JPH09281237A - レーザ測距装置 - Google Patents

レーザ測距装置

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JPH09281237A
JPH09281237A JP9375896A JP9375896A JPH09281237A JP H09281237 A JPH09281237 A JP H09281237A JP 9375896 A JP9375896 A JP 9375896A JP 9375896 A JP9375896 A JP 9375896A JP H09281237 A JPH09281237 A JP H09281237A
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JP
Japan
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light
light receiving
amount
target object
optical system
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JP9375896A
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Inventor
Yoshihiro Asakawa
義博 浅川
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NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 距離測定の精度低下の要因となる受光波形の
飽和状態を解消する。 【解決手段】 パルスレーザ光を目標物に向けて繰り返
し発射し、目標物からの反射レーザ光を受光して、目標
物までの距離を測定するレーザ測距装置であって、反射
レーザ光を集光する集光レンズ1と、集光レンズ1の光
軸上に配設され、反射レーザ光を受光する受光器2と、
受光器2を光軸方向に移動させるステージ3と、受光器
2から入力される受信信号に基づいて、反射レーザ光の
波形レベルを検出して制御信号CTLを出力する受信波
形モニタ回路5と、受信波形モニタ回路5の出力信号に
基づいて、ステージ3を駆動するステージドライブ回路
6とから構成されている。受信波形モニタ回路5は、受
光器2の受信波形が飽和状態にあることを検出したとき
は、ステージ3を駆動して、受光器2を、受信波形が飽
和状態を脱する方向に移動させる制御信号CTLを出力
する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、パルスレーザ光
を使用して、目的物までの距離測定を行うレーザ測距装
置に関する。
【0002】
【従来の技術】パルスレーザ光を目標物に向けて発射
し、その反射光を受光して目標物までの距離を測定する
レーザ測距装置が、従来から使用されている。しかしな
がら、受光できるパルスレーザ光の光量は、目標物の反
射率、距離等に関係し、その変動範囲は100dB以上
である。一方、パルスレーザ光を受ける受光器のダイナ
ミックレンジをこのように大きく採ることは困難であ
り、そこで各種の方法が提案されている。
【0003】例えば、反射レーザ光をそのまま受光し
て、受信パルスの波形が飽和した場合は、飽和した程度
に応じた測定距離の誤差補正をして、測定精度の低下を
補う方法、装置が知られている。これによる補正処理
は、受信波形を使用して電気信号上で行っている。ま
た、別の方法として、例えば、特開平4−366785
号公報に記載されているように、パルスレベルを段階的
に変えた複数のパルスからなるレーザパルスを目標物に
向けて発射し、目標物からの反射光を受光して、この信
号を増幅した後、信号処理を行って、目標物までの距離
を測定する方法である。これは、レベルの異なる複数の
信号のうちから、目標判定のしきい値を越え、かつ、飽
和に達しない受信パルスを選んで、送信から受信パルス
のしきい値に達するまでの時間を以て、目標までの往復
時間とするものである。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前者の
従来技術では、電気回路のダイナミックレンジとの関係
から、補正できる範囲は60dB程度に限られる。した
がって、このような補正処理だけでは、十分な補正範囲
をもつ補正が困難である。また、公報記載の従来方法で
