CN220208905U - 清洗机摇篮摆动机构及晶圆片清洗机 - Google Patents
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- 238000004140 cleaning Methods 0.000 title claims abstract description 45
- 238000005406 washing Methods 0.000 claims description 6
- 238000005202 decontamination Methods 0.000 abstract description 2
- 230000003588 decontaminative effect Effects 0.000 abstract description 2
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 16
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 2
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 238000004506 ultrasonic cleaning Methods 0.000 description 1
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Abstract
本实用新型涉及一种清洗机摇篮摆动机构及晶圆片清洗机，包括清洗槽、设置于清洗槽内的摇篮组件以及设置于清洗槽外并能够驱动摇篮组件摇摆的驱动组件，摇篮组件包括工件篮及摇摆托架，驱动组件包括电机、偏心轴、球头连杆、摆动轴及摆动托架，电机通过齿轮组能够驱动偏心轴旋转，偏心轴能够通过球头连杆来动摆动轴摆动，摆动轴能够带动摆动托架及摇摆托架摆动，从而实现工件篮的摆动。该清洗机摇篮摆动机构及晶圆片清洗机通过摇篮组件及驱动组件相配合，能够使晶圆片在清洗槽内清洗时发生一定的摆动，可以使晶圆片更好地与溶液相互接触摩擦提高去污率，同时在超声波和兆声波配合清洗的作用下能提高声波对晶圆片去污的效率及一致性。
Description
技术领域
本实用新型涉及清洗系统技术领域，尤其涉及一种清洗机摇篮摆动机构及具有该摇篮摆动机构的晶圆片清洗机。
背景技术
半导体清洗行业中，晶圆片装入花篮(cassette)后，会放入清洗机的清洗槽内进行清洗。以往的清洗机都是将晶圆片放入花篮内，花篮浸泡在清洗槽内进行超声波清洗，该种清洗方式的清洗效果并不理想。
实用新型内容
本实用新型的目的是为了克服现有技术中的缺陷，提供一种能够大大提高晶圆片清洗效果的清洗机摇篮摆动机构及具有该摇篮摆动机构的晶圆片清洗机。
本实用新型是通过如下技术方案实现的：
一种清洗机摇篮摆动机构，包括清洗槽、设置于清洗槽内的摇篮组件以及设置于清洗槽外并能够驱动摇篮组件摇摆的驱动组件，所述摇篮组件包括工件篮及摇摆托架，所述摇摆托架包括一对支板及设置于两支板之间的托辊，所述支板顶端延伸至工件篮外，所述工件篮设置于托辊上，工件篮内具有若干定位块，所述驱动组件包括电机、偏心轴、齿轮组、球头连杆、摆动轴及摆动托架，所述电机通过齿轮组与偏心轴相连，所述偏心轴通过球头连杆与摆动轴相连，所述摆动轴转动连接于摆动托架底端，所述摆动托架顶端与其中一个摇摆托架相固定，电机能够驱动偏心轴旋转，偏心轴能够通过球头连杆来动摆动轴摆动，摆动轴能够带动摆动托架及摇摆托架摆动，从而实现工件篮的摆动。
为了便于定位及安装工件篮，所述托辊上分别开设有用于定位工件篮底端的插槽。
为了便于定位晶圆片，所述工件篮两侧分别具有若干定位块，相邻两定位块之间具有弧形定位槽，用于定位圆形工件。
本实用新型还提供一种晶圆片清洗机，所述晶圆片清洗机具有上述清洗机摇篮摆动机构。
本实用新型的有益效果是：该清洗机摇篮摆动机构及晶圆片清洗机通过摇篮组件及驱动组件相配合，能够使晶圆片在清洗槽内清洗时发生一定的摆动，可以使晶圆片更好地与溶液相互接触摩擦提高去污率，同时在超声波和兆声波配合清洗的作用下能提高声波对晶圆片去污的效率及一致性。
附图说明
图1为本实用新型的清洗机摇篮摆动机构的立体结构示意图；
图2为本实用新型的摇篮组件的结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型的较佳实施例进行详细阐述，以使本实用新型的优点和特征能更易被本领域人员理解，从而对本实用新型的保护范围做出更为清楚明确的界定。在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“侧”、“端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
如图1所示的一种清洗机摇篮摆动机构，包括清洗槽1、设置于清洗槽1内的摇篮组件以及设置于清洗槽外并能够驱动摇篮组件摇摆的驱动组件。
具体地，所述驱动组件包括电机2、齿轮组3、偏心轴4、球头连杆5、摆动轴6及摆动托架7，所述电机2底端的输出轴通过齿轮组3与偏心轴4顶端相连，所述偏心轴4底端通过球头连杆5与摆动轴6底端相连，所述摆动轴6转动连接于摆动托架7底端，所述摆动托架7顶端与摇篮组件顶端相连。
