JPH09278743A - Ｄｍｓｏまたはｄｍｓｏ混合物の回収方法および回収品 - Google Patents
Ｄｍｓｏまたはｄｍｓｏ混合物の回収方法および回収品Info
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- JPH09278743A JPH09278743A JP11539696A JP11539696A JPH09278743A JP H09278743 A JPH09278743 A JP H09278743A JP 11539696 A JP11539696 A JP 11539696A JP 11539696 A JP11539696 A JP 11539696A JP H09278743 A JPH09278743 A JP H09278743A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】ＤＭＳＯ廃液から、鉄等の金属分を少なくし
て、安価で効率よく高品位のＤＭＳＯおよびＤＭＳＯ混
合物を回収する。 【解決手段】弱アルカリ性のＤＭＳＯ廃液または弱アル
カリ性に調整したＤＭＳＯ廃液を、本体接液部が耐食性
部材からなる蒸溜塔により減圧蒸留精製する。特に資材
の洗浄用途等に好適に再利用でき、廃棄処理も不要であ
る。
て、安価で効率よく高品位のＤＭＳＯおよびＤＭＳＯ混
合物を回収する。 【解決手段】弱アルカリ性のＤＭＳＯ廃液または弱アル
カリ性に調整したＤＭＳＯ廃液を、本体接液部が耐食性
部材からなる蒸溜塔により減圧蒸留精製する。特に資材
の洗浄用途等に好適に再利用でき、廃棄処理も不要であ
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ジメチルスルホキ
シド（以下ＤＭＳＯという）およびＤＭＳＯ混合物の回
収方法とその回収品に関するものである。更に詳しく
は、本発明は、医農薬中間体の合成溶剤や電子資材等の
特殊洗浄剤として工業的に広く使われているＤＭＳＯ使
用後の廃液から、安価で効率よく特に電子資材処理にリ
サイクル再使用するためのＤＭＳＯおよびＤＭＳＯ混合
物の回収方法、およびその回収品に関するものである。
シド（以下ＤＭＳＯという）およびＤＭＳＯ混合物の回
収方法とその回収品に関するものである。更に詳しく
は、本発明は、医農薬中間体の合成溶剤や電子資材等の
特殊洗浄剤として工業的に広く使われているＤＭＳＯ使
用後の廃液から、安価で効率よく特に電子資材処理にリ
サイクル再使用するためのＤＭＳＯおよびＤＭＳＯ混合
物の回収方法、およびその回収品に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】ＤＭＳＯは、医農薬中間体の合成溶剤や
電子部品の特殊洗浄剤等として工業的に広く使われてい
る。このような用途に使用された後のＤＭＳＯ廃液は、
通常は産業廃棄物として廃棄され、また廃棄に際しても
イオウ化合物のため廃棄処理費が高価である。一方、一
般的には通常のＤＭＳＯ廃液の場合、ＤＭＳＯを普通の
減圧蒸留精製で回収することは可能であるが、含有され
る不純物およびＤＭＳＯの微量分解物により十分に効率
的な回収を行なうことが困難である。特に、電子部品等
の電子資材の洗剤用途等では、金属不純物の含量、特に
鉄、ナトリウムの含量が多いと、アルミニウムあるいは
クロム配線の腐食や絶縁性不良等の不具合の原因となる
ため、蒸留精製で回収されたＤＭＳＯ回収品は電子資材
処理用としては再利用できず、結局、用途が限定される
かもしくは産業廃棄物として処分されていた。
電子部品の特殊洗浄剤等として工業的に広く使われてい
る。このような用途に使用された後のＤＭＳＯ廃液は、
通常は産業廃棄物として廃棄され、また廃棄に際しても
イオウ化合物のため廃棄処理費が高価である。一方、一
般的には通常のＤＭＳＯ廃液の場合、ＤＭＳＯを普通の
減圧蒸留精製で回収することは可能であるが、含有され
る不純物およびＤＭＳＯの微量分解物により十分に効率
的な回収を行なうことが困難である。特に、電子部品等
の電子資材の洗剤用途等では、金属不純物の含量、特に
鉄、ナトリウムの含量が多いと、アルミニウムあるいは
クロム配線の腐食や絶縁性不良等の不具合の原因となる
ため、蒸留精製で回収されたＤＭＳＯ回収品は電子資材
処理用としては再利用できず、結局、用途が限定される
かもしくは産業廃棄物として処分されていた。
【０００３】従来、ＤＭＳＯの蒸留精製に際し、精留
塔、受器、配管等に非耐食性金属が使用されていると、
それらの僅かな腐食によってもＤＭＳＯ回収品の金属分
が多くなり、これを電子資材処理用に使用することはで
きない。また、ＤＭＳＯは、熱分解すると酸性物質が生
成し金属腐食が助長される。
塔、受器、配管等に非耐食性金属が使用されていると、
それらの僅かな腐食によってもＤＭＳＯ回収品の金属分
が多くなり、これを電子資材処理用に使用することはで
きない。また、ＤＭＳＯは、熱分解すると酸性物質が生
成し金属腐食が助長される。
