JP2001330689A - 基準テーブルの傾斜角設定機構 - Google Patents
基準テーブルの傾斜角設定機構Info
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- B23Q17/00—Arrangements for observing, indicating or measuring on machine tools
- B23Q17/22—Arrangements for observing, indicating or measuring on machine tools for indicating or measuring existing or desired position of tool or work
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Details Of Measuring And Other Instruments (AREA)
- Machine Tool Units (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 機構の簡素化、剛性の向上および製造価格の
低減化を図った基準テーブルの傾斜角設定機構を提案す
ること。 【解決手段】 基準テーブルの傾斜角設定機構１では、
基準テーブル５が、板ばね４によって支持され、偏芯カ
ム式の仰角駆動機７および旋回角駆動機８によって、そ
の傾斜角が調整される。基準テーブル５の傾斜角は旋回
角センサ１０および仰角センサ９によって検出され、こ
れらの検出結果に基づき、目標とする傾斜角となるよう
に各駆動機７、８がフィードバック制御される。
低減化を図った基準テーブルの傾斜角設定機構を提案す
ること。 【解決手段】 基準テーブルの傾斜角設定機構１では、
基準テーブル５が、板ばね４によって支持され、偏芯カ
ム式の仰角駆動機７および旋回角駆動機８によって、そ
の傾斜角が調整される。基準テーブル５の傾斜角は旋回
角センサ１０および仰角センサ９によって検出され、こ
れらの検出結果に基づき、目標とする傾斜角となるよう
に各駆動機７、８がフィードバック制御される。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、基準となるテーブ
ルを所定の傾斜角度に設定するための基準テーブルの傾
斜角設定機構に関し、更に詳しくは、機構の簡素化、剛
性の向上およびコストの低減化を図った基準テーブルの
傾斜角設定機構に関するものである。
ルを所定の傾斜角度に設定するための基準テーブルの傾
斜角設定機構に関し、更に詳しくは、機構の簡素化、剛
性の向上およびコストの低減化を図った基準テーブルの
傾斜角設定機構に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】基準となるテーブル（基準テーブル）を
所定の傾斜角度に設定するために、従来においては水準
器を見ながら基準テーブルの傾斜角度を手で調整してい
る。また、自動的に基準テーブルの傾斜角度を設定する
機構も知られており、この機構は、一般に、基準テーブ
ルに取り付けられた傾斜センサ（１次元あるいは２次元
センサ）をフィードバック・センサとし、この検出出力
と角度設定入力との差をサーボ入力とする制御機構から
構成されており、基準テーブルを駆動するための駆動用
サーボアクチュエータとしては直動式アクチュエータが
利用されている。
所定の傾斜角度に設定するために、従来においては水準
器を見ながら基準テーブルの傾斜角度を手で調整してい
る。また、自動的に基準テーブルの傾斜角度を設定する
機構も知られており、この機構は、一般に、基準テーブ
ルに取り付けられた傾斜センサ（１次元あるいは２次元
センサ）をフィードバック・センサとし、この検出出力
と角度設定入力との差をサーボ入力とする制御機構から
構成されており、基準テーブルを駆動するための駆動用
サーボアクチュエータとしては直動式アクチュエータが
利用されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、テー
