JPH09303397A - スピンドル装置 - Google Patents
スピンドル装置Info
- Publication number
- JPH09303397A JPH09303397A JP12368096A JP12368096A JPH09303397A JP H09303397 A JPH09303397 A JP H09303397A JP 12368096 A JP12368096 A JP 12368096A JP 12368096 A JP12368096 A JP 12368096A JP H09303397 A JPH09303397 A JP H09303397A
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- Japan
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- housing
- rotary shaft
- bearing
- hole
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ハウジングと回転軸との間の電気的絶縁を確
実に行うことができ、しかも生産性の向上を図ることが
できるスピンドル装置を提供する。 【解決手段】 静圧空気軸受２と、該静圧空気軸受２が
嵌合されるハウジング１の大径孔部５との対面部分、す
なわち、静圧空気軸受２の外径面と大径孔部５の内周面
との間、及び静圧空気軸受２の内端面と大径孔部５の底
面との間に、絶縁材８としての表面処理膜を介在させ、
これによりハウジング１と回転軸４との間を電気的に絶
縁する。
実に行うことができ、しかも生産性の向上を図ることが
できるスピンドル装置を提供する。 【解決手段】 静圧空気軸受２と、該静圧空気軸受２が
嵌合されるハウジング１の大径孔部５との対面部分、す
なわち、静圧空気軸受２の外径面と大径孔部５の内周面
との間、及び静圧空気軸受２の内端面と大径孔部５の底
面との間に、絶縁材８としての表面処理膜を介在させ、
これによりハウジング１と回転軸４との間を電気的に絶
縁する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば磁気ディス
クや磁気ヘッドなどの検査用機器に好適なスピンドル装
置に関する。
クや磁気ヘッドなどの検査用機器に好適なスピンドル装
置に関する。
【０００２】
【従来の技術】この種のスピンドル装置は、円筒状のハ
ウジングに回転軸であるスピンドルが静圧気体軸受を介
して支持されている。回転軸は円筒状をなしており、一
方の端部開口が真空吸着部とされている。該真空吸着部
を利用して例えば磁気ディスク等を吸着保持して所定の
検査を行う。なお、ハウジング、静圧気体軸受及び回転
軸は全て導電性材料で形成されている。
ウジングに回転軸であるスピンドルが静圧気体軸受を介
して支持されている。回転軸は円筒状をなしており、一
方の端部開口が真空吸着部とされている。該真空吸着部
を利用して例えば磁気ディスク等を吸着保持して所定の
検査を行う。なお、ハウジング、静圧気体軸受及び回転
軸は全て導電性材料で形成されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところで、磁気ディス
ク等の検査に際しては、ハウジング側と回転軸側とで別
々に電圧を印加することがある。この場合、ハウジング
と回転軸との間を電気的に絶縁する必要が生じるが、従
来のスピンドル装置においては、静圧気体軸受と回転軸
との間の軸受すき間によって電気的絶縁を行っている。
ク等の検査に際しては、ハウジング側と回転軸側とで別
々に電圧を印加することがある。この場合、ハウジング
と回転軸との間を電気的に絶縁する必要が生じるが、従
来のスピンドル装置においては、静圧気体軸受と回転軸
との間の軸受すき間によって電気的絶縁を行っている。
【０００４】しかしながら、このように軸受すき間でハ
ウジングと回転軸との電気的絶縁を行うと、該軸受すき
間に極僅かな塵等の存在も許されないため、その洗浄及