【０００４】さらに、例えば、モノエタノールアミン
（以下ＭＥＡという）等のアミン類を含有するＤＭＳＯ
廃液の場合は、通常の蒸留だけではアミン類を完全に分
離することは難しいが、硫酸等の酸で処理すれば分離は
可能となる。しかし、このように酸を使用すると金属腐
食が一層助長されることになる。
（以下ＭＥＡという）等のアミン類を含有するＤＭＳＯ
廃液の場合は、通常の蒸留だけではアミン類を完全に分
離することは難しいが、硫酸等の酸で処理すれば分離は
可能となる。しかし、このように酸を使用すると金属腐
食が一層助長されることになる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、ＤＭ
ＳＯの使用後の廃液から、金属分の少ないＤＭＳＯおよ
びＤＭＳＯ混合物の回収方法を提供するものであり、特
に電子資材等の処理にリサイクル使用できるＤＭＳＯお
よびＤＭＳＯ混合物の回収方法を提供するものである。
ＳＯの使用後の廃液から、金属分の少ないＤＭＳＯおよ
びＤＭＳＯ混合物の回収方法を提供するものであり、特
に電子資材等の処理にリサイクル使用できるＤＭＳＯお
よびＤＭＳＯ混合物の回収方法を提供するものである。
【０００６】本発明の他の目的は、上記方法で回収され
た金属分の少ない、好適には電子資材処理用のＤＭＳＯ
およびＤＭＳＯ混合物を提供するものである。
た金属分の少ない、好適には電子資材処理用のＤＭＳＯ
およびＤＭＳＯ混合物を提供するものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は上記目的を達成
せんとするものであって、ＤＭＳＯ廃液を接液部が耐食
性部材からなる蒸溜装置により減圧蒸留するＤＭＳＯお
よびＤＭＳＯ混合物の回収方法であり、本発明において
は、好適には弱アルカリ性のＤＭＳＯ廃液または弱アル
カリ性に調整したＤＭＳＯ廃液を使用する。
せんとするものであって、ＤＭＳＯ廃液を接液部が耐食
性部材からなる蒸溜装置により減圧蒸留するＤＭＳＯお
よびＤＭＳＯ混合物の回収方法であり、本発明において
は、好適には弱アルカリ性のＤＭＳＯ廃液または弱アル
カリ性に調整したＤＭＳＯ廃液を使用する。
【０００８】更に、本発明においては次のような実施態
様が挙げられる。 （１）ＤＭＳＯ廃液がアミン類を含有するＤＭＳＯ廃液
であること。 （２）ＤＭＳＯ廃液が酸性または中性であるＤＭＳＯ廃
液を弱アルカリ性に調整して蒸留すること。水素イオン
指数（ｐＨ）が８〜１２の弱アルカリ性でＤＭＳＯ廃液
を蒸留すること。 （３）圧力２５０ｈＰａ以下で減圧蒸留すること。 （４）還流比２以下で蒸留すること。 （５）ＤＭＳＯ廃液が電子資材を処理したＤＭＳＯ廃液
であること。 （６）回収されたＤＭＳＯまたはＤＭＳＯ混合物の回収
品が電子資材処理用であること。 （７）回収品がリサイクル使用可能であること。
様が挙げられる。 （１）ＤＭＳＯ廃液がアミン類を含有するＤＭＳＯ廃液
であること。 （２）ＤＭＳＯ廃液が酸性または中性であるＤＭＳＯ廃
液を弱アルカリ性に調整して蒸留すること。水素イオン
指数（ｐＨ）が８〜１２の弱アルカリ性でＤＭＳＯ廃液
を蒸留すること。 （３）圧力２５０ｈＰａ以下で減圧蒸留すること。 （４）還流比２以下で蒸留すること。 （５）ＤＭＳＯ廃液が電子資材を処理したＤＭＳＯ廃液
であること。 （６）回収されたＤＭＳＯまたはＤＭＳＯ混合物の回収
品が電子資材処理用であること。 （７）回収品がリサイクル使用可能であること。
【０００９】
【発明の実施の形態】本発明で使用するＤＭＳＯ廃液に
は、含水、非含水の状態のものがあり、ＤＭＳＯの他に
他の成分や不純物が含まれている。このようなＤＭＳＯ
廃液は主として各種プラント等からの廃液で、具体的に
はＤＭＳＯに、例えば数１００ｐｐｍ〜数１０％のＭＥ
Ａ等のアミン類、数％（対ＤＭＳＯ）の有機酸塩類、更
には５〜１０％程度（対ＤＭＳＯ）のアルカリ金属水酸
化物等が含まれている。そして、具体的には電子資材等
の洗浄に使用したＤＭＳＯ廃液には、ＭＥＡ等のアミン
類、メタノール等のアルコール類、およびホトレジスト
等の樹脂類等が含まれている。
は、含水、非含水の状態のものがあり、ＤＭＳＯの他に
他の成分や不純物が含まれている。このようなＤＭＳＯ
廃液は主として各種プラント等からの廃液で、具体的に
はＤＭＳＯに、例えば数１００ｐｐｍ〜数１０％のＭＥ
Ａ等のアミン類、数％（対ＤＭＳＯ）の有機酸塩類、更
には５〜１０％程度（対ＤＭＳＯ）のアルカリ金属水酸
化物等が含まれている。そして、具体的には電子資材等
の洗浄に使用したＤＭＳＯ廃液には、ＭＥＡ等のアミン
類、メタノール等のアルコール類、およびホトレジスト
等の樹脂類等が含まれている。
【００１０】このように、ＤＭＳＯ廃液には種々の不純
物が含まれているが、本発明の好ましい実施態様では、
これらの不純物の全部もしくは一部を除去するため、か
かるＤＭＳＯ廃液を、本体接液部が耐食性部材からなる
蒸留塔により、好ましくはｐＨ＝８〜１２のような弱ア
ルカリ性で２５０ｈＰａ以下の減圧下、還流比２以下、