ブル機構を単一の基準テーブルによって構成することに
より、従来の基準テーブルの傾斜角設定機構に比べて、
機構が簡素化され、その剛性が高く、しかも廉価に製造
可能な基準テーブルの傾斜角設定機構を提案することに
ある。
ブル機構を単一の基準テーブルによって構成することに
より、従来の基準テーブルの傾斜角設定機構に比べて、
機構が簡素化され、その剛性が高く、しかも廉価に製造
可能な基準テーブルの傾斜角設定機構を提案することに
ある。
【０００４】また、本発明の課題は、基準テーブルの傾
斜角を調整するための駆動用サーボ・アクチュエータと
して直動式アクチュエータの代わりに偏芯カム式駆動機
構を採用することにより、基準テーブル駆動機構部分
を、トルク増幅度を高めると共に、構造が簡単で廉価に
製造可能にした基準テーブルの傾斜角設定機構を提案す
ることにある。
斜角を調整するための駆動用サーボ・アクチュエータと
して直動式アクチュエータの代わりに偏芯カム式駆動機
構を採用することにより、基準テーブル駆動機構部分
を、トルク増幅度を高めると共に、構造が簡単で廉価に
製造可能にした基準テーブルの傾斜角設定機構を提案す
ることにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めに、本発明の基準テーブルの傾斜角設定機構は、基準
テーブルの傾斜角を調整するための第１および第２の偏
芯カム式駆動機構と、前記基準テーブルを支持している
ばね機構とを有している。
めに、本発明の基準テーブルの傾斜角設定機構は、基準
テーブルの傾斜角を調整するための第１および第２の偏
芯カム式駆動機構と、前記基準テーブルを支持している
ばね機構とを有している。
【０００６】また、前記第１の偏芯カム式駆動機構は偏
芯回転する第１の円盤状カムを備え、この第１の円盤状
カムが前記基準テーブルに接触している接触点は、当該
円盤状カムの偏芯回転に伴って基準テーブル面に対して
上下方向に移動するように設定されている。同様に、前
記第２の偏芯カム式駆動機構も偏芯回転する第２の円盤
状カムを備え、この第２の円盤状カムが前記基準テーブ
ルに接触している接触点は、前記第１の接触点とは異な
る位置であると共に当該円盤状カムの偏芯回転に伴って
基準テーブル面に対して上下方向に移動するように設定
されている。
芯回転する第１の円盤状カムを備え、この第１の円盤状
カムが前記基準テーブルに接触している接触点は、当該
円盤状カムの偏芯回転に伴って基準テーブル面に対して
上下方向に移動するように設定されている。同様に、前
記第２の偏芯カム式駆動機構も偏芯回転する第２の円盤
状カムを備え、この第２の円盤状カムが前記基準テーブ
ルに接触している接触点は、前記第１の接触点とは異な
る位置であると共に当該円盤状カムの偏芯回転に伴って
基準テーブル面に対して上下方向に移動するように設定
されている。
【０００７】さらに、前記ばね機構による前記基準テー
ブルの支持点は、前記のそれぞれの接触点とは異なる位
置に設定されていることを特徴としている。
ブルの支持点は、前記のそれぞれの接触点とは異なる位
置に設定されていることを特徴としている。
【０００８】ここで、前記ばね機構は、前記基準テーブ
ルを、前記第１の円盤状カムおよび前記第２の円盤状カ
ムに対して、それぞれ所定の弾性力で押し付けているこ
とが望ましい。このようにすれば、第１および第２の偏
芯カム式駆動機構にはプリロードが作用するので、それ
らのバックラッシが除去され、精度の高い傾斜角調整を
行なうことができる。
ルを、前記第１の円盤状カムおよび前記第２の円盤状カ
ムに対して、それぞれ所定の弾性力で押し付けているこ
とが望ましい。このようにすれば、第１および第２の偏
芯カム式駆動機構にはプリロードが作用するので、それ
らのバックラッシが除去され、精度の高い傾斜角調整を
行なうことができる。
【０００９】本発明による典型的な基準テーブルの傾斜
角設定機構は、前記基準テーブル面の第１の方向におけ
る傾斜角を検出する第１の角度センサと、前記基準テー
ブル面の第１の方向とは異なる方向における傾斜角を検
