JPH09270120A - 磁気記録媒体 - Google Patents
磁気記録媒体Info
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- JPH09270120A JPH09270120A JP7886196A JP7886196A JPH09270120A JP H09270120 A JPH09270120 A JP H09270120A JP 7886196 A JP7886196 A JP 7886196A JP 7886196 A JP7886196 A JP 7886196A JP H09270120 A JPH09270120 A JP H09270120A
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- Japan
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- magnetic
- film
- recording medium
- magnetic recording
- coercive force
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 高出力で、かつ、オーバーライト特性に優れ
た磁気記録媒体を提供することである。 【解決手段】 上層磁性膜の厚さ≦下層磁性膜の厚さを
満たす複数層の磁性膜が長尺状支持体に積層された磁気
記録媒体であって、（磁気記録媒体の垂直方向に磁場を
印加して測定した保磁力Ｈｃ⊥）／（磁気記録媒体の長
手方向に磁場を印加して測定した保磁力Ｈｃ‖）が１．
７〜２．０である磁気記録媒体。
た磁気記録媒体を提供することである。 【解決手段】 上層磁性膜の厚さ≦下層磁性膜の厚さを
満たす複数層の磁性膜が長尺状支持体に積層された磁気
記録媒体であって、（磁気記録媒体の垂直方向に磁場を
印加して測定した保磁力Ｈｃ⊥）／（磁気記録媒体の長
手方向に磁場を印加して測定した保磁力Ｈｃ‖）が１．
７〜２．０である磁気記録媒体。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、磁気記録媒体に関
する。
する。
【０００２】
【発明が解決しようとする課題】近年、高記録密度用磁
気テープとして蒸着テープが盛んに研究されている。例
えば、微細突起を有する支持体上に形成した磁気記録媒
体の垂直方向の保磁力が長手方向の保磁力の１．２〜
１．７倍にある磁気記録媒体が提案（特公平５−６１６
８３号公報）されている。
気テープとして蒸着テープが盛んに研究されている。例
えば、微細突起を有する支持体上に形成した磁気記録媒
体の垂直方向の保磁力が長手方向の保磁力の１．２〜
１．７倍にある磁気記録媒体が提案（特公平５−６１６
８３号公報）されている。
【０００３】しかし、この提案の磁気記録媒体でも十分
なものではなくなった。すなわち、更なる出力アップが
求められ、かつ、オーバーライト特性の向上が求められ
た。従って、本発明の課題は、高出力で、かつ、オーバ
ーライト特性に優れた磁気記録媒体を提供することであ
る。
なものではなくなった。すなわち、更なる出力アップが
求められ、かつ、オーバーライト特性の向上が求められ
た。従って、本発明の課題は、高出力で、かつ、オーバ
ーライト特性に優れた磁気記録媒体を提供することであ
る。
【０００４】
【課題を解決するための手段】前記本発明の課題は、上
層磁性膜の厚さ≦下層磁性膜の厚さを満たす複数層の磁
性膜が長尺状支持体に積層された磁気記録媒体であっ
て、（磁気記録媒体の垂直方向に磁場を印加して測定し
た保磁力Ｈｃ⊥）／（磁気記録媒体の長手方向に磁場を
印加して測定した保磁力Ｈｃ‖）が１．７〜２．０であ
ることを特徴とする磁気記録媒体によって解決される。
層磁性膜の厚さ≦下層磁性膜の厚さを満たす複数層の磁
性膜が長尺状支持体に積層された磁気記録媒体であっ
て、（磁気記録媒体の垂直方向に磁場を印加して測定し
た保磁力Ｈｃ⊥）／（磁気記録媒体の長手方向に磁場を
印加して測定した保磁力Ｈｃ‖）が１．７〜２．０であ
ることを特徴とする磁気記録媒体によって解決される。
【０００５】特に、上層磁性膜の厚さ≦下層磁性膜の厚
