JP2003232610A - 微小変位の測定方法 - Google Patents
微小変位の測定方法Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】測定対象物に対して投光側で照射位置を制御す
るようにし、受光側では反射光の有無のみを判断して微
小変位量を精度高く測定するようにした微小変位の測定
方法を提供すること。 【解決手段】レーザダイオード１から放出されたレーザ
光を投光用集光レンズ２により目的の極小スポットサイ
ズに集光し、光学ミラーなどでなる照射位置制御手段３
を介して測定対象物Ｏｂに照射し、測定対象物に照射さ
れたレーザ光の正反射光成分および拡散反射光成分を受
光用集光レンズ５によりホトダイオード４の受光面に集
光し、受光手段側における正反射光成分および拡散反射
光成分の有無を判定し、照射位置制御手段によって測定
対象物に対するレーザスポットの照射位置を制御するこ
とにより測定対象物の位置を測定するようにした微小変
位の測定方法。
るようにし、受光側では反射光の有無のみを判断して微
小変位量を精度高く測定するようにした微小変位の測定
方法を提供すること。 【解決手段】レーザダイオード１から放出されたレーザ
光を投光用集光レンズ２により目的の極小スポットサイ
ズに集光し、光学ミラーなどでなる照射位置制御手段３
を介して測定対象物Ｏｂに照射し、測定対象物に照射さ
れたレーザ光の正反射光成分および拡散反射光成分を受
光用集光レンズ５によりホトダイオード４の受光面に集
光し、受光手段側における正反射光成分および拡散反射
光成分の有無を判定し、照射位置制御手段によって測定
対象物に対するレーザスポットの照射位置を制御するこ
とにより測定対象物の位置を測定するようにした微小変
位の測定方法。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、投光手段と受光
手段とによって、測定対象物の変位量を測定する測定方
法に関するものであって、特に、測定対象物に対して投
光側で照射位置を制御するようにし、受光側では反射光
の有無のみを判断して、微小変位量を精度高く測定する
ようにした微小変位の測定方法に関するものである。
手段とによって、測定対象物の変位量を測定する測定方
法に関するものであって、特に、測定対象物に対して投
光側で照射位置を制御するようにし、受光側では反射光
の有無のみを判断して、微小変位量を精度高く測定する
ようにした微小変位の測定方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、光学系による微小金属片の整列状
態の測定は、ＣＣＤカメラによる画像処理装置、あるい
は、レーザ光による三角測量を応用したレーザ変位測定
器などによって行なわれている。しかしながら、上記す
るＣＣＤカメラによる画像処理装置の場合は、透過光の
回析の問題、さらには、照度安定性の問題などが指摘さ
れており、レーザ変位測定器による場合は、測定対象物
の材質や、その表面状態による反射光の乱れなどが問題
となり正確な測定という点に関して困難を強いられてい
た。
態の測定は、ＣＣＤカメラによる画像処理装置、あるい
は、レーザ光による三角測量を応用したレーザ変位測定
器などによって行なわれている。しかしながら、上記す
るＣＣＤカメラによる画像処理装置の場合は、透過光の
回析の問題、さらには、照度安定性の問題などが指摘さ
れており、レーザ変位測定器による場合は、測定対象物
の材質や、その表面状態による反射光の乱れなどが問題
となり正確な測定という点に関して困難を強いられてい
た。
【０００３】上記する光学系による微小金属片の整列状
態の測定についての従来例を図２に示す。図２に示す従
来例は、レーザ光による三角測量法を応用したレーザ変
位測定器の具体的な構成例である。一方、 図３は、反
射光の乱れによる測定誤差に関する説明のための概略図
であり、図３Ａは、理想的な拡散反射分布の状況下にお
ける受光スポットの重心位置の関係を示す説明図、図３
Ｂは、乱れた拡散反射分布の状況下（１）における受光
スポットの重心位置の関係を示す説明図、図３Ｃは、乱
れた拡散反射分布の状況下（２）における受光スポット
の重心位置の関係を示す説明図である。
態の測定についての従来例を図２に示す。図２に示す従
来例は、レーザ光による三角測量法を応用したレーザ変
位測定器の具体的な構成例である。一方、 図３は、反
