KR100820118B1 - 오토포커싱시스템 및 그 방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 오토포커싱시스템 및 그 방법에 관한 것이다. 본 발명의 장치는 웨이퍼로부터의 반사광을 이용하여 오토포커스하기 위한 오토포커싱시스템에 있어서, 레이저광을 출사하는 광원; 레이저광을 상기 웨이퍼쪽으로 투과하며 상기 웨이퍼로부터의 반사광을 반사시키는 빔스플리터; 반사광을 수렴하는 형태로 변환하는 수렴렌즈; 변환된 수렴광을 단속 광스폿으로 형성하고 발산하는 형태로 출사하는 단속 광스폿생성기; 및 발산광의 시간차를 검출하기 위한 복수개의 수광기를 포함하는 것을 특징으로 한다. 따라서, 본 발명은 간단한 구성의 추가로 보다 정밀한 오토포커스를 수행할 수 있는 효과를 제공한다.

오토포커스, 초퍼휠,

Description

오토포커싱시스템 및 그 방법{Auto focusing system of vision system}

도 1은 일반적인 오토포커싱시스템을 설명하기 위한 구성도,

도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 오토포커싱시스템의 구성도,

도 3a는 도 2시스템의 초퍼휠쪽에서 본 다이오드의 신호검출상태를 보여주는 도면,

도 3b는 도 3a에 다이오드에 검출된 신호의 상태를 보여주는 타이밍도,

도 4a 내지 도 4c는 도 2시스템의 초퍼휠과 광스폿의 위치에 따른 포커싱의 상태도,

도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 오토포커싱방법을 설명하기 위한 흐름도.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

10 : 레이저다이오드 20 : 빔스플리터

30 : 실린더리칼 렌즈 40 : 핫미러(hot mirror)

50 : 대물렌즈 60 : 웨이퍼

70 : 오토포커스렌즈 80 : 초퍼휠(chopper wheel)

90 : 필드렌즈 100 : 바이셀 광검출 다이오드부

101 : 제 1다이오드 셀 102 : 제 2다이오드 셀

본 발명은 비젼시스템에서 사용하는 오토포커싱시스템 및 그 방법에 관한 것이다.

일반적으로, 오토포커싱시스템은 초점인 핀트를 자동으로 맞추는 기구이다. 오토포키싱기능을 갖는 카메라는 자동조리개인 EE(electric eye) 또는 오토 아이리스(auto iris)로 불리는 기구를 겸용할 경우 셔터를 누르기만 하면 누구나 최고의 상태로 촬영이 가능하다. 오토포커싱은 초음파를 발사해서 이것이 되돌아오는 시간을 계산해서 거리를 추정하는 방법과 비교적 거리가 멀지 아니한 경우 적외선을 발사해서 거리를 측정하는 방법, 그리고 피사체의 휘도의 차이가 존재하는 부위에 그 휘도차이를 극명하게 하여 거리를 측정하는 방법 등의 세 가지 방법이 있다.

이중 초음파를 이용하는 방법은 특수한 경우의 카메라가 아니면 사용하지 아니하며 일반 카메라에서는 적외선을 사용하는 방식과 TTL위상차검출방식을 보통 사용한다. 적외선을 이용하는 방법은 보통 저가형 컴팩트 카메라에서 사용하며 적외선을 사용하기 때문에 주위가 어두워도 촬영할 수가 있는 장점이 있지만 원거리까지는 측정이 불가능한 제약이 따른다. TTL(through the lens)위상차 검출방식은 말 그대로 렌즈를 통해 보이는 피사체의 어떤 면, 즉 초점센서가 놓여지는 면에 존재하는 휘도의 차이 내지 콘트라스트의 차이가 최대가 되는 지점을 초점이 맞는 부분 으로 가정하고 그 휘도의 차이를 계산한 다음 이 거리를 역추정하는 방식이다.

이러한 오토포커싱을 실제 시스템에서 구현한 일예를 도 1을 참고하여 설명한다.

도 1은 일반적인 오토포커싱시스템을 나타낸 구성도이다.

