JPH09260334A - 半導体部品洗浄装置 - Google Patents
半導体部品洗浄装置Info
- Publication number
- JPH09260334A JPH09260334A JP9300996A JP9300996A JPH09260334A JP H09260334 A JPH09260334 A JP H09260334A JP 9300996 A JP9300996 A JP 9300996A JP 9300996 A JP9300996 A JP 9300996A JP H09260334 A JPH09260334 A JP H09260334A
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- Japan
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- eccentric
- shafts
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- rotary
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- Pending
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- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 超音波洗浄槽内の半導体部品を二次元的揺動
によって、万遍なく効率良く洗浄し、超音波洗浄効果を
大巾に向上させる。 【解決手段】 半導体部品を収容するカセットが揺動ベ
ース上のスタンドを介して洗浄槽内に揺動自在に配備さ
れ、該洗浄槽下部に超音波振動子を設置した洗浄装置に
おいて、前記カセットを支持するスタンドのある旋回揺
動ベースと、該旋回揺動ベースに取付けられた軸受に挿
入された偏心回転軸とを備え、該偏心回転軸を基台上に
軸受支承すると共に、回転駆動部に連結したことでカセ
ットが洗浄槽内で二次元的な動作で旋回揺動させること
になり、従来型の上下のみの一次元的揺動に比べ洗浄槽
下部に設置された超音波振動子からの超音波の照射がカ
セット内の半導体部品に対して万遍なく行われることに
なり、より効率の良い洗浄効果が得られる。
によって、万遍なく効率良く洗浄し、超音波洗浄効果を
大巾に向上させる。 【解決手段】 半導体部品を収容するカセットが揺動ベ
ース上のスタンドを介して洗浄槽内に揺動自在に配備さ
れ、該洗浄槽下部に超音波振動子を設置した洗浄装置に
おいて、前記カセットを支持するスタンドのある旋回揺
動ベースと、該旋回揺動ベースに取付けられた軸受に挿
入された偏心回転軸とを備え、該偏心回転軸を基台上に
軸受支承すると共に、回転駆動部に連結したことでカセ
ットが洗浄槽内で二次元的な動作で旋回揺動させること
になり、従来型の上下のみの一次元的揺動に比べ洗浄槽
下部に設置された超音波振動子からの超音波の照射がカ
セット内の半導体部品に対して万遍なく行われることに
なり、より効率の良い洗浄効果が得られる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体部品をカセ
ットに収容してカセットごと揺動させて半導体部品を超
音波の照射で洗浄する半導体部品洗浄装置に関するもの
である。
ットに収容してカセットごと揺動させて半導体部品を超
音波の照射で洗浄する半導体部品洗浄装置に関するもの
である。
【０００２】
【従来の技術】従来、半導体部品を洗浄するのに半導体
部品を収容するカセットが揺動ベース上のスタンドを介
して洗浄槽内に揺動自在に配備され、該洗浄槽下部に設
けた超音波振動子からの超音波の照射により半導体部品
を揺動させながら洗浄することが知られている。
部品を収容するカセットが揺動ベース上のスタンドを介
して洗浄槽内に揺動自在に配備され、該洗浄槽下部に設
けた超音波振動子からの超音波の照射により半導体部品
を揺動させながら洗浄することが知られている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】従来の洗浄装置では、
図４に示す如く、洗浄槽ａ内に揺動自在に配備されるカ
セットｂは上下動させること、即ちモータｄで駆動され
る回転軸ｅに設けた偏心カムｆを昇降動ベースｇのカム
フォロアｈに当接させ、偏心カムｆの回転で昇降動ベー
スｇをガイドシャフトｉに沿って上下動させることによ
って洗浄槽ａの下部に設置された超音波振動子からの超
音波の照射がカセットｂの内の半導体部品ｃに対して行
われることを目的として採用されていたが、半導体部品
ｃが上下動だけの一次元的動きのために十分満足すべき