射光の乱れによる測定誤差に関する説明のための概略図
であり、図３Ａは、理想的な拡散反射分布の状況下にお
ける受光スポットの重心位置の関係を示す説明図、図３
Ｂは、乱れた拡散反射分布の状況下（１）における受光
スポットの重心位置の関係を示す説明図、図３Ｃは、乱
れた拡散反射分布の状況下（２）における受光スポット
の重心位置の関係を示す説明図である。
【０００４】先ず、図２に示す従来例になるレーザ光に
よる三角測量法を応用したレーザ変位測定器の測定原理
について説明する。このレーザ変位測定器Ｍ１は、投光
手段としてのレーザダイオード２１並びに投光用集光レ
ンズ２２と、受光手段としての光位置検出素子２４並び
に受光用集光レンズ２５とを内蔵する光電変換式センサ
ーである。このレーザ変位測定器Ｍ１による三角測量法
の原理は、レーザ照射光の中心線２６に対するレンズ中
心の垂線２７の長さＬが固定であるから、光位置検出素
子２４上の受光スポットの重心位置により入射角度が検
出され、測定対象物Ｏｂの距離ｌｘが算出される。
よる三角測量法を応用したレーザ変位測定器の測定原理
について説明する。このレーザ変位測定器Ｍ１は、投光
手段としてのレーザダイオード２１並びに投光用集光レ
ンズ２２と、受光手段としての光位置検出素子２４並び
に受光用集光レンズ２５とを内蔵する光電変換式センサ
ーである。このレーザ変位測定器Ｍ１による三角測量法
の原理は、レーザ照射光の中心線２６に対するレンズ中
心の垂線２７の長さＬが固定であるから、光位置検出素
子２４上の受光スポットの重心位置により入射角度が検
出され、測定対象物Ｏｂの距離ｌｘが算出される。
【０００５】上記する従来のレーザ変位測定器Ｍ１によ
る三角測量法は、受光位置並びに受光光量をあくまでも
受光側において判断する構成のものであるので、図３に
示すように、拡散反射光の乱れにより同じ位置の測定で
あっても受光スポットの重心位置が異なり測定誤差を生
じるという問題を有している。また、測定対象物Ｏｂに
レーザ照射光の一部が照射された場合や表面がの凹凸に
よっても同様な誤差が生じる。
る三角測量法は、受光位置並びに受光光量をあくまでも
受光側において判断する構成のものであるので、図３に
示すように、拡散反射光の乱れにより同じ位置の測定で
あっても受光スポットの重心位置が異なり測定誤差を生
じるという問題を有している。また、測定対象物Ｏｂに
レーザ照射光の一部が照射された場合や表面がの凹凸に
よっても同様な誤差が生じる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】そこで、この発明は、
レーザ光の極小スポットを微小金属片などの測定対象物
に照射して、その正反射光成分及び拡散反射光成分を局
所的に観測することで、受光光量を測定するのではな
く、正反射光成分および拡散反射光成分の有無を判定
し、測定対象物に対するレーザ光の極小スポットの照射
位置を制御することにより測定対象物の位置を高精度で
測定する微小変位の測定方法を提供しようとするもので
ある。
レーザ光の極小スポットを微小金属片などの測定対象物
に照射して、その正反射光成分及び拡散反射光成分を局
所的に観測することで、受光光量を測定するのではな
く、正反射光成分および拡散反射光成分の有無を判定
し、測定対象物に対するレーザ光の極小スポットの照射
位置を制御することにより測定対象物の位置を高精度で
測定する微小変位の測定方法を提供しようとするもので
ある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】この発明は、上記する目
的を達成するにあたって、具体的には、レーザ光源体か
らのレーザ光の極小スポットを、照射位置制御手段を介
して測定対象物に照射し、その正反射光成分および拡散
反射光成分を局所的に観測することで、受光手段側にお
ける正反射光成分および拡散反射光成分の有無を判定
し、前記照射位置制御手段によって測定対象物に対する
レーザスポットの照射位置を制御することにより前記測
定対象物の位置を測定するようにした微小変位の測定方
法を構成するものである。
的を達成するにあたって、具体的には、レーザ光源体か
らのレーザ光の極小スポットを、照射位置制御手段を介
して測定対象物に照射し、その正反射光成分および拡散
反射光成分を局所的に観測することで、受光手段側にお
ける正反射光成分および拡散反射光成分の有無を判定
