JPH0929072A

JPH0929072A - 膜濾過装置の逆洗方法

Info

Publication number: JPH0929072A
Application number: JP7187066A
Authority: JP
Inventors: Kazuhiro Ishiyama; 一弘石山; Yu Sasaki; 湧佐々木; Tadashi Takadoi; 忠高土居; Kiyohito Chikasawa; 清仁近沢
Original assignee: Tohoku Electric Power Co Inc; Kurita Water Industries Ltd
Current assignee: Tohoku Electric Power Co Inc; Kurita Water Industries Ltd
Priority date: 1995-07-24
Filing date: 1995-07-24
Publication date: 1997-02-04

Abstract

(57)【要約】【解決手段】濾過工程から逆洗工程に移行するに際
し、弁Ｖ₂ と弁Ｖ₄ を閉じ、弁Ｖ₆ を開け処理水貯槽４
をコンプレッサ５で加圧した後、弁Ｖ₂ を開き、処理水
を処理水室３ｂから膜分離装置３へ逆流させて逆洗す
る。次いで、弁Ｖ₂ ，Ｖ₆ を閉じ、処理水貯槽４の圧力
が該被処理水室３ａの圧力と同程度になるように弁Ｖ₄
を徐々に開いた後、弁Ｖ₂ を開いて濾過工程に移行す
る。【効果】逆洗後、濾過再開に当り、被処理水室側から
膜に急激に圧力が加わることが防止される。濾過再開初
期の過透過を防止して、膜へのＳＳの付着を少なく、か
つ、安定させることにより、逆洗により回復させたフラ
ックスを長期にわたり安定に維持する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は膜濾過装置の逆洗方
法に係り、特に、排煙脱硫排水の膜濾過装置に好適な逆
洗方法に関する。詳しくは、逆洗効果が高く、フラック
ス（透過流束）の回復、安定化に有効な膜濾過装置の逆
洗方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】排煙脱硫排水は、一般に、水酸化カルシ
ウム（Ｃａ（ＯＨ）₂ ）による中和処理、硫酸バンド
（ポリ硫酸アルミニウム）による凝集処理によりｐＨ調
整及びフッ素、重金属類の不溶化を行った後、固液分離
（通常は沈澱分離）を行って処理されている。

【０００３】近年、このような排煙脱硫排水の処理にお
いて、凝集沈澱処理の代替として、ＵＦ（限外濾過）膜
やＭＦ（精密濾過）膜による膜濾過処理の適用が研究さ
れている。

【０００４】この膜濾過処理においては、処理の安定化
を図るために、汚泥（高濃度濃縮水）を循環するクロス
フロー方式で濾過を行うことが検討されているが、長時
間濾過処理を継続すると膜面に濁質が付着して膜の目詰
りによりフラックス（透過水量）が低下してくる。特
に、１ヶ月程度の長期間通水処理を行うと、膜面又は膜
内に汚泥が付着、堆積し、その抵抗によりフラックスが
著しく低下する。

【０００５】この対策として、定期的に処理水による逆
洗を行ってフラックスを回復させている。この逆洗方法
として、処理水を加圧して膜濾過装置の処理水室から被
処理水室側へ逆流させて洗浄する方法が提案されてお
り、特開昭６２−２３４５１４号公報には、例えば、ポ
ンプで処理水を加圧逆流させる方法が、また、特開昭６
２−１６８５０５号公報には、処理水を空気で加圧逆流
させる方法が開示されている。なお、特開昭６２−２３
４５１４号公報記載の方法では、逆洗時、給液ポンプは
停止させている。また、特開昭６２−１６８５０５号公
報記載の方法では、逆洗時、給液ポンプは作動している
が、弁の切り換えにより、被処理水は加圧手段に給液さ
れ、膜濾過装置への被処理水の給液はなされない。

