JPH09290147A - 電気装置の絶縁媒体回収装置 - Google Patents

電気装置の絶縁媒体回収装置

Info

Publication number
JPH09290147A
JPH09290147A JP8105624A JP10562496A JPH09290147A JP H09290147 A JPH09290147 A JP H09290147A JP 8105624 A JP8105624 A JP 8105624A JP 10562496 A JP10562496 A JP 10562496A JP H09290147 A JPH09290147 A JP H09290147A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
insulating medium
valve
recovery
container
refrigerator
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP8105624A
Other languages
English (en)
Inventor
Koji Nakazawa
宏司 中澤
Yoshihiro Makino
芳弘 牧野
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Electric Corp filed Critical Mitsubishi Electric Corp
Priority to JP8105624A priority Critical patent/JPH09290147A/ja
Publication of JPH09290147A publication Critical patent/JPH09290147A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Separation Of Gases By Adsorption (AREA)
  • Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
  • Fire-Extinguishing Compositions (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 回収した絶縁媒体を精製して電気機器を収容
した容器へ再充填できるようにする。 【解決手段】 バルブ21を閉じて真空ポンプ62で回
収回路66内の真空引きし、バルブ21を開いて絶縁媒
体18を回収回路66に導入して冷凍機46で絶縁媒体
18中の絶縁媒体19を凝縮し、湿式処理槽47で絶縁
媒体18中の分解ガスを除去する。続いて、冷凍機49
で水分を凝縮して圧縮機50で加圧して吸着剤52、5
6、59へ移送し絶縁媒体18中の不純物を吸着して除
去する。さらに、冷凍機60で液化して回収タンク61
に貯留する。次に、液化した絶縁媒体18を蒸発器63
で気化して容器17へ再充填する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、容器内の電気機
器を絶縁する絶縁媒体を回収して精製し、容器に再充填
するようにした電気装置の絶縁媒体回収装置に関するも
のである。
【0002】
【従来の技術】図2は従来の電気装置の絶縁媒体回収装
置である。図2において、電気機器を収容した容器(図
示せず)のガス出入口1とフランジ2とを接続する。次
に、止め弁3〜6を開き真空ポンプ7を動作させて配管
内を真空に引く。そして、真空引きが完了したら止め弁
3〜6を閉じる。次に、止め弁5、8、9及びガス出入
口1に対応する容器(図示せず)の止め弁(図示せず)
を開いて、容器(図示せず)とガスタンク10との圧力
が平衡するまで容器(図示せず)内のガスをガスタンク
10に回収する。そして、圧力が平衡に達したら止め弁
9を閉じて止め弁11を開き、圧縮機12を動作させる
ことにより、さらに容器(図示せず)内のガスをガスタ
ンク10に回収する。圧縮機12では引くことが困難な
程度に容器(図示せず)内のガス圧力が低下してきた
ら、止め弁5を閉じて止め弁4、13を開き、真空ポン
プ7を動作させる。この場合、真空ポンプ7を圧縮機1
2の前段に配置し、容器(図示せず)−真空ポンプ7−