し、前記照射位置制御手段によって測定対象物に対する
レーザスポットの照射位置を制御することにより前記測
定対象物の位置を測定するようにした微小変位の測定方
法を構成するものである。
【０００８】さらにまた、この発明は、レーザダイオー
ドから放出されたレーザ光を投光用集光レンズにより目
的の極小スポットサイズに集光し、光学ミラーなどでな
る照射位置制御手段を介して測定対象物に照射し、前記
測定対象物に照射されたレーザ光の正反射光成分および
拡散反射光成分を受光用集光レンズによりホトダイオー
ドの受光面に集光し、受光手段側における正反射光成分
および拡散反射光成分を判定し、前記照射位置制御手段
によって測定対象物に対するレーザスポットの照射位置
を制御することにより前記測定対象物の位置を測定する
ようにした微小変位の測定方法を構成するものである。
ドから放出されたレーザ光を投光用集光レンズにより目
的の極小スポットサイズに集光し、光学ミラーなどでな
る照射位置制御手段を介して測定対象物に照射し、前記
測定対象物に照射されたレーザ光の正反射光成分および
拡散反射光成分を受光用集光レンズによりホトダイオー
ドの受光面に集光し、受光手段側における正反射光成分
および拡散反射光成分を判定し、前記照射位置制御手段
によって測定対象物に対するレーザスポットの照射位置
を制御することにより前記測定対象物の位置を測定する
ようにした微小変位の測定方法を構成するものである。
【０００９】さらにまた、この発明は、前記測定対象物
に照射するレーザ光に対して高速変調をかけ、この高速
変調周期と同期をとって正反射光成分および拡散反射光
成分の受光を判定するようになした微小変位の測定方法
を構成するものである。
に照射するレーザ光に対して高速変調をかけ、この高速
変調周期と同期をとって正反射光成分および拡散反射光
成分の受光を判定するようになした微小変位の測定方法
を構成するものである。
【００１０】さらにまた、この発明は、前記測定対象物
に照射されるレーザ光の極小スポットの直径サイズｄに
よって、測定精度ｄの変位量を測定するようにした微小
変位の測定方法を構成するものである。
に照射されるレーザ光の極小スポットの直径サイズｄに
よって、測定精度ｄの変位量を測定するようにした微小
変位の測定方法を構成するものである。
【００１１】さらにまた、この発明は、前記測定対象物
に対するレーザスポットのずれ（照射距離の変化）によ
るスポットサイズの変化が測定に影響を及ぼさないよう
に、ビームウェストサイズ及び長さを決定する集光角度
を調整するようにした微小変位の測定方法を構成するも
のである。
に対するレーザスポットのずれ（照射距離の変化）によ
るスポットサイズの変化が測定に影響を及ぼさないよう
に、ビームウェストサイズ及び長さを決定する集光角度
を調整するようにした微小変位の測定方法を構成するも
のである。
【００１２】さらにまた、この発明は、前記受光手段
が、前記測定対象物のレーザ照射点付近の反射光のみを
集光するように焦点設定してなる微小変位の測定方法を
構成するものである。
が、前記測定対象物のレーザ照射点付近の反射光のみを
集光するように焦点設定してなる微小変位の測定方法を
構成するものである。
【００１３】
【発明の実施の形態】以下、この発明になる微小変位の
測定方法について、図面に示す具体的な実施例にもとづ
いて詳細に説明する。図１は、この発明にかかる微小変
位の測定方法についての適用例を示すものであって、例
えば、 各種コネクタにおけるピン端子の反り測定に応
用した実施例装置の概略的構成図である。
測定方法について、図面に示す具体的な実施例にもとづ
いて詳細に説明する。図１は、この発明にかかる微小変
位の測定方法についての適用例を示すものであって、例
えば、 各種コネクタにおけるピン端子の反り測定に応
用した実施例装置の概略的構成図である。
【００１４】図１に示すレーザ変位測定器Ｍは、投光手
段としてのレーザダイオード１並びに投光用集光レンズ
２と、受光手段としてのホトダイオード４並びに受光用
集光レンズ５とを含むものからなり、且つ、測定対象物
Ｏｂに対する投光側に設けた照射位置制御手段３を含む
ものからなっている。図１に示す実施例において、前記
照射位置制御手段３は、光学ミラーによって構成されて
おり、当該光学ミラーの角度をレーザ照射光の中心線６
に対して変位することによりレーザスポットを前記測定
対象物Ｏｂに対して変位させることができるようになっ
ている。
