JPH09298235A - 密封容器装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 この発明は第１の容器部材と第２の容器部材
とからなる密封容器の気密状態を確実に維持できるよう
にした密閉容器装置を提供することにある。 【解決手段】 一側面が開口した第１の容器部材２１
と、第１の容器部材にト−ションバ−２８によって開閉
自在に連結されているとともに第１の容器部材に接合す
る閉方向に回動させることでト−ションバ−にねじりを
与える第２の容器部材２２と、第１の容器部材と第２の
容器部材との接合面間に設けられこれらの接合状態を密
封するシ−ル部材２６と、第１の容器部材と第２の容器
部材とを接合させたときにその状態で第２の容器部材を
回動不能にロックするロック部材３４と、ロック部材に
よる第２の容器部材のロック状態が解除されたときに第
２の容器部材を開閉駆動する駆動手段５１とを具備した
ことを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は半導体ウエハや基
板などのような清浄度を維持することが要求される基板
を搬送するための密封容器装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】たとえば半導体装置の製造工程において
は、半導体ウエハに回路パタ−ンを形成するために種々
の加工がそれぞれ異なるチャンバで行われる。上記半導
体ウエハに加工を行う場合、塵埃が付着すると歩留まり
が悪くなるので、上記チャンバ内は勿論のこと、チャン
バが設置される部屋の内部全体も清浄度を高めるように
している。つまり、上記チャンバが設置される部屋を、
いわゆるクリ−ンル−ムにしている。

【０００３】一般に、空間部の清浄度を高めることは非
常にコストが増大するばかりか、その空間部が大きくな
ると、清浄度を余り高めることができないということが
ある。そこで、通常は、クリ−ンル−ムに比べてチャン
バの清浄度を高めることで、加工時における上記半導体
ウエハへの塵埃の付着を防止するようにしている。

【０００４】しかしながら、チャンバで加工された半導
体ウエハを、他のチャンバへ移し変える際、上記半導体
ウエハはクリ−ンル−ムの雰囲気にさらされることにな
るから、そのときに塵埃の付着を招くということがあ
る。

【０００５】そこで、半導体ウエハをクリ−ンル−ム内
においてチャンバ間で移送する場合やクリ−ンル−ム間
を移送する場合、上記半導体ウエハを保持したキャリア
を密封容器に収容し、この密封容器とともに搬送するこ
とで、搬送時における塵埃の付着を防止するようにして
いる。

【０００６】従来、上記密封容器としては図８に示す構
造が採用されていた。同図中１は下面が開放したカバ−
状の第１の容器部材である。この第１の容器部材１の下
端にはフランジ２が形成され、このフランジ２の下面に
は、外径寸法が上記フランジ２よりも大径な保持リング
３が上部パッキング４を介して気密に接合されている。

【０００７】上記保持リング３には、その上面に上記フ
ランジ２を上記保持リング３とで挟持する複数の固定爪
５が第１のボルト６によって取り付けられ、下面の内周
側には凹部７が形成されている。この凹部７の外周側に
は複数の係合爪８が第２のボルト９によって回動自在に
取り付けられている。

【０００８】上記凹部７には円盤状の第２の容器部材１
１が挿入される。この第２の容器部材１１の外周部には
他の部分よりも薄肉な接合部１２が形成されていて、こ
の接合部１２は上記凹部７に下部パッキング１２ａを介
して気密に接合される。その状態で上記係合爪８を回転
させて上記第２の容器部材１１の下面に係合させれば、
この第２の容器部材１１は上面側が上記第１の容器部材
１によって覆われた状態となる。

【０００９】上記第２の容器部材１１の上面には多数の
半導体ウエハＵが積層保持されたキャリア１３が載置さ
れる。このキャリア１３は、上記第１の容器部材１の上
面にその内方へ突出して形成された保持部１４と、上記
第１の容器部材１の内側面に設けられた押え板１５とで
ずれ動かないように保持されている。

【００１０】ところで、このような密封容器において
は、第１の容器部材１と第２の容器部材１１との結合固
定は、第２のボルト９によって回動自在に設けられた複
数の係合爪８を回動させ、上記第１の容器部材１に接合
された第２の容器部材１１の下面に係合させることで行
なわれる。つまり、係合爪８と第２の容器部材１１との
摩擦力によって第１の容器部材１と第２の容器部材１１
とを結合固定していた。