도 1을 참고하면, 상하, 좌우 이동이 가능한 웨이퍼스테이지(wafer stage)(4)상에 웨이퍼(w)가 장착되어 있고, 웨이퍼스테이지(4)의 상방에서 레이저빔을 방사하는 광원(light source)(1)이 있고, 광원(1)으로부터의 광을 반사시키는 반사미러(reflective mirror)(2)가 있고, 반사된 광을 집속시키는 집속렌즈(condensing lens)(3)가 있고, 집속된 광이 웨이퍼(w)의 표면에서 반사될 때 다시 집속시키고 집속렌즈(5)가 있고, 집속된 광을 반사시키는 반사미러(6)가 있고, 반사된 광을 검출하는 씨씨디 디텍터(CCD Detector)(7)가 있고, 일단을 씨씨디 디텍터(7)에 타단은 웨이퍼스테이지(4)에 전기적으로 연결된 콘트롤유닛(9)이 있다.

미설명부호 8은, 종래 노광장치의 오토포커싱시스템을 통해 웨이퍼스테이지(4)상의 웨이퍼(w)를 포커싱(focusing)한 후, 웨이퍼(w)상에 원하는 패턴(pattern)을 형성하도록 자외선(ultraviolet)등의 광을 일정한 배율로 축소하여 투사하는 축소투영렌즈(reduction projection lens)를 나타낸다.

이러한, 노광장치의 오토포커싱시스템(Auto Focusing System)의 작용을 설명한다.

도 1을 참고하면, 광원(1)으로부터 헬륨-네온 레이저빔(He-Ne laser beam)이 방사되고(emit), 이 방사된 빔은 반사 미러(Mirror : 2)에 의해 반사된 후 집속 렌즈(3)에 의해 집속되고, 이후 집속된 빔은 웨이퍼스테이지(4)에 설치된 웨이퍼(w) 표면에서 반사된다. 이후 반사된 빔은 집속렌즈(5)에 의해 집속되고, 집속된 빔은 반사미러(6)에서 반사된 후, 씨씨디 디텍터(7)에 입사된다. 씨씨디 디텍터(7)로부터 검출된 빔은 전류로 변환되고, 전류는 전압으로 변환되는 전기적회로를 거친다. 전압으로 변환된 위치신호는 아날로그/디지탈 변환기(A/D converter)(도시안됨)를 통해 웨이퍼스테이지(4)의 위치를 좌표값으로 나타낼 수 있다.

콘트롤유닛(9)은 디텍터(7)로부터 얻어진 좌표값을 기준값(미리설정된 좌표값)과 비교하여 그에 따른 신호를 웨이퍼스테이지(4)에 궤환(feedback)시킨다. 이에 따라 웨이퍼스테이지(4)는 자동으로 상방향 또는 하방향으로 이동된다.

만약 웨이퍼스테이지(4)가 △Z만큼 하방으로 이동하면, 웨이퍼(W)표면에서 반사되는 빔은 웨이퍼스테이지(4)가 이동되기 전에 반사된 빔과 △X만큼의 경로차를 갖게 된다.

△X= △Z/cos θ -----(식 1)

여기서, θ는 웨이퍼에 대한 광의 입사각이다.

웨이퍼스테이지(4)의 이동에 따라 씨씨디 디텍터(7)에서 검출되는 광점의 위치도 변하고, 그에 따라 얻어진 좌표값을 기준값과 비교하여 그에 따른 신호를 웨이퍼스테이지(4)에 궤환시키면, 웨이퍼스테이지(4)는 자동으로 상방향 또는 하방향으로 이동된다.

웨이퍼스테이지를 이동하여 웨이퍼스테이지상의 웨이퍼를 축소투영렌즈의 촛점에 놓이도록 하는 포커싱과정은 매우 높은 정밀도를 요구한다. 따라서, 웨이 퍼스테이지의 미세한 이동에 따라 디텍터(7)에서 감지되는 신호의 변화량도 가능하면 커야할 것이다.

따라서, 본 발명의 목적은 전술한 문제점을 해결할 수 있도록 웨이퍼스테이지로부터 반사된 광을 단속하고 수광하기 위해 간단한 구성의 추가로 보다 정밀한 오토포커스를 수행할 수 있는 오토포커싱시스템 및 그 방법을 제공함에 있다.

이와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 오토포커싱시스템은 웨이퍼로부터의 반사광을 이용하여 오토포커스하기 위한 오토포커싱시스템에 있어서, 레이저광을 출사하는 광원; 레이저광을 상기 웨이퍼쪽으로 투과하며 상기 웨이퍼로부터의 반사광을 반사시키는 빔스플리터; 반사광을 수렴하는 형태로 변환하는 수렴렌즈; 변환된 수렴광을 단속 광스폿으로 형성하고 발산하는 형태로 출사하는 단속 광스폿생성기; 및 발산광의 시간차를 검출하기 위한 복수개의 수광기를 포함하는 것을 특징으로 한다.

