JPH09270668A - 圧電共振子 - Google Patents
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 安価で小型に組み立てることができる、圧電
共振子を提供する。 【解決手段】 ラダー形フィルタ10は、その表裏面に
ライン電極14,ライン電極16,ライン電極18が設
けられた基板12を含む。基板12の表面には、矩形状
の圧電体基板28の対向する1組の側面に振動電極30
a,30bを有し、長さ振動モードで振動する直列共振
子24と、矩形状の圧電体基板32の表面,裏面に振動
電極34a,34bを有し、長さ振動モードで振動する
並列共振子26とが間隔を隔てて配設される。直列共振
子24は、その振動電極30aが導電性接着剤(支持手
段)36でライン電極14に接続され、その振動電極3
0bが導電性接着剤(支持手段)38でライン電極16
に接続される。並列共振子26は、その振動電極34b
が導電性接着剤38を介して直列共振子24の振動電極
30bに接続され、その振動電極34aが金属ワイヤー
40でライン電極18に接続される。
共振子を提供する。 【解決手段】 ラダー形フィルタ10は、その表裏面に
ライン電極14,ライン電極16,ライン電極18が設
けられた基板12を含む。基板12の表面には、矩形状
の圧電体基板28の対向する1組の側面に振動電極30
a,30bを有し、長さ振動モードで振動する直列共振
子24と、矩形状の圧電体基板32の表面,裏面に振動
電極34a,34bを有し、長さ振動モードで振動する
並列共振子26とが間隔を隔てて配設される。直列共振
子24は、その振動電極30aが導電性接着剤(支持手
段)36でライン電極14に接続され、その振動電極3
0bが導電性接着剤(支持手段)38でライン電極16
に接続される。並列共振子26は、その振動電極34b
が導電性接着剤38を介して直列共振子24の振動電極
30bに接続され、その振動電極34aが金属ワイヤー
40でライン電極18に接続される。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は圧電共振子に関
し、特に、たとえばラダー形フィルタ等の通信機器用フ
ィルタおよび発振子などに適用される、圧電共振子に関
する。
し、特に、たとえばラダー形フィルタ等の通信機器用フ
ィルタおよび発振子などに適用される、圧電共振子に関
する。
【0002】
【従来の技術】図14(A)はこの発明の背景となる従
来のラダー形フィルタの一例を示す要部斜視図であり、
図14(B)はその電気等価回路図である。この従来の
ラダー形フィルタ1は、2つの直列共振子となる圧電振
動素子2,3および2つの並列共振子となる圧電振動素
子4,5を含む。これらの圧電振動素子2,3,4およ
び5は、長さ振動モードで振動する。2つの圧電振動素
子2および3は、それぞれ、短冊状の圧電体基板2aお
よび3aを含む。圧電体基板2a,および3aの一方主
面には、それぞれ、全面電極膜2bおよび3bが形成さ
れている。また、圧電体基板2a,および3aの他方主
面には、それぞれ、全面電極膜2cおよび3cが形成さ
れている。同様に、圧電振動素子4および5は、それぞ
れ、短冊状の圧電体基板4aおよび5aを含む。圧電体
基板4aおよび5aの一方主面には、それぞれ、全面電
極膜4bおよび5bが形成され、圧電体基板4aおよび
5aの他方主面には、それぞれ、全面電極膜4cおよび
5cが形成されている。
来のラダー形フィルタの一例を示す要部斜視図であり、
図14(B)はその電気等価回路図である。この従来の
ラダー形フィルタ1は、2つの直列共振子となる圧電振
動素子2,3および2つの並列共振子となる圧電振動素
子4,5を含む。これらの圧電振動素子2,3,4およ
び5は、長さ振動モードで振動する。2つの圧電振動素
子2および3は、それぞれ、短冊状の圧電体基板2aお
よび3aを含む。圧電体基板2a,および3aの一方主
面には、それぞれ、全面電極膜2bおよび3bが形成さ
れている。また、圧電体基板2a,および3aの他方主
面には、それぞれ、全面電極膜2cおよび3cが形成さ
れている。同様に、圧電振動素子4および5は、それぞ
れ、短冊状の圧電体基板4aおよび5aを含む。圧電体
基板4aおよび5aの一方主面には、それぞれ、全面電
極膜4bおよび5bが形成され、圧電体基板4aおよび
5aの他方主面には、それぞれ、全面電極膜4cおよび
5cが形成されている。
【0003】圧電振動素子2および4は、帯状の端子板
6aの上に間隔を隔てて並行に配設される。すなわち、
端子板6aの上には、導電性ゴムシート7が、絶縁性ま
たは導電性を有する接着剤(図示せず)により接着され
る。さらに、導電性ゴムシート7の上には、圧電振動素
子2および4の全面電極膜2cおよび4cが絶縁性また
は導電性を有する接着剤(図示せず)により接着され
る。この場合、圧電振動素子2,4の長さ振動のノード
点付近、つまり、圧電振動素子2,4の長さ方向の中央
付近が導電性ゴムシート7に接着される。
6aの上に間隔を隔てて並行に配設される。すなわち、
端子板6aの上には、導電性ゴムシート7が、絶縁性ま
たは導電性を有する接着剤(図示せず)により接着され
る。さらに、導電性ゴムシート7の上には、圧電振動素
子2および4の全面電極膜2cおよび4cが絶縁性また
は導電性を有する接着剤(図示せず)により接着され
る。この場合、圧電振動素子2,4の長さ振動のノード
点付近、つまり、圧電振動素子2,4の長さ方向の中央
付近が導電性ゴムシート7に接着される。
【0004】一方、圧電振動素子3および5は、帯状の
出力端子板6cの上に間隔を隔てて並行に配設される。
すなわち、出力端子板6cの上には、導電性ゴムシート
7が、絶縁性または導電性を有する接着剤(図示せず)
により接着される。さらに、導電性ゴムシート7の上に
は、圧電振動素子3および5の全面電極膜3cおよび5
cが絶縁性または導電性を有する接着剤(図示せず)に
より接着される。この場合、圧電振動素子3,5の長さ
振動のノード点付近、つまり、圧電振動素子3,5の長
さ方向の中央付近が導電性ゴムシート7に接着される。
出力端子板6cの上に間隔を隔てて並行に配設される。
すなわち、出力端子板6cの上には、導電性ゴムシート
7が、絶縁性または導電性を有する接着剤(図示せず)
により接着される。さらに、導電性ゴムシート7の上に
は、圧電振動素子3および5の全面電極膜3cおよび5
cが絶縁性または導電性を有する接着剤(図示せず)に
より接着される。この場合、圧電振動素子3,5の長さ
振動のノード点付近、つまり、圧電振動素子3,5の長
さ方向の中央付近が導電性ゴムシート7に接着される。
【0005】そして、圧電振動素子2の全面電極膜2b
と入力端子板6bとがボンディングワイヤ9aで接続さ
れる。また、圧電振動素子4の全面電極膜4bとアース
端子板6dとがボンディングワイヤ9bで接続される。
圧電振動素子5の全面電極膜5bとアース端子板6dと
がボンディングワイヤ9cで接続される。さらに、圧電
振動素子3の全面電極膜3bと端子板6aとがボンディ
ングワイヤ9dで接続される。
と入力端子板6bとがボンディングワイヤ9aで接続さ
れる。また、圧電振動素子4の全面電極膜4bとアース
端子板6dとがボンディングワイヤ9bで接続される。
圧電振動素子5の全面電極膜5bとアース端子板6dと
がボンディングワイヤ9cで接続される。さらに、圧電
振動素子3の全面電極膜3bと端子板6aとがボンディ
ングワイヤ9dで接続される。
【0006】この場合、入力端子板6bと出力端子板6
cの間には、圧電振動素子2および3が直列に接続さ
れ、圧電振動素子4および5が並列に接続される。すな
わち、直列共振子となる圧電振動素子2,3と、並列共
振子となる圧電振動素子4,5とが交互にはしご状に組
み合わされて、ラダー構造を形成している。
cの間には、圧電振動素子2および3が直列に接続さ
れ、圧電振動素子4および5が並列に接続される。すな
わち、直列共振子となる圧電振動素子2,3と、並列共
振子となる圧電振動素子4,5とが交互にはしご状に組
み合わされて、ラダー構造を形成している。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来例のラダー形フィルタ1では、圧電共振子として用い
られる各圧電振動素子の上面の全面電極と各端子板とを
それぞれボンディングワイヤで電気的かつ機械的に接続
しているため、つまり、1つの共振子に対して2か所ず
つ、全部で8か所のワイヤボンディングによる接続が必
要となるため、部品点数が多くなり、組み立て工程も複
雑とならざるを得ない。したがって、製造コストも高く
ついていた。
来例のラダー形フィルタ1では、圧電共振子として用い
られる各圧電振動素子の上面の全面電極と各端子板とを
それぞれボンディングワイヤで電気的かつ機械的に接続
しているため、つまり、1つの共振子に対して2か所ず
つ、全部で8か所のワイヤボンディングによる接続が必
要となるため、部品点数が多くなり、組み立て工程も複
雑とならざるを得ない。したがって、製造コストも高く
ついていた。
【0008】さらに、上記従来例のラダー形フィルタ1
では、直列共振子と並列共振子との容量比をとるため
に、直列共振子となる圧電振動子の厚みが大きく形成さ
れている。したがって、各圧電振動素子の全面電極が形
成された面を下にして、各圧電振動素子の長さ振動のノ
ード点付近を導電性接着剤で端子板に接着固定した場
合、その取り付け高さが高くなり、製品高さが高いもの
となり、製品の小型化の支障となっていた。それに対し
て、ラダー形フィルタのチップ化の要請とともに、近
年、益々、製品の高さを低くすることが希求されてい
る。そのため、ラダー形フィルタに適用される圧電共振
子の小型化が問題となってくる。
では、直列共振子と並列共振子との容量比をとるため
に、直列共振子となる圧電振動子の厚みが大きく形成さ
れている。したがって、各圧電振動素子の全面電極が形
成された面を下にして、各圧電振動素子の長さ振動のノ
ード点付近を導電性接着剤で端子板に接着固定した場
合、その取り付け高さが高くなり、製品高さが高いもの
となり、製品の小型化の支障となっていた。それに対し
て、ラダー形フィルタのチップ化の要請とともに、近