【００１１】しかしながら、複数の係合爪８は、その寸
法精度や組み立て精度などによって上記第２の容器部材
１１の下面に対する押え力（摩擦力）が不均一になるこ
とが避けられない。その場合、密封容器に加わる、搬送
中の振動などで上記係合爪８が回動し、上記第２の容器
部材１１に対する係合状態が外れてしまうことがある。
すると、内部に収容されたキャリア１３が飛び出し、半
導体ウエハＵを破損や汚損させてしまうということがあ
る。

【００１２】

【発明が解決しようとする課題】このように、従来は係
合爪の第２の容器部材に対する摩擦力で第１の容器部材
と第２の容器部材とを結合していたので、その結合状態
が外れ易いということと、摩擦により発塵を招くなどの
ことがあった。

【００１３】この発明は上記事情に基づきなされたもの
で、その目的とするとろは、密封状態を確実に維持する
ことができるとともに、その密封状態の解除を容易に行
うことができるようにした密閉容器装置を提供すること
にある。

【００１４】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に請求項１の発明は、基板を保持したキャリアを内部に
収容する密封容器装置において、一側面が開口した第１
の容器部材と、この第１の容器部材にト−ションバ−に
よって開閉自在に連結されているとともに上記ト−ショ
ンバ−の復元力によって上記第１の容器部材に接合する
方向に付勢された第２の容器部材と、上記第１の容器部
材と第２の容器部材との接合面間に設けられこれらの接
合状態を密封するシ−ル部材と、上記第１の容器部材と
第２の容器部材とを接合させたときにその状態で上記第
２の容器部材を回動不能にロックするロック機構と、こ
のロック機構による上記第２の容器部材のロックが解除
された状態で上記第２の容器部材を開閉駆動する開閉手
段とを具備したことを特徴とする。

【００１５】請求項２の発明は、基板を保持したキャリ
アを内部に収容する密封容器装置において、下面が開放
した容器本体と、この容器本体の下面開口に接合される
下蓋と、上記容器本体と上記下蓋との接合面間に設けら
れこれらの接合状態を密封するシ−ル部材と、上記容器
本体に設けられたカム部材と、上記下蓋に移動自在に設
けられ上記カム部材に係合可能な係合部材と、この係合
部材を上記カム部材に係合する方向へ弾性的に付勢した
付勢部材を具備したことを特徴とする。

【００１６】請求項１の発明によれば、第１の容器部材
に第２の容器部材が接合した状態で上記第２の容器部材
を回動不能にロックすることで、気密状態を確実に維持
することができ、しかもロック状態を解除したときにだ
け上記第２の容器部材を開閉させることができるから、
気密状態が容易に損なわれることがない。

【００１７】請求項２の発明によれば、容器本体に対し
て下蓋を、上記容器本体に設けられたカム部材に上記下
蓋に設けられた係合部材を弾性的に係合させて接合保持
することで、これらの気密状態を確実に維持することが
でき、しかもこれらが弾性的に係合していることで、そ
の係合状態が容易に外れることがない。

【００１８】

【発明の実施形態】以下、この発明の実施形態を図面を
参照して説明する。図１乃至図５はこの発明の第１の実
施形態を示し、図中２０は密封容器である。この密封容
器２０は第１の容器部材２１と第２の容器部材２２とか
らなる。第１の容器部材２１は下面が開放した箱形状に
形成されていて、その上面には取手２３が設けられ、下
端開口の内周には周辺部に鍔部２４ａが形成された第１
の枠体２４が設けられている。

【００１９】上記第２の容器部材２２は第１の容器部材
２１と対応する、上面が開放した箱形状に形成されてい
て、その開口端内周には周辺部に鍔部２５ａを有する第
２の枠体２５が設けられている。上記第１の枠体２４の
一側面には図４に示すように取付溝２４ｂが全周にわた
って形成され、ここにはシ−ル部材２６が保持されてい
る。このシ−ル部材２６は上記第１の容器部材２１に第
２の容器部材２２を接合させたときに、その内部空間部
Ｓの気密状態を維持する。

