JPH09290366A - 板状体の研削方法及びその装置 - Google Patents
板状体の研削方法及びその装置Info
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- JPH09290366A JPH09290366A JP10544196A JP10544196A JPH09290366A JP H09290366 A JPH09290366 A JP H09290366A JP 10544196 A JP10544196 A JP 10544196A JP 10544196 A JP10544196 A JP 10544196A JP H09290366 A JPH09290366 A JP H09290366A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】ガラス板１６の平坦度精度を向上させることが
できる。 【解決手段】カップ型砥石１２とガラス板１６との回転
動作で変化するカップ型砥石１２とガラス板１６との接
触面積に応じて、切込量（ピエゾ素子２４の変位）を制
御しながらガラス板１６を研削する。切込量を接触面積
に比例させて増減させると、接触面積が変化しても実際
の切込量が一定となる。
できる。 【解決手段】カップ型砥石１２とガラス板１６との回転
動作で変化するカップ型砥石１２とガラス板１６との接
触面積に応じて、切込量（ピエゾ素子２４の変位）を制
御しながらガラス板１６を研削する。切込量を接触面積
に比例させて増減させると、接触面積が変化しても実際
の切込量が一定となる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は板状体の研削方法及
びその装置に係り、特にガラス板等の板状体を研削する
板状体の研削方法及びその装置に関する。
びその装置に係り、特にガラス板等の板状体を研削する
板状体の研削方法及びその装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】図５は、従来のガラス板用研削装置の一
例を示す構造図である。同図に示す研削装置は、砥石
（カップ型砥石）１と回転テーブル２とを有している。
研削対象の矩形状のガラス板３は、回転テーブル２上に
固定されたのち、軸心を中心に回転されている砥石１に
その表面３Ａが押し付けられると共に、回転テーブル２
の回転によって前記表面３Ａが研削される。
例を示す構造図である。同図に示す研削装置は、砥石
（カップ型砥石）１と回転テーブル２とを有している。
研削対象の矩形状のガラス板３は、回転テーブル２上に
固定されたのち、軸心を中心に回転されている砥石１に
その表面３Ａが押し付けられると共に、回転テーブル２
の回転によって前記表面３Ａが研削される。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】図６は、従来の研削装
置で研削されたガラス板表面の形状測定結果を示す図で
ある。同図に示すように、従来の研削装置では、ガラス
板３の表面３Ａが波打ったように研削されてしまうの
で、ガラス板を精度良く平坦に研削することができない
という欠点がある。
置で研削されたガラス板表面の形状測定結果を示す図で
ある。同図に示すように、従来の研削装置では、ガラス
板３の表面３Ａが波打ったように研削されてしまうの
で、ガラス板を精度良く平坦に研削することができない
という欠点がある。
【０００４】この原因は、回転動作中の砥石と板状体と
の接触面積の変化によるものである。図７は、カップ型
砥石１とガラス板３との接触面積が最小となる位置関係
を模式的に示した平面図であり、図８は接触面積が最大
となる位置関係を示した図である。図７において、カッ
プ型砥石１とガラス板３との接触部分（図中斜線で示す
部分）の面積Ａ１は、カップ型砥石１とガラス板３との
相対的な回転角度が０°の時最小となり、そして、図８
に示すように約１５°の時にその面積Ａ２が最大とな
る。図９は、回転角度に対する接触面積の増減を示した
図である。同図に示すように、接触面積のピークは約１
５°の位置と約７５°の位置にあることが分かる。ここ
で、カップ型砥石１２の切込量は、切込量を一定とした
場合、図９に示した接触面積と反比例の関係にある。即
ち、接触面積が小さい部分では、研削抵抗が小さいため
切込量が多くなり、これとは反対に、接触面積が大きい
部分では、研削抵抗が大きいため切込量が小さくなる。
このような現象で板状体が波打って研削される。
の接触面積の変化によるものである。図７は、カップ型