또한 본 발명에 따르면, 복수개의 수광기에서 검출된 시간차는 제로(0)인 것을 특징으로 한다.

또한 본 발명에 따르면, 단속 광스폿생성기는 불투명영역(A)과 투명영역(B)이 연속적으로 외주면을 따라 부채꼴 모양으로 반복되게 형성된 것을 특징으로 한 다.

또한 본 발명에 따르면, 단속 광스폿생성기는 불투명영역(A)에서 입사광을 투과하지 않고 투명영역(B)에서 입사광을 투과하는 것을 특징으로 한다.

또한 본 발명에 따르면, 단속 광스폿생성기는 초퍼휠인 것을 특징으로 한다.

본 발명에 의한 오토포커싱방법은 레이저다이오드로부터 출사된 레이저광을 웨이퍼스테이지상의 웨이퍼로부터의 반사광을 복수개의 수광부에 오토포커스하기 위한 오토포커싱방법에 있어서, 상기 레이저다이오드의 밝기를 조절하는 단계와, 밝기가 조절이 완료되면, 복수개의 수광부에 수광되는 광에서 검출되는 신호간의 위상차를 산출하는 단계와, 위상차를 제거하기 위한 위상차제거값을 산출하는 단계, 및 산출된 위상차제거값을 적용하여 오토포커스를 수행하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명에 따르면, 위상차제거값은 웨이퍼스테이지에 인가되는 전압값인 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명에 따르면, 전압값은 -10볼트 내지 10볼트 이내인 것을 특징으로 한다.

이하, 첨부한 도 2 내지 도 4를 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 기술하기로 한다.

도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 오토포커싱시스템의 구성도이다.

도 2를 참고하면, 오토포커싱시스템은 레이저다이오드(10)와 레이저다이오 드(10)로부터의 광을 반사 및 투과하는 빔스플리터(20)와 빔스플리터(20)에서 투과된 광을 투과하는 실린더리컬렌즈(30), 실린더리컬렌즈(30)로부터의 광을 반사하는 핫미러(50)와 핫미러(50)에서 반사된 광을 웨이퍼(60)상에 집광시키는 대물렌즈(50)와 웨이퍼(60)로부터의 반사광을 오토포커싱하기 위한 오토포커스렌즈(70)와 오토포커싱렌즈(70)를 통과한 광의 단속(斷續) 광스폿을 형성하기 위한 초퍼휠(80)과 초퍼휠(80)을 통과한 광을 바이셀 광검출 다이오드부(100)로 수광하기 위한 필드렌즈(90)를 포함한다. 여기서 바이셀 광검출 다이오드부(100)는 제 1 및 제 2다이오드 셀(101, 102)로 구성된다. 초퍼휠(80)은 도시된 바와 같이, 불투명영역(A)과 투명영역(B)이 연속적으로 외주면을 따라 부채꼴 모양으로 반복되게 형성되며 회전한다. 여기서 불투명영역(A)은 입사광을 투과하지 않는 영역이고 투명영역(B)은 입사광을 투과하는 영역이다. 따라서, 초퍼훨(80)을 통과하는 광은 단속(斷續 : 끊어졌다 이어졌다함)적으로 깜박깜박하는 형태가 된다. 여기서 단속은 광이 통과하였다 차단되었다함을 의미한다. 즉, 투명역역(B)과 불투명영역(A)이 교번적으로 통과되므로 단속적으로 광이 출사된다.

이에 대해서는 도 4a 내지 도 4c를 참고로 하기에서 설명하기로 한다.

그리고, 초퍼휠(80)의 투명영역(B)내에 광스폿을 형성하여 초퍼휠(80)을 통과한 단속광은 발산하는 형태의 발산광으로 필드렌즈(90)에 입사한다.

이렇게 구성된 오토포커싱시스템의 작동상태를 도 3 내지 도 4를 참고하여 좀 더 상세히 설명한다.

