JPH09304931A - 感エネルギー線ポジ型感応性組成物 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】高感度な感エネルギー線酸発生剤であるオニウ
ムボレート錯体を用いた感エネルギー線ポジ型感応性組
成物を提供する。 【解決手段】 オニウムカチオンと、一般式（１）のボ
レートアニオンとから構成されるオニウムボレート錯体
である感エネルギー線酸発生剤（Ａ）、および酸を触媒
とする反応により現像液に対する親和性あるいは溶解性
が増加する性質を有する化合物（Ｂ）を含むことを特徴
とする感エネルギー線ポジ型感応性組成物。 一般式（１） ［ＢＹｍＺｎ］− （ただし、Ｙはフッ素または塩素、Ｚはフッ素、シアノ
基、ニトロ基、トリフルオロメチル基の中から選ばれる
少なくとも２個の電子吸引性基で置換されたフェニル
基、ｍは０〜３の整数、ｎは１〜４の整数を表し、ｍ＋
ｎ＝４である。）

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、感エネルギー線ポ
ジ型感応性組成物に関する。さらに詳しくは、エネルギ
ー線、特に光の照射により、例えば、印刷版用感光性樹
脂、カラーフィルター用レジスト、プリント基板用レジ
スト、半導体用フォトレジスト、マイクロエレクトロニ
クス用レジスト等の分野において、高い感度と高コント
ラストの画像やパターンを与えうる感エネルギー線ポジ
型感応性組成物に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】ポジ型感光性組成物としては、アルカリ
可溶性樹脂と、感光物としてのナフトキノンジアジド化
合物とを含む組成物が、一般に多く用いられている。し
かし一方、近年、ナフトキノンジアジド以外の感光物を
用いたポジ型感光性組成物に閲する特許も多く出願され
ている。例えば、米国特許第３，９８４，２５３号明細
書には、ポジ型の像を形成するために、ジアゾニウム塩
の如き酸を生じる化合物を加えることにより、ポリフタ
ルアルデヒドを紫外線、電子線およびＸ線に対し、感応
することが示されている。また、米国特許第４，３１
１，７８２号明細書には、酸を形成する化合物と、周期
的に存在するオルトカルボン酸エステルを有する重合性
化合物とを含むポジ型のレリーフ像を形成するための、
放射線に対して感応する混合物が開示されている。特開
昭５９−４５４３９号公報には、酸に対して不安定な反
復的に存在する枝分かれした基を有する重合体と、放射
線にさらされたときに酸を生じる光重合開始剤とを含む
レジスト組成物を示されている。さらに、ＳＰＩＥ，Ｖ
ｏｌ．９２０，Ａｄｖａｎｃｅｓ ｉｎ Ｒｅｓｉｓｔ
Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ ａｎｄ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ
Ｖ，ｐ３３（１９８８年）は、トリフェニルスルホニ
ウムやジフェニルヨードニウム化合物の金属ハロゲン塩
とノボラック樹脂とからなる二成分系のポジ型感光性組
成物を示している。

【０００３】一方、感応波長の長波長化に関しては、特
開昭５９−４５４３９号公報の２頁に、ポジ型感光性組
成物が、遠紫外線から可視光線迄の種々の波長に対して
感応することが記載されている。即ちジアリールヨード
ニウム塩およびトリアリールスルホニウム塩の場合には
増感剤の添加により、紫外線から可視光線迄のより広い
波長域に於けるパターン化が可能になることを示してい
る。また、米国特許第４，７６０，０１３号明細書に
は、特定の構造のオニウム化合物を用いることにより、
感応波長を長波長化することが記載されている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】以上のように、これま
で多くのオニウム塩化合物を、酸発生剤として用いるこ
とを特徴とするポジ型感光性組成物が開示されている
が、いずれの従来技術も、広い波長域に感光性を有し、
かつ感度の高いポジ型感光性組成物を得るには至ってい
ない。したがって、本発明は、エネルギー線の照射によ
って酸を発生する化合物として、特定構造のオニウムボ
レート錯体を用い、酸を触媒とする反応により現像液に
対する親和性あるいは溶解性が増加する性質を有する化
合物を組み合わせることによって、高い感度、広い感光
波長化および高いコントラストを有する、感エネルギー
線ポジ型感応性組成物を提供することにある。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明者らは、以上の諸
問題点を考慮し、解決すべく、鋭意研究を重ねた結果、
本発明に至った。すなわち、本発明は、オニウムカチオ
ンと、一般式（１）のボレートアニオンとから構成され
るオニウムボレート錯体である感エネルギー線酸発生剤
（Ａ）、および酸を触媒とする反応により現像液に対す
る親和性あるいは溶解性が増加する性質を有する化合物
（Ｂ）を含むことを特徴とする感エネルギー線ポジ型感
応性組成物である。 一般式（１） ［ＢＹｍＺｎ］− （ただし、Ｙはフッ素または塩素、Ｚはフッ素、シアノ
基、ニトロ基、トリフルオロメチル基の中から選ばれる
少なくとも２個の電子吸引性基で置換されたフェニル
基、ｍは０〜３の整数、ｎは１〜４の整数を表し、ｍ＋
ｎ＝４である。）

【０００６】

【発明の実施の形態】まず初めに、本発明の感エネルギ
ー線酸発生剤（Ａ）について説明する。本発明の感エネ
ルギー線酸発生剤（Ａ）を構成するオニウムカチオンと
は、ヨードニウム、スルホニウム、スルホキソニウム、
ホスホニウム、金属アレーンカチオンのほか、ピリジニ
ウム、キノリニウム、イソキノリニウム、ベンゾオキサ
ゾリウム、ベンゾチアゾリウム等の複素環カチオンをあ
げることができる。

【０００７】この内、本発明の感エネルギー線酸発生剤
（Ａ）として好ましいオニウムカチオンの構造として
は、一般式（２）〜一般式（１３）から選ばれるオニウ
ムカチオンをあげることができる。 一般式（２）

【化１】 一般式（３）

【化２】 一般式（４）

【化３】 一般式（５）

【化４】 一般式（６）

【化５】 一般式（７）

【化６】 一般式（８）

【化７】 一般式（９）

【化８】 一般式（１０）

【化９】 一般式（１１）

【化１０】 一般式（１２）

【化１１】 一般式（１３）

【化１２】 （ただし、Ｒ１は、一般式（２）〜一般式（８）に共通
して、ベンジル基、置換されたベンジル基、フェナシル
基、置換されたフェナシル基、アリル基、置換されたア
リル基、アルコキシル基、置換されたアルコキシル基、
アリールオキシ基、置換されたアリールオキシ基から選
ばれる基を表す。Ｒ２は、一般式（２）〜一般式（４）
に共通して、それぞれ独立に、フッ素、塩素、臭素、水
酸基、カルボキシル基、メルカプト基、シアノ基、ニト
ロ基、アジド基で置換されていても良いＣ１〜Ｃ１８の
直鎖状、分岐鎖状、環状アルキル基もしくは、フッ素、
塩素、臭素、水酸基、カルボキシル基、メルカプト基、
シアノ基、ニトロ基、アジド基で置換されていても良い
Ｃ６〜Ｃ１８の単環、縮合多環アリール基のいずれかを
表す。Ｒ３は、それぞれ独立に、水素、メルカプト基あ
るいは、フッ素、塩素、臭素、水酸基、カルボキシル
基、メルカプト基、シアノ基、ニトロ基、アジド基で置
換されていても良いＣ１〜Ｃ１８の直鎖状、分岐鎖状、
環状アルキル基もしくは、フッ素、塩素、臭素、水酸
基、カルボキシル基、メルカプト基、シアノ基、ニトロ
基、アジド基で置換されていても良いＣ１〜Ｃ１８の直
鎖状、分岐鎖状、環状アルキルチオ基から選ばれる基を
表す。Ｒ４は、それぞれ独立に、フッ素、塩素、臭素、
水酸基、カルボキシル基、メルカプト基、シアノ基、ニ
トロ基、アジド基で置換されていても良いＣ１〜Ｃ１８
の直鎖状、分岐鎖状、環状アルキル基もしくは、フッ
素、塩素、臭素、水酸基、カルボキシル基、メルカプト
基、シアノ基、ニトロ基、アジド基で置換されていても
良いＣ１〜Ｃ１８の直鎖状、分岐鎖状、環状アルコキシ
ル基のいずれかを表す。Ｒは、一般式（５）〜一般式
（８）に共通して、それぞれ独立に、フッ素、塩素、臭
素、水酸基、カルボキシル基、メルカプト基、シアノ
基、ニトロ基、カルバモイル基に加え、以下の有機残基
から選ばれる基を表す。ここで有機残基とは、フッ素、
塩素、臭素、水酸基、カルボキシル基、メルカプト基、
シアノ基、ニトロ基、アジド基で置換されていても良い
Ｃ１〜Ｃ１８の直鎖状、分岐鎖状、環状アルキル基、Ｃ
２〜Ｃ１８の直鎖状、分岐鎖状、環状アルケニル基、Ｃ
６〜Ｃ１８の単環、縮合多環アリール基、Ｃ７〜Ｃ１８
の単環、縮合多環アリールアルキル基、Ｃ１〜Ｃ１８の
直鎖状、分岐鎖状、環状アルコキシル基、Ｃ６〜Ｃ１８
の単環、縮合多環アリールオキシ基、Ｃ１〜Ｃ１８の直
鎖状、分岐鎖状、環状脂肪族もしくはＣ７ 〜Ｃ１９の
単環、縮合多環芳香族アシル基、Ｃ２〜Ｃ１９の直鎖
状、分岐鎖状、環状アルコキシカルボニル基、Ｃ７〜Ｃ
１９の単環、縮合多環アリールオキシカルボニル基、の
いずれかを表す。Ａｒは、一般式（１０）〜一般式（１
３）に共通して、それぞれ独立に、フッ素、塩素、臭
素、水酸基、カルボキシル基、メルカプト基、シアノ
基、ニトロ基、アジド基で置換されていても良いＣ６
〜Ｃ１８の単環、縮合多環アリール基を表す。Ｃｐは、
シクロペンタジエニル基を表す。Ｘは、酸素もしくは硫
黄原子を表す。ｉは０〜５の整数を表す。ｊは、一般式
（６）〜一般式（８）に共通して、０〜４の整数を表
す。ｋは、一般式（６）〜一般式（７）に共通して、０
〜３の整数を表す。さらに、隣接した、Ｒ同士、Ｒ２同
士、Ａｒ同士、もしくは、Ｒ１とＲ２、Ｒ１とＲ、Ｒ１
とＲ３は、互いに共有結合によって環構造を形成してい
てもよい。）

【０００８】この内、より好ましいオニウムカチオンの
構造としては、一般式（２）、一般式（３）、一般式
（５）、一般式（７）および一般式（９）〜一般式（１
３）から選ばれるオニウムカチオンであり、特に好まし
いオニウムカチオンの構造としては、一般式（２）、一
般式（３）および一般式（９）〜一般式（１３）のオニ
ウムカチオンである。

【０００９】この理由として、上に説明したオニウムカ
チオンは、概して、その還元電位が高いこと、すなわ
ち、電子受容性が高いことがあげられる。そのため、エ
ネルギー線、ことに光の照射によって、分解し、容易に
酸を発生する。それは、特に増感剤（Ｃ）と組み合わせ
た場合に顕著な結果として認められる。

【００１０】以下に、本発明の感エネルギー線酸発生剤
（Ａ）を構成するオニウムカチオン中の置換基について
説明する。まず、本発明の感エネルギー線酸発生剤
（Ａ）を構成する一般式（２）〜一般式（８）で表され
るオニウムカチオンにおける置換基Ｒ１において、

【００１１】置換されたベンジル基とは、フッ素、塩
素、臭素、シアノ基、ニトロ基、トリフルオロメチル
基、水酸基、メルカプト基、メチルスルフィニル基、メ
チルスルホニル基、アセチル基、ベンゾイル基、Ｃ１
〜Ｃ１８の直鎖状、分岐鎖状、環状アルキル基、Ｃ１
〜Ｃ１８の直鎖状、分岐鎖状、環状アルコキシル基、Ｃ
２〜Ｃ１８の直鎖状、分岐鎖状、環状アルコキシカルボ
ニル基から選ばれる基で置換されたベンジル基があげら
れ、さらに、ベンジル基中のベンゼン環が、不飽和炭化
水素基によって、Ｃ１０〜Ｃ２２の縮合多環芳香族環を
形成していても良い構造があげられる。

【００１２】これら置換されたベンジル基の具体例とし
ては、ｏ−フルオロベンジル基、ｍ−フルオロベンジル
基、ｐ−フルオロベンジル基、ｏ−クロロベンジル基、
ｍ−クロロベンジル基、ｐ−クロロベンジル基、ｏ−ブ
ロモベンジル基、ｍ−ブロモベンジル基、ｐ−ブロモベ
ンジル基、ｏ−シアノベンジル基、ｍ−シアノベンジル
基、ｐ−シアノベンジル基、ｏ−ニトロベンジル基、ｍ
−ニトロベンジル基、ｐ−ニトロベンジル基、２，４−
ジフルオロフェニルメチル基、２、６−ジクロロフェニ
ルメチル基、２、４、６−トリブロモフェニルメチル
基、ペンタフルオロフェニルメチル基、ｐ−（トリフル
オロメチル）ベンジル基、３，５−ビス（トリフルオロ
メチル）フェニルメチル基、ｏ−ヒドロキシベンジル
基、ｍ−ヒドロキシベンジル基、ｐ−ヒドロキシベンジ
ル基、ｏ−メルカプトベンジル基、ｍ−メルカプトベン
ジル基、ｐ−メルカプトベンジル基、ｏ−メチルスルフ
ィニルベンジル基、ｍ−メチルスルフィニルベンジル
基、ｐ−メチルスルフィニルベンジル基、ｏ−メチルス
ルホニルベンジル基、ｍ−メチルスルホニルベンジル
基、ｐ−メチルスルホニルベンジル基、ｏ−アセチルベ
ンジル基、ｍ−アセチルベンジル基、ｐ−アセチルベン
ジル基、ｏ−ベンゾイルベンジル基、ｍ−ベンゾイルベ
ンジル基、ｐ−ベンゾイルベンジル基、ｏ−メチルベン
ジル基、ｍ−メチルベンジル基、ｐ−メチルベンジル
基、ｐ−エチルベンジル基、ｐ−プロピルベンジル基、
ｐ−イソプロピルベンジル基、ｐ−ｔ−ブチルベンジル
基、ｐ−オクタデシルベンジル基、ｐ−シクロヘキシル
ベンジル基、ｏ−メトキシベンジル基、ｍ−メトキシベ
ンジル基、ｐ−メトキシベンジル基、ｐ−エトキシベン
ジル基、ｐ−プロポキシベンジル基、ｐ−イソプロポキ
シベンジル基、ｐ−ｔ−ブトキシベンジル基、ｐ−オク
タデシルオキシベンジル基、ｐ−シクロヘキサンオキシ
ベンジル基、ｏ−メトキシカルボニルベンジル基、ｍ−
メトキシカルボニルベンジル基、ｐ−メトキシカルボニ
ルベンジル基、ｐ−エトキシカルボニルベンジル基、ｐ
−プロポキシカルボニルベンジル基、ｐ−イソプロポキ
シカルボニルベンジル基、ｐ−ｔ−ブトキシカルボニル
ベンジル基、ｐ−オクタデシルオキシカルボニルベンジ
ル基、ｐ−シクロヘキサンオキシカルボニルベンジル
基、１−ナフチルメチル基、２−ナフチルメチル基、９
−アンスリルメチル基、１−ピレニルメチル基、５−ナ
フタセニルメチル基、６−ペンタセニルメチル基などが
あげられる。

【００１３】また、置換基Ｒ１ における置換されたフ
ェナシル基とは、フッ素、塩素、臭素、シアノ基、ニト
ロ基、トリフルオロメチル基、水酸基、メルカプト基、
メチルスルフィニル基、メチルスルホニル基、アセチル
基、ベンゾイル基、Ｃ１ 〜Ｃ１８の直鎖状、分岐鎖
状、環状アルキル基、Ｃ１ 〜Ｃ１８の直鎖状、分岐鎖
状、環状アルコキシル基、Ｃ２ 〜Ｃ１８の直鎖状、分
岐鎖状、環状アルコキシカルボニル基から選ばれる基で
置換されたフェナシル基があげられ、さらに、フェナシ
ル基中のベンゼン環が、不飽和炭化水素基によって、Ｃ
１０〜Ｃ２２の縮合多環芳香族環を形成していても良い
構造があげられる。

【００１４】これら置換されたフェナシル基の具体例と
しては、ｏ−フルオロフェナシル基、ｍ−フルオロフェ
ナシル基、ｐ−フルオロフェナシル基、ｏ−クロロフェ
ナシル基、ｍ−クロロフェナシル基、ｐ−クロロフェナ
シル基、ｏ−ブロモフェナシル基、ｍ−ブロモフェナシ
ル基、ｐ−ブロモフェナシル基、ｏ−シアノフェナシル
基、ｍ−シアノフェナシル基、ｐ−シアノフェナシル
基、ｏ−ニトロフェナシル基、ｍ−ニトロフェナシル
基、ｐ−ニトロフェナシル基、２，４−ジフルオロフェ
ニルカルボニルメチル基、２、６−ジクロロフェニルカ
ルボニルメチル基、２、４、６−トリブロモフェニルカ
ルボニルメチル基、ペンタフルオロフェニルカルボニル
メチル基、ｐ−（トリフルオロメチル）フェナシル基、
３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニルカルボニ
ルメチル基、ｏ−ヒドロキシフェナシル基、ｍ−ヒドロ
キシフェナシル基、ｐ−ヒドロキシフェナシル基、ｏ−
メルカプトフェナシル基、ｍ−メルカプトフェナシル
基、ｐ−メルカプトフェナシル基、ｏ−メチルスルフィ
ニルフェナシル基、ｍ−メチルスルフィニルフェナシル
基、ｐ−メチルスルフィニルフェナシル基、ｏ−メチル
スルホニルフェナシル基、ｍ−メチルスルホニルフェナ
シル基、ｐ−メチルスルホニルフェナシル基、ｏ−アセ
チルフェナシル基、ｍ−アセチルフェナシル基、ｐ−ア
セチルフェナシル基、ｏ−ベンゾイルフェナシル基、ｍ
−ベンゾイルフェナシル基、ｐ−ベンゾイルフェナシル
基、ｏ−メチルフェナシル基、ｍ−メチルフェナシル
基、ｐ−メチルフェナシル基、ｐ−エチルフェナシル
基、ｐ−プロピルフェナシル基、ｐ−イソプロピルフェ
ナシル基、ｐ−ｔ−ブチルフェナシル基、ｐ−オクタデ
シルフェナシル基、ｐ−シクロヘキシルフェナシル基、
ｏ−メトキシフェナシル基、ｍ−メトキシフェナシル
基、ｐ−メトキシフェナシル基、ｐ−エトキシフェナシ
ル基、ｐ−プロポキシフェナシル基、ｐ−イソプロポキ
シフェナシル基、ｐ−ｔ−ブトキシフェナシル基、ｐ−
オクタデシルオキシフェナシル基、ｐ−シクロヘキサン
オキシフェナシル基、ｏ−メトキシカルボニルフェナシ
ル基、ｍ−メトキシカルボニルフェナシル基、ｐ−メト
キシカルボニルフェナシル基、ｐ−エトキシカルボニル
フェナシル基、ｐ−プロポキシカルボニルフェナシル
基、ｐ−イソプロポキシカルボニルフェナシル基、ｐ−
ｔ−ブトキシカルボニルフェナシル基、ｐ−オクタデシ
ルオキシカルボニルフェナシル基、ｐ−シクロヘキサン
オキシカルボニルフェナシル基、１−ナフトイルメチル
基、２−ナフトイルメチル基、９−アンスロイルメチル
基、１−ピレニルカルボニルメチル基、５−ナフタセニ
ルカルボニルメチル基、６−ペンタセニルカルボニルメ
チル基などがあげられる。

【００１５】また、置換基Ｒ１ における置換されたア
リル基とは、フッ素、ニトロ基、トリフルオロメチル
基、シアノ基、アセチル基、ベンゾイル基、Ｃ１ 〜Ｃ
１８の直鎖状、分岐鎖状、環状アルキル基、Ｃ２ 〜Ｃ
１８の直鎖状、分岐鎖状、環状アルコキシカルボニル
基、フェニル基から選ばれる基で置換されたアリル基が
あげられる。

【００１６】これら置換されたアリル基の具体例として
は、２，３，３−トリフルオロ−２−プロペニル基、
３，３−ジニトロ−２−プロペニル基、３，３−ビス
（トリフルオロメチル）−２−プロペニル基、３，３−
ジシアノ−２−プロペニル基、２−メチル−３，３−ジ
シアノ−２−プロペニル基、２−ヘキシル−３，３−ジ
シアノ−２−プロペニル基、２−オクタデシル−３，３
−ジシアノ−２−プロペニル基、２−イソプロピル−
３，３−ジシアノ−２−プロペニル基、２−ｔ−ブチル
−３，３−ジシアノ−２−プロペニル基、２−シクロヘ
キシル−３，３−ジシアノ−２−プロペニル基、２−ア
セチル−３，３−ジシアノ−２−プロペニル基、２−ベ
ンゾイル−３，３−ジシアノ−２−プロペニル基、２−
フェニル−３，３−ジシアノ−２−プロペニル基、３，
３−ビス（メトキシカルボニル）−２−プロペニル基、
２−メチル−３，３−ビス（メトキシカルボニル）−２
−プロペニル基、２−ヘキシル−３，３−ビス（メトキ
シカルボニル）−２−プロペニル基、２−オクタデシル
−３，３−ビス（メトキシカルボニル）−２−プロペニ
ル基、２−イソプロピル−３，３−ビス（メトキシカル
ボニル）−２−プロペニル基、２−ｔ−ブチル−３，３
−ビス（メトキシカルボニル）−２−プロペニル基、２
−シクロヘキシル−３，３−ビス（メトキシカルボニ
ル）−２−プロペニル基、２−アセチル−３，３−ビス
（メトキシカルボニル）−２−プロペニル基、２−ベン
ゾイル−３，３−ビス（メトキシカルボニル）−２−プ
ロペニル基、２−フェニル−３，３−ビス（メトキシカ
ルボニル）−２−プロペニル基、２−フェニル−３，３
−ビス（ヘキシルオキシカルボニル）−２−プロペニル
基、２−フェニル−３，３−ビス（オクタデシルオキシ
カルボニル）−２−プロペニル基、２−フェニル−３，
３−ビス（ｔ−ブトキシカルボニル）−２−プロペニル
基、２−フェニル−３，３−ビス（シクロヘキシルオキ
シカルボニル）−２−プロペニル基などががあげられ
る。

【００１７】また、置換基Ｒ１ におけるアルコキシル
基としては、Ｃ１ 〜Ｃ１８の直鎖状、分岐鎖状、環状
アルコキシル基があげられ、メトキシ基、エトキシ基、
プロポキシ基、ブトキシ基、オクチルオキシ基、オクタ
デカンオキシ基、イソプロポキシ基、ｔ−ブトキシ基、
シクロペンチルオキシ基、シクロヘキシルオキシ基等が
あげられる。

