JPH07153826A - 半導体又は液晶用の保管庫 - Google Patents
半導体又は液晶用の保管庫Info
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- JPH07153826A JPH07153826A JP32329393A JP32329393A JPH07153826A JP H07153826 A JPH07153826 A JP H07153826A JP 32329393 A JP32329393 A JP 32329393A JP 32329393 A JP32329393 A JP 32329393A JP H07153826 A JPH07153826 A JP H07153826A
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- Japan
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- door
- storage
- main body
- suction member
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 扉の閉鎖時には扉のシールが確実に行えると
ともに、扉の開閉の際には発塵がなく、扉の開閉の操作
性が良い半導体又は液晶用の保管庫を提供する。 【構成】 保管庫本体１に設けられ永久磁石又は磁性体
からなる本体側吸着部材６と、扉２に設けられ本体側吸
着部材６との間で磁力が作用し合う磁性体又は永久磁石
からなる扉側吸着部材８と、扉２に設けられ扉側吸着部
材８を本体側吸着部材６から離間させ本体側吸着部材６
との間の磁力を弱めるか又は作用し合わないようにする
離間機構１１，１３，１４とを備え、扉閉鎖時には本体
側吸着部材６と扉側吸着部材８との間に作用し合う磁力
により扉２をパッキン４を介して保管庫本体１に吸着さ
せ、扉開放時には離間機構１１，１３，１４を作動させ
て扉側吸着部材８を本体側吸着部材６から離間させ扉２
を開放可能にする。
ともに、扉の開閉の際には発塵がなく、扉の開閉の操作
性が良い半導体又は液晶用の保管庫を提供する。 【構成】 保管庫本体１に設けられ永久磁石又は磁性体
からなる本体側吸着部材６と、扉２に設けられ本体側吸
着部材６との間で磁力が作用し合う磁性体又は永久磁石
からなる扉側吸着部材８と、扉２に設けられ扉側吸着部
材８を本体側吸着部材６から離間させ本体側吸着部材６
との間の磁力を弱めるか又は作用し合わないようにする
離間機構１１，１３，１４とを備え、扉閉鎖時には本体
側吸着部材６と扉側吸着部材８との間に作用し合う磁力
により扉２をパッキン４を介して保管庫本体１に吸着さ
せ、扉開放時には離間機構１１，１３，１４を作動させ
て扉側吸着部材８を本体側吸着部材６から離間させ扉２
を開放可能にする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は半導体又は液晶用の保管
庫に係り、特に扉の開閉による発塵が問題となるような
クリーンルーム内などの高度クリーン空間で使用される
半導体又は液晶用の保管庫に関する。
庫に係り、特に扉の開閉による発塵が問題となるような
クリーンルーム内などの高度クリーン空間で使用される
半導体又は液晶用の保管庫に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体産業では、０．１μｍ以下の微粒
子でさえ半導体の歩留りに影響を与えるため問題とされ
ている。クリーンルームのクリーン度は半導体の集積度
が増すにつれて上昇している。この場合、クリーンルー
ムの全体のクリーン度を上げることは、設備コストがか
かるため、部分的な高度クリーン空間を設置する方向に
進んでいる。
子でさえ半導体の歩留りに影響を与えるため問題とされ
ている。クリーンルームのクリーン度は半導体の集積度
が増すにつれて上昇している。この場合、クリーンルー
ムの全体のクリーン度を上げることは、設備コストがか
かるため、部分的な高度クリーン空間を設置する方向に
進んでいる。
【０００３】近年、クリーンルーム内に設置され、内部
に微粒子除去機構を有し、さらにクリーンな空間が得ら
れる保管庫に半導体ウエハや液晶等を保管することが行
われている。
に微粒子除去機構を有し、さらにクリーンな空間が得ら
れる保管庫に半導体ウエハや液晶等を保管することが行
われている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来の保管庫
においては、半導体ウエハや液晶等の保管品の出し入れ
に際し、扉を開閉する際に金属同士の摺動に起因して微
粒子が発生し、この微粒子が半導体ウエハや液晶の表面
に付着し、歩留りに悪影響を与えるという問題点があっ
た。微粒子の発生は機械的な係合により扉を閉止固定す
る手段であるかぎり、のがれ得ない。
においては、半導体ウエハや液晶等の保管品の出し入れ
