JPH09288995A - 無電極放電ランプ - Google Patents
無電極放電ランプInfo
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-
- G—PHYSICS
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 小さい空間角度の一定方向の放射において、
できるだけ大きい光線密度のとりわけ紫外線領域で、連
続スペクトルを有する低圧ガス放電ランプをより大きい
光線強度で実現する。 【解決手段】 無電極放電ランプ、特に重水素ランプが
放電容器を有し、その中で高周波電磁界の容量性集群に
より紫外線を生成するためのプラズマを形成し、プラズ
マ領域に少なくとも二つの絞り開口５を絞り体３の光学
軸に沿って設置し、それら開口は光学軸４に沿った一定
方向の放射において高い光線安定性を有するプラズマの
高い光線密度を可能にする。光線出射は、紫外線を透過
する一つの出射窓６、または光学軸４に沿って互いに対
面する二つの出射窓６により行う。このランプは、特に
解析的測定例えば分光光度計の光源として適当である。
できるだけ大きい光線密度のとりわけ紫外線領域で、連
続スペクトルを有する低圧ガス放電ランプをより大きい
光線強度で実現する。 【解決手段】 無電極放電ランプ、特に重水素ランプが
放電容器を有し、その中で高周波電磁界の容量性集群に
より紫外線を生成するためのプラズマを形成し、プラズ
マ領域に少なくとも二つの絞り開口５を絞り体３の光学
軸に沿って設置し、それら開口は光学軸４に沿った一定
方向の放射において高い光線安定性を有するプラズマの
高い光線密度を可能にする。光線出射は、紫外線を透過
する一つの出射窓６、または光学軸４に沿って互いに対
面する二つの出射窓６により行う。このランプは、特に
解析的測定例えば分光光度計の光源として適当である。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、放電容器内に高周
波電磁界の集群によりプラズマを形成し、そのプラズマ
の発生する光線を放電容器から放電容器の少なくとも紫
外線を透過する領域を通って出射し、その際プラズマの
領域に耐熱材料から成る少なくとも一つの絞り体を設置
し、これがプラズマ領域のピンチングのための少なくと
も一つの開口を有する。
波電磁界の集群によりプラズマを形成し、そのプラズマ
の発生する光線を放電容器から放電容器の少なくとも紫
外線を透過する領域を通って出射し、その際プラズマの
領域に耐熱材料から成る少なくとも一つの絞り体を設置
し、これがプラズマ領域のピンチングのための少なくと
も一つの開口を有する。
【０００２】
【従来の技術】ドイツ特許公開公報第４１２０７３０号
によれば、球管内で高周波電磁界の集群によりプラズマ
を形成し、プラズマの発生する光線を球管から出射する
無電極低圧放電ランプが知られている。この場合、プラ
ズマ領域に耐熱性材料から成りプラズマ領域のピンチン
グのための開口を有する絞り体が設置され、その際絞り
体がその開口を通る光学軸を有し、それに沿って光線が
出射する。高周波電磁界でのプラズマピンチングのとき
十分大きい光線強度及び光線密度を得るため、材料が大
きい壁面応力に耐えなければならないので、１５００Ｋ
以上の温度で分解、溶解、汚染物質を放出したり、ラン
プの点灯及び消灯時の熱衝撃のため破裂してはならな
い。
によれば、球管内で高周波電磁界の集群によりプラズマ
を形成し、プラズマの発生する光線を球管から出射する
無電極低圧放電ランプが知られている。この場合、プラ
ズマ領域に耐熱性材料から成りプラズマ領域のピンチン
グのための開口を有する絞り体が設置され、その際絞り
体がその開口を通る光学軸を有し、それに沿って光線が
出射する。高周波電磁界でのプラズマピンチングのとき
十分大きい光線強度及び光線密度を得るため、材料が大
きい壁面応力に耐えなければならないので、１５００Ｋ
以上の温度で分解、溶解、汚染物質を放出したり、ラン
プの点灯及び消灯時の熱衝撃のため破裂してはならな
い。
【０００３】ドイツ特許公開公報第４１２０７３０号で
は、絞り体の材料として窒化ホウ素が好ましく使用され
ている。
は、絞り体の材料として窒化ホウ素が好ましく使用され
ている。
【０００４】プラズマをピンチングする絞り体領域から
の熱放出は、その周囲の球管のため問題となり、光源の
小型化傾向の中で周知の放電ランプは、その構造のため
比較的高価となる。
の熱放出は、その周囲の球管のため問題となり、光源の
小型化傾向の中で周知の放電ランプは、その構造のため
比較的高価となる。
【０００５】さらに英国特許明細書第１００３８７３号
によれば、無電極高周波放電スペクトルランプが知ら
れ、これは透光性材料から成り中空形状に密封した球管
を有し、その際球管は毛管貫通により互いに接続する二
つの部分に分けられ、またその際球管内にある金属蒸気
中で放電を励起するための電磁的配置を有する。放電の
ための電磁エネルギの集群は球管周囲のコイル配置によ
り維持され、その際本来の点火は外部電極により行う。
によれば、無電極高周波放電スペクトルランプが知ら
れ、これは透光性材料から成り中空形状に密封した球管
を有し、その際球管は毛管貫通により互いに接続する二
つの部分に分けられ、またその際球管内にある金属蒸気
