JPH09306813A5 - - Google Patents
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- JPH09306813A5 JPH09306813A5 JP1996120404A JP12040496A JPH09306813A5 JP H09306813 A5 JPH09306813 A5 JP H09306813A5 JP 1996120404 A JP1996120404 A JP 1996120404A JP 12040496 A JP12040496 A JP 12040496A JP H09306813 A5 JPH09306813 A5 JP H09306813A5
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- JP
- Japan
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- observation device
- illumination light
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- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8120404A JPH09306813A (ja) | 1996-05-15 | 1996-05-15 | 観察装置及び該装置を備えた露光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8120404A JPH09306813A (ja) | 1996-05-15 | 1996-05-15 | 観察装置及び該装置を備えた露光装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09306813A JPH09306813A (ja) | 1997-11-28 |
| JPH09306813A5 true JPH09306813A5 (enrdf_load_stackoverflow) | 2004-07-22 |
Family
ID=14785382
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8120404A Pending JPH09306813A (ja) | 1996-05-15 | 1996-05-15 | 観察装置及び該装置を備えた露光装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09306813A (enrdf_load_stackoverflow) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| TWI264620B (en) | 2003-03-07 | 2006-10-21 | Asml Netherlands Bv | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
| JP6993782B2 (ja) * | 2017-03-09 | 2022-01-14 | キヤノン株式会社 | インプリント装置および物品製造方法 |
-
1996
- 1996-05-15 JP JP8120404A patent/JPH09306813A/ja active Pending
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