年、益々、製品の高さを低くすることが希求されてい
る。そのため、ラダー形フィルタに適用される圧電共振
子の小型化が問題となってくる。
【0009】それゆえに、この発明の主たる目的は、安
価で小型に組み立てることができる、圧電共振子を提供
することである。
価で小型に組み立てることができる、圧電共振子を提供
することである。
【0010】
【課題を解決するための手段】請求項1に記載された発
明は、平面視矩形状の圧電体基板の対向する一方および
他方の側面に電極が形成され、長さ振動モードで振動す
る共振子を含み、共振子の主面の長さ方向の中央部で、
且つ、共振子の主面の幅方向の一端側および他端側が、
導電性を有する支持手段により支持される支持構造を含
む、圧電共振子である。請求項2に記載された発明は、
第1の導電路、第2の導電路および第3の導電路を具備
する基板と、平面視矩形状の圧電体基板の対向する一方
および他方の側面に電極が形成され、長さ振動モードで
振動する直列共振子と、平面視矩形状の圧電体基板の一
方および他方の主面に電極が形成され、長さ振動モード
で振動し、前記直列共振子と間隔を隔てて配設される並
列共振子と、直列共振子の主面の長さ方向の中央部で、
且つ、直列共振子の主面の幅方向の一端側および他端側
に配設され、直列共振子を基板上に支持すると共に、直
列共振子の一方および他方の電極を第1の導電路および
第2の導電路にそれぞれ電気的に接続する第1の支持手
段および第2の支持手段と、並列共振子の主面の長さ方
向の中央部に配置され、並列共振子を基板上に支持する
と共に、並列共振子の一方の電極を第2の導電路または
第3の導電路のいづれか一方に電気的に接続する第3の
支持手段と、並列共振子の他方の電極を、並列共振子の
一方の電極と接続されていない第2の導電路または第3
の導電路の一方と電気的に接続する手段とを含む、ラダ
ー形フィルタである。請求項3に記載された発明は、平
面視矩形状の圧電体基板の対向する一方および他方の側
面に電極が形成され、長さ振動モードで振動する直列共
振子と、直列共振子の主面の長さ方向の中央部で、且
つ、直列共振子の主面の幅方向の一端側および他端側を
支持し、導電性を有する支持手段と、平面視矩形状の圧
電体基板の一方および他方の主面に電極が形成され、長
さ振動モードで振動する並列共振子と、直列共振子と並
列共振子とを積み重ねて層状に接着すると共に、並列共
振子の一方の主面の電極と直列共振子の一方の側面の電
極とを電気的かつ機械的に接続する接続手段とを含む、
ラダー形フィルタである。
明は、平面視矩形状の圧電体基板の対向する一方および
他方の側面に電極が形成され、長さ振動モードで振動す
る共振子を含み、共振子の主面の長さ方向の中央部で、
且つ、共振子の主面の幅方向の一端側および他端側が、
導電性を有する支持手段により支持される支持構造を含
む、圧電共振子である。請求項2に記載された発明は、
第1の導電路、第2の導電路および第3の導電路を具備
する基板と、平面視矩形状の圧電体基板の対向する一方
および他方の側面に電極が形成され、長さ振動モードで
振動する直列共振子と、平面視矩形状の圧電体基板の一
方および他方の主面に電極が形成され、長さ振動モード
で振動し、前記直列共振子と間隔を隔てて配設される並
列共振子と、直列共振子の主面の長さ方向の中央部で、
且つ、直列共振子の主面の幅方向の一端側および他端側
に配設され、直列共振子を基板上に支持すると共に、直
列共振子の一方および他方の電極を第1の導電路および
第2の導電路にそれぞれ電気的に接続する第1の支持手
段および第2の支持手段と、並列共振子の主面の長さ方
向の中央部に配置され、並列共振子を基板上に支持する
と共に、並列共振子の一方の電極を第2の導電路または
第3の導電路のいづれか一方に電気的に接続する第3の
支持手段と、並列共振子の他方の電極を、並列共振子の
一方の電極と接続されていない第2の導電路または第3
の導電路の一方と電気的に接続する手段とを含む、ラダ
ー形フィルタである。請求項3に記載された発明は、平
面視矩形状の圧電体基板の対向する一方および他方の側
面に電極が形成され、長さ振動モードで振動する直列共
振子と、直列共振子の主面の長さ方向の中央部で、且
つ、直列共振子の主面の幅方向の一端側および他端側を
支持し、導電性を有する支持手段と、平面視矩形状の圧
電体基板の一方および他方の主面に電極が形成され、長
さ振動モードで振動する並列共振子と、直列共振子と並
列共振子とを積み重ねて層状に接着すると共に、並列共
振子の一方の主面の電極と直列共振子の一方の側面の電
極とを電気的かつ機械的に接続する接続手段とを含む、
ラダー形フィルタである。
【0011】
【作用】請求項1〜請求項3に記載の発明では、直列共
振子として用いられる平面視矩形状の圧電振動素子の幅
方向の一方および他方の側面全面に振動電極が形成され
る。また、圧電振動素子の主面の長さ方向の中央部でか
つその幅方向の両端部は、支持手段によって支持され
る。この場合、請求項2に記載の発明では、圧電振動素
子の主面の長さ方向の中央部でかつその幅方向の一端部
および他端部が、それぞれ、第1および第2の支持手段
によって支持される。さらに、ラダー形フィルタとして
用いられる場合には、直列共振子として用いられる圧電
振動素子の振動電極と、並列共振子として用いられる圧
電振動素子とが、接続手段によって機械的かつ電気的に
接続される。そのため、たとえば従来例のように、1つ
の共振子に対して2か所ずつ、金属ワイヤで接続する必
要がなく、従来例に比べて、金属ワイヤーなどの部品点
数が少なくてすみ、組み立て工程が簡単となる。すなわ
ち、従来の共振子に用いられる圧電振動素子と比べて、
圧電振動素子の取り付け高さが低くなり、製品の低背化
および小型化が図れる。
振子として用いられる平面視矩形状の圧電振動素子の幅
方向の一方および他方の側面全面に振動電極が形成され
る。また、圧電振動素子の主面の長さ方向の中央部でか
つその幅方向の両端部は、支持手段によって支持され
る。この場合、請求項2に記載の発明では、圧電振動素
子の主面の長さ方向の中央部でかつその幅方向の一端部
および他端部が、それぞれ、第1および第2の支持手段
によって支持される。さらに、ラダー形フィルタとして
用いられる場合には、直列共振子として用いられる圧電
振動素子の振動電極と、並列共振子として用いられる圧
電振動素子とが、接続手段によって機械的かつ電気的に
接続される。そのため、たとえば従来例のように、1つ
の共振子に対して2か所ずつ、金属ワイヤで接続する必
要がなく、従来例に比べて、金属ワイヤーなどの部品点
数が少なくてすみ、組み立て工程が簡単となる。すなわ
ち、従来の共振子に用いられる圧電振動素子と比べて、
圧電振動素子の取り付け高さが低くなり、製品の低背化
および小型化が図れる。
【0012】
【発明の効果】請求項1に記載の発明によれば、安価で
小型に組み立てることができる、圧電共振子が得られ
る。請求項2および請求項3に記載の発明によれば、安
価で小型に組み立てることができる、ラダー形フィルタ
が得られる。
小型に組み立てることができる、圧電共振子が得られ
る。請求項2および請求項3に記載の発明によれば、安
価で小型に組み立てることができる、ラダー形フィルタ
が得られる。
【0013】この発明の上述の目的、その他の目的、特
徴および利点は、図面を参照して行う以下の発明の実施
の形態の詳細な説明から一層明らかとなろう。
徴および利点は、図面を参照して行う以下の発明の実施
の形態の詳細な説明から一層明らかとなろう。
【0014】
【実施例】図1はこの発明の一実施例を示す一部分解斜
視図であり、図2(A)は図1に示すラダー形フィルタ
の一部断面図であり、図2(B)はその電気等価回路図
である。この実施例では、この発明にかかる圧電共振子
が適用されるラダー形フィルタおよびその製造方法につ
いて説明する。このラダー形フィルタ10は、たとえば
アルミナからなる矩形の基板12を含む。基板12の表
裏面には、たとえば3つのライン電極14,16および
18が形成される。ライン電極14,16および18
は、それぞれ、その長さ方向に所定の間隔を隔てて、か
つ、その幅方向の一端部から他端部にかけて形成され
る。この場合、ライン電極14は、入力電極として、基
板12の長さ方向の一端部に形成され、ライン電極16
は、出力電極として、基板12の長さ方向の中央部に形
成され、ライン電極18は、接地電極として、基板12
の長さ方向の他端部に形成される。
視図であり、図2(A)は図1に示すラダー形フィルタ
の一部断面図であり、図2(B)はその電気等価回路図
である。この実施例では、この発明にかかる圧電共振子
が適用されるラダー形フィルタおよびその製造方法につ
いて説明する。このラダー形フィルタ10は、たとえば
アルミナからなる矩形の基板12を含む。基板12の表
裏面には、たとえば3つのライン電極14,16および
18が形成される。ライン電極14,16および18
は、それぞれ、その長さ方向に所定の間隔を隔てて、か
つ、その幅方向の一端部から他端部にかけて形成され
る。この場合、ライン電極14は、入力電極として、基
板12の長さ方向の一端部に形成され、ライン電極16
は、出力電極として、基板12の長さ方向の中央部に形
成され、ライン電極18は、接地電極として、基板12
の長さ方向の他端部に形成される。
【0015】さらに、基板12の幅方向の一端側の側端
面には、ライン電極14、16および18の長さ方向の
一端から延びて、外部電極20a,20bおよび20c
がそれぞれ形成される。また、基板12の幅方向の他端
側の側端面には、ライン電極14、16および18の長
さ方向の他端から延びて、外部電極20d,20eおよ
び20fがそれぞれ形成される。外部電極20aおよび
20dは、それぞれ、基板12の表裏面のライン電極1
4の一端および他端と接続され、入力端子として形成さ
れる。外部電極20bおよび20eは、それぞれ、基板
12の表裏面のライン電極16の一端および他端と接続
され、出力端子として形成される。外部電極20cおよ
び20fは、それぞれ、基板12の表裏面のライン電極
18の一端および他端と接続され、グランド端子として
形成される。これらのライン電極14,16,18およ
び外部電極20a,20b,20c,20d,20e,