に際し、扉を開閉する際に金属同士の摺動に起因して微
粒子が発生し、この微粒子が半導体ウエハや液晶の表面
に付着し、歩留りに悪影響を与えるという問題点があっ
た。微粒子の発生は機械的な係合により扉を閉止固定す
る手段であるかぎり、のがれ得ない。
【０００５】また、半導体ウエハや液晶の出し入れに際
し、片手で開閉できる作業性が良い保管庫が要望されて
いる。
し、片手で開閉できる作業性が良い保管庫が要望されて
いる。
【０００６】本発明は上述の事情に鑑みなされたもの
で、扉の閉鎖時には扉のシールが確実に行えるととも
に、扉の開閉の際には発塵がなく、扉の開閉の操作性が
良い半導体又は液晶用の保管庫を提供することを目的と
する。
で、扉の閉鎖時には扉のシールが確実に行えるととも
に、扉の開閉の際には発塵がなく、扉の開閉の操作性が
良い半導体又は液晶用の保管庫を提供することを目的と
する。
【０００７】
【課題を解決するための手段】前述した目的を達成する
ため、本発明の１態様は、保管庫本体と、前記保管庫本
体の開口部を開閉する扉と、前記保管庫本体又は扉の少
なくとも一方に設けられた弾性材からなるシール材とを
備えた保管庫において、前記保管庫本体に設けられ永久
磁石又は磁性体からなる本体側吸着部材と、前記扉に設
けられ前記本体側吸着部材との間で磁力が作用し合う磁
性体又は永久磁石からなる扉側吸着部材と、前記扉に設
けられ前記扉側吸着部材を前記本体側吸着部材から離間
させ本体側吸着部材との間の磁力を弱めるか又は作用し
合わないようにする離間機構とを備え、扉閉鎖時には前
記本体側吸着部材と前記扉側吸着部材との間に作用し合
う磁力により前記扉を前記シール部材を介して前記保管
庫本体に吸着させ、扉開放時には前記離間機構を作動さ
せて前記扉側吸着部材を前記本体側吸着部材から離間さ
せ前記扉を開放可能にすることを特徴とするものであ
る。
ため、本発明の１態様は、保管庫本体と、前記保管庫本
体の開口部を開閉する扉と、前記保管庫本体又は扉の少
なくとも一方に設けられた弾性材からなるシール材とを
備えた保管庫において、前記保管庫本体に設けられ永久
磁石又は磁性体からなる本体側吸着部材と、前記扉に設
けられ前記本体側吸着部材との間で磁力が作用し合う磁
性体又は永久磁石からなる扉側吸着部材と、前記扉に設
けられ前記扉側吸着部材を前記本体側吸着部材から離間
させ本体側吸着部材との間の磁力を弱めるか又は作用し
合わないようにする離間機構とを備え、扉閉鎖時には前
記本体側吸着部材と前記扉側吸着部材との間に作用し合
う磁力により前記扉を前記シール部材を介して前記保管
庫本体に吸着させ、扉開放時には前記離間機構を作動さ
せて前記扉側吸着部材を前記本体側吸着部材から離間さ
せ前記扉を開放可能にすることを特徴とするものであ
る。
【０００８】また本発明の他の態様は、保管庫本体と、
前記保管庫本体の開口部を開閉する扉と、前記保管庫本
体又は扉の少なくとも一方に設けられた弾性材からなる
シール材とを備えた保管庫において、前記保管庫本体に
設けられ永久磁石又は磁性体からなる本体側吸着部材
と、前記扉に設けられ前記本体側吸着部材との間で磁力
が作用し合う磁性体又は永久磁石からなる扉側吸着部材
と、前記扉に設けられ前記扉側吸着部材と前記本体側吸
着部材との間に挿入され前記扉側吸着部材と本体側吸着
部材との間の磁力を弱めるか又は作用し合わないように
する磁気遮蔽材とを備え、扉閉鎖時には前記本体側吸着
部材と前記扉側吸着部材との間に作用し合う磁力により
前記扉を前記シール部材を介して前記保管庫本体に吸着
させ、扉開放時には前記本体側吸着部材と前記扉側吸着
部材との間に前記磁気遮蔽材を挿入して前記扉を開放可
能にすることを特徴とするものである。
前記保管庫本体の開口部を開閉する扉と、前記保管庫本
体又は扉の少なくとも一方に設けられた弾性材からなる
シール材とを備えた保管庫において、前記保管庫本体に
設けられ永久磁石又は磁性体からなる本体側吸着部材
と、前記扉に設けられ前記本体側吸着部材との間で磁力
が作用し合う磁性体又は永久磁石からなる扉側吸着部材
と、前記扉に設けられ前記扉側吸着部材と前記本体側吸
着部材との間に挿入され前記扉側吸着部材と本体側吸着
部材との間の磁力を弱めるか又は作用し合わないように
する磁気遮蔽材とを備え、扉閉鎖時には前記本体側吸着
部材と前記扉側吸着部材との間に作用し合う磁力により
前記扉を前記シール部材を介して前記保管庫本体に吸着
させ、扉開放時には前記本体側吸着部材と前記扉側吸着
部材との間に前記磁気遮蔽材を挿入して前記扉を開放可
能にすることを特徴とするものである。
【０００９】
【作用】前述した構成からなる本発明の第１の態様によ
れば、扉閉鎖時には、本体側吸着部材と扉側吸着部材と
の間に作用し合う磁力により扉をシール部材を介して保
管庫本体に吸着させ、保管庫本体内の収納空間を外部雰
囲気から密閉することができる。扉開放時には、離間機
構を作動させて、扉側吸着部材を本体側吸着部材から所
定距離離間させ、扉側吸着部材と本体側吸着部材との間
