JPH09268076A - 亜鉛成分含有フェライト材の焼成用治具 - Google Patents
亜鉛成分含有フェライト材の焼成用治具Info
- Publication number
- JPH09268076A JPH09268076A JP8077359A JP7735996A JPH09268076A JP H09268076 A JPH09268076 A JP H09268076A JP 8077359 A JP8077359 A JP 8077359A JP 7735996 A JP7735996 A JP 7735996A JP H09268076 A JPH09268076 A JP H09268076A
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- JP
- Japan
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- firing
- ferrite material
- zinc
- coating layer
- zinc component
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Abstract
(57)【要約】
【課題】亜鉛成分含有フェライト材の焼成用治具であっ
て、耐久性が高く、かつ焼成工程での製品不良率の発生
の少ない焼成用治具を提供する。 【解決手段】無機質の治具本体の表面に酸化亜鉛９９〜
５０重量％とアルナ１〜５０重量％の粉末混合物がコー
ティングされて焼成され、同治具本体の表面に厚み２０
〜３００μｍのコーティング層が形成されている焼成用
治具であり、コーティング層中の亜鉛成分の揮発により
焼成雰囲気中の亜鉛成分の蒸気圧を高めて、フェライト
材からの亜鉛成分の揮発を抑制し、かつコーティング層
中の亜鉛成分の作用によりフェライト材中の亜鉛成分と
の反応を阻止してフェライト材からの脱亜鉛現象を防止
する。コーティング層は、酸化亜鉛のこのような作用を
長期間維持する。
て、耐久性が高く、かつ焼成工程での製品不良率の発生
の少ない焼成用治具を提供する。 【解決手段】無機質の治具本体の表面に酸化亜鉛９９〜
５０重量％とアルナ１〜５０重量％の粉末混合物がコー
ティングされて焼成され、同治具本体の表面に厚み２０
〜３００μｍのコーティング層が形成されている焼成用
治具であり、コーティング層中の亜鉛成分の揮発により
焼成雰囲気中の亜鉛成分の蒸気圧を高めて、フェライト
材からの亜鉛成分の揮発を抑制し、かつコーティング層
中の亜鉛成分の作用によりフェライト材中の亜鉛成分と
の反応を阻止してフェライト材からの脱亜鉛現象を防止
する。コーティング層は、酸化亜鉛のこのような作用を
長期間維持する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、Ｎｉ−Ｚｎフェラ
イト材、Ｍｎ−Ｚｎフェライト材等、亜鉛成分含有フェ
ライト材を、焼成雰囲気中で受承して焼成させるため
の、亜鉛成分含有フェライト材の焼成用治具に関する。
イト材、Ｍｎ−Ｚｎフェライト材等、亜鉛成分含有フェ
ライト材を、焼成雰囲気中で受承して焼成させるため
の、亜鉛成分含有フェライト材の焼成用治具に関する。
【０００２】
【従来の技術】無機質材料からなる成形物等無機質材を
焼成炉中で焼成する場合、無機質材を焼成雰囲気中でセ
ッター、棚板、匣鉢等の焼成用治具に受承させて焼成に
供することがあるが、焼成用治具としては、一般にアル
ミナ質、ジルコニア質の焼成用治具が使用される。
焼成炉中で焼成する場合、無機質材を焼成雰囲気中でセ
ッター、棚板、匣鉢等の焼成用治具に受承させて焼成に
供することがあるが、焼成用治具としては、一般にアル
ミナ質、ジルコニア質の焼成用治具が使用される。
【０００３】ところで、Ｎｉ−Ｚｎフェライト材、Ｍｎ
−Ｚｎフェライト材等の亜鉛成分含有フェライト材の焼
成において、焼成用治具としてアルミナ質の焼成用治具
を採用する場合には、フェライト材と焼成用治具とが接
触している部位においてフェライト材中の亜鉛成分とア
ルミナが反応して、フェライト材から脱亜鉛現象が生じ