圧縮機12−回収タンク10の直列回路を形成すること
により、容器(図示せず)内のガス圧が数mmHgにな
るまで回収できる。なお、14は活性アルミナ等を充填
したフィルタ、15、16は油霧を除去する分離装置で
ある。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】従来の電気装置の絶縁
媒体回収装置は上記のように構成されているので、回収
した絶縁媒体を電気機器側の容器に再充填するのが困難
であるという問題点があった。
【0004】この発明は上記のような問題点を解消する
ためになされたもので、回収した絶縁媒体を精製して再
充填することができる電気装置の絶縁媒体回収装置を提
供するものである。
【0005】
【課題を解決するための手段】請求項1の発明に係る電
気装置の絶縁媒体回収装置は、容器に収容した電気機器
を絶縁する絶縁媒体を回収タンクに回収するようにした
電気装置の絶縁媒体回収装置において、上記回収タンク
と不純物を除去する吸着剤と第1のバルブと第2のバル
ブと送給ポンプとを順次接続して循環回路を形成し、上
記循環回路の上記両バルブ間と上記容器とを第3のバル
ブを介して接続し、上記循環回路に第4のバルブを介し
て真空ポンプを接続し、上記第3のバルブを閉じ上記第
1のバルブ、上記第2のバルブ及び上記第4のバルブを
開いて上記真空ポンプで上記循環回路内を真空引きし、
上記第2のバルブと上記第4のバルブとを閉じ上記第3
のバルブを開いて上記容器の上記絶縁媒体を上記回収タ
ンクに回収し、上記第3のバルブを閉じ上記第2のバル
ブを開いて上記送給ポンプで上記回収タンク内の上記絶
縁媒体を上記循環回路に循環して上記吸着剤で精製し、
上記第1のバルブを閉じ上記第3のバルブを開いて上記
送給ポンプで上記絶縁媒体を上記容器に再充填するよう
に構成したものである。
【0006】請求項2の発明に係る電気装置の絶縁媒体
回収装置は、容器に収容した電気機器を絶縁する気体の
第1の絶縁媒体と、この第1の絶縁媒体より凝縮温度が
高く気化した第2の絶縁媒体とを回収タンクに回収する
ようにした電気装置の絶縁媒体回収装置において、上記
容器と接続した第1のバルブから順次、第1の冷凍機、
湿式処理槽、第2の冷凍機、圧縮機、吸着剤、第3の冷
凍機及び回収タンクを接続して回収回路を形成し、上記
回収回路に第2のバルブを介して真空ポンプを接続し、
上記第1のバルブを閉じて上記真空ポンプで上記回収回
路内の真空引きをし、上記第1のバルブを開いて上記第
1の絶縁媒体を上記回収回路に導入して上記第1の冷凍
機で上記第1の絶縁媒体中の上記第2の絶縁媒体を凝縮
し、上記湿式処理槽で上記第1の絶縁媒体中の分解ガス
を除去し、続いて第2の冷凍機で水分を凝縮して上記圧
縮機で加圧して上記吸着剤へ移送し、上記吸着剤で上記
第1の絶縁媒体中の不純物を吸着して精製し上記第3の
冷凍機で上記第1の絶縁媒体を液化し、液化した上記第
1の絶縁媒体を上記回収タンクに貯留し、上記回収タン
クに回収した上記第1の絶縁媒体を蒸発器で気化して上
記容器に再充填するように構成したものである。
【0007】請求項3の発明に係る電気装置の絶縁媒体
回収装置は、蒸発器と容器との間に第1の絶縁媒体中の
不純物を吸着して精製する吸着剤を配置したものであ
る。
【0008】請求項4の発明に係る電気装置の絶縁媒体
回収装置は、第1の絶縁媒体は六弗化硫黄であり、第2
の絶縁媒体は弗素系不活性媒体である。
【0009】請求項5の発明に係る電気装置の絶縁媒体
回収装置は、吸着剤が六弗化硫黄中の水分及び加水分解
性ガスを除去する合成ゼオライトと、上記六弗化硫黄中
の油蒸気及び有機性ガスを除去する活性炭である。
【0010】請求項6の発明に係る電気装置の絶縁媒体
回収装置は、湿式処理槽と第2の冷凍機との間に酸化型
吸着剤を配置し、第1の絶縁媒体の分解による臭気を除
去するように構成したものである。
【0011】
【発明の実施の形態】
実施の形態1.図1は実施の形態1の構成を示す構成図
である。図1において、17は遮断器本体(図示せず)
や変圧器本体(図示せず)等の電気機器を収容し密封し
た容器、18は容器17に最大5〜6Kg/cm2の加
圧状態で充填した六弗化硫黄ガスのガス状の絶縁媒体
で、電気機器(図示せず)の絶縁が主である。19は容
器17に充填したフロロカーボン(C816O)等の弗