【００２０】上記第１の容器２１の鍔部２４ａの一辺両
端部には図５に示すように支持部２７が固着されてい
る。この一対の支持部２７にはト−ションバ−２８の両
端部が回転自在に支持されている。このト−ションバ−
２８の両端部には一対の連結部材２９が固着されてい
る。この連結部材２９は上記第２の容器部材２２の一側
両端部に固着されている。それによって、上記第２の容
器部材２２は上記第１の容器部材２１に対して上記ト−
ションバ−２８および連結部材２９を介して回動自在に
連結されている。

【００２１】上記ト−ションバ−２８の中途部には、図
２に示すようにこのト−ションバ−２８に一端部が固着
され他端部にロ−ラ３１が回転自在に設けられたア−ム
３２が設けられている。このア−ム３２は、上記第２の
容器部材２２を上記第１の容器部材２１に対して回動さ
せたとき、ト−ションバ−２８とともに一体的に回動す
る。

【００２２】上記第２の容器部材２２を第１の容器部材
２１に接合させた状態において、上記ア−ム３２はロッ
ク手段３３によって回動不能に保持される。このロック
手段３３は段部３４ａが形成されたロック部材３４を有
する。このロック部材３４には支軸３５が固定され、こ
の支軸３５は上記第１の容器部材２１の鍔部２４ａに取
り付けられた支持部材３６にスライド自在に支持されて
いる。この支持部材３６は上記ア−ム３２の一側近傍に
配置されている。

【００２３】なお、上記支軸３５は上記支持部材３６に
対して周方向に回転不能に支持されている。たとえば、
上記支軸３５をスプライン軸や多角形軸とすることで、
周方向に回転することなく、軸方向にスライドさせるこ
とができる。また、上記支持部材３６には上記ト−ショ
ンバ−２８を挿通する通孔３６ａが形成されている。

【００２４】上記支軸３５にはばね３７が装着されてい
る。このばね３７は上記ロック部材３４を上記ア−ム３
２の方向に付勢している。それによって、上記ロック部
材３４は、その段部３４ａが上記ア−ム３２に係合し、
このア−ム３２の回動を阻止している。つまり、上記第
２の容器部材２２を第１の容器部材２１に接合させるこ
とで、上記ト−ションバ−２８がねじられ、上記ア−ム
３２が回動したときに、上記ロック部材３４の段部３４
ａが上記ア−ム３２に係合するようになっている。

【００２５】上記密封容器２０の開閉は、図１に示す開
閉装置４２の上面にセットされて行われる。つまり、開
閉装置４２は前面が開放した筐体４３を有する。この筐
体４３の上面には上記密封容器２０が第２の容器部材２
２を落し込んだ状態で保持されるようになっている。

【００２６】上記筐体４３の内部には図２に示すように
作動軸４５を駆動するソレノイド４４が設けられてい
る。この作動軸４５には上記密封容器２０を筐体４２の
上面に設置したときに上記ロック部材３４に係合する凹
部４５ａが形成されている。この凹部４５ａに上記ロッ
ク部材３４が係合した状態で上記ソレノイド４４に通電
してその作動軸４５を内蔵された図示しないばねの付勢
力に抗して矢印方向にスライドさせれば、上記ロック部
材３４を上記ばね３７の付勢力に抗してスライドさせ、
その段部３４ａを上記ア−ム３２から外すことができる
ようになっている。つまり、ア−ム３２は回動可能な状
態となる。

【００２７】上記ロック部材３４によるロック状態が解
除されたア−ム３２は図４に示す駆動手段５１によって
回動されるようになっている。この駆動手段５１は上記
筐体４３に設けられた駆動モ−タ５２を有する。この駆
動モ−タ５２の回転軸５２ａには第１のリンク５３の一
端が固着されている。この第１のリンク５３の他端には
第２のリンク５４の一端が回動自在に連結されている。
この第２のリンク５４の他端には凹部５５が形成されて
いる。

【００２８】上記密封容器２０が上記開閉装置４２の筐
体４３の上面に供給されると、上記第２のリンク５４の
凹部５５に、上記ア−ム３２の他端に設けられたロ−ラ
３１が係合する。この状態で上記駆動手段５１のモ−タ
５２を作動させ、上記第１、第２のリンク５３、５４を
図４に鎖線で示す状態から実線で示す状態に駆動し、上
記ア−ム３２を回動させれば、ト−ションバ−２８がね
じられた状態を元に戻しながら連動して密封容器２０が
開放されることになる。