【０００６】また、特にフラックスの低下が著しい場合
には、薬品による洗浄を行っている。薬品洗浄の場合、
その方法や頻度は、膜面に付着する汚泥の種類等によっ
ても異なるが、通常、アルカリ−酸の２段洗浄を、必要
に応じて加温状態で１〜２回／月，８〜２４時間／回の
条件で行っている。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】従来の加圧逆洗方法で
は、逆洗中に膜濾過装置への被処理水の給液を停止し、
逆洗後、給液ポンプの稼働又は弁の切り換えにより、膜
濾過装置への給液を再開するため、濾過再開時には、被
処理水室側から膜に急激に圧力が加わる。この急激な加
圧力により、フラックスが増し被処理水中のＳＳの膜面
付着量が増大し、又、逆洗で膜面から剥離して被処理水
室中に浮遊しているＳＳが濾過再開時に膜に再び付着
し、膜を目詰りさせる。このため、回復したフラックス
を早期に低下させてしまうという問題がある。また、こ
のようにフラックスが早期に低下してしまうことから、
薬品洗浄を頻繁に行う必要があるといった問題もある。

【０００８】薬品洗浄を頻繁に行うことは、薬品コスト
の高騰、薬品洗浄時の運転停止期間のための排水貯留槽
の増大、労力の増大、運転停止による装置稼働時間の短
縮による設備処理能力の低減といった様々な不利益を生
じる。

【０００９】本発明は上記従来の問題点を解決し、逆洗
効果が高く、フラックスの回復、安定化に有効な膜濾過
装置の逆洗方法を提供することを目的とする。

【００１０】

【課題を解決するための手段】請求項１の膜濾過装置の
逆洗方法は、耐圧容器内が濾過膜で被処理水室と処理水
室とに区画された膜濾過装置を逆洗する方法であって、
該被処理水室には給液ポンプを有する給液ラインと排液
ラインとが接続されると共に、処理水室には開閉弁を介
して処理水貯槽が接続され、該処理水貯槽に処理水取出
弁及び処理水加圧手段が設けられている膜濾過装置の逆
洗方法において、前記給液ポンプを作動させたまま、前記開閉弁と処理水取出弁を閉じ、処理水貯槽内を
加圧手段により被処理水室内の圧力より高く加圧した
後、該開閉弁を開き、該処理水貯槽内の処理水を膜濾過
装置の処理水室内に導入し、該処理水を処理水室から被
処理水室へ逆流させて濾過膜を逆洗し、次いで、該開閉弁を閉じ、前記処理水取出弁を逆洗
水貯槽内の圧力が被処理水室内の圧力と同程度になるよ
うに徐々に開いた後、該開閉弁を開いて濾過工程に移行することを特徴とするものである。

【００１１】請求項２の膜濾過装置の逆洗方法は、耐圧
容器内を濾過膜で被処理水室と処理水室とに区画した膜
濾過装置を逆洗する方法において、まず処理水室に逆洗
水を被処理水室内の圧よりも高い圧にて供給して濾過膜
を逆洗し、次いで該処理水室内の圧Ｐ₂ を該被処理水室
内の平均圧Ｐ₁ とほぼ等しい圧まで徐々に低下させた
後、濾過工程を再開するようにしたことを特徴とするも
のである。なお、濾過工程を再開させるときには、圧Ｐ
₂ が圧Ｐ₁ の７０〜１３０％とりわけ８０〜１２０％と
なっていることが望ましい。

【００１２】上記〜の工程、特に、上記の圧力徐
放工程を経ることにより、濾過膜にわる圧力の急激な変
化及びこの圧力の急激な変化に起因する膜へのＳＳの再
付着、堆積を防止して、膜フラックスを安定化させるこ
とができる。

【００１３】即ち、上記逆洗工程（第４図）の後、圧
力徐放工程（第５図）を介して濾過工程（第２図）に
復帰するようにした場合、第６図（ａ）の通り、濾過再
開時には処理水室３ｂ内の圧力Ｐ₂ と被処理水室３ａ内
の圧力Ｐ₁ とがほぼ等しく、濾過運転再開後、徐々に圧
力Ｐ₁ ，Ｐ₂ の差が開き出し、濾過が徐々に再開するよ
うになる。この濾過再開時の濾過膜は、ＳＳ等が逆洗除
去された清浄な状態になっているため、Ｐ₁ ，Ｐ₂ の圧
力差をいきなり大きくしたときには極端に大きな透過水
量になる（後述の比較例を示す第７図（ｂ）参照）が、
このように濾過再開時にＰ₁ ，Ｐ₂ の圧力差を徐々に大
きくすると、第７図（ａ）の通り、透過水量（フラック
ス）が徐々に増大する。