さを満たす複数層の磁性膜が長尺状支持体に積層された
磁気記録媒体であって、（磁気記録媒体の垂直方向に磁
場を印加して測定した保磁力Ｈｃ⊥）／（磁気記録媒体
の長手方向に磁場を印加して測定した保磁力Ｈｃ‖）が
１．７５〜１．８５であることを特徴とする磁気記録媒
体によって解決される。
さを満たす複数層の磁性膜が長尺状支持体に積層された
磁気記録媒体であって、（磁気記録媒体の垂直方向に磁
場を印加して測定した保磁力Ｈｃ⊥）／（磁気記録媒体
の長手方向に磁場を印加して測定した保磁力Ｈｃ‖）が
１．７５〜１．８５であることを特徴とする磁気記録媒
体によって解決される。
【０００６】すなわち、上記のように構成させることに
よって、リング型磁気ヘッドを用いた場合における出力
が向上し、かつ、オーバーライト特性も優れたものとな
る。尚、出力やオーバーライト特性の向上は、Ｈｃ⊥／
Ｈｃ‖を１．７〜２．０としたのみで得られるものでは
ない。すなわち、磁性膜が単層膜の場合には、Ｈｃ⊥／
Ｈｃ‖を１．７〜２．０、特に１．７５〜１．８５のも
のとしても、出力やオーバーライト特性の向上は得られ
なかった。すなわち、Ｈｃ⊥／Ｈｃ‖を１．７〜２．
０、特に１．７５〜１．８５にすると共に、磁性膜を複
数層、特に二層あるいは三層の複数層とし、かつ、上層
磁性膜の厚さ≦下層磁性膜の厚さにするのが大事であ
る。
よって、リング型磁気ヘッドを用いた場合における出力
が向上し、かつ、オーバーライト特性も優れたものとな
る。尚、出力やオーバーライト特性の向上は、Ｈｃ⊥／
Ｈｃ‖を１．７〜２．０としたのみで得られるものでは
ない。すなわち、磁性膜が単層膜の場合には、Ｈｃ⊥／
Ｈｃ‖を１．７〜２．０、特に１．７５〜１．８５のも
のとしても、出力やオーバーライト特性の向上は得られ
なかった。すなわち、Ｈｃ⊥／Ｈｃ‖を１．７〜２．
０、特に１．７５〜１．８５にすると共に、磁性膜を複
数層、特に二層あるいは三層の複数層とし、かつ、上層
磁性膜の厚さ≦下層磁性膜の厚さにするのが大事であ
る。
【０００７】又、Ｈｃ‖は１３００〜１８００Ｏｅであ
るものが好ましい。すなわち、Ｈｃ‖をこのような値の
ものとしておくことにより、出力が一層向上したものに
なる。又、（磁気記録媒体の垂直方向における角型比Ｓ
ｑ⊥）／（磁気記録媒体の長手方向における角型比Ｓｑ
‖）が０．４〜０．６であるものが好ましい。これによ
り、出力やオーバーライト特性が一層向上する。
るものが好ましい。すなわち、Ｈｃ‖をこのような値の
ものとしておくことにより、出力が一層向上したものに
なる。又、（磁気記録媒体の垂直方向における角型比Ｓ
ｑ⊥）／（磁気記録媒体の長手方向における角型比Ｓｑ
‖）が０．４〜０．６であるものが好ましい。これによ
り、出力やオーバーライト特性が一層向上する。
【０００８】又、本発明の磁気記録媒体は、記録信号の
最短波長が０．５μｍ以下、特に０．３５〜０．４９μ
ｍで使用される用途のものであるのが好ましい。
最短波長が０．５μｍ以下、特に０．３５〜０．４９μ
ｍで使用される用途のものであるのが好ましい。
【０００９】
【発明の実施の形態】本発明の磁気記録媒体は、上層磁
性膜の厚さ≦下層磁性膜の厚さを満たす複数層の磁性膜
が長尺状支持体に積層された磁気記録媒体であって、
（磁気記録媒体の垂直方向に磁場を印加して測定した保
磁力Ｈｃ⊥）／（磁気記録媒体の長手方向に磁場を印加
して測定した保磁力Ｈｃ‖）が１．７〜２．０である。
特に、上層磁性膜の厚さ≦下層磁性膜の厚さを満たす複
数層の磁性膜が長尺状支持体に積層された磁気記録媒体
であって、Ｈｃ⊥／Ｈｃ‖が１．７５〜１．８５であ
る。又、Ｈｃ‖は１３００〜１８００Ｏｅ、特に１５０
０〜１７００Ｏｅである。又、Ｓｑ⊥／Ｓｑ‖が０．４
〜０．６である。又、本発明の磁気記録媒体は、記録信
号の最短波長が０．５μｍ以下、特に０．３５〜０．４
９μｍで使用される用途のものである。
性膜の厚さ≦下層磁性膜の厚さを満たす複数層の磁性膜
が長尺状支持体に積層された磁気記録媒体であって、
（磁気記録媒体の垂直方向に磁場を印加して測定した保
磁力Ｈｃ⊥）／（磁気記録媒体の長手方向に磁場を印加
して測定した保磁力Ｈｃ‖）が１．７〜２．０である。
特に、上層磁性膜の厚さ≦下層磁性膜の厚さを満たす複
数層の磁性膜が長尺状支持体に積層された磁気記録媒体