る。また、焼成雰囲気中の亜鉛の蒸気圧が低いと、フェ
ライト材中の亜鉛成分が揮発して脱亜鉛現象が生じる。
−Ｚｎフェライト材等の亜鉛成分含有フェライト材の焼
成において、焼成用治具としてアルミナ質の焼成用治具
を採用する場合には、フェライト材と焼成用治具とが接
触している部位においてフェライト材中の亜鉛成分とア
ルミナが反応して、フェライト材から脱亜鉛現象が生じ
る。また、焼成雰囲気中の亜鉛の蒸気圧が低いと、フェ
ライト材中の亜鉛成分が揮発して脱亜鉛現象が生じる。
【０００４】また、亜鉛成分含有フェライト材の焼成に
おいて、焼成用治具としてジルコニア質の焼成用治具を
採用する場合には、アルミナ質の焼成用治具のごとき、
フェライト材中の亜鉛成分が焼成用治具と反応して脱亜
鉛現象は生じることはないが、焼成雰囲気中の亜鉛の蒸
気圧が低いと、フェライト材中の亜鉛成分が揮発して脱
亜鉛現象が生じる。
おいて、焼成用治具としてジルコニア質の焼成用治具を
採用する場合には、アルミナ質の焼成用治具のごとき、
フェライト材中の亜鉛成分が焼成用治具と反応して脱亜
鉛現象は生じることはないが、焼成雰囲気中の亜鉛の蒸
気圧が低いと、フェライト材中の亜鉛成分が揮発して脱
亜鉛現象が生じる。
【０００５】これらの脱亜鉛現象に対処すべく、特開平
３−１２９２９３号公報には、亜鉛成分含有フェライト
材の焼成用治具として、アルミナ質の治具本体に酸化亜
鉛を含有させてなる焼成用治具が提案されている。
３−１２９２９３号公報には、亜鉛成分含有フェライト
材の焼成用治具として、アルミナ質の治具本体に酸化亜
鉛を含有させてなる焼成用治具が提案されている。
【０００６】当該焼成用治具は、フェライト材の焼成工
程においては、含浸されている亜鉛成分が揮発して焼成
雰囲気中の亜鉛の蒸気圧を高めるため、フェライト材中
の亜鉛成分の揮発が抑制されて、フェライト材からの脱
亜鉛現象が防止されるとともに、含浸されている亜鉛成
分が、焼成用治具の構成成分であるアルミナとフェライ
ト材中の亜鉛成分との反応を阻止して、フェライト材か
らの脱亜鉛現象が防止される。
程においては、含浸されている亜鉛成分が揮発して焼成
雰囲気中の亜鉛の蒸気圧を高めるため、フェライト材中
の亜鉛成分の揮発が抑制されて、フェライト材からの脱
亜鉛現象が防止されるとともに、含浸されている亜鉛成
分が、焼成用治具の構成成分であるアルミナとフェライ
ト材中の亜鉛成分との反応を阻止して、フェライト材か
らの脱亜鉛現象が防止される。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】ところで、当該焼成用
治具は、アルミナ質の治具本体を４〜８重量％の酸化亜
鉛のスラリーに含浸して乾燥させたものであり、酸化亜
鉛の焼成用治具の治具本体への含浸量は極めて少なく、
また治具本体に対する固着強度も極めて低くて、フェラ
イト材からの脱亜鉛現象の防止作用が低いとともに、同
防止作用が長続きしない。
治具は、アルミナ質の治具本体を４〜８重量％の酸化亜
鉛のスラリーに含浸して乾燥させたものであり、酸化亜
鉛の焼成用治具の治具本体への含浸量は極めて少なく、
また治具本体に対する固着強度も極めて低くて、フェラ
イト材からの脱亜鉛現象の防止作用が低いとともに、同
防止作用が長続きしない。
【０００８】従って、本発明の目的は、フェライト材か
らの脱亜鉛現象の防止作用が高いとともに防止作用が長
続きし、焼成された製品の焼成歩留りの高い焼成用治具
を提供することにある。
らの脱亜鉛現象の防止作用が高いとともに防止作用が長
続きし、焼成された製品の焼成歩留りの高い焼成用治具
を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明は、亜鉛成分含有
フェライト材を焼成雰囲気中で受承して焼成させるため
の焼成用治具であって、当該焼成用治具は、無機質材料
の治具本体の表面に酸化亜鉛９９〜５０重量％とアルミ
ナ１〜５０重量％の粉末混合物がコーティングされて焼
成され、同治具本体の表面に厚み２０〜３００μｍのコ
ーティング層が形成されていることを特徴とするもので
ある。
フェライト材を焼成雰囲気中で受承して焼成させるため