【００１４】第７図（ｂ）の如く逆洗直後に透過水量が
瞬時に大透過水量になった場合、逆洗により剥離したＳ
Ｓが再び膜面に多量に付着し、膜面が急速に目詰りして
しまう。（そして、この結果、透過水量はその後急速に
低下してしまう。）これに対し、第６図（ａ）の如く、濾過再開時の圧力Ｐ
₁ ，Ｐ₂ の差をゼロから少しずつ大きくし、透過水量を
徐々に高めるようにした場合には、剥離したＳＳが被処
理水の流れにのって膜濾過装置３外に搬出されるように
なり、膜面へのＳＳの再付着が殆ど生じない。この結
果、第７図（ａ）の如く、高透過水量が長時間維持され
る。

【００１５】なお、逆洗水には、図示の如く、処理水を
用いる他、別の濁質を含まない用水を用いても良く、こ
の場合には、別途逆洗ポンプを設けて逆洗を行っても良
い。

【００１６】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明を詳
細に説明する。

【００１７】なお、以下においては、排煙脱硫排水の処
理における膜濾過装置を逆洗する場合を例示して本発明
を説明するが、本発明は、排煙脱硫排水の処理に用いら
れる膜濾過装置の逆洗に限定されるものではない。

【００１８】第１図は固液分離に膜濾過を採用した排煙
脱硫排水の処理装置を示す系統図であり、第２〜５図は
各工程における水の流れを示している。また、第６図は
各工程における圧力変化を示し、第７図は各工程におけ
る圧力変化と透過水量変化を示している。

【００１９】第１〜５図において、１は反応槽、２は循
環槽、３は膜濾過装置、４は処理水貯槽（逆洗水貯
槽）、５はコンプレッサである。弁Ｖ₁ は逆止弁よりな
り、弁Ｖ₂ ，Ｖ₃ ，Ｖ₄ ，Ｖ₅ ，Ｖ₆ は二方弁よりな
る。Ｐは給液ポンプ、Ｇ₁ ，Ｇ₂ ，Ｇ₃ は圧力計、１１
〜２１の各符号は配管を示す。

【００２０】以下、この膜濾過装置の濾過運転及び逆洗
運転について項分けして説明する。なお、この濾過運転
及び逆洗運転のいずれの運転期間中においても、給液ポ
ンプＰは作動されている。

【００２１】Ｉ膜濾過運転（第２図）この装置による排煙脱硫排水の膜濾過処理に当っては、
第２図の通り、弁（開閉弁）Ｖ₂ 及び弁（処理水取出
弁）Ｖ₄ を開、弁Ｖ₃ ，Ｖ₅ ，Ｖ₆ を閉として、給液ポ
ンプＰを作動させる。なお、図において黒く塗りつぶし
た弁は閉弁状態を示し、白ヌキの弁は開弁状態を示して
いる。

【００２２】排煙脱硫排水は、配管１１より反応槽１に
導入され、Ｃａ（ＯＨ）₂ やＮａＯＨでｐＨ６．０〜
８．５に調整され、更に必要に応じてポリ硫酸アルミニ
ウム、ポリ塩化アルミニウム等のアルミニウム化合物な
どの凝集剤が添加される。この反応槽１の容量は、反応
が終結するに十分な時間、排煙脱硫排水を滞留させるこ
とができる程度、一般には滞留時間１０〜１８０分程度
を確保することができるような容量であれば良い。な
お、この反応槽１には、必要に応じて、後工程の膜濾過
装置３の濃縮水を配管１７，１９を経て返送しても良
い。

【００２３】反応槽１の液は、次いで図示しないポンプ
又は自然流下により、配管１２を経て循環槽２に導入さ
れる。この循環槽２には、膜濾過装置３の濃縮水が配管
１７，１８を経て循環されている。この循環槽２内の液
は必要に応じて一部を引き抜き、汚泥として脱水処分す
る。

【００２４】循環槽２内の液は、給液ポンプ（循環ポン
プ）Ｐにより配管１３を経て、膜濾過装置３の被処理水
室３ａに導入される。膜濾過装置３の濾過膜３Ａを透過
した処理水（透過水）は、処理水室３ｂから配管１５、
処理水槽４、配管１６を経て系外へ排出され、必要に応
じて、活性炭塔やＣＯＤ吸着剤塔に導かれて処理され
る。一方、濃縮水は、被処理水室３ａから、配管１７，
１８を経て循環槽２に返送され、循環される。