20fは、たとえば銀,銅,アルミなどの導体ペースト
を厚膜印刷することによって形成される。なお、はんだ
付け性を上げるために、厚膜印刷された導体ペースト上
に、さらに、NiAu等などの材料をめっきしてもよ
い。
面には、ライン電極14、16および18の長さ方向の
一端から延びて、外部電極20a,20bおよび20c
がそれぞれ形成される。また、基板12の幅方向の他端
側の側端面には、ライン電極14、16および18の長
さ方向の他端から延びて、外部電極20d,20eおよ
び20fがそれぞれ形成される。外部電極20aおよび
20dは、それぞれ、基板12の表裏面のライン電極1
4の一端および他端と接続され、入力端子として形成さ
れる。外部電極20bおよび20eは、それぞれ、基板
12の表裏面のライン電極16の一端および他端と接続
され、出力端子として形成される。外部電極20cおよ
び20fは、それぞれ、基板12の表裏面のライン電極
18の一端および他端と接続され、グランド端子として
形成される。これらのライン電極14,16,18およ
び外部電極20a,20b,20c,20d,20e,
20fは、たとえば銀,銅,アルミなどの導体ペースト
を厚膜印刷することによって形成される。なお、はんだ
付け性を上げるために、厚膜印刷された導体ペースト上
に、さらに、NiAu等などの材料をめっきしてもよ
い。
【0016】一方、基板12の表面には、その周縁に沿
って、絶縁層22が形成される。絶縁層22は、基板1
2の周縁から内側に所定の間隔を隔てて、たとえば平面
矩形環状に形成される。絶縁層22は、たとえばエポキ
シ樹脂,シリコーンアルキド樹脂,フェノール樹脂,ガ
ラスペーストなどの絶縁材料等を厚膜印刷等することに
よって形成される。また、基板12の表面上の絶縁層2
2の内側には、2つの圧電振動素子24および26が、
基板12の長さ方向に間隔を隔てて並行に配設される。
2つの圧電振動素子24,26は、それぞれ、その一方
主面が基板12の表面と対向するように配設される。
って、絶縁層22が形成される。絶縁層22は、基板1
2の周縁から内側に所定の間隔を隔てて、たとえば平面
矩形環状に形成される。絶縁層22は、たとえばエポキ
シ樹脂,シリコーンアルキド樹脂,フェノール樹脂,ガ
ラスペーストなどの絶縁材料等を厚膜印刷等することに
よって形成される。また、基板12の表面上の絶縁層2
2の内側には、2つの圧電振動素子24および26が、
基板12の長さ方向に間隔を隔てて並行に配設される。
2つの圧電振動素子24,26は、それぞれ、その一方
主面が基板12の表面と対向するように配設される。
【0017】一方の圧電振動素子24は、たとえば平面
視矩形状の圧電セラミックスからなる圧電体基板28を
含む。圧電体基板28には、その幅方向の一方の側面全
面に振動電極30aが形成され、その幅方向の他方の側
面全面に振動電極30bが形成される。この圧電振動素
子24は、長さ振動モードで振動し、直列共振子として
用いられる。他方の圧電振動素子26は、たとえば平面
視矩形状の圧電セラミックスからなる圧電体基板32を
含む。圧電体基板32は、上記圧電体基板28と略同形
同大に形成される。圧電体基板32には、その表面全面
に振動電極34aが形成され、その裏面全面に振動電極
34bが形成される。この圧電振動素子26は、長さ振
動モードで振動し、並列共振子として用いられる。な
お、各圧電振動素子を形成する圧電体基板は、必ずしも
略同形同大に形成されなくてもよい。
視矩形状の圧電セラミックスからなる圧電体基板28を
含む。圧電体基板28には、その幅方向の一方の側面全
面に振動電極30aが形成され、その幅方向の他方の側
面全面に振動電極30bが形成される。この圧電振動素
子24は、長さ振動モードで振動し、直列共振子として
用いられる。他方の圧電振動素子26は、たとえば平面
視矩形状の圧電セラミックスからなる圧電体基板32を
含む。圧電体基板32は、上記圧電体基板28と略同形
同大に形成される。圧電体基板32には、その表面全面
に振動電極34aが形成され、その裏面全面に振動電極
34bが形成される。この圧電振動素子26は、長さ振
動モードで振動し、並列共振子として用いられる。な
お、各圧電振動素子を形成する圧電体基板は、必ずしも
略同形同大に形成されなくてもよい。
【0018】圧電振動素子24は、たとえば銀などの導
電材料のフィラーをシリコンやエポキシ樹脂等の熱硬化
性樹脂中に混入した、所謂、導電性接着剤で接着される
ことによって、基板12の表面側に支持される。圧電振
動素子24は、その長さ方向の中央部で、かつ、その幅
方向の一端部および他端部が、第1および第2の支持手
段としての導電性接着剤36および38によって支持さ
れる。特に、シリコン樹脂をベースにした導電性接着剤
を用いた場合には、シリコン樹脂の有する弾性により、
振動もれを吸収することができ、特性の阻害をより確実
に防止できるという効果が得られる。
電材料のフィラーをシリコンやエポキシ樹脂等の熱硬化
性樹脂中に混入した、所謂、導電性接着剤で接着される
ことによって、基板12の表面側に支持される。圧電振
動素子24は、その長さ方向の中央部で、かつ、その幅
方向の一端部および他端部が、第1および第2の支持手
段としての導電性接着剤36および38によって支持さ
れる。特に、シリコン樹脂をベースにした導電性接着剤
を用いた場合には、シリコン樹脂の有する弾性により、
振動もれを吸収することができ、特性の阻害をより確実
に防止できるという効果が得られる。
【0019】すなわち、直列共振子として用いられる圧
電振動素子24は、その一方の振動電極30aとライン
電極14とが導電性接着剤36によって接着され、その
他方の振動電極30bとライン電極16とが導電性接着
剤38によって接着される。また、並列共振子として用
いられる圧電振動素子26は、その一方の振動電極34
bとライン電極16とが導電性接着剤38によって接着
される。この場合、ライン電極16には、導電性接着剤
38を介して、圧電振動素子24の他方の振動電極30
bが機械的かつ電気的に接続される。つまり、この導電
性接着剤38は、振動電極30bと34bとを接続する
第3の支持手段としても機能する。
電振動素子24は、その一方の振動電極30aとライン
電極14とが導電性接着剤36によって接着され、その
他方の振動電極30bとライン電極16とが導電性接着
剤38によって接着される。また、並列共振子として用
いられる圧電振動素子26は、その一方の振動電極34
bとライン電極16とが導電性接着剤38によって接着
される。この場合、ライン電極16には、導電性接着剤
38を介して、圧電振動素子24の他方の振動電極30
bが機械的かつ電気的に接続される。つまり、この導電
性接着剤38は、振動電極30bと34bとを接続する
第3の支持手段としても機能する。
【0020】さらに、圧電振動素子26の他方の振動電
極34aとライン電極18とが、電気的かつ機械的に接
続する手段として、たとえば金属ワイヤー40で電気的
に接続される。そして、基板12の表面には、2つの圧
電振動素子24,26および金属ワイヤー40などを覆
うようにして、たとえば一面開口状の金属キャップ42
が被せられ固着される。この場合、金属キャップ42の
開口端周縁部分が、たとえば絶縁性接着剤等の固着手段
(図示せず)によって、基板12表面の絶縁層22上に
固着される。
極34aとライン電極18とが、電気的かつ機械的に接
続する手段として、たとえば金属ワイヤー40で電気的
に接続される。そして、基板12の表面には、2つの圧
電振動素子24,26および金属ワイヤー40などを覆
うようにして、たとえば一面開口状の金属キャップ42
が被せられ固着される。この場合、金属キャップ42の
開口端周縁部分が、たとえば絶縁性接着剤等の固着手段
(図示せず)によって、基板12表面の絶縁層22上に
固着される。
【0021】このラダー形フィルタ10では、図2
(B)に示すように、入力端子としての外部電極20
a,20dと出力端子としての外部電極20b,20e
との間において、圧電振動素子24が直列に接続され、
圧電振動素子24につながる圧電振動素子26が並列に
接続される。すなわち、この実施例では、圧電振動素子
24および26が、直列と並列とを交互にはしご状に接
続した、所謂、2素子1段のラダー構造を形成してい
る。なお、この発明にかかる圧電共振子を適用したラダ
ー形フィルタでは、上述した様な構成の直列共振子と並
列共振子とを複数組用いて、2段以上のラダー構造を形
成するものであってもよい。また、上述の実施例におい
て、並列共振子として用いられる圧電振動素子26は、
その一方の振動電極34bを導電性接着剤38で接地電
極となるライン電極18に接続するようにし、その他方
の振動電極34aを出力電極となるライン電極16にた
とえば金属ワイヤーなどで電気的に接続するようにして
もよい。
(B)に示すように、入力端子としての外部電極20
a,20dと出力端子としての外部電極20b,20e
との間において、圧電振動素子24が直列に接続され、
圧電振動素子24につながる圧電振動素子26が並列に
接続される。すなわち、この実施例では、圧電振動素子
24および26が、直列と並列とを交互にはしご状に接
続した、所謂、2素子1段のラダー構造を形成してい
る。なお、この発明にかかる圧電共振子を適用したラダ
ー形フィルタでは、上述した様な構成の直列共振子と並
列共振子とを複数組用いて、2段以上のラダー構造を形
成するものであってもよい。また、上述の実施例におい
て、並列共振子として用いられる圧電振動素子26は、
その一方の振動電極34bを導電性接着剤38で接地電
極となるライン電極18に接続するようにし、その他方
の振動電極34aを出力電極となるライン電極16にた
とえば金属ワイヤーなどで電気的に接続するようにして
もよい。
【0022】次に、このラダー形フィルタ10の製造方
法の一例について、たとえば図3などを参照しながら説
明する。まず、たとえばアルミナからなる平面視矩形の
基板12が準備される。この基板12には、図3(A)
に示すように、所定の部分、すなわち、入力電極となる
ライン電極14、出力電極となるライン電極16、接地
電極となるライン電極18および外部電極20a,20
b,20c,20d,20e,20fに対応する部分