도 2에서, 레이저다이오드(10)는 레이저광을 빔스플리터(20)쪽으로 출사한 다. 빔스플리터(20)는 입사되는 광을 투과하여 실린더리컬렌즈(30)로 출사한다. 핫미러(40)는 실리더리컬렌즈(30)를 출사한 광을 반사시켜 대물렌즈(50)로 출사한다. 대물렌즈(50)는 입사광을 집광하여 웨이퍼(60)상에 집광시킨다. 집광된 광은 웨이퍼(60)로부터 반사되어 입사된 역과정을 거쳐 출사된다. 즉, 반사광은 대물렌즈(50)를 통해 핫미러(40)에서 빔스플리터(20)쪽으로 반사된다. 빔스플리터(20)는 입사되는 반사광을 오토포커스렌즈(70)쪽으로 반사한다. 오토포커스렌즈(70)에 입사된 반사광은 오토포커스렌즈(70)를 통과하면서 집광된다. 그리고, 집광된 광은 회전하는 초퍼휠(80)의 불투명영역(A)과 투명영역(B)을 연속적으로 거치면서 단속 광스폿를 형성한다. 초퍼휠(80)은 별도의 구동수단(미도시)에 의해 회전하면서, 단속 광스폿을 형성하게 된다. 그리고 초퍼휠(80)에서 발사되는 광은 발산광이 되어 필드렌즈(90)로 입사하고, 필드렌즈(90)는 입사되는 발산광을 시준(collimating)시켜 출사한다. 필드렌즈(90)로부터의 시준광은 바이셀 광검출 다이오드부(100)에서 수광된다. 바이셀 광검출 다이오드부(100)는 두 개의 다이오드 셀을 갖으며, 제 1 및 제 2다이오드 셀(101, 102)에 동일 광량이 수광된다.

이를 도 3a 및 도 3b를 참조하여 좀 더 상세히 살펴보면 다음과 같다.

도 3a는 도 2시스템의 초퍼휠쪽에서 본 다이오드의 신호검출상태를 보여주는 도면이다.

도 3a를 보면, 오토포커스렌즈(70)로부터 출사된 광은 회전하고 있는 초퍼휠(80)의 투명영역(B)의 한 지점에 광스폿(S1)을 형성한다. 여기서 광스폿(S1)은 제로에 가까운 사이즈를 갖는 경우에 제 1 및 제 2다이오드 셀(101, 102)에 수광되 는 광들의 단속시간차는 제로에 가깝게 된다. 그러나, 광스폿이 투명영역(B)과 불투명영역(A)에 걸쳐서 제로가 아닌 직경을 갖는 경우는 두 개의 다이오드 셀에 수광되는 광들의 단속시간차는 제로가 아닌 시간차를 갖는다.

이는 도 4a 및 도 4c를 참고하여 하기에서 설명한다.

초퍼휠(80)에 형성된 광스폿은 초퍼휠(80)을 통과하면서 단속 및 발산하게 되어 필드렌즈(90)를 지나 바이셀 광검출 다이오드부(100)에 수광된다. 이때, 바이셀 광검출 다이오드부(100)에 수광된 광을 타이밍도로 나타내면 도 3b와 같다.

도 3b는 도 3a에 바이셀 광검출 다이오드에 검출된 신호의 상태를 보여주는 타이밍도이다.

도 3b를 참고하면, 제1다이오드 셀(101)과 제 2 다이오드 셀(102)에 수광된 광을 전기적 신호로 바꾸고 이를 타이밍도로 나타내면 거의 시간차가 없는 동일한 신호로 표시할 수 있다. 도 3a의 초퍼휠(80)에 형성된 광스폿(S1)의 직경은 거의 제로에 가까운 값이다. 즉 제 1다이오드셀(101)의 신호와 제 2다이오드셀(102)의 신호를 보여주는 타이밍도 두 개가 거의 일치함을 알 수 있다.

도 4a 내지 도 4c는 도 2시스템의 초퍼휠의 회전상태에 따른 포커싱의 상태도이다.

도 4a 내지 도 4c는 설명의 편의를 위해 오토포커스렌즈(70)와 초퍼휠(80)과 필드렌즈(90), 및 바이셀 광검출 다이오드부(100)를 광경로를 따라 일렬로 배치한 것으로 설명한다. 그리고, 설명의 편의를 위해 광경로의 중심을 기준으로 상하로 광량을 다르게 표시한다. 즉, 바이셀 광검출 다이오드부(100)의 제 1 및 제 2다이 오드 셀(101, 102)에 각각 수광되는 광의 시간차를 보여주기 위한 것이다. 그리고 그 옆에 그래프는 각 상태에서의 제 1 및 제 2다이오드 셀(101, 102)에 수광되는 광을 전기적 신호로 바꾸어 나타낸 타이밍도이다. 가로축은 시간(T)이며 세로축은 신호(S)이다.