【００２５】膜濾過装置３としては、一般に、耐圧容器
３Ｂ内に濾過膜３ＡとしてＵＦ膜，ＭＦ膜を設置した内
圧型のものが用いられ、膜濾過装置内流速０．５〜３ｍ
／秒程度の、膜濾過装置内に濁質が沈積しない流速とす
る。なお、膜内抵抗により、入口圧（圧力計Ｇ₁ の圧
力）は０．３〜２．０ｋｇ／ｃｍ² 程度となる。

【００２６】II 逆洗運転このような処理を５〜１２０分継続した後は、次の手順
で逆洗を行う。

【００２７】逆洗準備工程（処理水貯槽４への貯
水）（第３図）この実施例では、前記濾過運転においては、第２図の通
り、処理水貯槽４は水が満タンにはなっていない。そこ
で、逆洗に先立ってまずこの処理水貯槽４を処理水で満
タンとし、次の逆洗工程に備える。（この処理水貯槽４
内の水で濾過膜３Ａを逆洗するためである。）この処理水貯槽４を処理水で満タンにするには、弁Ｖ₄
を閉、Ｖ₆ を閉のまま、Ｖ₅ を開とする。これにより、
処理水貯槽４内の上部の残留空気が配管２１を介して大
気に放出され、処理水貯槽４内が処理水で満たされる。
この後、弁Ｖ₅を閉とし、次の加圧工程に移る。

【００２８】加圧工程弁Ｖ₂ ，Ｖ₅ を閉じ、弁Ｖ₄ を閉じたままとし、弁Ｖ₆
を開け、且つコンプレッサ５を作動させ、処理水貯槽４
内の圧力を膜濾過装置３の被処理水室３ａ内の圧力より
高くなるように加圧する。なお、処理水貯槽４内の圧力
が１．０〜３．０ｋｇ／ｃｍ² となり、且つ処理水貯槽
４内の圧力が被処理水室３ａ内の圧力より０．５〜２．
０ｋｇ／ｃｍ² 高くなるように加圧するのが好ましい。

【００２９】逆洗工程（第４図）上記加圧工程後、開閉弁Ｖ₂ を開いて処理水貯槽４内の
加圧水を膜濾過装置３へ導入し、処理水を処理水室３ｂ
側から被処理水室３ａ側へ逆流させて濾過膜３Ａを逆洗
する。この逆洗時間は、通常、１〜１０秒程度行う。

【００３０】圧力徐放工程（逆洗終了〜濾過再開直
前）（第５図）上記逆洗工程後、弁Ｖ₂ を閉とし、弁Ｖ₆ を閉のままと
する。そして、Ｖ₄ を徐々に開き、処理水貯槽４内の圧
力（圧力計Ｇ₃ の圧力）Ｐ₃ が被処理水室３ａの圧力
（圧力計Ｇ₁ の圧力）Ｐ₁ にほぼ等しくなるまで徐々に
圧力を低下させる。

【００３１】この際、処理水室３ｂ内の圧力Ｐ₂ は、弁
Ｖ₂ を閉とした直後は、処理水貯槽４内の圧力Ｐ₃ と同
程度であるが、処理水室３ｂから被処理水室３ａへの膜
透過（逆流）により、処理水室３ｂ内の圧力Ｐ₂ は被処
理水室３ａ内の圧力Ｐ₁ と同程度まで徐々に低下する。

【００３２】なお、処理水取出用の弁Ｖ₄ としては定流
量バルブを用いるのが好適である。

【００３３】III 濾過工程（第２図）復帰上記調圧工程後、開閉弁Ｖ₂ を開いて濾過工程に移行す
る。

【００３４】

【実施例】以下に実施例及び比較例を挙げて本発明をよ
り具体的に説明する。

【００３５】実施例１第１図に示す装置を用い、第２〜５図のようにして排煙
脱硫排水の処理及び逆洗を行って、逆洗効果を調べた。

【００３６】Ｉ濾過運転まず、ｐＨ６．７，フッ素５０ｍｇ／ｌ，Ｍｎ２．５ｍ
ｇ／ｌ，Ｃａ７１００ｍｇ／ｌ，ＳＳ３６ｍｇ／ｌの排
煙脱硫排水を反応槽に導き、ポリ塩化アルミニウム２０
００ｍｇ／ｌの一定量注入としてＮａＯＨでｐＨ６．６
に制御しつつ凝集処理を行った。排水流量は１５リット
ル／ｈｒとし、反応槽には容量２０リットルのものを用
いた。