砥石１とガラス板３との接触面積が最小となる位置関係
を模式的に示した平面図であり、図８は接触面積が最大
となる位置関係を示した図である。図７において、カッ
プ型砥石１とガラス板３との接触部分（図中斜線で示す
部分）の面積Ａ１は、カップ型砥石１とガラス板３との
相対的な回転角度が０°の時最小となり、そして、図８
に示すように約１５°の時にその面積Ａ２が最大とな
る。図９は、回転角度に対する接触面積の増減を示した
図である。同図に示すように、接触面積のピークは約１
５°の位置と約７５°の位置にあることが分かる。ここ
で、カップ型砥石１２の切込量は、切込量を一定とした
場合、図９に示した接触面積と反比例の関係にある。即
ち、接触面積が小さい部分では、研削抵抗が小さいため
切込量が多くなり、これとは反対に、接触面積が大きい
部分では、研削抵抗が大きいため切込量が小さくなる。
このような現象で板状体が波打って研削される。
【０００５】本発明は、このような事情に鑑みてなされ
たもので、平坦度精度を向上させることができる板状体
の研削方法及びその装置を提供することを目的とする。
たもので、平坦度精度を向上させることができる板状体
の研削方法及びその装置を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決する為の手段】本発明は、前記目的を達成
するために、砥石と、回転されることによって該砥石と
の接触面積が変化する形状の板状体とを相対的に押し付
けると共に、該砥石と板状体とをそれぞれ回転させて板
状体を研削する板状体の研削方法に於いて、前記回転動
作中の前記板状体と前記砥石との接触面積の変化に応じ
て、砥石の切込量を制御しながら板状体を研削すること
を特徴としている。
するために、砥石と、回転されることによって該砥石と
の接触面積が変化する形状の板状体とを相対的に押し付
けると共に、該砥石と板状体とをそれぞれ回転させて板
状体を研削する板状体の研削方法に於いて、前記回転動
作中の前記板状体と前記砥石との接触面積の変化に応じ
て、砥石の切込量を制御しながら板状体を研削すること
を特徴としている。
【０００７】本発明によれば、回転動作中に変化する板
状体と砥石との接触面積に応じて、駆動手段による切込
量を制御手段で制御しながら板状体を研削する。即ち、
前記切込量を接触面積に比例させて増減させることによ
り、接触面積が変化しても実際の切込量は一定となる。
よって、本発明は、板状体の平坦度精度を向上させるこ
とができる。
状体と砥石との接触面積に応じて、駆動手段による切込
量を制御手段で制御しながら板状体を研削する。即ち、
前記切込量を接触面積に比例させて増減させることによ
り、接触面積が変化しても実際の切込量は一定となる。
よって、本発明は、板状体の平坦度精度を向上させるこ
とができる。
【０００８】
【発明の実施の形態】以下添付図面に従って本発明に係
る板状体の研削方法及びその装置の好ましい実施の形態
について詳説する。図１は、本発明に係る板状体の研削
装置が適用されたガラス板用研削装置の全体構造図であ
る。同図に示す研削装置１０は、カップ型砥石１２と回
転テーブル１４とを備え、回転テーブル１４の上面中央
部に矩形状のガラス板１６が研削面を上方に向けて固定
されている。
る板状体の研削方法及びその装置の好ましい実施の形態
について詳説する。図１は、本発明に係る板状体の研削
装置が適用されたガラス板用研削装置の全体構造図であ
る。同図に示す研削装置１０は、カップ型砥石１２と回
転テーブル１４とを備え、回転テーブル１４の上面中央
部に矩形状のガラス板１６が研削面を上方に向けて固定
されている。
【０００９】前記回転テーブル１４は、台座１８上に設
置されたモータ１９からの駆動力によって軸心１４Ａを
中心に回転駆動される。台座１８の図中左部にはポスト
２０が立設される。このポスト２０の内側面２０Ａに
は、逆Ｌ字状に形成された昇降アーム２２の基部２２Ａ
が直動ベアリング２３を介して上下方向（図中Ｚ方向）
に移動自在に支持される。前記昇降アーム２２は、図示
しない駆動装置からの駆動力によって前記ポスト２０に
沿ってＺ方向に移動される。昇降アーム２２の水平部２
２Ｂには、複数の圧電素子（ピエゾ素子）２４、２４…
が固定され、これらのピエゾ素子２４、２４…に駆動モ
ータ２６が固定されている。前記駆動モータ２６のスピ
ンドル２８に前記カップ型砥石１２が固着され、カップ
型砥石１２は駆動モータ２６からの駆動力によってその
軸心１２Ａを中心に回転駆動される。
置されたモータ１９からの駆動力によって軸心１４Ａを
中心に回転駆動される。台座１８の図中左部にはポスト