缶温度１５０℃以下の温度で減圧蒸留精製する。
物が含まれているが、本発明の好ましい実施態様では、
これらの不純物の全部もしくは一部を除去するため、か
かるＤＭＳＯ廃液を、本体接液部が耐食性部材からなる
蒸留塔により、好ましくはｐＨ＝８〜１２のような弱ア
ルカリ性で２５０ｈＰａ以下の減圧下、還流比２以下、
缶温度１５０℃以下の温度で減圧蒸留精製する。
【００１１】本発明の特徴の一つは、蒸留塔の本体接液
部に耐食性金属等の耐食性部材を使用することである。
耐食性金属を使用する目的は、蒸留精製過程で精留塔等
からの金属分混入を防止すること並びに着色を防止する
こと等である。
部に耐食性金属等の耐食性部材を使用することである。
耐食性金属を使用する目的は、蒸留精製過程で精留塔等
からの金属分混入を防止すること並びに着色を防止する
こと等である。
【００１２】本発明で使用できる耐食性金属としては、
例えば、オーステナイト系（Ｃｒ−Ｎｉ系）ステンレス
鋼、オーステナイト−フェライト系ステンレス鋼、フェ
ライト系ステンレス鋼、マルテンサイト系ステンレス
鋼、析出硬化系ステンレス鋼等の耐食性金属が挙げられ
るが、実用面からはオーステナイト系（Ｃｒ−Ｎｉ系）
ステンレス鋼が好ましく、これらの中でもＳＵＳ３０
４、ＳＵＳ３１６およびＳＵＳ３１６Ｌ等がより好まし
く、本発明ではアミン類による腐食の問題から、ＳＵＳ
３１６Ｌが特に好ましく用いられる。
例えば、オーステナイト系（Ｃｒ−Ｎｉ系）ステンレス
鋼、オーステナイト−フェライト系ステンレス鋼、フェ
ライト系ステンレス鋼、マルテンサイト系ステンレス
鋼、析出硬化系ステンレス鋼等の耐食性金属が挙げられ
るが、実用面からはオーステナイト系（Ｃｒ−Ｎｉ系）
ステンレス鋼が好ましく、これらの中でもＳＵＳ３０
４、ＳＵＳ３１６およびＳＵＳ３１６Ｌ等がより好まし
く、本発明ではアミン類による腐食の問題から、ＳＵＳ
３１６Ｌが特に好ましく用いられる。
【００１３】また一般に蒸留装置では、接液部に、例え
ばルッキンググラス等のガラス類を使用する場合がある
が、その場合は使用を必要最小限に抑え、望ましくは低
金属ガラス等を使用する。
ばルッキンググラス等のガラス類を使用する場合がある
が、その場合は使用を必要最小限に抑え、望ましくは低
金属ガラス等を使用する。
【００１４】次に、本発明における耐食性材料の使用例
を蒸留装置のモデル図によって説明する。図１は、本発
明の減圧蒸留において使用する周辺機器を含めた蒸溜装
置の概要を説明するためのモデル図である。
を蒸留装置のモデル図によって説明する。図１は、本発
明の減圧蒸留において使用する周辺機器を含めた蒸溜装
置の概要を説明するためのモデル図である。
【００１５】図１において、粗液（ＤＭＳＯ廃液）は廃
液槽１からポンプ２で精留塔リボイラー３に供給され、
そこで気化工程に供される。ここで発生した蒸気は精留
塔（充填塔付）４に導かれ、ここで還流液と気液接触し
純度の向上が図られる。次に、精留塔４を出た蒸気はコ
ンデンサー５で液化され、一部は還流分配機６で精留塔
に戻され、残りは留分受槽７に留出する。一方、蒸留系
はＶａｃライン８から排気され減圧に保たれる。
液槽１からポンプ２で精留塔リボイラー３に供給され、
そこで気化工程に供される。ここで発生した蒸気は精留
塔（充填塔付）４に導かれ、ここで還流液と気液接触し
純度の向上が図られる。次に、精留塔４を出た蒸気はコ
ンデンサー５で液化され、一部は還流分配機６で精留塔
に戻され、残りは留分受槽７に留出する。一方、蒸留系
はＶａｃライン８から排気され減圧に保たれる。
【００１６】本発明では、できれば図１に示した全設備
の接液部に耐食性部材を使用することが望ましいが、耐
食性部材の使用を必要最小限の使用とすることができ
る。耐食性部材は図１において、廃液槽１を除く精留塔
リボイラー３以降の各設備での使用が重要となり、そし
て以下、精留塔４以降の各設備ではより重要であり、さ
らには特に、コンデンサー周辺、還流分配機、Ｖａｃラ
イン、留分受槽等、ＤＭＳＯの最終回収工程（回収製
品）近くの設備になるほど、耐食性の良好な材料の使用
が必要となる。
の接液部に耐食性部材を使用することが望ましいが、耐
食性部材の使用を必要最小限の使用とすることができ
る。耐食性部材は図１において、廃液槽１を除く精留塔
リボイラー３以降の各設備での使用が重要となり、そし
て以下、精留塔４以降の各設備ではより重要であり、さ
らには特に、コンデンサー周辺、還流分配機、Ｖａｃラ
イン、留分受槽等、ＤＭＳＯの最終回収工程（回収製
品）近くの設備になるほど、耐食性の良好な材料の使用
が必要となる。
【００１７】いま本発明で実施する蒸留工程を、気化
部、分離部、凝縮部および製品回収部に区分するなら
ば、本発明では少くとも分離部以降、できれば気化部以
降の工程における設備の接液部において、耐食性部材を
使用する。本発明における蒸留装置は、かかる観点か
ら、図１の装置の場合、精留塔４およびそれ以降の各設
備を含むものとして位置づけることができ、より好まし
