JP2008138850A - 静圧気体軸受スピンドル - Google Patents
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Abstract
【課題】絶縁性弾性部材による環状空間のシールおよび回転軸の振れ回り振動の減衰の機能を十分に確保しつつ、軸受スリーブにおける電荷の蓄積を抑制し、放電による損傷の発生を抑制可能な静圧気体軸受スピンドル提供する。
【解決手段】静圧気体軸受スピンドル1は、回転軸10と、回転軸10の外周面を取り囲むように配置された軸受スリーブ20と、軸受スリーブ20を取り囲み、軸受スリーブ20を支持するハウジング30と、軸受スリーブ20とハウジング30との間に配置されたニトリルゴムからなるOリング41とを備えている。軸受スリーブ20とハウジング30との間には、弾性を有し、導電体からなることにより軸受スリーブ20とハウジング30とを電気的に接続する板ばね61が配置されている。そして、板ばね61の弾性率は、Oリング41の弾性率よりも小さい。
【選択図】図1
【解決手段】静圧気体軸受スピンドル1は、回転軸10と、回転軸10の外周面を取り囲むように配置された軸受スリーブ20と、軸受スリーブ20を取り囲み、軸受スリーブ20を支持するハウジング30と、軸受スリーブ20とハウジング30との間に配置されたニトリルゴムからなるOリング41とを備えている。軸受スリーブ20とハウジング30との間には、弾性を有し、導電体からなることにより軸受スリーブ20とハウジング30とを電気的に接続する板ばね61が配置されている。そして、板ばね61の弾性率は、Oリング41の弾性率よりも小さい。
【選択図】図1
Description
本発明は、静圧気体軸受スピンドルに関し、より特定的には、軸受スリーブから当該軸受スリーブに隣接する部材への放電による損傷の発生を抑制可能な静圧気体軸受スピンドルに関するものである。
静電塗装機、精密加工機、半導体製造装置などの機械装置において、部材を高速で回転させるために静圧気体軸受スピンドルが使用される場合がある。この静圧気体軸受スピンドルとしては、回転軸と、回転軸の外周面を取り囲むように配置された軸受スリーブと、当該軸受スリーブを、Oリングを介して支持するハウジングとを備えたものが知られている(たとえば、特許文献1参照)。
以下、従来の静圧気体軸受スピンドルについて説明する。図4は、特許文献1に開示された従来の静圧気体軸受スピンドルの構成を示す概略部分断面図である。図4を参照して、特許文献1において開示された従来の静圧気体軸受スピンドル100は、回転軸110と、軸受隙間151を隔てて回転軸110の外周面を取り囲むように配置される軸受スリーブ120と、軸受スリーブ120を取り囲み、軸受スリーブ120を支持するハウジング130と、軸受スリーブ120とハウジング130との間に配置されたOリング141とを備えている。
Oリング141は、一般にニトリルゴムなどのゴムからなっている。また、軸受スリーブ120は、金属製の外筒部材122と、外筒部材122の内周面に嵌め込まれた黒鉛製の内筒部材121とからなっている。さらに、軸受スリーブ120には、回転軸110を支持するための軸受用気体を軸受隙間151に供給するノズル152Aが複列に、かつ周方向に複数個形成されている。ノズル152Aは、スリーブ給気路152と、軸受スリーブ120、ハウジング130およびOリング141により囲まれた環状空間153と、給気通路154とを介して図示しない軸受用気体供給部に接続されている。回転軸110の一方の端部には、工具などの所望の部材を保持する保持部111が形成されている。
次に、従来の静圧気体軸受スピンドル100の動作を説明する。図示しない軸受用気体供給部から供給された高圧の軸受用気体が、給気通路154、環状空間153、スリーブ給気路152およびノズル152Aを介して軸受隙間151に供給されることにより、回転軸110は、軸受スリーブ120に対して回転自在に非接触支持される。そして、回転軸110が図示しない駆動手段により駆動力を与えられることにより、回転軸110の周方向に回転する。