２０が立設される。このポスト２０の内側面２０Ａに
は、逆Ｌ字状に形成された昇降アーム２２の基部２２Ａ
が直動ベアリング２３を介して上下方向（図中Ｚ方向）
に移動自在に支持される。前記昇降アーム２２は、図示
しない駆動装置からの駆動力によって前記ポスト２０に
沿ってＺ方向に移動される。昇降アーム２２の水平部２
２Ｂには、複数の圧電素子（ピエゾ素子）２４、２４…
が固定され、これらのピエゾ素子２４、２４…に駆動モ
ータ２６が固定されている。前記駆動モータ２６のスピ
ンドル２８に前記カップ型砥石１２が固着され、カップ
型砥石１２は駆動モータ２６からの駆動力によってその
軸心１２Ａを中心に回転駆動される。
【００１０】前記ピエゾ素子２４は図２に示すように、
カップ型砥石１２の軸心１２Ａを中心に９０°間隔で４
個設置される。これらのピエゾ素子２４、２４…は、電
圧が印加されると上下方向（図中矢印方向）に歪むもの
で、各々が駆動部３０に接続されている。従って、駆動
部３０から電圧が印加されるとピエゾ素子２４、２４…
が前記方向に歪むので、ピエゾ素子２４、２４…以下の
部材を上下動させることができる。これにより、ピエゾ
素子２４、２４…に印加する電圧を制御すれば、ガラス
板１６に対するカップ型砥石１２の切込量を可変するこ
とができる。
カップ型砥石１２の軸心１２Ａを中心に９０°間隔で４
個設置される。これらのピエゾ素子２４、２４…は、電
圧が印加されると上下方向（図中矢印方向）に歪むもの
で、各々が駆動部３０に接続されている。従って、駆動
部３０から電圧が印加されるとピエゾ素子２４、２４…
が前記方向に歪むので、ピエゾ素子２４、２４…以下の
部材を上下動させることができる。これにより、ピエゾ
素子２４、２４…に印加する電圧を制御すれば、ガラス
板１６に対するカップ型砥石１２の切込量を可変するこ
とができる。
【００１１】ところで、前記駆動部３０は制御装置３２
によって制御される。この制御装置３２は、回転角検出
装置３３から出力されるカップ型砥石１２の回転角情報
に基づいて接触面積を算出すると共に、算出した接触面
積に基づいてピエゾ素子２４、２４…に印加する必要な
電圧を演算し、この電圧を各々のピエゾ素子２４、２４
…に印加するように駆動部３０をフィードフォワード制
御する。
によって制御される。この制御装置３２は、回転角検出
装置３３から出力されるカップ型砥石１２の回転角情報
に基づいて接触面積を算出すると共に、算出した接触面
積に基づいてピエゾ素子２４、２４…に印加する必要な
電圧を演算し、この電圧を各々のピエゾ素子２４、２４
…に印加するように駆動部３０をフィードフォワード制
御する。
【００１２】前記回転角検出装置３３から制御装置３２
に出力される情報について、先に示した図７〜図９を参
照しながら説明する。図７は、カップ型砥石１２とガラ
ス板１６との接触面積が最小となる位置関係を示し、図
８は接触面積が最大となる位置関係を示している。ま
た、図９は、回転角度に対する接触面積の増減を示した
図であり、接触面積のピークが約１５°の位置と約７５
°の位置にあることを示している。ここで、カップ型砥
石１２の切込量は、切込量を一定とすると、図９に示し
た接触面積と反比例の関係にある。従って、切込量を接
触面積に比例して増減するように補正すれば、接触面積
の変化に影響されることなく、実際の切込量を一定する
ことが可能となる。
に出力される情報について、先に示した図７〜図９を参
照しながら説明する。図７は、カップ型砥石１２とガラ
ス板１６との接触面積が最小となる位置関係を示し、図
８は接触面積が最大となる位置関係を示している。ま
た、図９は、回転角度に対する接触面積の増減を示した
図であり、接触面積のピークが約１５°の位置と約７５
°の位置にあることを示している。ここで、カップ型砥
石１２の切込量は、切込量を一定とすると、図９に示し
た接触面積と反比例の関係にある。従って、切込量を接
触面積に比例して増減するように補正すれば、接触面積
の変化に影響されることなく、実際の切込量を一定する
ことが可能となる。
【００１３】図３は、回転角度に対するカップ型砥石１
２の切込量正量を示した図であり、この切込補正量を示
す情報が制御装置３２に記憶されている。従って、回転
角検出装置３３から角度情報が出力されると、制御装置
３２は、その情報に基づいて図９に示したピーク位置で
切込量が最大となるように駆動部３０を制御してピエゾ
素子２４、２４…を駆動させる。
２の切込量正量を示した図であり、この切込補正量を示
す情報が制御装置３２に記憶されている。従って、回転
角検出装置３３から角度情報が出力されると、制御装置