くは、精留塔リボイラー３以降の各設備を含むものとし
て位置づけることができる。
部、分離部、凝縮部および製品回収部に区分するなら
ば、本発明では少くとも分離部以降、できれば気化部以
降の工程における設備の接液部において、耐食性部材を
使用する。本発明における蒸留装置は、かかる観点か
ら、図１の装置の場合、精留塔４およびそれ以降の各設
備を含むものとして位置づけることができ、より好まし
くは、精留塔リボイラー３以降の各設備を含むものとし
て位置づけることができる。
【００１８】本発明においては、蒸留工程におけるＤＭ
ＳＯの熱分解防止等のため、以下に述べるようないくつ
かの好ましい状件がある。すなわち、本発明の実施にお
いては、ＤＭＳＯ廃液のｐＨを弱アルカリ性に保つこと
が肝要である。好ましいｐＨは８以上、より好ましくは
９以上であり、通常ｐＨ１２までの範囲で好適なｐＨが
選択される。したがって、工場等で使用され蒸留に供さ
れるＤＭＳＯ廃液のｐＨが上記範囲のものであれば、そ
のまま蒸溜装置に供給することができる。もし、蒸留に
供されるＤＭＳＯ廃液に酢酸等の酸が混入していてその
ｐＨが低い場合（酸性、中性）には、アルカリ性物質を
適量添加して弱アルカリ性に調整する。使用されるアル
カリ性物質としては、アルカリ金属やアルカリ土類金属
の水酸化物または炭酸塩等が挙げられるが、特に水酸化
ナトリウムが好ましく使用される。また逆に、アルカリ
度が強すぎることがある場合は適宜、硫酸やリン酸のよ
うな鉱酸等の酸で調整する。
ＳＯの熱分解防止等のため、以下に述べるようないくつ
かの好ましい状件がある。すなわち、本発明の実施にお
いては、ＤＭＳＯ廃液のｐＨを弱アルカリ性に保つこと
が肝要である。好ましいｐＨは８以上、より好ましくは
９以上であり、通常ｐＨ１２までの範囲で好適なｐＨが
選択される。したがって、工場等で使用され蒸留に供さ
れるＤＭＳＯ廃液のｐＨが上記範囲のものであれば、そ
のまま蒸溜装置に供給することができる。もし、蒸留に
供されるＤＭＳＯ廃液に酢酸等の酸が混入していてその
ｐＨが低い場合（酸性、中性）には、アルカリ性物質を
適量添加して弱アルカリ性に調整する。使用されるアル
カリ性物質としては、アルカリ金属やアルカリ土類金属
の水酸化物または炭酸塩等が挙げられるが、特に水酸化
ナトリウムが好ましく使用される。また逆に、アルカリ
度が強すぎることがある場合は適宜、硫酸やリン酸のよ
うな鉱酸等の酸で調整する。
【００１９】ちなみに、ＤＭＳＯ廃液において、例え
ば、酢酸アンモニウムやギ酸アンモニウムのような有機
酸塩類を含有する廃液のｐＨは通常約７〜約１２程度で
あり、また、水酸化カリウムや水酸化ナトリウム等のア
ルカリ金属水酸化物を含有する廃液のｐＨは通常約１１
〜約１４程度であり、さらに、ＭＥＡやジエタノールア
ミン等のアミン類が含まれているＤＭＳＯ廃液でのｐＨ
は、通常約１０〜約１３程度である。本発明の実施にお
いては、したがって、ＤＭＳＯ廃液に合わせ必要に応じ
ｐＨを最適化して蒸留する。
ば、酢酸アンモニウムやギ酸アンモニウムのような有機
酸塩類を含有する廃液のｐＨは通常約７〜約１２程度で
あり、また、水酸化カリウムや水酸化ナトリウム等のア
ルカリ金属水酸化物を含有する廃液のｐＨは通常約１１
〜約１４程度であり、さらに、ＭＥＡやジエタノールア
ミン等のアミン類が含まれているＤＭＳＯ廃液でのｐＨ
は、通常約１０〜約１３程度である。本発明の実施にお
いては、したがって、ＤＭＳＯ廃液に合わせ必要に応じ
ｐＨを最適化して蒸留する。
【００２０】ＤＭＳＯ廃液には、既述のように、含水、
非含水のものがあるが、本発明においてｐＨは、含水Ｄ
ＭＳＯ廃液の場合はｐＨメーター等の通常の手法で測定
することができる。また、非含水ＤＭＳＯ廃液の場合
は、中性水５容量に試料（非含水ＤＭＳＯ混合液）１容
量を混合した液を作り、同様にｐＨメーターで測定する
ことができる。
非含水のものがあるが、本発明においてｐＨは、含水Ｄ
ＭＳＯ廃液の場合はｐＨメーター等の通常の手法で測定
することができる。また、非含水ＤＭＳＯ廃液の場合
は、中性水５容量に試料（非含水ＤＭＳＯ混合液）１容
量を混合した液を作り、同様にｐＨメーターで測定する
ことができる。
【００２１】また、本発明の減圧蒸留における圧力は、
好ましくは２５０ｈＰａ以下、より好ましくは１５０ｈ
Ｐａ以下、さらに好ましくは５０ｈＰａ以下である。圧
力が高すぎると、ＤＭＳＯが熱分解し回収ＤＭＳＯの純
度が低下するだけでなく、着色等の問題がある。
好ましくは２５０ｈＰａ以下、より好ましくは１５０ｈ
Ｐａ以下、さらに好ましくは５０ｈＰａ以下である。圧
力が高すぎると、ＤＭＳＯが熱分解し回収ＤＭＳＯの純
度が低下するだけでなく、着色等の問題がある。
【００２２】さらに本発明の減圧蒸留において、還流比
は２以下が好ましく、より好ましくは１以下で実施す
る。還流比が大きすぎると、蒸留時間が長くなり熱分解
が助長される等の問題がある。
は２以下が好ましく、より好ましくは１以下で実施す