このとき、Oリング141を介して軸受スリーブ120がハウジング130に支持されていることにより、環状空間153が気密にシールされるとともに、回転軸110の振れ回り振動を減衰させることができる。
特開2002−295470号公報
しかしながら、特許文献1に記載の静圧気体軸受スピンドルを含め、軸受スリーブをゴムなどの絶縁性弾性部材を介してハウジングに対して保持する従来の静圧気体軸受スピンドルにおいては、以下のような問題点があった。すなわち、静圧気体軸受スピンドルは、機械装置に組み込まれて使用される際、内部の部材に電荷が蓄積され、当該電荷による放電の結果、電荷が蓄積された部材自身、あるいはこれに隣接する部材に損傷が発生するおそれがある。この問題点は、静圧気体軸受スピンドルの各部位を接地することにより、基本的には解消することができる。たとえば、静圧気体軸受スピンドルが静電塗装機に使用される場合、静電塗装を行なうために空気中を浮遊する塗料に対して高電圧が印加されるため、静圧気体軸受スピンドルの各部位は、接地される。
しかし、上述のように、軸受スリーブをゴムなどの絶縁性弾性部材を介してハウジングに対して保持する従来の静圧気体軸受スピンドルでは、軸受スリーブとハウジングとの間が電気的に遮断されている。そのため、軸受スリーブには電荷が蓄積し、当該電荷による放電により、軸受スリーブおよび軸受スリーブに隣接する部材に損傷が発生するおそれがある。また、単に軸受スリーブと軸受スリーブに隣接する部材とを電気的に接続する部材を配置する対策では、絶縁性弾性部材による環状空間のシールおよび回転軸の振れ回り振動の減衰の機能が十分に発揮されなくなる可能性がある。
そこで、本発明の目的は、絶縁性弾性部材による環状空間のシールおよび回転軸の振れ回り振動の減衰の機能を十分に確保しつつ、軸受スリーブにおける電荷の蓄積を抑制し、放電による損傷の発生を抑制可能な静圧気体軸受スピンドルを提供することである。
本発明に従った静圧気体軸受スピンドルは、回転軸と、回転軸の外周面を取り囲むように配置された軸受スリーブと、軸受スリーブを取り囲み、当該軸受スリーブを支持するハウジングと、軸受スリーブとハウジングとの間に配置された絶縁体からなる絶縁性弾性部材とを備えている。そして、軸受スリーブとハウジングとの間には、弾性を有し、導電体からなることにより軸受スリーブとハウジングとを電気的に接続する導電性弾性部材が配置され、導電性弾性部材の弾性率は、絶縁性弾性部材の弾性率よりも小さい。
本発明の静圧気体軸受スピンドルにおいては、導電性弾性部材が軸受スリーブとハウジングとを電気的に接続している。そのため、ハウジングを接地しておくことにより、軸受スリーブにおける電荷の蓄積を抑制することができる。また、導電性弾性部材の弾性率は、絶縁性弾性部材の弾性率よりも小さくなっている。そのため、導電性弾性部材が配置されることによる、回転軸の振れ回り振動を減衰させるという絶縁性弾性部材の機能への影響が抑制されている。その結果、本発明の静圧気体軸受スピンドルによれば、絶縁性弾性部材による環状空間のシールおよび回転軸の振れ回り振動の減衰の機能を十分に確保しつつ、軸受スリーブにおける電荷の蓄積を抑制し、放電による損傷の発生を抑制可能な静圧気体軸受スピンドル提供することができる。
ここで、導電性弾性部材とは、導電性を有し、軸受スリーブとハウジングとの間隔の変化に追従する機能を有している部材をいい、その形状に制約はない。たとえば、金属などの導電性を有する素材からなるばね形状の部材、メッシュ形状の部材のほか、軸受スリーブとハウジングとの間に起こり得る間隔の変化よりも大きなたるみをもたせて両者を接続する導線であってもよい。また、導電性弾性部材は、回転軸を支持する軸受用気体の供給ルート内に配置される場合、通気性に富んだ形状が採用される必要があるが、軸受用気体の供給ルート外に配置される場合、通気性に乏しい形状を採用することもできる。さらに、導電性弾性部材の素材は、具体的には、ステンレス、炭素鋼、銅合金などを採用することができる。