出する第２の角度センサとを有している。さらに、前記
第１および第２の角度センサの検出結果に基づき、前記
基準テーブル面が目標とする傾斜角度になるように前記
第１および第２の偏芯カム式駆動機構を駆動制御する制
御駆動手段を有した構成とされる。
角設定機構は、前記基準テーブル面の第１の方向におけ
る傾斜角を検出する第１の角度センサと、前記基準テー
ブル面の第１の方向とは異なる方向における傾斜角を検
出する第２の角度センサとを有している。さらに、前記
第１および第２の角度センサの検出結果に基づき、前記
基準テーブル面が目標とする傾斜角度になるように前記
第１および第２の偏芯カム式駆動機構を駆動制御する制
御駆動手段を有した構成とされる。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下に、図面を参照して、本発明
を適用した基準テーブルの傾斜角設定機構の実施例を説
明する。
を適用した基準テーブルの傾斜角設定機構の実施例を説
明する。
【００１１】図１（ａ）、（ｂ）は本発明の実施例に係
る基準テーブルの傾斜角設定機構を示す平面構成図およ
び側面構成図である。これらの図を参照して説明する
と、本例の基準テーブルの傾斜角設定機構１は升状のベ
ース台２を備え、このベース台２の垂直な側板部分３に
おける内側の側面上端部分には、一定幅の板ばね４が水
平に取り付けられている。この板ばね４の先端に基準テ
ーブル５が水平に支持されている。
る基準テーブルの傾斜角設定機構を示す平面構成図およ
び側面構成図である。これらの図を参照して説明する
と、本例の基準テーブルの傾斜角設定機構１は升状のベ
ース台２を備え、このベース台２の垂直な側板部分３に
おける内側の側面上端部分には、一定幅の板ばね４が水
平に取り付けられている。この板ばね４の先端に基準テ
ーブル５が水平に支持されている。
【００１２】基準テーブル５は本例では正方形の板であ
り、その表面が基準テーブル面５ａとされている。この
基準テーブルの裏面側には、ベース台底板部分６に支持
された仰角駆動機７（第１の偏芯カム式駆動機構）およ
び旋回角駆動機８（第２の偏芯カム式駆動機構）が位置
している。また、基準テーブル５における第１の方向Ｙ
の傾斜角である仰角を検出するための仰角センサ９（第
１の傾斜角センサ）および、直交する第２の方向Ｘの傾
斜角である旋回角を検出するための旋回角センサ１０
（第２の傾斜角センサ）が配置されている。
り、その表面が基準テーブル面５ａとされている。この
基準テーブルの裏面側には、ベース台底板部分６に支持
された仰角駆動機７（第１の偏芯カム式駆動機構）およ
び旋回角駆動機８（第２の偏芯カム式駆動機構）が位置
している。また、基準テーブル５における第１の方向Ｙ
の傾斜角である仰角を検出するための仰角センサ９（第
１の傾斜角センサ）および、直交する第２の方向Ｘの傾
斜角である旋回角を検出するための旋回角センサ１０
（第２の傾斜角センサ）が配置されている。
【００１３】仰角駆動機７は、サーボモータ７１と、こ
の出力軸に対して偏芯状態で取り付けた第１の円盤状カ
ム７２を備えている。同様に、旋回角駆動機８も、サー
ボモータ８１と、この出力軸に対して偏芯状態で取り付
けた第２の円盤状カム８２を備えている。また、これら
第１および第２の円盤状カム７２、８２は基準テーブル
５の裏面にそれぞれ常に接触している。
の出力軸に対して偏芯状態で取り付けた第１の円盤状カ
ム７２を備えている。同様に、旋回角駆動機８も、サー
ボモータ８１と、この出力軸に対して偏芯状態で取り付
けた第２の円盤状カム８２を備えている。また、これら
第１および第２の円盤状カム７２、８２は基準テーブル
５の裏面にそれぞれ常に接触している。
【００１４】図２には、これら円盤状カムからなる偏芯
カム機構における基準テーブル裏面に対する接触点の軌
跡を示すグラフである。このグラフに示すように、円盤
状カムの偏芯量をｄとすると、接触点軌跡は振幅が２ｄ
の正弦波状となる。従って、基準テーブル５における各
円盤状カム７２、８２に接触している部分は２ｄの振幅
で上下することになる。なお、実際に使用される範囲は