도 4a는 오토포커스렌즈(70)로부터의 광이 수렴하는 형태로 초퍼휠(80)로 입사되어 초퍼휠(80)에서 직경이 가장 최소인 광스폿(P0)이 형성된다. 따라서, 동일한 시간으로 단속되는 광이 바이셀 광검출 다이오드부(100)에 수광된다. 그래프를 보면 두 개의 전기적 신호의 파형들이 일치하므로 T0지점에서 보면 두 파형간의 시간차는 제로가 된다. 즉, 이때의 파형에 대한 설명은 전술한 도 3b를 참고한다.

도 4b는 오토포커스렌즈(70)로부터의 광이 수렴하는 형태로 초퍼휠(80)로 입사되어 초퍼휠(80)을 지나 필드렌즈(90)의 전단에 단속 광스폿이 형성된다. 그 때의 타이밍도에 보면 불투명영역(A)이 제 1다이오드 셀(101)에 수광되는 광을 먼저 차단하고 이후에 제 2다이오드 셀(102)로 수광되는 광을 시간적으로 나중에 차단하게 되므로 T1지점과 T2지점에 시간차가 생긴다.

도 4c는 오토포커스렌즈(70)로부터의 광이 수렴하는 형태로 초퍼휠(80)로 입사되어 초퍼휠(80)의 전단에 광스폿이 형성된다. 이 경우는 도 4b의 경우와는 반대로 도 4c에 도시된 것처럼, 불투명영역(A)이 제 2다이오드 셀(102)에 수광되는 광을 먼저 차단하고 제 1다이오드 셀(101)에 수광되는 광을 시간적으로 나중에 차단하게 되므로 T1지점과 T2지점에 시간차가 생긴다.

이러한 타이밍도에 나타나는 두 개의 신호간의 위상차를 웨이퍼스테이지의 높이를 미세 조정하여 제로로 만들면 두 파형간의 시간차가 제로가 되므로 오토포커싱이 수행된다.

이러한 일련의 과정을 도 5의 흐름도를 참고하여 설명한다.

도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 오토포커싱방법을 설명하기 위한 흐름도이다. 전술한 도 2의 오토포커싱시스템을 제어하여 오토포커싱을 수행하도록 하기 위해 컴퓨터(미도시) 등과 연결된 경우로 오토포커싱방법을 설명한다.

도 5를 참고하면, 전술한 오토포커싱시스템이 오토포커싱을 수행하도록 하기 위해 연결된 컴퓨터(미도시)등에서 오토포커스 "온"을 위한 명령어를 보낸다(S10). 오토포커스모드가 되면, 전술한 오토포커싱시스템의 다이오드부(10)에서 출사되는 빛의 밝기를 조절하기 위해 바이셀 광검출 다이오드부(100)로부터의 다이오드 신호(전압)를 수신한다. 그래서, 수신된 다이오드신호가 작으면 레이저다이오드(10)를 밝게 조절하고 수신된 다이오드신호가 크면 레이저다이오드(10)를 어둡게 조절한다. 이렇게 하여 레이저다이오드부(10)의 밝기를 조절한다(S20). 레이저다이오드부(10)의 밝기조절이 완료되면, 바이셀 광검출 다이오드부(100)로부터의 두 개의 전압신호를 읽는다. 이 전압신호에 의해 제 1다이오드셀(101)과 제 2다이오드셀(102)간의 위상차를 산출한다(S30). 여기서 제 1다이오드셀(101)과 제 2다이오드셀(102)의 전압신호의 위상차는 도 3b에서 설명한 바와 같다. 이렇게하여 두 개의 다이오드셀간의 위상차를 산출하여 위상차를 제거할수 있는 위상차제거값을 산출하는 과정을 수행한다(S40). 즉, 위상차제거값은 두 개의 다이오드셀간의 전압신호의 위상차를 제로로 만들기 위한 오토포커싱시스템의 웨이퍼스테이지 Z축의 높이 보정을 위한 델타전압값을 말한다. Z축보정에 필요한 델타전압값의 계산은 일반적인 제어방법인 PID알고리즘을 사용할 수 있다. 웨이퍼스테이지의 Z축은 오토포커스를 수행하기 위해 인가되는 전압에 따라 미세하게 높이를 제어할 수 있다. Z축을 제어하기 위해서는 아날로그 전압을 받을 수 있는데 최종적으로 웨이퍼스테이지 Z축에 인가할 아날로그 전압은 이전의 아날로그 전압값에 델타전압값을 누적하여 계산한다. 이렇게 하여 새로이 계산된 누적전압이 오토포커싱을 위하여 유효(-10볼트 내지 10볼트)한지 여부에 따라 유효한 경우 새로운 전압값으로 Z축 제어에 사용하거나, 유효하지 않은 경우, 즉, -10볼트이하이거나 10볼트이상인 경우는 델타전압값이 누적되지 않은 전압값을 Z축 제어에 사용한다. 이경우는 오토포커싱 가능범위를 초과한 것이다. 이렇게 하여 Z축제어에 사용된 전압값을 저장하고 그 때의 유효한 전압값으로 Z축을 제어하여 오토포커스를 수행한다(S50). 즉, 그때의 유효한 전압값이 위상차제거값이되어 두 개의 다이오드셀에 수광되는 광이 시간차를 가지지않고 도 3b에 도시된 형태로 위상차가 거의 없는 오토포커스가 수행된다.

