JPH09290357A - 板状体の研削方法及びその装置 - Google Patents
板状体の研削方法及びその装置Info
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- JPH09290357A JPH09290357A JP10544096A JP10544096A JPH09290357A JP H09290357 A JPH09290357 A JP H09290357A JP 10544096 A JP10544096 A JP 10544096A JP 10544096 A JP10544096 A JP 10544096A JP H09290357 A JPH09290357 A JP H09290357A
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- grindstone
- grinding
- plate
- glass plate
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Abstract
(57)【要約】
【課題】ガラス板１６の平坦度精度を向上させることが
できる。 【解決手段】カップ型砥石１２の傾きをレーザ変位計３
２、３２…で直接検出し、レーザ変位計３２、３２…で
得られた検出情報に基づいてカップ型砥石１２の傾きを
ピエゾ素子２４、２４…によって修正させながらガラス
板１６を研削する。
できる。 【解決手段】カップ型砥石１２の傾きをレーザ変位計３
２、３２…で直接検出し、レーザ変位計３２、３２…で
得られた検出情報に基づいてカップ型砥石１２の傾きを
ピエゾ素子２４、２４…によって修正させながらガラス
板１６を研削する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は板状体の研削方法及
びその装置に係り、特にガラス板等の板状体を研削する
板状体の研削方法及びその装置に関する。
びその装置に係り、特にガラス板等の板状体を研削する
板状体の研削方法及びその装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】図６は、従来のガラス板用研削装置の一
例を示す構造図である。同図に示す研削装置は、砥石
（カップ型砥石）１とＸ−Ｙ移動テーブル２とを有して
いる。研削対象のガラス板３は、Ｘ−Ｙ移動テーブル２
上に固定されたのち、軸心を中心に回転されている砥石
１にその表面３Ａが押し付けられ、そして、Ｘ−Ｙ移動
テーブル２の図中矢印で示す移動によって前記表面３Ａ
が研削される。
例を示す構造図である。同図に示す研削装置は、砥石
（カップ型砥石）１とＸ−Ｙ移動テーブル２とを有して
いる。研削対象のガラス板３は、Ｘ−Ｙ移動テーブル２
上に固定されたのち、軸心を中心に回転されている砥石
１にその表面３Ａが押し付けられ、そして、Ｘ−Ｙ移動
テーブル２の図中矢印で示す移動によって前記表面３Ａ
が研削される。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】図７は、従来の研削装
置で研削されたガラス板表面の形状測定結果を示す図で
ある。同図に示すように、従来の研削装置では、ガラス
板３の研削開始部分であるＡ部分と研削終了部分である
Ｂ部分とでダレが発生することが分かる。従って、従来
の装置では、ガラス板を精度良く平坦に研削することが
できないという欠点がある。
置で研削されたガラス板表面の形状測定結果を示す図で
ある。同図に示すように、従来の研削装置では、ガラス
板３の研削開始部分であるＡ部分と研削終了部分である
Ｂ部分とでダレが発生することが分かる。従って、従来
の装置では、ガラス板を精度良く平坦に研削することが
できないという欠点がある。
【０００４】この原因は、カップ型砥石１とガラス板３
との接触面積の変化（研削抵抗の変化）によるものであ
る。即ち図８（Ａ）、（Ｃ）に示すように、研削開始部
分Ａ及び研削終了部分Ｂでは、接触面積が図８（Ｂ）に
示す他の部分Ｃよりも小さいため研削抵抗が小さく、こ
れにより切り込み量が多くなる。これとは反対に、前記
他の部分Ｃでは、接触面積が大きいため研削抵抗が大き
くなり、一方で板状体からの反力も大きくなるので、カ
ップ型砥石１がガラス板３から離れる方向に反ってしま