に、それぞれ、たとえば銀ペーストなどの導電材料がた
とえば厚膜印刷された後、焼成される。これにより、基
板12には、それぞれ、ライン電極14、16、18お
よび外部電極20a,20b,20c,20d,20
e,20fが形成される。また、基板12の表面上に
は、図3(B)に示すように、その周縁から内側に所定
の間隔を隔てた位置に、たとえばエポキシ樹脂,シリコ
ーンアルキド樹脂,フェノール樹脂,ガラスペーストな
どの絶縁材料等が、平面から見て、矩形環状に印刷され
た後、加熱されることにより、絶縁層22が形成され
る。この後、必要により、各電極14,16および18
を構成する導電材料上に、NiAu,Au等のめっきを
施してもよい。
法の一例について、たとえば図3などを参照しながら説
明する。まず、たとえばアルミナからなる平面視矩形の
基板12が準備される。この基板12には、図3(A)
に示すように、所定の部分、すなわち、入力電極となる
ライン電極14、出力電極となるライン電極16、接地
電極となるライン電極18および外部電極20a,20
b,20c,20d,20e,20fに対応する部分
に、それぞれ、たとえば銀ペーストなどの導電材料がた
とえば厚膜印刷された後、焼成される。これにより、基
板12には、それぞれ、ライン電極14、16、18お
よび外部電極20a,20b,20c,20d,20
e,20fが形成される。また、基板12の表面上に
は、図3(B)に示すように、その周縁から内側に所定
の間隔を隔てた位置に、たとえばエポキシ樹脂,シリコ
ーンアルキド樹脂,フェノール樹脂,ガラスペーストな
どの絶縁材料等が、平面から見て、矩形環状に印刷され
た後、加熱されることにより、絶縁層22が形成され
る。この後、必要により、各電極14,16および18
を構成する導電材料上に、NiAu,Au等のめっきを
施してもよい。
【0023】さらに、入力電極14の上には、図3
(C)に示すように、その幅方向の中央に、支持手段と
して、たとえば銀などの導電材料のフィラーを混入した
シリコンやエポキシ等の熱硬化性接着剤からなる導電性
接着剤36が印刷,転写などの方法により塗布される。
同様にして、ライン電極16の上には、その幅方向の中
央に、導電性接着剤38が塗布される。
(C)に示すように、その幅方向の中央に、支持手段と
して、たとえば銀などの導電材料のフィラーを混入した
シリコンやエポキシ等の熱硬化性接着剤からなる導電性
接着剤36が印刷,転写などの方法により塗布される。
同様にして、ライン電極16の上には、その幅方向の中
央に、導電性接着剤38が塗布される。
【0024】一方、直列共振子として用いられる圧電振
動素子24および並列共振子として用いられる圧電振動
素子26が作成される。すなわち、まず、図4(A)お
よび図5(A)に示すように、それぞれ、たとえば厚さ
がt1およびt2に形成された矩形状の圧電セラッミッ
クスからなる親基板100Aおよび100Bが準備され
る。
動素子24および並列共振子として用いられる圧電振動
素子26が作成される。すなわち、まず、図4(A)お
よび図5(A)に示すように、それぞれ、たとえば厚さ
がt1およびt2に形成された矩形状の圧電セラッミッ
クスからなる親基板100Aおよび100Bが準備され
る。
【0025】次に、親基板100A,100Bの表面お
よび裏面全面に、たとえば銀ペーストなどの導電材料が
たとえば厚膜印刷された後、焼成されることによって、
親基板100A,100Bの表面および裏面全面には、
それぞれ、振動電極100a1,100a2および10
0b1,100b2が形成される。この場合、親基板1
00Aは、振動電極100a1から振動電極100a2
へのP1方向に分極され、同様に、親基板100Bは、
振動電極100b1から振動電極100b2へのP2方
向に分極されている。なお、振動電極100a1,10
0a2および100b1,100b2を形成する方法と
しては、上述した印刷、焼成方法に換えて、スパッタ、
蒸着等により、NiCr,NiCu,Ag等を薄膜状に
形成したものでもよい。
よび裏面全面に、たとえば銀ペーストなどの導電材料が
たとえば厚膜印刷された後、焼成されることによって、
親基板100A,100Bの表面および裏面全面には、
それぞれ、振動電極100a1,100a2および10
0b1,100b2が形成される。この場合、親基板1
00Aは、振動電極100a1から振動電極100a2
へのP1方向に分極され、同様に、親基板100Bは、
振動電極100b1から振動電極100b2へのP2方
向に分極されている。なお、振動電極100a1,10
0a2および100b1,100b2を形成する方法と
しては、上述した印刷、焼成方法に換えて、スパッタ、
蒸着等により、NiCr,NiCu,Ag等を薄膜状に
形成したものでもよい。
【0026】それから、親基板100Aおよび100B
は、図4(A)および図5(A)の一点鎖線で示す切断
線で切断される。親基板100Aは、その長さ方向にL
1の間隔で、かつ、幅方向にw1の間隔で切断され、親
基板100Bは、その長さ方向にL2の間隔で、かつ、
幅方向にw2の間隔で切断される。この場合、圧電振動
素子の長さは、圧電材料固有の周波数定数で決定され、
L1とL2がたとえば4.2mmに形成される。また、
圧電振動素子の幅と厚さは、目的とする圧電振動素子間
の容量比により決定され、この実施例では、中心周波数
450KHzのフィルターを目的とした場合、w1とt
2がたとえば0.3mmに形成され、t1とw2がたと
えば1.1mmに形成される。したがって、この実施例
では、図4(B)および図5(B)に示すように、圧電
振動素子24と26の外形寸法がほぼ同じに形成され
る。そして、親基板100Aおよび100Bから切断さ
れて作成されたものが、それぞれ、直列共振子として用
いられる圧電振動素子24および並列共振子として用い
られる圧電振動素子26となる。
は、図4(A)および図5(A)の一点鎖線で示す切断
線で切断される。親基板100Aは、その長さ方向にL
1の間隔で、かつ、幅方向にw1の間隔で切断され、親
基板100Bは、その長さ方向にL2の間隔で、かつ、
幅方向にw2の間隔で切断される。この場合、圧電振動
素子の長さは、圧電材料固有の周波数定数で決定され、
L1とL2がたとえば4.2mmに形成される。また、
圧電振動素子の幅と厚さは、目的とする圧電振動素子間
の容量比により決定され、この実施例では、中心周波数
450KHzのフィルターを目的とした場合、w1とt
2がたとえば0.3mmに形成され、t1とw2がたと
えば1.1mmに形成される。したがって、この実施例
では、図4(B)および図5(B)に示すように、圧電
振動素子24と26の外形寸法がほぼ同じに形成され
る。そして、親基板100Aおよび100Bから切断さ
れて作成されたものが、それぞれ、直列共振子として用
いられる圧電振動素子24および並列共振子として用い
られる圧電振動素子26となる。
【0027】このようにして得られた圧電振動素子24
は、次に、図3(D)に示すように、導電性接着剤36
および38の上を跨がるようにして載置される。この場
合、圧電振動素子24は、その一方の振動電極30aと
導電性接着剤36とが接触するように、かつ、その他方
の振動電極30bと導電性接着剤38の一端部とが接触
するように、載置される。また、圧電振動素子26が、
図3(E)に示すように、圧電振動素子24と基板12
の長さ方向に所定の間隔を隔てて並行に載置される。こ
の場合、圧電振動素子26は、その一方の振動電極34
bが導電性接着剤38の他端部とが接触するように、載
置される。
は、次に、図3(D)に示すように、導電性接着剤36
および38の上を跨がるようにして載置される。この場
合、圧電振動素子24は、その一方の振動電極30aと
導電性接着剤36とが接触するように、かつ、その他方
の振動電極30bと導電性接着剤38の一端部とが接触
するように、載置される。また、圧電振動素子26が、
図3(E)に示すように、圧電振動素子24と基板12
の長さ方向に所定の間隔を隔てて並行に載置される。こ
の場合、圧電振動素子26は、その一方の振動電極34
bが導電性接着剤38の他端部とが接触するように、載
置される。
【0028】そして、圧電振動素子26の他方の振動電
極34aとライン電極18とが、たとえば抵抗溶接やワ
イヤーボンディングなどの方法により、金属ワイヤ40
で接続される。さらに、基板12の表面上には、2つの
圧電振動素子24,26および金属ワイヤー40などを
覆うようにして、金属キャップ42が、たとえば絶縁性
接着剤等の固着手段(図示せず)によって、基板12表
面の絶縁層22上に固着される。
極34aとライン電極18とが、たとえば抵抗溶接やワ
イヤーボンディングなどの方法により、金属ワイヤ40
で接続される。さらに、基板12の表面上には、2つの
圧電振動素子24,26および金属ワイヤー40などを
覆うようにして、金属キャップ42が、たとえば絶縁性
接着剤等の固着手段(図示せず)によって、基板12表
面の絶縁層22上に固着される。
【0029】図6はこの発明の他の実施例を示す一部分
解斜視図であり、図7(A)は図6に示すラダー形フィ
ルタの一部断面図であり、図7(B)はその電気等価回
路図である。また、図8は図6および図7で示したラダ
ー形フィルタの製造方法を示す製造工程図である。な
お、図面中の図1〜図5に示す実施例と同一の参照文字
または同一名称の部材については、同一または類似の構
造を示すもので、それらの各部材の共通部分の説明は省
略する。図6〜図8に示す実施例のラダー形フィルタ5
0では、図1〜図3の実施例のラダー形フィルタ10と
比べて、特に、基板12上での圧電振動素子24および
26の配置構成が相違している。この場合、図1〜図3
の実施例のラダー形フィルタ10では、直列共振子とし
て用いられる圧電振動素子24と並列共振子として用い
られる圧電振動素子26とが、基板12の表面上に平置
きにした配置構成であったのに対して、図6および図7
の実施例のラダー形フィルタ50では、それらの圧電振
動素子24および26を積み重ねた配置構成となってい
る。
解斜視図であり、図7(A)は図6に示すラダー形フィ
ルタの一部断面図であり、図7(B)はその電気等価回