であって、Ｈｃ⊥／Ｈｃ‖が１．７５〜１．８５であ
る。又、Ｈｃ‖は１３００〜１８００Ｏｅ、特に１５０
０〜１７００Ｏｅである。又、Ｓｑ⊥／Ｓｑ‖が０．４
〜０．６である。又、本発明の磁気記録媒体は、記録信
号の最短波長が０．５μｍ以下、特に０．３５〜０．４
９μｍで使用される用途のものである。
【００１０】以下、更に詳しく説明する。図１は、本発
明に係る磁気記録媒体の概略図である。本発明における
磁気記録媒体の支持体１としては、磁性を有するもので
も、非磁性のものでも良い。代表的なものとして、ポリ
エチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリブチレンテレ
フタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリシクロヘ
キシレンジメチレンテレフタレート、ポリエチレンビス
フェノキシカルボキシレート等のポリエステル類、ポリ
エチレン、ポリプロピレン等のポリオレフィン類、セル
ロースアセテートブチレート、セルロースアセテートプ
ロピオネート等のセルロース誘導体、ポリ塩化ビニル、
ポリ塩化ビニリデン等のビニル系樹脂、ポリアミド、ポ
リカーボネート等の非磁性のプラスチック材料が挙げら
れる。勿論、これらに限定されるものではない。又、各
種の処理が行われることが有る。例えば、コロナ放電、
あるいはその他適宜な手段による表面処理がなされる。
又、接着性向上の為のポリエステルやポリウレタンある
いはオリゴマー等が塗布されても良い。
明に係る磁気記録媒体の概略図である。本発明における
磁気記録媒体の支持体１としては、磁性を有するもので
も、非磁性のものでも良い。代表的なものとして、ポリ
エチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリブチレンテレ
フタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリシクロヘ
キシレンジメチレンテレフタレート、ポリエチレンビス
フェノキシカルボキシレート等のポリエステル類、ポリ
エチレン、ポリプロピレン等のポリオレフィン類、セル
ロースアセテートブチレート、セルロースアセテートプ
ロピオネート等のセルロース誘導体、ポリ塩化ビニル、
ポリ塩化ビニリデン等のビニル系樹脂、ポリアミド、ポ
リカーボネート等の非磁性のプラスチック材料が挙げら
れる。勿論、これらに限定されるものではない。又、各
種の処理が行われることが有る。例えば、コロナ放電、
あるいはその他適宜な手段による表面処理がなされる。
又、接着性向上の為のポリエステルやポリウレタンある
いはオリゴマー等が塗布されても良い。
【００１１】この支持体１上に斜め蒸着等のＰＶＤ（フ
ィジカルベーパーデポジション）法により磁性膜、特に
コラムが斜めに成長した金属薄膜型の磁性膜２1 ，２2
…が積層される。この金属磁性膜を構成する材料として
は、例えばＦｅ，Ｃｏ，Ｎｉ等の金属の他に、Ｃｏ−Ｎ
ｉ合金、Ｃｏ−Ｐｔ合金、Ｃｏ−Ｎｉ−Ｐｔ合金、Ｆｅ
−Ｃｏ合金、Ｆｅ−Ｎｉ合金、Ｆｅ−Ｃｏ−Ｎｉ合金、
Ｆｅ−Ｃｏ−Ｂ合金、Ｃｏ−Ｎｉ−Ｆｅ−Ｂ合金、Ｃｏ
−Ｃｒ合金等が用いられる。尚、金属磁性膜としては、
前記材料の窒化膜（例えば、Ｆｅ−Ｎ，Ｆｅ−Ｎ−Ｏ）
や炭化膜（例えば、Ｆｅ−Ｃ−Ｏ）等も挙げられる。そ
して、具体的には、二層あるいは三層の金属薄膜型の磁
性膜が積層される。勿論、四層以上あっても良い。しか
し、四層以上になると、生産性が低下し、又、実際にあ
っては磁性膜の全厚が規定されていることから、一層あ
たりの厚さを薄くせざるを得ないが、薄くし過ぎると飽
和磁束密度Ｂｓが低下することから、二層あるいは三層
が好ましい。
ィジカルベーパーデポジション）法により磁性膜、特に
コラムが斜めに成長した金属薄膜型の磁性膜２1 ，２2
…が積層される。この金属磁性膜を構成する材料として
は、例えばＦｅ，Ｃｏ，Ｎｉ等の金属の他に、Ｃｏ−Ｎ
ｉ合金、Ｃｏ−Ｐｔ合金、Ｃｏ−Ｎｉ−Ｐｔ合金、Ｆｅ
−Ｃｏ合金、Ｆｅ−Ｎｉ合金、Ｆｅ−Ｃｏ−Ｎｉ合金、
Ｆｅ−Ｃｏ−Ｂ合金、Ｃｏ−Ｎｉ−Ｆｅ−Ｂ合金、Ｃｏ
−Ｃｒ合金等が用いられる。尚、金属磁性膜としては、
前記材料の窒化膜（例えば、Ｆｅ−Ｎ，Ｆｅ−Ｎ−Ｏ）