る。還流比が大きすぎると、蒸留時間が長くなり熱分解
が助長される等の問題がある。
【００２３】また、減圧蒸留における蒸留缶の温度は、
通常１５０℃以下、より好適には１１０℃以下であり、
高温になりすぎるとＤＭＳＯが分解する恐れがある。
通常１５０℃以下、より好適には１１０℃以下であり、
高温になりすぎるとＤＭＳＯが分解する恐れがある。
【００２４】本発明においては、廃液中の不純物をでき
るだけ除いて高品位のＤＭＳＯとするが、回収液（回収
品）が再使用される用途によっては、回収液はその使用
に影響を与えない限りにおいて、ＤＭＳＯ以外に他の成
分を残したＤＭＳＯ混合物として回収してもよい。例え
ば、ＭＥＡやジエタノールアミン等のアミン類が含まれ
ているＤＭＳＯ廃液を、本発明に従って蒸留処理した場
合、他の不純物は分離できてもアミン類の大部分は留出
してきてしまい、分離できない。アミン類が含まれてい
るＤＭＳＯ廃液のｐＨは上述のように約１０〜約１３で
あり、これを酸処理すれば、蒸留によるアミン類の分離
は可能ではあるが、酸性が強すぎる場合はＤＭＳＯの劣
化分解が著しい。本発明において、回収されたアミン類
が含まれるＤＭＳＯ混合物は成分調整した後、好適には
電子資材用等に再使用される。
るだけ除いて高品位のＤＭＳＯとするが、回収液（回収
品）が再使用される用途によっては、回収液はその使用
に影響を与えない限りにおいて、ＤＭＳＯ以外に他の成
分を残したＤＭＳＯ混合物として回収してもよい。例え
ば、ＭＥＡやジエタノールアミン等のアミン類が含まれ
ているＤＭＳＯ廃液を、本発明に従って蒸留処理した場
合、他の不純物は分離できてもアミン類の大部分は留出
してきてしまい、分離できない。アミン類が含まれてい
るＤＭＳＯ廃液のｐＨは上述のように約１０〜約１３で
あり、これを酸処理すれば、蒸留によるアミン類の分離
は可能ではあるが、酸性が強すぎる場合はＤＭＳＯの劣
化分解が著しい。本発明において、回収されたアミン類
が含まれるＤＭＳＯ混合物は成分調整した後、好適には
電子資材用等に再使用される。
【００２５】本発明によれば、好適には電子資材処理用
途にリサイクル利用されるＤＭＳＯ回収品が提供され
る。すなわち、例えばＩＣ、液晶等の洗浄でホトレジス
ト剥離に使われ回収されたＤＭＳＯ廃液には、既述のよ
うに、不純物として主にＭＥＡの他に水、アルコール、
レジスト等が含まれている。このＤＭＳＯ廃液は本発明
にしたがって処理され、透過率の尺度であるアルカリ着
色度の高いＤＭＳＯ回収液が得られる。ここでは、ＭＥ
Ａを除く不純物の大部分が除去分離されるが、ＭＥＡは
ほとんど除去されずＤＭＳＯ廃液に同程度の濃度で残留
している。また、鉄分も微量残存することはあるが、高
々１ｐｐｂ程度である。このように蒸留再生されたＤＭ
ＳＯ混合物は、再び電子資材の洗浄等にリサイクル利用
される。
途にリサイクル利用されるＤＭＳＯ回収品が提供され
る。すなわち、例えばＩＣ、液晶等の洗浄でホトレジス
ト剥離に使われ回収されたＤＭＳＯ廃液には、既述のよ
うに、不純物として主にＭＥＡの他に水、アルコール、
レジスト等が含まれている。このＤＭＳＯ廃液は本発明
にしたがって処理され、透過率の尺度であるアルカリ着
色度の高いＤＭＳＯ回収液が得られる。ここでは、ＭＥ
Ａを除く不純物の大部分が除去分離されるが、ＭＥＡは
ほとんど除去されずＤＭＳＯ廃液に同程度の濃度で残留
している。また、鉄分も微量残存することはあるが、高
々１ｐｐｂ程度である。このように蒸留再生されたＤＭ
ＳＯ混合物は、再び電子資材の洗浄等にリサイクル利用
される。
【００２６】本発明ではさらに、ＭＥＡの濃度調整をし
た後、脱パーティクルのため、ろ過工程を経るようにす
ることが好ましい。
た後、脱パーティクルのため、ろ過工程を経るようにす
ることが好ましい。
【００２７】以下、実施例を示し本発明を具体的に説明
するが、本発明はこれら実施例に限定されない。また、
以下の実施例において、カラーインデックス（ＣＩ）お
よびアルカリ着色度は、次のようにして測定したもので
ある。
するが、本発明はこれら実施例に限定されない。また、
以下の実施例において、カラーインデックス（ＣＩ）お
よびアルカリ着色度は、次のようにして測定したもので
ある。
【００２８】・カラーインデックス（ＣＩ）：分光光度
計の波長４２５、５５０，および６５０ｎｍにおける吸
光度を１００ｍ／ｍセルで測定し、次のように吸光度の
平均値から色指数を１０００ｍ／ｍセル時の値に換算表
示する。
計の波長４２５、５５０，および６５０ｎｍにおける吸
光度を１００ｍ／ｍセルで測定し、次のように吸光度の
平均値から色指数を１０００ｍ／ｍセル時の値に換算表
示する。
【００２９】ＣＩ＝各波長の吸光度の和÷３×１０ ・アルカリ着色度（％）：試料（ＤＭＳＯ混合液）２０
ｍｌにアルカリ液（Ｎ／１０水酸化ナトリウム溶液１ｍ
ｌ）を添加し、分光光度計の波長３４５ｎｍにおける透
過率を１０ｍ／ｍ石英セルで測定する（アルカリ着色度
（％）＝透過率）。
ｍｌにアルカリ液（Ｎ／１０水酸化ナトリウム溶液１ｍ
