顯著減低偏位量 0 因此，可增大螢光顯示管之閘極和陽極間之間隔，Μ 增高可允許的陽極電壓。因此，可提高螢光體之發光效率 〇 其次，將使用於本發明之支柱排列用具之排列板之第 四實施例之構成表示於第5圖。該圖亦係表示支柱填充在 排列板之狀態圖。 第5_所示之第四實施例，係構成為在薄板狀排列板 2a和薄板狀之排列板2b之間挾裝增大厚度之排列板2c而成 之三明治结構。而且，形成在排列板2c之支往穴10之徑可 形成為大於形成在排列板2a及排列板2b之支柱穴10之徑。 此外，形成在排列板2c之圓维狀之支柱穴10之推拔（ 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 taper)方向，係與形成在排列板2a和排列板2b之圓维狀支 柱穴10之推拔方向成相反之方向，即排列板2c係被詡過來 而挾裝，俾以排列板上部來定位。 此第四實施例之情形時，可賴由將三片排列板對準位 置而叠合所構成之排列板，將增大長度與徑之比率的支柱 1配列成高精確度。而且可使排列板2c之位置對準容易進 行，且亦可寬容形成在排列板2c的支柱穴10之圓维锖確度 本紙張尺度適用中國國家標率（CNS ) A4規格（210:< 297公釐） 17 38913 407289 A7 B7五、發明説明（16 ) ,因此可增厚排列板2c之厚度，使得排列用具之製作容易 時 内 ο 1X 穴 柱 支 在 充 填 1X 柱 支 當 例 施 實 四 第 在 者 再 穴 柱 支 ， 之此 2b因 板 -列置 排位 及其 a : 2 定 板分 列部 hh 、 在徑 成之 形部 由下 即的 柱 支
之 1X 佳 較 度 確 精 之 穴 柱 支 由 以 得 度 確 精 置 位 約 為 度 厚 之 柱2b 支板 高列 提排 可及 故2a , 板 置列 位排 其設 定 ， 下如 上例 之 kl· 0 為 度 長 m y ο 5 約 為 徑 之 11 柱 支 a y ο 1Χ 2 約 為 度 厚 之 C 2 板 列 時 總 其 出 突 僅 而 m Μ ο 5 1α 為 量 出 突 之 柱 支 柱 支 大 增 使 BP 此 因 右 左 比 之 徑 其 與 度 長 之 大 增 隔 間 之 間 極 陽 和 極 閘 之 管 Ο 示 量顯 位光 偏螢 少使 減可 著 ， 1/顯此 約可因 之亦 長率 高 提 率 效 光 發 之 體 光 螢 得 使 升 上 壓 電 極 陽 之 許 允 可 使 Μ 加以 下予 寸可 尺而 其 . 或寸 数尺 片或 叠 數 相片 之述 板上 列於 排 定 定 限 艮 1U- Dp 係並 , 明 明發 說本 之但 上 ， 以明 說 Μ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -裝 經濟部中央揉準局負工消費合作杜印製 乃 上 實 但 穴 柱 。 支 寸個 尺數 或有 數成 片形 合 只 蠱 示 意圖 任 僅 之雖 要板 需列 所 排 為又 形 變 穴 柱 支 多 眾 有 成 形 ml/ 效 之 明 發 之 列穴板 狀排 tt 列 板大 支排 薄增 狀對 片可 维往 兩以 圓支 將 所之使 少 ，板可 至合列M 為«排所 成而在 ， 構 置成度 於位 形裕 由準 於有 明 對由較 發經， ，徑 本 件時柱 , 構此支 明列 。比 說 排度係 述之Is, 上度 總徑 如 厚之部 一 件 上 同搆之 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐）
8 IX 3 3 9 1 3 經濟部中央梯準局員工消費合作社印取 407289 A7 _B7 _ 五、發明説明（I7 ) 之填充容易進行。 而且，係將排列板叠合而成，因此，可藉排列板增高 支柱之支撐位置，同時可增厚排列板之缌厚。因而，可提 高支柱之位置精確度。 再者，由於係叠合排列板而成，即使增大支柱之長度 與徑之比率，亦能將較長支柱以保持良好的位置精確度下 予K配設。因此，可在高精確度下配設之支柱長度提高到 500WmM上，使得陽極電壓得以增高，使螢光體之發光效 率提高。 [圓面之簡單說明] 第1圖為表示使用於本發明之支柱排列用具之排列板 之第一實施例之结構圖。 第2圖為表示使用於本發明之支柱排列用具之排列板 之第二實施例之结構圖。 第3圖為表示使用於本發明之支柱排列用具之排列板 之第三實施例之结構圖。 第4圖為表示使用於本發明之支柱排列用具之排列板 之第三實施例之變形例圖。 第5圖為表示使用於本發明之支柱排列用具之排列板 之第四實胞例之結構圈。 第6圖為用來說明使用排列板來配設支柱之方法之圖 0 第7圖為表示支柱披收納在真空坡璃外圍器内之情形 圖。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 19 33913 -------.---^------1T------β —--/, - V . (請先閲讀背面之注意事項再填莴本頁) 407289 經濟部中央標隼局貝工消費合作社印製
(請先閱讀背面之注意事項再填疼本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） » 裝 訂-^, - 20 3 8 9 1 3