따라서, 본 발명의 장치는 간단한 구성의 추가로 보다 정밀한 오토포커스를 수행할 수 있는 효과를 제공한다.

Claims (9)

1. 웨이퍼로부터의 반사광을 오토포커스하기 위한 오토포커싱시스템에 있어서,

   레이저광을 출사하는 광원;

   상기 레이저광을 상기 웨이퍼쪽으로 투과하며 상기 웨이퍼로부터의 반사광을 반사시키는 빔스플리터;

   상기 반사광을 수렴하는 형태로 변환하는 오토포커스렌즈;

   상기 변환된 수렴광을 단속 광스폿으로 형성하고 발산하는 형태로 출사하는 단속 광스폿생성기; 및

   상기 발산광의 시간차를 검출하기 위한 광검출다이오드부를 포함하는 것을 특징으로 하는 오토포커싱시스템.
2. 제 1항에 있어서,

   상기 광검출다이오드부에서 검출된 시간차는 제로(0)인 것을 특징으로 하는 오토포커싱시스템.
3. 제 2항에 있어서,

   상기 단속 광스폿생성기는

   불투명영역(A)과 투명영역(B)이 연속적으로 외주면을 따라 부채꼴 모양으로 반복되게 형성된 것을 특징으로 하는 오토포커싱시스템.
4. 제 3항에 있어서,

   상기 단속 광스폿생성기는

   상기 불투명영역(A)에서 입사광을 투과하지 않고 투명영역(B)에서 입사광을 투과하는 것을 특징으로 하는 오토포커싱시스템.
5. 제 4항에 있어서,

   상기 단속 광스폿생성기는

   초퍼휠인 것을 특징으로 하는 오토포커싱시스템.
6. 제 1항에 있어서,

   상기 광검출다이오드부는

   적어도 두 개 이상의 다이오드 셀을 포함하는 것을 특징으로 하는 오토포커싱시스템.
7. 레이저다이오드로부터 출사된 레이저광을 웨이퍼스테이지상의 웨이퍼로 입사하여 반사된 반사광을 복수개의 수광부에 오토포커스하기 위한 오토포커싱방법에 있어서,

   상기 레이저다이오드의 밝기를 조절하는 단계;

   상기 밝기가 조절이 완료되면, 복수개의 수광부에 수광되는 광에서 검출되는 신호간의 위상차를 산출하는 단계;

   상기 위상차를 제거하기 위한 위상차제거값을 산출하는 단계; 및

   상기 산출된 위상차제거값을 적용하여 오토포커스를 수행하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 오토포커싱방법.
8. 제 7항에 있어서,

   상기 위상차제거값은

   상기 웨이퍼스테이지에 인가되는 전압값인 것을 특징으로 하는 오토포커싱방법.
9. 제 8항에 있어서,

   상기 전압값은

   -10볼트 내지 10볼트 이내인 것을 특징으로 하는 오토포커싱방법.

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