路図である。また、図8は図6および図7で示したラダ
ー形フィルタの製造方法を示す製造工程図である。な
お、図面中の図1〜図5に示す実施例と同一の参照文字
または同一名称の部材については、同一または類似の構
造を示すもので、それらの各部材の共通部分の説明は省
略する。図6〜図8に示す実施例のラダー形フィルタ5
0では、図1〜図3の実施例のラダー形フィルタ10と
比べて、特に、基板12上での圧電振動素子24および
26の配置構成が相違している。この場合、図1〜図3
の実施例のラダー形フィルタ10では、直列共振子とし
て用いられる圧電振動素子24と並列共振子として用い
られる圧電振動素子26とが、基板12の表面上に平置
きにした配置構成であったのに対して、図6および図7
の実施例のラダー形フィルタ50では、それらの圧電振
動素子24および26を積み重ねた配置構成となってい
る。
【0030】すなわち、この実施例のラダー形フィルタ
50では、先の実施例と同様の方法で、圧電振動素子2
4の一方の振動電極30aとライン電極14とが、たと
えば銀などの導電材料のフィラーをシリコンやエポキシ
樹脂等の熱硬化性樹脂中に混入した、所謂、導電性接着
剤52によって接続され、その他方の振動電極30bと
ライン電極16とが導電性接着剤54によって接続され
る。導電性接着剤52,54は、圧電振動素子24を支
持する支持手段としての機能を有する。なお、図1〜図
5に示す実施例と同様に、特に、シリコン樹脂をベース
にした導電性接着剤を用いた場合には、シリコン樹脂の
有する弾性により、振動もれを吸収することができ、特
性の阻害をより確実に防止できるという効果が得られ
る。さらに、圧電振動素子24の上には、並列共振子と
して用いられる圧電振動素子26が、導電性接着剤など
で形成された接続手段56によって、層状に積み重ねら
れて接着される。この場合、圧電振動素子26の一方の
振動電極34bと圧電振動素子24の他方の振動電極3
0bとが、接続手段56を介して、機械的かつ電気的に
接続される。そして、圧電振動素子26の他方の振動電
極34aとライン電極18とが、金属ワイヤー40で接
続される。
50では、先の実施例と同様の方法で、圧電振動素子2
4の一方の振動電極30aとライン電極14とが、たと
えば銀などの導電材料のフィラーをシリコンやエポキシ
樹脂等の熱硬化性樹脂中に混入した、所謂、導電性接着
剤52によって接続され、その他方の振動電極30bと
ライン電極16とが導電性接着剤54によって接続され
る。導電性接着剤52,54は、圧電振動素子24を支
持する支持手段としての機能を有する。なお、図1〜図
5に示す実施例と同様に、特に、シリコン樹脂をベース
にした導電性接着剤を用いた場合には、シリコン樹脂の
有する弾性により、振動もれを吸収することができ、特
性の阻害をより確実に防止できるという効果が得られ
る。さらに、圧電振動素子24の上には、並列共振子と
して用いられる圧電振動素子26が、導電性接着剤など
で形成された接続手段56によって、層状に積み重ねら
れて接着される。この場合、圧電振動素子26の一方の
振動電極34bと圧電振動素子24の他方の振動電極3
0bとが、接続手段56を介して、機械的かつ電気的に
接続される。そして、圧電振動素子26の他方の振動電
極34aとライン電極18とが、金属ワイヤー40で接
続される。
【0031】図9はこの発明のさらに他の実施例を示す
一部分解斜視図であり、図10は(A)は図9に示すラ
ダー形フィルタの一部断面図であり、図10(B)はそ
の電気等価回路図である。なお、図面中の図1〜図8に
示す実施例と同一の参照文字または同一名称の部材につ
いては、同一または類似の構造を示すもので、それらの
各部材の共通部分の説明は省略する。図9および図10
に示す実施例のラダー形フィルタ60では、図6〜図8
の実施例のラダー形フィルタ50と比べて、特に、4つ
の圧電振動素子で2段のラダー形フィルタを構成してい
る。この実施例では、第1および第2の直列共振子とし
て、圧電振動素子24および62が用いられ、第1およ
び第2の並列共振子として、圧電振動素子26および6
4が用いられている。また、圧電振動素子62および6
4は、それぞれ、圧電振動素子24および26と同一の
構成を有するものである。すなわち、圧電振動素子62
は、圧電体基板28と同一構造の圧電体基板68を含
み、圧電体基板68の幅方向の一方および他方の側面全
面に振動電極68aおよび68bがそれぞれ形成され
て、長さ振動モードで振動するものである。また、圧電
振動素子64は、圧電体基板32と同一構造の圧電体基
板70を含み、圧電体基板70の一方主面および他方主
面全面に振動電極72aおよび72bがそれぞれ形成さ
れて、長さ振動モードで振動するものである。
一部分解斜視図であり、図10は(A)は図9に示すラ
ダー形フィルタの一部断面図であり、図10(B)はそ
の電気等価回路図である。なお、図面中の図1〜図8に
示す実施例と同一の参照文字または同一名称の部材につ
いては、同一または類似の構造を示すもので、それらの
各部材の共通部分の説明は省略する。図9および図10
に示す実施例のラダー形フィルタ60では、図6〜図8
の実施例のラダー形フィルタ50と比べて、特に、4つ
の圧電振動素子で2段のラダー形フィルタを構成してい
る。この実施例では、第1および第2の直列共振子とし
て、圧電振動素子24および62が用いられ、第1およ
び第2の並列共振子として、圧電振動素子26および6
4が用いられている。また、圧電振動素子62および6
4は、それぞれ、圧電振動素子24および26と同一の
構成を有するものである。すなわち、圧電振動素子62
は、圧電体基板28と同一構造の圧電体基板68を含
み、圧電体基板68の幅方向の一方および他方の側面全
面に振動電極68aおよび68bがそれぞれ形成され
て、長さ振動モードで振動するものである。また、圧電
振動素子64は、圧電体基板32と同一構造の圧電体基
板70を含み、圧電体基板70の一方主面および他方主
面全面に振動電極72aおよび72bがそれぞれ形成さ
れて、長さ振動モードで振動するものである。
【0032】図9および図10に示す実施例のラダー形
フィルタ60には、図6〜図8の実施例のラダー形フィ
ルタ50と比べて、基板12上に積み重ねられた2つの
圧電振動素子24,26と、基板12の長さ方向に所定
の間隔を隔てた位置に、他の2つの圧電振動素子62,
64が層状に積み重ねられている。さらに、基板12の
表面上には、ライン電極14とライン電極16との間に
中間電極となるライン電極74が形成されている。
フィルタ60には、図6〜図8の実施例のラダー形フィ
ルタ50と比べて、基板12上に積み重ねられた2つの
圧電振動素子24,26と、基板12の長さ方向に所定
の間隔を隔てた位置に、他の2つの圧電振動素子62,
64が層状に積み重ねられている。さらに、基板12の
表面上には、ライン電極14とライン電極16との間に
中間電極となるライン電極74が形成されている。
【0033】この場合、図6〜図8の実施例のラダー形
フィルタ50と同様に、第1の直列共振子として用いら
れる圧電振動素子24の一方の振動電極30aとライン
電極14とが導電性接着剤52によって接続され、その
他方の振動電極30bとライン電極74とが、導電性接
着剤54によって接続される。導電性接着剤52,54
は、圧電振動素子24を支持する支持手段としての機能
をも有する。また、圧電振動素子24の上には、第1の
並列共振子として用いられる圧電振動素子26が、第1
の接続手段56によって、層状に積み重ねられて接着さ
れる。
フィルタ50と同様に、第1の直列共振子として用いら
れる圧電振動素子24の一方の振動電極30aとライン
電極14とが導電性接着剤52によって接続され、その
他方の振動電極30bとライン電極74とが、導電性接
着剤54によって接続される。導電性接着剤52,54
は、圧電振動素子24を支持する支持手段としての機能
をも有する。また、圧電振動素子24の上には、第1の
並列共振子として用いられる圧電振動素子26が、第1
の接続手段56によって、層状に積み重ねられて接着さ
れる。
【0034】さらに、第2の直列共振子として用いられ
る圧電振動素子62は、その一方の振動電極68aが導
電性接着剤54を介してライン電極74に接続され、そ
の他方の振動電極68bが導電性接着剤76を介してラ
イン電極16に接続される。導電性接着剤54,76
は、圧電振動素子62を支持する支持手段としての機能
をも有する。また、圧電振動素子62の上には、第2の
並列共振子として用いられる圧電振動素子64が、導電
性接着剤などで形成された第2の接続手段78によっ
て、層状に積み重ねられて接着される。この場合、圧電
振動素子64の一方の振動電極72bと圧電振動素子6
2の他方の振動電極68bとが、第2の接続手段78を
介して、機械的かつ電気的に接続される。なお、図1〜
図8に示す実施例と同様に、特に、シリコン樹脂をベー
スにした導電性接着剤を用いた場合には、シリコン樹脂
の有する弾性により、振動もれを吸収することができ、
特性の阻害をより確実に防止できるという効果が得られ
る。
る圧電振動素子62は、その一方の振動電極68aが導
電性接着剤54を介してライン電極74に接続され、そ
の他方の振動電極68bが導電性接着剤76を介してラ
イン電極16に接続される。導電性接着剤54,76
は、圧電振動素子62を支持する支持手段としての機能
をも有する。また、圧電振動素子62の上には、第2の
並列共振子として用いられる圧電振動素子64が、導電
性接着剤などで形成された第2の接続手段78によっ
て、層状に積み重ねられて接着される。この場合、圧電
振動素子64の一方の振動電極72bと圧電振動素子6
2の他方の振動電極68bとが、第2の接続手段78を
介して、機械的かつ電気的に接続される。なお、図1〜
図8に示す実施例と同様に、特に、シリコン樹脂をベー
スにした導電性接着剤を用いた場合には、シリコン樹脂
の有する弾性により、振動もれを吸収することができ、
特性の阻害をより確実に防止できるという効果が得られ
る。
【0035】そして、圧電振動素子64の他方の振動電
極72aとライン電極18とが、金属ワイヤー40で接
続される。さらに、圧電振動素子26の他方の振動電極