【００１８】また、置換基Ｒ１ における置換されたア
ルコキシル基とは、フッ素、塩素、臭素、シアノ基、ニ
トロ基、トリフルオロメチル基、水酸基から選ばれる基
で置換されたＣ１ 〜Ｃ１８の直鎖状、分岐鎖状アルコ
キシル基があげられ、フルオロメトキシ基、２−クロロ
エトキシ基、３−ブロモプロポキシ基、４−シアノブト
キシ基、８−ニトロオクチルオキシ基、１８−トリフル
オロメチルオクタデカンオキシ基、２−ヒドロキシイソ
プロポキシ基、トリクロロメトキシ基等があげられる。

【００１９】また、置換基Ｒ１ におけるアリールオキ
シ基とは、Ｃ６ 〜Ｃ１８の単環、縮合多環アリールオ
キシ基であり、フェノキシ基、１ーナフチルオキシ基、
２−ナフチルオキシ基、９−アンスリルオキシ基、９−
フェナントリルオキシ基、１−ピレニルオキシ基、５−
ナフタセニルオキシ基、１−インデニルオキシ基、２−
アズレニルオキシ基、１−アセナフチルオキシ基、９−
フルオレニルオキシ基、ｏ−トリルオキシ基、ｍ−トリ
ルオキシ基、ｐ−トリルオキシ基、２，３−キシリルオ
キシ基、２，５−キシリルオキシ基、メシチルオキシ
基、ｐ−クメニルオキシ基、ｐ−デシルフェノキシ基、
ｐ−シクロヘキシルフェノキシ基、４−フェニルフェノ
キシ基等があげられる。

【００２０】また、置換基Ｒ１ における置換されたア
リールオキシ基とは、フッ素、塩素、臭素、水酸基、カ
ルボキシル基、メルカプト基、シアノ基、ニトロ基、ア
ジド基から選ばれる基で置換されたＣ６ 〜Ｃ１８の単
環、縮合多環アリールオキシ基であり、ｏ−フルオロフ
ェノキシ基、ｍ−クロロフェノキシ基、ｐ−ブロモフェ
ノキシ基、ｐ−ヒドロキシフェノキシ基、ｍ−カルボキ
シフェノキシ基、ｏ−メルカプトフェノキシ基、ｐ−シ
アノフェノキシ基、ｍ−ニトロフェノキシ基、ｍ−アジ
ドフェノキシ基、２−クロロ−１−ナフチルオキシ基、
１０−シアノ−９−アンスリルオキシ基、１１−ニトロ
−５−ナフタセニルオキシ基等があげられる。

【００２１】以上述べた置換基Ｒ１ において、好まし
いものとしては、フッ素、シアノ基、ニトロ基、トリフ
ルオロメチル基、Ｃ１〜Ｃ４の直鎖状、分岐鎖状アシル
基、Ｃ２〜Ｃ５の直鎖状、分岐鎖状アルコキシカルボニ
ル基、ベンゾイル基、メチルスルフィニル基、メチルス
ルホニル基、ｐ−トシル基といった電子吸引性基で置換
されたベンジル基、フェナシル基、アリル基があげられ
る。そのような具体例としては、

【００２２】ｏ−シアノベンジル基、ｐ−シアノベンジ
ル基、ｏ−ニトロベンジル基、ｐ−ニトロベンジル基、
ペンタフルオロフェニルメチル基、３，５−ビス（トリ
フルオロメチル）フェニルメチル基、ｏ−アセチルベン
ジル基、ｐ−アセチルベンジル基、ｏ−メトキシカルボ
ニルベンジル基、ｐ−メトキシカルボニルベンジル基、
ｏ−ｔ−ブトキシカルボニルベンジル基、ｐ−ｔ−ブト
キシカルボニルベンジル基、ｏ−ベンゾイルベンジル
基、ｐ−ベンゾイルベンジル基、ｏ−メチルスルフィニ
ルベンジル基、ｐ−メチルスルフィニルベンジル基、ｏ
−メチルスルホニルベンジル基、ｐ−メチルスルホニル
ベンジル基、ｏ−（ｐ−トシル）ベンジル基、

【００２３】ｏ−シアノフェナシル基、ｐ−シアノフェ
ナシル基、ｏ−ニトロフェナシル基、ｐ−ニトロフェナ
シル基、ペンタフルオロベンゾイルメチル基、３，５−
ビス（トリフルオロメチル）ベンゾイルメチル基、ｏ−
アセチルフェナシル基、ｐ−アセチルフェナシル基、ｏ
−メトキシカルボニルフェナシル基、ｐ−メトキシカル
ボニルフェナシル基、ｏ−ｔ−ブトキシカルボニルフェ
ナシル基、ｐ−ｔ−ブトキシカルボニルフェナシル基、
ｏ−ベンゾイルフェナシル基、ｐ−ベンゾイルフェナシ
ル基、ｏ−メチルスルフィニルフェナシル基、ｐ−メチ
ルスルフィニルフェナシル基、ｏ−メチルスルホニルフ
ェナシル基、ｐ−メチルスルホニルフェナシル基、ｏ−
（ｐ−トシル）フェナシル基、ｐ−（ｐ−トシル）フェ
ナシル基、

【００２４】３，３−ジシアノ−２−プロペニル基、１
−メチル−３，３−ジシアノ−２−プロペニル基、２−
フェニル−３，３−ジシアノ−２−プロペニル基、３，
３−ビス（メトキシカルボニル）−２−プロペニル基、
２−フェニル−３，３−ビス（メトキシカルボニル）−
２−プロペニル基、シアノメトキシ基、アセチルメトキ
シ基、ベンゾイルメトキシ基、ｐ−シアノフェノキシ
基、ペンタフルオロフェニルメトキシ基があげられる。

【００２５】この理由として、これらベンジル基やフェ
ナシル基、アリル基、アルコキシル基、アリールオキシ
基中に、シアノ基、ニトロ基、フルオロ基、トリフルオ
ロメチル基、アセチル基、メトキシカルボニル基、ｔ−
ブトキシカルボニル基、ベンゾイル基、メチルスルフィ
ニル基、メチルスルホニル基、ｐ−トシル基などの電子
吸引性基を導入することにより、オニウムカチオンがエ
ネルギー線の作用で、電子を受けて、非可逆的な反応に
よる還元、分解をする際に、置換基Ｒ１ が脱離しやす
くなると共に、該オニウムカチオンの還元電位が高めら
れ、すなわち電子受容性が高められるものと考えられ
る。

【００２６】さらに、本発明の感エネルギー線酸発生剤
（Ａ）を構成する一般式（２）〜一般式（４）で表され
るオニウムカチオンにおける置換基Ｒ２、一般式（８）
で表されるオニウムカチオンにおける置換基Ｒ３、一般
式（９）で表されるオニウムカチオンにおける置換基Ｒ
４、一般式（５）〜一般式（８）で表されるオニウムカ
チオンにおける置換基Ｒにおいて、

【００２７】フッ素、塩素、臭素、水酸基、カルボキシ
ル基、メルカプト基、シアノ基、ニトロ基、アジド基で
置換されていても良いＣ１ 〜Ｃ１８の直鎖状、分岐鎖
状、環状アルキル基としては、メチル基、エチル基、プ
ロピル基、ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、オクチ
ル基、デシル基、ドデシル基、オクタデシル基、イソプ
ロピル基、イソブチル基、ｓｅｃ−ブチル基、ｔ−ブチ
ル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、４−デシ
ルシクロヘキシル基、フルオロメチル基、クロロメチル
基、ブロモメチル基、トリフルオロメチル基、トリクロ
ロメチル基、トリブロモメチル基、ヒドロキシメチル
基、カルボキシメチル基、メルカプトメチル基、シアノ
メチル基、ニトロメチル基、アジドメチル基等があげら
れる。

【００２８】また、本発明の感エネルギー線酸発生剤
（Ａ）を構成する一般式（２）〜一般式（４）で表され
るオニウムカチオンにおける置換基Ｒ２、一般式（５）
〜一般式（８）で表されるオニウムカチオンにおける置
換基Ｒ、一般式（１０）〜一般式（１３）で表されるオ
ニウムカチオンにおける置換基Ａｒにおいて、

【００２９】フッ素、塩素、臭素、水酸基、カルボキシ
ル基、メルカプト基、シアノ基、ニトロ基、アジド基で
置換されていても良いＣ６ 〜Ｃ１８の単環、縮合多環
アリール基としては、フェニル基、１−ナフチル基、２
−ナフチル基、９−アンスリル基、９−フェナントリル
基、１−ピレニル基、５−ナフタセニル基、１−インデ
ニル基、２−アズレニル基、１−アセナフチル基、９−
フルオレニル基、ｏ−トリル基、ｍ−トリル基、ｐ−ト
リル基、２，３−キシリル基、２，５−キシリル基、メ
シチル基、ｐ−クメニル基、ｐ−ドデシルフェニル基、
ｐ−シクロヘキシルフェニル基、４−ビフェニル基、ｏ
−フルオロフェニル基、ｍ−クロロフェニル基、ｐ−ブ
ロモフェニル基、ｐ−ヒドロキシフェニル基、ｍ−カル
ボキシフェニル基、ｏ−メルカプトフェニル基、ｐ−シ
アノフェニル基、ｍ−ニトロフェニル基、ｍ−アジドフ
ェニル基等があげられる。

【００３０】さらに、本発明の感エネルギー線酸発生剤
（Ａ）を構成する一般式（８）で表されるオニウムカチ
オンにおける置換基Ｒ３において、

【００３１】フッ素、塩素、臭素、水酸基、カルボキシ
ル基、メルカプト基、シアノ基、ニトロ基、アジド基で
置換されていても良いＣ１ 〜Ｃ１８の直鎖状、分岐鎖
状、環状アルキルチオ基としては、メチルチオ基、エチ
ルチオ基、プロピルチオ基、ブチルチオ基、ペンチルチ
オ基、ヘキシルチオ基、オクチルチオ基、デシルチオ
基、ドデシルチオ基、オクタデシルチオ基、イソプロピ
ルチオ基、イソブチルチオ基、ｓｅｃ−ブチルチオ基、
ｔ−ブチルチオ基、シクロペンチルチオ基、シクロヘキ
シルチオ基、４−デシルシクロヘキシルチオ基、フルオ
ロメチルチオ基、クロロメチルチオ基、ブロモメチルチ
オ基、トリフルオロメチルチオ基、トリクロロメチルチ
オ基、トリブロモメチルチオ基、ヒドロキシメチルチオ
基、カルボキシメチルチオ基、メルカプトメチルチオ
基、シアノメチルチオ基、ニトロメチルチオ基、アジド
メチルチオ基等があげられる。

【００３２】また、本発明の感エネルギー線酸発生剤
（Ａ）を構成する一般式（９）で表されるオニウムカチ
オンにおける置換基Ｒ４、一般式（５）〜一般式（８）
で表されるオニウムカチオンにおける置換基Ｒにおい
て、

【００３３】フッ素、塩素、臭素、水酸基、カルボキシ
ル基、メルカプト基、シアノ基、ニトロ基、アジド基で
置換されていても良いＣ１ 〜Ｃ１８の直鎖状、分岐鎖
状、環状アルコキシル基としては、メトキシ基、エトキ
シ基、プロポキシ基、ブトキシ基、オクチルオキシ基、
オクタデカンオキシ基、イソプロポキシ基、ｔ−ブトキ
シ基、シクロペンチルオキシ基、シクロヘキシルオキシ
基、フルオロメトキシ基、クロロメトキシ基、ブロモメ
トキシ基、トリフルオロメトキシ基、トリクロロメトキ
シ基、トリブロモメトキシ基、ヒドロキシメトキシ基、
カルボキシメトキシ基、メルカプトメトキシ基、シアノ
メトキシ基、ニトロメトキシ基、アジドメトキシ基等が
あげられる。

【００３４】さらに、本発明の感エネルギー線酸発生剤
（Ａ）を構成する一般式（５）〜一般式（８）で表され
るオニウムカチオンにおける置換基Ｒにおいて、

【００３５】フッ素、塩素、臭素、水酸基、カルボキシ
ル基、メルカプト基、シアノ基、ニトロ基、アジド基で
置換されていても良いＣ２ 〜Ｃ１８の直鎖状、分岐鎖
状、環状アルケニル基としては、ビニル基、１−プロペ
ニル基、２−プロペニル基、１−オクテニル基、１−オ
クタデセニル基、イソプロペニル基、１−シクロヘキセ
ニル基、トリフルオロエテニル基、１−クロロエテニル
基、２，２−ジブロモエテニル基、４−ヒドロキシ−１
−ブテニル基、１−カルボキシエテニル基、５−メルカ
プト−１−ヘキセニル基、１−シアノエテニル基、３−
ニトロ−１−プロペニル基、４−アジド−２−ブテニル
基等があげられる。

【００３６】フッ素、塩素、臭素、水酸基、カルボキシ
ル基、メルカプト基、シアノ基、ニトロ基、アジド基で
置換されていても良いＣ７ 〜Ｃ１８の単環、縮合多環
アリールアルキル基としては、ベンジル基、ｐ−トリル
メチル基、２−ナフチルメチル基、９−アンスリルメチ
ル基、４−（９−アンスリル）ブチル基、ｏ−フルオロ
ベンジル基、ｍ−クロロベンジル基、ｐ−ブロモベンジ
ル基、ｐ−ヒドロキシベンジル基、ｍ−カルボキシベン
ジル基、ｏ−メルカプトベンジル基、ｐ−シアノベンジ
ル基、ｍ−ニトロベンジル基、ｍ−アジドベンジル基等
があげられる。

【００３７】フッ素、塩素、臭素、水酸基、カルボキシ
ル基、メルカプト基、シアノ基、ニトロ基、アジド基で
置換されていても良いＣ６ 〜Ｃ１８の単環、縮合多環
アリールオキシ基としては、フェノキシ基、１ーナフチ
ルオキシ基、２−ナフチルオキシ基、９−アンスリルオ
キシ基、９−フェナントリルオキシ基、１−ピレニルオ
キシ基、５−ナフタセニルオキシ基、１−インデニルオ
キシ基、２−アズレニルオキシ基、１−アセナフチルオ
キシ基、９−フルオレニルオキシ基、ｏ−トリルオキシ
基、ｍ−トリルオキシ基、ｐ−トリルオキシ基、２，３
−キシリルオキシ基、２，５−キシリルオキシ基、メシ
チルオキシ基、ｐ−クメニルオキシ基、ｐ−デシルフェ
ノキシ基、ｐ−シクロヘキシルフェノキシ基、４−ビフ
ェノキシ基、ｏ−フルオロフェノキシ基、ｍ−クロロフ
ェノキシ基、ｐ−ブロモフェノキシ基、ｐ−ヒドロキシ
フェノキシ基、ｍ−カルボキシフェノキシ基、ｏ−メル
カプトフェノキシ基、ｐ−シアノフェノキシ基、ｍ−ニ
トロフェノキシ基、ｍ−アジドフェノキシ基等があげら
れる。

【００３８】フッ素、塩素、臭素、水酸基、カルボキシ
ル基、メルカプト基、シアノ基、ニトロ基、アジド基で
置換されていても良いＣ１ 〜Ｃ１８の直鎖状、分岐鎖
状、環状脂肪族もしくはＣ７ 〜Ｃ１９の単環、縮合多
環芳香族アシル基としては、ホルミル基、アセチル基、
ヘキサノイル基、ラウロイル基、パルミトイル基、ステ
アロイル基、イソブチリル基、イソバレリル基、ピバロ
イル基、シクロペンチルカルボニル基、シクロヘキシル
カルボニル基、ベンゾイル基、１−ナフトイル基、２−
ナフトイル基、９−アンスロイル基、５−ナフタセロイ
ル基、シンナモイル基、α−フルオロアセチル基、α−
クロロアセチル基、α−ブロモアセチル基、α−ヒドロ
キシアセチル基、α−カルボキシアセチル基、α−メル
カプトアセチル基、α−シアノアセチル基、α−ニトロ
アセチル基、α−アジドアセチル基等があげられる。

【００３９】フッ素、塩素、臭素、水酸基、カルボキシ
ル基、メルカプト基、シアノ基、ニトロ基、アジド基で
置換されていても良いＣ２ 〜Ｃ１９の直鎖状、分岐鎖
状、環状アルコキシカルボニル基としては、メトキシカ
ルボニル基、エトキシカルボニル基、プロポキシカルボ
ニル基、ブトキシカルボニル基、オクチルオキシカルボ
ニル基、オクタデカンオキシカルボニル基、イソプロポ
キシカルボニル基、ｔ−ブトキシカルボニル基、シクロ
ペンチルオキシカルボニル基、シクロヘキシルオキシカ
ルボニル基、フルオロメトキシカルボニル基、クロロメ
トキシカルボニル基、ブロモメトキシカルボニル基、ト
リフルオロメトキシカルボニル基、トリクロロメトキシ
カルボニル基、トリブロモメトキシカルボニル基、ヒド
ロキシメトキシカルボニル基、カルボキシメトキシカル
ボニル基、メルカプトメトキシカルボニル基、シアノメ
トキシカルボニル基、ニトロメトキシカルボニル基、ア
ジドメトキシカルボニル基等があげられる。

【００４０】フッ素、塩素、臭素、水酸基、カルボキシ
ル基、メルカプト基、シアノ基、ニトロ基、アジド基で
置換されていても良いＣ７ 〜Ｃ１９の単環、縮合多環
アリールオキシカルボニル基としては、フェノキシカル
ボニル基、１ーナフチルオキシカルボニル基、２−ナフ
チルオキシカルボニル基、９−アンスリルオキシカルボ
ニル基、９−フェナントリルオキシカルボニル基、１−
ピレニルオキシカルボニル基、５−ナフタセニルオキシ
カルボニル基、１−インデニルオキシカルボニル基、２
−アズレニルオキシカルボニル基、１−アセナフチルオ
キシカルボニル基、９−フルオレニルオキシカルボニル
基、ｏ−トリルオキシカルボニル基、ｍ−トリルオキシ
カルボニル基、ｐ−トリルオキシカルボニル基、２，３
−キシリルオキシカルボニル基、２，５−キシリルオキ
シカルボニル基、メシチルオキシカルボニル基、ｐ−ク
メニルオキシカルボニル基、ｐ−シクロヘキシルフェノ
キシカルボニル基、４−フェニルフェノキシカルボニル
基、ｏ−フルオロフェノキシカルボニル基、ｍ−クロロ
フェノキシカルボニル基、ｐ−ブロモフェノキシカルボ
ニル基、ｐ−ヒドロキシフェノキシカルボニル基、ｍ−
カルボキシフェノキシカルボニル基、ｏ−メルカプトフ
ェノキシカルボニル基、ｐ−シアノフェノキシカルボニ
ル基、ｍ−ニトロフェノキシカルボニル基、ｍ−アジド
フェノキシカルボニル基等があげられる。

【００４１】さらに隣接した、Ｒ同士、Ｒ２同士、Ａｒ
同士、もしくは、Ｒ１とＲ２、Ｒ１とＲＲ１とＲ３は、
互いに共有結合によって環構造を形成していてもよく、
このようなものとして例えば、メチレン基、エチレン
基、テトラメチレン基、ヘキサメチレン基等のアルキレ
ン基、エチレンジオキシ基、ジエチレンジオキシ基等の
エーテル基、エチレンジチオ基、ジエチレンジチオ基等
のチオエーテル基等があげられるが、本発明はこれらに
限定されるものではない。

【００４２】以下に、本発明の感エネルギー線酸発生剤
（Ａ）の一般式（２）〜一般式（１３）で表されるオニ
ウムカチオンの構造の具体例をあげる。

【００４３】一般式（２）に該当するオニウムカチオン
（スルホニウムカチオン）：

【００４４】ベンジルスルホニウムカチオンの例：ジメ
チル（ベンジル）スルホニウム、ジメチル（ｏ−フルオ
ロベンジル）スルホニウム、ジメチル（ｍ−クロロベン
ジル）スルホニウム、ジメチル（ｐ−ブロモベンジル）
スルホニウム、ジメチル（ｐ−シアノベンジル）スルホ
ニウム、ジメチル（ｍ−ニトロベンジル）スルホニウ
ム、ジメチル（２，４，６−トリブロモフェニルメチ
ル）スルホニウム、ジメチル（ペンタフルオロフェニル
メチル）スルホニウム、ジメチル（ｐ−（トリフルオロ
メチル）ベンジル）スルホニウム、ジメチル（ｐ−ヒド
ロキシベンジル）スルホニウム、ジメチル（ｐ−メルカ
プトベンジル）スルホニウム、ジメチル（ｐ−メチルス
ルフィニルベンジル）スルホニウム、ジメチル（ｐ−メ
チルスルホニルベンジル）スルホニウム、ジメチル（ｏ
−アセチルベンジル）スルホニウム、ジメチル（ｏ−ベ
ンゾイルベンジル）スルホニウム、ジメチル（ｐ−メチ
ルベンジル）スルホニウム、ジメチル（ｐ−イソプロピ
ルベンジル）スルホニウム、ジメチル（ｐ−オクタデシ
ルベンジル）スルホニウム、ジメチル（ｐ−シクロヘキ
シルベンジル）スルホニウム、ジメチル（ｐ−メトキシ
ベンジル）スルホニウム、ジメチル（ｏ−メトキシカル
ボニルベンジル）スルホニウム、ジメチル（ｐ−イソプ
ロポキシカルボニルベンジル）スルホニウム、ジメチル
（２−ナフチルメチル）スルホニウム、ジメチル（９−
アンスリルメチル）スルホニウム、ジエチル（ベンジ
ル）スルホニウム、メチルエチル（ベンジル）スルホニ
ウム、メチルフェニル（ベンジル）スルホニウム、ジフ
ェニル（ベンジル）スルホニウム、ジイソプロピル（ベ
ンジル）スルホニウムなど。

【００４５】フェナシルスルホニウムカチオンの例：ジ
メチル（フェナシル）スルホニウム、ジメチル（ｏ−フ
ルオロフェナシル）スルホニウム、ジメチル（ｍ−クロ
ロフェナシル）スルホニウム、ジメチル（ｐ−ブロモフ
ェナシル）スルホニウム、ジメチル（ｐ−シアノフェナ
シル）スルホニウム、ジメチル（ｍ−ニトロフェナシ
ル）スルホニウム、ジメチル（２，４，６−トリブロモ
フェニルメチル）スルホニウム、ジメチル（ｐ−（トリ
フルオロメチル）フェナシル）スルホニウム、ジメチル
（ｐ−ヒドロキシフェナシル）スルホニウム、ジメチル
（ｐ−メルカプトフェナシル）スルホニウム、ジメチル
（ｐ−メチルスルフィニルフェナシル）スルホニウム、
ジメチル（ｐ−メチルスルホニルフェナシル）スルホニ
ウム、ジメチル（ｏ−アセチルフェナシル）スルホニウ
ム、ジメチル（ｏ−ベンゾイルフェナシル）スルホニウ
ム、ジメチル（ｐ−メチルフェナシル）スルホニウム、
ジメチル（ｐ−イソプロピルフェナシル）スルホニウ
ム、ジメチル（ｐ−オクタデシルフェナシル）スルホニ
ウム、ジメチル（ｐ−シクロヘキシルフェナシル）スル
ホニウム、ジメチル（ｐ−メトキシフェナシル）スルホ
ニウム、ジメチル（ｏ−メトキシカルボニルフェナシ
ル）スルホニウム、ジメチル（ｐ−イソプロポキシカル
ボニルフェナシル）スルホニウム、ジメチル（２−ナフ
トイルメチル）スルホニウム、ジメチル（９−アンスロ
イルメチル）スルホニウム、ジエチル（フェナシル）ス
ルホニウム、メチルエチル（フェナシル）スルホニウ
ム、メチルフェニル（フェナシル）スルホニウム、ジフ
ェニル（フェナシル）スルホニウム、ジイソプロピル
（フェナシル）スルホニウム、テトラメチレン（フェナ
シル）スルホニウム、ペンタメチレン（フェナシル）ス
ルホニウム、ヘキサメチレン（フェナシル）スルホニウ
ム、エチレンジオキシ（フェナシル）スルホニウム、ジ
エチレンジオキシ（フェナシル）スルホニウム、エチレ
ンジチオ（フェナシル）スルホニウムなど。