素系不活性媒体の液状の熱輸送能力が大きい絶縁媒体
で、電気機器(図示せず)の冷却が主である。なお、絶
縁媒体18には絶縁媒体19の蒸気が含まれることもあ
る。20〜37はバルブで、流体の流路を開閉する。3
8〜41は流体の流量を調節する減圧弁、42は送風式
冷却器で、絶縁媒体18中に含まれている絶縁媒体19
の蒸気を低温にして凝縮させる。43は絶縁媒体分離器
で、凝縮した絶縁媒体19を貯留する。44は絶縁媒体
18の流量を調整する圧力調整装置、45は配管系内の
残留空気を除去する真空ポンプである。
【0012】46は冷凍機で、絶縁媒体18中に残留し
ている絶縁媒体19を低温度で凝縮させる。47はガス
状の絶縁媒体18中に分解ガスを加水分解して除去する
湿式処理槽である。例えば六弗化硫黄(SF6)が分解
した場合にはSF4のような弗素系の加水分解性ガスが
発生するので、湿式処理槽47において分解ガスを水酸
化カルシウム水溶液と接触させて、式(1)及び式
(2)に示すようにCaF2として除去する。 SF4+H2O→SOF2+2HF ・・・・・(1) 2HF+Ca(OH)2→CaF2+2H2O ・・・・・(2) 48は酸化型吸着剤で、六弗化硫黄(SF6)が分解し
たときの臭気を除去する。49は冷凍機で、絶縁媒体1
8中の水分を凝縮して除去する。50は絶縁媒体18を
圧縮する圧縮機で、後段へ絶縁媒体18を移送する。
【0013】51は水分々離器で、絶縁媒体18を圧縮
機50で圧縮したときに凝縮生成した水分を分離する。
52〜55は合成ゼオライト等の吸着剤で、絶縁媒体1
8中に残留している水分や加水分離性ガスを吸着して除
去する。56〜58は活性炭等の吸着剤で、絶縁媒体1
8中の油蒸気などの有機性ガスを除去する。59は活性
アルミナ等の吸着剤で、絶縁媒体18に残留している加
水分解性ガスを除去する。60は冷凍機で、絶縁媒体1
8を液化する。61は液化した絶縁媒体18を貯留する
回収タンクで、残留分の絶縁媒体19が液化して比重差
により底に留まる。62は真空ポンプ、63は蒸発器
で、液化した絶縁媒体18をガス化させる。
【0014】64は回収タンクで、容器17から回収し
た液状の絶縁媒体19を貯留する。65は絶縁媒体19
を移送する送給ポンプである。なお、バルブ20から、
冷凍機46−湿式処理槽47−吸着剤48−冷凍機49
−圧縮機50−吸着剤52、56、59、53−冷凍機
60を経由して回収タンク61までで回収回路66を構
成している。さらに、回収タンク64−送給ポンプ65
−バルブ26、25−減圧弁41−吸着剤58、55−
回収タンク64で循環回路67を構成している。
【0015】次に動作について説明する。図1におい
て、絶縁媒体19を回収する場合は、バルブ20、2
1、24、36、37を閉じ、バルブ25〜29を開い
て真空ポンプ45によりバルブ20、21、24、3
6、37で閉塞した構成部品及び配管内を真空引きす
る。そして、バルブ26〜28を閉じてバルブ24を開
くことにより、絶縁媒体18で加圧状態にある絶縁媒体
19を、バルブ24、25−減圧弁41−吸着剤58、
55を経由して回収タンク64に移送して、バルブ24
を閉じる。回収した回収タンク64内の絶縁媒体19を
精製する場合は、バルブ26を開いて送給ポンプ65で
絶縁媒体19を循環回路67内に循環させることによ
り、各吸着剤58、55で水分や有機性ガスなどの不純
物を除去する。精製して回収タンク64に貯留した絶縁
媒体19を容器17に再充填する場合は、バルブ25を
閉じてバルブ24を開き、送給ポンプ65でバルブ2
6、24を経由して行う。なお、精製したときの絶縁媒
体19をバルブ37から抜き取って品質チェックを行
う。
【0016】次に、絶縁媒体18の回収、精製及び再充
填について説明する。図1において、バルブ21、2
3、31〜35を閉じバルブ30を開いて、バルブ2
1、23間の構成部品及び配管内を真空ポンプ62で真
空引きする。次に、バルブ22、30を閉じてバルブ2
1を開く。そして、バルブ20を開くと、容器17内の
絶縁媒体18が回収回路66に流れ始める。容器17内
の絶縁媒体18の温度が高い場合には、送風式冷却器4
2により冷却して絶縁媒体18中に含まれている絶縁媒
体19の蒸気を凝縮し、絶縁媒体分離器43に貯留す
る。絶縁媒体分離器43内の液状の絶縁媒体19は適