は、各レベルの大きさは測定中に自由に変更できないた
め、目標物の反射係数、距離によっては、全てがしきい
値に達しなかったり、又は全てが飽和したり、あるい
は、低レベルのものはしきい値に達しないが、高レベル
のものが飽和したりするケースもあり、測定する目標物
の変化に対応して正しい測定が出来ないという問題があ
る。また、しきい値に達するまでの時間をレーザ光の往
復時間としているため、パルスの大きさにより誤差を伴
うという問題もある。このように、従来技術では、反射
パルスレーザ光をそのまま受光しているので、受光波の
信号が飽和してしまう、という問題があった。このた
め、受光波形のピーク位置が正確に判定できないため、
距離測定の精度が劣るという、欠点があった。
【0005】この発明は、上述の事情に鑑みてなされた
もので、距離測定の精度低下をもたらす受光波形の飽和
状態を解消することのできるレーザ光距測装置を提供す
ることを目的としている。
【0006】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、請求項1記載の発明は、パルスレーザ光を目標物に
向けて繰り返し発射し、該目標物からの反射光を受光し
て、該目標物までの距離を測定するレーザ測距装置であ
って、上記反射光を集光する集光光学系と、該集光光学
系の光軸上に配設され、上記反射光を受光する受光手段
と、該受光手段の受光量又は受信波形を監視すると共
に、該監視結果に基づいて、上記受光手段を上記光軸方
向に所定量移動させる制御を行う受光モニタ手段とを備
えてなることを特徴としている。
【0007】また、請求項1記載の発明は、パルスレー
ザ光を目標物に向けて繰り返し発射し、該目標物からの
反射光を受光して、該目標物までの距離を測定するレー
ザ測距装置であって、上記反射光を集光する集光光学系
と、該集光光学系の光軸上に配設され、上記反射光を受
光する受光手段と、該受光手段の受光量又は受信波形を
監視すると共に、該監視結果に基づいて、上記受光手段
を上記光軸と直交する方向に所定量移動させる制御を行
う受光モニタ手段とを備えてなることを特徴としてい
る。
【0008】また、請求項3記載の発明は、パルスレー
ザ光を目標物に向けて繰り返し発射し、該目標物からの
反射光を受光して、該目標物までの距離を測定するレー
ザ測距装置であって、上記反射光を集光する集光光学系
と、該集光光学系の光軸上に配設され、上記反射光を受
光する受光手段と、上記集光光学系と上記受光手段との
間に介挿され、該受光手段の受光面に入射する反射光量
を制限するピンホールを備えた光量制限板と、上記受光
手段の受光量又は受信波形を監視すると共に、該監視結
果に基づいて、上記光量制限板を上記光軸方向に所定量
移動させる制御を行う受光モニタ手段とを備えてなるこ
とを特徴としている。
【0009】また、請求項4記載の発明は、パルスレー
ザ光を目標物に向けて繰り返し発射し、該目標物からの
反射光を受光して、該目標物までの距離を測定するレー
ザ測距装置であって、上記反射光を集光する集光光学系
と、該集光光学系の光軸上に配設され、上記反射光を受
光する受光手段と、上記集光光学系と上記受光手段との
間に介挿され、該受光手段の受光面に入射する反射光量
を制限するピンホールを備えた光量制限板と、上記受光
手段の受光量又は受信波形を監視すると共に、該監視結
果に基づいて、上記光量制限板を上記光軸と直交する方
向に所定量移動させる制御を行う受光モニタ手段とを備
えてなることを特徴としている。
【0010】また、請求項5記載の発明は、請求項1,
2,3又は4記載のレーザ測距装置であって、上記受光
モニタ手段が、上記受光手段の受光量又は受信波形が飽
和状態にあるか否かを監視することを特徴としている。
【0011】また、請求項6記載の発明は、請求項5記
載のレーザ測距装置であって、上記受光モニタ手段が、
上記受光手段の受光量又は受信波形が飽和状態にあるこ
とを検出したときは、上記受光手段又は光量制限板を、
上記受光量又は受信波形が飽和状態を脱する方向に移動
させる制御を行うことを特徴としている。
【0012】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して、この発明
の実施の形態について説明する。説明は、実施例を用い
て具体的に行う。 ◇第1実施例 図1は、この発明の第1実施例であるレーザ測距装置の
受光部の電気的構成を示すブロック図である。この例の
レーザ測距装置の受光部は、同図に示すように、目標物
から戻ってくる反射パルスレーザ光REFを集光する集