【００４６】アリルスルホニウムカチオンの例：ジメチ
ル（アリル）スルホニウム、ジメチル（２，３，３−ト
リフルオロ−２−プロペニル）スルホニウム、ジメチル
（３，３−ジシアノ−２−プロペニル）スルホニウム、
ジメチル（２−メチル−３，３−ジシアノ−２−プロペ
ニル）スルホニウム、ジメチル（２−アセチル−３，３
−ジシアノ−２−プロペニル）スルホニウム、ジメチル
（２−ベンゾイル−３，３−ジシアノ−２−プロペニ
ル）スルホニウム、ジメチル（２−フェニル−３，３−
ジシアノ−２−プロペニル）スルホニウム、ジメチル
（３，３−ビス（メトキシカルボニル）−２−プロペニ
ル）スルホニウムなど。

【００４７】アルコキシスルホニウムカチオンの例：ジ
メチル（メトキシ）スルホニウム、ジメチル（エトキ
シ）スルホニウム、ジメチル（プロポキシ）スルホニウ
ム、ジメチル（ブトキシ）スルホニウム、ジメチル（オ
クチルオキシ）スルホニウム、ジメチル（オクタデカン
オキシ）スルホニウム、ジメチル（イソプロポキシ）ス
ルホニウム、ジメチル（ｔ−ブトキシ）スルホニウム、
ジメチル（シクロペンチルオキシ）スルホニウム、ジメ
チル（シクロヘキシルオキシ）スルホニウム、ジメチル
（フルオロメトキシ）スルホニウム、ジメチル（２−ク
ロロエトキシ）スルホニウム、ジメチル（３−ブロモプ
ロポキシ）スルホニウム、ジメチル（４−シアノブトキ
シ）スルホニウム、ジメチル（８−ニトロオクチルオキ
シ）スルホニウム、ジメチル（１８−トリフルオロメチ
ルオクタデカンオキシ）スルホニウム、ジメチル（２−
ヒドロキシイソプロポキシ）スルホニウム、ジメチル
（トリス（トリクロロメチル）メチル）スルホニウムな
ど。

【００４８】アリールオキシスルホニウムカチオンの
例：ジメチル（フェノキシ）スルホニウム、ジメチル
（１ーナフチルオキシ）スルホニウム、ジメチル（２−
ナフチルオキシ）スルホニウム、ジメチル（９−アンス
リルオキシ）スルホニウム、ジメチル（９−フェナント
リルオキシ）スルホニウム、ジメチル（ｐ−トリルオキ
シ）スルホニウム、ジメチル（２，３−キシリルオキ
シ）スルホニウム、ジメチル（ｏ−フルオロフェノキ
シ）スルホニウム、ジメチル（ｍ−クロロフェノキシ）
スルホニウム、ジメチル（ｐ−ブロモフェノキシ）スル
ホニウム、ジメチル（ｐ−ヒドロキシフェノキシ）スル
ホニウム、ジメチル（ｍ−カルボキシフェノキシ）スル
ホニウム、ジメチル（ｏ−メルカプトフェノキシ）スル
ホニウム、ジメチル（ｐ−シアノフェノキシ）スルホニ
ウム、ジメチル（ｍ−ニトロフェノキシ）スルホニウ
ム、ジメチル（ｍ−アジドフェノキシ）スルホニウム、
ジメチル（２−クロロ−１−ナフチルオキシ）スルホニ
ウム、ジメチル（１１−ニトロ−５−ナフタセニル）ス
ルホニウムなど。

【００４９】一般式（３）に該当するオニウムカチオン
（スルホキソニウムカチオン）：

【００５０】ベンジルスルホキソニウムカチオンの例：
ジメチル（ベンジル）スルホキソニウム、ジメチル（ｐ
−ブロモベンジル）スルホキソニウム、ジメチル（ｐ−
シアノベンジル）スルホキソニウム、ジメチル（ｍ−ニ
トロベンジル）スルホキソニウム、ジメチル（ペンタフ
ルオロフェニルメチル）スルホキソニウム、ジメチル
（ｐ−ヒドロキシベンジル）スルホキソニウム、ジメチ
ル（ｏ−アセチルベンジル）スルホキソニウム、ジメチ
ル（ｏ−ベンゾイルベンジル）スルホキソニウム、ジメ
チル（ｐ−イソプロピルベンジル）スルホキソニウム、
ジメチル（ｐ−メトキシベンジル）スルホキソニウム、
ジメチル（ｏ−メトキシカルボニルベンジル）スルホキ
ソニウム、ジメチル（２−ナフチルメチル）スルホキソ
ニウム、ジメチル（９−アンスリルメチル）スルホキソ
ニウム、ジエチル（ベンジル）スルホキソニウム、メチ
ルエチル（ベンジル）スルホキソニウム、メチルフェニ
ル（ベンジル）スルホキソニウム、ジフェニル（ベンジ
ル）スルホキソニウム、ジイソプロピル（ベンジル）ス
ルホキソニウムなど。

【００５１】フェナシルスルホキソニウムカチオンの
例：ジメチル（フェナシル）スルホキソニウム、ジメチ
ル（ｐ−ブロモフェナシル）スルホキソニウム、ジメチ
ル（ｐ−シアノフェナシル）スルホキソニウム、ジメチ
ル（ｍ−ニトロフェナシル）スルホキソニウム、ジメチ
ル（２、４、６−トリブロモフェニルメチル）スルホキ
ソニウム、ジメチル（ｐ−ヒドロキシフェナシル）スル
ホキソニウム、ジメチル（ｐ−メルカプトフェナシル）
スルホキソニウム、ジメチル（ｏ−ベンゾイルフェナシ
ル）スルホキソニウム、ジメチル（ｐ−メチルフェナシ
ル）スルホキソニウム、ジメチル（ｐ−メトキシフェナ
シル）スルホキソニウム、ジメチル（ｏ−メトキシカル
ボニルフェナシル）スルホキソニウム、ジメチル（２−
ナフチルメチル）スルホキソニウム、ジメチル（９−ア
ンスリルメチル）スルホキソニウム、ジエチル（フェナ
シル）スルホキソニウム、メチルエチル（フェナシル）
スルホキソニウム、メチルフェニル（フェナシル）スル
ホキソニウム、ジフェニル（フェナシル）スルホキソニ
ウム、ジイソプロピル（フェナシル）スルホキソニウ
ム、テトラメチレン（フェナシル）スルホキソニウムな
ど。

【００５２】アリルスルホキソニウムカチオンの例：ジ
メチル（アリル）スルホキソニウム、ジメチル（３，３
−ジシアノ−２−プロペニル）スルホキソニウム、ジメ
チル（２−ベンゾイル−３，３−ジシアノ−２−プロペ
ニル）スルホキソニウム、ジメチル（２−フェニル−
３，３−ジシアノ−２−プロペニル）スルホキソニウ
ム、ジメチル（３，３−ビス（メトキシカルボニル）−
２−プロペニル）スルホキソニウムなど。

【００５３】アルコキシスルホキソニウムカチオンの
例：ジメチル（エトキシ）スルホキソニウム、ジメチル
（プロポキシ）スルホキソニウム、ジメチル（オクチル
オキシ）スルホキソニウム、ジメチル（イソプロポキ
シ）スルホキソニウム、ジメチル（シクロヘキシルオキ
シ）スルホキソニウム、ジメチル（２−クロロエトキ
シ）スルホキソニウムなど。

【００５４】アリールオキシスルホキソニウムカチオン
の例：ジメチル（フェノキシ）スルホキソニウム、ジメ
チル（２−ナフチルオキシ）スルホキソニウム、ジメチ
ル（９−アンスリルオキシ）スルホキソニウム、ジメチ
ル（ｐ−トリルオキシ）スルホキソニウム、ジメチル
（ｍ−クロロフェノキシ）スルホキソニウム、ジメチル
（ｍ−カルボキシフェノキシ）スルホキソニウム、ジメ
チル（ｐ−シアノフェノキシ）スルホキソニウムなど。

【００５５】一般式（４）に該当するオニウムカチオン
（ホスホニウムカチオン）：

【００５６】ベンジルホスホニウムカチオンの例：トリ
メチルベンジルホスホニウム、トリエチルベンジルホス
ホニウム、トリフェニルベンジルホスホニウム、トリフ
ェニル（ｐ−フルオロベンジル）ホスホニウム、トリフ
ェニル（ｏ−クロロベンジル）ホスホニウム、トリフェ
ニル（ｍ−ブロモベンジル）ホスホニウム、トリフェニ
ル（ｐ−シアノベンジル）ホスホニウム、トリフェニル
（ｍ−ニトロベンジル）ホスホニウム、トリフェニル
（ｏ−ヒドロキシベンジル）ホスホニウム、トリフェニ
ル（ｏ−アセチルベンジル）ホスホニウム、トリフェニ
ル（ｍ−ベンゾイルベンジル）ホスホニウム、トリフェ
ニル（ｐ−メチルベンジル）ホスホニウム、トリフェニ
ル（ｐ−イソプロポキシベンジル）ホスホニウム、トリ
フェニル（ｏ−メトキシカルボニルベンジル）ホスホニ
ウム、トリフェニル（１−ナフチルメチル）ホスホニウ
ム、トリフェニル（９−アンスリルメチル）ホスホニウ
ムなど。

【００５７】フェナシルホスホニウムカチオンの例：ト
リメチルフェナシルホスホニウム、トリエチルフェナシ
ルホスホニウム、トリフェニルフェナシルホスホニウ
ム、トリフェニル（ｐ−フルオロフェナシル）ホスホニ
ウム、トリフェニル（ｏ−クロロフェナシル）ホスホニ
ウム、トリフェニル（ｍ−ブロモフェナシル）ホスホニ
ウム、トリフェニル（ｐ−シアノフェナシル）ホスホニ
ウム、トリフェニル（ｍ−ニトロフェナシル）ホスホニ
ウム、トリフェニル（ｏ−ヒドロキシフェナシル）ホス
ホニウム、トリフェニル（ｏ−アセチルフェナシル）ホ
スホニウム、トリフェニル（ｍ−ベンゾイルフェナシ
ル）ホスホニウム、トリフェニル（ｐ−メチルフェナシ
ル）ホスホニウム、トリフェニル（ｐ−イソプロポキシ
フェナシル）ホスホニウム、トリフェニル（ｏ−メトキ
シカルボニルフェナシル）ホスホニウム、トリフェニル
（１−ナフチロイルメチル）ホスホニウム、トリフェニ
ル（９−アンスロイルメチル）ホスホニウムなど。

【００５８】アリルホスホニウムカチオンの例：トリフ
ェニルアリルホスホニウム、トリフェニル（３，３−ジ
シアノ−２−プロペニル）ホスホニウム、トリフェニル
（２−ヘキシル−３，３−ジシアノ−２−プロペニル）
ホスホニウム、トリフェニル（２−アセチル−３，３−
ジシアノ−２−プロペニル）ホスホニウム、トリフェニ
ル（２−フェニル−３，３−ジシアノ−２−プロペニ
ル）ホスホニウムなど。

【００５９】アルコキシホスホニウムカチオンの例：ト
リフェニルメトキシホスホニウム、トリフェニルブトキ
シホスホニウム、トリフェニルオクタデシルオキシホス
ホニウム、トリフェニルイソプロポキシホスホニウム、
トリフェニル（２−クロロエトキシ）ホスホニウム、ト
リフェニル（４−シアノブトキシ）ホスホニウムなど。

【００６０】アリールオキシホスホニウムカチオンの
例：トリフェニルフェノキシホスホニウム、トリフェニ
ル（１−ナフチルオキシ）ホスホニウム、トリフェニル
（２−ナフチルオキシ）ホスホニウム、トリフェニル
（９−アンスリルオキシ）ホスホニウム、トリフェニル
（ｐ−トリルオキシ）ホスホニウム、トリフェニル
（２，３−キシリルオキシ）ホスホニウム、トリフェニ
ル（ｐ−ヒドロキシフェノキシ）ホスホニウム、トリフ
ェニル（ｍ−カルボキシフェノキシ）ホスホニウムな
ど。

【００６１】一般式（５）に該当するオニウムカチオン
（ピリジニウムカチオン）：

【００６２】ベンジルピリジニウムカチオンの例：Ｎ−
ベンジルピリジニウム、Ｎ−（ｏ−クロロベンジル）ピ
リジニウム、Ｎ−（ｍ−クロロベンジル）ピリジニウ
ム、Ｎ−（ｐ−シアノベンジル）ピリジニウム、Ｎ−
（ｏ−ニトロベンジル）ピリジニウム、Ｎ−（ｐ−アセ
チルベンジル）ピリジニウム、Ｎ−（ｐ−イソプロピル
ベンジル）ピリジニウム、Ｎ−（ｐ−オクタデシルオキ
シベンジル）ピリジニウム、Ｎ−（ｐ−メトキシカルボ
ニルベンジル）ピリジニウム、Ｎ−（９−アンスリルメ
チル）ピリジニウム、２−クロロ−１−ベンジルピリジ
ニウム、２−シアノ−１−ベンジルピリジニウム、２−
メチル−１−ベンジルピリジニウム、２−ビニル−１−
ベンジルピリジニウム、２−フェニル−１−ベンジルピ
リジニウム、１，２−ジベンジルピリジニウム、２−メ
トキシ−１−ベンジルピリジニウム、２−フェノキシ−
１−ベンジルピリジニウム、２−アセチル−１−ベンジ
ルピリジニウム、２−メトキシカルボニル−１−ベンジ
ルピリジニウム、３−フルオロ−１−ベンジルピリジニ
ウム、４−メチル−１−ベンジルピリジニウムなど。

【００６３】フェナシルピリジニウムカチオンの例：Ｎ
−フェナシルピリジニウム、Ｎ−（ｏ−クロロフェナシ
ル）ピリジニウム、Ｎ−（ｍ−クロロフェナシル）ピリ
ジニウム、Ｎ−（ｐ−シアノフェナシル）ピリジニウ
ム、Ｎ−（ｏ−ニトロフェナシル）ピリジニウム、Ｎ−
（ｐ−アセチルフェナシル）ピリジニウム、Ｎ−（ｐ−
イソプロピルフェナシル）ピリジニウム、Ｎ−（ｐ−オ
クタデシルオキシフェナシル）ピリジニウム、Ｎ−（ｐ
−メトキシカルボニルフェナシル）ピリジニウム、Ｎ−
（９−アンスロイルメチル）ピリジニウム、２−クロロ
−１−フェナシルピリジニウム、２−シアノ−１−フェ
ナシルピリジニウム、２−メチル−１−フェナシルピリ
ジニウム、２−ビニル−１−フェナシルピリジニウム、
２−フェニル−１−フェナシルピリジニウム、１，２−
ジフェナシルピリジニウム、２−メトキシ−１−フェナ
シルピリジニウム、２−フェノキシ−１−フェナシルピ
リジニウム、２−アセチル−１−フェナシルピリジニウ
ム、２−メトキシカルボニル−１−フェナシルピリジニ
ウム、３−フルオロ−１−フェナシルピリジニウム、４
−メチル−１−フェナシルピリジニウムなど。

【００６４】アリルピリジニウムカチオンの例：Ｎ−ア
リルピリジニウム、Ｎ−（２−メチル−３，３−ジシア
ノ−２−プロペニル）ピリジニウム、Ｎ−（２−イソプ
ロピル−３，３−ジシアノ−２−プロペニル）ピリジニ
ウム、Ｎ−（２−ベンゾイル−３，３−ジシアノ−２−
プロペニル）ピリジニウム、Ｎ−（２−ヘキシル−３，
３−ビス（メトキシカルボニル）−２−プロペニル）ピ
リジニウムなど。

【００６５】Ｎ−アルコキシピリジニウムカチオンの
例：Ｎ−メトキシピリジニウム、Ｎ−オクチルオキシピ
リジニウム、Ｎ−オクタデシルオキシピリジニウム、Ｎ
−イソプロポキシピリジニウム、Ｎ−シクロヘキシルオ
キシピリジニウム、１−エトキシ−２−メチルピリジニ
ウム、Ｎ−（２−クロロエトキシ）ピリジニウムなど。

【００６６】Ｎ−アリールオキシピリジニウムカチオン
の例：Ｎ−フェノキシピリジニウム、Ｎ−（２−ナフチ
ルオキシ）ピリジニウム、Ｎ−（９−アンスリルオキ
シ）ピリジニウム、Ｎ−（ｐ−トリルオキシ）ピリジニ
ウム、Ｎ−（２，３−キシリルオキシ）ピリジニウム、
Ｎ−（ｐ−ブロモフェノキシ）ピリジニウム、Ｎ−（ｐ
−ヒドロキシフェノキシ）ピリジニウムなど。

【００６７】一般式（６）に該当するオニウムカチオン
（キノリニウムカチオン）：

【００６８】ベンジルキノリニウムカチオンの例：Ｎ−
ベンジルキノリニウム、Ｎ−（ｏ−クロロベンジル）キ
ノリニウム、Ｎ−（ｍ−クロロベンジル）キノリニウ
ム、Ｎ−（ｐ−シアノベンジル）キノリニウム、Ｎ−
（ｏ−ニトロベンジル）キノリニウム、Ｎ−（ｐ−アセ
チルベンジル）キノリニウム、Ｎ−（ｐ−イソプロピル
ベンジル）キノリニウム、Ｎ−（ｐ−オクタデシルオキ
シベンジル）キノリニウム、Ｎ−（ｐ−メトキシカルボ
ニルベンジル）キノリニウム、Ｎ−（９−アンスリルメ
チル）キノリニウム、２−クロロ−１−ベンジルキノリ
ニウム、２−シアノ−１−ベンジルキノリニウム、２−
メチル−１−ベンジルキノリニウム、２−ビニル−１−
ベンジルキノリニウム、２−フェニル−１−ベンジルキ
ノリニウム、１，２−ジベンジルキノリニウム、２−メ
トキシ−１−ベンジルキノリニウム、２−フェノキシ−
１−ベンジルキノリニウム、２−アセチル−１−ベンジ
ルキノリニウム、２−メトキシカルボニル−１−ベンジ
ルキノリニウム、３−フルオロ−１−ベンジルキノリニ
ウム、４−メチル−１−ベンジルキノリニウムなど。

【００６９】フェナシルキノリニウムカチオンの例：Ｎ
−フェナシルキノリニウム、Ｎ−（ｏ−クロロフェナシ
ル）キノリニウム、Ｎ−（ｍ−クロロフェナシル）キノ
リニウム、Ｎ−（ｐ−シアノフェナシル）キノリニウ
ム、Ｎ−（ｏ−ニトロフェナシル）キノリニウム、Ｎ−
（ｐ−アセチルフェナシル）キノリニウム、Ｎ−（ｐ−
イソプロピルフェナシル）キノリニウム、Ｎ−（ｐ−オ
クタデシルオキシフェナシル）キノリニウム、Ｎ−（ｐ
−メトキシカルボニルフェナシル）キノリニウム、Ｎ−
（９−アンスロイルメチル）キノリニウム、２−クロロ
−１−フェナシルキノリニウム、２−シアノ−１−フェ
ナシルキノリニウム、２−メチル−１−フェナシルキノ
リニウム、２−ビニル−１−フェナシルキノリニウム、
２−フェニル−１−フェナシルキノリニウム、１，２−
ジフェナシルキノリニウム、２−メトキシ−１−フェナ
シルキノリニウム、２−フェノキシ−１−フェナシルキ
ノリニウム、２−アセチル−１−フェナシルキノリニウ
ム、２−メトキシカルボニル−１−フェナシルキノリニ
ウム、３−フルオロ−１−フェナシルキノリニウム、４
−メチル−１−フェナシルキノリニウムなど。

【００７０】アリルキノリニウムカチオンの例：Ｎ−ア
リルキノリニウム、Ｎ−（２−メチル−３，３−ジシア
ノ−２−プロペニル）キノリニウム、Ｎ−（２−イソプ
ロピル−３，３−ジシアノ−２−プロペニル）キノリニ
ウム、Ｎ−（２−ベンゾイル−３，３−ジシアノ−２−
プロペニル）キノリニウム、Ｎ−（２−ヘキシル−３，
３−ビス（メトキシカルボニル）−２−プロペニル）キ
ノリニウムなど。

【００７１】Ｎ−アルコキシキノリニウムカチオンの
例：Ｎ−メトキシキノリニウム、Ｎ−オクチルオキシキ
ノリニウム、Ｎ−オクタデシルオキシキノリニウム、Ｎ
−イソプロポキシキノリニウム、Ｎ−シクロヘキシルオ
キシキノリニウム、１−エトキシ−２−メチルキノリニ
ウム、Ｎ−（２−クロロエトキシ）キノリニウムなど。

【００７２】Ｎ−アリールオキシキノリニウムカチオン
の例：Ｎ−フェノキシキノリニウム、Ｎ−（２−ナフチ
ルオキシ）キノリニウム、Ｎ−（９−アンスリルオキ
シ）キノリニウム、Ｎ−（ｐ−トリルオキシ）キノリニ
ウム、Ｎ−（２，３−キシリルオキシ）キノリニウム、
Ｎ−（ｐ−ブロモフェノキシ）キノリニウム、Ｎ−（ｐ
−ヒドロキシフェノキシ）キノリニウムなど。

【００７３】一般式（７）に該当するオニウムカチオン
（イソキノリニウムカチオン）：

【００７４】ベンジルイソキノリニウムカチオンの例：
Ｎ−ベンジルイソキノリニウム、Ｎ−（ｏ−クロロベン
ジル）イソキノリニウム、Ｎ−（ｍ−クロロベンジル）
イソキノリニウム、Ｎ−（ｐ−シアノベンジル）イソキ
ノリニウム、Ｎ−（ｏ−ニトロベンジル）イソキノリニ
ウム、Ｎ−（ｐ−アセチルベンジル）イソキノリニウ
ム、Ｎ−（ｐ−イソプロピルベンジル）イソキノリニウ
ム、Ｎ−（ｐ−オクタデシルオキシベンジル）イソキノ
リニウム、Ｎ−（ｐ−メトキシカルボニルベンジル）イ
ソキノリニウム、Ｎ−（９−アンスリルメチル）イソキ
ノリニウム、１，２−ジベンジルイソキノリニウムな
ど。