中で放電を励起するための電磁的配置を有する。放電の
ための電磁エネルギの集群は球管周囲のコイル配置によ
り維持され、その際本来の点火は外部電極により行う。
【０００６】英国特許明細書では、顕著な点火が問題に
なるため、点火を導く付加的電極を球管の外側領域に設
置しなければならず、その場合好ましい光軸に沿った一
定方向の放射は考えられない。
なるため、点火を導く付加的電極を球管の外側領域に設
置しなければならず、その場合好ましい光軸に沿った一
定方向の放射は考えられない。
【０００７】それは比較的高価な構造であり、とりわけ
小型化傾向の中で望まれる小型の構造形態で障害にな
る。
小型化傾向の中で望まれる小型の構造形態で障害にな
る。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、低圧
放電ランプとりわけ小さい空間角度の一定方向の放射に
おいて、できるだけ大きい光線密度のとりわけ紫外線領
域で、連続スペクトルを有する低圧ガス放電ランプをよ
り大きい光線強度で実現することであり、さらに小さい
幾何形状寸法でも簡単な機械的構造を達成し、場合によ
り光源として分光光度計とりわけ液体クロマトグラフ
（ＨＰＬＣ検出器）に使用することであり、特にできる
だけ高い光線安定性を有する２００〜３５０ｎｍの波長
λのスペクトル領域を達成することである。
放電ランプとりわけ小さい空間角度の一定方向の放射に
おいて、できるだけ大きい光線密度のとりわけ紫外線領
域で、連続スペクトルを有する低圧ガス放電ランプをよ
り大きい光線強度で実現することであり、さらに小さい
幾何形状寸法でも簡単な機械的構造を達成し、場合によ
り光源として分光光度計とりわけ液体クロマトグラフ
（ＨＰＬＣ検出器）に使用することであり、特にできる
だけ高い光線安定性を有する２００〜３５０ｎｍの波長
λのスペクトル領域を達成することである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】この課題は、請求項１の
特徴により解決される。
特徴により解決される。
【００１０】とりわけ放射する光線の連続性における大
きなスペクトル帯域、及び使用する電極材料によるラン
プ雰囲気の不利がないことが有利であり、それにより寿
命の向上も得られる。別の長所は、小さい空間角度で高
い光線密度の一定方向の光線に見ることができる。
きなスペクトル帯域、及び使用する電極材料によるラン
プ雰囲気の不利がないことが有利であり、それにより寿
命の向上も得られる。別の長所は、小さい空間角度で高
い光線密度の一定方向の光線に見ることができる。
【００１１】さらに簡単な幾何形状の構造がきわめて小
さい構造寸法を可能にするので、場合により光源を基板
に設置することが可能になる。
さい構造寸法を可能にするので、場合により光源を基板
に設置することが可能になる。
【００１２】その他の有利な実施形態は、請求項２ない
し１５に記載される。
し１５に記載される。
【００１３】付加的光源の補助により光学軸に沿って導
かれる光線をスペクトル的に補完できるので、放電ラン
プに光学軸に沿った二つの対面する光線出射窓を設置す
ることは特に有利である。このようにして例えば、本発
明の放電ランプにより発生する紫外光線の可視または赤
外スペクトルの付加的部分を重ねることが可能である。
かれる光線をスペクトル的に補完できるので、放電ラン
プに光学軸に沿った二つの対面する光線出射窓を設置す
ることは特に有利である。このようにして例えば、本発
明の放電ランプにより発生する紫外光線の可視または赤
外スペクトルの付加的部分を重ねることが可能である。
【００１４】
実施の形態１．本発明の実施の形態を図１乃至図６を参
照して以下に詳細に説明する。
照して以下に詳細に説明する。
【００１５】図１において、放電ランプは、耐熱の電気
絶縁材料から成る軸対称の放電容器１を有し、これがそ
の内部空間２の中央領域に三つの絞りないし絞り体３を
有し、それらが光学軸４に沿って貫通する開口５を有す
る。放電容器１、及び絞りないし絞り体３のいずれも、
窒化ほう素、窒化アルミニウム、酸化アルミニウム、酸
化トリウム、酸化ベリリウム、多結晶ダイヤモンドなど
の耐熱セラミック材料、またはモリブデンまたはタング
ステンなど高融点の金属材料から成ることができる。そ
れにより小さい空間角度での高い光線強度と光線密度を
獲得できる。光線の平面角は、０．０５〜０．１ラジア
ン領域の半値幅を有する。もちろん絞り数、絞り間隔及
び出射開口１４ないし２１の幾何的配置の異なる形態に
より、光線の角度を広い範囲で変更することが支障なく
可能である。
絶縁材料から成る軸対称の放電容器１を有し、これがそ
の内部空間２の中央領域に三つの絞りないし絞り体３を
有し、それらが光学軸４に沿って貫通する開口５を有す
る。放電容器１、及び絞りないし絞り体３のいずれも、
窒化ほう素、窒化アルミニウム、酸化アルミニウム、酸
化トリウム、酸化ベリリウム、多結晶ダイヤモンドなど
の耐熱セラミック材料、またはモリブデンまたはタング
ステンなど高融点の金属材料から成ることができる。そ
れにより小さい空間角度での高い光線強度と光線密度を
獲得できる。光線の平面角は、０．０５〜０．１ラジア
ン領域の半値幅を有する。もちろん絞り数、絞り間隔及
び出射開口１４ないし２１の幾何的配置の異なる形態に