び組み立て作業に長時間を要し、生産効率が低下すると
いう不都合がある。
ウジングと回転軸との電気的絶縁を行うと、該軸受すき
間に極僅かな塵等の存在も許されないため、その洗浄及
び組み立て作業に長時間を要し、生産効率が低下すると
いう不都合がある。
【０００５】また、洗浄及び組み立て作業に長時間を要
したにもかかわらず、時間の経過に伴い軸受すき間に塵
等が侵入して絶縁環境がいつ破壊されてもおかしくない
状況にある。
したにもかかわらず、時間の経過に伴い軸受すき間に塵
等が侵入して絶縁環境がいつ破壊されてもおかしくない
状況にある。
【０００６】本発明はかかる不都合を解消するためにな
されたものであり、ハウジングと回転軸との間の電気的
絶縁を確実に行うことができ、しかも生産性の向上を図
ることができるスピンドル装置を提供することを目的と
する。
されたものであり、ハウジングと回転軸との間の電気的
絶縁を確実に行うことができ、しかも生産性の向上を図
ることができるスピンドル装置を提供することを目的と
する。
【０００７】
【課題を解決するための手段】かかる目的を達成するた
めに、本発明に係るスピンドル装置は、ハウジングと該
ハウジングの内周面に取り付けられた静圧気体軸受とを
有する固定体、及び前記ハウジングに前記静圧気体軸受
を介して支持される回転軸を備えたスピンドル装置であ
って、前記固定体及び前記回転軸の内の少なくとも一方
に、前記ハウジングと前記回転軸との間を電気的に絶縁
する絶縁材を配置したことを特徴とする。
めに、本発明に係るスピンドル装置は、ハウジングと該
ハウジングの内周面に取り付けられた静圧気体軸受とを
有する固定体、及び前記ハウジングに前記静圧気体軸受
を介して支持される回転軸を備えたスピンドル装置であ
って、前記固定体及び前記回転軸の内の少なくとも一方
に、前記ハウジングと前記回転軸との間を電気的に絶縁
する絶縁材を配置したことを特徴とする。
【０００８】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図１
を参照して説明する。図１は本発明の実施の形態の一例
であるスピンドル装置を説明するための説明的断面図で
ある。
を参照して説明する。図１は本発明の実施の形態の一例
であるスピンドル装置を説明するための説明的断面図で
ある。
【０００９】このスピンドル装置は、ハウジング１と該
ハウジング１の内周面に取り付けられた静圧気体軸受２
とを有する固定体３、及びハウジング１に静圧気体軸受
２を介して支持される回転軸４を備える。なお、この実
施の形態では、ハウジング１、静圧気体軸受２及び回転
軸４は全て導電性材料で形成されている。
ハウジング１の内周面に取り付けられた静圧気体軸受２
とを有する固定体３、及びハウジング１に静圧気体軸受
２を介して支持される回転軸４を備える。なお、この実
施の形態では、ハウジング１、静圧気体軸受２及び回転
軸４は全て導電性材料で形成されている。
【００１０】ハウジング１は円筒形状をなしており、軸
方向の両端部内周面は円環状に切り欠かれて軸方向外方
に開口する二個の大径孔部５が形成されている。各大径
孔部５には、それぞれ静圧空気軸受２を構成する円筒状
の多孔質部材が接着或いはしまりばめ等の手段ではめ込
まれている。多孔質部材２は多孔質グラファイト材など
からなり、内径面をラジアル軸受面６、外端面をスラス
ト軸受面７として用いるように、切削或いは研削加工で
仕上げ加工がなされている。
方向の両端部内周面は円環状に切り欠かれて軸方向外方
に開口する二個の大径孔部５が形成されている。各大径
孔部５には、それぞれ静圧空気軸受２を構成する円筒状
の多孔質部材が接着或いはしまりばめ等の手段ではめ込
まれている。多孔質部材２は多孔質グラファイト材など
からなり、内径面をラジアル軸受面６、外端面をスラス
ト軸受面７として用いるように、切削或いは研削加工で
仕上げ加工がなされている。
【００１１】多孔質部材２と大径孔部５とが対面する部
分、すなわち、多孔質部材２の外径面と大径孔部５の内