【００３７】次に、同一容量の循環槽へ凝集処理液を導
き、ポンプで内径５．５ｍｍのＭＦ膜３本が充填された
膜濾過装置に８．５リットル／分の流量で給液した。給
液圧力は膜濾過装置の入口圧と出口圧との平均値で０．
８６ｋｇ／ｃｍ² であった。

【００３８】II 逆洗運転〜 III 濾過工程復帰前記IIの逆洗運転は、前記〜の手順で、１５分に１
回の頻度で行い、前記の加圧工程における加圧力は
２．０ｋｇ／ｃｍ² （処理水槽内圧力）とし、逆洗工程
の逆洗時間５秒間で行った。の圧力徐放工程において
は、弁Ｖ₄ を徐々に開き、処理水貯槽内の圧力Ｐ₃ を
０．９ｋｇ／ｃｍ² に下げた。処理水室３ｂの圧力Ｐ₂
が０．９ｋｇ／ｃｍ² まで低下した後、前記III の濾過
工程に移行した。

【００３９】この条件で２００時間の連続通水を行い、
透過水量の経時変化を調べ、結果を表１に示した。な
お、透過水量は入口圧−出口圧の差圧を０．５ｋｇ／ｃ
ｍ² 、液温を２５℃に補正して表示した。

【００４０】なお、この実施例及び比較例における圧力
Ｐ₁ ，Ｐ₂ ，Ｐ₃ の変化を第６図に示し、さらにこの第
６図に透過水量の変化を加入したものを第７図に示す。

【００４１】第６図（ａ），第７図（ａ）の通り、逆洗
準備工程では弁Ｖ₅ を大気開放することにより、圧力Ｐ
₃ （及びそれに連動して圧力Ｐ₂ ）が若干低下する。

【００４２】加圧工程において圧力Ｐ₃ が急速に高ま
り、この高い圧力は逆洗工程においても保たれる。

【００４３】逆洗工程においては、圧力Ｐ₂ が圧力Ｐ₃
と連動して高い圧力となっており、この高圧が膜を透過
して伝わることにより圧力Ｐ₁ も濾過時より若干高い圧
力となる。

【００４４】逆洗終了〜濾過再開直前にかけての圧力徐
放工程においては、圧力Ｐ₂ ，Ｐ₃が徐々に低下する。
弁Ｖ₂ を開けて濾過を再開する時点にあっては、Ｐ₁ と
Ｐ₂とがほぼ等圧になっている。

【００４５】この圧力徐放工程において、第７図（ａ）
の通り、処理水室３ｂ内の圧力Ｐ₂が被処理水室３ａ内
の圧力Ｐ₁ に近づくにつれ、逆方向の透過水量が減少
し、Ｐ₂ がＰ₁ にほぼ等しくなった濾過再開時には、透
過水量はゼロとなっている。そして、濾過再開後、圧力
Ｐ₁ ，Ｐ₂ の差が徐々に大きくなるにつれ、透過水量も
徐々に増大し、やがて定常の濾過運転状態となる。

【００４６】この定常状態の透過水量は、表１に示す通
り、本実施例では、長時間にわたって１１〜１０ｍ³ ／
ｍ² ／ｄａｙ程度の安定した値となっている。

【００４７】比較例１実施例１と同一の装置において、逆洗工程終了後、直ち
に濾過運転を行なう運転を比較例として行なった。

【００４８】なお、この比較例では、濾過工程から逆洗
工程に移る際に逆洗準備工程（処理水貯槽４に水を張る
工程）を設けず、その代わりに、濾過再開当初に処理水
貯槽４に処理水を張るようにした。即ち、濾過再開当初
は、前記実施例の第３図の通り弁Ｖ₂ ，Ｖ₅ を開、Ｖ
₄ ，Ｖ₆ を閉とし、処理水貯槽４を満タンとする。次い
で、弁Ｖ₅ を閉、Ｖ₄ を開とし第２図の濾過運転に移
り、その後、第４図の逆洗工程に移るようにした。