より、光線の角度を広い範囲で変更することが支障なく
可能である。
【００１６】放電容器１は、その二つの前面側の少なく
とも一つに軸４に沿って少なくとも紫外線を透過する例
えば石英ガラス、ガラスまたはサファイアから成る光線
出射窓６を有する。
とも一つに軸４に沿って少なくとも紫外線を透過する例
えば石英ガラス、ガラスまたはサファイアから成る光線
出射窓６を有する。
【００１７】放電容器１と光線出射窓６間の移行は、出
射窓のエッジの融解、またはガラス封じによる放電容器
と窓間の接続、及び場合により遷移ガラスにより行うこ
とができる。放電容器１と絞り３は同材料すなわち一体
から成ることもできる。その場合窓は、前述のように設
置する。絞り３相互、及び放電容器１ないし光学軸４に
対し絞り３の定位置を保証するため、個々の材料及びガ
ス放電の各種特性を考慮し、例えばスペーサ７による適
当な支持部を設置する必要がある。個々の要素の熱膨張
に対応するため、好ましくはセラミック、石英ガラスか
ら成るまたは金属の中空円筒状でねじ形状のばね８また
は葉状ばねを使用する。代替として、個々の材料の熱膨
張係数の調整も行う。
射窓のエッジの融解、またはガラス封じによる放電容器
と窓間の接続、及び場合により遷移ガラスにより行うこ
とができる。放電容器１と絞り３は同材料すなわち一体
から成ることもできる。その場合窓は、前述のように設
置する。絞り３相互、及び放電容器１ないし光学軸４に
対し絞り３の定位置を保証するため、個々の材料及びガ
ス放電の各種特性を考慮し、例えばスペーサ７による適
当な支持部を設置する必要がある。個々の要素の熱膨張
に対応するため、好ましくはセラミック、石英ガラスか
ら成るまたは金属の中空円筒状でねじ形状のばね８また
は葉状ばねを使用する。代替として、個々の材料の熱膨
張係数の調整も行う。
【００１８】絞りまたは絞り体３は、内部空間２の大部
分を占める（熱膨張を考慮）。各絞りは、直径０．０１
〜６ｍｍとりわけ０．３〜６ｍｍ、厚さ０．００１〜１
００ｍｍとりわけ０．０１〜５０ｍｍの穴を有し、及び
厚さは０．００１〜２０ｍｍである。専門家には周知で
製造方法に依存する洗浄処理（から焼き、腐食）によ
り、放電容器に１〜１００ｍｂａｒの冷間充填圧により
重水素を充填する。
分を占める（熱膨張を考慮）。各絞りは、直径０．０１
〜６ｍｍとりわけ０．３〜６ｍｍ、厚さ０．００１〜１
００ｍｍとりわけ０．０１〜５０ｍｍの穴を有し、及び
厚さは０．００１〜２０ｍｍである。専門家には周知で
製造方法に依存する洗浄処理（から焼き、腐食）によ
り、放電容器に１〜１００ｍｂａｒの冷間充填圧により
重水素を充填する。
【００１９】放電容器１の前面平面１０、１１の外表面
に導電性材料から成る平面状電極１２、１３をそれぞれ
軸４に沿って互いに対面して設置する。光線出射側にあ
る電極１３に、軸４に沿って光線出射のための開口１４
を設置する。電極のための好ましい材料として、特に金
メッキした銅が実証済みである。しかし前面平面１０、
１１の外表面に、光線を出射するための開口１４を考慮
して厚膜技術の従来方法により導電性ペーストを塗布し
焼き付けることも可能である。
に導電性材料から成る平面状電極１２、１３をそれぞれ
軸４に沿って互いに対面して設置する。光線出射側にあ
る電極１３に、軸４に沿って光線出射のための開口１４
を設置する。電極のための好ましい材料として、特に金
メッキした銅が実証済みである。しかし前面平面１０、
１１の外表面に、光線を出射するための開口１４を考慮
して厚膜技術の従来方法により導電性ペーストを塗布し
焼き付けることも可能である。
【００２０】実施の形態２．図２は図１の実施形態の別
形態を示し、ここではモノリシック材料好ましくはセラ
ミックから成る放電容器１、前面平面１０及び絞り体３
を製作し、その際内側空間２が前面平面１１の領域で、
透明材料好ましくは石英ガラスから成る光線出射窓６と
したカバーにより覆われる。軸４に沿って、互いに対面
する電極１２、１３を前面平面１０、１１上に設置し、
その際電極１３は光線出射開口１４を有する。
形態を示し、ここではモノリシック材料好ましくはセラ
ミックから成る放電容器１、前面平面１０及び絞り体３
を製作し、その際内側空間２が前面平面１１の領域で、
透明材料好ましくは石英ガラスから成る光線出射窓６と
したカバーにより覆われる。軸４に沿って、互いに対面
する電極１２、１３を前面平面１０、１１上に設置し、
その際電極１３は光線出射開口１４を有する。
【００２１】一般に円筒状に形成するシステム（コンデ
ンサ、放電容器、絞り）の外径は、５〜８０ｍｍの領域
にある。このシステムは、微小構造の範囲に踏み込むい
っそうの小型化を行うことも可能である。さらに絞りの
幾何的配置を変えることもできる。また絞りの前方側１
６（出射窓側）を反射板、または絞り前方側で紫外線領
域を反射し反射板形状１７を有する第二のセラミックの
固定部として変形し、光線強度の向上を図ることも可能
である。放電容器１の背面部分１８は絞り前方側１６ま
たはセラミック同様に、例えば反射セラミック、金属ま
たは金属層による被覆または被膜により、反射板形状１
７としてミラー化し反射板として使用できる。ある電極
ないしコンデンサ板上のミラー化により、それが内部空
間２を密封する場合、後方に放射される光が反射され同
じように利用できる。