い切り込み量が小さくなる。このような現象が研削開始
部分Ａ及び研削終了部分Ｂにダレを発生させる原因とな
っている。
との接触面積の変化（研削抵抗の変化）によるものであ
る。即ち図８（Ａ）、（Ｃ）に示すように、研削開始部
分Ａ及び研削終了部分Ｂでは、接触面積が図８（Ｂ）に
示す他の部分Ｃよりも小さいため研削抵抗が小さく、こ
れにより切り込み量が多くなる。これとは反対に、前記
他の部分Ｃでは、接触面積が大きいため研削抵抗が大き
くなり、一方で板状体からの反力も大きくなるので、カ
ップ型砥石１がガラス板３から離れる方向に反ってしま
い切り込み量が小さくなる。このような現象が研削開始
部分Ａ及び研削終了部分Ｂにダレを発生させる原因とな
っている。
【０００５】本発明は、このような事情に鑑みてなされ
たもので、ダレを無くして平坦度精度を向上させること
ができる板状体の研削方法及びその装置を提供すること
を目的とする。
たもので、ダレを無くして平坦度精度を向上させること
ができる板状体の研削方法及びその装置を提供すること
を目的とする。
【０００６】
【課題を解決する為の手段】本発明は、前記目的を達成
するために、砥石と板状体とを相対的に押し付けると共
に、該砥石と板状体とを相対的に移動させて板状体を研
削する板状体の研削方法に於いて、前記砥石の傾きを非
接触検出手段で直接検出し、該非接触検出手段で得られ
た検出情報に基づいて砥石の傾きを修正しながら板状体
を研削することを特徴としている。
するために、砥石と板状体とを相対的に押し付けると共
に、該砥石と板状体とを相対的に移動させて板状体を研
削する板状体の研削方法に於いて、前記砥石の傾きを非
接触検出手段で直接検出し、該非接触検出手段で得られ
た検出情報に基づいて砥石の傾きを修正しながら板状体
を研削することを特徴としている。
【０００７】本発明によれば、砥石の傾きを非接触検出
手段で直接検出し、非接触検出手段で得られた検出情報
に基づいて砥石の傾きを修正しながら板状体を研削す
る。従って、砥石は常に傾きが修正された状態で、即
ち、研削開始の姿勢が維持された状態で板状体を研削す
るので、砥石と板状体との接触面積が変化しても、切り
込み量は一定となる。よって、本発明は、板状体の平坦
度精度を向上させることができる。
手段で直接検出し、非接触検出手段で得られた検出情報
に基づいて砥石の傾きを修正しながら板状体を研削す
る。従って、砥石は常に傾きが修正された状態で、即
ち、研削開始の姿勢が維持された状態で板状体を研削す
るので、砥石と板状体との接触面積が変化しても、切り
込み量は一定となる。よって、本発明は、板状体の平坦
度精度を向上させることができる。
【０００８】また、本発明では、砥石の傾きを非接触検
出手段で直接検出している。砥石の傾きを間接的に検出
すると、温度変化による各装置部材の膨縮量を無視して
砥石の傾きを修正するようになるため、傾き修正を正確
に行うことができないが、本発明では、砥石の傾きを直
接検出しているので、各装置部材が温度変化で膨縮して
も砥石の傾き修正を正確に行うことができる。
出手段で直接検出している。砥石の傾きを間接的に検出
すると、温度変化による各装置部材の膨縮量を無視して
砥石の傾きを修正するようになるため、傾き修正を正確
に行うことができないが、本発明では、砥石の傾きを直
接検出しているので、各装置部材が温度変化で膨縮して
も砥石の傾き修正を正確に行うことができる。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下添付図面に従って本発明に係
る板状体の研削方法及びその装置の好ましい実施の形態
について詳説する。図１は、本発明に係る板状体の研削
装置が適用されたガラス板用研削装置の全体構造図であ
る。同図に示す研削装置１０は、カップ型砥石１２とＸ
−Ｙ移動テーブル１４とを備え、Ｘ−Ｙ移動テーブル１
４の上面にガラス板１６が研削面を上方に向けて固定さ
れている。
る板状体の研削方法及びその装置の好ましい実施の形態
について詳説する。図１は、本発明に係る板状体の研削
装置が適用されたガラス板用研削装置の全体構造図であ
る。同図に示す研削装置１０は、カップ型砥石１２とＸ
−Ｙ移動テーブル１４とを備え、Ｘ−Ｙ移動テーブル１
４の上面にガラス板１６が研削面を上方に向けて固定さ
れている。
【００１０】前記Ｘ−Ｙ移動テーブル１４は、台座１８