【００７５】フェナシルイソキノリニウムカチオンの
例：Ｎ−フェナシルイソキノリニウム、Ｎ−（ｏ−クロ
ロフェナシル）イソキノリニウム、Ｎ−（ｍ−クロロフ
ェナシル）イソキノリニウム、Ｎ−（ｐ−シアノフェナ
シル）イソキノリニウム、Ｎ−（ｏ−ニトロフェナシ
ル）イソキノリニウム、Ｎ−（ｐ−アセチルフェナシ
ル）イソキノリニウム、Ｎ−（ｐ−イソプロピルフェナ
シル）イソキノリニウム、Ｎ−（ｐ−オクタデシルオキ
シフェナシル）イソキノリニウム、Ｎ−（ｐ−メトキシ
カルボニルフェナシル）イソキノリニウム、Ｎ−（９−
アンスロイルメチル）イソキノリニウムなど。

【００７６】アリルイソキノリニウムカチオンの例：Ｎ
−アリルイソキノリニウム、Ｎ−（２−メチル−３，３
−ジシアノ−２−プロペニル）イソキノリニウム、Ｎ−
（２−イソプロピル−３，３−ジシアノ−２−プロペニ
ル）イソキノリニウム、Ｎ−（２−ベンゾイル−３，３
−ジシアノ−２−プロペニル）イソキノリニウム、Ｎ−
（２−ヘキシル−３，３−ビス（メトキシカルボニル）
−２−プロペニル）イソキノリニウムなど。

【００７７】Ｎ−アルコキシイソキノリニウムカチオン
の例：Ｎ−メトキシイソキノリニウム、Ｎ−オクチルオ
キシイソキノリニウム、Ｎ−オクタデシルオキシイソキ
ノリニウム、Ｎ−イソプロポキシイソキノリニウム、Ｎ
−シクロヘキシルオキシイソキノリニウムなど。

【００７８】Ｎ−アリールオキシイソキノリニウムカチ
オンの例：Ｎ−フェノキシイソキノリニウム、Ｎ−（２
−ナフチルオキシ）イソキノリニウム、Ｎ−（９−アン
スリルオキシ）イソキノリニウム、Ｎ−（ｐ−トリルオ
キシ）イソキノリニウム、Ｎ−（２，３−キシリルオキ
シ）イソキノリニウム、Ｎ−（ｐ−ブロモフェノキシ）
イソキノリニウム、Ｎ−（ｐ−ヒドロキシフェノキシ）
イソキノリニウムなど。

【００７９】一般式（８）に該当するオニウムカチオン
（ベンゾオキサゾリウムカチオン、ベンゾチアゾリウム
カチオン）：

【００８０】ベンゾオキサゾリウムカチオンの例：Ｎ−
ベンジルベンゾオキサゾリウム、Ｎ−（ｐ−フルオロベ
ンジル）ベンゾオキサゾリウム、Ｎ−（ｐ−クロロベン
ジル）ベンゾオキサゾリウム、Ｎ−（ｐ−シアノベンジ
ル）ベンゾオキサゾリウム、Ｎ−（ｏ−メトキシカルボ
ニルベンジル）ベンゾオキサゾリウム、Ｎ−フェナシル
ベンゾオキサゾリウム、Ｎ−（ｏ−フルオロフェナシ
ル）ベンゾオキサゾリウム、Ｎ−（ｐ−シアノフェナシ
ル）ベンゾオキサゾリウム、Ｎ−（ｍ−ニトロフェナシ
ル）ベンゾオキサゾリウム、Ｎ−（ｐ−イソプロポキシ
カルボニルフェナシル）ベンゾオキサゾリウム、Ｎ−ア
リルベンゾオキサゾリウム、Ｎ−（２−メチル−３，３
−ジシアノ−２−プロペニル）ベンゾオキサゾリウム、
Ｎ−（２−ベンゾイル−３，３−ジシアノ−２−プロペ
ニル）ベンゾオキサゾリウム、Ｎ−（３，３−ビス（メ
トキシカルボニル）−２−プロペニル）ベンゾオキサゾ
リウム、Ｎ−メトキシベンゾオキサゾリウム、Ｎ−（ｔ
−ブトキシ）ベンゾオキサゾリウム、Ｎ−（３−ブロモ
プロポキシ）ベンゾオキサゾリウム、Ｎ−フェノキシベ
ンゾオキサゾリウム、Ｎ−（１−ナフチルオキシ）ベン
ゾオキサゾリウム、Ｎ−（ｍ−カルボキシフェノキシ）
ベンゾオキサゾリウム、２−メルカプト−３−ベンジル
ベンゾオキサゾリウム、２−メチル−３−ベンジルベン
ゾオキサゾリウム、２−メチルチオ−３−ベンジルベン
ゾオキサゾリウム、６−ヒドロキシ−３−ベンジルベン
ゾオキサゾリウム、７−メルカプト−３−ベンジルベン
ゾオキサゾリウム、４，５−ジフルオロ−３−ベンジル
ベンゾオキサゾリウムなど。

【００８１】ベンゾチアゾリウムカチオンの例：Ｎ−ベ
ンジルベンゾチアゾリウム、Ｎ−（ｐ−フルオロベンジ
ル）ベンゾチアゾリウム、Ｎ−（ｐ−クロロベンジル）
ベンゾチアゾリウム、Ｎ−（ｐ−シアノベンジル）ベン
ゾチアゾリウム、Ｎ−（ｏ−メトキシカルボニルベンジ
ル）ベンゾチアゾリウム、Ｎ−フェナシルベンゾチアゾ
リウム、Ｎ−（ｏ−フルオロフェナシル）ベンゾチアゾ
リウム、Ｎ−（ｐ−シアノフェナシル）ベンゾチアゾリ
ウム、Ｎ−（ｍ−ニトロフェナシル）ベンゾチアゾリウ
ム、Ｎ−（ｐ−イソプロポキシカルボニルフェナシル）
ベンゾチアゾリウム、Ｎ−アリルベンゾチアゾリウム、
Ｎ−（２−メチル−３，３−ジシアノ−２−プロペニ
ル）ベンゾチアゾリウム、Ｎ−（２−ベンゾイル−３，
３−ジシアノ−２−プロペニル）ベンゾチアゾリウム、
Ｎ−（３，３−ビス（メトキシカルボニル）−２−プロ
ペニル）ベンゾチアゾリウム、Ｎ−メトキシベンゾチア
ゾリウム、Ｎ−（ｔ−ブトキシ）ベンゾチアゾリウム、
Ｎ−（３−ブロモプロポキシ）ベンゾチアゾリウム、Ｎ
−フェノキシベンゾチアゾリウム、Ｎ−（１−ナフチル
オキシ）ベンゾチアゾリウム、Ｎ−（ｍ−カルボキシフ
ェノキシ）ベンゾチアゾリウム、２−メルカプト−３−
ベンジルベンゾチアゾリウム、２−メチル−３−ベンジ
ルベンゾチアゾリウム、２−メチルチオ−３−ベンジル
ベンゾチアゾリウム、６−ヒドロキシ−３−ベンジルベ
ンゾチアゾリウム、７−メルカプト−３−ベンジルベン
ゾチアゾリウム、４，５−ジフルオロ−３−ベンジルベ
ンゾチアゾリウムなど。

【００８２】一般式（９）に該当するオニウムカチオン
（フリルもしくはチエニルヨードニウムカチオン）：

【００８３】ジフリルヨードニウム、ジチエニルヨード
ニウム、ビス（４，５−ジメチル−２−フリル）ヨード
ニウム、ビス（５−クロロ−２−チエニル）ヨードニウ
ム、ビス（５−シアノ−２−フリル）ヨードニウム、ビ
ス（５−ニトロ−２−チエニル）ヨードニウム、ビス
（５−アセチル−２−フリル）ヨードニウム、ビス（５
−カルボキシ−２−チエニル）ヨードニウム、ビス（５
−メトキシカルボニル−２−フリル）ヨードニウム、ビ
ス（５−フェニル−２−フリル）ヨードニウム、ビス
（５−（ｐ−メトキシフェニル）−２−チエニル）ヨー
ドニウム、ビス（５−ビニル−２−フリル）ヨードニウ
ム、ビス（５−エチニル−２−チエニル）ヨードニウ
ム、ビス（５−シクロヘキシル−２−フリル）ヨードニ
ウム、ビス（５−ヒドロキシ−２−チエニル）ヨードニ
ウム、ビス（５−フェノキシ−２−フリル）ヨードニウ
ム、ビス（５−メルカプト−２−チエニル）ヨードニウ
ム、ビス（５−ブチルチオ−２−チエニル）ヨードニウ
ム、ビス（５−フェニルチオ−２−チエニル）ヨードニ
ウムなど。

【００８４】一般式（１０）に該当するオニウムカチオ
ン（ジアリールヨードニウムカチオン）：

【００８５】ジフェニルヨードニウム、ビス（ｐ−トリ
ル）ヨードニウム、ビス（ｐ−オクチルフェニル）ヨー
ドニウム、ビス（ｐ−オクタデシルフェニル）ヨードニ
ウム、ビス（ｐ−オクチルオキシフェニル）ヨードニウ
ム、ビス（ｐ−オクタデシルオキシフェニル）ヨードニ
ウム、フェニル（ｐ−オクタデシルオキシフェニル）ヨ
ードニウムなど。

【００８６】一般式（１１）に該当するオニウムカチオ
ン（トリアリールスルホニウムカチオン）：

【００８７】トリフェニルスルホニウム、トリス（ｐ−
トリル）スルホニウム、トリス（フェニル）スルホニウ
ム、トリス（２，６−ジメチルフェニル）スルホニウ
ム、トリス（ｐ−シアノフェニル）スルホニウム、トリ
ス（ｐ−クロロフェニル）スルホニウムなど。

【００８８】一般式（１２）に該当するオニウムカチオ
ン（トリアリールスルホキソニウムカチオン）：

【００８９】トリフェニルスルホキソニウム、トリス
（ｐ−トリル）スルホキソニウム、トリス（フェニル）
スルホキソニウム、トリス（２，６−ジメチルフェニ
ル）スルホキソニウム、トリス（ｐ−シアノフェニル）
スルホキソニウム、トリス（ｐ−クロロフェニル）スル
ホキソニウムなど。

【００９０】一方、本発明の感エネルギー線酸発生剤
（Ａ）を構成する一般式（１）で表されるボレートアニ
オンにおける置換基Ｚとしては、３，５−ジフルオロフ
ェニル基、２，４，６−トリフルオロフェニル基、２，
３，４，６−テトラフルオロフェニル基、ペンタフルオ
ロフェニル基、２，４−ビス（トリフルオロメチル）フ
ェニル基、３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニ
ル基、２，４，６−トリフルオロ−３，５−ビス（トリ
フルオロメチル）フェニル基、３，５−ジニトロフェニ
ル基、２，４，６−トリフルオロ−３，５−ジニトロフ
ェニル基、２，４−ジシアノフェニル基、４−シアノ−
３，５−ジニトロフェニル基、４−シアノ−２，６−ビ
ス（トリフルオロメチル）フェニル基等があげられる
が、本発明はこれらに限定されるものではない。

【００９１】したがって、本発明の感エネルギー線酸発
生剤（Ａ）のボレートアニオンの構造として、具体的に
は、ペンタフルオロフェニルトリフルオロボレート、
３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニルトリフル
オロボレート、ビス（ペンタフルオロフェニル）ジフル
オロボレート、ビス［３，５−ビス（トリフルオロメチ
ル）フェニル］ジフルオロボレート、トリス（ペンタフ
ルオロフェニル）フルオロボレート、トリス［３，５−
ビス（トリフルオロメチル）フェニル］フルオロボレー
ト、テトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、
テトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェ
ニル］ボレート等があげられる。

【００９２】この内、本発明の感エネルギー線酸発生剤
（Ａ）のボレートアニオンの構造として、好ましいもの
は、テトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレートお
よびテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）
フェニル］ボレートである。

【００９３】したがって、本発明の感エネルギー線酸発
生剤（Ａ）を構成する好ましいオニウムボレート錯体の
具体例としては、以下に掲げるものをあげることができ
るが、本発明は、なんらこれらに限定されるものではな
い。

【００９４】テトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボ
レートの例：

【００９５】ベンジルスルホニウムテトラキス（ペンタ
フルオロフェニル）ボレートの例：ジメチル（ベンジ
ル）スルホニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニ
ル）ボレート、ジメチル（ｐ−ブロモベンジル）スルホ
ニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレー
ト、ジメチル（ｐ−シアノベンジル）スルホニウムテト
ラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、ジメチル
（ｍ−ニトロベンジル）スルホニウムテトラキス（ペン
タフルオロフェニル）ボレート、ジメチル（ペンタフル
オロフェニルメチル）スルホニウムテトラキス（ペンタ
フルオロフェニル）ボレート、ジメチル（ｐ−（トリフ
ルオロメチル）ベンジル）スルホニウムテトラキス（ペ
ンタフルオロフェニル）ボレート、ジメチル（ｐ−メチ
ルスルホニルベンジル）スルホニウムテトラキス（ペン
タフルオロフェニル）ボレート、ジメチル（ｏ−アセチ
ルベンジル）スルホニウムテトラキス（ペンタフルオロ
フェニル）ボレート、ジメチル（ｏ−ベンゾイルベンジ
ル）スルホニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニ
ル）ボレート、ジメチル（ｐ−イソプロピルベンジル）
スルホニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボ
レート、ジメチル（ｐ−メトキシベンジル）スルホニウ
ムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、ジ
メチル（２−ナフチルメチル）スルホニウムテトラキス
（ペンタフルオロフェニル）ボレート、ジメチル（９−
アンスリルメチル）スルホニウムテトラキス（ペンタフ
ルオロフェニル）ボレート、ジエチル（ベンジル）スル
ホニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレー
ト、メチルエチル（ベンジル）スルホニウムテトラキス
（ペンタフルオロフェニル）ボレート、メチルフェニル
（ベンジル）スルホニウムテトラキス（ペンタフルオロ
フェニル）ボレート、ジフェニル（ベンジル）スルホニ
ウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレートな
ど。

【００９６】フェナシルスルホニウムテトラキス（ペン
タフルオロフェニル）ボレートの例：ジメチル（フェナ
シル）スルホニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニ
ル）ボレート、ジメチル（ｐ−シアノフェナシル）スル
ホニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレー
ト、ジメチル（ｍ−ニトロフェナシル）スルホニウムテ
トラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、ジメチ
ル（ｐ−（トリフルオロメチル）フェナシル）スルホニ
ウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、
ジメチル（ｐ−メチルスルホニルフェナシル）スルホニ
ウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、
ジメチル（ｏ−アセチルフェナシル）スルホニウムテト
ラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、ジメチル
（ｏ−ベンゾイルフェナシル）スルホニウムテトラキス
（ペンタフルオロフェニル）ボレート、ジメチル（ｐ−
イソプロピルフェナシル）スルホニウムテトラキス（ペ
ンタフルオロフェニル）ボレート、ジメチル（ｐ−イソ
プロポキシカルボニルフェナシル）スルホニウムテトラ
キス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、ジメチル
（２−ナフトイルメチル）スルホニウムテトラキス（ペ
ンタフルオロフェニル）ボレート、ジメチル（９−アン
スロイルメチル）スルホニウムテトラキス（ペンタフル
オロフェニル）ボレート、ジエチル（フェナシル）スル
ホニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレー
ト、メチルエチル（フェナシル）スルホニウムテトラキ
ス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、メチルフェニ
ル（フェナシル）スルホニウムテトラキス（ペンタフル
オロフェニル）ボレート、ジフェニル（フェナシル）ス
ルホニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレ
ート、テトラメチレン（フェナシル）スルホニウムテト
ラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレートなど。

【００９７】アリルスルホニウムテトラキス（ペンタフ
ルオロフェニル）ボレートの例：ジメチル（アリル）ス
ルホニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレ
ート、ジメチル（３，３−ジシアノ−２−プロペニル）
スルホニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボ
レート、ジメチル（２−メチル−３，３−ジシアノ−２
−プロペニル）スルホニウムテトラキス（ペンタフルオ
ロフェニル）ボレート、ジメチル（２−ベンゾイル−
３，３−ジシアノ−２−プロペニル）スルホニウムテト
ラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、ジメチル
（３，３−ビス（メトキシカルボニル）−２−プロペニ
ル）スルホニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニ
ル）ボレートなど。

【００９８】アルコキシスルホニウムテトラキス（ペン
タフルオロフェニル）ボレートの例：ジメチル（メトキ
シ）スルホニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニ
ル）ボレート、ジメチル（エトキシ）スルホニウムテト
ラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、ジメチル
（ブトキシ）スルホニウムテトラキス（ペンタフルオロ
フェニル）ボレート、ジメチル（イソプロポキシ）スル
ホニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレー
ト、ジメチル（４−シアノブトキシ）スルホニウムテト
ラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレートなど。

【００９９】アリールオキシスルホニウムテトラキス
（ペンタフルオロフェニル）ボレートの例：ジメチル
（フェノキシ）スルホニウムテトラキス（ペンタフルオ
ロフェニル）ボレート、ジメチル（１ーナフチルオキ
シ）スルホニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニ
ル）ボレート、ジメチル（２−ナフチルオキシ）スルホ
ニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレー
ト、ジメチル（９−アンスリルオキシ）スルホニウムテ
トラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、ジメチ
ル（ｐ−トリルオキシ）スルホニウムテトラキス（ペン
タフルオロフェニル）ボレート、ジメチル（ｐ−ブロモ
フェノキシ）スルホニウムテトラキス（ペンタフルオロ
フェニル）ボレートなど。

【０１００】ベンジルスルホキソニウムテトラキス（ペ
ンタフルオロフェニル）ボレートの例：ジメチル（ベン
ジル）スルホキソニウムテトラキス（ペンタフルオロフ
ェニル）ボレート、ジメチル（ｐ−ブロモベンジル）ス
ルホキソニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）
ボレート、ジメチル（ｐ−シアノベンジル）スルホキソ
ニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレー
ト、ジメチル（ｍ−ニトロベンジル）スルホキソニウム
テトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、ジメ
チル（ペンタフルオロフェニルメチル）スルホキソニウ
ムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、ジ
メチル（ｐ−（トリフルオロメチル）ベンジル）スルホ
キソニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレ
ート、ジメチル（ｐ−メチルスルホニルベンジル）スル
ホキソニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボ
レート、ジメチル（ｏ−アセチルベンジル）スルホキソ
ニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレー
ト、ジメチル（ｏ−ベンゾイルベンジル）スルホキソニ
ウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、
ジメチル（ｐ−イソプロピルベンジル）スルホキソニウ
ムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、ジ
メチル（ｐ−メトキシベンジル）スルホキソニウムテト
ラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、ジメチル
（２−ナフチルメチル）スルホキソニウムテトラキス
（ペンタフルオロフェニル）ボレート、ジメチル（９−
アンスリルメチル）スルホキソニウムテトラキス（ペン
タフルオロフェニル）ボレート、ジエチル（ベンジル）
スルホキソニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニ
ル）ボレート、メチルエチル（ベンジル）スルホキソニ
ウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、
メチルフェニル（ベンジル）スルホキソニウムテトラキ
ス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、ジフェニル
（ベンジル）スルホキソニウムテトラキス（ペンタフル
オロフェニル）ボレートなど。

【０１０１】フェナシルスルホキソニウムテトラキス
（ペンタフルオロフェニル）ボレートの例：ジメチル
（フェナシル）スルホキソニウムテトラキス（ペンタフ
ルオロフェニル）ボレート、ジメチル（ｐ−シアノフェ
ナシル）スルホキソニウムテトラキス（ペンタフルオロ
フェニル）ボレート、ジメチル（ｍ−ニトロフェナシ
ル）スルホキソニウムテトラキス（ペンタフルオロフェ
ニル）ボレート、ジメチル（ｐ−（トリフルオロメチ
ル）フェナシル）スルホキソニウムテトラキス（ペンタ
フルオロフェニル）ボレート、ジメチル（ｐ−メチルス
ルホニルフェナシル）スルホキソニウムテトラキス（ペ
ンタフルオロフェニル）ボレート、ジメチル（ｏ−アセ
チルフェナシル）スルホキソニウムテトラキス（ペンタ
フルオロフェニル）ボレート、ジメチル（ｏ−ベンゾイ
ルフェナシル）スルホキソニウムテトラキス（ペンタフ
ルオロフェニル）ボレート、ジメチル（ｐ−イソプロピ
ルフェナシル）スルホキソニウムテトラキス（ペンタフ
ルオロフェニル）ボレート、ジメチル（ｐ−イソプロポ
キシカルボニルフェナシル）スルホキソニウムテトラキ
ス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、ジメチル（２
−ナフトイルメチル）スルホキソニウムテトラキス（ペ
ンタフルオロフェニル）ボレート、ジメチル（９−アン
スロイルメチル）スルホキソニウムテトラキス（ペンタ
フルオロフェニル）ボレート、ジエチル（フェナシル）
スルホキソニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニ
ル）ボレート、メチルエチル（フェナシル）スルホキソ
ニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレー
ト、メチルフェニル（フェナシル）スルホキソニウムテ
トラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、ジフェ
ニル（フェナシル）スルホキソニウムテトラキス（ペン
タフルオロフェニル）ボレート、テトラメチレン（フェ
ナシル）スルホキソニウムテトラキス（ペンタフルオロ
フェニル）ボレートなど。

【０１０２】アリルスルホキソニウムテトラキス（ペン
タフルオロフェニル）ボレートの例：ジメチル（アリ
ル）スルホキソニウムテトラキス（ペンタフルオロフェ
ニル）ボレート、ジメチル（３，３−ジシアノ−２−プ
ロペニル）スルホキソニウムテトラキス（ペンタフルオ
ロフェニル）ボレート、ジメチル（２−メチル−３，３
−ジシアノ−２−プロペニル）スルホキソニウムテトラ
キス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、ジメチル
（２−ベンゾイル−３，３−ジシアノ−２−プロペニ
ル）スルホキソニウムテトラキス（ペンタフルオロフェ
ニル）ボレート、ジメチル（３，３−ビス（メトキシカ
ルボニル）−２−プロペニル）スルホキソニウムテトラ
キス（ペンタフルオロフェニル）ボレートなど。

【０１０３】アルコキシスルホキソニウムテトラキス
（ペンタフルオロフェニル）ボレートの例：ジメチル
（メトキシ）スルホキソニウムテトラキス（ペンタフル
オロフェニル）ボレート、ジメチル（エトキシ）スルホ
キソニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレ
ート、ジメチル（ブトキシ）スルホキソニウムテトラキ
ス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、ジメチル（イ
ソプロポキシ）スルホキソニウムテトラキス（ペンタフ
ルオロフェニル）ボレート、ジメチル（４−シアノブト
キシ）スルホキソニウムテトラキス（ペンタフルオロフ
ェニル）ボレートなど。

【０１０４】アリールオキシスルホキソニウムテトラキ
ス（ペンタフルオロフェニル）ボレートの例：ジメチル
（フェノキシ）スルホキソニウムテトラキス（ペンタフ
ルオロフェニル）ボレート、ジメチル（１ーナフチルオ
キシ）スルホキソニウムテトラキス（ペンタフルオロフ
ェニル）ボレート、ジメチル（２−ナフチルオキシ）ス
ルホキソニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）
ボレート、ジメチル（９−アンスリルオキシ）スルホキ
ソニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレー
ト、ジメチル（ｐ−トリルオキシ）スルホキソニウムテ
トラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、ジメチ
ル（ｐ−ブロモフェノキシ）スルホキソニウムテトラキ
ス（ペンタフルオロフェニル）ボレートなど。