34aと圧電振動素子64の他方の振動電極72aとが
金属ワイヤー41で接続される。
極72aとライン電極18とが、金属ワイヤー40で接
続される。さらに、圧電振動素子26の他方の振動電極
34aと圧電振動素子64の他方の振動電極72aとが
金属ワイヤー41で接続される。
【0036】図11はこの発明の別の実施例を示す一部
分解斜視図であり、図12(A)は図11に示すラダー
形フィルタの一部断面図であり、図11(B)はその電
気等価回路図である。なお、図面中の図1〜図10に示
す実施例と同一の参照文字または同一名称の部材につい
ては、同一または類似の構造を示すもので、それらの各
部材の共通部分の説明は省略する。図11および図11
に示す実施例のラダー形フィルタ80では、図9および
図10の実施例のラダー形フィルタ60と比べて、特
に、6つの圧電振動素子で3段のラダー形フィルタを構
成している。この実施例では、第1,第2および第3の
直列共振子として、圧電振動素子24,62および82
が用いられ、第1,第2および第3の並列共振子とし
て、圧電振動素子26,64および84が用いられてい
る。また、圧電振動素子82および84は、それぞれ、
圧電振動素子24および26と同一の構成を有するもの
である。
分解斜視図であり、図12(A)は図11に示すラダー
形フィルタの一部断面図であり、図11(B)はその電
気等価回路図である。なお、図面中の図1〜図10に示
す実施例と同一の参照文字または同一名称の部材につい
ては、同一または類似の構造を示すもので、それらの各
部材の共通部分の説明は省略する。図11および図11
に示す実施例のラダー形フィルタ80では、図9および
図10の実施例のラダー形フィルタ60と比べて、特
に、6つの圧電振動素子で3段のラダー形フィルタを構
成している。この実施例では、第1,第2および第3の
直列共振子として、圧電振動素子24,62および82
が用いられ、第1,第2および第3の並列共振子とし
て、圧電振動素子26,64および84が用いられてい
る。また、圧電振動素子82および84は、それぞれ、
圧電振動素子24および26と同一の構成を有するもの
である。
【0037】すなわち、圧電振動素子82は、圧電体基
板28と同一構造の圧電体基板86を含み、圧電体基板
86の幅方向の一方および他方の側面全面に振動電極8
6aおよび86bがそれぞれ形成されて、長さ振動モー
ドで振動するものである。また、圧電振動素子84は、
圧電体基板32と同一構造の圧電体基板90を含み、圧
電体基板90の長さ方向の一方主面および他方主面全面
に振動電極92aおよび92bがそれぞれ形成されて、
長さ振動モードで振動するものである。
板28と同一構造の圧電体基板86を含み、圧電体基板
86の幅方向の一方および他方の側面全面に振動電極8
6aおよび86bがそれぞれ形成されて、長さ振動モー
ドで振動するものである。また、圧電振動素子84は、
圧電体基板32と同一構造の圧電体基板90を含み、圧
電体基板90の長さ方向の一方主面および他方主面全面
に振動電極92aおよび92bがそれぞれ形成されて、
長さ振動モードで振動するものである。
【0038】図11および図12に示す実施例のラダー
形フィルタ80には、図9および図10の実施例のラダ
ー形フィルタ60と比べて、基板12上に積み重ねられ
た2組の圧電振動素子24,26および62,64と、
基板12の長さ方向に所定の間隔を隔てた位置に、さら
に他の2つの圧電振動素子82,84が層状に積み重ね
られている。さらに、基板12の表面上には、ライン電
極74とライン電極16との間に他の中間電極となるラ
イン電極94が形成されている。
形フィルタ80には、図9および図10の実施例のラダ
ー形フィルタ60と比べて、基板12上に積み重ねられ
た2組の圧電振動素子24,26および62,64と、
基板12の長さ方向に所定の間隔を隔てた位置に、さら
に他の2つの圧電振動素子82,84が層状に積み重ね
られている。さらに、基板12の表面上には、ライン電
極74とライン電極16との間に他の中間電極となるラ
イン電極94が形成されている。
【0039】この場合、図9および図10の実施例のラ
ダー形フィルタ60と比べて、さらに、第3の直列共振
子として用いられる圧電振動素子82は、その一方の振
動電極86aが導電性接着剤76を介してライン電極9
4に接続され、その他方の振動電極86bが導電性接着
剤96を介してライン電極16に接続される。導電性接
着剤76,96は、圧電振動素子82を支持する支持手
段としての機能をも有する。また、圧電振動素子82の
上には、第3の並列共振子として用いられる圧電振動素
子84が、導電性接着剤などで形成された第3の接続手
段98によって、層状に積み重ねられて接着される。こ
の場合、圧電振動素子84の一方の振動電極92bと圧
電振動素子82の他方の振動電極86bとが、第3の接
続手段98介して、機械的かつ電気的に接続される。な
お、図1〜図10に示す実施例と同様に、特に、シリコ
ン樹脂をベースにした導電性接着剤を用いた場合には、
シリコン樹脂の有する弾性により、振動もれを吸収する
ことができ、特性の阻害をより確実に防止できるという
効果が得られる。
ダー形フィルタ60と比べて、さらに、第3の直列共振
子として用いられる圧電振動素子82は、その一方の振
動電極86aが導電性接着剤76を介してライン電極9
4に接続され、その他方の振動電極86bが導電性接着
剤96を介してライン電極16に接続される。導電性接
着剤76,96は、圧電振動素子82を支持する支持手
段としての機能をも有する。また、圧電振動素子82の
上には、第3の並列共振子として用いられる圧電振動素
子84が、導電性接着剤などで形成された第3の接続手
段98によって、層状に積み重ねられて接着される。こ
の場合、圧電振動素子84の一方の振動電極92bと圧
電振動素子82の他方の振動電極86bとが、第3の接
続手段98介して、機械的かつ電気的に接続される。な
お、図1〜図10に示す実施例と同様に、特に、シリコ
ン樹脂をベースにした導電性接着剤を用いた場合には、
シリコン樹脂の有する弾性により、振動もれを吸収する
ことができ、特性の阻害をより確実に防止できるという
効果が得られる。
【0040】そして、圧電振動素子84の他方の振動電
極92aとライン電極18とが、金属ワイヤー40で接
続される。さらに、圧電振動素子84の他方の振動電極
92aと圧電振動素子64の他方の振動電極72aとが
金属ワイヤー43で接続される。
極92aとライン電極18とが、金属ワイヤー40で接
続される。さらに、圧電振動素子84の他方の振動電極
92aと圧電振動素子64の他方の振動電極72aとが
金属ワイヤー43で接続される。
【0041】上述の各実施例に示すラダー形フィルタ1
0,50,60および80では、直列共振子として用い
られる圧電振動素子の振動電極と並列共振子として用い
られる圧電振動素子とが、導電性接着剤などの接続手段
によって、機械的かつ電気的に接続されているため、た
とえば図14で示した従来例のラダー形フィルタ1のよ
うに、1つの共振子に対して2か所ずつ、金属ワイヤで
接続する必要がない。つまり、金属ワイヤーなどの部品
点数をできるだけ少なくすることができる。そのため、
上述の各実施例に示すラダー形フィルタ10,50,6
0および80では、従来例に比べて、組み立て工程が簡
単となり、製造コストも安価にすることができる。
0,50,60および80では、直列共振子として用い
られる圧電振動素子の振動電極と並列共振子として用い
られる圧電振動素子とが、導電性接着剤などの接続手段
によって、機械的かつ電気的に接続されているため、た
とえば図14で示した従来例のラダー形フィルタ1のよ
うに、1つの共振子に対して2か所ずつ、金属ワイヤで
接続する必要がない。つまり、金属ワイヤーなどの部品
点数をできるだけ少なくすることができる。そのため、
上述の各実施例に示すラダー形フィルタ10,50,6
0および80では、従来例に比べて、組み立て工程が簡
単となり、製造コストも安価にすることができる。
【0042】また、従来例のラダー形フィルタ1では、
図14に示すように、直列共振子と並列共振子との容量
比をとるために、直列共振子となる圧電振動子の厚みが
大きく形成されていたので、その圧電振動素子の全面電
極が形成された面を下にして、各圧電振動素子の長さ振
動のノード点付近を導電性接着剤で端子板に接着固定し
た場合、圧電振動素子の取り付け高さが高くなり、製品
の小型化の支障となっていたのに対して、上述の各実施
例に示すラダー形フィルタ10,50,60および80
では、直列共振子として用いられる矩形板状の圧電振動
素子の幅方向の一方および他方の側面全面に振動電極を
形成し、さらに、圧電振動素子の主面の長さ方向の中央
部でかつその幅方向の両端部が、導電性接着剤などの支
持手段で支持されている。そのため、上述の各実施例に
示すラダー形フィルタ10,50,60および80で
は、従来例に比べて、圧電振動素子の取り付け高さが低
くなり、製品の低背化および小型化を図ることができ
る。
図14に示すように、直列共振子と並列共振子との容量
比をとるために、直列共振子となる圧電振動子の厚みが
大きく形成されていたので、その圧電振動素子の全面電
極が形成された面を下にして、各圧電振動素子の長さ振
動のノード点付近を導電性接着剤で端子板に接着固定し
た場合、圧電振動素子の取り付け高さが高くなり、製品
の小型化の支障となっていたのに対して、上述の各実施
例に示すラダー形フィルタ10,50,60および80
では、直列共振子として用いられる矩形板状の圧電振動
素子の幅方向の一方および他方の側面全面に振動電極を
形成し、さらに、圧電振動素子の主面の長さ方向の中央
部でかつその幅方向の両端部が、導電性接着剤などの支
持手段で支持されている。そのため、上述の各実施例に
示すラダー形フィルタ10,50,60および80で
は、従来例に比べて、圧電振動素子の取り付け高さが低
くなり、製品の低背化および小型化を図ることができ
る。
【0043】図13(A)はこの発明のさらに別の実施
例を示す一部分解斜視図であり、図13(B)はその一
部断面図である。この実施例では、この発明にかかる圧
電共振子が適用される発振子の一例について説明する。
この発振子110は、たとえばアルミナからなる矩形の