洗浄効果が得られず、一層効率よい洗浄効果が得られる
ことが要請されていた。
図４に示す如く、洗浄槽ａ内に揺動自在に配備されるカ
セットｂは上下動させること、即ちモータｄで駆動され
る回転軸ｅに設けた偏心カムｆを昇降動ベースｇのカム
フォロアｈに当接させ、偏心カムｆの回転で昇降動ベー
スｇをガイドシャフトｉに沿って上下動させることによ
って洗浄槽ａの下部に設置された超音波振動子からの超
音波の照射がカセットｂの内の半導体部品ｃに対して行
われることを目的として採用されていたが、半導体部品
ｃが上下動だけの一次元的動きのために十分満足すべき
洗浄効果が得られず、一層効率よい洗浄効果が得られる
ことが要請されていた。
【０００４】本発明は、これら従来の問題点を排除しよ
うとするもので、超音波洗浄槽内の半導体部品を二次元
的揺動によって万遍なく効率良く洗浄して超音波洗浄効
果を大巾に向上させることができる超音波洗浄装置を構
成簡単で安価な形態で提供することを目的としたもので
ある。
うとするもので、超音波洗浄槽内の半導体部品を二次元
的揺動によって万遍なく効率良く洗浄して超音波洗浄効
果を大巾に向上させることができる超音波洗浄装置を構
成簡単で安価な形態で提供することを目的としたもので
ある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、半導体部品を
収容するカセットが揺動ベース上のスタンドを介して洗
浄槽内に揺動自在に配備され、該洗浄槽下部に超音波振
動子を設置した洗浄装置において、前記カセットを支持
するスタンドのある旋回揺動ベースと、該旋回揺動ベー
スに取付けられた軸受に挿入された偏心回転軸とを備
え、該偏心回転軸を基台上に軸受支承すると共に、回転
駆動部に連結したものである。
収容するカセットが揺動ベース上のスタンドを介して洗
浄槽内に揺動自在に配備され、該洗浄槽下部に超音波振
動子を設置した洗浄装置において、前記カセットを支持
するスタンドのある旋回揺動ベースと、該旋回揺動ベー
スに取付けられた軸受に挿入された偏心回転軸とを備
え、該偏心回転軸を基台上に軸受支承すると共に、回転
駆動部に連結したものである。
【０００６】
【発明の実施の形態】本発明の実施形態では、回転駆動
部１０のモータが駆動するとギヤ１４が回転し、これと
かみ合っているギヤ１５の回転に併ない、該ギヤ１５が
組付けられている偏心回転軸８は回転し、プーリー１２
により、シンクロベルト１３を経てテンションプーリー
１６により一定のテンションを与えられながらプーリー
１２で他方の偏心回転軸８を回転させる。この両偏心回
転軸８，８の回転で、軸両端に取付けられた偏心軸部が
回転し偏心軸部は揺動ベース３に組付けられた軸受７に
挿入され、ベアリングにより支持されているため揺動ベ
ース３は旋回揺動し、二次元的揺動動作を行うこととな
り、揺動ベース３に組付けられたスタンド６によって、
該スタンド６に取付けられたフック１７上に載置されて
いる基板などの半導体部品１の入っているカセット２は
旋回揺動されることになり、洗浄槽４の下部に設置され
た超音波振動子５からの超音波の照射がカセット２内の
半導体部品１に対して万遍なく行われ効率良い洗浄が可
能となる。
部１０のモータが駆動するとギヤ１４が回転し、これと
かみ合っているギヤ１５の回転に併ない、該ギヤ１５が
組付けられている偏心回転軸８は回転し、プーリー１２
により、シンクロベルト１３を経てテンションプーリー
１６により一定のテンションを与えられながらプーリー
１２で他方の偏心回転軸８を回転させる。この両偏心回
転軸８，８の回転で、軸両端に取付けられた偏心軸部が
回転し偏心軸部は揺動ベース３に組付けられた軸受７に
挿入され、ベアリングにより支持されているため揺動ベ
ース３は旋回揺動し、二次元的揺動動作を行うこととな
り、揺動ベース３に組付けられたスタンド６によって、
該スタンド６に取付けられたフック１７上に載置されて
いる基板などの半導体部品１の入っているカセット２は
旋回揺動されることになり、洗浄槽４の下部に設置され
た超音波振動子５からの超音波の照射がカセット２内の
半導体部品１に対して万遍なく行われ効率良い洗浄が可
能となる。
【０００７】
【実施例】本発明の実施例を図１乃至図３の例で説明す
ると、半導体部品１を収容するカセットが揺動ベース３
上のスタンドを介して洗浄槽４内に揺動自在に配備さ
れ、該洗浄槽４の下部に超音波振動子５を設置した洗浄
装置において、前記カセット２を支持するスタンド６の
ある旋回揺動ベース３と、該旋回揺動ベース３に取付け
られた軸受７に挿入された偏心回転軸８とを備え、該偏
心回転軸８を基台１１上に軸受け９で軸受支承すると共
に、回転駆動部１０に連結し、前記カセット２を二次元
的に揺動させるようになっている。