や炭化膜（例えば、Ｆｅ−Ｃ−Ｏ）等も挙げられる。そ
して、具体的には、二層あるいは三層の金属薄膜型の磁
性膜が積層される。勿論、四層以上あっても良い。しか
し、四層以上になると、生産性が低下し、又、実際にあ
っては磁性膜の全厚が規定されていることから、一層あ
たりの厚さを薄くせざるを得ないが、薄くし過ぎると飽
和磁束密度Ｂｓが低下することから、二層あるいは三層
が好ましい。
【００１２】各金属磁性膜２1 ，２2 …の厚さは、厚み
損失を少なくし、高域での出力特性を高める為、薄い方
が好ましい。しかし、低域での出力は金属磁性膜の厚さ
に影響されることから、３００〜３５００Å程度である
ことが好ましい。金属磁性膜の厚さは上層にある磁性膜
ほど薄い方が、高域での出力特性の面から好ましい。よ
り具体的には、二層膜である場合、下層磁性膜２1 の厚
さａ1 が１０００〜２０００Å、上層磁性膜２2 の厚さ
ａ2 が５００〜１５００Å、ａ1 ＋ａ2 が１５００〜３
０００Å（特に、１８００〜３０００Å）、ａ2 ≦ａ1
（特に、ａ2 ＜ａ1 ）が好ましい。三層膜である場合、
下層磁性膜２1 の厚さａ1 が１０００〜１５００Å、中
層磁性膜２2 の厚さａ2 が５００〜１０００Å、上層磁
性膜２3の厚さａ3 が３００〜７００Å、ａ1 ＋ａ2 ＋
ａ3 が１５００〜３５００Å（特に、１８００〜３００
０Å）、ａ3 ≦ａ2 ≦ａ1 （特に、ａ3 ＜ａ2 ＜ａ1 ）
が好ましい。これによって、短波長成分の信号を上層磁
性膜の側に、長波長成分の信号を下層磁性膜の側に記録
させることが出来、低域から高域にわたって高い出力が
得られ、周波数特性が良いものになる。又、オーバーラ
イト特性も向上する。
損失を少なくし、高域での出力特性を高める為、薄い方
が好ましい。しかし、低域での出力は金属磁性膜の厚さ
に影響されることから、３００〜３５００Å程度である
ことが好ましい。金属磁性膜の厚さは上層にある磁性膜
ほど薄い方が、高域での出力特性の面から好ましい。よ
り具体的には、二層膜である場合、下層磁性膜２1 の厚
さａ1 が１０００〜２０００Å、上層磁性膜２2 の厚さ
ａ2 が５００〜１５００Å、ａ1 ＋ａ2 が１５００〜３
０００Å（特に、１８００〜３０００Å）、ａ2 ≦ａ1
（特に、ａ2 ＜ａ1 ）が好ましい。三層膜である場合、
下層磁性膜２1 の厚さａ1 が１０００〜１５００Å、中
層磁性膜２2 の厚さａ2 が５００〜１０００Å、上層磁
性膜２3の厚さａ3 が３００〜７００Å、ａ1 ＋ａ2 ＋
ａ3 が１５００〜３５００Å（特に、１８００〜３００
０Å）、ａ3 ≦ａ2 ≦ａ1 （特に、ａ3 ＜ａ2 ＜ａ1 ）
が好ましい。これによって、短波長成分の信号を上層磁
性膜の側に、長波長成分の信号を下層磁性膜の側に記録
させることが出来、低域から高域にわたって高い出力が
得られ、周波数特性が良いものになる。又、オーバーラ
イト特性も向上する。
【００１３】上記磁性膜は、その長手方向の保磁力Ｈｃ
‖が１３００〜１８００Ｏｅ（特に、１５００〜１７０
０Ｏｅ）、垂直方向の保磁力Ｈｃ⊥が２２００〜３００
０Ｏｅ（特に、２６００〜２９００Ｏｅ）とし、Ｈｃ⊥
／Ｈｃ‖が１．７〜２．０、特に１．７５〜１．８５で
ある。更には、Ｓｑ⊥／Ｓｑ‖が０．４〜０．６、特に
０．４５〜０．５５である。
‖が１３００〜１８００Ｏｅ（特に、１５００〜１７０
０Ｏｅ）、垂直方向の保磁力Ｈｃ⊥が２２００〜３００
０Ｏｅ（特に、２６００〜２９００Ｏｅ）とし、Ｈｃ⊥
／Ｈｃ‖が１．７〜２．０、特に１．７５〜１．８５で
ある。更には、Ｓｑ⊥／Ｓｑ‖が０．４〜０．６、特に
０．４５〜０．５５である。
【００１４】そして、上記のような構成とすることによ
り、長手方向と垂直方向のバランスが取れ、出力が高く
なり、かつ、オーバーライト特性も向上する。斜め蒸着
等で設けられた最上層の磁性膜の上には保護膜３が設け
られる。この保護膜３を構成する材料として、例えばＡ
ｌ，Ｓｉ，Ｔｉ，Ｃｒ，Ｚｒ，Ｎｂ，Ｍｏ，Ｔａ，Ｗ等
の金属の酸化物、窒化物、炭化物あるいはダイヤモンド
ライクカーボンやボロンナイトライド等が用いられる。
成膜方法としてＣＶＤ（ケミカルベーパーデポジショ
ン）やＰＶＤが用いられる。保護膜の厚さは１０〜５０
０Å、特に３０〜２００Å程度である。