ンサ、放電容器、絞り）の外径は、５〜８０ｍｍの領域
にある。このシステムは、微小構造の範囲に踏み込むい
っそうの小型化を行うことも可能である。さらに絞りの
幾何的配置を変えることもできる。また絞りの前方側１
６（出射窓側）を反射板、または絞り前方側で紫外線領
域を反射し反射板形状１７を有する第二のセラミックの
固定部として変形し、光線強度の向上を図ることも可能
である。放電容器１の背面部分１８は絞り前方側１６ま
たはセラミック同様に、例えば反射セラミック、金属ま
たは金属層による被覆または被膜により、反射板形状１
７としてミラー化し反射板として使用できる。ある電極
ないしコンデンサ板上のミラー化により、それが内部空
間２を密封する場合、後方に放射される光が反射され同
じように利用できる。
【００２２】実施の形態３．図３は、放電容器１内で高
融点のセラミックまたは金属製の絞りないし絞り体３を
使用するための実施形態を示す。放電容器１、絞りない
し絞り体３、及び絞りの支持部は、一つの材料または異
なる材料のいずれからも成ることができる。
融点のセラミックまたは金属製の絞りないし絞り体３を
使用するための実施形態を示す。放電容器１、絞りない
し絞り体３、及び絞りの支持部は、一つの材料または異
なる材料のいずれからも成ることができる。
【００２３】高い光線密度を有する光線配置を使用する
場合、セラミック、石英及び高融点金属が特に適する。
したがって絞り３は、支持部として使用する（例えば）
セラミックから成る放電容器１で囲むことができ、その
際絞り３は別の材料、例えば高融点金属から成ることが
できる。
場合、セラミック、石英及び高融点金属が特に適する。
したがって絞り３は、支持部として使用する（例えば）
セラミックから成る放電容器１で囲むことができ、その
際絞り３は別の材料、例えば高融点金属から成ることが
できる。
【００２４】重水素のほか他の充填ガスを使用すること
もでき、そこではピンチングしたより強力なプラズマ放
射が観察される。原理的にはすべての希ガス、及び水
素、金属蒸気（例えば水銀蒸気）と活性ガス、及びそれ
らの組み合わせが利用できる。
もでき、そこではピンチングしたより強力なプラズマ放
射が観察される。原理的にはすべての希ガス、及び水
素、金属蒸気（例えば水銀蒸気）と活性ガス、及びそれ
らの組み合わせが利用できる。
【００２５】実施の形態４．図４は、図１の放電ランプ
の変形を示し、二つの対面する出射窓６と２０を有す
る。この場合電極１２は電極１３同様の構造、すなわち
電極１２を第二の光線出射窓２０に載置し、光学軸４に
沿って光線出射ないし光線貫通のための開口２１を有す
る。軸４に沿って伸びるランプの幾何的配置によりラン
プは、最適の方法で透光ランプとして利用することを可
能にする、すなわち別のスペクトルを有する第二の光線
放出器を第一の光線放出器と同じ光学軸４上に設置し、
その光線を絞り開口５を通って導くこともでき、ランプ
を交換せずに利用可能な拡張したスペクトル領域が得ら
れる。この第二の光線放出器は、交換可能な外付けユニ
ットとして構成でき、直接第一ランプに光学的に結合す
ることもでき、第一ランプとともに二重の光線放出ユニ
ットを形成する。このようにして例えば一つの放電室
は、重水素から成る充填ガス、及びクセノンを含む別の
充填ガスから有することができ、その際スペクトルは重
なる。
の変形を示し、二つの対面する出射窓６と２０を有す
る。この場合電極１２は電極１３同様の構造、すなわち
電極１２を第二の光線出射窓２０に載置し、光学軸４に
沿って光線出射ないし光線貫通のための開口２１を有す
る。軸４に沿って伸びるランプの幾何的配置によりラン
プは、最適の方法で透光ランプとして利用することを可
能にする、すなわち別のスペクトルを有する第二の光線
放出器を第一の光線放出器と同じ光学軸４上に設置し、
その光線を絞り開口５を通って導くこともでき、ランプ
を交換せずに利用可能な拡張したスペクトル領域が得ら
れる。この第二の光線放出器は、交換可能な外付けユニ
ットとして構成でき、直接第一ランプに光学的に結合す
ることもでき、第一ランプとともに二重の光線放出ユニ
ットを形成する。このようにして例えば一つの放電室
は、重水素から成る充填ガス、及びクセノンを含む別の
充填ガスから有することができ、その際スペクトルは重
なる。
【００２６】図４の示す後方方向ないし出射窓２０によ
り放射される光は、高速フォトダイオードでも検出で
き、ランプの安定性向上のための調整研磨に使用でき
る。
り放射される光は、高速フォトダイオードでも検出で
き、ランプの安定性向上のための調整研磨に使用でき
る。
【００２７】図５では、ブロック回路図で示した電気的
制御のための回路配置が設置される。符号１で象徴的に
示すランプは、その前面側１０、１１に各一つの電極１
２、１３を有し、それらは電気的制御回路２３と方向性
結合器２４を介して高周波発生器２５により、すなわち
電極１２、１３により容量的に励起される。高周波発生
器２５は、１０〜１００ワット領域の出力のために使用
され、その際上側周波数限界が約１００ＧＨｚ、下側周
波数限界が５００Ｈｚ、特に上側周波数限界が２．４５
ＧＨｚ、下側限界が１０ＫＨｚである。方向性結合器２
４は、ベクトル電圧計２６を用いて制御回路２３を最適
化するため測定信号を脱結合するためだけに使用され
る。