【０１０５】ベンジルホスホニウムテトラキス（ペンタ
フルオロフェニル）ボレートの例：トリメチルベンジル
ホスホニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボ
レート、トリエチルベンジルホスホニウムテトラキス
（ペンタフルオロフェニル）ボレート、トリフェニルベ
ンジルホスホニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニ
ル）ボレート、トリフェニル（ｐ−シアノベンジル）ホ
スホニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレ
ート、トリフェニル（ｍ−ニトロベンジル）ホスホニウ
ムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、ト
リフェニル（１−ナフチルメチル）ホスホニウムテトラ
キス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、トリフェニ
ル（９−アンスリルメチル）ホスホニウムテトラキス
（ペンタフルオロフェニル）ボレートなど。

【０１０６】フェナシルホスホニウムテトラキス（ペン
タフルオロフェニル）ボレートの例：トリエチルフェナ
シルホスホニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニ
ル）ボレート、トリフェニルフェナシルホスホニウムテ
トラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、トリフ
ェニル（ｐ−シアノフェナシル）ホスホニウムテトラキ
ス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、トリフェニル
（ｍ−ニトロフェナシル）ホスホニウムテトラキス（ペ
ンタフルオロフェニル）ボレート、トリフェニル（１−
ナフタロイルメチル）ホスホニウムテトラキス（ペンタ
フルオロフェニル）ボレート、トリフェニル（９−アン
スロイルメチル）ホスホニウムテトラキス（ペンタフル
オロフェニル）ボレートなど。

【０１０７】アリルホスホニウムテトラキス（ペンタフ
ルオロフェニル）ボレートの例：トリフェニルアリルホ
スホニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレ
ート、トリフェニル（３，３−ジシアノ−２−プロペニ
ル）ホスホニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニ
ル）ボレート、トリフェニル（２−フェニル−３，３−
ジシアノ−２−プロペニル）ホスホニウムテトラキス
（ペンタフルオロフェニル）ボレートなど。

【０１０８】アルコキシホスホニウムテトラキス（ペン
タフルオロフェニル）ボレートの例：トリフェニルメト
キシホスホニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニ
ル）ボレート、トリフェニルイソプロポキシホスホニウ
ムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、ト
リフェニル（２−クロロエトキシ）ホスホニウムテトラ
キス（ペンタフルオロフェニル）ボレートなど。

【０１０９】アリールオキシホスホニウムテトラキス
（ペンタフルオロフェニル）ボレートの例：トリフェニ
ルフェノキシホスホニウムテトラキス（ペンタフルオロ
フェニル）ボレート、トリフェニル（９−アンスリルオ
キシ）ホスホニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニ
ル）ボレート、トリフェニル（ｐ−トリルオキシ）ホス
ホニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレー
ト、トリフェニル（ｐ−ヒドロキシフェノキシ）ホスホ
ニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート
など。

【０１１０】ベンジルピリジニウムテトラキス（ペンタ
フルオロフェニル）ボレートの例：Ｎ−ベンジルピリジ
ニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレー
ト、Ｎ−（ｐ−シアノベンジル）ピリジニウムテトラキ
ス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、Ｎ−（ｏ−ニ
トロベンジル）ピリジニウムテトラキス（ペンタフルオ
ロフェニル）ボレート、Ｎ−（ｐ−アセチルベンジル）
ピリジニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボ
レート、Ｎ−（９−アンスリルメチル）ピリジニウムテ
トラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、４−シ
アノ−１−ベンジルピリジニウムテトラキス（ペンタフ
ルオロフェニル）ボレートなど。

【０１１１】フェナシルピリジニウムテトラキス（ペン
タフルオロフェニル）ボレートの例：Ｎ−フェナシルピ
リジニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレ
ート、Ｎ−（ｐ−シアノフェナシル）ピリジニウムテト
ラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、Ｎ−（ｏ
−ニトロフェナシル）ピリジニウムテトラキス（ペンタ
フルオロフェニル）ボレート、Ｎ−（ｐ−アセチルフェ
ナシル）ピリジニウムテトラキス（ペンタフルオロフェ
ニル）ボレート、Ｎ−（９−アンスロイルメチル）ピリ
ジニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレー
ト、２−シアノ−１−フェナシルピリジニウムテトラキ
ス（ペンタフルオロフェニル）ボレートなど。

【０１１２】アリルピリジニウムテトラキス（ペンタフ
ルオロフェニル）ボレートの例：Ｎ−アリルピリジニウ
ムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、Ｎ
−（２−イソプロピル−３，３−ジシアノ−２−プロペ
ニル）ピリジニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニ
ル）ボレート、Ｎ−（２−ベンゾイル−３，３−ジシア
ノ−２−プロペニル）ピリジニウムテトラキス（ペンタ
フルオロフェニル）ボレートなど。

【０１１３】Ｎ−アルコキシピリジニウムテトラキス
（ペンタフルオロフェニル）ボレートの例：Ｎ−メトキ
シピリジニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）
ボレート、１−エトキシ−２−メチルピリジニウムテト
ラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、Ｎ−（２
−クロロエトキシ）ピリジニウムテトラキス（ペンタフ
ルオロフェニル）ボレートなど。

【０１１４】Ｎ−アリールオキシピリジニウムテトラキ
ス（ペンタフルオロフェニル）ボレートの例：Ｎ−フェ
ノキシピリジニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニ
ル）ボレート、Ｎ−（９−アンスリルオキシ）ピリジニ
ウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、
Ｎ−（ｐ−トリルオキシ）ピリジニウムテトラキス（ペ
ンタフルオロフェニル）ボレートなど。

【０１１５】ベンジルキノリニウムテトラキス（ペンタ
フルオロフェニル）ボレートの例：Ｎ−ベンジルキノリ
ニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレー
ト、Ｎ−（ｐ−シアノベンジル）キノリニウムテトラキ
ス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、Ｎ−（ｏ−ニ
トロベンジル）キノリニウムテトラキス（ペンタフルオ
ロフェニル）ボレート、Ｎ−（ｐ−アセチルベンジル）
キノリニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボ
レート、Ｎ−（９−アンスリルメチル）キノリニウムテ
トラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、２−シ
アノ−１−ベンジルキノリニウムテトラキス（ペンタフ
ルオロフェニル）ボレートなど。

【０１１６】フェナシルキノリニウムテトラキス（ペン
タフルオロフェニル）ボレートの例：Ｎ−フェナシルキ
ノリニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレ
ート、Ｎ−（ｐ−シアノフェナシル）キノリニウムテト
ラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、Ｎ−（ｏ
−ニトロフェナシル）キノリニウムテトラキス（ペンタ
フルオロフェニル）ボレート、Ｎ−（ｐ−イソプロピル
フェナシル）キノリニウムテトラキス（ペンタフルオロ
フェニル）ボレート、Ｎ−（ｐ−メトキシカルボニルフ
ェナシル）キノリニウムテトラキス（ペンタフルオロフ
ェニル）ボレート、Ｎ−（９−アンスロイルメチル）キ
ノリニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレ
ート、２−シアノ−１−フェナシルキノリニウムテトラ
キス（ペンタフルオロフェニル）ボレートなど。

【０１１７】アリルキノリニウムテトラキス（ペンタフ
ルオロフェニル）ボレートの例：Ｎ−アリルキノリニウ
ムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、Ｎ
−（２−ベンゾイル−３，３−ジシアノ−２−プロペニ
ル）キノリニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニ
ル）ボレート、Ｎ−（２−ヘキシル−３，３−ビス（メ
トキシカルボニル）−２−プロペニル）キノリニウムテ
トラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレートなど。

【０１１８】Ｎ−アルコキシキノリニウムテトラキス
（ペンタフルオロフェニル）ボレートの例：Ｎ−メトキ
シキノリニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）
ボレート、Ｎ−イソプロポキシキノリニウムテトラキス
（ペンタフルオロフェニル）ボレート、１−エトキシ−
２−メチルキノリニウムテトラキス（ペンタフルオロフ
ェニル）ボレート、Ｎ−（２−クロロエトキシ）キノリ
ニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート
など。

【０１１９】Ｎ−アリールオキシキノリニウムテトラキ
ス（ペンタフルオロフェニル）ボレートの例：Ｎ−フェ
ノキシキノリニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニ
ル）ボレート、Ｎ−（２−ナフチルオキシ）キノリニウ
ムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、Ｎ
−（９−アンスリルオキシ）キノリニウムテトラキス
（ペンタフルオロフェニル）ボレート、Ｎ−（ｐ−トリ
ルオキシ）キノリニウムテトラキス（ペンタフルオロフ
ェニル）ボレート、Ｎ−（ｐ−ブロモフェノキシ）キノ
リニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレー
トなど。

【０１２０】ベンジルイソキノリニウムテトラキス（ペ
ンタフルオロフェニル）ボレートの例：Ｎ−ベンジルイ
ソキノリニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）
ボレート、Ｎ−（ｐ−シアノベンジル）イソキノリニウ
ムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、Ｎ
−（ｏ−ニトロベンジル）イソキノリニウムテトラキス
（ペンタフルオロフェニル）ボレート、Ｎ−（９−アン
スリルメチル）イソキノリニウムテトラキス（ペンタフ
ルオロフェニル）ボレート、１，２−ジベンジルイソキ
ノリニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレ
ートなど。

【０１２１】フェナシルイソキノリニウムテトラキス
（ペンタフルオロフェニル）ボレートの例：Ｎ−フェナ
シルイソキノリニウムテトラキス（ペンタフルオロフェ
ニル）ボレート、Ｎ−（ｐ−シアノフェナシル）イソキ
ノリニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレ
ート、Ｎ−（ｐ−アセチルフェナシル）イソキノリニウ
ムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、Ｎ
−（ｐ−メトキシカルボニルフェナシル）イソキノリニ
ウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、
Ｎ−（９−アンスロイルメチル）イソキノリニウムテト
ラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレートなど。

【０１２２】アリルイソキノリニウムテトラキス（ペン
タフルオロフェニル）ボレートの例：Ｎ−アリルイソキ
ノリニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレ
ート、Ｎ−（２−イソプロピル−３，３−ジシアノ−２
−プロペニル）イソキノリニウムテトラキス（ペンタフ
ルオロフェニル）ボレート、Ｎ−（２−ベンゾイル−
３，３−ジシアノ−２−プロペニル）イソキノリニウム
テトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレートなど。

【０１２３】Ｎ−アルコキシイソキノリニウムテトラキ
ス（ペンタフルオロフェニル）ボレートの例：Ｎ−メト
キシイソキノリニウムテトラキス（ペンタフルオロフェ
ニル）ボレート、Ｎ−オクタデシルオキシイソキノリニ
ウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、
Ｎ−イソプロポキシイソキノリニウムテトラキス（ペン
タフルオロフェニル）ボレートなど。

【０１２４】Ｎ−アリールオキシイソキノリニウムテト
ラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレートの例：Ｎ−
フェノキシイソキノリニウムテトラキス（ペンタフルオ
ロフェニル）ボレート、Ｎ−（９−アンスリルオキシ）
イソキノリニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニ
ル）ボレート、Ｎ−（ｐ−トリルオキシ）イソキノリニ
ウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、
Ｎ−（ｐ−ヒドロキシフェノキシ）イソキノリニウムテ
トラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレートなど。

【０１２５】ベンゾオキサゾリウムテトラキス（ペンタ
フルオロフェニル）ボレートの例：Ｎ−ベンジルベンゾ
オキサゾリウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）
ボレート、Ｎ−（ｐ−シアノベンジル）ベンゾオキサゾ
リウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレー
ト、Ｎ−フェナシルベンゾオキサゾリウムテトラキス
（ペンタフルオロフェニル）ボレート、Ｎ−（ｐ−シア
ノフェナシル）ベンゾオキサゾリウムテトラキス（ペン
タフルオロフェニル）ボレート、Ｎ−アリルベンゾオキ
サゾリウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレ
ート、Ｎ−（２−メチル−３，３−ジシアノ−２−プロ
ペニル）ベンゾオキサゾリウムテトラキス（ペンタフル
オロフェニル）ボレート、Ｎ−メトキシベンゾオキサゾ
リウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレー
ト、Ｎ−（３−ブロモプロポキシ）ベンゾオキサゾリウ
ムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、Ｎ
−フェノキシベンゾオキサゾリウムテトラキス（ペンタ
フルオロフェニル）ボレート、Ｎ−（１−ナフチルオキ
シ）ベンゾオキサゾリウムテトラキス（ペンタフルオロ
フェニル）ボレート、２−メルカプト−３−ベンジルベ
ンゾオキサゾリウムテトラキス（ペンタフルオロフェニ
ル）ボレート、２−メチルチオ−３−ベンジルベンゾオ
キサゾリウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボ
レートなど。

【０１２６】ベンゾチアゾリウムテトラキス（ペンタフ
ルオロフェニル）ボレートの例：Ｎ−ベンジルベンゾチ
アゾリウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレ
ート、Ｎ−（ｐ−シアノベンジル）ベンゾチアゾリウム
テトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、Ｎ−
フェナシルベンゾチアゾリウムテトラキス（ペンタフル
オロフェニル）ボレート、Ｎ−（ｐ−シアノフェナシ
ル）ベンゾチアゾリウムテトラキス（ペンタフルオロフ
ェニル）ボレート、Ｎ−アリルベンゾチアゾリウムテト
ラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、Ｎ−（２
−メチル−３，３−ジシアノ−２−プロペニル）ベンゾ
チアゾリウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボ
レート、Ｎ−メトキシベンゾチアゾリウムテトラキス
（ペンタフルオロフェニル）ボレート、Ｎ−（３−ブロ
モプロポキシ）ベンゾチアゾリウムテトラキス（ペンタ
フルオロフェニル）ボレート、Ｎ−フェノキシベンゾチ
アゾリウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレ
ート、Ｎ−（１−ナフチルオキシ）ベンゾチアゾリウム
テトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、２−
メルカプト−３−ベンジルベンゾチアゾリウムテトラキ
ス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、２−メチルチ
オ−３−ベンジルベンゾチアゾリウムテトラキス（ペン
タフルオロフェニル）ボレートなど。

【０１２７】フリルもしくはチエニルヨードニウムテト
ラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレートの例：ジフ
リルヨードニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニ
ル）ボレート、ジチエニルヨードニウムテトラキス（ペ
ンタフルオロフェニル）ボレート、ビス（４，５−ジメ
チル−２−フリル）ヨードニウムテトラキス（ペンタフ
ルオロフェニル）ボレート、ビス（５−クロロ−２−チ
エニル）ヨードニウムテトラキス（ペンタフルオロフェ
ニル）ボレート、ビヨードニウムテトラキス（ペンタフ
ルオロフェニル）ボレート、ビス（５−アセチル−２−
フリル）ヨードニウムテトラキス（ペンタフルオロフェ
ニル）ボレート、ビス（５−（ｐ−メトキシフェニル）
−２−チエニル）ヨードニウムテトラキス（ペンタフル
オロフェニル）ボレートなど。

【０１２８】ジアリールヨードニウムテトラキス（ペン
タフルオロフェニル）ボレートの例：ジフェニルヨード
ニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレー
ト、ビス（ｐ−オクタデシルフェニル）ヨードニウムテ
トラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、ビス
（ｐ−オクタデシルオキシフェニル）ヨードニウムテト
ラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、フェニル
（ｐ−オクタデシルオキシフェニル）ヨードニウムテト
ラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレートなど。

【０１２９】トリアリールスルホニウムテトラキス（ペ
ンタフルオロフェニル）ボレートの例：トリフェニルス
ルホニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレ
ート、トリス（ｐ−トリル）スルホニウムテトラキス
（ペンタフルオロフェニル）ボレート、トリス（２，６
−ジメチルフェニル）スルホニウムテトラキス（ペンタ
フルオロフェニル）ボレート、トリス（ｐ−シアノフェ
ニル）スルホニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニ
ル）ボレートなど。

【０１３０】トリアリールスルホキソニウムテトラキス
（ペンタフルオロフェニル）ボレートの例：トリフェニ
ルスルホキソニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニ
ル）ボレート、トリス（ｐ−トリル）スルホキソニウム
テトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、トリ
ス（２，６−ジメチルフェニル）スルホキソニウムテト
ラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、トリス
（ｐ−シアノフェニル）スルホキソニウムテトラキス
（ペンタフルオロフェニル）ボレートなど。

【０１３１】テトラキス［３，５−ビス（トリフルオロ
メチル）フェニル］ボレート

【０１３２】ベンジルスルホニウムテトラキス［３，５
−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレートの
例：ジメチル（ベンジル）スルホニウムテトラキス
［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレ
ート、ジメチル（ｐ−ブロモベンジル）スルホニウムテ
トラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニ
ル］ボレート、ジメチル（ｐ−シアノベンジル）スルホ
ニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチ
ル）フェニル］ボレート、ジメチル（ｍ−ニトロベンジ
ル）スルホニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフル
オロメチル）フェニル］ボレート、ジメチル（ペンタフ
ルオロフェニルメチル）スルホニウムテトラキス［３，
５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、
ジメチル（ｐ−（トリフルオロメチル）ベンジル）スル
ホニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチ
ル）フェニル］ボレート、ジメチル（ｐ−メチルスルホ
ニルベンジル）スルホニウムテトラキス［３，５−ビス
（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、ジメチル
（ｏ−アセチルベンジル）スルホニウムテトラキス
［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレ
ート、ジメチル（ｏ−ベンゾイルベンジル）スルホニウ
ムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フ
ェニル］ボレート、ジメチル（ｐ−イソプロピルベンジ
ル）スルホニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフル
オロメチル）フェニル］ボレート、ジメチル（ｐ−メト
キシベンジル）スルホニウムテトラキス［３，５−ビス
（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、ジメチル
（２−ナフチルメチル）スルホニウムテトラキス［３，
５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、
ジメチル（９−アンスリルメチル）スルホニウムテトラ
キス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］
ボレート、ジエチル（ベンジル）スルホニウムテトラキ
ス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボ
レート、メチルエチル（ベンジル）スルホニウムテトラ
キス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］
ボレート、メチルフェニル（ベンジル）スルホニウムテ
トラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニ
ル］ボレート、ジフェニル（ベンジル）スルホニウムテ
トラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニ
ル］ボレートなど。

【０１３３】フェナシルスルホニウムテトラキス［３，
５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレートの
例：ジメチル（フェナシル）スルホニウムテトラキス
［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレ
ート、ジメチル（ｐ−シアノフェナシル）スルホニウム
テトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェ
ニル］ボレート、ジメチル（ｍ−ニトロフェナシル）ス
ルホニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメ
チル）フェニル］ボレート、ジメチル（ｐ−（トリフル
オロメチル）フェナシル）スルホニウムテトラキス
［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレ
ート、ジメチル（ｐ−メチルスルホニルフェナシル）ス
ルホニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメ
チル）フェニル］ボレート、ジメチル（ｏ−アセチルフ
ェナシル）スルホニウムテトラキス［３，５−ビス（ト
リフルオロメチル）フェニル］ボレート、ジメチル（ｏ
−ベンゾイルフェナシル）スルホニウムテトラキス
［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレ
ート、ジメチル（ｐ−イソプロピルフェナシル）スルホ
ニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチ
ル）フェニル］ボレート、ジメチル（ｐ−イソプロポキ
シカルボニルフェナシル）スルホニウムテトラキス
［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレ
ート、ジメチル（２−ナフトイルメチル）スルホニウム
テトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェ
ニル］ボレート、ジメチル（９−アンスロイルメチル）
スルホニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロ
メチル）フェニル］ボレート、ジエチル（フェナシル）
スルホニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロ
メチル）フェニル］ボレート、メチルエチル（フェナシ
ル）スルホニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフル
オロメチル）フェニル］ボレート、メチルフェニル（フ
ェナシル）スルホニウムテトラキス［３，５−ビス（ト
リフルオロメチル）フェニル］ボレート、ジフェニル
（フェナシル）スルホニウムテトラキス［３，５−ビス
（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、テトラメ
チレン（フェナシル）スルホニウムテトラキス［３，５
−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレートな
ど。

【０１３４】アリルスルホニウムテトラキス［３，５−
ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレートの例：
ジメチル（アリル）スルホニウムテトラキス［３，５−
ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、ジメ
チル（３，３−ジシアノ−２−プロペニル）スルホニウ
ムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フ
ェニル］ボレート、ジメチル（２−メチル−３，３−ジ
シアノ−２−プロペニル）スルホニウムテトラキス
［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレ
ート、ジメチル（２−ベンゾイル−３，３−ジシアノ−
２−プロペニル）スルホニウムテトラキス［３，５−ビ
ス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、ジメチ
ル（３，３−ビス（メトキシカルボニル）−２−プロペ
ニル）スルホニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフ
ルオロメチル）フェニル］ボレートなど。

【０１３５】アルコキシスルホニウムテトラキス［３，
５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレートの
例：ジメチル（メトキシ）スルホニウムテトラキス
［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレ
ート、ジメチル（エトキシ）スルホニウムテトラキス
［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレ
ート、ジメチル（ブトキシ）スルホニウムテトラキス
［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレ
ート、ジメチル（イソプロポキシ）スルホニウムテトラ
キス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］
ボレート、ジメチル（４−シアノブトキシ）スルホニウ
ムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フ
ェニル］ボレートなど。

【０１３６】アリールオキシスルホニウムテトラキス
［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレ
ートの例：ジメチル（フェノキシ）スルホニウムテトラ
キス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］
ボレート、ジメチル（１ーナフチルオキシ）スルホニウ
ムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フ
ェニル］ボレート、ジメチル（２−ナフチルオキシ）ス
ルホニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメ
チル）フェニル］ボレート、ジメチル（９−アンスリル
オキシ）スルホニウムテトラキス［３，５−ビス（トリ
フルオロメチル）フェニル］ボレート、ジメチル（ｐ−
トリルオキシ）スルホニウムテトラキス［３，５−ビス
（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、ジメチル
（ｐ−ブロモフェノキシ）スルホニウムテトラキス
［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレ
ートなど。