の基準面１８Ａ上に水平方向（図中Ｘ方向及びＹ方向）
に移動可能に設置され、図示しない駆動装置からの駆動
力によってＸ方向及びＹ方向に移動される。前記台座１
８の図中左部にはポスト２０が立設される。このポスト
２０の内側面２０Ａには、逆Ｌ字状に形成された昇降ア
ーム２２の基部２２Ａが直動ベアリング２３を介して上
下方向（図中Ｚ方向）に移動自在に支持される。前記昇
降アーム２２は、図示しない駆動装置からの駆動力によ
って前記ポスト２０に沿ってＺ方向に移動される。昇降
アーム２２の水平部２２Ｂには、複数の圧電素子（ピエ
ゾ素子）２４、２４…が固定され、これらのピエゾ素子
２４、２４…に駆動モータ２６が固定されている。前記
駆動モータ２６のスピンドル２８に前記カップ型砥石１
２が固着され、カップ型砥石１２は駆動モータ２６から
の駆動力によってその軸心１２Ａを中心に回転駆動され
る。
の基準面１８Ａ上に水平方向（図中Ｘ方向及びＹ方向）
に移動可能に設置され、図示しない駆動装置からの駆動
力によってＸ方向及びＹ方向に移動される。前記台座１
８の図中左部にはポスト２０が立設される。このポスト
２０の内側面２０Ａには、逆Ｌ字状に形成された昇降ア
ーム２２の基部２２Ａが直動ベアリング２３を介して上
下方向（図中Ｚ方向）に移動自在に支持される。前記昇
降アーム２２は、図示しない駆動装置からの駆動力によ
って前記ポスト２０に沿ってＺ方向に移動される。昇降
アーム２２の水平部２２Ｂには、複数の圧電素子（ピエ
ゾ素子）２４、２４…が固定され、これらのピエゾ素子
２４、２４…に駆動モータ２６が固定されている。前記
駆動モータ２６のスピンドル２８に前記カップ型砥石１
２が固着され、カップ型砥石１２は駆動モータ２６から
の駆動力によってその軸心１２Ａを中心に回転駆動され
る。
【００１１】前記ピエゾ素子２４は図２に示すように、
カップ型砥石１２の軸心１２Ａを中心に９０°間隔で４
個設置される。これらのピエゾ素子２４、２４…は、電
圧が印加されると上下方向（図中矢印方向）に歪むもの
で、各々が駆動部３０に接続されている。従って、駆動
部３０から電圧が印加されるとピエゾ素子２４、２４…
が前記方向に歪むので、ピエゾ素子２４、２４…以下の
部材の傾きを変えることができる。これにより、各々の
ピエゾ素子２４、２４…に印加する電圧を制御すれば、
ガラス板１６に対するカップ型砥石１２の傾きを適宜に
変えることができる。
カップ型砥石１２の軸心１２Ａを中心に９０°間隔で４
個設置される。これらのピエゾ素子２４、２４…は、電
圧が印加されると上下方向（図中矢印方向）に歪むもの
で、各々が駆動部３０に接続されている。従って、駆動
部３０から電圧が印加されるとピエゾ素子２４、２４…
が前記方向に歪むので、ピエゾ素子２４、２４…以下の
部材の傾きを変えることができる。これにより、各々の
ピエゾ素子２４、２４…に印加する電圧を制御すれば、
ガラス板１６に対するカップ型砥石１２の傾きを適宜に
変えることができる。
【００１２】ところで、４台のレーザ変位計３２、３２
…がカップ型砥石１２の裏面１２Ｂから所定量離間して
設置される。これらのレーザ変位計３２、３２…は図１
に示すように、台座１８の基準面１８Ａ上に立設された
略Ｌ字形のフレーム３４に固定される。また、レーザ変
位計３２、３２…は図２に示すように、カップ型砥石１
２の軸心１２Ａを中心に９０°間隔で配置されると共
に、前記ピエゾ素子２４、２４…と対応した位置に配置
されている。前記レーザ変位計３２、３２…は、各々の
レーザ変位計３２、３２…と、それに対向するカップ型
砥石１２の裏面１２Ｂとの間の距離、即ちカップ型砥石
１２の傾きを非接触で直接検出するものであり、各々の
検出情報は増幅部３５で増幅されて制御装置３６に出力
される。
…がカップ型砥石１２の裏面１２Ｂから所定量離間して
設置される。これらのレーザ変位計３２、３２…は図１
に示すように、台座１８の基準面１８Ａ上に立設された
略Ｌ字形のフレーム３４に固定される。また、レーザ変
位計３２、３２…は図２に示すように、カップ型砥石１
２の軸心１２Ａを中心に９０°間隔で配置されると共
に、前記ピエゾ素子２４、２４…と対応した位置に配置
されている。前記レーザ変位計３２、３２…は、各々の
レーザ変位計３２、３２…と、それに対向するカップ型
砥石１２の裏面１２Ｂとの間の距離、即ちカップ型砥石