周面との間、及び多孔質部材２の内端面と大径孔部５の
底面との間には、絶縁材８としての表面処理膜が介在さ
れており、これによりハウジング１と多孔質部材２との
間、ひいてはハウジング１と回転軸４との間が電気的に
絶縁され、ハウジング１と回転軸４とに別々に電圧が印
加できるようになっている。表面処理膜は、ポリアミド
イミドやふっ素化合物などで形成されている。ここで、
この実施の形態では、多孔質部材２の外径面と内端面と
に表面処理膜８をコーティングしているが、これに代え
て、大径孔部５の内周面と底面とに表面処理膜８をコー
ティングしてもよい。
分、すなわち、多孔質部材２の外径面と大径孔部５の内
周面との間、及び多孔質部材２の内端面と大径孔部５の
底面との間には、絶縁材８としての表面処理膜が介在さ
れており、これによりハウジング１と多孔質部材２との
間、ひいてはハウジング１と回転軸４との間が電気的に
絶縁され、ハウジング１と回転軸４とに別々に電圧が印
加できるようになっている。表面処理膜は、ポリアミド
イミドやふっ素化合物などで形成されている。ここで、
この実施の形態では、多孔質部材２の外径面と内端面と
に表面処理膜８をコーティングしているが、これに代え
て、大径孔部５の内周面と底面とに表面処理膜８をコー
ティングしてもよい。
【００１２】多孔質部材２には、回転軸４が軸受すき間
Ｓ1 を存して内挿されている。回転軸４はその軸線方向
の長さがハウジング１と略同一とされ、内部には軸心に
沿って貫通する貫通孔４ａが形成されている。回転軸４
の外周面は、多孔質部材２のラジアル軸受面６に軸受す
き間Ｓ1 を存して対向するラジアル受面１２とされてお
り、該ラジアル受面１２とラジアル軸受面６とによって
ラジアル軸受が構成される。
Ｓ1 を存して内挿されている。回転軸４はその軸線方向
の長さがハウジング１と略同一とされ、内部には軸心に
沿って貫通する貫通孔４ａが形成されている。回転軸４
の外周面は、多孔質部材２のラジアル軸受面６に軸受す
き間Ｓ1 を存して対向するラジアル受面１２とされてお
り、該ラジアル受面１２とラジアル軸受面６とによって
ラジアル軸受が構成される。
【００１３】また、回転軸４の両端部にはそれぞれフラ
ンジ部９がボルト１０を介して着脱自在に固定されてい
る。フランジ部９はハウジング１の端面に対向してお
り、中央部には回転軸４の貫通孔４ａに連通する吸引孔
９ａが形成されている。一方のフランジ部９の外端面が
磁気ディスクなどの吸着保持に利用できるワーク吸着部
１１をなしている。フランジ部９の内端面は多孔質部材
２のスラスト軸受面７に軸受すき間Ｓ2 を存して対向す
るスラスト受面１３とされており、該スラスト受面１３
とスラスト軸受面７とによってスラスト軸受が構成され
る。
ンジ部９がボルト１０を介して着脱自在に固定されてい
る。フランジ部９はハウジング１の端面に対向してお
り、中央部には回転軸４の貫通孔４ａに連通する吸引孔
９ａが形成されている。一方のフランジ部９の外端面が
磁気ディスクなどの吸着保持に利用できるワーク吸着部
１１をなしている。フランジ部９の内端面は多孔質部材
２のスラスト軸受面７に軸受すき間Ｓ2 を存して対向す
るスラスト受面１３とされており、該スラスト受面１３
とスラスト軸受面７とによってスラスト軸受が構成され
る。
【００１４】各多孔質部材２の間に位置するハウジング
１の内周面には、周方向に連続する３個の周溝１５，１
６，１７が軸方向に所定の間隔を存して形成されてい
る。これらの周溝１５，１６，１７のうち多孔質部材２
に隣接する位置にある周溝１５，１７には、ハウジング
１の壁部に形成された図示しない排気孔の一端が連通し
ており、該排気孔の他端はハウジング１の外面に開口し
ている。
１の内周面には、周方向に連続する３個の周溝１５，１
６，１７が軸方向に所定の間隔を存して形成されてい
る。これらの周溝１５，１６，１７のうち多孔質部材２
に隣接する位置にある周溝１５，１７には、ハウジング
１の壁部に形成された図示しない排気孔の一端が連通し
ており、該排気孔の他端はハウジング１の外面に開口し
ている。