り、長手方向と垂直方向のバランスが取れ、出力が高く
なり、かつ、オーバーライト特性も向上する。斜め蒸着
等で設けられた最上層の磁性膜の上には保護膜３が設け
られる。この保護膜３を構成する材料として、例えばＡ
ｌ，Ｓｉ，Ｔｉ，Ｃｒ，Ｚｒ，Ｎｂ，Ｍｏ，Ｔａ，Ｗ等
の金属の酸化物、窒化物、炭化物あるいはダイヤモンド
ライクカーボンやボロンナイトライド等が用いられる。
成膜方法としてＣＶＤ（ケミカルベーパーデポジショ
ン）やＰＶＤが用いられる。保護膜の厚さは１０〜５０
０Å、特に３０〜２００Å程度である。
【００１５】保護膜３の上には潤滑剤の膜４が設けられ
る。例えば、フッ素系潤滑剤の膜が浸漬あるいは超音波
噴霧などの手段により２０〜７０Å程度の厚さ設けられ
る。潤滑剤としては、例えば-(C(R)F-CF2-O)p - （但
し、ＲはＦ，ＣＦ3 ，ＣＨ3 などの基）、特にHOOC-CF2
(O-C2F4)p (OCF2) q -OCF2-COOH ，F-(CF2CF2CF2O)n -C
F2CF2COOH と言ったようなカルボキシル基変性パーフロ
オロポリエーテル、HOCH 2-CF2(O-C2F4) p (OCF2) q -OC
F2-CH2OH，HO-(C2H4-O) m -CH2-(O-C2F4) p (OCF 2) q -
OCH2-(OCH2CH2)n -OH ，F-(CF2CF2CF2O)n -CF2CF2CH2OH
と言ったようなアルコール変性パーフロオロポリエーテ
ル、又、分子の一方に、又は、一部にアルキル基などの
飽和炭化水素基、あるいは不飽和炭化水素基、若しくは
芳香族炭化水素基、その他の官能基が付いたもの等が挙
げられる。具体的には、モンテカチーニ社のＦＯＭＢＬ
ＩＮ Ｚ ＤＩＡＣやＦＯＭＢＬＩＮ Ｚ ＤＯＬ、ダ
イキン工業社のデムナムＳＡ等がある。
る。例えば、フッ素系潤滑剤の膜が浸漬あるいは超音波
噴霧などの手段により２０〜７０Å程度の厚さ設けられ
る。潤滑剤としては、例えば-(C(R)F-CF2-O)p - （但
し、ＲはＦ，ＣＦ3 ，ＣＨ3 などの基）、特にHOOC-CF2
(O-C2F4)p (OCF2) q -OCF2-COOH ，F-(CF2CF2CF2O)n -C
F2CF2COOH と言ったようなカルボキシル基変性パーフロ
オロポリエーテル、HOCH 2-CF2(O-C2F4) p (OCF2) q -OC
F2-CH2OH，HO-(C2H4-O) m -CH2-(O-C2F4) p (OCF 2) q -
OCH2-(OCH2CH2)n -OH ，F-(CF2CF2CF2O)n -CF2CF2CH2OH
と言ったようなアルコール変性パーフロオロポリエーテ
ル、又、分子の一方に、又は、一部にアルキル基などの
飽和炭化水素基、あるいは不飽和炭化水素基、若しくは
芳香族炭化水素基、その他の官能基が付いたもの等が挙
げられる。具体的には、モンテカチーニ社のＦＯＭＢＬ
ＩＮ Ｚ ＤＩＡＣやＦＯＭＢＬＩＮ Ｚ ＤＯＬ、ダ
イキン工業社のデムナムＳＡ等がある。
【００１６】支持体１の他面側にはバックコート膜５が
設けられる。バックコート膜を塗布により構成する場合
は、粒径１０〜１００ｎｍのカーボンブラックを塩ビ
系、ウレタン系等のバインダ樹脂中に分散させ、グラビ
ア方式、リバース方式あるいはダイ塗工方式等で乾燥後
の厚さが０．４〜１μｍとなるよう塗布する。次に、図
１の磁気記録媒体の製造方法について、簡単に説明す
る。
設けられる。バックコート膜を塗布により構成する場合
は、粒径１０〜１００ｎｍのカーボンブラックを塩ビ
系、ウレタン系等のバインダ樹脂中に分散させ、グラビ
ア方式、リバース方式あるいはダイ塗工方式等で乾燥後
の厚さが０．４〜１μｍとなるよう塗布する。次に、図
１の磁気記録媒体の製造方法について、簡単に説明す
る。
【００１７】本発明の磁気記録媒体における磁性膜は、
従来から知られている装置を採用できる。すなわち、通
常の斜め蒸着装置の供給側ロールと巻取側ロールの間に
掛け渡され、冷却キヤンロールに沿って走行する支持体
に対して、金属磁性材料の粒子を蒸発させて堆積（蒸
着）させる。この蒸着に際しての条件は次のように設定
される。斜め蒸着装置の真空槽内の真空度は２×１０-5
〜２×１０-6Ｔｏｒｒ。支持体の走行速度は５〜２０ｍ
／ｍｉｎ。金属磁性材料を蒸発させる電子銃の出力は１