制御のための回路配置が設置される。符号１で象徴的に
示すランプは、その前面側１０、１１に各一つの電極１
２、１３を有し、それらは電気的制御回路２３と方向性
結合器２４を介して高周波発生器２５により、すなわち
電極１２、１３により容量的に励起される。高周波発生
器２５は、１０〜１００ワット領域の出力のために使用
され、その際上側周波数限界が約１００ＧＨｚ、下側周
波数限界が５００Ｈｚ、特に上側周波数限界が２．４５
ＧＨｚ、下側限界が１０ＫＨｚである。方向性結合器２
４は、ベクトル電圧計２６を用いて制御回路２３を最適
化するため測定信号を脱結合するためだけに使用され
る。
【００２８】高周波により励起される放電ランプ用の高
周波発生器１６で実務上特に興味ある周波数領域は、数
ＫＨｚ（放電の消失を避けるため）から数ＧＨｚの領域
にある。高周波発生器のコストは周波数とともに上昇す
るので、今のところ上側周波数限界は約２．４５ＧＨｚ
である。より高い周波数を有する高周波発生器は高価で
あるか、または１０〜１００ワット領域の出力に関し実
務的に必要な効率では使用できないかのいずれかであ
る。励起周波数の上昇によりランプ効率の改善が得ら
れ、また連絡線を使用できるので特に無電極ランプのた
めの整合回路が簡単になる。さらにランプのリアクタン
スは、周波数上昇に応じて適当な値に変更される。（石
英壁の容量が小さいことは低周波数で大きなリアクタン
スをもたらし、きわめて大きな誘導によってのみ整合で
きる）。実務では運転は０．０１〜２４５０ＭＨｚの周
波数領域で行われ、したがって原理的には、この領域の
任意の周波数を使用できる、その場合約１３ＭＨｚの周
波数が特に適当である。この場合整合は、周知の変換回
路により行う。
周波発生器１６で実務上特に興味ある周波数領域は、数
ＫＨｚ（放電の消失を避けるため）から数ＧＨｚの領域
にある。高周波発生器のコストは周波数とともに上昇す
るので、今のところ上側周波数限界は約２．４５ＧＨｚ
である。より高い周波数を有する高周波発生器は高価で
あるか、または１０〜１００ワット領域の出力に関し実
務的に必要な効率では使用できないかのいずれかであ
る。励起周波数の上昇によりランプ効率の改善が得ら
れ、また連絡線を使用できるので特に無電極ランプのた
めの整合回路が簡単になる。さらにランプのリアクタン
スは、周波数上昇に応じて適当な値に変更される。（石
英壁の容量が小さいことは低周波数で大きなリアクタン
スをもたらし、きわめて大きな誘導によってのみ整合で
きる）。実務では運転は０．０１〜２４５０ＭＨｚの周
波数領域で行われ、したがって原理的には、この領域の
任意の周波数を使用できる、その場合約１３ＭＨｚの周
波数が特に適当である。この場合整合は、周知の変換回
路により行う。
【００２９】図６で示す、重水素を充填した本発明の放
電ランプのスペクトルは、２００〜３５０ｎｍ領域で連
続を示し、高い光線安定性により解析的測定に特に適す
る。
電ランプのスペクトルは、２００〜３５０ｎｍ領域で連
続を示し、高い光線安定性により解析的測定に特に適す
る。
【図１】 本発明の実施の形態１を示す縦方向断面図で
ある。
ある。
【図２】 本発明の実施の形態２を示す縦方向断面図で
ある。
ある。
【図３】 本発明の実施の形態３を示す図である。
【図４】 本発明の実施の形態４を示す図である。
【図５】 容量的に励起されるランプを制御するための
電気的回路配置を示す図である。
電気的回路配置を示す図である。
【図６】 本発明のランプのスペクトルを示す図であ
る。
る。
１ 放電容器 ２ 内部空間 ３ 絞り体 ４ 光学軸 ５ 絞り開口 ６、２０ 出射窓 ７ スペーサ ８ ばね １０、１１ 前面平面 １２、１３ 電極 １４、２１ 出射開口 １６ 絞り前方側 １７ 反射板 １８ 背面部分 ２３ 制御回路 ２４ 方向性結合器 ２５ 高周波発生器 ２６ ベクトル電圧計
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 アンケ・シュナプル ドイツ連邦共和国、63546 ハマースバッ ハ、ケプラーヴェーク 89 (72)発明者 ベアテ・ヘルター ドイツ連邦共和国、70563 シュツットガ ルト、オテロストラーセ 20
Claims (14)
- 【請求項１】 高周波電磁界の集群によりプラズマをそ
の放電容器内に形成しプラズマの発生する光線を放電容
器から放電容器の少なくとも紫外線を透過する領域を通
って出射し、その際プラズマの領域に耐熱材料から成る
少なくとも一つの絞り体を設置し、それがプラズマ領域
のピンチングのため少なくとも一つの開口を有する無電
極放電ランプであって、プラズマ領域に少なくとも二つ
の絞り開口（５）を一つの光学軸（４）に設置し、それ
に沿って光線が出射することを特徴とする無電極放電ラ
ンプ。 - 【請求項２】 少なくとも三つの絞り開口（５）を前後
して光学軸（４）上に設置することを特徴とする請求項
１に記載の無電極放電ランプ。 - 【請求項３】 少なくとも二つの絞り開口（５）を一体
絞り体（３）内に設置することを特徴とする請求項１ま
たは請求項２に記載の無電極放電ランプ。 - 【請求項４】 絞り体（３）と放電容器（１）を材料か
ら一体に形成し、その際放電容器（１）の少なくとも一
つの前面（１０、１１）を少なくとも紫外線を透過する