宜、バルブ27を介して回収タンク64へ移送する。圧
力調整装置44で絶縁媒体18の移送速度を調節して冷
凍機46へ導く。冷凍機46で絶縁媒体18を約5℃に
冷却することにより、含まれている絶縁媒体19の蒸気
の凝縮が促進される。これにより、絶縁媒体18中の絶
縁媒体19の蒸気の約98%を除去する。冷凍機46で
凝縮した絶縁媒体19はバルブ28を介して回収タンク
64に移送する。
【0017】次に、絶縁媒体18を湿式処理槽47でC
a(OH)2の水溶液に接触させ、絶縁媒体18中に含
まれているSF4のような分解ガスをCaF2として除去
する。さらに、六弗化硫黄(SF6)などの絶縁媒体1
8が分解した場合には、悪臭や刺激の強いガスも含んで
いるので、酸素型吸着剤48で除去する。湿式処理槽4
7で処理した絶縁媒体18には多くの水分を含んでいる
ので、冷凍機49で冷却して水分を凝縮させ、バルブ3
2を介して排出する。以上の処理で絶縁媒体18中の不
純物の殆どが除去されたが、さらに不純物の高度除去処
理のために、圧縮機50で加圧して後段へ移送する。こ
の絶縁媒体18の圧縮の際に凝縮した水分を水分々離器
51で除去し、バルブ33を介して排出する。次に、絶
縁媒体18中の水分、分解ガス、油分等の微量残留物
は、連続的に配置した吸着剤52、56、59、53に
より除去する。以上のように精製した絶縁媒体18を冷
凍機60で冷却する。そして、最終的に液化した絶縁媒
体18は回収タンク61に貯留する。この際、残留して
いたフロロカーボン等の比重の大きい絶縁媒体19は、
絶縁媒体18の下方の回収タンク61の底に留まる。
【0018】精製して回収した絶縁媒体18を容器17
に再充填する場合について説明する。図1において、バ
ルブ22を開き減圧弁39で移送量を調節し、液状の絶
縁媒体18を蒸発器63に送って気化する。気化した絶
縁媒体18は吸着剤54、57でさらに最終的に精製
し、バルブ23を介して容器17に充填する。なお、精
製した絶縁媒体18の品質チェックは、バルブ31から
採取して行う。
【0019】上記構成においては、2種類の絶縁媒体1
8、19を充填したものについて説明したが、いずれか
1種類のみ使用したものについても適用できる。また、
上記構成のものは、定置式あるいは可搬式についても適
用できる。
【0020】
【発明の効果】請求項1の発明によれば、電気機器を収
容した容器から回収タンクへ回収した絶縁媒体を循環回
路に循環させて精製し、精製した絶縁媒体をバルブを操
作して容器へ再充填することができる。
【0021】請求項2の発明によれば、電気機器を収容
した容器内の気体の第1の絶縁媒体を回収しながら精製
し液化して回収タンクに貯留し、液化した絶縁媒体を蒸
発器で気化して容器に再充填するようにしたので、第2
の絶縁媒体を分離するとともに第1の絶縁媒体の精製及
び容器への再充填ができる。
【0022】請求項3の発明によれば、蒸発器と容器と
の間に吸着剤を配置したので、気化した第1の絶縁媒体
の残留不純物をさらに除去できる。
【0023】請求項4の発明によれば、第1の絶縁媒体
を六弗化硫黄とし、第2の絶縁媒体を弗素系不活性媒体
としたので、電気機器の絶縁及び冷却を行うことができ
る。
【0024】請求項5の発明によれば、吸着剤を合成ゼ
オライト及び活性炭としたので、不純物の除去を行うこ
とができる。
【0025】請求項6の発明によれば、酸化型吸着剤を
設けたので、第1の絶縁媒体の分解による臭気を除去で
きる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 実施の形態1の構成を示す構成図である。
【図2】 従来の電気装置の絶縁媒体回収装置の構成図
である。
【符号の説明】
17 容器、18,19 絶縁媒体、21,24〜2
7,29,30 バルブ、45,62 真空ポンプ、4
6,49,60 冷凍機、47 湿式処理槽、48,5
0,52〜59 吸着剤、61,64 回収タンク、6
3 蒸発器、65 送給ポンプ、66 回収回路、67
循環回路。

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 容器に収容した電気機器を絶縁する絶縁
    媒体を回収タンクに回収するようにした電気装置の絶縁
    媒体回収装置において、上記回収タンクと不純物を除去