１２の傾きを非接触で直接検出するものであり、各々の
検出情報は増幅部３５で増幅されて制御装置３６に出力
される。
【００１３】前記制御装置３６は、レーザ変位計３２、
３２…からの検出情報に基づいて、各々のレーザ変位計
３２、３２…と、それに対向するカップ型砥石１２の裏
面１２Ｂとの間の距離を演算する。そして、制御装置３
６は、前記演算して得られた４つの距離が等しくなるよ
うに前記駆動部３０を制御して前記ピエゾ素子２４、２
４…を駆動させる。即ち、制御装置３６は、ピエゾ素子
２４、２４…に印加する必要な電圧を演算し、この電圧
を各々のピエゾ素子２４、２４…に印加するように駆動
部３０をフィードバック制御する。
３２…からの検出情報に基づいて、各々のレーザ変位計
３２、３２…と、それに対向するカップ型砥石１２の裏
面１２Ｂとの間の距離を演算する。そして、制御装置３
６は、前記演算して得られた４つの距離が等しくなるよ
うに前記駆動部３０を制御して前記ピエゾ素子２４、２
４…を駆動させる。即ち、制御装置３６は、ピエゾ素子
２４、２４…に印加する必要な電圧を演算し、この電圧
を各々のピエゾ素子２４、２４…に印加するように駆動
部３０をフィードバック制御する。
【００１４】次に、前記の如く構成されたガラス板用研
削装置１０によるガラス板１６の研削方法について説明
する。先ず、Ｘ−Ｙ移動テーブル１４をカップ型砥石１
２の下方から退避させて、Ｘ−Ｙ移動テーブル１４上に
ガラス板１６を固定する。次に、昇降アーム２２を下降
移動させてカップ型砥石１２によるガラス板１６の切り
込み量を設定する。次いで、カップ型砥石１２を回転さ
せると共に、Ｘ−Ｙ移動テーブル１４をカップ型砥石１
２に向けて移動させてガラス板１６の研削を開始する。
削装置１０によるガラス板１６の研削方法について説明
する。先ず、Ｘ−Ｙ移動テーブル１４をカップ型砥石１
２の下方から退避させて、Ｘ−Ｙ移動テーブル１４上に
ガラス板１６を固定する。次に、昇降アーム２２を下降
移動させてカップ型砥石１２によるガラス板１６の切り
込み量を設定する。次いで、カップ型砥石１２を回転さ
せると共に、Ｘ−Ｙ移動テーブル１４をカップ型砥石１
２に向けて移動させてガラス板１６の研削を開始する。
【００１５】この時のカップ型砥石１２の傾きは、レー
ザ変位計３２、３２…で常時検出されており、検出情報
も制御装置３６に常時出力されている。そして、制御装
置３６は、レーザ変位計３２、３２…からの検出情報に
基づいてカップ型砥石１２の傾きが、研削開始の姿勢を
維持するように（傾斜角度が０°となるように）駆動部
３０をフィードバック制御してピエゾ素子２４、２４…
を駆動させる。
ザ変位計３２、３２…で常時検出されており、検出情報
も制御装置３６に常時出力されている。そして、制御装
置３６は、レーザ変位計３２、３２…からの検出情報に
基づいてカップ型砥石１２の傾きが、研削開始の姿勢を
維持するように（傾斜角度が０°となるように）駆動部
３０をフィードバック制御してピエゾ素子２４、２４…
を駆動させる。
【００１６】ガラス板１６の研削動作を図８で説明する
と、図８（Ａ）〜（Ｂ）に至るまでは、カップ型砥石１
２とガラス板１６との接触面積が大きくなるため研削抵
抗が大きくなり、カップ型砥石１２はガラス板１６から
離れる方向に反ろうとする。しかし、カップ型砥石１２
の傾きはレーザ変位計３２、３２…で常時検出されてい
るため、カップ型砥石１２が傾こうとすると、即ち、カ
ップ型砥石１２が反ろうとすると、それを相殺するよう
にピエゾ素子２４、２４…が駆動されて反りを阻止す
る。これにより、カップ型砥石１２は図８（Ａ）に示す
研削開始の姿勢が維持された状態でガラス板１６を研削
する。
と、図８（Ａ）〜（Ｂ）に至るまでは、カップ型砥石１
２とガラス板１６との接触面積が大きくなるため研削抵
抗が大きくなり、カップ型砥石１２はガラス板１６から
離れる方向に反ろうとする。しかし、カップ型砥石１２
の傾きはレーザ変位計３２、３２…で常時検出されてい
るため、カップ型砥石１２が傾こうとすると、即ち、カ
ップ型砥石１２が反ろうとすると、それを相殺するよう
にピエゾ素子２４、２４…が駆動されて反りを阻止す
る。これにより、カップ型砥石１２は図８（Ａ）に示す
研削開始の姿勢が維持された状態でガラス板１６を研削
する。
【００１７】次に、図８（Ｂ）〜（Ｃ）に至るまでは、