出射窓（６、２０）により覆うことを特徴とする請求項
３に記載の無電極放電ランプ。 - 【請求項５】 電磁界の容量性集群のため放電容器
（１）が光軸（４）に沿ってそれぞれ各端部に電極（１
２、１３）を有し、その際、電極（１２、１３）の少な
くとも一つが光線出射光の軸（４）内に出射窓（６、２
０）に隣接して設置する開口（２１、１４）を有するこ
とを特徴とする請求項１乃至請求項６のいずれかに記載
の無電極放電ランプ。 - 【請求項６】 放電容器（１）が出射開口（１４）を有
する前面を有し、その際出射開口の反対側の前面が少な
くともその内側に、発生した光線を反射する表面を有す
ることを特徴とする請求項１乃至請求項５のいずれかに
記載の無電極放電ランプ。 - 【請求項７】 絞り体（３）が貫通穴を有し、その際放
電容器（１）の二つの前面（１０、１１）が光学軸
（４）に沿った光線出射を電極（１２、１３）の形成す
る各一つの開口（２１、１４）により可能にし、その際
開口（２１、１４）それぞれを光線出射窓（６、２０）
が気密に密封することを特徴とする請求項１乃至請求項
６のいずれかに記載の無電極放電ランプ。 - 【請求項８】 光軸（４）を付加的光源の光軸に沿って
設置し、その際絞り開口（５）により付加的光源の光線
も導くことを特徴とする請求項７に記載の無電極放電ラ
ンプ。 - 【請求項９】 絞り開口（５）の直径が０．０１〜６ｍ
ｍの領域にあることを特徴とする請求項１乃至請求項８
のいずれかに記載の無電極放電ランプ。 - 【請求項１０】 絞り体（３）が酸化アルミニウム、窒
化アルミニウム、窒化ホウ素から成ることを特徴とする
請求項１乃至請求項９のいずれかに記載の無電極放電ラ
ンプ。 - 【請求項１１】 絞り体（３）が酸化トリウム、酸化ベ
リリウムまたは多結晶ダイヤモンドから成ることを特徴
とする請求項１乃至請求項９のいずれかに記載の無電極
放電ランプ。 - 【請求項１２】 絞り体（３）が耐熱性金属から成り、
その際電極（１２、１３）と絞り体（３）間にそれぞれ
一つの電気絶縁した構成要素を出射窓（６、２０）また
は絶縁体として設置することを特徴とする請求項１乃至
請求項９のいずれかに記載の無電極放電ランプ。 - 【請求項１３】 充填ガスとしてジューテリウムを１〜
１００ｍｂａｒの冷間充填圧により使用することを特徴
とする請求項１乃至請求項１２のいずれかに記載の無電
極放電ランプ。 - 【請求項１４】 電極（１２、１３）を５００Ｈｚ〜１
００ＧＨｚ領域の励起周波数を発生する高周波発生器
（２５）に接続することを特徴とする請求項１乃至請求
項１３のいずれかに記載の無電極放電ランプ。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE19547813A DE19547813C2 (de) | 1995-12-20 | 1995-12-20 | Elektrodenlose Entladungslampe mit Blendenkörper |
| DE19547813.4 | 1995-12-20 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09288995A true JPH09288995A (ja) | 1997-11-04 |
| JP3385170B2 JP3385170B2 (ja) | 2003-03-10 |
Family
ID=7780799
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31507196A Expired - Lifetime JP3385170B2 (ja) | 1995-12-20 | 1996-11-26 | 無電極放電ランプ |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5801495A (ja) |
| EP (1) | EP0780882B1 (ja) |
| JP (1) | JP3385170B2 (ja) |
| DE (2) | DE19547813C2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100367132B1 (ko) * | 2000-04-27 | 2003-01-09 | 준 최 | 무전극 방전 장치 |
| JP2010501991A (ja) * | 2006-08-30 | 2010-01-21 | ヘレーウス ノーブルライト ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | シャインスルー型水素ランプ |
| JP2014041755A (ja) * | 2012-08-22 | 2014-03-06 | Hamamatsu Photonics Kk | 放電ランプ及び光源装置 |
| US8969841B2 (en) | 2006-03-31 | 2015-03-03 | Energetiq Technology, Inc. | Light source for generating light from a laser sustained plasma in a above-atmospheric pressure chamber |