の磁力を弱めるか又は作用し合わないようにし、扉を開
放可能にした後、扉を開放することができる。
れば、扉閉鎖時には、本体側吸着部材と扉側吸着部材と
の間に作用し合う磁力により扉をシール部材を介して保
管庫本体に吸着させ、保管庫本体内の収納空間を外部雰
囲気から密閉することができる。扉開放時には、離間機
構を作動させて、扉側吸着部材を本体側吸着部材から所
定距離離間させ、扉側吸着部材と本体側吸着部材との間
の磁力を弱めるか又は作用し合わないようにし、扉を開
放可能にした後、扉を開放することができる。
【００１０】また、本発明の第２の態様によれば、扉閉
鎖時には、本体側吸着部材と扉側吸着部材との間に作用
し合う磁力により扉をシール部材を介して保管庫本体に
吸着させ、保管庫本体内の収納空間を外部雰囲気から密
閉することができる。扉を開放する際には、本体側吸着
部材と扉側吸着部材との間に磁気遮蔽材を挿入して扉側
吸着部材と本体側吸着部材との間の磁力を弱めるか又は
作用し合わないようにし、扉を開放可能にした後、扉を
開放することができる。
鎖時には、本体側吸着部材と扉側吸着部材との間に作用
し合う磁力により扉をシール部材を介して保管庫本体に
吸着させ、保管庫本体内の収納空間を外部雰囲気から密
閉することができる。扉を開放する際には、本体側吸着
部材と扉側吸着部材との間に磁気遮蔽材を挿入して扉側
吸着部材と本体側吸着部材との間の磁力を弱めるか又は
作用し合わないようにし、扉を開放可能にした後、扉を
開放することができる。
【００１１】したがって、本発明によれば、扉と保管庫
本体間に作用する磁力を利用して扉を保管庫本体に対し
て閉止状態に保持することができるとともに扉と保管庫
本体との間の均一なシールが可能である。扉開放時に
は、扉と保管庫本体間に作用する磁力を弱めるか又は作
用し合わないようにすることにより扉を開放可能にした
後、扉を開くことができるため、扉を開閉する際に金属
同士の摺動に起因して発塵することがなく、また扉の開
閉の操作性が極めてよい。
本体間に作用する磁力を利用して扉を保管庫本体に対し
て閉止状態に保持することができるとともに扉と保管庫
本体との間の均一なシールが可能である。扉開放時に
は、扉と保管庫本体間に作用する磁力を弱めるか又は作
用し合わないようにすることにより扉を開放可能にした
後、扉を開くことができるため、扉を開閉する際に金属
同士の摺動に起因して発塵することがなく、また扉の開
閉の操作性が極めてよい。
【００１２】
【実施例】以下、本発明に係る半導体又は液晶用の保管
庫の一実施例を図１乃至図６を参照して説明する。図１
は本発明の保管庫の斜視図であり、保管庫は半導体又は
液晶を収納するための収納空間を有した保管庫本体１
と、この保管庫本体１の開口部を開閉可能に閉塞する扉
２とを備えている。なお、図１は扉２が閉じた状態及び
開いた状態を１枚の図に表している。
庫の一実施例を図１乃至図６を参照して説明する。図１
は本発明の保管庫の斜視図であり、保管庫は半導体又は
液晶を収納するための収納空間を有した保管庫本体１
と、この保管庫本体１の開口部を開閉可能に閉塞する扉
２とを備えている。なお、図１は扉２が閉じた状態及び
開いた状態を１枚の図に表している。
【００１３】扉２は保管庫本体１に上下の蝶番３により
保持され、この蝶番３の摺動部は磁性流体によりシール
されている。また扉２の内面には、フッ素ゴムからなる
シール用のパッキン４が設けられており、扉２のシール
が行えるようになっている。扉２が保管庫本体１の開口
部を閉塞する際には、パッキン４のみが保管庫本体１の
前面に接触し、扉２の金属部と保管庫本体１の金属部と
の直接接触が防止されるようになっている。
保持され、この蝶番３の摺動部は磁性流体によりシール
されている。また扉２の内面には、フッ素ゴムからなる
シール用のパッキン４が設けられており、扉２のシール
が行えるようになっている。扉２が保管庫本体１の開口
部を閉塞する際には、パッキン４のみが保管庫本体１の
前面に接触し、扉２の金属部と保管庫本体１の金属部と
の直接接触が防止されるようになっている。
【００１４】保管庫本体１内には、図２（図１のII−II
線断面図）に示されるようにＵＶランプ５ａ及び集塵電
極５ｂからなる微粒子除去機構５が設置されている。ま
た、保管庫本体１の前面側の１側部には、永久磁石から
なる本体側吸着部材６が設置されている。本体側吸着部
材６は図３（図２のIII−III線断面図）に示されるよう
に、保管庫本体１の上下方向に所定間隔をおいて２個配
設されている。
線断面図）に示されるようにＵＶランプ５ａ及び集塵電
極５ｂからなる微粒子除去機構５が設置されている。ま
た、保管庫本体１の前面側の１側部には、永久磁石から
なる本体側吸着部材６が設置されている。本体側吸着部
材６は図３（図２のIII−III線断面図）に示されるよう
に、保管庫本体１の上下方向に所定間隔をおいて２個配
設されている。
【００１５】一方、扉２には、図１及び図２に示される
ように吸着部７が形成されており、この吸着部７内には