【００４９】上述の通り、本比較例では、この逆洗工程
終了後、直ちに濾過運転を行なっている。即ち、逆洗終
了後、直ちに弁Ｖ₂ を開き、処理水室３ｂを処理水貯槽
４と全通させる。これにより、第６図（ｂ）の通り、処
理水室３ｂ内の圧力Ｐ₂ は、処理水貯槽４内の圧力Ｐ₃
と共にほぼ大気圧となり、被処理水室３ａ内の圧力Ｐ₁
と処理水室３ｂ内の圧力Ｐ₂ との間に大きな圧力差が生
じる。逆洗直後の膜面は清浄となっているため、この大
きな圧力差により、第７図（ｂ）の通り、濾過再開直後
に透過水量が著しく増加する。この際、膜面から剥離し
たＳＳが再び膜面に付着するため、透過水量はその後急
速に減少する。

【００５０】表１に示す通り、この比較例では、濾過再
開直後（０．２ｈｒ経過時）の透過水量は９．３ｍ³ ／
ｍ² ／ｄａｙであり、濾過開始時からフラックスは低
い。

【００５１】

【表１】

【００５２】表１より、逆洗後、圧力徐放工程を経て濾
過を再開する本発明の方法によれば、長期にわたり透過
水量を高く維持できることが明らかである。

【００５３】

【発明の効果】以上詳述した通り、本発明の膜濾過装置
の逆洗方法によれば、逆洗後の透過水量を長期にわたり
高く維持させ、連続通水による透過水量の低下をきわめ
て小さくすることができる。このため、薬品洗浄の頻度
を少なくすることができ、処理コストが低減される。そ
の上、薬品洗浄による膜濾過装置の運転停止期間が短縮
され、従って、装置の稼働率が高められ、当該処理設備
の処理能力が向上する。

【００５４】

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の膜濾過装置の逆洗方法の一実施例方法
を説明する排煙脱硫排水の処理装置の系統図である。

【図２】濾過運転中の流れ図である。

【図３】逆洗準備中の流れ図である。

【図４】逆洗工程の流れ図である。

【図５】圧力徐放工程の流れ図である。

【図６】圧力の経時変化図である。

【図７】圧力及び透過水量の経時変化図である。

【符号の説明】

１反応槽２循環槽３膜濾過装置３Ａ濾過膜４処理水貯槽５コンプレッサ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者高土居忠東京都新宿区西新宿３丁目４番７号栗田工業株式会社内 (72)発明者近沢清仁東京都新宿区西新宿３丁目４番７号栗田工業株式会社内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】耐圧容器内が濾過膜で被処理水室と処理
水室とに区画された膜濾過装置を逆洗する方法であっ
て、該被処理水室には給液ポンプを有する給液ラインと排液
ラインとが接続されると共に、処理水室には開閉弁を介
して処理水貯槽が接続され、該処理水貯槽に処理水取出
弁及び処理水加圧手段が設けられている膜濾過装置の逆
洗方法において、前記給液ポンプを作動させたまま、前記開閉弁と処理水取出弁を閉じ、処理水貯槽内を
加圧手段により被処理水室内の圧力より高く加圧した
後、該開閉弁を開き、該処理水貯槽内の処理水を膜濾過
装置の処理水室内に導入し、該処理水を処理水室から被
処理水室へ逆流させて濾過膜を逆洗し、次いで、該開閉弁を閉じ、前記処理水取出弁を逆洗
水貯槽内の圧力が被処理水室内の圧力と同程度になるよ
うに徐々に開いた後、該開閉弁を開いて濾過工程に移行することを特徴とする膜濾過装置の逆洗方法。
【請求項２】耐圧容器内を濾過膜で被処理水室と処理
水室とに区画した膜濾過装置を逆洗する方法において、まず処理水室に逆洗水を被処理水室内の圧よりも高い圧
にて供給して濾過膜を逆洗し、次いで該処理水室内の圧を該被処理水室内とほぼ等しい
圧まで徐々に低下させた後、濾過工程を再開するように
したことを特徴とする膜濾過装置の逆洗方法。