ｌ）を添加し、分光光度計の波長３４５ｎｍにおける透
過率を１０ｍ／ｍ石英セルで測定する（アルカリ着色度
（％）＝透過率）。
【００３０】
（実施例１）有機合成に使用した、酢酸０．５％、水５
％、硫酸アンモニウム０．１％を含有するｐＨ＝３．３
のＤＭＳＯ廃液３，０００Ｋｇに、２０％水酸化ナトリ
ウム５０Ｋｇを添加して、ｐＨ＝１０．５に調整した。
このＤＭＳＯ廃液を、第１図に示した、精留等リボイラ
ー３、精留塔４、コンデンサー５、還流分配機６、留分
受槽７、Ｖａｃライン８および配管の接液部がＳＵＳ３
０４からなる高さ５ｍの充填塔付の蒸留装置で、缶温１
００℃、４５ｈＰａの減圧で還流比０．５で精留した。
蒸留再生されたＤＭＳＯは、ｐＨ＝７．０、ＣＩ（カラ
ーインデックス）＝０．０１、アルカリ着色度＝９７
％、Ｎａ含有量＝２．５ｐｐｂ、Ｆｅ含有量＝０．１ｐ
ｐｂであった。金属不純物が少なく、電子資材用に再利
用可能であった。
％、硫酸アンモニウム０．１％を含有するｐＨ＝３．３
のＤＭＳＯ廃液３，０００Ｋｇに、２０％水酸化ナトリ
ウム５０Ｋｇを添加して、ｐＨ＝１０．５に調整した。
このＤＭＳＯ廃液を、第１図に示した、精留等リボイラ
ー３、精留塔４、コンデンサー５、還流分配機６、留分
受槽７、Ｖａｃライン８および配管の接液部がＳＵＳ３
０４からなる高さ５ｍの充填塔付の蒸留装置で、缶温１
００℃、４５ｈＰａの減圧で還流比０．５で精留した。
蒸留再生されたＤＭＳＯは、ｐＨ＝７．０、ＣＩ（カラ
ーインデックス）＝０．０１、アルカリ着色度＝９７
％、Ｎａ含有量＝２．５ｐｐｂ、Ｆｅ含有量＝０．１ｐ
ｐｂであった。金属不純物が少なく、電子資材用に再利
用可能であった。
【００３１】（実施例２）モノエタノールアミン３０
％、水２％、レジスト０．２％を含有するｐＨ＝１１．
２のＤＭＳＯ廃液３０００Ｋｇを、第１図に示した、精
留等リボイラー３、精留塔４、コンデンサー５、還流分
配機６、留分受槽７、Ｖａｃライン８および配管の接液
部がＳＵＳ３０４およびＳＵＳ３１６Ｌからなる高さ５
ｍの充填塔付の蒸留装置で、缶温１００℃、４５ｈＰａ
の減圧で還流比０．５で精留した。蒸留再生されたＤＭ
ＳＯ／モノエタノールアミン混合物は、ＤＭＳＯ＝７２
％、モノエタノールアミン＝２８％、ｐＨ＝１１．０、
ＣＩ＝０．０２、アルカリ着色度＝９５％、Ｎａ含有量
＝３．２ｐｐｂ、Ｆｅ含有量＝０．２ｐｐｂであった。
このように回収されたＤＭＳＯ混合液は金属不純物が少
なく、これにモノエタノールアミンを加えてモノエタノ
ールアミン濃度を３０％に調整した後、レジスト剥離用
に再利用した。
％、水２％、レジスト０．２％を含有するｐＨ＝１１．
２のＤＭＳＯ廃液３０００Ｋｇを、第１図に示した、精
留等リボイラー３、精留塔４、コンデンサー５、還流分
配機６、留分受槽７、Ｖａｃライン８および配管の接液
部がＳＵＳ３０４およびＳＵＳ３１６Ｌからなる高さ５
ｍの充填塔付の蒸留装置で、缶温１００℃、４５ｈＰａ
の減圧で還流比０．５で精留した。蒸留再生されたＤＭ
ＳＯ／モノエタノールアミン混合物は、ＤＭＳＯ＝７２
％、モノエタノールアミン＝２８％、ｐＨ＝１１．０、
ＣＩ＝０．０２、アルカリ着色度＝９５％、Ｎａ含有量
＝３．２ｐｐｂ、Ｆｅ含有量＝０．２ｐｐｂであった。
このように回収されたＤＭＳＯ混合液は金属不純物が少
なく、これにモノエタノールアミンを加えてモノエタノ
ールアミン濃度を３０％に調整した後、レジスト剥離用
に再利用した。
【００３２】（比較例１）酢酸０．５％、水５％、硫酸
アンモニウム０．１％を含有するＤＭＳＯ廃液３，００
０Ｋｇに、２０％水酸化ナトリウムを５０Ｋｇ添加し、
ｐＨ＝１０．５に調整した。この廃液を、接液部の大部
分はＳＵＳ３０４であるが、Ｖａｃライン、精留塔およ
び留分受槽の一部がＳＳで構成された、第１図に示した
構造の高さ５ｍの充填塔付蒸留装置で、缶温１００℃、
４５ｈＰａの減圧で還流比０．５で精留した。蒸留再生
されたＤＭＳＯは、ｐＨ＝７．０、ＣＩ＝０．０２、ア
ルカリ着色度＝９５％、Ｎａ含有量＝２．８ｐｐｂ、Ｆ
ｅ含有量＝５７ｐｐｂであった。金属不純物が多く電子
資材用には利用できなかった。
アンモニウム０．１％を含有するＤＭＳＯ廃液３，００
０Ｋｇに、２０％水酸化ナトリウムを５０Ｋｇ添加し、
ｐＨ＝１０．５に調整した。この廃液を、接液部の大部
分はＳＵＳ３０４であるが、Ｖａｃライン、精留塔およ
び留分受槽の一部がＳＳで構成された、第１図に示した
構造の高さ５ｍの充填塔付蒸留装置で、缶温１００℃、
４５ｈＰａの減圧で還流比０．５で精留した。蒸留再生
されたＤＭＳＯは、ｐＨ＝７．０、ＣＩ＝０．０２、ア
ルカリ着色度＝９５％、Ｎａ含有量＝２．８ｐｐｂ、Ｆ
ｅ含有量＝５７ｐｐｂであった。金属不純物が多く電子
資材用には利用できなかった。
【００３３】
【発明の効果】医農薬中間体の合成溶剤、電子部品の特
殊洗浄剤として工業的に広く使われているＤＭＳＯは、
工場等で使用後に通常は廃棄されるが、イオウ化合物の
ため廃棄に際しての処理費が高価でコスト的にも問題で