段としてのレーザダイオード１並びに投光用集光レンズ
２と、受光手段としてのホトダイオード４並びに受光用
集光レンズ５とを含むものからなり、且つ、測定対象物
Ｏｂに対する投光側に設けた照射位置制御手段３を含む
ものからなっている。図１に示す実施例において、前記
照射位置制御手段３は、光学ミラーによって構成されて
おり、当該光学ミラーの角度をレーザ照射光の中心線６
に対して変位することによりレーザスポットを前記測定
対象物Ｏｂに対して変位させることができるようになっ
ている。
【００１５】このレーザ変位測定器Ｍは、レーザダイオ
ード１より放出されたレーザ光を投光用集光レンズ２に
より目的の極小スポットサイズに集光する。この時、測
定対象物Ｏｂの左右方向のずれ（照射距離の変化）によ
るスポットサイズの変化が測定に影響を及ぼさないよう
に、ビームウェストサイズ及び長さを決定する集光角度
を調整するようになっている。投光用集光レンズ２によ
り目的の極小スポットサイズに集光されたレーザ光は、
光学ミラーなどでなる照射位置制御手段３を介して測定
対象物Ｏｂに照射される。この時、集光レーザ光は、前
記照射位置制御手段３により、測定対象物Ｏｂに対する
照射位置が制御される。
ード１より放出されたレーザ光を投光用集光レンズ２に
より目的の極小スポットサイズに集光する。この時、測
定対象物Ｏｂの左右方向のずれ（照射距離の変化）によ
るスポットサイズの変化が測定に影響を及ぼさないよう
に、ビームウェストサイズ及び長さを決定する集光角度
を調整するようになっている。投光用集光レンズ２によ
り目的の極小スポットサイズに集光されたレーザ光は、
光学ミラーなどでなる照射位置制御手段３を介して測定
対象物Ｏｂに照射される。この時、集光レーザ光は、前
記照射位置制御手段３により、測定対象物Ｏｂに対する
照射位置が制御される。
【００１６】前記測定対象物Ｏｂに照射された集光レー
ザ光は、前記測定対象物Ｏｂにおいて反射し、前記受光
用集光レンズ５により照射された集光レーザ光の拡散反
射光の一部を前記ホトダイオード４の受光面に集光す
る。この時、前記測定対象物Ｏｂのレーザ照射点付近の
反射光のみを集光するように焦点を設定する。この発明
では、照射するレーザ光には、高速変調をかけ、この高
速変調周期と同期をとって正反射光成分および拡散反射
光成分の受光を判定する。
ザ光は、前記測定対象物Ｏｂにおいて反射し、前記受光
用集光レンズ５により照射された集光レーザ光の拡散反
射光の一部を前記ホトダイオード４の受光面に集光す
る。この時、前記測定対象物Ｏｂのレーザ照射点付近の
反射光のみを集光するように焦点を設定する。この発明
では、照射するレーザ光には、高速変調をかけ、この高
速変調周期と同期をとって正反射光成分および拡散反射
光成分の受光を判定する。
【００１７】この発明では、例えば、１／１００ｍｍの
精度で変位量を測定する場合、直径１／１００ｍｍのレ
ーザ光のスポットを測定対象物Ｏｂに照射し、その正反
射光成分及び拡散反射光成分を検出した時、その位置に
測定対象物Ｏｂが有ると判断する。次に、現在照射して
いる位置から１／１００ｍｍ離れた位置へ照射スポット
を移動し、その位置に正反射光成分及び拡散反射光成分
の有無を判断する。この操作を１０回繰り返し、測定対
象物Ｏｂ有りの判断から測定対象物Ｏｂ無しの判断に変
わった時、 この測定対象物Ｏｂの端面が最初にレーザ
光のスポットを照射した位置から１０／１００ｍｍ（１
／１０ｍｍ）離れた位置にあるものと判断することがで
きる。
精度で変位量を測定する場合、直径１／１００ｍｍのレ
ーザ光のスポットを測定対象物Ｏｂに照射し、その正反
射光成分及び拡散反射光成分を検出した時、その位置に
測定対象物Ｏｂが有ると判断する。次に、現在照射して
いる位置から１／１００ｍｍ離れた位置へ照射スポット
を移動し、その位置に正反射光成分及び拡散反射光成分
の有無を判断する。この操作を１０回繰り返し、測定対
象物Ｏｂ有りの判断から測定対象物Ｏｂ無しの判断に変
わった時、 この測定対象物Ｏｂの端面が最初にレーザ
光のスポットを照射した位置から１０／１００ｍｍ（１
／１０ｍｍ）離れた位置にあるものと判断することがで
きる。
【００１８】さらに、５／１０００ｍｍの精度が必要な
場合には、直径５／１０００ｍｍのレーザ光のスポット
を測定対象物Ｏｂに照射し、５／１０００ｍｍずつ移動
していく。照射するレーザ光は、平行ビームが理想であ