ると、半導体部品１を収容するカセットが揺動ベース３
上のスタンドを介して洗浄槽４内に揺動自在に配備さ
れ、該洗浄槽４の下部に超音波振動子５を設置した洗浄
装置において、前記カセット２を支持するスタンド６の
ある旋回揺動ベース３と、該旋回揺動ベース３に取付け
られた軸受７に挿入された偏心回転軸８とを備え、該偏
心回転軸８を基台１１上に軸受け９で軸受支承すると共
に、回転駆動部１０に連結し、前記カセット２を二次元
的に揺動させるようになっている。
【０００８】前記偏心回転軸８としては、基台１１に一
対並設され、これらがプーリー１２及びシンクロベルト
１３による巻掛伝動機構を介して連結され、前記偏心回
転軸８の一方がギア１４，１５の歯車伝動機構を介して
回転駆動部１０、例えばモータに連結され、連動される
ようになっている。
対並設され、これらがプーリー１２及びシンクロベルト
１３による巻掛伝動機構を介して連結され、前記偏心回
転軸８の一方がギア１４，１５の歯車伝動機構を介して
回転駆動部１０、例えばモータに連結され、連動される
ようになっている。
【０００９】前記基台１１には、軸受け９が２列に２ヶ
づつ設けられテンションプーリー１６と回転駆動部１０
が取付けられていて、前記軸受９には偏心回転軸８がそ
れぞれ挿入されている。該偏心回転軸８はシャフトの両
端部に偏心軸部がそれぞれ取付けられて構成されている
が、一方のシャフトにはギア１５とプーリー１２が取付
けられている。また他方の偏心回転軸８のシャフトには
プーリー１２が取付けられ、各プーリー１２，１２はシ
ンクロベルト１３により連結され連動できるようになっ
ている。
づつ設けられテンションプーリー１６と回転駆動部１０
が取付けられていて、前記軸受９には偏心回転軸８がそ
れぞれ挿入されている。該偏心回転軸８はシャフトの両
端部に偏心軸部がそれぞれ取付けられて構成されている
が、一方のシャフトにはギア１５とプーリー１２が取付
けられている。また他方の偏心回転軸８のシャフトには
プーリー１２が取付けられ、各プーリー１２，１２はシ
ンクロベルト１３により連結され連動できるようになっ
ている。
【００１０】なお、前記偏心回転軸８の偏心軸部は、前
記揺動ベース３に取付けられた軸受け７に挿入されてお
り、該軸受７のベアリングにより回転可能に支持され、
揺動ベース３上部にはスタンド６を介してフック１７が
組付けられている。また、前記洗浄槽４は、フレーム１
８に固定され、旋回揺動されるフック１７上に載置され
るカセット２を洗浄槽４の洗浄水中に浸漬できるように
なっている。
記揺動ベース３に取付けられた軸受け７に挿入されてお
り、該軸受７のベアリングにより回転可能に支持され、
揺動ベース３上部にはスタンド６を介してフック１７が
組付けられている。また、前記洗浄槽４は、フレーム１
８に固定され、旋回揺動されるフック１７上に載置され
るカセット２を洗浄槽４の洗浄水中に浸漬できるように
なっている。
【００１１】この実施例では、回転駆動部１０の起動で
偏心回転軸８，８が回転されると、軸両側にある偏心軸
部は揺動ベース３に組付けられた軸受け７に挿入され、
ベアリングにより支持されているため揺動ベース３は旋
回揺動し、二次元的揺動動作を行うこととなり、揺動ベ
ース３に組付けられたスタンド６によって、該スタンド
６に取付けられたフック１７上に載置されている基板な
どの半導体部品１の入っているカセット２は旋回揺動さ
れることになり、洗浄槽４の下部に設置された超音波振
動子５からの超音波の照射がカセット２内の半導体部品
１に対して万遍なく行われ効率良い洗浄が可能となる。
偏心回転軸８，８が回転されると、軸両側にある偏心軸
部は揺動ベース３に組付けられた軸受け７に挿入され、
ベアリングにより支持されているため揺動ベース３は旋
回揺動し、二次元的揺動動作を行うこととなり、揺動ベ
ース３に組付けられたスタンド６によって、該スタンド
６に取付けられたフック１７上に載置されている基板な
どの半導体部品１の入っているカセット２は旋回揺動さ
れることになり、洗浄槽４の下部に設置された超音波振
動子５からの超音波の照射がカセット２内の半導体部品
１に対して万遍なく行われ効率良い洗浄が可能となる。
【００１２】
【発明の効果】本発明は、半導体部品を収容するカセッ
トが揺動ベース上のスタンドを介して洗浄槽内に揺動自
在に配備され、該洗浄槽下部に超音波振動子を設置した
洗浄装置において、前記カセットを支持するスタンドの
ある旋回揺動ベースと、該旋回揺動ベースに取付けられ
た軸受に挿入された偏心回転軸とを備え、該偏心回転軸
を基台上に軸受支承すると共に、回転駆動部に連結した
ことにより、スタンドに保持されたカセットが洗浄槽内
で二次元的な動作で旋回揺動させることになり、従来型
の上下のみの一次元的揺動に比べ洗浄槽下部に設置され