光レンズ1、集光された反射パルスレーザ光REFを受
光する受光器2、及び受光器2を光軸方向Xに移動させ
るステージ3からなる受光光学系4と、受光器2から入
力される受信信号DETに基づいて、反射パルスレーザ
光REFの波形レベルを検出して制御信号CTLを出力
する受信波形モニタ回路5と、この受信波形モニタ回路
5の出力信号CTLに基づいて、ステージ3を駆動する
ステージドライブ回路6とから概略構成されている。
【0013】上記構成において、図示せぬパルス送信部
から、数kHzで繰り返すパルスレーザ光を目標物に発
射すると、目標物からの反射パルスレーザ光REFが、
受光光学系4の集光レンズ1に入射し、受光器2に集光
される。受光器2に入射した光量は、電気信号である受
信信号DETに変換され、受信波形モニタ回路5に入力
される。受信波形モニタ回路5は、入力された受信信号
DETに基づいて、受信信号レベルを検出し、検出され
たレベルに応じた制御信号CTLをステージドライブ回
路6に送出する。つまり、受信波形モニタ回路5は、検
出された受信信号レベルが、飽和(後述)しているか否
か、低くなり過ぎているか否かを絶えず監視し、飽和し
ている場合には、飽和しないレベルに落ちつかせる制御
信号CTLを出力する一方、低くなり過ぎている場合に
は、適度なレベルに落ちつかせる制御信号CTLを出力
する。ステージドライブ回路6は、入力される制御信号
CTLに基づいて、駆動信号DRVをステージ3に与
え、ステージ3を駆動することで、受光器2の位置は受
光光軸上で移動し、入射する光量を増減する。そして、
受光器2には、常に、ダイナミックレンジの範囲内の反
射光量が入射するようにする。
【0014】次に、図2を参照して、この例の受光部に
採用される光量調整の原理について説明する。受光光学
系4内の集光レンズ1で集光される反射パルスレーザ光
REFが、焦点位置Foで受光器2に入射した場合、す
なわち、受光器2の受光面位置が焦点位置Foに配置さ
れている場合は、目標物からの反射パルスレーザ光RE
Fは、焦点位置Foでは、同図に示すように、近似的に
スポットSpになり、受光器2の受光面積Sdより小さ
いので、集光された反射パルスレーザ光REFは、略1
00%受光器2に入射する。次に、受光器2を集光レン
ズ1に近づける方向に移動させると、つまり、ディフォ
ーカスすると、今度は、反射パルスレーザ光REFの集
光面積Srが、受光器2の受光面積Sdより大きくな
る。したがって、この場合は、反射パルスレーザ光RE
Fの集光面積Srと受光器2の受光面積Sdの面積比に
応じた光量しか、受光器2に入射しないことになる。そ
れゆえ、受光器2をディフォーカスすることで、受光器
2に入射する光量を調整することができる。
【0015】図3は、受光器2から出力される受信信号
DETの波形を示している。受光器2により検出された
受信波形は、受光器2のダイナミックレンジを越える反
射光量が入射した場合(同図に破線で示す波形)は、受
信信号DETは、飽和レベルSLを越えるため、飽和波
形SW(同図に実線で示す波形)となり、本来レーザ光
が持つパルス波形のようなピーク位置を持たなくなる。
したがって、反射パルスレーザ光REFをそのまま受光
すると、レーザ測距装置に必要な情報である受信波形の
検出位置(ピーク位置)PKを検出することができない
ということになる。しかし、上述の光量調整方法によっ
て、受信信号DETに応じて受光器2の位置を光軸方向
X(集光レンズ1に近づく方向に)に動かすようにすれ
ば、受光器2に入射する光量を、ダイナミックレンジの
範囲内で調整することができる。これによって、受信信
号は飽和することなく、同図に示すように、飽和しない
パルス波形PWを得ることができる。逆に、微弱波形が
検出される場合には、受光器2の位置を焦点位置Foの
方向に動かすようにすれば良い。
【0016】このように、この例の構成によれば、受光
器2に入射する目標物からの反射光量を受信波形(飽和
波形SWか、ピークを持つパルス波形PWか、微弱波形
か)に応じて調整することができるため、近距離の目標
物、あるいは高反射率の目標物から、多量の反射パルス
レーザ光が入射し、集光する場合でも、受光器2のダイ
ナミックレンジ内で受信波形を取り出すことができる。
それゆえ、受光器2のダイナミックレンジ内で受信でき
る光量の範囲を増加できる。
【0017】また、受光器2に入射する光量を受光器2
のダイナミックレンジの範囲内に制御しているため、受
信波形を飽和させることなく、レーザ光の持つパルス波
形を検出することができる。したがって、検出したパル