【０１３７】ベンジルスルホキソニウムテトラキス
［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレ
ートの例：ジメチル（ベンジル）スルホキソニウムテト
ラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニ
ル］ボレート、ジメチル（ｐ−ブロモベンジル）スルホ
キソニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメ
チル）フェニル］ボレート、ジメチル（ｐ−シアノベン
ジル）スルホキソニウムテトラキス［３，５−ビス（ト
リフルオロメチル）フェニル］ボレート、ジメチル（ｍ
−ニトロベンジル）スルホキソニウムテトラキス［３，
５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、
ジメチル（ペンタフルオロフェニルメチル）スルホキソ
ニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチ
ル）フェニル］ボレート、ジメチル（ｐ−（トリフルオ
ロメチル）ベンジル）スルホキソニウムテトラキス
［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレ
ート、ジメチル（ｐ−メチルスルホニルベンジル）スル
ホキソニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロ
メチル）フェニル］ボレート、ジメチル（ｏ−アセチル
ベンジル）スルホキソニウムテトラキス［３，５−ビス
（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、ジメチル
（ｏ−ベンゾイルベンジル）スルホキソニウムテトラキ
ス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボ
レート、ジメチル（ｐ−イソプロピルベンジル）スルホ
キソニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメ
チル）フェニル］ボレート、ジメチル（ｐ−メトキシベ
ンジル）スルホキソニウムテトラキス［３，５−ビス
（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、ジメチル
（２−ナフチルメチル）スルホキソニウムテトラキス
［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレ
ート、ジメチル（９−アンスリルメチル）スルホキソニ
ウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）
フェニル］ボレート、ジエチル（ベンジル）スルホキソ
ニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチ
ル）フェニル］ボレート、メチルエチル（ベンジル）ス
ルホキソニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオ
ロメチル）フェニル］ボレート、メチルフェニル（ベン
ジル）スルホキソニウムテトラキス［３，５−ビス（ト
リフルオロメチル）フェニル］ボレート、ジフェニル
（ベンジル）スルホキソニウムテトラキス［３，５−ビ
ス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレートなど。

【０１３８】フェナシルスルホキソニウムテトラキス
［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレ
ートの例：ジメチル（フェナシル）スルホキソニウムテ
トラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニ
ル］ボレート、ジメチル（ｐ−シアノフェナシル）スル
ホキソニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロ
メチル）フェニル］ボレート、ジメチル（ｍ−ニトロフ
ェナシル）スルホキソニウムテトラキス［３，５−ビス
（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、ジメチル
（ｐ−（トリフルオロメチル）フェナシル）スルホキソ
ニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチ
ル）フェニル］ボレート、ジメチル（ｐ−メチルスルホ
ニルフェナシル）スルホキソニウムテトラキス［３，５
−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、ジ
メチル（ｏ−アセチルフェナシル）スルホキソニウムテ
トラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニ
ル］ボレート、ジメチル（ｏ−ベンゾイルフェナシル）
スルホキソニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフル
オロメチル）フェニル］ボレート、ジメチル（ｐ−イソ
プロピルフェナシル）スルホキソニウムテトラキス
［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレ
ート、ジメチル（ｐ−イソプロポキシカルボニルフェナ
シル）スルホキソニウムテトラキス［３，５−ビス（ト
リフルオロメチル）フェニル］ボレート、ジメチル（２
−ナフトイルメチル）スルホキソニウムテトラキス
［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレ
ート、ジメチル（９−アンスロイルメチル）スルホキソ
ニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチ
ル）フェニル］ボレート、ジエチル（フェナシル）スル
ホキソニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロ
メチル）フェニル］ボレート、メチルエチル（フェナシ
ル）スルホキソニウムテトラキス［３，５−ビス（トリ
フルオロメチル）フェニル］ボレート、メチルフェニル
（フェナシル）スルホキソニウムテトラキス［３，５−
ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、ジフ
ェニル（フェナシル）スルホキソニウムテトラキス
［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレ
ート、テトラメチレン（フェナシル）スルホキソニウム
テトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェ
ニル］ボレートなど。

【０１３９】アリルスルホキソニウムテトラキス［３，
５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレートの
例：ジメチル（アリル）スルホキソニウムテトラキス
［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレ
ート、ジメチル（３，３−ジシアノ−２−プロペニル）
スルホキソニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフル
オロメチル）フェニル］ボレート、ジメチル（２−メチ
ル−３，３−ジシアノ−２−プロペニル）スルホキソニ
ウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）
フェニル］ボレート、ジメチル（２−ベンゾイル−３，
３−ジシアノ−２−プロペニル）スルホキソニウムテト
ラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニ
ル］ボレート、ジメチル（３，３−ビス（メトキシカル
ボニル）−２−プロペニル）スルホキソニウムテトラキ
ス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボ
レートなど。

【０１４０】アルコキシスルホキソニウムテトラキス
［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレ
ートの例：ジメチル（メトキシ）スルホキソニウムテト
ラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニ
ル］ボレート、ジメチル（エトキシ）スルホキソニウム
テトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェ
ニル］ボレート、ジメチル（ブトキシ）スルホキソニウ
ムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フ
ェニル］ボレート、ジメチル（イソプロポキシ）スルホ
キソニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメ
チル）フェニル］ボレート、ジメチル（４−シアノブト
キシ）スルホキソニウムテトラキス［３，５−ビス（ト
リフルオロメチル）フェニル］ボレートなど。

【０１４１】アリールオキシスルホキソニウムテトラキ
ス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボ
レートの例：ジメチル（フェノキシ）スルホキソニウム
テトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェ
ニル］ボレート、ジメチル（１ーナフチルオキシ）スル
ホキソニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロ
メチル）フェニル］ボレート、ジメチル（２−ナフチル
オキシ）スルホキソニウムテトラキス［３，５−ビス
（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、ジメチル
（９−アンスリルオキシ）スルホキソニウムテトラキス
［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレ
ート、ジメチル（ｐ−トリルオキシ）スルホキソニウム
テトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェ
ニル］ボレート、ジメチル（ｐ−ブロモフェノキシ）ス
ルホキソニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオ
ロメチル）フェニル］ボレートなど。

【０１４２】ベンジルホスホニウムテトラキス［３，５
−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレートの
例：トリメチルベンジルホスホニウムテトラキス［３，
５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、
トリエチルベンジルホスホニウムテトラキス［３，５−
ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、トリ
フェニルベンジルホスホニウムテトラキス［３，５−ビ
ス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、トリフ
ェニル（ｐ−シアノベンジル）ホスホニウムテトラキス
［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレ
ート、トリフェニル（ｍ−ニトロベンジル）ホスホニウ
ムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フ
ェニル］ボレート、トリフェニル（１−ナフチルメチ
ル）ホスホニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフル
オロメチル）フェニル］ボレート、トリフェニル（９−
アンスリルメチル）ホスホニウムテトラキス［３，５−
ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレートなど。

【０１４３】フェナシルホスホニウムテトラキス［３，
５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレートの
例：トリエチルフェナシルホスホニウムテトラキス
［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレ
ート、トリフェニルフェナシルホスホニウムテトラキス
［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレ
ート、トリフェニル（ｐ−シアノフェナシル）ホスホニ
ウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）
フェニル］ボレート、トリフェニル（ｍ−ニトロフェナ
シル）ホスホニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフ
ルオロメチル）フェニル］ボレート、トリフェニル（１
−ナフタロイルメチル）ホスホニウムテトラキス［３，
５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、
トリフェニル（９−アンスロイルメチル）ホスホニウム
テトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェ
ニル］ボレートなど。

【０１４４】アリルホスホニウムテトラキス［３，５−
ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレートの例：
トリフェニルアリルホスホニウムテトラキス［３，５−
ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、トリ
フェニル（３，３−ジシアノ−２−プロペニル）ホスホ
ニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチ
ル）フェニル］ボレート、トリフェニル（２−フェニル
−３，３−ジシアノ−２−プロペニル）ホスホニウムテ
トラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニ
ル］ボレートなど。

【０１４５】アルコキシホスホニウムテトラキス［３，
５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレートの
例：トリフェニルメトキシホスホニウムテトラキス
［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレ
ート、トリフェニルイソプロポキシホスホニウムテトラ
キス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］
ボレート、トリフェニル（２−クロロエトキシ）ホスホ
ニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチ
ル）フェニル］ボレートなど。

【０１４６】アリールオキシホスホニウムテトラキス
［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレ
ートの例：トリフェニルフェノキシホスホニウムテトラ
キス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］
ボレート、トリフェニル（９−アンスリルオキシ）ホス
ホニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチ
ル）フェニル］ボレート、トリフェニル（ｐ−トリルオ
キシ）ホスホニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフ
ルオロメチル）フェニル］ボレート、トリフェニル（ｐ
−ヒドロキシフェノキシ）ホスホニウムテトラキス
［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレ
ートなど。

【０１４７】ベンジルピリジニウムテトラキス［３，５
−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレートの
例：Ｎ−ベンジルピリジニウムテトラキス［３，５−ビ
ス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、Ｎ−
（ｐ−シアノベンジル）ピリジニウムテトラキス［３，
５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、
Ｎ−（ｏ−ニトロベンジル）ピリジニウムテトラキス
［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレ
ート、Ｎ−（ｐ−アセチルベンジル）ピリジニウムテト
ラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニ
ル］ボレート、Ｎ−（９−アンスリルメチル）ピリジニ
ウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）
フェニル］ボレート、４−シアノ−１−ベンジルピリジ
ニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチ
ル）フェニル］ボレートなど。

【０１４８】フェナシルピリジニウムテトラキス［３，
５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレートの
例：Ｎ−フェナシルピリジニウムテトラキス［３，５−
ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、Ｎ−
（ｐ−シアノフェナシル）ピリジニウムテトラキス
［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレ
ート、Ｎ−（ｏ−ニトロフェナシル）ピリジニウムテト
ラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニ
ル］ボレート、Ｎ−（ｐ−アセチルフェナシル）ピリジ
ニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチ
ル）フェニル］ボレート、Ｎ−（９−アンスロイルメチ
ル）ピリジニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフル
オロメチル）フェニル］ボレート、２−シアノ−１−フ
ェナシルピリジニウムテトラキス［３，５−ビス（トリ
フルオロメチル）フェニル］ボレートなど。

【０１４９】アリルピリジニウムテトラキス［３，５−
ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレートの例：
Ｎ−アリルピリジニウムテトラキス［３，５−ビス（ト
リフルオロメチル）フェニル］ボレート、Ｎ−（２−イ
ソプロピル−３，３−ジシアノ−２−プロペニル）ピリ
ジニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチ
ル）フェニル］ボレート、Ｎ−（２−ベンゾイル−３，
３−ジシアノ−２−プロペニル）ピリジニウムテトラキ
ス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボ
レートなど。

【０１５０】Ｎ−アルコキシピリジニウムテトラキス
［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレ
ートの例：Ｎ−メトキシピリジニウムテトラキス［３，
５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、
１−エトキシ−２−メチルピリジニウムテトラキス
［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレ
ート、Ｎ−（２−クロロエトキシ）ピリジニウムテトラ
キス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］
ボレートなど。

【０１５１】Ｎ−アリールオキシピリジニウムテトラキ
ス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボ
レートの例：Ｎ−フェノキシピリジニウムテトラキス
［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレ
ート、Ｎ−（９−アンスリルオキシ）ピリジニウムテト
ラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニ
ル］ボレート、Ｎ−（ｐ−トリルオキシ）ピリジニウム
テトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェ
ニル］ボレートなど。

【０１５２】ベンジルキノリニウムテトラキス［３，５
−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレートの
例：Ｎ−ベンジルキノリニウムテトラキス［３，５−ビ
ス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、Ｎ−
（ｐ−シアノベンジル）キノリニウムテトラキス［３，
５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、
Ｎ−（ｏ−ニトロベンジル）キノリニウムテトラキス
［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレ
ート、Ｎ−（ｐ−アセチルベンジル）キノリニウムテト
ラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニ
ル］ボレート、Ｎ−（９−アンスリルメチル）キノリニ
ウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）
フェニル］ボレート、２−シアノ−１−ベンジルキノリ
ニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチ
ル）フェニル］ボレートなど。

【０１５３】フェナシルキノリニウムテトラキス［３，
５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレートの
例：Ｎ−フェナシルキノリニウムテトラキス［３，５−
ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、Ｎ−
（ｐ−シアノフェナシル）キノリニウムテトラキス
［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレ
ート、Ｎ−（ｏ−ニトロフェナシル）キノリニウムテト
ラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニ
ル］ボレート、Ｎ−（ｐ−イソプロピルフェナシル）キ
ノリニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメ
チル）フェニル］ボレート、Ｎ−（ｐ−メトキシカルボ
ニルフェナシル）キノリニウムテトラキス［３，５−ビ
ス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、Ｎ−
（９−アンスロイルメチル）キノリニウムテトラキス
［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレ
ート、２−シアノ−１−フェナシルキノリニウムテトラ
キス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］
ボレートなど。

【０１５４】アリルキノリニウムテトラキス［３，５−
ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレートの例：
Ｎ−アリルキノリニウムテトラキス［３，５−ビス（ト
リフルオロメチル）フェニル］ボレート、Ｎ−（２−ベ
ンゾイル−３，３−ジシアノ−２−プロペニル）キノリ
ニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチ
ル）フェニル］ボレート、Ｎ−（２−ヘキシル−３，３
−ビス（メトキシカルボニル）−２−プロペニル）キノ
リニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチ
ル）フェニル］ボレートなど。

【０１５５】Ｎ−アルコキシキノリニウムテトラキス
［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレ
ートの例：Ｎ−メトキシキノリニウムテトラキス［３，
５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、
Ｎ−イソプロポキシキノリニウムテトラキス［３，５−
ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、１−
エトキシ−２−メチルキノリニウムテトラキス［３，５
−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、Ｎ
−（２−クロロエトキシ）キノリニウムテトラキス
［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレ
ートなど。

【０１５６】Ｎ−アリールオキシキノリニウムテトラキ
ス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボ
レートの例：Ｎ−フェノキシキノリニウムテトラキス
［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレ
ート、Ｎ−（２−ナフチルオキシ）キノリニウムテトラ
キス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］
ボレート、Ｎ−（９−アンスリルオキシ）キノリニウム
テトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェ
ニル］ボレート、Ｎ−（ｐ−トリルオキシ）キノリニウ
ムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フ
ェニル］ボレート、Ｎ−（ｐ−ブロモフェノキシ）キノ
リニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチ
ル）フェニル］ボレートなど。

【０１５７】ベンジルイソキノリニウムテトラキス
［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレ
ートの例：Ｎ−ベンジルイソキノリニウムテトラキス
［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレ
ート、Ｎ−（ｐ−シアノベンジル）イソキノリニウムテ
トラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニ
ル］ボレート、Ｎ−（ｏ−ニトロベンジル）イソキノリ
ニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチ
ル）フェニル］ボレート、Ｎ−（９−アンスリルメチ
ル）イソキノリニウムテトラキス［３，５−ビス（トリ
フルオロメチル）フェニル］ボレート、１，２−ジベン
ジルイソキノリニウムテトラキス［３，５−ビス（トリ
フルオロメチル）フェニル］ボレートなど。

【０１５８】フェナシルイソキノリニウムテトラキス
［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレ
ートの例：Ｎ−フェナシルイソキノリニウムテトラキス
［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレ
ート、Ｎ−（ｐ−シアノフェナシル）イソキノリニウム
テトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェ
ニル］ボレート、Ｎ−（ｐ−アセチルフェナシル）イソ
キノリニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロ
メチル）フェニル］ボレート、Ｎ−（ｐ−メトキシカル
ボニルフェナシル）イソキノリニウムテトラキス［３，
５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、
Ｎ−（９−アンスロイルメチル）イソキノリニウムテト
ラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニ
ル］ボレートなど。

【０１５９】アリルイソキノリニウムテトラキス［３，
５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレートの
例：Ｎ−アリルイソキノリニウムテトラキス［３，５−
ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、Ｎ−
（２−イソプロピル−３，３−ジシアノ−２−プロペニ
ル）イソキノリニウムテトラキス［３，５−ビス（トリ
フルオロメチル）フェニル］ボレート、Ｎ−（２−ベン
ゾイル−３，３−ジシアノ−２−プロペニル）イソキノ
リニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチ
ル）フェニル］ボレートなど。

【０１６０】Ｎ−アルコキシイソキノリニウムテトラキ
ス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボ
レートの例：Ｎ−メトキシイソキノリニウムテトラキス
［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレ
ート、Ｎ−オクタデシルオキシイソキノリニウムテトラ
キス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］
ボレート、Ｎ−イソプロポキシイソキノリニウムテトラ
キス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］
ボレートなど。

【０１６１】Ｎ−アリールオキシイソキノリニウムテト
ラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニ
ル］ボレートの例：Ｎ−フェノキシイソキノリニウムテ
トラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニ
ル］ボレート、Ｎ−（９−アンスリルオキシ）イソキノ
リニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチ
ル）フェニル］ボレート、Ｎ−（ｐ−トリルオキシ）イ
ソキノリニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオ
ロメチル）フェニル］ボレート、Ｎ−（ｐ−ヒドロキシ
フェノキシ）イソキノリニウムテトラキス［３，５−ビ
ス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレートなど。

【０１６２】ベンゾオキサゾリウムテトラキス［３，５
−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレートの
例：Ｎ−ベンジルベンゾオキサゾリウムテトラキス
［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレ
ート、Ｎ−（ｐ−シアノベンジル）ベンゾオキサゾリウ
ムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フ
ェニル］ボレート、Ｎ−フェナシルベンゾオキサゾリウ
ムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フ
ェニル］ボレート、Ｎ−（ｐ−シアノフェナシル）ベン
ゾオキサゾリウムテトラキス［３，５−ビス（トリフル
オロメチル）フェニル］ボレート、Ｎ−アリルベンゾオ
キサゾリウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロ
メチル）フェニル］ボレート、Ｎ−（２−メチル−３，
３−ジシアノ−２−プロペニル）ベンゾオキサゾリウム
テトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェ
ニル］ボレート、Ｎ−メトキシベンゾオキサゾリウムテ
トラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニ
ル］ボレート、Ｎ−（３−ブロモプロポキシ）ベンゾオ
キサゾリウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロ
メチル）フェニル］ボレート、Ｎ−フェノキシベンゾオ
キサゾリウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロ
メチル）フェニル］ボレート、Ｎ−（１−ナフチルオキ
シ）ベンゾオキサゾリウムテトラキス［３，５−ビス
（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、２−メル
カプト−３−ベンジルベンゾオキサゾリウムテトラキス
［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレ
ート、２−メチルチオ−３−ベンジルベンゾオキサゾリ
ウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）
フェニル］ボレートなど。

【０１６３】ベンゾチアゾリウムテトラキス［３，５−
ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレートの例：
Ｎ−ベンジルベンゾチアゾリウムテトラキス［３，５−
ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、Ｎ−
（ｐ−シアノベンジル）ベンゾチアゾリウムテトラキス
［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレ
ート、Ｎ−フェナシルベンゾチアゾリウムテトラキス
［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレ
ート、Ｎ−（ｐ−シアノフェナシル）ベンゾチアゾリウ
ムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フ
ェニル］ボレート、Ｎ−アリルベンゾチアゾリウムテト
ラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニ
ル］ボレート、Ｎ−（２−メチル−３，３−ジシアノ−
２−プロペニル）ベンゾチアゾリウムテトラキス［３，
５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、
Ｎ−メトキシベンゾチアゾリウムテトラキス［３，５−
ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、Ｎ−
（３−ブロモプロポキシ）ベンゾチアゾリウムテトラキ
ス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボ
レート、Ｎ−フェノキシベンゾチアゾリウムテトラキス
［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレ
ート、Ｎ−（１−ナフチルオキシ）ベンゾチアゾリウム
テトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェ
ニル］ボレート、２−メルカプト−３−ベンジルベンゾ
チアゾリウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロ
メチル）フェニル］ボレート、２−メチルチオ−３−ベ
ンジルベンゾチアゾリウムテトラキス［３，５−ビス
（トリフルオロメチル）フェニル］ボレートなど。

【０１６４】フリルもしくはチエニルヨードニウムテト
ラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニ
ル］ボレートの例：ジフリルヨードニウムテトラキス
［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレ
ート、ジチエニルヨードニウムテトラキス［３，５−ビ
ス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、ビス
（４，５−ジメチル−２−フリル）ヨードニウムテトラ
キス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］
ボレート、ビス（５−クロロ−２−チエニル）ヨードニ
ウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）
フェニル］ボレート、ビヨードニウムテトラキス［３，
５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、
ビス（５−アセチル−２−フリル）ヨードニウムテトラ
キス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］
ボレート、ビス（５−（ｐ−メトキシフェニル）−２−
チエニル）ヨードニウムテトラキス［３，５−ビス（ト
リフルオロメチル）フェニル］ボレートなど。

【０１６５】ジアリールヨードニウムテトラキス［３，
５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレートの
例：ジフェニルヨードニウムテトラキス［３，５−ビス
（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、ビス（ｐ
−オクタデシルフェニル）ヨードニウムテトラキス
［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレ
ート、ビス（ｐ−オクタデシルオキシフェニル）ヨード
ニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチ
ル）フェニル］ボレート、フェニル（ｐ−オクタデシル
オキシフェニル）ヨードニウムテトラキス［３，５−ビ
ス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレートなど。

【０１６６】トリアリールスルホニウムテトラキス
［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレ
ートの例：トリフェニルスルホニウムテトラキス［３，
５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、
トリス（ｐ−トリル）スルホニウムテトラキス［３，５
−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、ト
リス（２，６−ジメチルフェニル）スルホニウムテトラ
キス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］
ボレート、トリス（ｐ−シアノフェニル）スルホニウム
テトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェ
ニル］ボレートなど。

【０１６７】トリアリールスルホキソニウムテトラキス
［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレ
ートの例：トリフェニルスルホキソニウムテトラキス
［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレ
ート、トリス（ｐ−トリル）スルホキソニウムテトラキ
ス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボ
レート、トリス（２，６−ジメチルフェニル）スルホキ
ソニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチ
ル）フェニル］ボレート、トリス（ｐ−シアノフェニ
ル）スルホキソニウムテトラキス［３，５−ビス（トリ
フルオロメチル）フェニル］ボレートなど。

【０１６８】また、下記化学式で示される各オニウムボ
レート錯体も、好ましい例としてあげられる。

【０１６９】

【化１３】

【０１７０】

【化１４】

【０１７１】本発明の感エネルギー線酸発生剤（Ａ）で
あるオニウムボレート錯体は、エネルギー線、特に光の
照射によって、容易に分解して、強い酸を発生するとい
う特徴を有する。ここで発生する酸は、従来知られてい
たＢＦ４−、ＰＦ６−、ＡｓＦ６−、ＳｂＦ６−といっ
たアニオンをもつオニウム塩よりも、強い酸であると考
えられる。

【０１７２】また、本発明の感エネルギー線酸発生剤
（Ａ）であるオニウムボレート錯体は、高い電子受容性
を有し、エネルギー線の照射による分解を受けやすいと
いった特徴がある。これらオニウムボレート錯体の電子
受容性は、ポーラログラフィーもしくは、サイクリック
ボルタンメトリー等の電気化学的測定法で求められる還
元電位で説明できる。なお、本明細書中で述べているオ
ニウムボレート錯体の還元電位は、ジャーナル・オブ・
ポリマー・サイエンス・パートＡ・ポリマー・ケミスト
リー（Ｊ．Ｐｏｌｙｍ．Ｓｃｉ．，Ａ，Ｐｏｌｙｍ．Ｃ
ｈｅｍ．）、第２８巻、３１３７頁（１９９０年）や、
ジャーナル・オブ・アメリカン・ケミカル・ソサエティ
ー（Ｊ．Ａｍ．Ｃｈｅｍ．Ｓｏｃ．）、第１０６巻、４
１２１頁（１９８４年）記載の方法で、容易に測定が可
能である。