０〜３０ｋｗ。最小入射角は５０〜６０°。酸素ガス供
給量は５０〜３００ＳＣＣＭ。酸素ガス供給ノズルの向
きは最小入射角で金属粒子が斜め蒸着される方向に供
給。そして、先ず、所定の特徴の磁性膜が斜め蒸着によ
って形成されると、一度、巻き戻し、前回と同じような
斜め蒸着を繰り返して行い、先に形成された磁性膜の上
に所定の特徴の磁性膜を斜め蒸着によって形成する。こ
の時の蒸着条件は次のように設定される。斜め蒸着装置
の真空槽内の真空度は２×１０ -5〜２×１０-6Ｔｏｒ
ｒ。支持体の走行速度は５〜２０ｍ／ｍｉｎ。金属磁性
材料を蒸発させる電子銃の出力は１０〜３０ｋｗ。最小
入射角は５０〜６０°。酸素ガス供給量は５０〜３００
ＳＣＣＭ。酸素ガス供給ノズルの向きは最小入射角で金
属粒子が斜め蒸着される方向に供給。
従来から知られている装置を採用できる。すなわち、通
常の斜め蒸着装置の供給側ロールと巻取側ロールの間に
掛け渡され、冷却キヤンロールに沿って走行する支持体
に対して、金属磁性材料の粒子を蒸発させて堆積（蒸
着）させる。この蒸着に際しての条件は次のように設定
される。斜め蒸着装置の真空槽内の真空度は２×１０-5
〜２×１０-6Ｔｏｒｒ。支持体の走行速度は５〜２０ｍ
／ｍｉｎ。金属磁性材料を蒸発させる電子銃の出力は１
０〜３０ｋｗ。最小入射角は５０〜６０°。酸素ガス供
給量は５０〜３００ＳＣＣＭ。酸素ガス供給ノズルの向
きは最小入射角で金属粒子が斜め蒸着される方向に供
給。そして、先ず、所定の特徴の磁性膜が斜め蒸着によ
って形成されると、一度、巻き戻し、前回と同じような
斜め蒸着を繰り返して行い、先に形成された磁性膜の上
に所定の特徴の磁性膜を斜め蒸着によって形成する。こ
の時の蒸着条件は次のように設定される。斜め蒸着装置
の真空槽内の真空度は２×１０ -5〜２×１０-6Ｔｏｒ
ｒ。支持体の走行速度は５〜２０ｍ／ｍｉｎ。金属磁性
材料を蒸発させる電子銃の出力は１０〜３０ｋｗ。最小
入射角は５０〜６０°。酸素ガス供給量は５０〜３００
ＳＣＣＭ。酸素ガス供給ノズルの向きは最小入射角で金
属粒子が斜め蒸着される方向に供給。
【００１８】
【実施例１】本実施例の磁気記録媒体は、通常の斜め蒸
着装置を用い、蒸着条件として真空槽内の真空度が６×
１０-6Ｔｏｒｒ、支持体（６μｍ厚のＰＥＴフィルム）
の走行速度は７ｍ／ｍｉｎ、金属磁性材料（Ｃｏ）を蒸
発させる電子銃の出力は２０ｋｗ、最大入射角は９０
°、最小入射角は６０°、２０℃の酸素ガスの供給量は
２００ＳＣＣＭ、酸素ガス供給ノズルの向きは最小入射
角でＣｏ金属粒子が斜め蒸着される方向に供給して膜厚
が１１００Åの下層磁性膜２1 を形成した後、走行速度
を９ｍ／ｍｉｎにした以外は上記の蒸着条件と同じ蒸着
条件で膜厚が９００Åの上層磁性膜２2 を形成した。
着装置を用い、蒸着条件として真空槽内の真空度が６×
１０-6Ｔｏｒｒ、支持体（６μｍ厚のＰＥＴフィルム）
の走行速度は７ｍ／ｍｉｎ、金属磁性材料（Ｃｏ）を蒸
発させる電子銃の出力は２０ｋｗ、最大入射角は９０
°、最小入射角は６０°、２０℃の酸素ガスの供給量は
２００ＳＣＣＭ、酸素ガス供給ノズルの向きは最小入射
角でＣｏ金属粒子が斜め蒸着される方向に供給して膜厚
が１１００Åの下層磁性膜２1 を形成した後、走行速度
を９ｍ／ｍｉｎにした以外は上記の蒸着条件と同じ蒸着
条件で膜厚が９００Åの上層磁性膜２2 を形成した。
【００１９】この上層磁性膜２2 の上にＣＶＤにより保
護膜（ダイヤモンドライクカーボン膜）３が７５Å厚設
けられた。保護膜３の上にはフッ素系潤滑剤の膜４が設
けられた。又、支持体１の他面側にはバックコート膜５
が設けられた。そして、通常の工程を経て磁気テープが
作成された。
護膜（ダイヤモンドライクカーボン膜）３が７５Å厚設
けられた。保護膜３の上にはフッ素系潤滑剤の膜４が設
けられた。又、支持体１の他面側にはバックコート膜５
が設けられた。そして、通常の工程を経て磁気テープが
作成された。
【００２０】
【実施例２】実施例１において、電子銃の出力を２３ｋ
ｗ、最大入射角を８５°、最小入射角を６５°にした以
外は実施例１に準じて行い、磁気テープを得た。
ｗ、最大入射角を８５°、最小入射角を６５°にした以
外は実施例１に準じて行い、磁気テープを得た。
【００２１】