の焼成用治具であって、当該焼成用治具は、無機質材料
の治具本体の表面に酸化亜鉛９９〜５０重量％とアルミ
ナ１〜５０重量％の粉末混合物がコーティングされて焼
成され、同治具本体の表面に厚み２０〜３００μｍのコ
ーティング層が形成されていることを特徴とするもので
ある。
【００１０】
【発明の作用・効果】かかる構成の焼成用治具において
は、亜鉛成分含有フェライト材を焼成雰囲気中で受承し
て焼成させるもので、焼成工程においては、治具本体を
被覆するコーティング層を構成している亜鉛成分が揮発
して焼成雰囲気中の亜鉛の蒸気圧を高め、亜鉛成分含有
フェライト材中の亜鉛成分の揮発を抑制して、フェライ
ト材からの脱亜鉛現象を防止するとともに、コーティン
グ層を構成している亜鉛成分が同コーティング層と亜鉛
成分含有フェライト材中の亜鉛成分との反応を阻止し
て、フェライト材からの脱亜鉛現象を防止する。このた
め、焼成された製品の焼成歩留まりが高い。
は、亜鉛成分含有フェライト材を焼成雰囲気中で受承し
て焼成させるもので、焼成工程においては、治具本体を
被覆するコーティング層を構成している亜鉛成分が揮発
して焼成雰囲気中の亜鉛の蒸気圧を高め、亜鉛成分含有
フェライト材中の亜鉛成分の揮発を抑制して、フェライ
ト材からの脱亜鉛現象を防止するとともに、コーティン
グ層を構成している亜鉛成分が同コーティング層と亜鉛
成分含有フェライト材中の亜鉛成分との反応を阻止し
て、フェライト材からの脱亜鉛現象を防止する。このた
め、焼成された製品の焼成歩留まりが高い。
【００１１】しかして、当該焼成用治具においては、亜
鉛成分含有フェライト材からの脱亜鉛現象の防止に作用
する亜鉛成分は酸化亜鉛の状態で、治具本体の表面に強
固に固着するコーテイング層中に存在し、かつコーテイ
ング層中ではアルミナと焼成された一体の状態で大量に
存在しているため、フェライト材からの脱亜鉛現象の防
止作用が極めて高いとともに、防止作用が長期間持続す
る。
鉛成分含有フェライト材からの脱亜鉛現象の防止に作用
する亜鉛成分は酸化亜鉛の状態で、治具本体の表面に強
固に固着するコーテイング層中に存在し、かつコーテイ
ング層中ではアルミナと焼成された一体の状態で大量に
存在しているため、フェライト材からの脱亜鉛現象の防
止作用が極めて高いとともに、防止作用が長期間持続す
る。
【００１２】当該焼成用治具において、コーテイング層
を構成する酸化亜鉛とアルミナの各成分比は、酸化亜鉛
が９９〜５０重量％、アルミナが１〜５０重量％であ
り、またコーテイング層の厚みは２０〜３００μｍであ
る。これら両成分は好ましくは純度９９．５％以上の高
純度のものを使用する。
を構成する酸化亜鉛とアルミナの各成分比は、酸化亜鉛
が９９〜５０重量％、アルミナが１〜５０重量％であ
り、またコーテイング層の厚みは２０〜３００μｍであ
る。これら両成分は好ましくは純度９９．５％以上の高
純度のものを使用する。
【００１３】コーティング層を構成する成分中のアルミ
ナは、コーティング層それ自体を強固な層にすべく機能
するとともに、コーティング層を治具本体の表面に強固
に固着すべく機能するもので、アルミナの混合比が１重
量％未満であると、コーティング層の強度、およびコー
ティング層の治具本体に対する固着強度が低下して長期
間の使用に耐えられない。しかしながら、アルミナの混
合比が５０重量％を越えると、コーティング層からの亜
鉛成分の揮発量が十分でなくて、焼成工程における亜鉛
成分含有フェライ材からの亜鉛成分の揮発を十分に抑制
することができくなる。
ナは、コーティング層それ自体を強固な層にすべく機能
するとともに、コーティング層を治具本体の表面に強固
に固着すべく機能するもので、アルミナの混合比が１重
量％未満であると、コーティング層の強度、およびコー
ティング層の治具本体に対する固着強度が低下して長期
間の使用に耐えられない。しかしながら、アルミナの混
合比が５０重量％を越えると、コーティング層からの亜
鉛成分の揮発量が十分でなくて、焼成工程における亜鉛
成分含有フェライ材からの亜鉛成分の揮発を十分に抑制
することができくなる。
【００１４】また、コーティング層の厚みは、コーテイ