るが、測定仕様によっては照射ポイント付近のみの擬似
平行ビームも使用可能である。
場合には、直径５／１０００ｍｍのレーザ光のスポット
を測定対象物Ｏｂに照射し、５／１０００ｍｍずつ移動
していく。照射するレーザ光は、平行ビームが理想であ
るが、測定仕様によっては照射ポイント付近のみの擬似
平行ビームも使用可能である。
【００１９】
【発明の効果】以上の構成になるこの発明の微小変位の
測定方法は、投光側で測定対象物Ｏｂに対する照射位置
を制御し、受光側では受光位置や受光光量を無視し反射
光の有無のみを判断するようにしたことにより、透過光
の回析による受光位置ずれのための測定誤差、照明光源
の光量変化による照度不安定のための測定誤差、屋内照
明や太陽光の変化 (外来光）による照度不安定のための
測定誤差、測定対象物の材質の違いによる反射光の変化
のための測定誤差、測定対象物の表面処理の違いによる
反射光の変化のための測定誤差、測定対象物の腐食の違
いによる反射光の変化のための測定誤差、測定対象物の
酸化の違いによる反射光の変化のための測定誤差、測定
対象物の凹凸の違いによる反射光の変化のための測定誤
差、測定対象物の付着物の違いによる反射光の変化のた
めの測定誤差、測定対象物に照射光の一部が照射された
ことによる反射光の変化のための測定誤差などの全てを
防止することができる。
測定方法は、投光側で測定対象物Ｏｂに対する照射位置
を制御し、受光側では受光位置や受光光量を無視し反射
光の有無のみを判断するようにしたことにより、透過光
の回析による受光位置ずれのための測定誤差、照明光源
の光量変化による照度不安定のための測定誤差、屋内照
明や太陽光の変化 (外来光）による照度不安定のための
測定誤差、測定対象物の材質の違いによる反射光の変化
のための測定誤差、測定対象物の表面処理の違いによる
反射光の変化のための測定誤差、測定対象物の腐食の違
いによる反射光の変化のための測定誤差、測定対象物の
酸化の違いによる反射光の変化のための測定誤差、測定
対象物の凹凸の違いによる反射光の変化のための測定誤
差、測定対象物の付着物の違いによる反射光の変化のた
めの測定誤差、測定対象物に照射光の一部が照射された
ことによる反射光の変化のための測定誤差などの全てを
防止することができる。
【図１】図１は、この発明にかかる微小変位の測定方法
についての適用例を示すものであって、例えば、 各種
コネクタにおけるピン端子の反り測定に応用した実施例
装置の概略的構成図である。
についての適用例を示すものであって、例えば、 各種
コネクタにおけるピン端子の反り測定に応用した実施例
装置の概略的構成図である。
【図２】図２は、光学系による微小金属片の整列状態の
測定についての従来例であって、レーザ光による三角測
量法を応用したレーザ変位測定器の具体的な構成例であ
る。
測定についての従来例であって、レーザ光による三角測
量法を応用したレーザ変位測定器の具体的な構成例であ
る。
【図３】図３は、反射光の乱れによる測定誤差に関する
説明のための概略図であり、図３Ａは、理想的な拡散反
射分布の状況下における受光スポットの重心位置の関係
を示す説明図、図３Ｂは、乱れた拡散反射分布の状況下
（１）における受光スポットの重心位置の関係を示す説
明図、図３Ｃは、乱れた拡散反射分布の状況下（２）に
おける受光スポットの重心位置の関係を示す説明図であ
る。
説明のための概略図であり、図３Ａは、理想的な拡散反
射分布の状況下における受光スポットの重心位置の関係
を示す説明図、図３Ｂは、乱れた拡散反射分布の状況下
（１）における受光スポットの重心位置の関係を示す説
明図、図３Ｃは、乱れた拡散反射分布の状況下（２）に
おける受光スポットの重心位置の関係を示す説明図であ
る。
Ｍ レーザ変位測定器
１ レーザダイオード
２ 投光用集光レンズ
３ 照射位置制御手段
４ ホトダイオード
５ 受光用集光レンズ
６ レーザ照射光の中心線
Ｏｂ 測定対象物
Claims (6)
- 【請求項１】 レーザ光源体からのレーザ光の極小スポ
ットを、照射位置制御手段を介して測定対象物に照射
し、その正反射光成分および拡散反射光成分を局所的に
観測することで、受光手段側における正反射光成分およ
び拡散反射光成分の有無を判定し、前記照射位置制御手
段によって測定対象物に対するレーザスポットの照射位
置を制御することにより前記測定対象物の位置を測定す
るようにしたことを特徴とする微小変位の測定方法。 - 【請求項２】 レーザダイオードから放出されたレーザ