【０１７３】さらに、本発明の感エネルギー線酸発生剤
（Ａ）は、従来知られていたＢＦ４−、ＰＦ６−、Ａｓ
Ｆ６−、ＳｂＦ６−といったアニオンをもつオニウム塩
よりも、種々の有機溶媒やポリマー、オリゴマーに対す
る相溶性、溶解性が極めて高いことがあげられる。

【０１７４】次に、本発明で使用する、酸を触媒とする
反応により現像液に対する親和性あるいは溶解性が増加
する性質を有する化合物（Ｂ）について説明する。

【０１７５】本明細書でいう、酸を触媒とする反応によ
り現像液に対する親和性あるいは溶解性が増加する性質
を有する化合物（Ｂ）とは、例えば、カルボン酸のエス
テル、炭酸のエステル、アルコキシシラン等があげら
れ、これらはいずれも、そのエステル結合やシロキシ結
合が、酸を触媒とする反応により、カルボキシル基や水
酸基、シラノール基へと変化し、いずれも、アルカリ溶
液等の現像液に対する溶解性が増加することが知られて
いる。例えば、「化学増幅型レジスト」として、業界で
よく知られるものも、これに含まれる。

【０１７６】したがって、より具体的には、酸を触媒と
する反応により現像液に対する親和性あるいは溶解性が
増加する性質を有する化合物（Ｂ）としては、例えば、
ポリ（ｐ−ｔ−プトキシカルボニルオキシスチレン〔Ｐ
ｏｌｙｍ．Ｅｎｇ．Ｓｃｉ．，２３，１０１２（１９８
３年）〕、ポリ（ｐ−ビニル安息香酸エステル）類、ポ
リメタクリル酸エステル類〔Ｐｒｏｃ．ｏｆ ＳＰＩ
Ｅ，７７１，２４（１９８７年）、Ｍａｃｒｏｌｍｏｌ
ｅｃｕｌｅｓ，２１，１４７５（１９８８年）〕、メタ
クリル酸α，α’−ジメチルベンジルとα−メチルスチ
レンの共重合体〔ＡＣＳ，ｐ５７（１９８９年）〕、ｔ
−ブトキシカルボニルマレイミドースチレン共重合体、
ｔ−プトキシカルポニルフェニルマレイミド−スチレン
共重合体〔Ｐｒｏｃ．ＳＰＩＥ，６３１，６８（１９８
１年）〕、ポリ（Ｐ−ヒドロキシスチレン）などのアル
カリ可溶性フェノール樹脂をトリアルキルシリル基、テ
トラヒドロピラニル基、フラニル基等で保護した高分子
化合物〔Ｐｏｌｙｍ．Ｅｎｇ．Ｓｃｉ．，２９、ｐ８５
６（１９８９年）、ＡＣＳ Ｄｉｖｉｓｉｏｎ ＰＭＳ
Ｅ，６１，ｐ４１７（１９８９年）〕、ポリ（α−アセ
トキシスチレン）〔Ｊ．Ｐｈｏｔｏｐｏｌｙｍ．Ｓｃ
ｉ．Ｔｅｃｈｎｏｌ．，３，ｐ３３５（１９９０
年）〕、ポリ（４−メチレン−４Ｈ−１，３−ベンゾジ
オキシ−２−オン）〔Ｍａｃｒｏｍｏｌｅｃｕｌｅｓ，
２３，ｐ２８８５（１９９０年）〕等の高分子化合物、
ポリフタルアルデヒド〔ＡＣＳ（１９８４年），ｐ１
１〕、ポリ（４−クロルフタルアルデヒド）〔Ｊ．Ｅｌ
ｅｃｔｒｏｃｈｅｍ．Ｓｏｃ．，１３６，ｐ２４１（１
９８９年）〕、ポリカーボネート〔ＡＣＳ（１９８９
年），ｐ１００〕、ポリ（４−トリメチルシリルフタル
アルデヒド）〔Ｊ．Ｅｌｅｃｔｒｏｃｈｅｍ．Ｓｏ
ｃ．，１３６，ｐ２４５（１９８８年）〕等の酸により
解重合を起こす高分子化合物を挙げることができる。

【０１７７】また、本明細書でいう現像液とは、いかに
示す無機もしくは有機塩基の溶液があげられ、これは、
先の、酸を触媒とする反応により現像液に対する親和性
あるいは溶解性が増加する性質を有する化合物（Ｂ）
が、酸を触媒とする反応により、カルボキシル基や水酸
基、シラノール基等へ変化したものを、溶解させるため
に用いられる。

【０１７８】したがって、そのようなものとしては、具
体的には、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナ
トリウム、ケイ酸ナトリウム、メタケイ酸ナトリウム、
アンモニア水等の無機アルカリ類、エチルアミン、ｎ−
プロピルアミン等の第一アミン類、ジエチルアミン、ジ
−ｎ−ブチルアミン等の第二アミン類、トリエチルアミ
ン、メチルジエチルアミン等の第三アミン類、ジメチル
エタノールアミン、トリエタノールアミン等のアルコー
ルアミン類、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、
テトラエチルアンモニウムヒドロキシド等の第四扱アン
モニウム塩、ピロール、ピペリジン等の環状アミン類等
のアルカリ類の水溶液があげられる。さらに、上記アル
カリ類の水溶液に、メタノールやエタノール、イソプロ
パノール等のアルコール類、界面活性剤を適当量添加し
て使用することもできる。

【０１７９】ところで、上記の高分子化合物は単独で使
用することができるが、他のアルカリ可溶性樹脂、例え
ばノボラック樹脂と混合して使用することもできる。こ
の場合、例示した高分子化合物類は、アルカリ可溶性樹
脂のアルカリヘの溶解抑制剤として作用する。また、本
発明では、芳香族化合物類のｔ−ブチルエステル、ｔ−
ブチルカーボネート、ｔ−ブチルエーテル類〔Ｐｒｏ
ｃ．ＳＰＩＥ，９２０，ｐ６０（１９８８年）、Ｐｏｌ
ｙｍ．Ｅｎｇ．Ｓｃｉ．，２９，ｐ８４６（１９８９
年）〕、テトラヒドロピラニル基で保護したポリヒドロ
キシ化合物類〔特開平１−６７５００号〕、その他アセ
タール化合物類〔Ｐｏｌｙｍ．Ｅｎｇ．Ｓｃｉ．，２
９，ｐ８７４（１９８９年）〕等の低分子の溶解性抑制
剤も使用することができる。

【０１８０】この様な高分子化合物には特に制限はない
が、化合物の分子量が５０より低いと膜形成性が悪くな
り、また５００，００より高いと塗布溶媒に対する溶解
性が悪くなる傾向があるため、分子量の範囲としては、
重量平均分子量（ゲルパーミエーションクロマトグラフ
ィーのポリスチレン換算値における）で２，０００〜２
００，０００の範囲の高分子化合物が好適に用いられ
る。該高分子化合物は、全感応性組成物（塗布溶媒は含
まず）の重量を基準として、５〜９８重量％、好ましく
は１０〜９５重量％の量で使用される。これら例示した
化合物は、アルカリ可溶性樹脂と併用することにより本
発明の効果はさらに顕著になる。本発明に用いることの
できるアルカリ可溶性樹脂としては、ノボラック樹脂、
アセトン−ピロガロール樹脂やポリヒドロキシスチレン
及びその誘導体を挙げることができる。これらの中で、
特にノボラック樹脂が好ましく、所定のモノマーを主成
分として、酸性触媒の存在下、アルデヒド類と付加縮合
させることにより得られる。

【０１８１】ここで、所定のモノマーとしては、例え
ば、フェノール、ｍ−クレゾール、ｐ−クレゾール、ｏ
−クレゾール等のクレゾール類、２，５−キシレノー
ル、３，５−キシレノール、３，４−キシレノール、
２，３−キシレノール等のキシレノール類、ｍ−エチル
フェノール、ｐ−エチルフェノール、ｏ−エチルフェノ
ール、ｐ−ｔ−ブチルフェノール等のアルキルフェノー
ル類、ｐ−メトキシフェノール、ｍ−メトキシフエノー
ル、３，５−ジメトキシフェノール、２−メトキシ−４
−メチルフェノール、ｍ−エトキシフェノール、ｐ−エ
トキシフェノール、ｍ−プロポキシフェノール、ｍ−プ
トキシフェノール等のアルコキシフェノール類、２−メ
チル−４−イソプロピルフェノール等のビスアルキルフ
ェノール類、ｍ−クロロフェノール、ｐ−クロロフェノ
ール、ｏ−クロロフェノール、ジヒドロキシビフェニ
ル、ビスフェノールＡ、フェニルフェノール、レゾルシ
ノール、ナフトール等のヒドロキシ芳香族化合物を単独
もしくは２種以上混合して使用することができるが、こ
れらに限定されるものではない。

【０１８２】また、アルデヒド類としては、例えば、ホ
ルムアルデヒド、パラホルムアルデヒド、アセトアルデ
ヒド、プロピルアルデヒド、ベンズアルデヒド、フェニ
ルアセトアルデヒド、α−フェニルプロピルアルデヒ
ド、β−フェニルプロピルアルデヒド、ｏ−ヒドロキシ
ベンズアルデヒド、ｍ−ヒドロキシベンズアルデヒド、
ｐ−ヒドロキシベンズアルデヒド、ｏ−クロロベンズア
ルデヒド、ｍ−クロロベンズアルデヒド、ｐ−クロロベ
ンズアルデヒド、ｏ−ニトロベンズアルデヒド、ｍ−ニ
トロベンズアルデヒド、ｐ−ニトロベンズアルデヒド、
ｏ−メチルベンズアルデヒド、ｍ−メチルベンズアルデ
ヒド、ｐ−メチルベンズアルデヒド、ｐ−エチルベンズ
アルデヒド、ｐ−ｎ−ブチルベンズアルデヒド、フルフ
ラール、クロロアセトアルデヒド及びこれちのアセター
ル体、例えばクロロアセトアルデヒドジエチルアセター
ル等を使用することができるが、これらの中で、ホルム
アルデヒドを使用するのが好ましい。これらのアルデヒ
ド類は、単独でもしくは２種以上組合わせて用いられ
る。

【０１８３】また、酸性触媒としては、塩酸、硫酸、ギ
酸、酢酸及びシュウ酸等を使用することができる。こう
して得られたノボラック樹脂の重量平均分子量は、２，
０００〜３０，０００の範囲であることが好ましい。
２，０００未満では未露光部の現像後の膜減りが大き
く、３０，０００を越えると現像速度が小さくなってし
まう。特に好適なのは６，０００〜２０，０００の範囲
である。これらのアルカリ可溶性樹脂の含有量は、感応
性組成物の全重量（塗布溶媒は含まず）を基準として０
〜８０重量％、好ましくは２０〜６０重量％が適当であ
る。

【０１８４】次に、本発明における感エネルギー線酸発
生剤（Ａ）は、以下に示す増感剤（Ｃ）と組み合わせる
ことによって、エネルギー線に対する活性をさらに高
め、あるいはその感光波長領域を長波長化せしめること
が可能となり、さらに高感度な、感エネルギー線ポジ型
感応性組成物とすることが可能である。ここでいう増感
剤（Ｃ）とは、エネルギー線の作用によって、感エネル
ギー線酸発生剤（Ａ）との間でエネルギーもしくは電子
の授受をし、該感エネルギー線酸発生剤（Ａ）の分解を
促進をするものである。

【０１８５】このような増感剤（Ｃ）の具体例として
は、ナフタレン誘導体、アントラセン誘導体、フェナン
トレン誘導体、ピレン誘導体、ナフタセン誘導体、ペリ
レン誘導体、ペンタセン誘導体等の縮合多環芳香族誘導
体、アクリジン誘導体、ベンゾチアゾール誘導体、カル
コン誘導体やジベンザルアセトン等に代表される不飽和
ケトン類、ベンジルやカンファーキノン等に代表される
１，２−ジケトン誘導体、ベンゾイン誘導体、フルオレ
ン誘導体、ナフトキノン誘導体、アントラキノン誘導
体、キサンテン誘導体、チオキサンテン誘導体、キサン
トン誘導体、チオキサントン誘導体、クマリン誘導体、
ケトクマリン誘導体、シアニン誘導体、メロシアニン誘
導体、オキソノール誘導体等のポリメチン色素、アクリ
ジン誘導体、アジン誘導体、チアジン誘導体、オキサジ
ン誘導体、インドリン誘導体、アズレン誘導体、アズレ
ニウム誘導体、スクアリリウム誘導体、ポルフィリン誘
導体、テトラフェニルポルフィリン誘導体、トリアリー
ルメタン誘導体、テトラベンゾポルフィリン誘導体、テ
トラピラジノポルフィラジン誘導体、フタロシアニン誘
導体、テトラアザポルフィラジン誘導体、テトラキノキ
サリロポルフィラジン誘導体、ナフタロシアニン誘導
体、サブフタロシアニン誘導体、ピリリウム誘導体、チ
オピリリウム誘導体、テトラフィリン誘導体、アヌレン
誘導体、スピロピラン誘導体、スピロオキサジン誘導
体、チオスピロピラン誘導体、金属アレーン錯体、有機
ルテニウム錯体等があげられ、その他さらに具体的には
大河原信ら編、「色素ハンドブック」（１９８６年、講
談社）、大河原信ら編、「機能性色素の化学」（１９８
１年、シーエムシー）、池森忠三朗ら編、「特殊機能材
料」（１９８６年、シーエムシー）に記載の色素および
増感剤があげられるがこれらに限定されるものではな
く、その他、紫外から近赤外域にかけての光に対して吸
収を示す色素や増感剤があげられ、これらは必要に応じ
て任意の比率で二種以上用いてもかまわない。

【０１８６】これら、増感剤（Ｃ）の好ましいものとし
ては、ナフタレン誘導体、アントラセン誘導体、フェナ
ントレン誘導体、ピレン誘導体、ナフタセン誘導体、ペ
リレン誘導体、ペンタセン誘導体等の縮合多環芳香族誘
導体およびアクリジン誘導体、ベンゾチアゾール誘導体
があげられ、中でも特に好ましいものとして、アントラ
セン誘導体、アクリジン誘導体、ベンゾチアゾール誘導
体があげられる。

【０１８７】具体例としては、アントラセン、１−アン
トラセンカルボン酸、２−アントラセンカルボン酸、９
−アントラセンカルボン酸、９−アントラアルデヒド、
９，１０−ビス（クロロメチル）アントラセン、９，１
０−ビス（フェニルエチニル）アントラセン、９−ブロ
モアントラセン、１−クロロ−９，１０−ビス（フェニ
ルエチニル）アントラセン、９−クロロメチルアントラ
セン、９−シアノアントラセン、９，１０−ジブロモア
ントラセン、９，１０−ジクロロアントラセン、９，１
０−ジシアノアントラセン、９，１０−ジメチルアント
ラセン、９，１０−ジブチルアントラセン、９，１０−
ジフェニルアントラセン、９，１０−ジ−ｐ−トリルア
ントラセン、９，１０−ビス（ｐ−メトキシフェニル）
アントラセン、２−ヒドロキシメチルアントラセン、９
−ヒドロキシメチルアントラセン、９−メチルアントラ
セン、９−フェニルアントラセン、９，１０−ジメトキ
シアントラセン、９，１０−ジブトキシアントラセン、
９，１０−ジフェノキシアントラセン、９，１０−ジメ
トキシアントラセン−２−スルホン酸ナトリウム、１，
４，９，１０−テトラヒドロキシアントラセン、２，
２，２−トリフルオロー１−（９−アンスリル）エタノ
ール、１，８，９−トリヒドロキシアントラセン、１，
８−ジメトキシ−９，１０−ビス（フェニルエチニル）
アントラセン、さらには、特開平３−２３７１０６号公
報記載の９−ビニルアントラセン、９−アントラセンメ
タノール、９−アントラセンメタノールのトリメチルシ
ロキシエーテル等のアントラセン誘導体、アクリジンオ
レンジ、ベンゾフラビン、アクリジンイエロー、ホスフ
ィンＲ等のアクリジン誘導体、セトフラビンＴ等のベン
ゾチアゾール誘導体があげられる。

【０１８８】本発明のポジ型感応性組成物には、必要に
応じて更に染料、顔料、可塑剤、界面活性剤などを含有
させることができる。好適な染料としては、油溶性染料
及び塩基性染料がある。具体的にはオイルイエロー＃１
０１、オイルイエロー＃１０３、オイルピンク＃３１
２、オイルグリーンＢＧ、オイルブルーＢＯＳ、オイル
ブルー＃６０３、オイルプラックＢＹ、オイルブラック
ＢＳ、オイルブラックＴ−５０５（以上、オリエント化
学工業株式会社製）、クリスタルバイオレット（ＣＩ−
４２５５５）、メチルバイオレット（ＣＩ−４２５３
５）、ローダミンＢ（ＣＩ−４５１７０Ｂ）、マラカイ
トグリーン（ＣＩ−４２０００）、メチレンブルー（Ｃ
Ｉ−５２０１５）などをあげることができる。

【０１８９】また、顔料としては、無機顔料および有機
顔料のどちらもを使用することができるが、毒性などの
観点から有機顔料が好適に用いられる。有機顔料として
は、例えば、アゾ系、フタロシアニン系、キナクリドン
系、ペリレン系、ペリノン系、イソインドリノン系、キ
ノフタロン系、ジオキサジン系、アントラキノン系、イ
ンジゴ系、メチン系など従来より使用されているものが
使用可能である。これらの顔料は、色相を最適化するた
めに、複数組み合わせて使用することも可能である。特
に、液晶用カラーフィルターを製造する際に使用される
顔料分散レジストを、本発明の感エネルギー線ポジ型感
応性組成物を用いて製造するに当たっては、分散後の該
顔料の最大粒径が０．８μｍ以下、より好ましくは０．
３μｍ以下の大きさまでに分散されることが望まれる。

【０１９０】本発明のポジ型感応性組成物は、上記各成
分を溶解する溶媒に溶かして、支持体上に塗布する。こ
こで使用する溶媒としては、１，１，２，２−テトラク
ロロエタン、エチレンジクロライド、シクロヘキサノ
ン、シクロペンタノン、γ−プチロラクトン、メチルエ
チルケトン、エチレングリコールモノメチルエーテル、
エチレングリコールモノエチルエーテル、２−メトキシ
エチルアセテート、エチレングリコールモノエチルエ一
テルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエ一
テル、トルエン、酢酸エチル、乳酸メチル、乳酸エチ
ル、Ｎ，Ｎ一ジメチルホルムアミド、Ｎ，Ｎ一ジメチル
アセトアミド、ジメチルスルホキシドなどが好ましく、
これらの溶媒を単独あるいは混合して使用する。

【０１９１】またさらに、上記溶媒に界面活性剤、ハレ
ーション防止剤、帯電防止剤、レベリング剤、消泡剤な
どの添加剤を適宜混合して使用することも可能である。

【０１９２】上記ポジ型感応性組成物を用いて画像形成
を行うに当たっては、精密集積回路素子の製造に使用さ
れるような基板（例：シリコン／二酸化シリコン被
覆）、プリント回路用に使用されるような基板（例：銅
張り積層板）、カラーフィルターに用いられるようなガ
ラス板（またはプラスチック板）、あるいは平版印刷版
に使用されるような基板（例：陽極酸化されたＡｌ板）
上に、スピナー、コーター等の適当な塗布方法により塗
布した後、制御された条件のもとで、通常プリベーク
し、所定のマスクを通して光（あるいは電子線）を照射
したり、あるいはレーザー（あるいは電子線）よる直接
描画をした後、制御された条件のもとで、照射領域を現
像液にて現像処理して、選択的に除去することにより、
良好なパターン画像を形成することができる。エネルギ
ー線源としては、低圧水銀灯、中圧水銀灯、高圧水銀
灯、超高圧水銀灯、キセノンランプ、カーボンアーク
灯、メタルハライドランプ、蛍光灯、タングステンラン
プ、エキシマーランプ、エキシマーレーザ、窒素レー
ザ、アルゴンイオンレーザ、ヘリウムカドミウムレー
ザ、ヘリウムネオンレーザ、クリプトンイオンレーザ、
各種半導体レーザ、ＹＡＧレーザ、発光ダイオード、Ｃ
ＲＴ光源、プラズマ光源等の各種光源に代表される光エ
ネルギー源や、ＥＢ発生装置による電子線源、Ｘ線源が
あげられる。また、発生した酸を系中に拡散せしめる目
的のため、あるいは発生した酸による化学反応を促進せ
しめる目的のために、エネルギー線による照射を行った
後に、加熱することも可能である。加熱方法としては、
加熱オーブンの使用やサーマルヘッドなどの使用が可能
である。該方法により、いわゆる化学増幅が可能とな
る。加熱温度は、酸発生剤の種類、使用する高分子化合
物の種類によって適宜選択することが望ましいが、一般
的には４０℃〜１５０℃の範囲で行う。

【０１９３】

【作用】本発明の感エネルギー線酸発生剤（Ａ）は、エ
ネルギー線の照射によって、分子内でエネルギー移動ま
たは電子移動反応を起こし分解することにより、強い酸
を発生するものと考えられる。また、感エネルギー線酸
発生剤（Ａ）と増感剤（Ｃ）を含んだ感エネルギー線酸
発生剤組成物とした場合には、エネルギー線の照射によ
って、増感剤（Ｃ）と感エネルギー線酸発生剤（Ａ）の
間で、エネルギー移動もしくは電子移動が起こり、該感
エネルギー線酸発生剤（Ａ）が分解して、さらに効率良
く酸を発生するものと考えられる。この際、酸を触媒と
する反応により現像液に対する親和性あるいは溶解性が
増加する性質を有する化合物（Ｂ）が共存すると、発生
した酸によって化合物（Ｂ）が解重合を生じ、現像液に
対する親和性あるいは溶解性が増加し、したがって現像
液により除去されることにより画像パターン形成が可能
になる。

【０１９４】

【実施例】以下、実施例にて本発明を詳細にするが、本
発明は下記のみに限定されるものではない。尚、例中、
部は重量部を示す。

【０１９５】実施例１ 酸を触媒とする反応により現像液に対する親和性あるい
は溶解性が増加する性質を有する化合物（Ｂ）として、
ポリ（ｐ−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニルオキシスチレ
ン）（重量平均分子量：３０，０００）３部、感エネル
ギー線酸発生剤（Ａ）として、ジメチルフェナシルスル
ホニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレー
ト０．３部、溶媒として、シクロヘキサノンを２７部か
らなる感エネルギー線ポジ型感応性組成物を調製した。
次いで、この感エネルギー線ポジ型感応性組成物を、ス
ピナーを用いて、陽極酸化処理したアルミ板上に、２．
０μｍの厚みに塗布した後、オーブン中で６０℃／１０
分間プリベークして溶媒を除去し、平版印刷用ＰＳ版を
作成した。該ＰＳ版に、超高圧水銀灯（５００Ｗ、ウシ
オ電機社製）を用いて、パターンの描かれたフォトマス
クを通して露光した後、１００℃で３分間ポストベーク
した。ついで、現像液として、１．２％炭酸ナトリウム
水溶液にて現像（２５℃／１分間）し、さらに水洗後、
乾燥して、ポジマスクパターンと同一パターンの平版用
印刷版を作成した。パターン形成に要した露光エネルギ
ー量は２０ｍＪ／ｃｍ２（残膜率：９９％）であった。