ング層の治具本体と亜鉛成分含有フェライト材との遮断
作用に影響し、コーティング層の厚みが２０μｍ未満で
あると、遮断作用が低くて亜鉛成分含有フェライト材に
対する治具本体の影響が現れる。しかしながら、コーテ
ィング層の厚みが３００μｍを越えると、コーティング
層の厚みが必要以上に厚くなって、焼成の繰り返しによ
りコーティング層が治具本体から剥離し、またはコーテ
ィング中にクラックが発生して耐久性の低いものとな
る。
ング層の治具本体と亜鉛成分含有フェライト材との遮断
作用に影響し、コーティング層の厚みが２０μｍ未満で
あると、遮断作用が低くて亜鉛成分含有フェライト材に
対する治具本体の影響が現れる。しかしながら、コーテ
ィング層の厚みが３００μｍを越えると、コーティング
層の厚みが必要以上に厚くなって、焼成の繰り返しによ
りコーティング層が治具本体から剥離し、またはコーテ
ィング中にクラックが発生して耐久性の低いものとな
る。
【００１５】
【発明の実施の形態】本発明に係る焼成用治具は、セッ
ター、棚板、匣鉢等の形態にて使用されるもので、治具
本体の表面の全面を被覆するコーティング層を備えてい
るものである。コーテイング層は、酸化亜鉛とアルミナ
の両成分からなるもので、これら両成分の粉末混合物を
治具本体の表面にスプレー等の手段によりコーティング
し、１４００℃以上の温度で熱処理（焼成）して形成さ
れているものである。
ター、棚板、匣鉢等の形態にて使用されるもので、治具
本体の表面の全面を被覆するコーティング層を備えてい
るものである。コーテイング層は、酸化亜鉛とアルミナ
の両成分からなるもので、これら両成分の粉末混合物を
治具本体の表面にスプレー等の手段によりコーティング
し、１４００℃以上の温度で熱処理（焼成）して形成さ
れているものである。
【００１６】治具本体は、アルミナ質、ムライト質、コ
ージライト質等の比較的安価な適宜の無機質のもので、
採用する酸化亜鉛およびアルミナは純度が９９．５％以
上の高純度の粉末状のもの、例えば９９．８％の純度の
粉末が好ましい。酸化亜鉛およびアルミナの両成分の混
合物中の成分比は、酸化亜鉛が９９〜５０重量％、アル
ミナが１〜５０重量％であって、これらの成分比におい
て適宜選定されるが、アルミナは好ましくは５〜４０重
量％の範囲とし、従って酸化物亜鉛は９５〜６０重量％
とする。
ージライト質等の比較的安価な適宜の無機質のもので、
採用する酸化亜鉛およびアルミナは純度が９９．５％以
上の高純度の粉末状のもの、例えば９９．８％の純度の
粉末が好ましい。酸化亜鉛およびアルミナの両成分の混
合物中の成分比は、酸化亜鉛が９９〜５０重量％、アル
ミナが１〜５０重量％であって、これらの成分比におい
て適宜選定されるが、アルミナは好ましくは５〜４０重
量％の範囲とし、従って酸化物亜鉛は９５〜６０重量％
とする。
【００１７】また、焼成して形成されるコーティング層
の厚みは２０〜３００μｍであり、この範囲において適
宜選定されるが、好ましくは５０〜２００μｍとする。
の厚みは２０〜３００μｍであり、この範囲において適
宜選定されるが、好ましくは５０〜２００μｍとする。
【００１８】
【実施例】第１実験では、治具本体としてセラミック焼
成用の一般的なアルミナ質の焼成用治具（縦横３００ｍ
ｍ、厚み１０ｍｍの方形）を多数準備し、これらの治具
本体の表面に、純度９９．８％の工業用酸化亜鉛と、純
度９９．８％のアルミナの粉末を各種の配合比に混合し
てなる各種の粉末混合物をスプレーしてコーティング
し、これらのコーティング層を１４００℃の温度で熱処
理して、厚み１００μｍの焼成されたコーティング層で
被覆された各種の焼成用治具を作成した。得られた各種
の焼成用治具を使用して、Ｎｉ−Ｚｎフェライト材の焼
成実験を行った。
成用の一般的なアルミナ質の焼成用治具（縦横３００ｍ
ｍ、厚み１０ｍｍの方形）を多数準備し、これらの治具
本体の表面に、純度９９．８％の工業用酸化亜鉛と、純
度９９．８％のアルミナの粉末を各種の配合比に混合し
てなる各種の粉末混合物をスプレーしてコーティング
し、これらのコーティング層を１４００℃の温度で熱処
理して、厚み１００μｍの焼成されたコーティング層で