図３に示すように前記本体側吸着部材６に対向した位置
に磁性材からなる扉側吸着部材８，８が設けられてい
る。両扉側吸着部材８，８は連結板９により接続されて
おり、上側の扉側吸着部材８の上端及び下側の扉側吸着
部材８の下端はそれぞれリンク１０を介して扉２に接続
されている。
ように吸着部７が形成されており、この吸着部７内には
図３に示すように前記本体側吸着部材６に対向した位置
に磁性材からなる扉側吸着部材８，８が設けられてい
る。両扉側吸着部材８，８は連結板９により接続されて
おり、上側の扉側吸着部材８の上端及び下側の扉側吸着
部材８の下端はそれぞれリンク１０を介して扉２に接続
されている。
【００１６】前記各扉側吸着部材８には傾斜面１１ａを
有するカム部材１１が固定されている。一方、図３及び
図４（図３のIV矢視図）に示されるように扉側吸着部材
８に隣接してリンク１３が配設されており、このリンク
１３の上下部にはローラ１４，１４が固定されている。
そして、これらローラ１４，１４は前記カム部材１１，
１１の傾斜面１１ａ，１１ａと係合されるようになって
いる。またリンク１３の中央部のやや上方には、凹部１
５ａを有した係合部材１５が固定されており、この係合
部材１５の凹部１５ａに扉前面側に設けられた操作レバ
ー１６の端部１６ａが係合可能になっている。また前記
リンク１３と扉２との間には引張コイルバネ１７が介装
されており、リンク１３は引張コイルバネ１７によって
上方に付勢されるようになっている。また、連結板９と
扉２との間にも引張コイルバネ１８が介装されており、
連結板９は引張コイルバネ１８によって上方に付勢され
るようになっている。
有するカム部材１１が固定されている。一方、図３及び
図４（図３のIV矢視図）に示されるように扉側吸着部材
８に隣接してリンク１３が配設されており、このリンク
１３の上下部にはローラ１４，１４が固定されている。
そして、これらローラ１４，１４は前記カム部材１１，
１１の傾斜面１１ａ，１１ａと係合されるようになって
いる。またリンク１３の中央部のやや上方には、凹部１
５ａを有した係合部材１５が固定されており、この係合
部材１５の凹部１５ａに扉前面側に設けられた操作レバ
ー１６の端部１６ａが係合可能になっている。また前記
リンク１３と扉２との間には引張コイルバネ１７が介装
されており、リンク１３は引張コイルバネ１７によって
上方に付勢されるようになっている。また、連結板９と
扉２との間にも引張コイルバネ１８が介装されており、
連結板９は引張コイルバネ１８によって上方に付勢され
るようになっている。
【００１７】次に前述のように構成された半導体又は液
晶用の保管庫の動作について説明する。扉閉鎖時には、
保管庫本体１に設けられた本体側吸着部材６と扉２に設
けられた扉側吸着部材８との間に作用し合う磁力により
扉２をパッキン４を介して保管庫本体１に吸着させるよ
うになっている。本体側吸着部材６と扉側吸着部材８と
の間の磁力は、フッ素ゴムからなるパッキン４にシール
を行うのに十分な変形をさせるように設定されている。
なお、扉２の閉止時には、パッキン４のみが保管庫本体
１に接触し、扉２の金属部と保管庫本体１の金属部との
直接接触が防止され、発塵することがない。
晶用の保管庫の動作について説明する。扉閉鎖時には、
保管庫本体１に設けられた本体側吸着部材６と扉２に設
けられた扉側吸着部材８との間に作用し合う磁力により
扉２をパッキン４を介して保管庫本体１に吸着させるよ
うになっている。本体側吸着部材６と扉側吸着部材８と
の間の磁力は、フッ素ゴムからなるパッキン４にシール
を行うのに十分な変形をさせるように設定されている。
なお、扉２の閉止時には、パッキン４のみが保管庫本体
１に接触し、扉２の金属部と保管庫本体１の金属部との
直接接触が防止され、発塵することがない。
【００１８】扉開放時には、図５に示すように操作レバ
ー１６に指をかけて起こし、操作レバー１６の端部１６
ａを凹部１５ａに係合させてリンク１３を下方へ押し下
げる。これによってリンク１３に固定されたローラ１
４，１４がカム部材１１，１１の傾斜面１１ａ，１１ａ
上を摺接してカム部材１１及び扉側吸着部材８，８を移
動させ、扉側吸着部材８を本体側吸着部材６から離間さ
せて扉側吸着部材８と本体側吸着部材６との間に所定の
ギャップＧを形成する。これにより扉側吸着部材８と本
体側吸着部材６との間の磁力を弱めるか又は作用し合わ
ないようにし、扉２を開放可能にした後扉２を開く。こ
の扉２を開く際、扉２は蝶番３を中心として回転する
が、蝶番３の摺動部は磁性流体によりシールされている
ため、発塵することがない。
ー１６に指をかけて起こし、操作レバー１６の端部１６
ａを凹部１５ａに係合させてリンク１３を下方へ押し下
げる。これによってリンク１３に固定されたローラ１
４，１４がカム部材１１，１１の傾斜面１１ａ，１１ａ
上を摺接してカム部材１１及び扉側吸着部材８，８を移
動させ、扉側吸着部材８を本体側吸着部材６から離間さ
せて扉側吸着部材８と本体側吸着部材６との間に所定の