ス波形を利用して時間測定を高精度に行うことができ
る。さらに、受信波形は、常に飽和しない状態で検出で
きるため、飽和した受信波形に応じた補正処理、あるい
は、複数レベルのレーザパルスを発生する回路及びその
後の処理回路が不要となる。したがって、装置構成が簡
易となる。
【0018】◇第2実施例 この例のレーザ測距装置の受光部は、同図に示すよう
に、目標物から戻ってくる反射パルスレーザ光REFを
集光する集光レンズ7、集光されたパルスレーザ光RE
Fを受光する受光器8、集光レンズ7と受光器8との間
に介挿され、集光レンズ7を通過して受光器8に入射す
る反射パルスレーザ光REFの受光量を制限するための
ピンホール9aを備えた光量制限板9及びこの光量制限
板9を光軸方向Xに移動させるステージ10からなる受
光光学系11と、受光器8から入力される受信信号DE
Tに基づいて、反射パルスレーザ光REFの波形レベル
を検出して制御信号CTLを出力する受信波形モニタ回
路12と、この受信波形モニタ回路12の出力信号CT
Lに基づいて、ステージ10を駆動するステージドライ
ブ回路13とから概略構成されている。
【0019】上記構成において、図示せぬパルス送信部
から、数kHzで繰り返すパルスレーザ光を目標物に発
射すると、目標物からの反射パルスレーザ光REFが、
受光光学系11の集光レンズ7に入射し、受光器8に集
光される。このとき、ピンホール9aによって、受光器
8に入射する光量が調整される。ここで、ピンホール9
aは、受光器8の受光面積Sdと略同等の開口径を持
ち、このピンホール9aを備える光量制限板9は、ステ
ージ10に取り付けられて受光光学系11内を受光光軸
上で光軸と平行に移動する。すなわち、受光器8に入射
した光量は、電気信号である受信信号DETに変換さ
れ、受信波形モニタ回路12に入力される。受信波形モ
ニタ回路12は、入力された受信信号DETに基づい
て、受信信号レベルを検出し、検出されたレベルに応じ
た制御信号CTLをステージドライブ回路13に送出す
る。ステージドライブ回路13は、入力される制御信号
CTLに基づいて、駆動信号DRVをステージ10に与
え、ステージ10を駆動することで、ピンホール9aの
位置を移動させる。
【0020】それゆえ、この第2実施例の構成によれ
ば、ピンホール9aの開口面積Saとピンホール9aが
移動した位置での反射パルスレーザ光REFの集光面積
Sbとの比(Sa/Sb)に応じて、受光器8に入射す
る光量を調整できる。例えば、受光光学系11の集光レ
ンズ7の有効径が50mm、受光器8の有効径(又はピ
ンホール9aの有効径)が0.5mmの場合、光量の増
減は面積比(Sa/Sb=1/104)に比例するた
め、受光光量の調整を80dBの範囲で行うことができ
る。これは、受光器8のダイナミックレンジを80db
に増加させたことに相当する。
【0021】◇第3実施例 図5は、この発明の第3実施例であるレーザ測距装置の
受光部の電気的構成を示すブロック図である。この例の
レーザ測距装置の受光部は、同図に示すように、目標物
から戻ってくる反射パルスレーザ光REFを集光する集
光レンズ14、集光されたパルスレーザ光REFを受光
する受光器15、集光レンズ14と受光器15との間に
介挿され、集光レンズ14を通過して受光器15に入射
する反射パルスレーザ光REFの光量を制限するピンホ
ール16aを備えた光量制限板16及びこの光量制限板
16を光軸方向Xと直交する方向Yに移動させるアクチ
ュエータ17からなる受光光学系18と、受光器15か
ら入力される受信信号DETに基づいて反射パルスレー
ザ光REFの波形レベルを検出して制御信号CTLを出
力する受信波形モニタ回路19と、この受信波形モニタ
回路19の出力信号CTLに基づいて、アクチュエータ
17を駆動するアクチュエータドライブ回路20とから
概略構成されている。
【0022】上記構成において、図示せぬパルス送信部
から、数kHzで繰り返すパルスレーザ光を目標物に発
射すると、目標物からの反射パルスレーザ光REFが、
受光光学系18の集光レンズ14に入射し、受光器15
に集光される。このとき、ピンホール16aによって、
受光器15に入射する光量が調整される。このピンホー
ル16aを備える光量制限板16は、アクチュエータ1
7に取り付けられて、受光光学系18内を光軸方向Xと
直交する方向Yに移動する。すなわち、受光器15に入
射した光量は、電気信号である受信信号DETに変換さ
れ、受信波形モニタ回路19に入力される。受信波形モ
ニタ回路19は、入力された受信信号DETに基づい