【００１５】中間位置の周溝１６には、ハウジング１の
壁部内に形成された吸気孔１８の一端が連通しており、
該吸気孔１８の他端はハウジング１の端面に開口してそ
の開口端に図示しない真空ポンプなどの配管が接続され
る。また、周溝１６には、回転軸４の壁部に径方向に延
在して形成された吸気孔１９の一端が連通しており、該
吸気孔１９の他端は貫通孔４ａに連通している。吸気孔
１９は周方向に所定の間隔を存して複数形成されてい
る。
壁部内に形成された吸気孔１８の一端が連通しており、
該吸気孔１８の他端はハウジング１の端面に開口してそ
の開口端に図示しない真空ポンプなどの配管が接続され
る。また、周溝１６には、回転軸４の壁部に径方向に延
在して形成された吸気孔１９の一端が連通しており、該
吸気孔１９の他端は貫通孔４ａに連通している。吸気孔
１９は周方向に所定の間隔を存して複数形成されてい
る。
【００１６】ハウジング１の端面には、給気孔１４の一
端が開口しており、該給気孔１４の他端はハウジング１
の壁部内で２つに分岐してそれぞれ各多孔質部材２の外
径面に達している。給気孔１４に図示しない加圧空気供
給源から圧縮空気を送り込むことにより、該圧縮空気が
絞りとして機能する多孔質部材２を介してラジアル軸受
の軸受すき間Ｓ1 及びスラスト軸受の軸受すき間Ｓ2 に
噴出し、これにより、流体膜を形成して回転軸４を固定
体３に対し非接触で浮上支持するようになっている。
端が開口しており、該給気孔１４の他端はハウジング１
の壁部内で２つに分岐してそれぞれ各多孔質部材２の外
径面に達している。給気孔１４に図示しない加圧空気供
給源から圧縮空気を送り込むことにより、該圧縮空気が
絞りとして機能する多孔質部材２を介してラジアル軸受
の軸受すき間Ｓ1 及びスラスト軸受の軸受すき間Ｓ2 に
噴出し、これにより、流体膜を形成して回転軸４を固定
体３に対し非接触で浮上支持するようになっている。
【００１７】なお、スラスト軸受面７から噴出した圧縮
空気は、軸受すき間Ｓ2 から外部に排出され、また、ラ
ジアル軸受面６から噴出した圧縮空気は一部が軸受すき
間Ｓ 2 から外部に排出されると共に、残部が多孔質部材
２に隣接する周溝１５，１７から排気孔を経て外部に排
出される。
空気は、軸受すき間Ｓ2 から外部に排出され、また、ラ
ジアル軸受面６から噴出した圧縮空気は一部が軸受すき
間Ｓ 2 から外部に排出されると共に、残部が多孔質部材
２に隣接する周溝１５，１７から排気孔を経て外部に排
出される。
【００１８】かかる構成のスピンドル装置においては、
回転軸４の端部に設けられたフランジ部９のワーク吸着
部１１に図示しない磁気ディスクを装着して真空発生源
を作動させ、貫通孔４ａ内の空気を吸気孔１９、周溝１
６、吸気孔１８を経て真空吸引することにより、磁気デ
ィスクを吸着保持し、次いで、図示しない駆動手段によ
り回転軸４と共に磁気ディスクを一定回転速度で回転さ
せる。そして、回転軸４に固定体３から導電性の板バネ
で支持されたブラシを接触させ、ハウジング１と回転軸
４とを同電位の導通状態にするか、あるいは固定体３と
導電性板バネ締結部を塩化ビニールなどの絶縁材で絶縁
させ、ハウジング１と回転軸４との間を絶縁状態にして
磁気ディスクの検査を行う。ハウジング１と回転軸４と
の間を絶縁状態にして磁気ディスクの検査を行う際に
は、ハウジング１と回転軸４の間は、上述したように、
多孔質部材２とハウジング１の大径孔部５との対面部分
に介在された表面処理膜８により電気的に絶縁されてい
るので、従来のように、静圧空気軸受２の軸受すき間に
存在する僅かな塵等を無視することができ、この結果、
時間の経過に関係なくハウジング１と回転軸４との間を
確実に絶縁することができる。
回転軸４の端部に設けられたフランジ部９のワーク吸着
部１１に図示しない磁気ディスクを装着して真空発生源
を作動させ、貫通孔４ａ内の空気を吸気孔１９、周溝１
６、吸気孔１８を経て真空吸引することにより、磁気デ
ィスクを吸着保持し、次いで、図示しない駆動手段によ
り回転軸４と共に磁気ディスクを一定回転速度で回転さ