ギャップＧを形成する。これにより扉側吸着部材８と本
体側吸着部材６との間の磁力を弱めるか又は作用し合わ
ないようにし、扉２を開放可能にした後扉２を開く。こ
の扉２を開く際、扉２は蝶番３を中心として回転する
が、蝶番３の摺動部は磁性流体によりシールされている
ため、発塵することがない。
【００１９】操作レバー１６から指を離すと、引張コイ
ルバネ１７の付勢力によりリンク１３及び操作レバー１
６は元に復帰し、又、引張コイルバネ１８の付勢力によ
り扉側吸着部材８，８及び連結板９は元に復帰する。
ルバネ１７の付勢力によりリンク１３及び操作レバー１
６は元に復帰し、又、引張コイルバネ１８の付勢力によ
り扉側吸着部材８，８及び連結板９は元に復帰する。
【００２０】したがって、本実施例によれば、扉の閉鎖
時には保管庫本体１と扉２とはパッキン４を介して接し
ており、かつ本体側吸着部材６と扉側吸着部材８との間
による磁力により扉２は保管庫本体１に対して閉鎖され
るようになっているため、扉閉鎖時において金属同士の
接触部はどこにもない。また、扉開放時には、操作レバ
ー１６を片手で操作するのみで、扉側吸着部材８と本体
側吸着部材６との間に作用する磁力を弱めるか又は作用
しないようにした後、扉２を開くことができる。そし
て、蝶番３はその摺動部が磁性流体によりシールされて
いるため、扉開閉時に発塵が防止される。
時には保管庫本体１と扉２とはパッキン４を介して接し
ており、かつ本体側吸着部材６と扉側吸着部材８との間
による磁力により扉２は保管庫本体１に対して閉鎖され
るようになっているため、扉閉鎖時において金属同士の
接触部はどこにもない。また、扉開放時には、操作レバ
ー１６を片手で操作するのみで、扉側吸着部材８と本体
側吸着部材６との間に作用する磁力を弱めるか又は作用
しないようにした後、扉２を開くことができる。そし
て、蝶番３はその摺動部が磁性流体によりシールされて
いるため、扉開閉時に発塵が防止される。
【００２１】次に本発明の第２実施例を図６及び図７を
参照して説明する。本実施例においては、保管庫本体１
に本体側吸着部材６が設置されていることは第１実施例
と同様であるが、扉２に設置された扉側吸着部材の構成
が異なっている。即ち、扉２の吸着部７（図１参照）内
には、本体側吸着部材６，６に対向した位置に、扉側吸
着部材２１，２１が設置されている。これら扉側吸着部
材２１，２１は回転可能になっているとともに上下方向
に伸びるリンク２２に接続されている。また扉２とリン
ク２２との間には引張コイルバネ２３が介装されてお
り、この引張コイルバネ２２によりリンク２２は常時上
方に付勢されるようになっている。なお、符号２４はリ
ンク２２の上下動をガイドするピンである。
参照して説明する。本実施例においては、保管庫本体１
に本体側吸着部材６が設置されていることは第１実施例
と同様であるが、扉２に設置された扉側吸着部材の構成
が異なっている。即ち、扉２の吸着部７（図１参照）内
には、本体側吸着部材６，６に対向した位置に、扉側吸
着部材２１，２１が設置されている。これら扉側吸着部
材２１，２１は回転可能になっているとともに上下方向
に伸びるリンク２２に接続されている。また扉２とリン
ク２２との間には引張コイルバネ２３が介装されてお
り、この引張コイルバネ２２によりリンク２２は常時上
方に付勢されるようになっている。なお、符号２４はリ
ンク２２の上下動をガイドするピンである。
【００２２】本実施例によれば、扉前面側にある操作レ
バー（図示せず）を操作することにより、リンク２２を
下方に移動させ、図７の仮想線で示すように上下一対の
扉側吸着部材２１，２１を９０゜回転させる。これによ
り扉側吸着部材２１は本体側吸着部材２０から図７に示
されるように対向しなくなり、扉側吸着部材２１と本体
側吸着部材６との間の磁力が作用しなくなって、扉２を
開放することが可能となる。本実施例においても、第１
実施例と同様の作用効果が得られる。
バー（図示せず）を操作することにより、リンク２２を
下方に移動させ、図７の仮想線で示すように上下一対の
扉側吸着部材２１，２１を９０゜回転させる。これによ
り扉側吸着部材２１は本体側吸着部材２０から図７に示
されるように対向しなくなり、扉側吸着部材２１と本体
側吸着部材６との間の磁力が作用しなくなって、扉２を
開放することが可能となる。本実施例においても、第１
実施例と同様の作用効果が得られる。
【００２３】次に、本発明の第３実施例を図８乃至図１
０を参照して説明する。本実施例においては、図８に示
すように扉１に永久磁石からなる扉側吸着部材３１が設
置されている。扉側吸着部材３１の両端には磁性鋼板３
２，３２が固定されている。一方、保管庫本体１には、
扉側吸着部材３１と対向した位置に本体側吸着部材３３
が固定されている。そして、扉側吸着部材３１と本体側
吸着部材３３との間には、図９（図８のIX−IX矢視図）
に示されるように矩形状の高透磁率材３４，３４と略口
型状の高透磁率材３５とを備えた合成樹脂材からなるス
ライド部材３６が介装されている。前記高透磁率材３４