また、導電性弾性部材および絶縁性弾性部材の弾性率は、軸受スリーブとハウジングとの相対的な位置によって決まる縦弾性係数であって、軸受スリーブとハウジングとの間に導電性弾性部材または絶縁性弾性部材が配置された場合に、両者の間隔が狭くなる向きに導電性弾性部材または絶縁性弾性部材を単位長さ小さくするために必要な力の大きさを意味する。さらに、導電性弾性部材の弾性率は、絶縁性弾性部材の弾性率の50%以下とすることが好ましく、30%以下とすることがより好ましい。本発明の静圧気体軸受スピンドルにおいて、回転軸の振れ回り振動は絶縁性弾性部材の変形による内部摩擦によって減衰する。そのため絶縁性弾性部材は十分に変形したほうがよい。導電性弾性部材の弾性率を絶縁性弾性部材の弾性率よりもより小さくすることで、より具体的には導電性弾性部材の弾性率を絶縁性弾性部材の弾性率の50%以下とすることにより、絶縁性弾性部材による減衰が効果的に得られ、30%以下とすることにより、さらに減衰が効果的に得られる。
上記静圧気体軸受スピンドルにおいて好ましくは、静圧気体軸受スピンドルは、複数の導電性弾性部材を備えている。そして、当該複数の導電性弾性部材は、軸受スリーブとハウジングとの間の周方向において、等間隔に配置されている。これにより、軸受スリーブとハウジングとをより確実に、電気的に接続することができる。
上記静圧気体軸受スピンドルにおいて好ましくは、導電性弾性部材は、軸受スリーブとハウジングとの間の周方向において、全周にわたって連続的に配置されている。これにより、軸受スリーブとハウジングとをより確実に、電気的に接続することができる。
上記静圧気体軸受スピンドルにおいて好ましくは、導電性弾性部材は、導電体からなるばねである。金属などの導電体からなるばねを導電性弾性部材として採用することにより、静圧気体軸受スピンドルの運転中における軸受スリーブとハウジングとの間隔の変化に導電性弾性部材が確実に追従し、両者を電気的に接続することが可能となる。
上記静圧気体軸受スピンドルにおいて好ましくは、導電性弾性部材は、導電体からなるメッシュ部材である。金属などの導電体からなるメッシュ部材を導電性弾性部材として採用することにより、導電性弾性部材が回転軸を支持する軸受用気体の供給ルート内に配置された場合でも、通気性を確保しつつ、軸受スリーブとハウジングとを電気的に接続することが可能となる。
以上の説明から明らかなように、本発明の静圧気体軸受スピンドルによれば、絶縁性弾性部材による環状空間のシールおよび回転軸の振れ回り振動の減衰の機能を十分に確保しつつ、軸受スリーブにおける電荷の蓄積を抑制し、放電による損傷の発生を抑制可能な静圧気体軸受スピンドルを提供することができる。
以下、図面に基づいて本発明の実施の形態を説明する。なお、以下の図面において同一または相当する部分には同一の参照番号を付しその説明は繰り返さない。
(実施の形態1)
まず、本発明の一実施の形態である実施の形態1における静圧気体軸受スピンドルの構成について説明する。図1は、実施の形態1における静圧気体軸受スピンドルの構成を示す概略部分断面図である。
まず、本発明の一実施の形態である実施の形態1における静圧気体軸受スピンドルの構成について説明する。図1は、実施の形態1における静圧気体軸受スピンドルの構成を示す概略部分断面図である。
図1を参照して、実施の形態1における静圧気体軸受スピンドル1は、回転軸10と、軸受隙間51を隔てて回転軸10の外周面10Aを取り囲むように配置された軸受スリーブ20と、軸受スリーブ20を取り囲み、軸受スリーブ20を支持するハウジング30と、軸受スリーブ20とハウジング30との間に配置された絶縁体からなる絶縁性弾性部材としてのOリング41とを備えている。Oリング41は、軸受スリーブ20の両端面と、外周面の軸方向両端部付近に各2つ、合計4つ配置されている。
Oリング41は、絶縁体であるニトリルゴムからなっているが、フッ素ゴム、シリコンゴムなどの素材が採用されてもよい。また、軸受スリーブ20は、円筒状の形状を有し、ステンレス、アルミニウム、炭素鋼などの金属製の外筒部材22と、外筒部材22の内周面に適切な締め代で嵌め込まれた黒鉛製の内筒部材21とを含んでいる。さらに、軸受スリーブ20には、回転軸10を支持するための軸受用気体を軸受隙間51に供給するためのノズル52Aが複列に(図1では2列に)、かつ周方向に複数個形成されている。