せる。そして、回転軸４に固定体３から導電性の板バネ
で支持されたブラシを接触させ、ハウジング１と回転軸
４とを同電位の導通状態にするか、あるいは固定体３と
導電性板バネ締結部を塩化ビニールなどの絶縁材で絶縁
させ、ハウジング１と回転軸４との間を絶縁状態にして
磁気ディスクの検査を行う。ハウジング１と回転軸４と
の間を絶縁状態にして磁気ディスクの検査を行う際に
は、ハウジング１と回転軸４の間は、上述したように、
多孔質部材２とハウジング１の大径孔部５との対面部分
に介在された表面処理膜８により電気的に絶縁されてい
るので、従来のように、静圧空気軸受２の軸受すき間に
存在する僅かな塵等を無視することができ、この結果、
時間の経過に関係なくハウジング１と回転軸４との間を
確実に絶縁することができる。
【００１９】また、静圧空気軸受２の軸受すき間に存在
する僅かな塵等を無視することができることから、従来
に比べて、洗浄及び組み立て作業に要する時間を大幅に
短縮することができ、この結果、生産性の向上を図るこ
とができる。
する僅かな塵等を無視することができることから、従来
に比べて、洗浄及び組み立て作業に要する時間を大幅に
短縮することができ、この結果、生産性の向上を図るこ
とができる。
【００２０】なお、上記実施の形態では、ハウジング
１、静圧気体軸受２及び回転軸４を全て導電性材料で形
成し、静圧空気軸受２とハウジング１の大径孔部５との
対面部分に表面処理膜８を介在させることにより、ハウ
ジング１と回転軸４との間を電気的に絶縁するようにし
ているが、これに代えて、回転軸４、静圧空気軸受２及
びハウジング１の少なくとも一個をセラミックなどの絶
縁材料で形成してハウジング１と回転軸４との間を電気
的に絶縁するようにしてもよい。
１、静圧気体軸受２及び回転軸４を全て導電性材料で形
成し、静圧空気軸受２とハウジング１の大径孔部５との
対面部分に表面処理膜８を介在させることにより、ハウ
ジング１と回転軸４との間を電気的に絶縁するようにし
ているが、これに代えて、回転軸４、静圧空気軸受２及
びハウジング１の少なくとも一個をセラミックなどの絶
縁材料で形成してハウジング１と回転軸４との間を電気
的に絶縁するようにしてもよい。
【００２１】また、上記実施の形態では、静圧空気軸受
２として多孔質部材を用いた場合を例に採ったが、これ
に代えて、例えばオリフィス絞りや自成絞りを備えた多
数孔形の静圧空気軸受とか、表面絞り形の静圧空気軸受
を使用してもよい。
２として多孔質部材を用いた場合を例に採ったが、これ
に代えて、例えばオリフィス絞りや自成絞りを備えた多
数孔形の静圧空気軸受とか、表面絞り形の静圧空気軸受
を使用してもよい。
【００２２】
【発明の効果】上記の説明から明らかなように、固定体
及び該固定体に回転可能に支持される回転軸の内の少な
くとも一方に絶縁材を配置して、ハウジングと回転軸と
の間を電気的に絶縁しているので、従来のように、静圧
空気軸受の軸受すき間に存在する僅かな塵等を無視する
ことができ、この結果、時間の経過に関係なくハウジン
グと回転軸との間を確実に絶縁することができるという
効果が得られる。
及び該固定体に回転可能に支持される回転軸の内の少な
くとも一方に絶縁材を配置して、ハウジングと回転軸と
の間を電気的に絶縁しているので、従来のように、静圧
空気軸受の軸受すき間に存在する僅かな塵等を無視する
ことができ、この結果、時間の経過に関係なくハウジン
グと回転軸との間を確実に絶縁することができるという
効果が得られる。
【００２３】また、静圧空気軸受の軸受すき間に存在す
る僅かな塵等を無視することができることから、従来に
比べて、洗浄及び組み立て作業に要する時間を大幅に短
縮することができ、この結果、生産性の向上を図ること
ができるという効果が得られる。
る僅かな塵等を無視することができることから、従来に
比べて、洗浄及び組み立て作業に要する時間を大幅に短
縮することができ、この結果、生産性の向上を図ること
ができるという効果が得られる。
【図１】本発明の実施の形態の一例であるスピンドル装
置を説明するための説明的断面図である。