３２は、その情報に基づいて図９に示したピーク位置で
切込量が最大となるように駆動部３０を制御してピエゾ
素子２４、２４…を駆動させる。
【００１４】次に、前記の如く構成されたガラス板用研
削装置１０によるガラス板１６の研削方法について説明
する。先ず、カップ型砥石１２を上昇させて回転テーブ
ル１４から退避させたのち、回転テーブル１４上にガラ
ス板１６を固定する。次に、カップ型砥石１２を下降移
動させてカップ型砥石１２を回転させると共に、回転テ
ーブル１４を回転させてガラス板１６の研削を開始す
る。
削装置１０によるガラス板１６の研削方法について説明
する。先ず、カップ型砥石１２を上昇させて回転テーブ
ル１４から退避させたのち、回転テーブル１４上にガラ
ス板１６を固定する。次に、カップ型砥石１２を下降移
動させてカップ型砥石１２を回転させると共に、回転テ
ーブル１４を回転させてガラス板１６の研削を開始す
る。
【００１５】この時のピエゾ素子２４、２４によるカッ
プ型砥石１２の切込量は、カップ型砥石１２とガラス板
１６との接触面積の変化に応じて可変制御されている。
即ち、カップ型砥石１２とガラス板１６との接触面積が
大きくなるに従って、切込量が大きくなるようにピエゾ
素子２４、２４…が駆動され、また、接触面積が小さく
なるに従って、切込量が小さくなるようにピエゾ素子２
４、２４…が駆動される。これにより、カップ型砥石１
２とガラス板１６との接触面積（研削抵抗）が変化して
も、カップ型砥石１２による実際の切込量は一定とな
る。従って、本研削装置１０を用いればガラス板１６の
平坦度精度を向上させることができる。
プ型砥石１２の切込量は、カップ型砥石１２とガラス板
１６との接触面積の変化に応じて可変制御されている。
即ち、カップ型砥石１２とガラス板１６との接触面積が
大きくなるに従って、切込量が大きくなるようにピエゾ
素子２４、２４…が駆動され、また、接触面積が小さく
なるに従って、切込量が小さくなるようにピエゾ素子２
４、２４…が駆動される。これにより、カップ型砥石１
２とガラス板１６との接触面積（研削抵抗）が変化して
も、カップ型砥石１２による実際の切込量は一定とな
る。従って、本研削装置１０を用いればガラス板１６の
平坦度精度を向上させることができる。
【００１６】図４は、本研削装置１０で研削されたガラ
ス板表面の形状を示す図である。同図に示すように、本
研削装置１０を使用すると、ガラス板１６の表面１６Ａ
の切込量が略一定になり、平坦度が向上する。本実施の
形態では、矩形状のガラス板１６について説明したが、
回転動作によって接触面積が変わる形状、例えば、楕円
形、三角形、多角形等の形状であれば、その形状は問わ
ない。
ス板表面の形状を示す図である。同図に示すように、本
研削装置１０を使用すると、ガラス板１６の表面１６Ａ
の切込量が略一定になり、平坦度が向上する。本実施の
形態では、矩形状のガラス板１６について説明したが、
回転動作によって接触面積が変わる形状、例えば、楕円
形、三角形、多角形等の形状であれば、その形状は問わ
ない。
【００１７】本実施の形態では、ガラス板用の研削装置
について説明したが、他の板状体を研削する装置にも適
用できる。本実施の形態では、アクチュエータとしてピ
エゾ素子２４を使用したが、カップ型砥石１２の切込量
を変えられるものであれば、他のアクチュエータを使用
しても良い。また、砥石はカップ型砥石１２に限られる
もではない。
について説明したが、他の板状体を研削する装置にも適
用できる。本実施の形態では、アクチュエータとしてピ
エゾ素子２４を使用したが、カップ型砥石１２の切込量
を変えられるものであれば、他のアクチュエータを使用
しても良い。また、砥石はカップ型砥石１２に限られる
もではない。
【００１８】
【発明の効果】以上説明したように本発明に係る板状体
の研削方法及びその装置によれば、砥石と板状体との接
触面積に比例させて切込量を増減させながら板状体を研
削するようにしたので、板状体の平坦度精度を向上させ
ることができる。
の研削方法及びその装置によれば、砥石と板状体との接
触面積に比例させて切込量を増減させながら板状体を研
削するようにしたので、板状体の平坦度精度を向上させ
ることができる。
【図１】本発明の実施の形態に係る研削装置の全体構造
図
図
【図２】ピエゾ素子の配置位置関係を示す要部斜視図
【図３】回転角度に対する切込量補正量の増減を示す説
明図
明図
【図４】ガラス板表面の形状測定結果を示す説明図
【図５】従来の研削装置の一例を示す構造図
【図６】ガラス板表面の形状を示す説明図
【図７】カップ型砥石とガラス板との接触面積が最小と