基板112を含む。基板112の表裏面には、たとえば
2つのライン電極114および116が形成される。ラ
イン電極114および116は、それぞれ、基板112
の幅方向の一端側および他端側で、その長さ方向の一端
から他端にかけて形成される。この実施例では、ライン
電極114および116が、それぞれ、入力電極および
出力電極として形成される。
例を示す一部分解斜視図であり、図13(B)はその一
部断面図である。この実施例では、この発明にかかる圧
電共振子が適用される発振子の一例について説明する。
この発振子110は、たとえばアルミナからなる矩形の
基板112を含む。基板112の表裏面には、たとえば
2つのライン電極114および116が形成される。ラ
イン電極114および116は、それぞれ、基板112
の幅方向の一端側および他端側で、その長さ方向の一端
から他端にかけて形成される。この実施例では、ライン
電極114および116が、それぞれ、入力電極および
出力電極として形成される。
【0044】さらに、基板112の長さ方向の一端側の
側端面には、ライン電極114および116の長さ方向
の一端から延びて、外部電極120aおよび120bが
それぞれ形成される。また、基板112の長さ方向の他
端側の側端面には、ライン電極114および116の長
さ方向の他端から延びて、外部電極120cおよび12
0dがそれぞれ形成される。外部電極120aおよび1
20cは、それぞれ、基板112の表裏面のライン電極
114の一端および他端と接続され、入力端子として形
成される。外部電極120cおよび120dは、それぞ
れ、基板112の表裏面のライン電極116の一端およ
び他端と接続され、出力端子として形成される。これら
のライン電極114,116の外部電極120a〜12
0dは、たとえば銀,銅,アルミなどの導体ペーストを
厚膜印刷することによって形成される。なお、はんだ付
け性を上げるために、厚膜印刷された導体ペースト上
に、さらに、NiAu,Au等の材料をめっきしてもよ
い。
側端面には、ライン電極114および116の長さ方向
の一端から延びて、外部電極120aおよび120bが
それぞれ形成される。また、基板112の長さ方向の他
端側の側端面には、ライン電極114および116の長
さ方向の他端から延びて、外部電極120cおよび12
0dがそれぞれ形成される。外部電極120aおよび1
20cは、それぞれ、基板112の表裏面のライン電極
114の一端および他端と接続され、入力端子として形
成される。外部電極120cおよび120dは、それぞ
れ、基板112の表裏面のライン電極116の一端およ
び他端と接続され、出力端子として形成される。これら
のライン電極114,116の外部電極120a〜12
0dは、たとえば銀,銅,アルミなどの導体ペーストを
厚膜印刷することによって形成される。なお、はんだ付
け性を上げるために、厚膜印刷された導体ペースト上
に、さらに、NiAu,Au等の材料をめっきしてもよ
い。
【0045】一方、基板112の表面には、その周縁に
沿って、絶縁層122が形成される。絶縁層122は、
基板112の周縁から内側に所定の間隔を隔てて、たと
えば平面矩形環状に形成される。絶縁層22は、たとえ
ばエポキシ樹脂,シリコーンアルキド樹脂,フェノール
樹脂,ガラスペーストなどの絶縁材料を厚膜印刷等する
ことによって形成される。また、基板112の表面上の
絶縁層122の内側には、たとえば1つの圧電振動素子
124が、その一方主面を基板112の表面と対向する
ように配設される。
沿って、絶縁層122が形成される。絶縁層122は、
基板112の周縁から内側に所定の間隔を隔てて、たと
えば平面矩形環状に形成される。絶縁層22は、たとえ
ばエポキシ樹脂,シリコーンアルキド樹脂,フェノール
樹脂,ガラスペーストなどの絶縁材料を厚膜印刷等する
ことによって形成される。また、基板112の表面上の
絶縁層122の内側には、たとえば1つの圧電振動素子
124が、その一方主面を基板112の表面と対向する
ように配設される。
【0046】この圧電振動素子124は、たとえば平面
視矩形板状の圧電セラミックスからなる圧電体基板12
8を含む。圧電体基板128には、その幅方向の一方の
側面全面に振動電極130aが形成され、その幅方向の
他方の側面全面に振動電極130bが形成される。この
圧電振動素子124は、長さ振動モードで振動する共振
子として用いられる。圧電振動素子124は、その長さ
方向の中央部で、かつ、その幅方向の一端部および他端
部が、支持手段としての導電性接着剤136および13
8によって基板112の表面上に支持される。
視矩形板状の圧電セラミックスからなる圧電体基板12
8を含む。圧電体基板128には、その幅方向の一方の
側面全面に振動電極130aが形成され、その幅方向の
他方の側面全面に振動電極130bが形成される。この
圧電振動素子124は、長さ振動モードで振動する共振
子として用いられる。圧電振動素子124は、その長さ
方向の中央部で、かつ、その幅方向の一端部および他端
部が、支持手段としての導電性接着剤136および13
8によって基板112の表面上に支持される。
【0047】この場合、圧電振動素子124は、その一
方の振動電極130aとライン電極114とが導電性接
着剤136によって接着され、その他方の振動電極13
0bとライン電極116とが導電性接着剤138によっ
て接着される。すなわち、ライン電極114および11
6には、それぞれ、導電性接着剤136および138を
介して、圧電振動素子24の一方および他方の振動電極
130aおよび130bが機械的かつ電気的に接続され
る。つまり、この導電性接着剤136および138は、
ライン電極114,116と振動電極130a,130
bとをそれぞれ電気的に接続する接続手段としても機能
する。なお、上述の各実施例と同様に、特に、シリコン
樹脂をベースにした導電性接着剤を用いた場合には、シ
リコン樹脂の有する弾性により、振動もれを吸収するこ
とができ、特性の阻害をより確実に防止できるという効
果が得られる。
方の振動電極130aとライン電極114とが導電性接
着剤136によって接着され、その他方の振動電極13
0bとライン電極116とが導電性接着剤138によっ
て接着される。すなわち、ライン電極114および11
6には、それぞれ、導電性接着剤136および138を
介して、圧電振動素子24の一方および他方の振動電極
130aおよび130bが機械的かつ電気的に接続され
る。つまり、この導電性接着剤136および138は、
ライン電極114,116と振動電極130a,130
bとをそれぞれ電気的に接続する接続手段としても機能
する。なお、上述の各実施例と同様に、特に、シリコン
樹脂をベースにした導電性接着剤を用いた場合には、シ
リコン樹脂の有する弾性により、振動もれを吸収するこ
とができ、特性の阻害をより確実に防止できるという効
果が得られる。
【0048】さらに、基板112の表面には、圧電振動
素子124を覆うようにして、たとえば一面開口状の金
属キャップ142が被せられ固着される。この場合、金
属キャップ142の開口端周縁部分が、たとえば絶縁性
接着剤等の固着手段(図示せず)によって、基板112
表面の絶縁層122上に固着される。
素子124を覆うようにして、たとえば一面開口状の金
属キャップ142が被せられ固着される。この場合、金
属キャップ142の開口端周縁部分が、たとえば絶縁性
接着剤等の固着手段(図示せず)によって、基板112
表面の絶縁層122上に固着される。
【図1】この発明の一実施例を示す一部分解斜視図であ
る。
る。
【図2】(A)は図1に示すラダー形フィルタの一部断
面図であり、(B)はその電気等価回路図である。
面図であり、(B)はその電気等価回路図である。
【図3】図1および図2で示したラダー形フィルタの製
造方法を示す図解図である。
造方法を示す図解図である。
【図4】(A)は図1ないし図3で示したラダー形フィ
ルタに適用され、直列共振子としての機能を有する圧電
振動素子の製造方法を示す斜視図であり、(B)はその
製造方法により得られた圧電振動素子を示す斜視図であ
る。
ルタに適用され、直列共振子としての機能を有する圧電
振動素子の製造方法を示す斜視図であり、(B)はその
製造方法により得られた圧電振動素子を示す斜視図であ
る。
【図5】(A)は図1ないし図3で示したラダー形フィ
ルタに適用され、並列共振子としての機能を有する圧電
振動素子の製造方法を示す斜視図であり、(B)はその
製造方法により得られた圧電振動素子を示す斜視図であ
る。
ルタに適用され、並列共振子としての機能を有する圧電
振動素子の製造方法を示す斜視図であり、(B)はその
製造方法により得られた圧電振動素子を示す斜視図であ
る。
【図6】この発明の他の実施例を示す一部分解斜視図で
ある。
ある。
【図7】(A)は図6に示すラダー形フィルタの一部断
面図であり、(B)はその電気等価回路図である。
面図であり、(B)はその電気等価回路図である。
【図8】図6および図7で示したラダー形フィルタの製
造方法を示す図解図である。
造方法を示す図解図である。
【図9】この発明のさらに他の実施例を示す一部分解斜
視図である。
視図である。
【図10】(A)は図9に示すラダー形フィルタの一部
断面図であり、(B)はその電気等価回路図である。
断面図であり、(B)はその電気等価回路図である。
【図11】この発明の別の実施例を示す一部分解斜視図
である。
である。
【図12】(A)は図11に示すラダー形フィルタの一
部断面図であり、(B)はその電気等価回路図である。
部断面図であり、(B)はその電気等価回路図である。
【図13】(A)はこの発明のさらに別の実施例を示す
一部分解斜視図であり、(B)はその一部断面図であ
る。
一部分解斜視図であり、(B)はその一部断面図であ
る。
【図14】(A)はこの発明の背景となる従来のラダー
形フィルタの一例を示す要部斜視図であり、(B)はそ
の電気等価回路図である。
形フィルタの一例を示す要部斜視図であり、(B)はそ
の電気等価回路図である。
10,50,60,80 ラダー形フィルタ 12,112 基板 14,114 ライン電極(入力) 16,116 ライン電極(出力) 18 ライン電極(接地) 20a〜20f,120a〜120d 外部電極 22,122 絶縁層 24,26,62,64,82,84,124,126