光を投光用集光レンズにより目的の極小スポットサイズ
に集光し、光学ミラーなどでなる照射位置制御手段を介
して測定対象物に照射し、前記測定対象物に照射された
レーザ光の正反射光成分および拡散反射光成分を受光用
集光レンズによりホトダイオードの受光面に集光し、受
光手段側における正反射光成分および拡散反射光成分の
有無を判定し、前記照射位置制御手段によって測定対象
物に対するレーザスポットの照射位置を制御することに
より前記測定対象物の位置を測定するようにしたことを
特徴とする微小変位の測定方法。 - 【請求項３】 前記測定対象物に照射するレーザ光に対
して高速変調をかけ、この高速変調周期と同期をとって
正反射光成分および拡散反射光成分の受光を判定するよ
うになしたことを特徴とする請求項１あるいは請求項２
に記載の微小変位の測定方法。 - 【請求項４】 前記測定対象物に照射されるレーザ光の
極小スポットの直径サイズｄによって、測定精度ｄの変
位量を測定するようにしたことを特徴とする請求項１〜
請求項３のいずれかに記載の微小変位の測定方法。 - 【請求項５】 前記測定対象物に対するレーザスポット
のずれ（照射距離の変化）によるスポットサイズの変化
が測定に影響を及ぼさないように、ビームウェストサイ
ズ及び長さを決定する集光角度を調整するようにしたこ
とを特徴とする請求項１〜請求項４のいずれかに記載の
微小変位の測定方法。 - 【請求項６】 前記受光手段が、前記測定対象物のレー
ザ照射点付近の反射光のみを集光するように焦点設定し
てなることを特徴とする請求項１〜請求項５のいずれか
に記載の微小変位の測定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002029517A JP2003232610A (ja) | 2002-02-06 | 2002-02-06 | 微小変位の測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002029517A JP2003232610A (ja) | 2002-02-06 | 2002-02-06 | 微小変位の測定方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003232610A true JP2003232610A (ja) | 2003-08-22 |
Family
ID=27773716
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002029517A Pending JP2003232610A (ja) | 2002-02-06 | 2002-02-06 | 微小変位の測定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003232610A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008516229A (ja) * | 2004-10-06 | 2008-05-15 | ルドルフテクノロジーズ インコーポレイテッド | 光学計測システムを使用した誘電体薄膜の弾性係数の測定 |
| JP2013057670A (ja) * | 2005-03-30 | 2013-03-28 | Nikon Corp | 位置検出方法、及び位置検出装置 |
| CN104296652A (zh) * | 2014-02-27 | 2015-01-21 | 上海大学 | 一种基于离散式旋转三角法的光学测头 |
| CN109458934A (zh) * | 2018-07-04 | 2019-03-12 | 重庆大学 | 一种光学微位移测量系统 |
-
2002
- 2002-02-06 JP JP2002029517A patent/JP2003232610A/ja active Pending
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008516229A (ja) * | 2004-10-06 | 2008-05-15 | ルドルフテクノロジーズ インコーポレイテッド | 光学計測システムを使用した誘電体薄膜の弾性係数の測定 |
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