なる位置関係を示す模式図
なる位置関係を示す模式図
【図８】カップ型砥石とガラス板との接触面積が最大と
なる位置関係を示す模式図
なる位置関係を示す模式図
【図９】回転角度に対する接触面積の増減を示す説明図
１０…ガラス板用研削装置 １２…カップ型砥石 １４…回転テーブル １６…ガラス板 １８…台座 ２２…昇降アーム ２４…ピエゾ素子 ２６…駆動モータ ３０…駆動部 ３２…制御装置
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 太田 和重 神奈川県横浜市鶴見区末広町１丁目１番地 旭硝子株式会社京浜工場内 (72)発明者 長澤 郁夫 神奈川県横浜市鶴見区末広町１丁目１番地 旭硝子株式会社京浜工場内
Claims (2)
- 【請求項１】砥石と、回転されることによって該砥石と
の接触面積が変化する形状の板状体とを相対的に押し付
けると共に、該砥石と板状体とをそれぞれ回転させて板
状体を研削する板状体の研削方法に於いて、 前記回転動作中の前記板状体と前記砥石との接触面積の
変化に応じて、砥石の切込量を制御しながら板状体を研
削することを特徴とする板状体の研削方法。 - 【請求項２】砥石と、回転されることによって該砥石と
の接触面積が変化する形状の板状体とを相対的に押し付
けると共に、該砥石と板状体とをそれぞれ回転させて板
状体を研削する板状体の研削装置に於いて、 前記板状体又は砥石の回転角度を検出する回転角検出手
段と、前記砥石の切込量を可変する駆動手段と、前記回
転角検出手段で検出された検出情報に基づいて前記回転
動作中の板状体と砥石との接触面積を算出し、該算出し
た接触面積の変化に応じて前記駆動手段による切込量を
制御する制御手段とを設けたことを特徴とする板状体の
研削装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10544196A JPH09290366A (ja) | 1996-04-25 | 1996-04-25 | 板状体の研削方法及びその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10544196A JPH09290366A (ja) | 1996-04-25 | 1996-04-25 | 板状体の研削方法及びその装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09290366A true JPH09290366A (ja) | 1997-11-11 |
Family
ID=14407690
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10544196A Pending JPH09290366A (ja) | 1996-04-25 | 1996-04-25 | 板状体の研削方法及びその装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09290366A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015205358A (ja) * | 2014-04-18 | 2015-11-19 | 株式会社ディスコ | 研削装置 |
| JP2016150421A (ja) * | 2015-02-19 | 2016-08-22 | 株式会社ディスコ | 研削装置 |
| CN107303647A (zh) * | 2016-04-25 | 2017-10-31 | 绵阳市川星锅厂 | 一种自动磨锅机 |
-
1996
- 1996-04-25 JP JP10544196A patent/JPH09290366A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015205358A (ja) * | 2014-04-18 | 2015-11-19 | 株式会社ディスコ | 研削装置 |
| JP2016150421A (ja) * | 2015-02-19 | 2016-08-22 | 株式会社ディスコ | 研削装置 |
| CN107303647A (zh) * | 2016-04-25 | 2017-10-31 | 绵阳市川星锅厂 | 一种自动磨锅机 |
| CN107303647B (zh) * | 2016-04-25 | 2023-08-29 | 绵阳市川星锅厂 | 一种自动磨锅机 |
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