て、受信信号レベルを検出し、検出されたレベルに応じ
た制御信号CTLをアクチュエータドライブ回路20に
送出する。アクチュエータドライブ回路20は、入力さ
れる制御信号CTLに基づいて、駆動信号ADRVをア
クチュエータ17に与え、アクチュエータ17を駆動す
ることで、ピンホール16aの位置を光軸方向Xと直交
する方向Yに移動させる。
【0023】次に、図6を参照して、この例の受光部に
採用される光量調整の原理について説明する。同図
(b)に示すように、ピンホール16aの開口面積Sh
と、ピンホール16aが配置された位置での反射パルス
レーザ光REFの集光面積Srとの重なりの比率によっ
て通過する光量を調整できる。すなわち、同図(a)に
示すように、ピンホール16a内に集光面積Srがある
場合は、反射パルスレーザ光REFは100%通過す
る。また、アクチュエータ17によってピンホール16
aの位置を、同図(b)に示すように、光軸に対して直
角方向Yに移動させた場合は、ピンホール16aの開口
面積Shと、反射パルスレーザ光REFの集光面積Sr
の重なっている部分のみ反射パルスレーザ光REFが、
通過することになる。それゆえ、この第3実施例の構成
によっても、第1実施例及び第2実施例において述べた
と略同様の効果を得ることができる。
【0024】以上、この発明の実施例を図面により詳述
してきたが、具体的な構成はこの実施例に限られるもの
ではなく、この発明の要旨を逸脱しない範囲の設計の変
更等があってもこの発明に含まれる。例えば、ピンホー
ル9a,16aの形状は、真円に限定されない。また、
受信波形モニタ回路5,12,19は、ハードウェア構
成に限らず、ソフトウェア構成でも良く、ハードウェア
とソフトウェアとの混成でも良い。また、上述の第1実
施例においては、受信波形モニタ回路5の監視結果に基
づいて、受光器2を光軸方向Xに所定量移動させる制御
を行うようにした場合について述べたが、これに限ら
ず、例えば、受光器2を光軸と直交する方向Yに移動さ
せるようにしても良い。
【0025】
【発明の効果】以上説明したように、この発明の構成に
よれば、受光手段に入射する目標物からの反射光量を受
光量又は受信波形(飽和波形か、ピークを持つパルス波
形か、微弱波形か)に応じて調整することができるた
め、近距離の目標物、あるいは高反射率の目標物から、
多量の反射光が入射し、集光する場合でも、受光手段の
ダイナミックレンジ内で受信波形を取り出すことができ
る。それゆえ、受光手段のダイナミックレンジ内で受信
できる光量の範囲を増加できる。
【0026】また、常に、ピークを持つパルス波形を検
出できるので、検出したパルス波形を利用して時間測定
を高精度に行うことができる。さらに、受信波形は、常
に飽和しない状態で検出できるため、飽和した受信波形
に応じた補正処理、あるいは、複数レベルのレーザパル
スを発生する回路及びその後の処理回路が不要となる。
したがって、装置構成が簡易となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の第1実施例であるレーザ測距装置の
受光部の電気的構成を示すブロック図である。
【図2】同実施例の動作を説明するための図、具体的に
は、同装置に採用される光量調整の原理を説明するため
の図である。
【図3】同実施例の動作を説明するための図、具体的に
は、同装置の受光器から出力される受信波形を示す波形
図である。
【図4】この発明の第2実施例であるレーザ測距装置の
受光部の電気的構成を示すブロック図である。
【図5】この発明の第3実施例であるレーザ測距装置の
受光部の電気的構成を示すブロック図である。
【図6】同実施例の動作を説明するための図、具体的に
は、同装置に採用される光量調整の原理を説明するため
の図である。
【符号の説明】
1,7,14 集光レンズ 2,8,15 受光器(受光手段) 3,10 ステージ 4,11,18 受光光学系 5,12,19 受信波形モニタ回路 6,13,20 ステージドライブ回路 9,16 光量制限板 9a,16a ピンホール 17 アクチュエータ 20 アクチュエータドライブ回路 REF 反射光(パルスレーザ光) DET 受信信号 CTL 制御信号 DRV 駆動信号 Fo 焦点位置 Sr 反射光の集光面積 Sd 受光器の受光面積 SL 飽和レベル PK 受信波形の検出位置(ピーク位置) SW 受信波形の飽和波形 PW 受信波形のパルス波形

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 パルスレーザ光を目標物に向けて繰り返