【実施例３】実施例１において、上層磁性膜の成膜時に
おける電子銃の出力を１７ｋｗにした以外は実施例１に
準じて行い、磁気テープを得た。
おける電子銃の出力を１７ｋｗにした以外は実施例１に
準じて行い、磁気テープを得た。
【００２２】
【実施例４】実施例１において、１００℃の酸素ガスを
供給した以外は実施例１に準じて行い、磁気テープを得
た。
供給した以外は実施例１に準じて行い、磁気テープを得
た。
【００２３】
【実施例５】実施例１において、電子銃の出力を１８ｋ
ｗ、酸素ガス供給量を１６０ＳＣＣＭにした以外は実施
例１に準じて行い、磁気テープを得た。
ｗ、酸素ガス供給量を１６０ＳＣＣＭにした以外は実施
例１に準じて行い、磁気テープを得た。
【００２４】
【比較例１】実施例１において、磁性膜を厚さが１８０
０Åの単層膜とした以外は実施例１に準じて行い、磁気
テープを得た。
０Åの単層膜とした以外は実施例１に準じて行い、磁気
テープを得た。
【００２５】
【比較例２】実施例１において、下層磁性膜の厚さを８
５０Å、上層磁性膜の厚さを９５０Åとした以外は実施
例１に準じて行い、磁気テープを得た。
５０Å、上層磁性膜の厚さを９５０Åとした以外は実施
例１に準じて行い、磁気テープを得た。
【００２６】
【比較例３】実施例１において、最小入射角を５５°、
２０℃の酸素ガスの供給量を１４０ＳＣＣＭ、用いた電
子銃の出力を１８ｋｗとした以外は実施例１に準じて行
い、磁気テープを得た。
２０℃の酸素ガスの供給量を１４０ＳＣＣＭ、用いた電
子銃の出力を１８ｋｗとした以外は実施例１に準じて行
い、磁気テープを得た。
【００２７】
【比較例４】実施例１において、支持体の走行速度を２
ｍ／ｍｉｎ、２０℃の酸素ガスの供給量を８０ＳＣＣ
Ｍ、用いた電子銃の出力を１２ｋｗとした以外は実施例
１に準じて行い、磁気テープを得た。
ｍ／ｍｉｎ、２０℃の酸素ガスの供給量を８０ＳＣＣ
Ｍ、用いた電子銃の出力を１２ｋｗとした以外は実施例
１に準じて行い、磁気テープを得た。
【００２８】
【特性】上記各例で得た磁気テープについて、Ｈｃ⊥，
Ｈｃ‖，Ｓｑ⊥，Ｓｑ‖を調べたので、その結果を下記
の表−１に示す。 表−１ Ｈｃ⊥ Ｈｃ‖ Ｈｃ⊥／Ｈｃ‖ Ｓｑ⊥ Ｓｑ‖ Ｓｑ⊥／Ｓｑ‖ (Oe) (Oe) 実施例１ 2540 1420 1.79 0.39 0.81 0.48 実施例２ 2530 1400 1.81 0.44 0.84 0.52 実施例３ 2630 1460 1.80 0.43 0.82 0.53 実施例４ 2700 1500 1.80 0.52 0.87 0.60 実施例５ 2250 1250 1.80 0.40 0.79 0.50 比較例１ 2600 1450 1.79 0.44 0.85 0.52 比較例２ 2520 1400 1.80 0.44 0.83 0.53 比較例３ 2400 1500 1.60 0.31 0.80 0.39 比較例４ 2370 1530 1.55 0.27 0.74 0.36 又、上記各例で得た磁気テープの磁性膜の厚さを調べる
と共に、出力およびオーバーライト（ＯＷ）特性を調べ
たので、その結果を下記の表−２に示す。
Ｈｃ‖，Ｓｑ⊥，Ｓｑ‖を調べたので、その結果を下記
の表−１に示す。 表−１ Ｈｃ⊥ Ｈｃ‖ Ｈｃ⊥／Ｈｃ‖ Ｓｑ⊥ Ｓｑ‖ Ｓｑ⊥／Ｓｑ‖ (Oe) (Oe) 実施例１ 2540 1420 1.79 0.39 0.81 0.48 実施例２ 2530 1400 1.81 0.44 0.84 0.52 実施例３ 2630 1460 1.80 0.43 0.82 0.53 実施例４ 2700 1500 1.80 0.52 0.87 0.60 実施例５ 2250 1250 1.80 0.40 0.79 0.50 比較例１ 2600 1450 1.79 0.44 0.85 0.52 比較例２ 2520 1400 1.80 0.44 0.83 0.53 比較例３ 2400 1500 1.60 0.31 0.80 0.39 比較例４ 2370 1530 1.55 0.27 0.74 0.36 又、上記各例で得た磁気テープの磁性膜の厚さを調べる
と共に、出力およびオーバーライト（ＯＷ）特性を調べ
たので、その結果を下記の表−２に示す。