【００２９】逆に、第１、第２のリンク５３、５４を実
線の状態から鎖線の状態へ駆動すれば、上記ア−ム３２
によって上記ト−ションバ−２８にねじり力が与えられ
るから、そのト−ションバ−２８の付勢力によって第２
の容器部材２２が第１の容器部材２１に接合する方向に
付勢されることになる。

【００３０】上記第２の容器部材２２内には図１に示す
ように断面Ｌ字形状の載置部材６１が固着されている。
この載置部材６１には基板としての多数の半導体ウエハ
Ｕが所定の間隔で積層収容されたキャリア６２がその一
側面と底面とを係合させて保持されている。つまり、第
１の容器部材２１と第２の容器部材２２とを閉じ、第２
の容器部材２２の底面２２ａを水平面に接合させた状態
において、上記半導体ウエハＵは垂直状態よりもやや傾
斜した立位状態、たとえば約５度傾斜した立位状態にな
るよう、上記載置部材６１によるキャリア６２の保持状
態が設定されている。

【００３１】このように、半導体ウエハＵを傾斜した立
位状態よりわずかに傾いた状態で保持することで、密封
容器２０を移動させる際、垂直状態で保持されている場
合に比べて上下方向に振動しずらくなる。それによっ
て、半導体ウエハＵと、キャリア６２との摺接による塵
埃の発生を低減することができる。

【００３２】上記構成の密封容器２０によれば、第２の
容器部材２２を図１に実線で示すように開いた状態で、
載置部材６１にキャリア６２を係合載置したならば、駆
動手段５１の駆動モ−タ５２を作動させて第１、第２の
リンク５３、５４を図４に実線で示す状態から鎖線で示
す状態へ駆動する。上記第２のリング５４の凹部５５に
はア−ム３２の他端に設けられたロ−ラ３１が係合して
いるから、上記第２のリング５４が駆動されることで、
ア−ム３２も回動する。

【００３３】上記ア−ム３２が回動されることで、ト−
ションバ−２８がねじられるから、このト−ションバ−
２８にねじり力が発生するとともに、第２の容器部材２
２が回動させられる。それによって、第２の容器部材２
２は第１の容器部材２１の下面開口に接合し、ねじられ
たト−ションバ−２８の付勢力で接合方向に付勢される
ことになる。

【００３４】第２の容器部材２２を第１の容器部材２１
に接合させたならば、開閉装置４２のソレノイド４４の
通電状態をオフにする。それによって、上記ソレノイド
４４の作動軸４５は図示しないばねの付勢力によってス
ライドするから、その凹部４５ａに係合したロック部材
３４が支持部材３６にガイドされて支軸３５とともに沿
ってスライドする。

【００３５】ロック部材３４がスライドすれば、このロ
ック部材３４に形成された段部３４ａが上記ア−ム３２
に係合し、このア−ム３２が回動するのを阻止する。ア
−ム３２の回動が阻止されれば、ト−ションバ−２８が
第２の容器部材２２の自重によってねじられた状態から
元の状態へ戻ることがないから、上記第２の容器部材２
２と第１の容器部材２１とが気密に接合した状態が維持
される。つまり、一対の容器部材２１、２２によって形
成された空間部Ｓの気密状態が維持される。

【００３６】上記ロック部材３４は、その段部３４ａと
ア−ム３２との係合状態がばね３７の付勢力によって維
持されている。そのため、これらのロック状態はロック
部材３４をソレノイド４４の解除軸４５によって強制的
に解除しなければ外れることがないから、従来のように
搬送中の振動などによって開放してしまうようなことが
ない。

【００３７】図６はこの発明の第２の実施形態を示す。
この第２の実施形態における密封容器７１は下面が開放
した容器本体７２を有する。この容器本体７２の下面開
口には下蓋７３が接合される。上記容器本体７２と上記
下蓋７３との接合面間には、これらの接合状態を気密に
閉塞するシ−ル部材７４が設けられる。