圧電振動素子 28,32,68,70,86,90,128 圧電体
基板 30a,30b,34a,34b,68a,68b,7
2a,72b,92a,92b,100a1,100a
2,100b1,100b2,130a,130b 振
動電極 36,38,52,54,76,96,136,138
導電性接着剤(支持手段) 40,41,43 金属ワイヤー 42,142 金属キャップ 56 導電性接着剤(第1の接続手段) 78 導電性接着剤(第2の接続手段) 98 導電性接着剤(第3の接続手段) 100A,100B 親基板 110 発振子
圧電振動素子 28,32,68,70,86,90,128 圧電体
基板 30a,30b,34a,34b,68a,68b,7
2a,72b,92a,92b,100a1,100a
2,100b1,100b2,130a,130b 振
動電極 36,38,52,54,76,96,136,138
導電性接着剤(支持手段) 40,41,43 金属ワイヤー 42,142 金属キャップ 56 導電性接着剤(第1の接続手段) 78 導電性接着剤(第2の接続手段) 98 導電性接着剤(第3の接続手段) 100A,100B 親基板 110 発振子
Claims (3)
- 【請求項1】 平面視矩形状の圧電体基板の対向する一
方および他方の側面に電極が形成され、長さ振動モード
で振動する共振子を含み、 前記共振子の主面の長さ方向の中央部で、且つ、前記共
振子の主面の幅方向の一端側および他端側が、導電性を
有する支持手段により支持される支持構造を含む、圧電
共振子。 - 【請求項2】 第1の導電路、第2の導電路および第3
の導電路を具備する基板、 平面視矩形状の圧電体基板の対向する一方および他方の
側面に電極が形成され、長さ振動モードで振動する直列
共振子、 平面視矩形状の圧電体基板の一方および他方の主面に電
極が形成され、長さ振動モードで振動し、前記直列共振
子と間隔を隔てて配設される並列共振子、 前記直列共振子の主面の長さ方向の中央部で、且つ、前
記直列共振子の主面の幅方向の一端側および他端側に配
設され、前記直列共振子を前記基板上に支持すると共
に、前記直列共振子の一方および他方の電極を前記第1
の導電路および前記第2の導電路にそれぞれ電気的に接
続する第1の支持手段および第2の支持手段、 前記並列共振子の主面の長さ方向の中央部に配置され、
前記並列共振子を前記基板上に支持すると共に、前記並
列共振子の一方の電極を前記第2の導電路または前記第
3の導電路のいづれか一方に電気的に接続する第3の支
持手段、および前記並列共振子の他方の電極を、前記並
列共振子の一方の電極と接続されていない前記第2の導
電路または前記第3の導電路の一方と電気的に接続する
手段を含む、ラダー形フィルタ。 - 【請求項3】 平面視矩形状の圧電体基板の対向する一
方および他方の側面に電極が形成され、長さ振動モード
で振動する直列共振子、 前記直列共振子の主面の長さ方向の中央部で、且つ、前
記直列共振子の主面の幅方向の一端側および他端側を支
持し、導電性を有する支持手段、 平面視矩形状の圧電体基板の一方および他方の主面に電
極が形成され、長さ振動モードで振動する並列共振子、
および前記直列共振子と前記並列共振子とを積み重ねて
層状に接着すると共に、前記並列共振子の一方の主面の
電極と前記直列共振子の一方の側面の電極とを電気的か
つ機械的に接続する接続手段を含む、ラダー形フィル
タ。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10623096A JP3218971B2 (ja) | 1996-04-01 | 1996-04-01 | ラダー形フィルタ |
US08/763,252 US5844452A (en) | 1996-04-01 | 1996-12-10 | Piezoelectric ladder filter utilizing resonator with electrodes on opposite side edges |
KR1019970004355A KR100229998B1 (ko) | 1996-04-01 | 1997-02-14 | 압전 공진자 |
FR9703679A FR2746985B1 (fr) | 1996-04-01 | 1997-03-26 | Resonateur piezoelectrique |
CN97104943A CN1073305C (zh) | 1996-04-01 | 1997-03-28 | 压电谐振器 |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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ID=14428331
Family Applications (1)
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JPH1079639A (ja) * | 1996-07-10 | 1998-03-24 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電共振子およびそれを用いた電子部品 |
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JPH118526A (ja) * | 1997-04-25 | 1999-01-12 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電共振子およびそれを用いた電子部品 |
JP2001036376A (ja) * | 1999-07-23 | 2001-02-09 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電共振子及び圧電部品 |
DE10039646A1 (de) * | 1999-08-18 | 2001-03-08 | Murata Manufacturing Co | Leitende Abdeckung, Elektronisches Bauelement und Verfahren zur Bildung einer isolierenden Schicht der leitenden Abdeckung |
CN1531198A (zh) | 2000-07-25 | 2004-09-22 | Tdk��ʽ���� | 压电谐振器、压电谐振器器件及其制造方法 |
JP3438711B2 (ja) | 2000-09-06 | 2003-08-18 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電デバイス及びその製造方法 |
DE10104610B4 (de) * | 2001-02-02 | 2013-05-08 | Robert Bosch Gmbh | Ultraschall-Sensoranordnung für horizontal polarisierte Transversalwellen |
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JP2003298392A (ja) * | 2002-03-29 | 2003-10-17 | Fujitsu Media Device Kk | フィルタチップ及びフィルタ装置 |
JP2009281786A (ja) * | 2008-05-20 | 2009-12-03 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 圧電センサ及び感知装置 |
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FR2953679B1 (fr) * | 2009-12-04 | 2012-06-01 | Thales Sa | Boitier electronique hermetique et procede d'assemblage hermetique d'un boitier |
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FR2458150A1 (fr) * | 1979-05-31 | 1980-12-26 | Ebauches Sa | Resonateur a cristal taille pour fonctionner en cisaillement d'epaisseur |
DE2925893A1 (de) * | 1979-06-27 | 1981-01-08 | Standard Elektrik Lorenz Ag | Aus keramikresonatoren aufgebautes filter |
JPS639141Y2 (ja) * | 1980-10-22 | 1988-03-18 | ||
DE3377043D1 (en) * | 1982-02-22 | 1988-07-14 | Fujitsu Ltd | Piezoelectric resonators |
JPS63253711A (ja) * | 1987-04-09 | 1988-10-20 | Kyocera Corp | 梯子型圧電フイルタ |
JPH04284015A (ja) * | 1991-03-13 | 1992-10-08 | Murata Mfg Co Ltd | ラダー型フィルタ |
US5400001A (en) * | 1992-09-21 | 1995-03-21 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Piezoelectric resonator and piezoelectric filter |
JPH07240661A (ja) * | 1994-02-25 | 1995-09-12 | Ngk Spark Plug Co Ltd | 高周波用ラダー型圧電フィルタ |
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