【００２９】 表−２ 磁性膜の厚さ（Å） 出力(dB) ＯＷ特性(dB) 下層 上層 9.8μm 0.49μm 低域 高域 実施例１ １１００ ９００ 0.2 1.5 -0.6 -1.5 実施例２ １１５０ ９００ 0.5 2.1 -1.4 -1.7 実施例３ １１００ ７００ 0.7 2.4 -1.6 -2.1 実施例４ １１００ ９００ 1.4 3.1 -1.9 -2.3 実施例５ １０００ ８００ 0.4 1.6 -0.8 -1.7 比較例１ １８００（単層） -0.3 -1.5 +1.4 +1.9 比較例２ ８５０ ９５０ -0.7 0.3 +0.3 +0.4 比較例３ １１００ ９００ ０ ０ ０ ０ 比較例４ １０００ ８００ -0.3 -0.5 +1.3 +1.9 ＊出力欄の値（ 9.8μm ，0.49μm ）は記録した信号の
波長を示す。
波長を示す。
【００３０】＊ＯＷ特性における低域欄は、４６５ｋＨ
ｚの信号を記録した上に２０．９ＭＨｚの信号を書き込
み、４６５ｋＨｚの信号の残量を表示。 ＊ＯＷ特性における高域欄は、１０．５ＭＨｚの信号を
記録した上に２０．９ＭＨｚの信号を書き込み、１０．
５ＭＨｚの信号の残量を表示。 ＊出力およびＯＷ特性欄は、いずれも比較例３を基準
（０ｄＢ）
ｚの信号を記録した上に２０．９ＭＨｚの信号を書き込
み、４６５ｋＨｚの信号の残量を表示。 ＊ＯＷ特性における高域欄は、１０．５ＭＨｚの信号を
記録した上に２０．９ＭＨｚの信号を書き込み、１０．
５ＭＨｚの信号の残量を表示。 ＊出力およびＯＷ特性欄は、いずれも比較例３を基準
（０ｄＢ）
【００３１】
【発明の効果】出力が高く、かつ、オーバーライト特性
に優れた磁気記録媒体が得られる。
に優れた磁気記録媒体が得られる。
【図１】本発明の磁気記録媒体の概略図
１ 支持体 ２1 下層磁性膜 ２2 上層磁性膜
Claims (5)
- 【請求項１】 上層磁性膜の厚さ≦下層磁性膜の厚さを
満たす複数層の磁性膜が長尺状支持体に積層された磁気
記録媒体であって、 （磁気記録媒体の垂直方向に磁場を印加して測定した保
磁力Ｈｃ⊥）／（磁気記録媒体の長手方向に磁場を印加
して測定した保磁力Ｈｃ‖）が１．７〜２．０であるこ
とを特徴とする磁気記録媒体。 - 【請求項２】 Ｈｃ⊥／Ｈｃ‖が１．７５〜１．８５で
あることを特徴とする請求項１の磁気記録媒体。 - 【請求項３】 Ｈｃ‖が１３００〜１８００Ｏｅである
ことを特徴とする請求項１又は請求項２の磁気記録媒
体。 - 【請求項４】 （磁気記録媒体の垂直方向における角型
比Ｓｑ⊥）／（磁気記録媒体の長手方向における角型比
Ｓｑ‖）が０．４〜０．６であることを特徴とする請求
項１〜請求項３いずれかの磁気記録媒体。 - 【請求項５】 記録信号の最短波長が０．５μｍ以下の
用途の磁気記録媒体であることを特徴とする請求項１〜
請求項４いずれかの磁気記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7886196A JPH09270120A (ja) | 1996-04-01 | 1996-04-01 | 磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7886196A JPH09270120A (ja) | 1996-04-01 | 1996-04-01 | 磁気記録媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09270120A true JPH09270120A (ja) | 1997-10-14 |
Family
ID=13673618
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7886196A Pending JPH09270120A (ja) | 1996-04-01 | 1996-04-01 | 磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09270120A (ja) |
-
1996
- 1996-04-01 JP JP7886196A patent/JPH09270120A/ja active Pending
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