さらに、軸受スリーブ20には、ノズル52Aと、軸受スリーブ20、ハウジング30およびOリング41により囲まれた環状空間53とを接続するように、軸受スリーブ20を径方向に貫通するスリーブ給気路52が形成されている。また、ハウジング30には、回転軸10を支持するための軸受用気体を供給する軸受用気体供給部(図示しない)と環状空間53とを接続する給気通路54が形成されている。軸受用気体供給部には、エアコンプレッサなどの高圧気体供給源が接続されている。すなわち、ノズル52Aは、スリーブ給気路52、環状空間53、および給気通路54を介して図示しない軸受用気体供給部に接続されている。また、回転軸10の一方の端部には、工具などの所望の部材を保持する保持部11が形成されている。
そして、軸受スリーブ20とハウジング30との間には、弾性を有し、導電体からなることにより軸受スリーブ20とハウジング30とを電気的に接続する導電性弾性部材としての板ばね61が配置されている。この板ばね61の弾性率は、Oリング41の弾性率よりも小さい。
より具体的には、軸受スリーブ20の一方の端面に対向するハウジング30の領域には、導電性弾性部材保持部としての凹部30Aが形成されている。そして、凹部30Aと凹部30Aに対向する軸受スリーブ20の一方の端面とを接続するように、板ばね61が配置されている。さらに、板ばね61は、固定部材としてのボルト62により、ハウジング30の凹部30Aに対して着脱可能に保持されている。この板ばね61は、ノズル52A、スリーブ給気路52、環状空間53および給気通路54を含む軸受用気体の供給ルート外に配置されている。
以上の構成により、回転軸10は、気体軸受(ジャーナル軸受)として機能する軸受スリーブ20により、ハウジング30に対して軸方向に垂直な方向(ラジアル方向)に非接触に支持されている。さらに、回転軸10は、軸方向(アキシアル方向)においても、図示しない気体軸受(スラスト軸受)によりハウジング30に対して非接触に支持されている。
次に、静圧気体軸受スピンドル1の動作について説明する。図示しない軸受用気体供給部から供給された圧縮空気などの高圧の軸受用気体が、給気通路54、環状空間53、スリーブ給気路52およびノズル52Aを介して軸受隙間51に供給されることにより、回転軸10は、軸受スリーブ20に対して回転自在に非接触支持される。そして、回転軸10が図示しない駆動手段により駆動力を与えられることにより、保持部11に工具などを保持した状態で、回転軸10の周方向に回転する。駆動手段としては、ビルトインモータ、エアタービンなどを採用することができる。
このとき、Oリング41を介して軸受スリーブ20がハウジング30に支持されていることにより、環状空間53が気密にシールされるとともに、回転軸10の振れ回り振動を減衰させることができる。
そして、実施の形態1の静圧気体軸受スピンドル1においては、板ばね61が軸受スリーブ20とハウジング30とを電気的に接続している。そのため、ハウジング30を接地しておくことにより、軸受スリーブ20における電荷の蓄積を抑制することができる。また、板ばね61の弾性率は、Oリング41の弾性率よりも小さくなっている。そのため、板ばね61が配置されることによる、回転軸10の振れ回り振動を減衰させるというOリング41の機能への影響が抑制されている。その結果、静圧気体軸受スピンドル1は、Oリング41による環状空間53のシールおよび回転軸10の振れ回り振動の減衰の機能を十分に確保しつつ、軸受スリーブ20における電荷の蓄積を抑制し、放電による損傷の発生を抑制することができる。
さらに、静圧気体軸受スピンドル1においては、板ばね61が複数備えられており、当該複数の板ばね61は、軸受スリーブ20とハウジング30との間の周方向において、等間隔に配置されていることが好ましい。板ばね61は、1つのみ配置されても、その機能を果たすが、等間隔に2つ以上配置されることにより、軸受スリーブ20とハウジング30とをより確実に、電気的に接続することができる。
(実施の形態2)
次に、本発明の他の実施の形態である実施の形態2における静圧気体軸受スピンドルの構成について説明する。図2は、実施の形態2における静圧気体軸受スピンドルの構成を示す概略部分断面図である。