    する吸着剤と第1のバルブと第2のバルブと送給ポンプ
    とを順次接続して循環回路を形成し、上記循環回路の上
    記両バルブ間と上記容器とを第3のバルブを介して接続
    し、上記循環回路に第4のバルブを介して真空ポンプを
    接続し、上記第3のバルブを閉じ上記第1のバルブ、上
    記第2のバルブ及び上記第4のバルブを開いて上記真空
    ポンプで上記循環回路内を真空引きし、上記第2のバル
    ブと上記第4のバルブとを閉じ上記第3のバルブを開い
    て上記容器の上記絶縁媒体を上記回収タンクに回収し、
    上記第3のバルブを閉じ上記第2のバルブを開いて上記
    送給ポンプで上記回収タンク内の上記絶縁媒体を上記循
    環回路に循環して上記吸着剤で精製し、上記第1のバル
    ブを閉じ上記第3のバルブを開いて上記送給ポンプで上
    記絶縁媒体を上記容器に再充填するように構成したこと
    を特徴とする電気装置の絶縁媒体回収装置。
  2. 【請求項2】 容器に収容した電気機器を絶縁する気体
    の第1の絶縁媒体と、この第1の絶縁媒体より凝縮温度
    が高く気化した第2の絶縁媒体とを回収タンクに回収す
    るようにした電気装置の絶縁媒体回収装置において、上
    記容器と接続した第1のバルブから順次、第1の冷凍
    機、湿式処理槽、第2の冷凍機、圧縮機、吸着剤、第3
    の冷凍機及び回収タンクを接続して回収回路を形成し、
    上記回収回路に第2のバルブを介して真空ポンプを接続
    し、上記第1のバルブを閉じて上記真空ポンプで上記回
    収回路内の真空引きをし、上記第1のバルブを開いて上
    記第1の絶縁媒体を上記回収回路に導入して上記第1の
    冷凍機で上記第1の絶縁媒体中の上記第2の絶縁媒体を
    凝縮し、上記湿式処理槽で上記第1の絶縁媒体中の分解
    ガスを除去し、続いて第2の冷凍機で水分を凝縮して上
    記圧縮機で加圧して上記吸着剤へ移送し、上記吸着剤で
    上記第1の絶縁媒体中の不純物を吸着して精製し上記第
    3の冷凍機で上記第1の絶縁媒体を液化し、液化した上
    記第1の絶縁媒体を上記回収タンクに貯留し、上記回収
    タンクに回収した上記第1の絶縁媒体を蒸発器で気化し
    て上記容器に再充填するように構成したことを特徴とす
    る電気装置の絶縁媒体回収装置。
  3. 【請求項3】 蒸発器と容器との間に第1の絶縁媒体中
    の不純物を吸着して精製する吸着剤を配置したことを特
    徴とする請求項2に記載の電気装置の絶縁媒体回収装
    置。
  4. 【請求項4】 第1の絶縁媒体は六弗化硫黄であり、第
    2の絶縁媒体は弗素系不活性媒体であることを特徴とす
    る請求項2又は請求項3に記載の電気装置の絶縁媒体回
    収装置。
  5. 【請求項5】 吸着剤は六弗化硫黄中の水分及び加水分
    解性ガスを除去する合成ゼオライトと、上記六弗化硫黄
    中の油蒸気及び有機性ガスを除去する活性炭であること
    を特徴とする請求項2〜請求項4のいずれかに記載の電
    気装置の絶縁媒体回収装置。
  6. 【請求項6】 湿式処理槽と第2の冷凍機との間に酸化
    型吸着剤を配置し、第1の絶縁媒体の分解による臭気を
    除去するように構成したことを特徴とする請求項2〜請
    求項5のいずれかに記載の電気装置の絶縁媒体回収装
    置。
JP8105624A 1996-04-25 1996-04-25 電気装置の絶縁媒体回収装置 Pending JPH09290147A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP8105624A JPH09290147A (ja) 1996-04-25 1996-04-25 電気装置の絶縁媒体回収装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP8105624A JPH09290147A (ja) 1996-04-25 1996-04-25 電気装置の絶縁媒体回収装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH09290147A true JPH09290147A (ja) 1997-11-11