カップ型砥石１２とガラス板１６との接触面積が徐々に
小さくなり研削抵抗も小さくなるが、この時も同様に、
ピエゾ素子２４、２４…が駆動されてカップ型砥石１２
の姿勢を維持する。これにより、カップ型砥石１２は、
常に研削開始の姿勢が維持された状態でガラス板１６全
体を研削するので、カップ型砥石１２とガラス板１６と
の接触面積が変化しても、また、研削抵抗が変化しても
切り込み量は一定となる。よって、本研削装置１０を用
いれば、ダレが発生せずガラス板１６の平坦度精度が向
上する。
カップ型砥石１２とガラス板１６との接触面積が徐々に
小さくなり研削抵抗も小さくなるが、この時も同様に、
ピエゾ素子２４、２４…が駆動されてカップ型砥石１２
の姿勢を維持する。これにより、カップ型砥石１２は、
常に研削開始の姿勢が維持された状態でガラス板１６全
体を研削するので、カップ型砥石１２とガラス板１６と
の接触面積が変化しても、また、研削抵抗が変化しても
切り込み量は一定となる。よって、本研削装置１０を用
いれば、ダレが発生せずガラス板１６の平坦度精度が向
上する。
【００１８】また、本研削装置１０では、カップ型砥石
１２の傾きを非接触のレーザ変位計３２、３２…で直接
検出している。カップ型砥石１２の傾きを間接的に検出
すると、温度変化による各装置部材（例えば、昇降アー
ム２２）の膨縮量を無視してカップ型砥石１２の傾きを
修正するようになるため、傾き修正を正確に行うことが
できない。しかし、本研削装置１０では、カップ型砥石
１２の傾きを直接検出しているので、各装置部材が温度
変化で膨縮してもカップ型砥石１２の傾き修正を正確に
行うことができる。
１２の傾きを非接触のレーザ変位計３２、３２…で直接
検出している。カップ型砥石１２の傾きを間接的に検出
すると、温度変化による各装置部材（例えば、昇降アー
ム２２）の膨縮量を無視してカップ型砥石１２の傾きを
修正するようになるため、傾き修正を正確に行うことが
できない。しかし、本研削装置１０では、カップ型砥石
１２の傾きを直接検出しているので、各装置部材が温度
変化で膨縮してもカップ型砥石１２の傾き修正を正確に
行うことができる。
【００１９】図３は、本研削装置１０で研削されたガラ
ス板表面の形状を示す図である。同図に示すように、本
研削装置１０を使用すると、研削開始位置から研削終了
位置までの切り込み量が略一定になり、ガラス板１６の
平坦度精度が向上する。図４は、ガラス板用研削装置の
第２の実施の形態を示す全体構造図であり、図１、図２
に示した研削装置１０と同一若しくは類似の部材につい
ては同一の符号を付してその説明は省略する。
ス板表面の形状を示す図である。同図に示すように、本
研削装置１０を使用すると、研削開始位置から研削終了
位置までの切り込み量が略一定になり、ガラス板１６の
平坦度精度が向上する。図４は、ガラス板用研削装置の
第２の実施の形態を示す全体構造図であり、図１、図２
に示した研削装置１０と同一若しくは類似の部材につい
ては同一の符号を付してその説明は省略する。
【００２０】図４に示す研削装置４０は、昇降アーム２
２の基部２２Ａからアーム４２を水平方向に延設し、こ
のアーム４２にレーザ変位計３２、３２…を固定したも
のである。また、台座１８の基準面１８Ａと昇降アーム
２２との間にリニアスケール４４を取り付け、温度変化
による昇降アーム２２の膨縮量を前記リニアスケール４
４で検出している。この検出した膨縮量を、レーザ変位
計３２、３２…で得られたカップ型砥石１２の変化量か
ら減算することにより、カップ型砥石１２の実際の傾き
量が演算されてピエゾ素子２４、２４…がフィードバッ
ク制御される。本研削装置４０は、略Ｌ字形のフレーム
３４（図１参照）を設置するスペースのない装置に有効
である。
２の基部２２Ａからアーム４２を水平方向に延設し、こ
のアーム４２にレーザ変位計３２、３２…を固定したも
のである。また、台座１８の基準面１８Ａと昇降アーム
２２との間にリニアスケール４４を取り付け、温度変化
による昇降アーム２２の膨縮量を前記リニアスケール４
４で検出している。この検出した膨縮量を、レーザ変位
計３２、３２…で得られたカップ型砥石１２の変化量か
ら減算することにより、カップ型砥石１２の実際の傾き
量が演算されてピエゾ素子２４、２４…がフィードバッ
ク制御される。本研削装置４０は、略Ｌ字形のフレーム