【００３８】上記下蓋７３は保持機構７５によって上記
容器本体７２に保持固定されるようになっている。上記
保持機構７５は上記容器本体７２の下端部外面に下方に
向かって垂設されたコ字状のカム部材７６を有する。こ
のカム部材７６の下端部はテ−パ状の爪部７７に形成さ
れている。

【００３９】上記下蓋７３の下面には一対の支持部材７
８が保持板７９を挟んで所定間隔で垂設されている。各
支持部材７８には軸線方向と直交する方向に貫通するス
ライド孔７８ａが形成され、そこには係合部材としての
スライダ８１がスライド自在に保持されている。つま
り、一対のスライダ８１は接離する方向にスライド自在
に設けられている。

【００４０】上記一対のスライダ８１の後端と上記保持
板７９との間にはそれぞればね８２が介装され、各スラ
イダ８１を離間方向へ付勢している。各スライダ８１の
先端側にはロ−ラ８３が回転自在に設けられている。上
記スライダ８１がばね８２によって付勢されることで、
上記ロ−ラ８３は上記ロック部材７６の爪部７７に係合
する。それによって、上記下蓋７３が上記容器本体７２
に保持固定されるようになっている。

【００４１】上記スライダ８１の後端部にはそれぞれ係
合ピン８４が垂設されている。この係合ピン８４は上記
スライダ８１をスライドさせるためのものであって、図
示しない駆動部材を上記係合ピン８４に係合させて一対
のスライダ８１を接近方向へスライドさせ、上記ロ−ラ
８３と上記爪部７７との係合状態を解除することで、上
記下蓋７３を容器本体７２から外すことができるように
なっている。

【００４２】上記下蓋７３の上面にはキャリア６２が載
置部材６１Ａによって保持される。この載置部材６１Ａ
は上記キャリア６２を、その内部に保持された半導体ウ
エハＵが水平な状態よりもやや傾斜した状態となるよ
う、わずかに傾けて保持する構成となっている。

【００４３】半導体ウエハＵが水平状態よりもわずかに
傾いていることで、搬送中に振動が加わっても、上記半
導体ウエハＵがずれ動きにくいため、塵埃の発生を防止
することができる。

【００４４】このような構成の密封容器７１によれば、
スライダ８１がばね８２によって付勢されることで、そ
の先端に設けられたロ−ラ８３が爪部７７に係合するか
ら、上記下蓋７３を容器本体７２に確実に保持し、容器
本体７２と下蓋７３とによって閉塞された空間部Ｓの気
密状態を維持することができる。

【００４５】また、スライダ８１はばね８２によって付
勢され、その付勢力でスライダ８１の先端側に設けられ
たロ−ラ８３はカム部材７６の爪部７７に係合している
から、搬送中の振動などによって上記ロ−ラ８３と爪部
７７との係合が外れて密封容器７１の空間部Ｓの気密状
態が損なわれるようなことがない。

【００４６】図７はこの発明の第３の実施形態を示す。
この実施形態の密封容器７１Ａは上記第２の実施形態と
ほぼ同じであるが、保持機構の構成が異なる。なお、こ
の実施形態においては上記第２の実施形態と同一部分に
は同一記号を付して説明を省略する。

【００４７】つまり、この実施形態の保持機構７５Ａは
下蓋７３の下面中央部分に垂設された取付部材９１を有
する。この取付部材９１の下端には一対の第１のリンク
９２の一端が第１の支軸９３によって枢着されている。
各第１のリンク９２の他端にはそれぞれ第２のリンク９
４の一端が第２の支軸９４ａによって枢着されている。
各第２のリンク９２の他端にはそれぞれロ−ラ９５が回
転自在に設けられている。

【００４８】第１、第２のリンク９２、９４は山形状に
屈曲していて、各第１のリンク９２の他端部と上記下蓋
７３との間にはそれぞればね９６が介装されている。そ
れによって、上記第１のリンク９２は倒伏方向に付勢さ
れている。

【００４９】第１のリンク９２が倒伏方向に付勢される
ことで、第２のリンク９４も倒伏方向に付勢される。し
たがって、第２のリンク９４の他端に設けられたロ−ラ
９５は容器本体７２から垂設されたカム部材７６の爪部
７７に係合し、上記下蓋７３が容器本体７２に気密に接
合した状態で保持される。