Family

ID=14412651

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP8105624A Pending JPH09290147A (ja) 1996-04-25 1996-04-25 電気装置の絶縁媒体回収装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH09290147A (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108386713A (zh) * 2018-02-12 2018-08-10 国家电网公司 一种绝缘气体处理装置及其控制方法
CN110227390A (zh) * 2019-07-10 2019-09-13 佛山市巴盛诺新材料科技有限公司 一种利用脲和醇盐制备聚γ-丁内酯的装置和方法
CN117053092A (zh) * 2023-10-11 2023-11-14 常州优达电子科技有限公司 一种sf6抽真空充气装置

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108386713A (zh) * 2018-02-12 2018-08-10 国家电网公司 一种绝缘气体处理装置及其控制方法
CN108386713B (zh) * 2018-02-12 2023-12-01 国家电网公司 一种绝缘气体处理装置及其控制方法
CN110227390A (zh) * 2019-07-10 2019-09-13 佛山市巴盛诺新材料科技有限公司 一种利用脲和醇盐制备聚γ-丁内酯的装置和方法
CN117053092A (zh) * 2023-10-11 2023-11-14 常州优达电子科技有限公司 一种sf6抽真空充气装置
CN117053092B (zh) * 2023-10-11 2023-12-22 常州优达电子科技有限公司 一种sf6抽真空充气装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7794523B2 (en) Method for the recovery and re-use of process gases
CN111566044A (zh) 在低温温度下从气体或液体流中回收氙的吸附性方法
JP4033591B2 (ja) Sf6ガス回収装置
CN110124437A (zh) 一种二氯甲烷的净化与回收方法及系统
JP2003001061A (ja) 燃焼排ガス中の炭酸ガスを濃縮する方法
JPH09290147A (ja) 電気装置の絶縁媒体回収装置
KR20100077745A (ko) 압축공기 고청정 건조 장치
KR100579663B1 (ko) 육불화황을 고순도로 정제하는 정제장치 및 방법
JP4033593B2 (ja) Sf6ガス回収装置
JP2003062419A (ja) ガス混合物の分離方法及びその装置
JP2002090061A (ja) 六弗化硫黄ガスの精製装置
JP2002137909A (ja) ヘリウムガスの精製方法
JPH03135410A (ja) 揮発性有機物の圧力スイング式分離回収方法
JP7236888B2 (ja) 真空脱着式揮発性有機化合物回収装置の運用方法
JP2003002621A (ja) 六弗化硫黄ガス回収装置
TWI403354B (zh) Recovery device and method for gas - like hydrocarbon
JP2621975B2 (ja) 低沸点物質精製方法
JP2015076408A (ja) Sf6ガス回収精製装置及びsf6ガス回収精製方法
JPH0938445A (ja) 吸着塔の再生方法
CN212282895U (zh) 有机溶剂脱水装置及有机溶剂脱水系统
JP3223253B2 (ja) フロンの再生方法及び再生装置
US20240024811A1 (en) System and method for resource-efficient carbon dioxide capture
JPH0230728B2 (ja) Haigasunoshorihoho
JP3385410B2 (ja) 希ガスの精製方法及び装置
JPH10285730A (ja) ガス給排装置