３４（図１参照）を設置するスペースのない装置に有効
である。
【００２１】図５にカップ型砥石の変形例を示す。同図
に示すカップ型砥石１３は、裏面のコーナー部１３Ａを
４５°に面取り加工したものである。このコーナ部１３
Ａに対向してレーザ変位計３２、３２…をカップ型砥石
１３から離間して設けると、カップ型砥石１３の図中二
点鎖線で示す上昇時に、カップ型砥石１３がレーザ変位
計３２、３２…と干渉するのを防止できる。
に示すカップ型砥石１３は、裏面のコーナー部１３Ａを
４５°に面取り加工したものである。このコーナ部１３
Ａに対向してレーザ変位計３２、３２…をカップ型砥石
１３から離間して設けると、カップ型砥石１３の図中二
点鎖線で示す上昇時に、カップ型砥石１３がレーザ変位
計３２、３２…と干渉するのを防止できる。
【００２２】本実施の形態では、非接触検出手段として
レーザ変位計３２を適用したが、これに限られるもので
はなく、渦電流センサ等の非接触センサを用いても良
い。また、本実施の形態では、ワークテーブルとしてＸ
−Ｙ移動テーブル１４を使用したが、回転テーブルを使
用してガラス板を回転させながら研削するようにしても
良い。
レーザ変位計３２を適用したが、これに限られるもので
はなく、渦電流センサ等の非接触センサを用いても良
い。また、本実施の形態では、ワークテーブルとしてＸ
−Ｙ移動テーブル１４を使用したが、回転テーブルを使
用してガラス板を回転させながら研削するようにしても
良い。
【００２３】更に、本実施の形態では、ガラス板用の研
削装置について説明したが、他の板状体を研削する装置
にも適用できる。本実施の形態では、アクチュエータと
してピエゾ素子２４を使用したが、カップ型砥石１２の
傾きを変えられるものであれば、他のアクチュエータを
使用しても良い。また、ピエゾ素子２４、及びレーザ変
位計３２の台数も４台に限られるものではなく、砥石も
カップ型砥石１２に限られるもではない。
削装置について説明したが、他の板状体を研削する装置
にも適用できる。本実施の形態では、アクチュエータと
してピエゾ素子２４を使用したが、カップ型砥石１２の
傾きを変えられるものであれば、他のアクチュエータを
使用しても良い。また、ピエゾ素子２４、及びレーザ変
位計３２の台数も４台に限られるものではなく、砥石も
カップ型砥石１２に限られるもではない。
【００２４】
【発明の効果】以上説明したように本発明に係る板状体
の研削方法及びその装置によれば、砥石の傾きを非接触
検出手段で直接検出し、非接触検出手段で得られた検出
情報に基づいて砥石の傾きを修正しながら板状体を研削
するようにしたので、板状体の平坦度精度を向上させる
ことができる。
の研削方法及びその装置によれば、砥石の傾きを非接触
検出手段で直接検出し、非接触検出手段で得られた検出
情報に基づいて砥石の傾きを修正しながら板状体を研削
するようにしたので、板状体の平坦度精度を向上させる
ことができる。
【００２５】また、本発明によれば、砥石の傾きを非接
触検出手段で直接検出したので、各装置部材が温度変化
で膨縮しても砥石の傾き修正を正確に行うことができ
る。
触検出手段で直接検出したので、各装置部材が温度変化
で膨縮しても砥石の傾き修正を正確に行うことができ
る。
【図１】本発明の第１の実施の形態に係る研削装置の全
体構造図
体構造図
【図２】ピエゾ素子とレーザ変位計との配置位置関係を
示す要部斜視図
示す要部斜視図
【図３】ガラス板表面の形状測定結果を示す説明図
【図４】本発明の第２の実施の形態に係る研削装置の全
体構造図
体構造図
【図５】カップ型砥石の変形例を示す要部説明図
【図６】従来の研削装置の一例を示す構造図
【図７】ガラス板表面の形状を示す説明図
【図８】カップ型砥石によるガラス板の研削動作を説明
する模式図
する模式図
１０、４０…ガラス板用研削装置 １２、１３…カップ型砥石 １４…Ｘ−Ｙ移動テーブル １６…ガラス板 ２２…昇降アーム ２４…ピエゾ素子 ２６…駆動モータ ３０…駆動部 ３２…レーザ変位計 ３６…制御装置
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 太田 和重 神奈川県横浜市鶴見区末広町１丁目１番地 旭硝子株式会社京浜工場内 (72)発明者 長澤 郁夫 神奈川県横浜市鶴見区末広町１丁目１番地 旭硝子株式会社京浜工場内
Claims (2)