はスライド部材３６を貫通して設けられており、高透磁
率材３５はスライド部材３６を貫通してはいない。
０を参照して説明する。本実施例においては、図８に示
すように扉１に永久磁石からなる扉側吸着部材３１が設
置されている。扉側吸着部材３１の両端には磁性鋼板３
２，３２が固定されている。一方、保管庫本体１には、
扉側吸着部材３１と対向した位置に本体側吸着部材３３
が固定されている。そして、扉側吸着部材３１と本体側
吸着部材３３との間には、図９（図８のIX−IX矢視図）
に示されるように矩形状の高透磁率材３４，３４と略口
型状の高透磁率材３５とを備えた合成樹脂材からなるス
ライド部材３６が介装されている。前記高透磁率材３４
はスライド部材３６を貫通して設けられており、高透磁
率材３５はスライド部材３６を貫通してはいない。
【００２４】本実施例によれば、扉閉鎖時には、高透磁
率材３４，３４を磁性鋼板３２に対向した位置にさせる
ことにより、永久磁石からなる扉側吸着部材３１の磁束
が、図８の矢印で示されるように磁性鋼板３２、一方の
高透磁率材３４、本体側吸着部材３３、他方の高透磁率
材３４、磁性鋼板３２を通って扉側吸着部材３１に戻る
磁気回路が形成される。したがって、扉側吸着部材３１
は本体側吸着部材３３に吸引され、扉２は保管庫本体１
に吸着される。
率材３４，３４を磁性鋼板３２に対向した位置にさせる
ことにより、永久磁石からなる扉側吸着部材３１の磁束
が、図８の矢印で示されるように磁性鋼板３２、一方の
高透磁率材３４、本体側吸着部材３３、他方の高透磁率
材３４、磁性鋼板３２を通って扉側吸着部材３１に戻る
磁気回路が形成される。したがって、扉側吸着部材３１
は本体側吸着部材３３に吸引され、扉２は保管庫本体１
に吸着される。
【００２５】一方、扉開放時には、扉前面側にある操作
レバー（図示せず）を操作して図１０に示されるように
スライド部材３６をスライドさせ、高透磁率材３５を磁
性鋼板３２と対向させることにより、扉側吸着部材３１
の磁束が、図１０の矢印で示されるように高透磁率材３
５を介して扉側吸着部材３１に戻る磁気回路が形成され
る。したがって、扉側吸着部材３１の磁束が、本体側吸
着部材３３に作用することが少ないので、扉側吸着部材
３１と本体側吸着部材３３との磁力が弱まり、扉２が開
閉可能になる。
レバー（図示せず）を操作して図１０に示されるように
スライド部材３６をスライドさせ、高透磁率材３５を磁
性鋼板３２と対向させることにより、扉側吸着部材３１
の磁束が、図１０の矢印で示されるように高透磁率材３
５を介して扉側吸着部材３１に戻る磁気回路が形成され
る。したがって、扉側吸着部材３１の磁束が、本体側吸
着部材３３に作用することが少ないので、扉側吸着部材
３１と本体側吸着部材３３との磁力が弱まり、扉２が開
閉可能になる。
【００２６】このように本実施例によれば、高透磁率材
３５からなる磁気遮蔽材を扉側吸着部材３１と本体側吸
着部材３３との間に挿入し、扉側吸着部材３１と本体側
吸着部材３３との間の磁力を弱めるか作用し合わないよ
うにし、扉２を開放可能とすることができる。
３５からなる磁気遮蔽材を扉側吸着部材３１と本体側吸
着部材３３との間に挿入し、扉側吸着部材３１と本体側
吸着部材３３との間の磁力を弱めるか作用し合わないよ
うにし、扉２を開放可能とすることができる。
【００２７】次に、本発明の第４実施例を図１１乃至図
１３を参照して説明する。本実施例においては、扉側吸
着部材３１、磁性鋼板３２及び本体側吸着部材３３の構
成は第３実施例と同様であるが、スライド部材の構成が
異なっている。即ち、合成樹脂材からなるスライド部材
３８は、図１１及び図１２（図１１のXII−XII 矢視
図）に示されるように矩形状の高透磁率材料３９，３９
を備えている。本実施例においては、扉閉鎖時には、扉
側吸着部材３１の磁束が、図１１の矢印で示されるよう
に高透磁率材３９、本体側吸着部材３３、高透磁率材３
９を通って扉側吸着部材３１に戻る磁気回路が形成され
る。したがって、扉側吸着部材３１は本体側吸着部材３
３に吸引され、扉２は保管庫本体１に吸着され、扉２は
閉塞されるようになっている。
１３を参照して説明する。本実施例においては、扉側吸
着部材３１、磁性鋼板３２及び本体側吸着部材３３の構
成は第３実施例と同様であるが、スライド部材の構成が
異なっている。即ち、合成樹脂材からなるスライド部材
３８は、図１１及び図１２（図１１のXII−XII 矢視
図）に示されるように矩形状の高透磁率材料３９，３９
を備えている。本実施例においては、扉閉鎖時には、扉
側吸着部材３１の磁束が、図１１の矢印で示されるよう
に高透磁率材３９、本体側吸着部材３３、高透磁率材３
９を通って扉側吸着部材３１に戻る磁気回路が形成され
る。したがって、扉側吸着部材３１は本体側吸着部材３
３に吸引され、扉２は保管庫本体１に吸着され、扉２は
閉塞されるようになっている。
【００２８】一方、扉開放時には、図１３に示されるよ
うにスライド部材３８をスライドさせて、樹脂材からな