ある。また、ＤＭＳＯ混合液をそのまま蒸留して高品位
のＤＭＳＯを回収しようとしても、含有される不純物に
より効率的な回収を行なうことが難しい。
殊洗浄剤として工業的に広く使われているＤＭＳＯは、
工場等で使用後に通常は廃棄されるが、イオウ化合物の
ため廃棄に際しての処理費が高価でコスト的にも問題で
ある。また、ＤＭＳＯ混合液をそのまま蒸留して高品位
のＤＭＳＯを回収しようとしても、含有される不純物に
より効率的な回収を行なうことが難しい。
【００３４】これに対して本発明によれば、ＤＭＳＯ廃
液から安価で効率よく高品位のＤＭＳＯおよびＤＭＳＯ
混合物を回収でき、特に金属分を極めて少なくすること
ができるので、電子資材の洗浄処理等に好適に使用でる
回収混合物として回収できる。しかも、このようにして
電子資材の洗浄処理等に供したＤＳＭＯ廃液を蒸留精製
できるから、リサイクル可能であると共に廃棄処理も不
要であり、このように資源有効利用と廃棄処理問題を一
挙に解決し得たことは画期的なことである。
液から安価で効率よく高品位のＤＭＳＯおよびＤＭＳＯ
混合物を回収でき、特に金属分を極めて少なくすること
ができるので、電子資材の洗浄処理等に好適に使用でる
回収混合物として回収できる。しかも、このようにして
電子資材の洗浄処理等に供したＤＳＭＯ廃液を蒸留精製
できるから、リサイクル可能であると共に廃棄処理も不
要であり、このように資源有効利用と廃棄処理問題を一
挙に解決し得たことは画期的なことである。
【００３５】
【００３６】
【図１】 図１は、本発明の減圧蒸留において使用する
周辺機器を含めた蒸溜装置の概要を説明するためのモデ
ル図である。
周辺機器を含めた蒸溜装置の概要を説明するためのモデ
ル図である。
【００３７】
１・・・廃液槽 ２・・・ポンプ ３・・・精留塔リボイラー ４・・・精留塔（充填塔） ５・・・コンデンサー ６・・・還流分配機 ７・・・留分受槽 ８・・・Ｖａｃライン
Claims (9)
- 【請求項１】 ＤＭＳＯ廃液を接液部が耐食性部材から
なる蒸溜装置により減圧蒸留することを特徴とするＤＭ
ＳＯまたはＤＭＳＯ混合物の回収方法。 - 【請求項２】 弱アルカリ性のＤＭＳＯ廃液または弱ア
ルカリ性に調整したＤＭＳＯ廃液を、接液部が耐食性部
材からなる蒸溜装置により減圧蒸留することを特徴とす
るＤＭＳＯまたはＤＭＳＯ混合物の回収方法。 - 【請求項３】 前記ＤＭＳＯ廃液がアミン類を含有する
ＤＭＳＯ廃液であることを特徴とする請求項１または２
記載のＤＭＳＯまたはＤＭＳＯ混合物の回収方法。 - 【請求項４】 前記ＤＭＳＯ廃液が酸性または中性であ
るＤＭＳＯ廃液を弱アルカリ性に調整して蒸留すること
を特徴とする請求項１〜３いずれかに記載のＤＭＳＯま
たはＤＭＳＯ混合物の回収方法。 - 【請求項５】 ｐＨ８〜１２の弱アルカリ性でＤＭＳＯ
廃液を蒸留することを特徴とする請求項１〜４いずれか
に記載のＤＭＳＯまたはＤＭＳＯ混合物の回収方法。 - 【請求項６】 圧力２５０ｈＰａ以下、還流比２以下で
減圧蒸留することを特徴とする請求項１〜５いずれかに
記載のＤＭＳＯまたはＤＭＳＯ混合物の回収方法。 - 【請求項７】 前記ＤＭＳＯ廃液が電子資材の処理に使
用したＤＭＳＯ廃液であることを特徴とする請求項１〜
６いずれか１記載のＤＭＳＯまたはＤＭＳＯ混合物の回
収方法。 - 【請求項８】 請求項１〜７いずれかに記載の方法で回
収されるＤＭＳＯまたはＤＭＳＯ混合物が、電子資材処
理用としてのリサイクル使用のために回収されることを
特徴とするＤＭＳＯまたはＤＭＳＯ混合物の回収方法。 - 【請求項９】 請求項１〜８いずれかに記載の回収方法
で回収されたＤＭＳＯまたはＤＭＳＯ混合物からなる回
収品。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11539696A JPH09278743A (ja) | 1996-04-12 | 1996-04-12 | Ｄｍｓｏまたはｄｍｓｏ混合物の回収方法および回収品 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11539696A JPH09278743A (ja) | 1996-04-12 | 1996-04-12 | Ｄｍｓｏまたはｄｍｓｏ混合物の回収方法および回収品 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09278743A true JPH09278743A (ja) | 1997-10-28 |
Family
ID=14661531
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11539696A Pending JPH09278743A (ja) | 1996-04-12 | 1996-04-12 | Ｄｍｓｏまたはｄｍｓｏ混合物の回収方法および回収品 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09278743A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1312124C (zh) * | 2002-05-13 | 2007-04-25 | 东丽精密化学株式会社 | 高纯度二甲基亚砜、和二甲基亚砜与胺类混合物的纯化方法 |