ほぼ直線に近い部分Ａである。この部分Ａは実際には直
線ではないが、後述のように、センサ９、１０の検出出
力に基づきフィードバック制御が行われるので、この偏
芯カム機構の直線性は傾斜角調整精度には影響しない。
カム機構における基準テーブル裏面に対する接触点の軌
跡を示すグラフである。このグラフに示すように、円盤
状カムの偏芯量をｄとすると、接触点軌跡は振幅が２ｄ
の正弦波状となる。従って、基準テーブル５における各
円盤状カム７２、８２に接触している部分は２ｄの振幅
で上下することになる。なお、実際に使用される範囲は
ほぼ直線に近い部分Ａである。この部分Ａは実際には直
線ではないが、後述のように、センサ９、１０の検出出
力に基づきフィードバック制御が行われるので、この偏
芯カム機構の直線性は傾斜角調整精度には影響しない。
【００１５】ここで、再び図１（ａ）を参照して、各円
盤状カム７２、８２、板ばね４、およびセンサ９、１０
の位置関係を説明する。この図に示すように、板ばね４
は、基準テーブル５の側面５１における第１の方向Ｙの
中央部分に取り付けられている。仰角駆動機７の円盤状
カム７２は、第２の方向Ｘに並行な回転中心線を備え、
基準テーブル５の側面５２における第２の方向Ｘの中央
において基準テーブル裏面に接触している。旋回角駆動
機８の円盤状カム８２は、第１の方向Ｙに並行な回転中
心線を備え、基準テーブル５の側面５３における第１の
方向Ｙの中央において基準テーブル裏面に接触してい
る。センサ９、１０は、板ばね４の中心と円盤状カム８
２の接触点を結ぶ直線上に位置しており、仰角センサ９
が基準テーブル５の中心に位置し、この仰角センサ１０
と板ばね４の間に旋回角センサ１０が位置している。
盤状カム７２、８２、板ばね４、およびセンサ９、１０
の位置関係を説明する。この図に示すように、板ばね４
は、基準テーブル５の側面５１における第１の方向Ｙの
中央部分に取り付けられている。仰角駆動機７の円盤状
カム７２は、第２の方向Ｘに並行な回転中心線を備え、
基準テーブル５の側面５２における第２の方向Ｘの中央
において基準テーブル裏面に接触している。旋回角駆動
機８の円盤状カム８２は、第１の方向Ｙに並行な回転中
心線を備え、基準テーブル５の側面５３における第１の
方向Ｙの中央において基準テーブル裏面に接触してい
る。センサ９、１０は、板ばね４の中心と円盤状カム８
２の接触点を結ぶ直線上に位置しており、仰角センサ９
が基準テーブル５の中心に位置し、この仰角センサ１０
と板ばね４の間に旋回角センサ１０が位置している。
【００１６】次に、図３は、本例の基準テーブルの傾斜
角設定機構１のサーボ制御系を示す概略ブロック図であ
る。サーボ制御系１００は、旋回角駆動機８のサーボモ
ータ８１を駆動する旋回角ドライバ１０１と、仰角駆動
機７のサーボモータ７１を駆動する仰角ドライバ１０２
を備えている。旋回角ドライバ１０１は、基準テーブル
５の傾斜角を指定入力する設定器１０３からコントロー
ラ１０４を介して供給される角度指令と、旋回角センサ
１０の検出出力とに基づき、設定された旋回角となるよ
うにサーボモータ８１を駆動する。同様に、仰角ドライ
バ１０２は、設定器１０３からコントローラ１０４を介
して供給される角度指令と、仰角センサ９の検出出力と
に基づき、設定された仰角となるようにサーボモータ７
１を駆動する。
角設定機構１のサーボ制御系を示す概略ブロック図であ
る。サーボ制御系１００は、旋回角駆動機８のサーボモ
ータ８１を駆動する旋回角ドライバ１０１と、仰角駆動
機７のサーボモータ７１を駆動する仰角ドライバ１０２
を備えている。旋回角ドライバ１０１は、基準テーブル
５の傾斜角を指定入力する設定器１０３からコントロー
ラ１０４を介して供給される角度指令と、旋回角センサ
１０の検出出力とに基づき、設定された旋回角となるよ
うにサーボモータ８１を駆動する。同様に、仰角ドライ
バ１０２は、設定器１０３からコントローラ１０４を介
して供給される角度指令と、仰角センサ９の検出出力と
に基づき、設定された仰角となるようにサーボモータ７
１を駆動する。
【００１７】このように本例の基準テーブルの傾斜角設