次に、本発明の他の実施の形態である実施の形態2における静圧気体軸受スピンドルの構成について説明する。図2は、実施の形態2における静圧気体軸受スピンドルの構成を示す概略部分断面図である。
図2を参照して、実施の形態2の静圧気体軸受スピンドル1は、基本的には実施の形態1の静圧気体軸受スピンドル1と同様の構成を有しており、同様の効果を有している。しかし、実施の形態2の静圧気体軸受スピンドル1では、実施の形態1におけるボルト62により固定された板ばね61に代えて、皿ばね64が採用されている点で、実施の形態1の静圧気体軸受スピンドル1とは異なっている。
すなわち、実施の形態2の静圧気体軸受スピンドル1においては、軸受スリーブ20の一方の端面20Bと、当該端面20Bに対向するハウジング30の内壁30Bとの間には、皿ばね64が配置されている。特に、実施の形態2の静圧気体軸受スピンドル1においては、ハウジング30の内部において軸受スリーブ20の当該一方の端面20Bに対向する内壁30Bと外周面30Cとが交差する部分である角部30Dに沿って接触するように、皿ばね64が配置されている。つまり、皿ばね64の外径と皿ばね64が配置される領域におけるハウジング30の内径とが同寸法とされており、皿ばね64がハウジング30の内部に嵌め込まれている。また、皿ばね64は、ノズル52A、スリーブ給気路52、環状空間53および給気通路54を含む軸受用気体の供給ルート外に配置されている。
以上のように、皿ばね64は、ハウジング30の内部に嵌めこまれ、軸受スリーブ20とハウジング30との間の周方向において、全周にわたって連続的に接触して配置されている。その結果、軸受スリーブ20の一方の端面20Bに対して、均一に力を加えることが可能となり、回転軸10の振れ回り振動による軸受スリーブ20のハウジング30に対する変位量を均一化することができる。また、皿ばね64を保持するための凹部などの形成や、固定するためのボルトなどの固定部材が必ずしも要求されず、部品点数やハウジング30の加工の工数を抑制することができる。
(実施の形態3)
次に、本発明のさらに他の実施の形態である実施の形態3における静圧気体軸受スピンドルの構成について説明する。図3は、実施の形態3における静圧気体軸受スピンドルの構成を示す概略部分断面図である。
次に、本発明のさらに他の実施の形態である実施の形態3における静圧気体軸受スピンドルの構成について説明する。図3は、実施の形態3における静圧気体軸受スピンドルの構成を示す概略部分断面図である。
図3を参照して、実施の形態3の静圧気体軸受スピンドル1は、基本的には実施の形態1の静圧気体軸受スピンドル1と同様の構成を有しており、同様の効果を有している。しかし、実施の形態3の静圧気体軸受スピンドル1では、実施の形態1におけるボルト62により固定された板ばね61に代えて、導電体からなるメッシュ部材としてのメッシュ状金属部材66が採用されている点で、実施の形態1の静圧気体軸受スピンドル1とは異なっている。
すなわち、実施の形態3の静圧気体軸受スピンドル1においては、軸受スリーブ20の外周面20Cに、導電性弾性部材保持部としての凹部20Dが全周にわたって形成されており、凹部20Dには、導電性弾性部材としての円環状のメッシュ状金属部材66が嵌め込まれて保持されている。メッシュ状金属部材66は、高い通気性を有しているため、図3に示すように、ノズル52A、スリーブ給気路52、環状空間53および給気通路54を含む軸受用気体の供給ルートに配置された場合でも、通気性を確保しつつ、軸受スリーブ20とハウジング30とを電気的に接続することができる。また、メッシュ状金属部材66は、回転軸10の振れ回り振動により、軸受スリーブ20とハウジング30との間隔が変化した場合、金属の繊維同士の摩擦により、当該振れ回り振動を減衰させることができる。
なお、メッシュ状金属部材66は、金属の繊維が不規則に集合したものでもよいし、金属の繊維が規則的に配置されたものでもよいが、弾性率が全体にわたって均一なもの、たとえば厚み方向の弾性率を5箇所において測定した場合に平均値に対する差がいずれも平均値の30%以下であるものが好ましい。また、メッシュ状金属部材66は、図3に示すように、軸受スリーブ20とハウジング30との間に1つ配置されてもよいが、軸方向に複数個並べて配置されてもよい。さらに、上述のように、メッシュ状金属部材66は、円環状の形状を有していてもよいが、周方向に分断されていてもよい。また、弾性率の異なったメッシュ状金属部材66を、軸受スリーブ20とハウジング30との間に複数個配置することにより、メッシュ状金属部材66の全体としての弾性率を所望の大きさに調整することも可能である。