被覆された各種の焼成用治具を作成した。得られた各種
の焼成用治具を使用して、Ｎｉ−Ｚｎフェライト材の焼
成実験を行った。
【００１９】Ｎｉ−Ｚｎフェライト材の焼成実験におい
ては、同フェライト材を各種の焼成用治具にてそれぞれ
受承して焼成炉内に挿入し、焼成炉内にて１時間当り２
００℃の昇温速度で１２００℃まで昇温して、１２００
℃の温度を４時間維持し、その後室温まで冷却した。焼
成実験終了後に、焼成用治具の耐久性と、焼成されたフ
ェライト材の製品不良率の算出を行った。得られた結果
を表１に示す。
ては、同フェライト材を各種の焼成用治具にてそれぞれ
受承して焼成炉内に挿入し、焼成炉内にて１時間当り２
００℃の昇温速度で１２００℃まで昇温して、１２００
℃の温度を４時間維持し、その後室温まで冷却した。焼
成実験終了後に、焼成用治具の耐久性と、焼成されたフ
ェライト材の製品不良率の算出を行った。得られた結果
を表１に示す。
【００２０】なお、焼成用治具の耐久性は、上記した焼
成実験を繰り返し行ってコーテイング層の剥離、コーテ
ィング層内でのクラックの発生等により使用できなくな
るまでの回数で示す。また、製品特性は、同一のフェラ
イト材を上記した焼成条件で繰り返し２０回焼成した場
合の不良品の割合で示す。
成実験を繰り返し行ってコーテイング層の剥離、コーテ
ィング層内でのクラックの発生等により使用できなくな
るまでの回数で示す。また、製品特性は、同一のフェラ
イト材を上記した焼成条件で繰り返し２０回焼成した場
合の不良品の割合で示す。
【００２１】
【表１】
【００２２】表１を参照すると、コーティング層の厚み
を１００μｍの一定にした場合、焼成用治具の耐久性の
点からすれば、酸化亜鉛が９９．５〜５０重量％、アル
ミナが０．５〜５０重量％の範囲の成分比がよく、また
製品不良率の点からすれば、酸化亜鉛９９〜５０重量
％、アルミナが１〜５０重量％の範囲の成分比がよい。
耐久性および製品不良率の両方の点からすれば、より好
ましくし、酸化亜鉛９５〜６０重量％、アルミナが５〜
４０重量％の範囲の成分比である。
を１００μｍの一定にした場合、焼成用治具の耐久性の
点からすれば、酸化亜鉛が９９．５〜５０重量％、アル
ミナが０．５〜５０重量％の範囲の成分比がよく、また
製品不良率の点からすれば、酸化亜鉛９９〜５０重量
％、アルミナが１〜５０重量％の範囲の成分比がよい。
耐久性および製品不良率の両方の点からすれば、より好
ましくし、酸化亜鉛９５〜６０重量％、アルミナが５〜
４０重量％の範囲の成分比である。
【００２３】第２実験では、治具本体としてセラミック
焼成用の一般的な焼成用治具であるアルミナ質の焼成用
治具（縦横３００ｍｍ、厚み１０ｍｍの方形）を多数準
備し、これらの治具本体の表面に、純度９９．８％の工
業用酸化亜鉛９０重量％と、純度９９．８％のアルミナ
１０重量％を混合してなる粉末混合物をスプレーしてコ
ーティングし、これらのコーティング層を１４００℃の
温度で熱処理して、各種の厚みの焼成されたコーティン
グ層で被覆された各種の焼成用治具を作成した。得られ
た各種の焼成用治具を使用して、上記した第１実験の焼
成条件と同一条件でＮｉ−Ｚｎフェライト材の焼成実験
を行い、同様に焼成用治具の耐久性、および製品不良率
を算出した。得られた結果を表２に示す。
焼成用の一般的な焼成用治具であるアルミナ質の焼成用
治具（縦横３００ｍｍ、厚み１０ｍｍの方形）を多数準
備し、これらの治具本体の表面に、純度９９．８％の工
業用酸化亜鉛９０重量％と、純度９９．８％のアルミナ
１０重量％を混合してなる粉末混合物をスプレーしてコ
ーティングし、これらのコーティング層を１４００℃の
温度で熱処理して、各種の厚みの焼成されたコーティン
グ層で被覆された各種の焼成用治具を作成した。得られ
た各種の焼成用治具を使用して、上記した第１実験の焼
成条件と同一条件でＮｉ−Ｚｎフェライト材の焼成実験
を行い、同様に焼成用治具の耐久性、および製品不良率
を算出した。得られた結果を表２に示す。
【００２４】
【表２】
【００２５】表２を参照すると、コーティング層の成分
比を酸化亜鉛９０重量％、アルミナ１０重量％の一定と