定機構１では、基準テーブル５を板ばね４のばね力によ
って二次元的に支持し、基準テーブル５を偏芯カム機構
からなる仰角駆動機７および旋回角駆動機８によって上
下に移動させることにより、当該基準テーブル５の基準
テーブル面５ａの傾斜角度を目標値となるようにフィー
ドバック制御するようになっている。
定機構１では、基準テーブル５を板ばね４のばね力によ
って二次元的に支持し、基準テーブル５を偏芯カム機構
からなる仰角駆動機７および旋回角駆動機８によって上
下に移動させることにより、当該基準テーブル５の基準
テーブル面５ａの傾斜角度を目標値となるようにフィー
ドバック制御するようになっている。
【００１８】従って、多段式のテーブル機構を使用する
場合や、直動式アクチュエータを採用する場合に比べ
て、機構を簡素化でき、剛性を高めることができ、さら
には、廉価に製造することができる。特に、偏芯カム機
構を採用しているので、従来のような直動式アクチュエ
ータに比べて、トルク増幅度を高めることができ、ま
た、駆動機構の構造を簡素化でき、しかも、駆動部分を
廉価に製造できる。
場合や、直動式アクチュエータを採用する場合に比べ
て、機構を簡素化でき、剛性を高めることができ、さら
には、廉価に製造することができる。特に、偏芯カム機
構を採用しているので、従来のような直動式アクチュエ
ータに比べて、トルク増幅度を高めることができ、ま
た、駆動機構の構造を簡素化でき、しかも、駆動部分を
廉価に製造できる。
【００１９】さらに、本例では、偏芯カム機構に対し
て、板ばね４によって、基準テーブル５を常に所定の弾
性力で押し付けている。換言すると、偏芯カム機構にプ
リロードが付与されている。この結果、偏芯カム機構お
よびサーボモータから構成される駆動機のバックラッシ
を除去できるので、傾斜角調整精度を高めることができ
る。
て、板ばね４によって、基準テーブル５を常に所定の弾
性力で押し付けている。換言すると、偏芯カム機構にプ
リロードが付与されている。この結果、偏芯カム機構お
よびサーボモータから構成される駆動機のバックラッシ
を除去できるので、傾斜角調整精度を高めることができ
る。
【００２０】次に、図４（ａ）、（ｂ）は，本発明によ
る基準テーブルの傾斜角設定機構の別の例を示す平面構
成図および側面構成図である。本例の傾斜角設定機構２
００も、基準テーブル２０５と、この傾斜角を調整する
ための偏芯カム式の仰角駆動機２０７および旋回角駆動
機２０８と、仰角センサ２０９および旋回角センサ２１
０とを備えている。しかるに、本例では、基準テーブル
５を、板ばねの代わりに、ねじりばね２０４によって支
持している。
る基準テーブルの傾斜角設定機構の別の例を示す平面構
成図および側面構成図である。本例の傾斜角設定機構２
００も、基準テーブル２０５と、この傾斜角を調整する
ための偏芯カム式の仰角駆動機２０７および旋回角駆動
機２０８と、仰角センサ２０９および旋回角センサ２１
０とを備えている。しかるに、本例では、基準テーブル
５を、板ばねの代わりに、ねじりばね２０４によって支
持している。
【００２１】ねじりばね２０４による基準テーブル５の
支持位置は、上記の例における板ばね４の位置に近い基
準テーブル５の裏面であり、仰角駆動機２０７および旋
回角駆動機２０８の位置は上記の例における場合と同様
である。これに対して、傾斜角センサ（仰角センサ２０
９、旋回角センサ２１０）は、基準テーブル５の第１の
方向Ｙにおいて、基準テーブル中心に対してほぼ対称の
位置に配置されている。
支持位置は、上記の例における板ばね４の位置に近い基
準テーブル５の裏面であり、仰角駆動機２０７および旋
回角駆動機２０８の位置は上記の例における場合と同様
である。これに対して、傾斜角センサ（仰角センサ２０
９、旋回角センサ２１０）は、基準テーブル５の第１の
方向Ｙにおいて、基準テーブル中心に対してほぼ対称の
位置に配置されている。
【００２２】図５は、基準テーブルの傾斜角設定機構の
更に別の例を示す平面構成図である。この図に示す傾斜
角調整機構３００では、基準テーブル３０５を、その裏
面中心位置においてねじりばね３０４によって支持した