【００５０】上記下蓋７３の保持状態を解除するには図
示しない駆動部材によって第１のリンク９２あるいは第
２のリンク９４を起立方向に押し上げる。それによっ
て、上記第２のリンク９４に設けられたロ−ラ９５がカ
ム部材７６の爪部７７から外れるから、上記下蓋７３を
容器本体７２から外すことができる。

【００５１】つまり、この第３の実施形態の密封容器７
１Ａにおいても、その空間部Ｓの気密状態を確実に維持
することができるばかりか、搬送中の振動などによって
下蓋７３の保持状態が外れて空間部Ｓの密封状態が損な
われるようなことがない。

【００５２】

【発明の効果】以上述べたように請求項１の発明は、密
封容器を第１の容器部材と第２の容器部材とから構成
し、上記第２の容器部材を上記第１の容器部材にト−シ
ョンバ−によって回動自在に連結するとともに、上記第
１の容器部材と第２の容器部材とをシ−ル部材を介して
接合させたとき、ロック手段によって接合状態を維持す
るとともに、このロック機構によるロック状態を解除し
たときに開閉手段によって上記第２の容器部材を開閉で
きるようにした。

【００５３】そのため、第１の容器部材と第２の容器部
材との接合状態をロック手段およびねじられたト−ショ
ンバ−の付勢力によって確実に維持できるばかりか、搬
送時の振動などによっては第１の容器部材と第２の容器
部材との接合状態が損なわれるということがない。

【００５４】請求項２の発明によれば、密封容器を下端
面が開放した容器本体と、この容器本体の下端面を閉塞
する下蓋とから形成し、上記容器本体にカム部材を設
け、上記下蓋に係合部材を設け、この係合部材を弾性的
に付勢して上記カム部材に係合させることで、上記容器
本体の下端面を下蓋によって密閉するようにした。

【００５５】そのため、上記下蓋による容器本体の密封
状態を確実に維持することができるばかりか、搬送時な
どの振動で上記下蓋による密封容器の密封状態が損なわ
れるようなこともない。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の第１の実施形態を示す一部断面した
全体構成の側面図。

【図２】同じくロック機構の部分の平面図。

【図３】同じく図２のＸ−Ｘ線に沿う断面図。

【図４】同じく第２の容器部材を開閉駆動する駆動手段
の側面図。

【図５】同じく密封容器の一部分を示す平面図。

【図６】この発明の第２の実施形態を示す縦断面図。

【図７】この発明の第３の実施形態を示す縦断面図。

【図８】従来の密封容器を開閉する構造を示す縦断面
図。

【符号の説明】

２１…第１の容器部材、２２…第２の容器部材、２６…
シ−ル部材、２８…ト−ションバ−、３２…ア−ム（ロ
ック手段）、３４…ロック部材（ロック手段）、５３、
５４…リンク（駆動手段）、６２…キャリア、Ｕ…半導
体ウエハ（基板）。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 基板を保持したキャリアを内部に収容す
   る密封容器装置において、 一側面が開口した第１の容器部材と、 この第１の容器部材にト−ションバ−によって開閉自在
   に連結されているとともに上記第１の容器部材に接合す
   る閉方向に回動させることで上記ト−ションバ−にねじ
   りを与える第２の容器部材と、 上記第１の容器部材と第２の容器部材との接合面間に設
   けられこれらの接合状態を密封するシ−ル部材と、 上記第１の容器部材と第２の容器部材とを接合させたと
   きにその状態で上記第２の容器部材を回動不能にロック
   するロック手段と、 このロック手段による上記第２の容器部材のロック状態
   が解除されたときに上記第２の容器部材を開閉駆動する
   駆動手段とを具備したことを特徴とする密封容器装置。
2. 【請求項２】 基板を保持したキャリアを内部に収容す
   る密封容器装置において、 下面が開放した容器本体と、 この容器本体の下面開口に接合される下蓋と、 上記容器本体と上記下蓋との接合面間に設けられこれら
   の接合状態を密封するシ−ル部材と、 上記容器本体に設けられたカム部材と、 上記下蓋に移動自在に設けられ上記カム部材に係合可能
   な係合部材と、 この係合部材を上記カム部材に係合する方向へ弾性的に
   付勢した付勢部材とを具備したことを特徴とする密封容
   器装置。