るスライド部材３８により扉側吸着部材３１と本体側吸
着部材３３との間の磁力を弱めるか又は作用し合わない
ようにし、扉２が開放可能となる。
うにスライド部材３８をスライドさせて、樹脂材からな
るスライド部材３８により扉側吸着部材３１と本体側吸
着部材３３との間の磁力を弱めるか又は作用し合わない
ようにし、扉２が開放可能となる。
【００２９】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、機
械的な閉止手段を用いず、扉と保管庫本体間に作用する
磁力を利用して扉を保管庫本体に対して閉止状態に保持
することができるとともに扉と保管庫本体との間の均一
なシールが可能である。また扉開放時には、扉と保管庫
本体間に作用する磁力を弱めるか又は作用し合わないよ
うにすることにより扉を容易に開放可能にした後、扉を
開くことができるため、扉を開閉する際に金属同士の摺
動がないので、金属同士の摺動に起因して発塵すること
がなく、発塵にともなう微粒子が半導体ウエハや液晶に
付着することを防止することができる。
械的な閉止手段を用いず、扉と保管庫本体間に作用する
磁力を利用して扉を保管庫本体に対して閉止状態に保持
することができるとともに扉と保管庫本体との間の均一
なシールが可能である。また扉開放時には、扉と保管庫
本体間に作用する磁力を弱めるか又は作用し合わないよ
うにすることにより扉を容易に開放可能にした後、扉を
開くことができるため、扉を開閉する際に金属同士の摺
動がないので、金属同士の摺動に起因して発塵すること
がなく、発塵にともなう微粒子が半導体ウエハや液晶に
付着することを防止することができる。
【００３０】また本発明によれば、半導体ウエハ及び液
晶の出し入れに際し、片手で扉の開閉操作を行うことが
でき、極めて操作性がよい保管庫とすることができる。
晶の出し入れに際し、片手で扉の開閉操作を行うことが
でき、極めて操作性がよい保管庫とすることができる。
【図１】本発明に係る半導体又は液晶用の保管庫の第１
実施例を示す斜視図である。
実施例を示す斜視図である。
【図２】図１のII−II線断面図である。
【図３】図２のIII−III線断面図である。
【図４】図３のIV矢視図である。
【図５】図１に示す第１実施例の動作説明図である。
【図６】本発明に係る半導体又は液晶用の保管庫の第２
実施例を示す斜視図である。
実施例を示す斜視図である。
【図７】本発明に係る半導体又は液晶用の保管庫の第２
実施例の側面図である。
実施例の側面図である。
【図８】本発明に係る半導体又は液晶用の保管庫の第３
実施例を示す要部断面図である。
実施例を示す要部断面図である。
【図９】図８のIX−IX矢視図である。
【図１０】図８に示す第３実施例の動作説明図である。
【図１１】本発明に係る半導体又は液晶用の保管庫の第
４実施例を示す要部断面図である。
４実施例を示す要部断面図である。
【図１２】図１１のXII−XII矢視図である。
【図１３】図１１に示す第４実施例の動作説明図であ
る。
る。
１ 保管庫本体 ２ 扉 ３ 蝶番 ４ パッキン ５ 微粒子除去機構 ６，３３ 本体側吸着部材 ７ 吸着部 ８，２１，３１ 扉側吸着部材 ９ 連結板 １０，２２ リンク １１ カム部材 １３ リンク １４ ローラ １６ 操作レバー ３４，３５，３９ 高透磁率材 ３６，３８ スライド部材
Claims (5)
- 【請求項１】 保管庫本体と、前記保管庫本体の開口部
を開閉する扉と、前記保管庫本体又は扉の少なくとも一
方に設けられた弾性材からなるシール材とを備えた保管
庫において、前記保管庫本体に設けられ永久磁石又は磁
性体からなる本体側吸着部材と、前記扉に設けられ前記
本体側吸着部材との間で磁力が作用し合う磁性体又は永
久磁石からなる扉側吸着部材と、前記扉に設けられ前記
扉側吸着部材を前記本体側吸着部材から離間させ本体側
吸着部材との間の磁力を弱めるか又は作用し合わないよ
うにする離間機構とを備え、扉閉鎖時には前記本体側吸
着部材と前記扉側吸着部材との間に作用し合う磁力によ
り前記扉を前記シール部材を介して前記保管庫本体に吸
着させ、扉開放時には前記離間機構を作動させて前記扉
側吸着部材を前記本体側吸着部材から離間させ前記扉を
開放可能にすることを特徴とする半導体又は液晶用の保
管庫。 - 【請求項２】 保管庫本体と、前記保管庫本体の開口部
を開閉する扉と、前記保管庫本体又は扉の少なくとも一
方に設けられた弾性材からなるシール材とを備えた保管
庫において、前記保管庫本体に設けられ永久磁石又は磁
性体からなる本体側吸着部材と、前記扉に設けられ前記
本体側吸着部材との間で磁力が作用し合う磁性体又は永
久磁石からなる扉側吸着部材と、前記扉に設けられ前記
扉側吸着部材と前記本体側吸着部材との間に挿入され前
記扉側吸着部材と本体側吸着部材との間の磁力を弱める
か又は作用し合わないようにする磁気遮蔽材とを備え、
扉閉鎖時には前記本体側吸着部材と前記扉側吸着部材と
の間に作用し合う磁力により前記扉を前記シール部材を