    し発射し、該目標物からの反射光を受光して、該目標物
    までの距離を測定するレーザ測距装置において、前記反
    射光を集光する集光光学系と、該集光光学系の光軸上に
    配設され、前記反射光を受光する受光手段と、該受光手
    段の受光量又は受信波形を監視すると共に、該監視結果
    に基づいて、前記受光手段を前記光軸方向に所定量移動
    させる制御を行う受光モニタ手段とを備えてなることを
    特徴とするレーザ測距装置。
  2. 【請求項2】 パルスレーザ光を目標物に向けて繰り返
    し発射し、該目標物からの反射光を受光して、該目標物
    までの距離を測定するレーザ測距装置において、前記反
    射光を集光する集光光学系と、該集光光学系の光軸上に
    配設され、前記反射光を受光する受光手段と、該受光手
    段の受光量又は受信波形を監視すると共に、該監視結果
    に基づいて、前記受光手段を前記光軸と直交する方向に
    所定量移動させる制御を行う受光モニタ手段とを備えて
    なることを特徴とするレーザ測距装置。
  3. 【請求項3】 パルスレーザ光を目標物に向けて繰り返
    し発射し、該目標物からの反射光を受光して、該目標物
    までの距離を測定するレーザ測距装置において、前記反
    射光を集光する集光光学系と、該集光光学系の光軸上に
    配設され、前記反射光を受光する受光手段と、前記集光
    光学系と前記受光手段との間に介挿され、該受光手段の
    受光面に入射する反射光量を制限するピンホールを備え
    た光量制限板と、前記受光手段の受光量又は受信波形を
    監視すると共に、該監視結果に基づいて、前記光量制限
    板を前記光軸方向に所定量移動させる制御を行う受光モ
    ニタ手段とを備えてなることを特徴とするレーザ測距装
    置。
  4. 【請求項4】 パルスレーザ光を目標物に向けて繰り返
    し発射し、該目標物からの反射光を受光して、該目標物
    までの距離を測定するレーザ測距装置において、前記反
    射光を集光する集光光学系と、該集光光学系の光軸上に
    配設され、前記反射光を受光する受光手段と、前記集光
    光学系と前記受光手段との間に介挿され、該受光手段の
    受光面に入射する反射光量を制限するピンホールを備え
    た光量制限板と、前記受光手段の受光量又は受信波形を
    監視すると共に、該監視結果に基づいて、前記光量制限
    板を前記光軸と直交する方向に所定量移動させる制御を
    行う受光モニタ手段とを備えてなることを特徴とするレ
    ーザ測距装置。
  5. 【請求項5】 前記受光モニタ手段は、前記受光手段の
    受光量又は受信波形が飽和状態にあるか否かを監視する
    ことを特徴とする請求項1,2,3又は4記載のレーザ
    測距装置。
  6. 【請求項6】 前記受光モニタ手段は、前記受光手段の
    受光量又は受信波形が飽和状態にあることを検出したと
    きは、前記受光手段又は光量制限板を、前記受光量又は
    受信波形が飽和状態を脱する方向に移動させる制御を行
    うことを特徴とする請求項5記載のレーザ測距装置。
JP9375896A 1996-04-16 1996-04-16 レーザ測距装置 Pending JPH09281237A (ja)

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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008275331A (ja) * 2007-04-25 2008-11-13 Ihi Corp レーザレーダ装置とその測距方法
JP2009229458A (ja) * 2008-03-19 2009-10-08 Vorwerk & Co Interholding Gmbh センサーユニットを備え自立走行可能な床用集塵装置及び対象
JP2011511280A (ja) * 2008-02-01 2011-04-07 ファロ テクノロジーズ インコーポレーテッド 対物距離計測装置
JP2019078682A (ja) * 2017-10-26 2019-05-23 日本電気株式会社 レーザ測距装置、レーザ測距方法および位置調整プログラム

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