具体地，结合图2所示，所述摇篮组件包括工件篮9及摇摆托架，所述摇摆托架包括一对支板8及设置于两支板8之间的两个托辊11，所述支板8顶端延伸至工件篮9外并与摆动托架7顶端相固定，所述托辊11上分别开设有插槽12，所述工件篮9底部具有两个能够分别插入插槽12的插板，工件篮9一侧设置有把手10，工件篮9两侧分别具有若干定位块13，相邻两定位块13之间具有弧形定位槽，相对的弧形定位槽之间形成能够定位晶圆片14的定位通道，晶圆片14依次排列在定位通道内。
加工时，机械手将晶圆片14依次插入工件篮9的定位块13中，电机2通过齿轮组3驱动偏心轴4轴向转动，偏心轴4转动时拉动球头连杆5移动，球头连杆5则拉动摆动轴6左右摆动，摆动轴6通过摆动托架7、支板8、托辊11带动工件篮9整体左右摆动，从而实现晶圆片边摆动边清洗，大大提高了其清洗效果。
在本实用新型实施例的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“设置”、“设有”等应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体的连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
最后应说明的是：以上实施例，仅为本实用新型的具体实施方式，用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制，本实用新型的保护范围并不局限于此，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，其依然可以对前述实施例所记载的技术方案进行修改或可轻易想到变化，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改、变化或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型实施例技术方案的精神和范围，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此，本实用新型的保护范围应以权利要求的保护范围为准。
Claims (4)
1.一种清洗机摇篮摆动机构，包括清洗槽、设置于清洗槽内的摇篮组件以及设置于清洗槽外并能够驱动摇篮组件摇摆的驱动组件，其特征在于：所述摇篮组件包括工件篮及摇摆托架，所述摇摆托架包括一对支板及设置于两支板之间的托辊，所述支板顶端延伸至工件篮外，所述工件篮设置于托辊上，工件篮内具有若干定位块，所述驱动组件包括电机、偏心轴、齿轮组、球头连杆、摆动轴及摆动托架，所述电机通过齿轮组与偏心轴相连，所述偏心轴通过球头连杆与摆动轴相连，所述摆动轴转动连接于摆动托架底端，所述摆动托架顶端与其中一个摇摆托架相固定，电机能够驱动偏心轴旋转，偏心轴能够通过球头连杆来动摆动轴摆动，摆动轴能够带动摆动托架及摇摆托架摆动，从而实现工件篮的摆动。
2.根据权利要求1所述的清洗机摇篮摆动机构，其特征在于：所述托辊上分别开设有用于定位工件篮底端的插槽。
3.根据权利要求1所述的清洗机摇篮摆动机构，其特征在于：所述工件篮两侧分别具有若干定位块，相邻两定位块之间具有弧形定位槽，用于定位圆形工件。
4.一种晶圆片清洗机，其特征在于：所述晶圆片清洗机具有如权利要求1-3任一项所述的清洗机摇篮摆动机构。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202321506423.1U CN220208905U (zh) | 2023-06-13 | 2023-06-13 | 清洗机摇篮摆动机构及晶圆片清洗机 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202321506423.1U CN220208905U (zh) | 2023-06-13 | 2023-06-13 | 清洗机摇篮摆动机构及晶圆片清洗机 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN220208905U true CN220208905U (zh) | 2023-12-19 |
Family
ID=89148450
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202321506423.1U Active CN220208905U (zh) | 2023-06-13 | 2023-06-13 | 清洗机摇篮摆动机构及晶圆片清洗机 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN220208905U (zh) |
-
2023
- 2023-06-13 CN CN202321506423.1U patent/CN220208905U/zh active Active
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