今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって、制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味、および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
本発明の静圧気体軸受スピンドルは、軸受スリーブとハウジングとの間に絶縁体からなる絶縁性弾性部材が配置された静圧気体軸受スピンドルに、特に有利に適用され得る。
1 静圧気体軸受スピンドル、10 回転軸、10A 外周面、11 保持部、20 軸受スリーブ、20B 端面、20C 外周面、20D 凹部、21 内筒部材、22 外筒部材、30 ハウジング、30A 凹部、30B 内壁、30C 外周面、30D 角部、41 Oリング、51 軸受隙間、52 スリーブ給気路、52A ノズル、53 環状空間、54 給気通路、61 板ばね、62 ボルト、64 皿ばね、66 メッシュ状金属部材。
Claims (5)
- 回転軸と、
前記回転軸の外周面を取り囲むように配置された軸受スリーブと、
前記軸受スリーブを取り囲み、前記軸受スリーブを支持するハウジングと、
前記軸受スリーブと前記ハウジングとの間に配置された絶縁体からなる絶縁性弾性部材とを備え、
前記軸受スリーブと前記ハウジングとの間には、弾性を有し、導電体からなることにより前記軸受スリーブと前記ハウジングとを電気的に接続する導電性弾性部材が配置され、
前記導電性弾性部材の弾性率は、前記絶縁性弾性部材の弾性率よりも小さい、静圧気体軸受スピンドル。 - 前記静圧気体軸受スピンドルは、複数の前記導電性弾性部材を備え、
前記複数の導電性弾性部材は、前記軸受スリーブと前記ハウジングとの間の周方向において、等間隔に配置されている、請求項1に記載の静圧気体軸受スピンドル。 - 前記導電性弾性部材は、前記軸受スリーブと前記ハウジングとの間の周方向において、全周にわたって連続的に配置されている、請求項1に記載の静圧気体軸受スピンドル。
- 前記導電性弾性部材は、導電体からなるばねである、請求項1〜3のいずれか1項に記載の静圧気体軸受スピンドル。
- 前記導電性弾性部材は、導電体からなるメッシュ部材である、請求項1〜3のいずれか1項に記載の静圧気体軸受スピンドル。
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB2466998A (en) * | 2009-01-19 | 2010-07-21 | Gsi Group Ltd | A gas bearing spindle and a gas bearing assembly for a gas bearing spindle |
JP2018021625A (ja) * | 2016-08-04 | 2018-02-08 | Ntn株式会社 | エアタービン駆動スピンドル |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0436125A (ja) * | 1990-06-01 | 1992-02-06 | Hitachi Ltd | 冷水式兼空冷温調ユニットの制御回路 |
JPH06288410A (ja) * | 1993-03-31 | 1994-10-11 | Koyo Seiko Co Ltd | 磁気軸受装置 |
JPH0724739A (ja) * | 1993-07-07 | 1995-01-27 | Hitachi Ltd | 粉体噴射加工方法およびその装置 |
JPH08219159A (ja) * | 1995-02-08 | 1996-08-27 | Nippon Seiko Kk | 静圧気体軸受 |