た超音波振動子からの超音波の照射がカセット内の半導
体部品に対して万遍なく行われることになり、より効率
の良い洗浄効果が得られ洗浄作業の簡便化に寄与でき
る。
トが揺動ベース上のスタンドを介して洗浄槽内に揺動自
在に配備され、該洗浄槽下部に超音波振動子を設置した
洗浄装置において、前記カセットを支持するスタンドの
ある旋回揺動ベースと、該旋回揺動ベースに取付けられ
た軸受に挿入された偏心回転軸とを備え、該偏心回転軸
を基台上に軸受支承すると共に、回転駆動部に連結した
ことにより、スタンドに保持されたカセットが洗浄槽内
で二次元的な動作で旋回揺動させることになり、従来型
の上下のみの一次元的揺動に比べ洗浄槽下部に設置され
た超音波振動子からの超音波の照射がカセット内の半導
体部品に対して万遍なく行われることになり、より効率
の良い洗浄効果が得られ洗浄作業の簡便化に寄与でき
る。
【図１】本発明の実施例を示す縦断面図である。
【図２】図１の例の一部の正面図である。
【図３】図２のＡ−Ａ線における切断平面図である。
【図４】従来例を示し、（ａ）は側面図、（ｂ）はＢ−
Ｂ線の平面図である。
Ｂ線の平面図である。
１ 半導体部品 ２ カセット ３ 揺動ベース ４ 洗浄槽 ５ 超音波振動子 ６ スタンド ７ 軸受 ８ 偏心回転軸 ９ 軸受 １０ 回転駆動部 １１ 基台 １２ プーリー １３ シンクロベルト １４，１５ ギア １６ テンションプーリー １７ フック
Claims (2)
- 【請求項１】 半導体部品を収容するカセットが揺動ベ
ース上のスタンドを介して洗浄槽内に揺動自在に配備さ
れ、該洗浄槽下部に超音波振動子を設置した洗浄装置に
おいて、前記カセットを支持するスタンドのある旋回揺
動ベースと、該旋回揺動ベースに取付けられた軸受に挿
入された偏心回転軸とを備え、該偏心回転軸を基台上に
軸受支承すると共に、回転駆動部に連結したことを特徴
とする半導体部品洗浄装置。 - 【請求項２】 前記偏心回転軸が、基台に一対並設さ
れ、これらがシンクロベルトによる巻掛伝動機構を介し
て連結され、前記偏心回転軸の一方が歯車伝動機構を介
して回転駆動部に連結された請求項１記載の半導体部品
洗浄装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9300996A JPH09260334A (ja) | 1996-03-25 | 1996-03-25 | 半導体部品洗浄装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9300996A JPH09260334A (ja) | 1996-03-25 | 1996-03-25 | 半導体部品洗浄装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09260334A true JPH09260334A (ja) | 1997-10-03 |
Family
ID=14070419
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9300996A Pending JPH09260334A (ja) | 1996-03-25 | 1996-03-25 | 半導体部品洗浄装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09260334A (ja) |
Cited By (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007059832A (ja) * | 2005-08-26 | 2007-03-08 | Ses Co Ltd | 基板処理装置 |
| DE112009000361T5 (de) | 2008-02-28 | 2011-03-31 | Shin-Etsu Handotai Co. Ltd. | Ultraschall-Reinigungsvorrichtung und Ultraschall-Reinigungsverfahren |
| CN102211097A (zh) * | 2011-03-29 | 2011-10-12 | 常州亿晶光电科技有限公司 | 一种镀膜石墨框的超声波清洗装置 |
| CN102716868A (zh) * | 2012-07-03 | 2012-10-10 | 济南巴克超声波科技有限公司 | 一种超声波清洗用的重型抛动装置 |
| CN103212551A (zh) * | 2013-04-02 | 2013-07-24 | 苏州海铂晶体有限公司 | 一种用于晶片的超声波清洗装置 |
| CN103949433A (zh) * | 2014-04-15 | 2014-07-30 | 苏州金牛精密机械有限公司 | 一种超声清洗机抛动架的导向装置 |