介して前記保管庫本体に吸着させ、扉開放時には前記本
体側吸着部材と前記扉側吸着部材との間に前記磁気遮蔽
材を挿入して前記扉を開放可能にすることを特徴とする
半導体又は液晶用の保管庫。 - 【請求項３】 前記扉は前記保管庫本体に蝶番により保
持され、該蝶番の摺動部は磁性流体によりシールされて
いることを特徴とする請求項１又は２記載の半導体又は
液晶用の保管庫。 - 【請求項４】 前記扉側吸着部材は、前記扉に移動可能
に設置され、前記離間機構は前記扉側吸着部材に設けら
れたカムと、該カムに係合して前記扉側吸着部材を前記
本体側吸着部材から離間させるローラと、前記扉の前面
に設けられ前記ローラに前記カムへの係合動作をさせる
操作部とからなることを特徴とする請求項１又は２記載
の半導体又は液晶用の保管庫。 - 【請求項５】 前記扉側吸着部材は前記扉に回転可能に
設置され、前記離間機構は前記扉側吸着部材に連結さ
れ、これを所定角度回転させるリンクと、前記扉の前面
に設けられ前記リンクを作動させる操作部とからなるこ
とを特徴とする請求項１又は２記載の半導体又は液晶用
の保管庫。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32329393A JPH07153826A (ja) | 1993-11-29 | 1993-11-29 | 半導体又は液晶用の保管庫 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32329393A JPH07153826A (ja) | 1993-11-29 | 1993-11-29 | 半導体又は液晶用の保管庫 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07153826A true JPH07153826A (ja) | 1995-06-16 |
Family
ID=18153173
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32329393A Pending JPH07153826A (ja) | 1993-11-29 | 1993-11-29 | 半導体又は液晶用の保管庫 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07153826A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100665836B1 (ko) * | 2001-03-20 | 2007-01-09 | 삼성전자주식회사 | 반도체 제조용 연마설비의 히트램프를 교체하기 위한도어의 개폐장치 |
| KR100845876B1 (ko) * | 2006-11-07 | 2008-07-14 | 프리시스 주식회사 | 밸브 컨트롤러 박스 |
| JP2011171496A (ja) * | 2010-02-18 | 2011-09-01 | Mitsubishi Electric Corp | 電磁力開閉式の電磁シールド扉システム |
| WO2015190502A1 (ja) * | 2014-06-12 | 2015-12-17 | 東京エレクトロン株式会社 | 密閉容器及び搬送システム |
| CN110203521A (zh) * | 2019-06-03 | 2019-09-06 | 温州源利智能科技有限公司 | 一种晶片周转盒 |
-
1993
- 1993-11-29 JP JP32329393A patent/JPH07153826A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100665836B1 (ko) * | 2001-03-20 | 2007-01-09 | 삼성전자주식회사 | 반도체 제조용 연마설비의 히트램프를 교체하기 위한도어의 개폐장치 |
| KR100845876B1 (ko) * | 2006-11-07 | 2008-07-14 | 프리시스 주식회사 | 밸브 컨트롤러 박스 |
| JP2011171496A (ja) * | 2010-02-18 | 2011-09-01 | Mitsubishi Electric Corp | 電磁力開閉式の電磁シールド扉システム |
| WO2015190502A1 (ja) * | 2014-06-12 | 2015-12-17 | 東京エレクトロン株式会社 | 密閉容器及び搬送システム |
| JP2016000022A (ja) * | 2014-06-12 | 2016-01-07 | 東京エレクトロン株式会社 | 密閉容器及び搬送システム |
| CN110203521A (zh) * | 2019-06-03 | 2019-09-06 | 温州源利智能科技有限公司 | 一种晶片周转盒 |
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