JPH0927468A - ウェハ表面の処理方法及びその装置 - Google Patents

ウェハ表面の処理方法及びその装置

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Publication number
JPH0927468A
JPH0927468A JP17317795A JP17317795A JPH0927468A JP H0927468 A JPH0927468 A JP H0927468A JP 17317795 A JP17317795 A JP 17317795A JP 17317795 A JP17317795 A JP 17317795A JP H0927468 A JPH0927468 A JP H0927468A
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JP
Japan
Prior art keywords
wafer
heater
stage
heating mechanism
wafer surface
Prior art date
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Pending
Application number
JP17317795A
Other languages
English (en)
Inventor
Sukeyoshi Tsunekawa
助芳 恒川
Kotaro Koizumi
浩太郎 小泉
Toshiaki Fujito
利昭 藤戸
Sumio Yamaguchi
純男 山口
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Publication date
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【目的】大口径ウェハでも有機物の除去速度の低下が少
ない、かつウェハ全体でばらつきの少ない有機物の除去
方法とその装置を提供する。 【構成】ウェハを載置するステージに内蔵した加熱機構
の他に少なくとも一個の補助加熱機構を用いる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明はウェハを加熱してその表
面を処理する方法とその装置に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、オゾンガスを利用した有機物除去
装置は、図2に示すように、ステージに内蔵したヒータ
を用いてウェハを加熱していた。従って、ウェハの大口
径化に伴ってこの内蔵ヒータのパワーアップが必要とな
る。例えば、ウェハの直径が6インチから8インチにな
るとウェハの厚みの増大とも合わせてその重量は約2.4
倍となり、また温度の均一性を確保する面からも益々大
きなヒータが必要となる。しかし、ウェハの大口径化に
合わせて、ステージの内蔵ヒータに電力を供給するスリ
ップリング(回転軸に電力供給する仕掛け)の大電力化
は極めて困難であった。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、ウェ
ハの大口径化に伴う内蔵ヒータのパワーアップを軽減す
ること、また装置の可動部分であるスリップリングへの
電力負担を軽減し信頼性を向上すること、さらに大口径
ウェハでも温度均一性の優れた装置を提供し、ウェハ全
体でばらつきの少ない有機物の除去方法とその装置を提
供することにある。
【0004】
【課題を解決するための手段】本発明のウェハ加熱方法
及びその装置では、ウェハを載置するステージに内蔵し
た加熱機構の他に少なくとも一個の補助加熱機構を用い
る。
【0005】
【作用】補助加熱機構を用いることにより、内蔵ヒータ
の負担は軽減され、スリップリングの信頼性も向上す
る。この様にするとメインヒータばかりでなく、補助ヒ
ータからもウェハを加熱出来、ウェハの昇温速度を速く
出来る。またウェハ近くの温度勾配が小さくなりウェハ
温度の均一性が向上するため、ウェハ全体でばらつきの
少ない有機物の除去速度が得られる。
【0006】
【実施例】
(実施例1)図1に本発明のウェハ表面処理装置の説明
図を示す。同装置で、ウェハを加熱するメインヒータは
容器1内のウェハを載置するステージ2(回転かつ上下
移動できる)に内蔵されている。補助ヒータは容器1の
側壁,天板,底板に設けられる。容器1内の上部は、容
器1内の下部にオゾンを供給するためのノズル6と、ノ
ズル6下側はウェハ4の表面に面している。また、ノズ
ル6下側には仕切りを兼ねたノズル板5が設けられてい
る。ノズル板5の下側面とウェハ4の上面の空隙はステ
ージ2の上下駆動機構(図示せず)により、0.2〜1.
0mmの所望の値に調節されるようになっている。また、
容器1内の上部は、必要に応じて紫外線をウェハ4に照
射する複数個の紫外線ランプ7が配設されている。その
ため、ノズル板5は紫外線を透過し易い合成石英等の材
料で構成されている。
【0007】上記装置によるウェハ4の清浄のための表
面処理は次のように行われる。まず、ステージ2の上下
機構(図示せず)によりステージ2が下がり、ウェハ4
が搬送アーム(図示せず)によりステージ2上に載置さ
れる。次にステージ2の上下駆動機構(図示せず)によ
りウェハ4とノズル板5とのギャップが0.2〜1.0mm
の所望の値に調節され、ノズル6からオゾンを供給する
と共にステージ2を回転し、処理を行う。ウェハ表面の
不要な有機物はオゾンと反応し、炭酸ガス,水蒸気とな
り、これを排気口8より排気する。必要に応じて紫外線
ランプ7により紫外線をウェハに照射することにより、
オゾンと有機物の反応を促進する。
【0008】ウェハの設定温度300℃の場合、補助ヒ
ータによって側壁,天板,底板を150〜200℃に保
った場合、ウェハ温度の均一性は補助ヒータなしに比べ
30〜50%改善された。また、有機物の除去速度のウ
ェハ面内均一性も20〜30%改善された。
【0009】(実施例2)本発明の第2の実施例を図3
に示す。同図には補助加熱機構に赤外線ランプを用いた
場合を示した。この場合も実施例1の場合と同様の効果
があった。
【0010】(実施例3)本発明の第3の実施例を図4
に示す。同図には石英ノズル板にスクリーン印刷法によ
り形成したセラミックヒータを用いた。この場合も実施
例1の場合と同様の効果があった。
【0011】
【発明の効果】本発明によれば、補助ヒータを用いるこ
とによりステージに内蔵されるヒータの負担は軽減さ
れ、内蔵ヒータに電力を供給するスリップリングの信頼
性も向上した。また、この様にするとメインヒータばか
りでなく、補助ヒータからもウェハを加熱出来、ウェハ
の昇温速度を速く出来た。また、ウェハ近くの温度勾配
が小さくなりウェハ温度の均一性が向上した。さらにウ
ェハ全体でばらつきの少ない有機物の除去速度が得られ
た。また、側壁,天板,底板を加熱することにより、レ
ジストの未分解成分のこれらの面への付着も少なく出来
た。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施例1の装置構成を示す平面図およ
び断面図。
【図2】従来技術の装置構成を示す平面図および断面
図。
【図3】本発明の実施例2の装置構成を示す断面図。
【図4】本発明の実施例3の装置構成を示す断面図。
【符号の説明】
1…容器、2…ステージ、3…ヒータ、4…ウェハ、5
…ノズル板、6…ノズル、7…紫外線ランプ、8…排気
口、9…補助ヒータ、10…セラミックヒータ。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 山口 純男 東京都青梅市藤橋888番地 株式会社日立 製作所熱器ライティング事業部内