構成となっている。旋回角駆動機３０８および仰角駆動
機３０７は上記の各例と同一構成であり、同一位置に配
置されている。これに対して、旋回角センサ３１０は、
基準テーブル中心に対して、旋回角駆動機３０８のテー
ブル接触点に対称な位置に配置され、同様に、仰角セン
サ３０９は、基準テーブル中心に対して、仰角駆動機３
０７のテーブル接触点に対称な位置に配置されている。
更に別の例を示す平面構成図である。この図に示す傾斜
角調整機構３００では、基準テーブル３０５を、その裏
面中心位置においてねじりばね３０４によって支持した
構成となっている。旋回角駆動機３０８および仰角駆動
機３０７は上記の各例と同一構成であり、同一位置に配
置されている。これに対して、旋回角センサ３１０は、
基準テーブル中心に対して、旋回角駆動機３０８のテー
ブル接触点に対称な位置に配置され、同様に、仰角セン
サ３０９は、基準テーブル中心に対して、仰角駆動機３
０７のテーブル接触点に対称な位置に配置されている。
【００２３】これら図４および図５に示す各実施例の傾
斜角設定機構２００、３００によって、図１ないし図３
に示す傾斜角設定機構１の場合と同様な作用効果を得る
ことができる。
斜角設定機構２００、３００によって、図１ないし図３
に示す傾斜角設定機構１の場合と同様な作用効果を得る
ことができる。
【００２４】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の基準テー
ブルの傾斜角設定機構は、基準テーブルをばね機構によ
って二次元的に支持し、偏芯カム式の第１および第２の
駆動機構を用いて基準テーブルを傾斜させることによ
り、当該基準テーブルを目標とする傾斜角となるように
調整するようになっている。従って、本発明の傾斜角設
定機構によれば、従来の機構に比べて、機構を簡素化で
き、その剛性を高めることができ、しかも廉価に製造で
きるという効果が得られる。
ブルの傾斜角設定機構は、基準テーブルをばね機構によ
って二次元的に支持し、偏芯カム式の第１および第２の
駆動機構を用いて基準テーブルを傾斜させることによ
り、当該基準テーブルを目標とする傾斜角となるように
調整するようになっている。従って、本発明の傾斜角設
定機構によれば、従来の機構に比べて、機構を簡素化で
き、その剛性を高めることができ、しかも廉価に製造で
きるという効果が得られる。
【００２５】特に、偏芯カム機構を採用しているので、
一般に使用されている直動アクチュエータを用いて基準
テーブルを傾斜させる機構に比べて、当該駆動機構のト
ルク増幅度を高めることができ、構造も簡単化でき、し
かも廉価に製造できるという利点がある。
一般に使用されている直動アクチュエータを用いて基準
テーブルを傾斜させる機構に比べて、当該駆動機構のト
ルク増幅度を高めることができ、構造も簡単化でき、し
かも廉価に製造できるという利点がある。
【００２６】これに加えて、基準テーブルを支持してい
るばね機構を利用して、偏芯カム式の駆動機構に対して
プリロードを与えてそのバックラッシを除去しているの
で、角度調整精度を高めることができるという効果も得
られる。
るばね機構を利用して、偏芯カム式の駆動機構に対して
プリロードを与えてそのバックラッシを除去しているの
で、角度調整精度を高めることができるという効果も得
られる。
【図１】本発明を適用した基準テーブルの傾斜角設定機
構の一実施例を示す平面構成図および側面構成図であ
る。
構の一実施例を示す平面構成図および側面構成図であ
る。
【図２】図１の偏芯カム機構を構成している円盤状カム
における基準テーブル接触点の軌跡を示すグラフであ
る。
における基準テーブル接触点の軌跡を示すグラフであ
る。
【図３】図１の傾斜角設定機構における駆動制御系を示
す概略ブロック図である。
す概略ブロック図である。
【図４】本発明を適用した基準テーブルの傾斜角設定機
構の別の実施例を示す平面構成図および側面構成図であ
る。
構の別の実施例を示す平面構成図および側面構成図であ
る。
【図５】本発明を適用した基準テーブルの傾斜角設定機
構の更に別の実施例を示す平面構成図である。