| US12014918B2 (en) | 2021-05-24 | 2024-06-18 | Hamamatsu Photonics K.K. | Laser-driven light source with electrodeless ignition |
Families Citing this family (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6016031A (en) * | 1997-08-11 | 2000-01-18 | Osram Sylvania Inc. | High luminance electrodeless projection lamp |
| DE19922566B4 (de) * | 1998-12-16 | 2004-11-04 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Verfahren zur Erzeugung von Ultraviolettstrahlung |
| DE19909631A1 (de) * | 1999-03-05 | 2000-09-14 | Heraeus Noblelight Gmbh | Tragbare Miniatur-Spektralsonde |
| DE20004368U1 (de) * | 2000-03-10 | 2000-10-19 | Heraeus Noblelight Gmbh | Elektrodenlose Entladungslampe |
| DE20004366U1 (de) | 2000-03-10 | 2000-10-12 | Heraeus Noblelight Gmbh | Strahlermodul zum Einsatz in ein Lampengehäuse |
| DE10256663B3 (de) * | 2002-12-04 | 2005-10-13 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Gasentladungslampe für EUV-Strahlung |
| JP4986509B2 (ja) * | 2006-06-13 | 2012-07-25 | 株式会社オーク製作所 | 紫外連続スペクトルランプおよび点灯装置 |
| US8164263B2 (en) * | 2009-04-10 | 2012-04-24 | Ushio Denki Kabushiki Kaisha | Excimer discharge lamp |
| DE102010015495B4 (de) * | 2010-04-16 | 2012-04-26 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Vorrichtung zum Erzeugen von UV-Licht |
| CN114534982B (zh) * | 2020-11-26 | 2023-03-14 | 中国科学院大连化学物理研究所 | 一种原位超声雾化试剂辅助光电离源 |
Family Cites Families (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE633760C (de) * | 1930-09-26 | 1936-08-05 | Siemens Ag | Entladungslampe, bei der die Entladung durch einen verengten Querschnitt hindurchgeht |
| US2068595A (en) * | 1935-07-31 | 1937-01-19 | Hygrade Sylvania Corp | Gaseous or vapor arc discharge lamp |
| US2298239A (en) * | 1940-07-22 | 1942-10-06 | Science Lab Inc | Light source |
| DE911870C (de) * | 1952-03-14 | 1954-05-20 | Dieter Mannesmann Dr Ing | Blitzroehre fuer Roehrenblitzgeraete |
| DE1731577U (de) * | 1953-06-18 | 1956-10-11 | Quarzlampen Gmbh | Roehrenfoermige edelgas-hochdrucklampe. |
| GB1003873A (en) * | 1963-02-14 | 1965-09-08 | Distillers Co Yeast Ltd | High frequency discharge spectral lamps |
| US3502929A (en) * | 1967-07-14 | 1970-03-24 | Varian Associates | High intensity arc lamp |
| DE2202681C2 (de) * | 1971-01-25 | 1983-09-08 | Varian Associates, Inc., 94303 Palo Alto, Calif. | Bogen-Entladungslampe |