| JP2010083780A (ja) * | 2008-09-30 | 2010-04-15 | Toray Ind Inc | 沸点２００℃以上の高沸点成分の分離回収方法およびポリアリーレンスルフィドの製造方法 |
| JP2011101883A (ja) * | 2011-01-26 | 2011-05-26 | Kobelco Eco-Solutions Co Ltd | 有機性薬品含有排水の処理方法とその装置 |
| KR101226816B1 (ko) * | 2010-12-31 | 2013-01-25 | 주식회사 효성 | 탄소섬유용 용매의 ｐＨ 측정방법 |
| WO2019026868A1 (ja) * | 2017-08-02 | 2019-02-07 | 株式会社クラレ | 回収レジスト剥離剤からのジメチルスルホキシドの回収方法 |
| WO2019026479A1 (ja) * | 2017-07-31 | 2019-02-07 | 株式会社カネカ | ジメチルスルホキシドの精製方法 |
| JP2019513859A (ja) * | 2016-04-05 | 2019-05-30 | アルケマ フランス | 薄膜及びフィルム形成物を得るための方法 |
| CN114478330A (zh) * | 2020-10-23 | 2022-05-13 | 中国石油化工股份有限公司 | 二甲基亚砜的回收精制方法和系统 |
-
1996
- 1996-04-12 JP JP11539696A patent/JPH09278743A/ja active Pending
Cited By (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1312124C (zh) * | 2002-05-13 | 2007-04-25 | 东丽精密化学株式会社 | 高纯度二甲基亚砜、和二甲基亚砜与胺类混合物的纯化方法 |
| JP2010083780A (ja) * | 2008-09-30 | 2010-04-15 | Toray Ind Inc | 沸点２００℃以上の高沸点成分の分離回収方法およびポリアリーレンスルフィドの製造方法 |
| KR101226816B1 (ko) * | 2010-12-31 | 2013-01-25 | 주식회사 효성 | 탄소섬유용 용매의 ｐＨ 측정방법 |
| JP2011101883A (ja) * | 2011-01-26 | 2011-05-26 | Kobelco Eco-Solutions Co Ltd | 有機性薬品含有排水の処理方法とその装置 |
| JP2019513859A (ja) * | 2016-04-05 | 2019-05-30 | アルケマ フランス | 薄膜及びフィルム形成物を得るための方法 |
| JP2022095644A (ja) * | 2016-04-05 | 2022-06-28 | ゲイロード・ケミカル・カンパニー・エル・エル・シー | 薄膜及びフィルム形成物を得るための方法 |
| WO2019026479A1 (ja) * | 2017-07-31 | 2019-02-07 | 株式会社カネカ | ジメチルスルホキシドの精製方法 |
| WO2019026868A1 (ja) * | 2017-08-02 | 2019-02-07 | 株式会社クラレ | 回収レジスト剥離剤からのジメチルスルホキシドの回収方法 |
| CN110869347A (zh) * | 2017-08-02 | 2020-03-06 | 株式会社可乐丽 | 从回收抗蚀剂剥离剂回收二甲基亚砜的方法 |
| JPWO2019026868A1 (ja) * | 2017-08-02 | 2020-07-27 | 株式会社クラレ | 回収レジスト剥離剤からのジメチルスルホキシドの回収方法 |
| US11028047B2 (en) | 2017-08-02 | 2021-06-08 | Kuraray Co., Ltd. | Method for recovering dimethyl sulfoxide from recovered resist remover |
| CN110869347B (zh) * | 2017-08-02 | 2022-05-06 | 株式会社可乐丽 | 从回收抗蚀剂剥离剂回收二甲基亚砜的方法 |
| CN114478330A (zh) * | 2020-10-23 | 2022-05-13 | 中国石油化工股份有限公司 | 二甲基亚砜的回收精制方法和系统 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20040210 |