構の更に別の実施例を示す平面構成図である。
１、２００、３００ 基準テーブルの傾斜角設定機構 ２ ベース台 ３ ベース台の側板部分 ４ 板ばね ２０４、３０４ ねじりばね ５、２０５、３０５ 基準テーブル ５ａ 基準テーブル面 ７、２０７、３０７ 仰角駆動機 ８、２０８、３０８ 旋回角駆動機 ７１、８１ サーボモータ ７２、８２ 円盤状カム（偏芯カム機構） ９、２０９、３０９ 仰角センサ １０、２１０、３１０ 旋回角センサ
Claims (4)
- 【請求項１】 基準テーブルの傾斜角を調整するための
第１および第２の偏芯カム式駆動機構と、前記基準テー
ブルを支持しているばね機構とを有し、 前記第１の偏芯カム式駆動機構は偏芯回転する第１の円
盤状カムを備え、この第１の円盤状カムが前記基準テー
ブルに接触している接触点は、当該円盤状カムの偏芯回
転に伴って基準テーブル面に対して上下方向に移動する
ように設定されており、 前記第２の偏芯カム式駆動機構は偏芯回転する第２の円
盤状カムを備え、この第２の円盤状カムが前記基準テー
ブルに接触している接触点は、前記第１の接触点とは異
なる位置であると共に当該円盤状カムの偏芯回転に伴っ
て基準テーブル面に対して上下方向に移動するように設
定されており、 前記ばね機構による前記基準テーブルの支持点は、前記
のそれぞれの接触点とは異なる位置に設定されているこ
とを特徴とする基準テーブルの傾斜角設定機構。 - 【請求項２】 請求項１において、 前記ばね機構は、前記基準テーブルを、前記第１の円盤
状カムおよび前記第２の円盤状カムに対して、それぞれ
所定の弾性力で押し付けていることを特徴とする基準テ
ーブルの傾斜角設定機構。 - 【請求項３】 請求項１または２において、更に、 前記基準テーブル面の第１の方向における傾斜角を検出
する第１の角度センサと、前記基準テーブル面の第１の
方向とは異なる方向における傾斜角を検出する第２の角
度センサとを有していることを特徴とする基準テーブル
の傾斜角設定機構。 - 【請求項４】 請求項３において、更に、 前記第１および第２の角度センサの検出結果に基づき、
前記基準テーブル面が目標とする傾斜角度になるように
前記第１および第２の偏芯カム式駆動機構を駆動制御す
る制御駆動手段を有していることを特徴とする基準テー
ブルの傾斜角設定機構。
Priority Applications (3)
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|---|---|---|---|
| JP2000152231A JP2001330689A (ja) | 2000-05-24 | 2000-05-24 | 基準テーブルの傾斜角設定機構 |
| DE10125030A DE10125030B4 (de) | 2000-05-24 | 2001-05-22 | Referenztisch-Kippmechanismus |
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Applications Claiming Priority (1)
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|---|---|---|---|
| JP2000152231A JP2001330689A (ja) | 2000-05-24 | 2000-05-24 | 基準テーブルの傾斜角設定機構 |
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|---|---|---|---|
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| JP (1) | JP2001330689A (ja) |
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Cited By (1)
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