した場合、コーテイング層の厚みは、焼成用治具の耐久
性の点からすれば１０〜３００μｍの範囲がよく、また
製品不良率の点からすれば２０〜３５０μｍの範囲がよ
い。耐久性および製品不良率の両方の点からすれば、コ
ーティング層の厚みは、より好ましくは５０〜３００μ
ｍ、一層好ましくは５０μｍ以上２００μｍ未満であ
る。
比を酸化亜鉛９０重量％、アルミナ１０重量％の一定と
した場合、コーテイング層の厚みは、焼成用治具の耐久
性の点からすれば１０〜３００μｍの範囲がよく、また
製品不良率の点からすれば２０〜３５０μｍの範囲がよ
い。耐久性および製品不良率の両方の点からすれば、コ
ーティング層の厚みは、より好ましくは５０〜３００μ
ｍ、一層好ましくは５０μｍ以上２００μｍ未満であ
る。
Claims (1)
- 【請求項１】亜鉛成分含有フェライト材を焼成雰囲気中
で受承して焼成させるための焼成用治具であり、無機質
材料の治具本体の表面に酸化亜鉛９９〜５０重量％とア
ルミナ１〜５０重量％の粉末混合物がコーティングされ
て焼成され、同治具本体の表面に厚み２０〜３００μｍ
のコーティング層が形成されていることを特徴とする亜
鉛成分含有フェライト材の焼成用治具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8077359A JPH09268076A (ja) | 1996-03-29 | 1996-03-29 | 亜鉛成分含有フェライト材の焼成用治具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8077359A JPH09268076A (ja) | 1996-03-29 | 1996-03-29 | 亜鉛成分含有フェライト材の焼成用治具 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09268076A true JPH09268076A (ja) | 1997-10-14 |
Family
ID=13631722
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8077359A Pending JPH09268076A (ja) | 1996-03-29 | 1996-03-29 | 亜鉛成分含有フェライト材の焼成用治具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09268076A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011046562A (ja) * | 2009-08-27 | 2011-03-10 | Nec Tokin Corp | セラミックグリーンシート焼成用セッター |
| CN115448711A (zh) * | 2022-09-27 | 2022-12-09 | 北京七星飞行电子有限公司 | 一种抑制MnZn高磁导率铁氧体中ZnO挥发的烧结方法 |
-
1996
- 1996-03-29 JP JP8077359A patent/JPH09268076A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011046562A (ja) * | 2009-08-27 | 2011-03-10 | Nec Tokin Corp | セラミックグリーンシート焼成用セッター |
| CN115448711A (zh) * | 2022-09-27 | 2022-12-09 | 北京七星飞行电子有限公司 | 一种抑制MnZn高磁导率铁氧体中ZnO挥发的烧结方法 |
| CN115448711B (zh) * | 2022-09-27 | 2023-08-18 | 北京七星飞行电子有限公司 | 一种抑制MnZn高磁导率铁氧体中ZnO挥发的烧结方法 |
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Legal Events
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