| CN105728396A (zh) * | 2016-05-10 | 2016-07-06 | 江苏万新光学有限公司 | 一种镜片超声波清洗机抛动装置 |
| CN105750267A (zh) * | 2016-05-10 | 2016-07-13 | 江苏万新光学有限公司 | 一种洗篮托架移动及抛动装置 |
| CN106623239A (zh) * | 2016-11-25 | 2017-05-10 | 湖州市道场乡资产经营有限公司 | 机加工零件超声波清洗机 |
| CN108765728A (zh) * | 2018-06-27 | 2018-11-06 | 北京云橱科技有限公司 | 用于多功能自动售卖机的机械手装置 |
| CN108816926A (zh) * | 2018-08-21 | 2018-11-16 | 重庆铁源紧固件制造有限公司 | 一种紧固件除油污装置 |
| CN108926392A (zh) * | 2018-05-31 | 2018-12-04 | 王红 | 一种手术器械清洗消毒烘干装置 |
| JP2019125657A (ja) * | 2018-01-15 | 2019-07-25 | ジャパンクリエイト株式会社 | 半導体ウェハ処理装置 |
-
1996
- 1996-03-25 JP JP9300996A patent/JPH09260334A/ja active Pending
Cited By (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007059832A (ja) * | 2005-08-26 | 2007-03-08 | Ses Co Ltd | 基板処理装置 |
| DE112009000361B4 (de) | 2008-02-28 | 2017-12-14 | Shin-Etsu Handotai Co. Ltd. | Ultraschall-Reinigungsvorrichtung und Ultraschall-Reinigungsverfahren |
| DE112009000361T5 (de) | 2008-02-28 | 2011-03-31 | Shin-Etsu Handotai Co. Ltd. | Ultraschall-Reinigungsvorrichtung und Ultraschall-Reinigungsverfahren |
| US8083856B2 (en) | 2008-02-28 | 2011-12-27 | Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. | Ultrasonic cleaning apparatus and ultrasonic cleaning method |
| CN102211097A (zh) * | 2011-03-29 | 2011-10-12 | 常州亿晶光电科技有限公司 | 一种镀膜石墨框的超声波清洗装置 |
| CN102716868A (zh) * | 2012-07-03 | 2012-10-10 | 济南巴克超声波科技有限公司 | 一种超声波清洗用的重型抛动装置 |
| CN103212551A (zh) * | 2013-04-02 | 2013-07-24 | 苏州海铂晶体有限公司 | 一种用于晶片的超声波清洗装置 |
| CN103949433A (zh) * | 2014-04-15 | 2014-07-30 | 苏州金牛精密机械有限公司 | 一种超声清洗机抛动架的导向装置 |
| CN105750267A (zh) * | 2016-05-10 | 2016-07-13 | 江苏万新光学有限公司 | 一种洗篮托架移动及抛动装置 |
| CN105728396A (zh) * | 2016-05-10 | 2016-07-06 | 江苏万新光学有限公司 | 一种镜片超声波清洗机抛动装置 |
| CN106623239A (zh) * | 2016-11-25 | 2017-05-10 | 湖州市道场乡资产经营有限公司 | 机加工零件超声波清洗机 |
| JP2019125657A (ja) * | 2018-01-15 | 2019-07-25 | ジャパンクリエイト株式会社 | 半導体ウェハ処理装置 |
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| CN108816926A (zh) * | 2018-08-21 | 2018-11-16 | 重庆铁源紧固件制造有限公司 | 一种紧固件除油污装置 |
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