【０１９６】比較例１ 実施例１におけるジメチルフェナシルスルホニウムテト
ラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレートのかわり
に、公知のジメチルフェナシルスルホニウムヘキサフル
オロホスフェートを０．３部使用した他は、実施例１と
全く同様の操作で平版用印刷版の作成を試みたところ、
パターン形成に要した露光エネルギー量は７０ｍＪ／ｃ
ｍ２（残膜率：９９％）であった。このことから、本発
明の感エネルギー線酸発生剤（Ａ）含む感エネルギー線
ポジ型感応性組成物を用いた場合の方が、感度が向上し
ていることがわかる。

【０１９７】実施例２ 酸を触媒とする反応により現像液に対する親和性あるい
は溶解性が増加する性質を有する化合物（Ｂ）として、
ポリ（ｐ−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニルオキシスチレ
ン）（重量平均分子量：３０，０００）を１．５部およ
びｍ−，ｐ−クレゾールノボラック樹脂（ｍ／ｐ比＝４
０／６０モル比、重量平均分子量：７，０００）を１．
５部、感エネルギー線酸発生剤（Ａ）として、ジメチル
フェナシルスルホニウムテトラキス（ペンタフルオロフ
ェニル）ボレートを０．３部、溶媒としてシクロヘキサ
ノンを２７部からなる感エネルギー線ポジ型感応性組成
物を調製した。次いで、この感エネルギー線ポジ型感応
性組成物を、スピナーを用いて、実施例１と同様の操作
で、平版印刷用ＰＳ版を作成した。該ＰＳ版に、実施例
１と同様の操作でパターン露光し平版用印刷版を作成し
た。パターン形成に要した露光エネルギー量は１３ｍＪ
／ｃｍ２（残膜率：９５％）であった。

【０１９８】実施例３〜実施例５５ 実施例２において、ジメチルフェナシルスルホニウムテ
トラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレートのかわり
に、第１表に示す感エネルギー線酸発生剤（Ａ）を用い
た他は、実施例２と同様の操作で平版用印刷版を作成し
た。第１表に、残膜率９５％の平版用印刷版のパターン
形成に要した露光エネルギーを示した。

【０１９９】 第１表 ────────────────────────────────── 実施例 感エネルギー線酸発生剤（Ａ） 露光エネルキ゛ー (mJ/cm２) ────────────────────────────────── 3 シ ゛メチルヘ゛ンシ゛ルスルホニウム テトラキス(ヘ ゜ンタフルオロフェニル)ホ゛レート 30 4 シ ゛フェニルヘ ゛ンシ゛ルスルホニウム テトラキス(ヘ ゜ンタフルオロフェニル)ホ゛レート 25 5 メチルフェニルヘ゛ンシ゛ルスルホニウム テトラキス(ヘ ゜ンタフルオロフェニル)ホ゛レート 27 6 シ ゛メチル(p-シアノヘ゛ンシ゛ル)スルホニウム テトラキス(ヘ゜ンタフルオロフェニル)ホ゛レート 23 7 シ ゛フェニルフェナシルスルホニウム テトラキス(ヘ ゜ンタフルオロフェニル)ホ゛レート 15 8 シ ゛メチル(p-シアノフェナシル)スルホニウム テトラキス(ヘ ゜ンタフルオロフェニル)ホ゛レート 18 9 シ ゛メチルアリルスルホニウム テトラキス(ヘ゜ンタフルオロフェニル)ホ゛レート 30 10 シ ゛フェニルメトキシスルホニウム テトラキス(ヘ゜ンタフルオロフェニル)ホ゛レート 25 11 シ ゛フェニルフェノキシスルホニウム テトラキス(ヘ ゜ンタフルオロフェニル)ホ゛レート 22 12 シ ゛メチルヘ゛ンシ゛ルスルホキソニウム テトラキス(ヘ ゜ンタフルオロフェニル)ホ゛レート 25 13 シ ゛フェニルヘ ゛ンシ゛ルスルホキソニウム テトラキス(ヘ ゜ンタフルオロフェニル)ホ゛レート 20 14 メチルフェニルヘ゛ンシ゛ルスルホキソニウム テトラキス(ヘ ゜ンタフルオロフェニル)ホ゛レート 17 15 シ ゛メチル(p-シアノヘ゛ンシ゛ル)スルホキソニウム テトラキス(ヘ゜ンタフルオロフェニル)ホ゛レート 18 16 シ ゛フェニルフェナシルスルホキソニウム テトラキス(ヘ ゜ンタフルオロフェニル)ホ゛レート 10 17 シ ゛メチル(p-シアノフェナシル)スルホキソニウム テトラキス(ヘ ゜ンタフルオロフェニル)ホ゛レート 13 18 トリフェニルヘ ゛ンシ゛ルホスホニウム テトラキス(ヘ ゜ンタフルオロフェニル)ホ゛レート 40 19 トリメチルヘ゛ンシ゛ルホスホニウム テトラキス(ヘ ゜ンタフルオロフェニル)ホ゛レート 35 20 メチルシ゛フェニルヘ ゛ンシ゛ルホスホニウム テトラキス(ヘ ゜ンタフルオロフェニル)ホ゛レート 37 21 トリフェニル(p-シアノヘ ゛ンシ゛ル)ホスホニウム テトラキス(ヘ゜ンタフルオロフェニル)ホ゛レート 33 22 トリメチルフェナシルホスホニウム テトラキス(ヘ゜ンタフルオロフェニル)ホ゛レート 25 23 トリフェニル(p-シアノフェナシル)ホスホニウム テトラキス(ヘ゜ンタフルオロフェニル)ホ゛レート 28 24 N-ヘ ゛ンシ゛ルヒ゜リシ゛ニウム テトラキス(ヘ ゜ンタフルオロフェニル)ホ゛レート 33 25 N-(p-シアノヘ ゛ンシ゛ル)ヒ ゜リシ゛ニウム テトラキス(ヘ ゜ンタフルオロフェニル)ホ゛レート 30 26 4-シアノ-1-フェナシルヒ゜リシ゛ニウム テトラキス(ヘ ゜ンタフルオロフェニル)ホ゛レート 30 27 2-メチル-1-エトキシヒ ゜リシ゛ニウム テトラキス(ヘ ゜ンタフルオロフェニル)ホ゛レート 27 28 N-ヘ ゛ンシ゛ルキノリニウム テトラキス(ヘ ゜ンタフルオロフェニル)ホ゛レート 33 29 N-(p-シアノヘ ゛ンシ゛ル)キノリニウム テトラキス(ヘ゜ンタフルオロフェニル)ホ゛レート 30 30 4-シアノ-1-フェナシルキノリニウム テトラキス(ヘ ゜ンタフルオロフェニル)ホ゛レート 30 31 2-メチル-1-エトキシキノリニウム テトラキス(ヘ゜ンタフルオロフェニル)ホ゛レート 27 32 N-ヘ ゛ンシ゛ルイソキノリニウム テトラキス(ヘ ゜ンタフルオロフェニル)ホ゛レート 32 33 N-(p-シアノヘ ゛ンシ゛ル)イソキノリニウム テトラキス(ヘ゜ンタフルオロフェニル)ホ゛レート 28 34 6-クロロ-1-フェナシルイソキノリニウム テトラキス(ヘ ゜ンタフルオロフェニル)ホ゛レート 28 35 2-メチル-1-エトキシイソキノリニウム テトラキス(ヘ゜ンタフルオロフェニル)ホ゛レート 26 36 N-ヘ ゛ンシ゛ルチアソ゛リウム テトラキス(ヘ ゜ンタフルオロフェニル)ホ゛レート 35 37 N-(p-シアノヘ ゛ンシ゛ル)チアソ ゛リウム テトラキス(ヘ ゜ンタフルオロフェニル)ホ゛レート 34 38 2-メルカフ゜ト-3-フェナシルチアソ゛リウム テトラキス(ヘ ゜ンタフルオロフェニル)ホ゛レート 32 39 6-ヒト゛ロキシ-3-フェナシルチアソ゛リウム テトラキス(ヘ ゜ンタフルオロフェニル)ホ゛レート 35 40 N-ヘ ゛ンシ゛ルオキサソ ゛リウム テトラキス(ヘ ゜ンタフルオロフェニル)ホ゛レート 35 41 N-(p-シアノヘ ゛ンシ゛ル)オキサソ゛リウム テトラキス(ヘ ゜ンタフルオロフェニル)ホ゛レート 34 42 2-クロロ-3-ヘ ゛ンス゛ヒト゛リルオキサソ゛リウム テトラキス(ヘ ゜ンタフルオロフェニル)ホ゛レート 32 43 6-ヒト゛ロキシ-3-フェナシルオキサソ ゛リウム テトラキス(ヘ ゜ンタフルオロフェニル)ホ゛レート 35 44 シ ゛(2-フリル)ヨート゛ニウム テトラキス(ヘ ゜ンタフルオロフェニル)ホ゛レート 9 45 シ ゛(2-チエニル)ヨート ゛ニウム テトラキス(ヘ ゜ンタフルオロフェニル)ホ゛レート 9 46 ヒ ゛ス(2-(3-メチル)フリル)ヨート゛ニウム テトラキス(ヘ ゜ンタフルオロフェニル)ホ゛レート 9 47 ヒ ゛ス(2-(3-メチル)チエニル)ヨート ゛ニウム テトラキス(ヘ ゜ンタフルオロフェニル)ホ゛レート 9 48 シ ゛フェニルヨート ゛ニウム テトラキス(ヘ ゜ンタフルオロフェニル)ホ゛レート 15 49 ヒ ゛ス(p-t-フ ゛チルフェニル)ヨート゛ニウム テトラキス(ヘ ゜ンタフルオロフェニル)ホ゛レート 13 50 トリフェニルスルホニウム テトラキス(ヘ゜ンタフルオロフェニル)ホ゛レート 35 51 トリフェニルスルホキソニウム テトラキス(ヘ゜ンタフルオロフェニル)ホ゛レート 30 52 シ ゛メチルヘ゛ンシ゛ルスルホニウム テトラキス[3,5-ヒ゛ス(トリフルオロメチル)フェニル] ホ ゛レート 32 53 シ ゛メチルヘ゛ンシ゛ルスルホキソニウム テトラキス[3,5-ヒ゛ス(トリフルオロメチル)フェニル] ホ ゛レート 27 54 2-メチル-1-エトキシヒ ゜リシ゛ニウム テトラキス[3,5-ヒ゛ス(トリフルオロメチル)フェニル] ホ ゛レート 28 55 シ ゛(2-チエニル)ヨート ゛ニウム テトラキス[3,5-ヒ゛ス(トリフルオロメチル)フェニル] ホ ゛レート 12 56 ( η５-2,4-シクロヘ ゜ンタシ ゛エニル-1-イル) 12 [(1,2,3,4,5,6-η)-(1-メチルエチル)ヘ ゛ンセ゛ン ] 鉄 テトラキス[3,5-ヒ゛ス(トリフルオロメチル)フェニル] ホ ゛レート 12 ──────────────────────────────────

【０２００】実施例５７〜実施例１１１ 実施例２〜実施例５６における感エネルギー線ポジ型感
応性組成物に、それぞれ、９，１０−ジメチルアントラ
センを０．１５部添加した他は、全く同様の操作で、平
版用印刷版を作成した。第２表に、残膜率９５％の平版
用印刷版のパターン形成に要した露光エネルギーを示し
た。

【０２０１】 第２表 ────────────────────────────────── 実施例 感エネルギー線酸発生剤（Ａ） 露光エネルキ゛ー (mJ/cm２) ────────────────────────────────── 57 シ ゛メチルヘ゛ンシ゛ルスルホニウム テトラキス(ヘ ゜ンタフルオロフェニル)ホ゛レート 15 58 シ ゛フェニルヘ ゛ンシ゛ルスルホニウム テトラキス(ヘ ゜ンタフルオロフェニル)ホ゛レート 12 59 メチルフェニルヘ゛ンシ゛ルスルホニウム テトラキス(ヘ ゜ンタフルオロフェニル)ホ゛レート 12 60 シ ゛メチル(p-シアノヘ゛ンシ゛ル)スルホニウム テトラキス(ヘ゜ンタフルオロフェニル)ホ゛レート 11 61 シ ゛フェニルフェナシルスルホニウム テトラキス(ヘ ゜ンタフルオロフェニル)ホ゛レート 7 62 シ ゛メチル(p-シアノフェナシル)スルホニウム テトラキス(ヘ ゜ンタフルオロフェニル)ホ゛レート 9 63 シ ゛メチルアリルスルホニウム テトラキス(ヘ゜ンタフルオロフェニル)ホ゛レート 12 64 シ ゛フェニルメトキシスルホニウム テトラキス(ヘ゜ンタフルオロフェニル)ホ゛レート 12 65 シ ゛フェニルフェノキシスルホニウム テトラキス(ヘ ゜ンタフルオロフェニル)ホ゛レート 10 66 シ ゛メチルヘ゛ンシ゛ルスルホキソニウム テトラキス(ヘ ゜ンタフルオロフェニル)ホ゛レート 11 67 シ ゛フェニルヘ ゛ンシ゛ルスルホキソニウム テトラキス(ヘ ゜ンタフルオロフェニル)ホ゛レート 10 68 メチルフェニルヘ゛ンシ゛ルスルホキソニウム テトラキス(ヘ ゜ンタフルオロフェニル)ホ゛レート 7 69 シ ゛メチル(p-シアノヘ゛ンシ゛ル)スルホキソニウム テトラキス(ヘ゜ンタフルオロフェニル)ホ゛レート 8 70 シ ゛フェニルフェナシルスルホキソニウム テトラキス(ヘ ゜ンタフルオロフェニル)ホ゛レート 5 71 シ ゛メチル(p-シアノフェナシル)スルホキソニウム テトラキス(ヘ ゜ンタフルオロフェニル)ホ゛レート 6 72 トリフェニルヘ ゛ンシ゛ルホスホニウム テトラキス(ヘ ゜ンタフルオロフェニル)ホ゛レート 20 73 トリメチルヘ゛ンシ゛ルホスホニウム テトラキス(ヘ ゜ンタフルオロフェニル)ホ゛レート 17 74 メチルシ゛フェニルヘ ゛ンシ゛ルホスホニウム テトラキス(ヘ ゜ンタフルオロフェニル)ホ゛レート 15 75 トリフェニル(p-シアノヘ ゛ンシ゛ル)ホスホニウム テトラキス(ヘ゜ンタフルオロフェニル)ホ゛レート 15 76 トリメチルフェナシルホスホニウム テトラキス(ヘ゜ンタフルオロフェニル)ホ゛レート 12 77 トリフェニル(p-シアノフェナシル)ホスホニウム テトラキス(ヘ゜ンタフルオロフェニル)ホ゛レート 14 78 N-ヘ ゛ンシ゛ルヒ゜リシ゛ニウム テトラキス(ヘ ゜ンタフルオロフェニル)ホ゛レート 15 79 N-(p-シアノヘ ゛ンシ゛ル)ヒ ゜リシ゛ニウム テトラキス(ヘ ゜ンタフルオロフェニル)ホ゛レート 14 80 4-シアノ-1-フェナシルヒ゜リシ゛ニウム テトラキス(ヘ ゜ンタフルオロフェニル)ホ゛レート 14 81 2-メチル-1-エトキシヒ ゜リシ゛ニウム テトラキス(ヘ ゜ンタフルオロフェニル)ホ゛レート 13 82 N-ヘ ゛ンシ゛ルキノリニウム テトラキス(ヘ ゜ンタフルオロフェニル)ホ゛レート 15 83 N-(p-シアノヘ ゛ンシ゛ル)キノリニウム テトラキス(ヘ゜ンタフルオロフェニル)ホ゛レート 15 84 4-シアノ-1-フェナシルキノリニウム テトラキス(ヘ ゜ンタフルオロフェニル)ホ゛レート 14 85 2-メチル-1-エトキシキノリニウム テトラキス(ヘ゜ンタフルオロフェニル)ホ゛レート 16 86 N-ヘ ゛ンシ゛ルイソキノリニウム テトラキス(ヘ ゜ンタフルオロフェニル)ホ゛レート 15 87 N-(p-シアノヘ ゛ンシ゛ル)イソキノリニウム テトラキス(ヘ゜ンタフルオロフェニル)ホ゛レート 13 88 6-クロロ-1-フェナシルイソキノリニウム テトラキス(ヘ ゜ンタフルオロフェニル)ホ゛レート 13 89 2-メチル-1-エトキシイソキノリニウム テトラキス(ヘ゜ンタフルオロフェニル)ホ゛レート 12 90 N-ヘ ゛ンシ゛ルチアソ゛リウム テトラキス(ヘ ゜ンタフルオロフェニル)ホ゛レート 15 91 N-(p-シアノヘ ゛ンシ゛ル)チアソ ゛リウム テトラキス(ヘ ゜ンタフルオロフェニル)ホ゛レート 16 92 2-メルカフ゜ト-3-フェナシルチアソ゛リウム テトラキス(ヘ ゜ンタフルオロフェニル)ホ゛レート 16 93 6-ヒト゛ロキシ-3-フェナシルチアソ゛リウム テトラキス(ヘ ゜ンタフルオロフェニル)ホ゛レート 17 94 N-ヘ ゛ンシ゛ルオキサソ ゛リウム テトラキス(ヘ ゜ンタフルオロフェニル)ホ゛レート 17 95 N-(p-シアノヘ ゛ンシ゛ル)オキサソ゛リウム テトラキス(ヘ ゜ンタフルオロフェニル)ホ゛レート 16 96 2-クロロ-3-ヘ ゛ンス゛ヒト゛リルオキサソ゛リウム テトラキス(ヘ ゜ンタフルオロフェニル)ホ゛レート 16 97 6-ヒト゛ロキシ-3-フェナシルオキサソ ゛リウム テトラキス(ヘ ゜ンタフルオロフェニル)ホ゛レート 16 98 シ ゛(2-フリル)ヨート゛ニウム テトラキス(ヘ ゜ンタフルオロフェニル)ホ゛レート 3 99 シ ゛(2-チエニル)ヨート ゛ニウム テトラキス(ヘ ゜ンタフルオロフェニル)ホ゛レート 3 100 ヒ ゛ス(2-(3-メチル)フリル)ヨート゛ニウム テトラキス(ヘ ゜ンタフルオロフェニル)ホ゛レート 3 101 ヒ ゛ス(2-(3-メチル)チエニル)ヨート ゛ニウム テトラキス(ヘ ゜ンタフルオロフェニル)ホ゛レート 3 102 シ ゛フェニルヨート ゛ニウム テトラキス(ヘ ゜ンタフルオロフェニル)ホ゛レート 7 103 ヒ ゛ス(p-t-フ ゛チルフェニル)ヨート゛ニウム テトラキス(ヘ ゜ンタフルオロフェニル)ホ゛レート 7 104 トリフェニルスルホニウム テトラキス(ヘ゜ンタフルオロフェニル)ホ゛レート 15 105 トリフェニルスルホキソニウム テトラキス(ヘ゜ンタフルオロフェニル)ホ゛レート 15 106 シ ゛メチルヘ゛ンシ゛ルスルホニウム 16 テトラキス[3,5-ヒ゛ス(トリフルオロメチル)フェニル] ホ ゛レート 107 シ ゛メチルヘ゛ンシ゛ルスルホキソニウム 12 テトラキス[3,5-ヒ゛ス(トリフルオロメチル)フェニル] ホ ゛レート 108 2-メチル-1-エトキシヒ ゜リシ゛ニウム 14 テトラキス[3,5-ヒ゛ス(トリフルオロメチル)フェニル] ホ ゛レート 109 シ ゛(2-チエニル)ヨート ゛ニウム 5 テトラキス[3,5-ヒ゛ス(トリフルオロメチル)フェニル] ホ ゛レート 110 ( η５-2,4-シクロヘ ゜ンタシ ゛エニル-1-イル) 5 [(1,2,3,4,5,6-η)-(1-メチルエチル)ヘ ゛ンセ゛ン ] 鉄 テトラキス[3,5-ヒ゛ス(トリフルオロメチル)フェニル] ホ ゛レート 111 シ ゛メチルフェナシルスルホニウム テトラキス(ヘ゜ンタフルオロフェニル)ホ゛レート 5 ──────────────────────────────────

【０２０２】実施例１１２ 実施例１１１における、９，１０−ジメチルアントラセ
ンのかわりに、９，１０−ビス（フェニルエチニル）ア
ントラセンを０．１７部用い、また照射方法としてＡｒ
イオンレーザー（発振波長：４８８ｎｍ、ビーム径：３
０μｍ）を走査露光した他は、実施例１１１と全く同様
の操作で、平版用印刷版を作成した。パターン形成に要
した露光エネルギーは３ｍＪ／ｃｍ２（残膜率：９５
％）であった。

【０２０３】

【発明の効果】以上説明したように、本発明による、感
エネルギー線酸発生剤（Ａ）および、酸を触媒とする反
応により現像液に対する親和性あるいは溶解性が増加す
る性質を有する化合物（Ｂ）とを含む、またさらには増
感剤（Ｃ）を添加してなる感エネルギー線ポジ型感応性
組成物を用いることにより、従来のポジ型感光性組成物
よりも、低いエネルギー線照射量で画像形成することが
可能となり、したがって、本発明の感エネルギー線ポジ
型感応性組成物は、印刷用ＰＳ版、プリント基板用レジ
スト、集積回路用レジスト、あるいはカラーフィルター
用レジストなど、ポジ型感応性樹脂が適用される各種分
野の材料に好適に用いられる。

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】オニウムカチオンと、下記一般式（１）の
   ボレートアニオンとから構成されるオニウムボレート錯
   体である感エネルギー線酸発生剤（Ａ）、および酸を触
   媒とする反応により現像液に対する親和性あるいは溶解
   性が増加する性質を有する化合物（Ｂ）を含むことを特
   徴とする感エネルギー線ポジ型感応性組成物。 一般式（１） ［ＢＹｍＺｎ］− （ただし、Ｙはフッ素または塩素、Ｚはフッ素、シアノ
   基、ニトロ基、トリフルオロメチル基の中から選ばれる
   少なくとも２個の電子吸引性基で置換されたフェニル
   基、ｍは０〜３の整数、ｎは１〜４の整数を表し、ｍ＋
   ｎ＝４である。）
2. 【請求項２】一般式（１）のボレートアニオンが、テト
   ラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレートもしくはテ
   トラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニ
   ル］ボレートである請求項１記載の感エネルギー線ポジ
   型感応性組成物。
3. 【請求項３】感エネルギー線酸発生剤（Ａ）が、オニウ
   ムカチオン中心元素に、ベンジル基、置換されたベンジ
   ル基、フェナシル基、置換されたフェナシル基、アリル
   基、置換されたアリル基、アルコキシル基、置換された
   アルコキシル基、アリールオキシ基、置換されたアリー
   ルオキシ基から選ばれる基が、直接化学結合した感エネ
   ルギー線酸発生剤（Ａ）である。請求項１または請求項
   ２記載の感エネルギー線ポジ型感応性組成物。
4. 【請求項４】さらに増感剤（Ｃ）を添加してなることを
   特徴とする請求項１ないし請求項３記載の感エネルギー
   線ポジ型感応性組成物。