JPH09303397A (ja) * | 1996-05-17 | 1997-11-25 | Nippon Seiko Kk | スピンドル装置 |
JP2001252770A (ja) * | 2000-03-08 | 2001-09-18 | Koike Sanso Kogyo Co Ltd | プラズマトーチ |
JP2002102750A (ja) * | 2000-09-29 | 2002-04-09 | Ntn Corp | 静電塗装機用スピンドル |
JP2002295470A (ja) * | 2001-03-29 | 2002-10-09 | Ntn Corp | 気体軸受スピンドル |
-
2006
- 2006-12-05 JP JP2006328546A patent/JP2008138850A/ja active Pending
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0436125A (ja) * | 1990-06-01 | 1992-02-06 | Hitachi Ltd | 冷水式兼空冷温調ユニットの制御回路 |
JPH06288410A (ja) * | 1993-03-31 | 1994-10-11 | Koyo Seiko Co Ltd | 磁気軸受装置 |
JPH0724739A (ja) * | 1993-07-07 | 1995-01-27 | Hitachi Ltd | 粉体噴射加工方法およびその装置 |
JPH08219159A (ja) * | 1995-02-08 | 1996-08-27 | Nippon Seiko Kk | 静圧気体軸受 |
JPH09303397A (ja) * | 1996-05-17 | 1997-11-25 | Nippon Seiko Kk | スピンドル装置 |
JP2001252770A (ja) * | 2000-03-08 | 2001-09-18 | Koike Sanso Kogyo Co Ltd | プラズマトーチ |
JP2002102750A (ja) * | 2000-09-29 | 2002-04-09 | Ntn Corp | 静電塗装機用スピンドル |
JP2002295470A (ja) * | 2001-03-29 | 2002-10-09 | Ntn Corp | 気体軸受スピンドル |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB2466998A (en) * | 2009-01-19 | 2010-07-21 | Gsi Group Ltd | A gas bearing spindle and a gas bearing assembly for a gas bearing spindle |
GB2466998B (en) * | 2009-01-19 | 2011-05-18 | Gsi Group Ltd | Gas bearing spindles and gas bearing assemblies for gas bearing spindles |
KR101234839B1 (ko) | 2009-01-19 | 2013-02-20 | 지에스아이 그룹 리미티드 | 가스 베어링 스핀들 및 가스 베어링 스핀들용 가스 베어링 조립체 |
JP2018021625A (ja) * | 2016-08-04 | 2018-02-08 | Ntn株式会社 | エアタービン駆動スピンドル |
WO2018025579A1 (ja) * | 2016-08-04 | 2018-02-08 | Ntn株式会社 | エアタービン駆動スピンドル |
CN109563875A (zh) * | 2016-08-04 | 2019-04-02 | Ntn株式会社 | 空气涡轮驱动主轴 |
US11033915B2 (en) | 2016-08-04 | 2021-06-15 | Ntn Corporation | Air turbine drive spindle |
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