- 【請求項１】砥石と板状体とを相対的に押し付けると共
に、該砥石と板状体とを相対的に移動させて板状体を研
削する板状体の研削方法に於いて、 前記砥石の傾きを非接触検出手段で直接検出し、該非接
触検出手段で得られた検出情報に基づいて砥石の傾きを
修正しながら板状体を研削することを特徴とする板状体
の研削方法。 - 【請求項２】砥石と板状体とを相対的に押し付けると共
に、該砥石と板状体とを相対的に移動させて板状体を研
削する板状体の研削装置に於いて、 前記砥石の傾きを非接触で直接検出する非接触検出手段
と、前記砥石の傾きを修正する駆動手段と、該非接触検
出手段で得られた検出情報に基づいて前記駆動手段によ
り砥石の傾きを修正させる制御手段とを設けたことを特
徴とする板状体の研削装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10544096A JPH09290357A (ja) | 1996-04-25 | 1996-04-25 | 板状体の研削方法及びその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10544096A JPH09290357A (ja) | 1996-04-25 | 1996-04-25 | 板状体の研削方法及びその装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09290357A true JPH09290357A (ja) | 1997-11-11 |
Family
ID=14407662
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10544096A Pending JPH09290357A (ja) | 1996-04-25 | 1996-04-25 | 板状体の研削方法及びその装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09290357A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015223666A (ja) * | 2014-05-28 | 2015-12-14 | 株式会社ディスコ | 研削装置及び矩形基板の研削方法 |
| JP2015223667A (ja) * | 2014-05-28 | 2015-12-14 | 株式会社ディスコ | 研削装置及び矩形基板の研削方法 |
| JP2016007664A (ja) * | 2014-06-24 | 2016-01-18 | 株式会社Sumco | 研削装置および研削方法 |
| JP2016155204A (ja) * | 2015-02-26 | 2016-09-01 | 株式会社東京精密 | 研削加工装置 |
-
1996
- 1996-04-25 JP JP10544096A patent/JPH09290357A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015223666A (ja) * | 2014-05-28 | 2015-12-14 | 株式会社ディスコ | 研削装置及び矩形基板の研削方法 |
| JP2015223667A (ja) * | 2014-05-28 | 2015-12-14 | 株式会社ディスコ | 研削装置及び矩形基板の研削方法 |
| CN105280488A (zh) * | 2014-05-28 | 2016-01-27 | 株式会社迪思科 | 磨削装置以及矩形基板的磨削方法 |
| JP2016007664A (ja) * | 2014-06-24 | 2016-01-18 | 株式会社Sumco | 研削装置および研削方法 |
| US10286520B2 (en) | 2014-06-24 | 2019-05-14 | Sumco Corporation | Grinding apparatus and grinding method |
| JP2016155204A (ja) * | 2015-02-26 | 2016-09-01 | 株式会社東京精密 | 研削加工装置 |
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