| DE3240164A1 (de) * | 1982-10-29 | 1984-05-03 | Grün Optik Wetzlar GmbH, 6330 Wetzlar | Atomspektrallampe |
| CA1255738A (en) * | 1984-12-06 | 1989-06-13 | Radomir Lagushenko | Low pressure arc discharge tube having increased voltage |
| US4816719A (en) * | 1984-12-06 | 1989-03-28 | Gte Products Corporation | Low pressure arc discharge tube with reduced ballasting requirement |
| US4884007A (en) * | 1984-12-06 | 1989-11-28 | Gte Products Corporation | Low pressure arc discharge tube having increased voltage |
| DE4120730C2 (de) * | 1991-06-24 | 1995-11-23 | Heraeus Noblelight Gmbh | Elektrodenlose Niederdruck-Entladungslampe |
-
1995
- 1995-12-20 DE DE19547813A patent/DE19547813C2/de not_active Expired - Fee Related
-
1996
- 1996-11-02 DE DE59609799T patent/DE59609799D1/de not_active Expired - Lifetime
- 1996-11-02 EP EP96117567A patent/EP0780882B1/de not_active Expired - Lifetime
- 1996-11-26 JP JP31507196A patent/JP3385170B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 1996-12-19 US US08/769,551 patent/US5801495A/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100367132B1 (ko) * | 2000-04-27 | 2003-01-09 | 준 최 | 무전극 방전 장치 |
| US8969841B2 (en) | 2006-03-31 | 2015-03-03 | Energetiq Technology, Inc. | Light source for generating light from a laser sustained plasma in a above-atmospheric pressure chamber |
| US9048000B2 (en) | 2006-03-31 | 2015-06-02 | Energetiq Technology, Inc. | High brightness laser-driven light source |
| US9185786B2 (en) | 2006-03-31 | 2015-11-10 | Energetiq Technology, Inc. | Laser-driven light source |
| US9609732B2 (en) | 2006-03-31 | 2017-03-28 | Energetiq Technology, Inc. | Laser-driven light source for generating light from a plasma in an pressurized chamber |
| JP2010501991A (ja) * | 2006-08-30 | 2010-01-21 | ヘレーウス ノーブルライト ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | シャインスルー型水素ランプ |
| JP2014041755A (ja) * | 2012-08-22 | 2014-03-06 | Hamamatsu Photonics Kk | 放電ランプ及び光源装置 |
| US12014918B2 (en) | 2021-05-24 | 2024-06-18 | Hamamatsu Photonics K.K. | Laser-driven light source with electrodeless ignition |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE19547813C2 (de) | 1997-10-16 |
| JP3385170B2 (ja) | 2003-03-10 |
| US5801495A (en) | 1998-09-01 |
| EP0780882A2 (de) | 1997-06-25 |
| DE59609799D1 (de) | 2002-11-21 |
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