Claims (10)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】ウェハを加熱してその表面を処理する方法
    において、ウェハを載置するステージに内蔵した加熱機
    構の他に少なくとも一個の補助加熱機構を用いることを
    特徴とするウェハ表面の処理方法。
  2. 【請求項2】請求項1において、オゾンガスを用いるウ
    ェハ表面の処理方法。
  3. 【請求項3】請求項1において、紫外線とオゾンガスを
    用いるウェハ表面の処理方法。
  4. 【請求項4】請求項1の前記補助加熱機構に赤外線ラン
    プを用いるウェハ表面の処理方法。
  5. 【請求項5】請求項1の前記ステージに内蔵した加熱機
    構あるいは補助加熱機構にセラミックヒータを用いるウ
    ェハ表面の処理方法。
  6. 【請求項6】ウェハを加熱してその表面を処理する装置
    方法において、ウェハを載置するステージに内蔵した加
    熱機構の他に少なくとも一個の補助加熱機構を有するこ
    とを特徴とするウェハ表面の処理装置。
  7. 【請求項7】請求項1において、オゾンガスを用いるウ
    ェハ表面の処理装置。
  8. 【請求項8】請求項1において、紫外線とオゾンガスを
    用いるウェハ表面の処理装置。
  9. 【請求項9】請求項1の前記補助加熱機構に赤外線ラン
    プを用いるウェハ表面の処理方法。
  10. 【請求項10】請求項1の前記ステージに内蔵した前記
    加熱機構あるいは前記補助加熱機構にセラミックヒータ
    を用いるウェハ表面の処理装置。
JP17317795A 1995-07-10 1995-07-10 ウェハ表面の処理方法及びその装置 Pending JPH0927468A (ja)

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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11102956A (ja) * 1997-09-26 1999-04-13 Disco Abrasive Syst Ltd Uv照射装置及び該uv照射装置を搭載したダイシング装置
WO2001027984A1 (fr) * 1998-01-23 2001-04-19 Ushio Denki Kabushiki Kaisya Appareil emetteur de rayonnement ultraviolet
US6787787B1 (en) 1998-01-23 2004-09-07 Ushiodenki Kabushiki Kaisha Ultraviolet radiation producing apparatus
JP4795935B2 (ja) * 2003-03-17 2011-10-19 東京エレクトロン株式会社 基板を処理する処理システムおよび方法
JP5079145B2 (ja) * 2009-12-18 2012-11-21 株式会社ジェイ・イー・ティ 基板処理装置

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