置を説明するための説明的断面図である。
１…ハウジング ２…静圧気体軸受 ３…固定体 ４…回転軸 ８…絶縁材
Claims (1)
- 【請求項１】 ハウジングと該ハウジングの内周面に取
り付けられた静圧気体軸受とを有する固定体、及び前記
ハウジングに前記静圧気体軸受を介して支持される回転
軸を備えたスピンドル装置であって、前記固定体及び前
記回転軸の内の少なくとも一方に、前記ハウジングと前
記回転軸との間を電気的に絶縁する絶縁材を配置したこ
とを特徴とするスピンドル装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12368096A JP3653861B2 (ja) | 1996-05-17 | 1996-05-17 | スピンドル装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12368096A JP3653861B2 (ja) | 1996-05-17 | 1996-05-17 | スピンドル装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09303397A true JPH09303397A (ja) | 1997-11-25 |
| JP3653861B2 JP3653861B2 (ja) | 2005-06-02 |
Family
ID=14866658
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12368096A Expired - Fee Related JP3653861B2 (ja) | 1996-05-17 | 1996-05-17 | スピンドル装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3653861B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002349545A (ja) * | 2001-05-30 | 2002-12-04 | Smc Corp | 非接触式ガイドローラ |
| JP2008138850A (ja) * | 2006-12-05 | 2008-06-19 | Ntn Corp | 静圧気体軸受スピンドル |
| CN108612757A (zh) * | 2018-07-13 | 2018-10-02 | 燕山大学 | 一种主动型磁流变液静压轴承 |
| CN108612753A (zh) * | 2018-07-13 | 2018-10-02 | 燕山大学 | 一种磁流变液静压支承混合磁力轴承 |
-
1996
- 1996-05-17 JP JP12368096A patent/JP3653861B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002349545A (ja) * | 2001-05-30 | 2002-12-04 | Smc Corp | 非接触式ガイドローラ |
| JP2008138850A (ja) * | 2006-12-05 | 2008-06-19 | Ntn Corp | 静圧気体軸受スピンドル |
| CN108612757A (zh) * | 2018-07-13 | 2018-10-02 | 燕山大学 | 一种主动型磁流变液静压轴承 |
| CN108612753A (zh) * | 2018-07-13 | 2018-10-02 | 燕山大学 | 一种磁流变液静压支承混合磁力轴承 |
| CN108612757B (zh) * | 2018-07-13 | 2020-05-12 | 燕山大学 | 一种主动型磁流变液静压轴承 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3653861B2 (ja) | 2005-06-02 |
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