CN217009144U - 一种用于晶片清洗的抛动装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种用于晶片清洗的抛动装置，属于晶片清洗技术领域，包括用于抛动晶片的第一抛动机构、用于驱动第一抛动机构运动的第一驱动机构，所述第一抛动机构包括第一U型板，所述第一U型板的两端均连接有第一连接板，所述第一连接板与第一驱动机构连接。本实用新型结构巧妙，设计合理，操作简单，能够有效提高晶片质量。

Description

一种用于晶片清洗的抛动装置

技术领域

本实用新型涉及一种用于晶片清洗的抛动装置，属于晶片清洗技术领域。

背景技术

晶片清洗是晶片加工中必不可少的一部分，但是现有技术中晶片清洗一般采用浸泡或超声波清洗，但是单纯依靠浸泡清洗晶片会出现晶片清洗不均匀，影响产品质量；而采用超声波清洗，需要在清洗槽上增加超声波发生器等设备，产品结构复杂，且增加了生产成本。

实用新型内容

针对上述技术问题，提供一种用于晶片清洗的抛动装置，具体方案如下：

一种用于晶片清洗的抛动装置，包括用于抛动晶片的第一抛动机构、用于驱动第一抛动机构运动的第一驱动机构，所述第一抛动机构包括第一U型板，所述第一U型板的两端均连接有第一连接板，所述第一连接板与第一驱动机构连接。

进一步的，所述第一驱动机构包括驱动部件、用于对第一抛动机构运动方向进行导向的导向组件，所述驱动部件包括第一电机、第一齿轮、第二齿轮、第一转轴，所述第一转轴的两端均连接有偏心轮，所述第一齿轮安装在电机的输出端，所述第二齿轮与第一转轴固定连接，所述第一转轴与偏心轮固定连接，所述第一齿轮、第二齿轮啮合。

进一步的，所述偏心轮为两个，所述第一连接板的底部安装有旋转轴承，所述偏心轮的外周与旋转轴承相接触；

所述导向组件包括导轨、滑块，所述导轨与侧板固定连接，所述滑块与第一连接板的内侧面固定连接，所述导轨与滑块滑动连接。

进一步的，所述偏心轮的外侧设置有用于将偏心轮锁紧的第一轴套，所述偏心轮安装在第一转轴的一端，所述第一轴套安装在偏心轮的外侧。

进一步的，所述第一转轴安装有第一连接组件，所述第一连接组件包括第一轴承、卡箍、L型安装板、支撑板，所述L型安装板位于第一轴承的上方，所述支撑板位于L型安装板的上方，所述第一轴承套在第一转轴的一端，所述卡箍套在第一轴承外，所述卡箍与L型安装板螺栓连接，所述支撑板的侧面设有第二连接板，所述第二连接板与L型安装板螺栓连接。

进一步的，所述第一U型板的底部设有第一凹槽，所述第一凹槽的槽底设有第一通孔。

进一步的，所述第一连接板设有多个长圆孔。

本实用新型的有益效果：

本实用新型利用通过在清洗槽上增加抛动机构，使得晶片能够在清洗时进行上下运动，增加清洗液与晶片的接触，提高晶片的清洗效果。本实用新型结构巧妙，设计合理，操作简单，能够有效提高晶片质量。

附图说明

图1为所述一种用于晶片清洗的抛动装置与清洗槽的连接示意图；

图2为所述一种用于晶片清洗的抛动装置的示意图。

具体实施方式

为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

术语“外”、“内”、“左侧”、“右侧”、“前”、“后”、“上”、“下”等指示的方位、或位置关系为基于附图1所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

如图1-2所示的一种用于晶片清洗的抛动装置，包括清洗槽1、花篮、第一抛动机构4、第一驱动机构5，晶片安装在花篮上，花篮安装在清洗槽1内，所述花篮与第一抛动机构4连接，所述第一抛动机构4与第一驱动机构5连接，所述第一驱动机构5与清洗槽1连接，其中第一驱动机构5用于驱动第一抛动机构4上下运动，第一抛动机构4带动花篮在清洗槽2内上下运动，进而增加花篮上晶片与清洗液的接触面积。

所述第一抛动机构4包括第一U型板41、第一连接板42，第一U型板41位于清洗槽1内，第一连接板42位于清洗槽2的外部，第一U型板41的两端均连接有第一连接板42，本实施例中，第一连接板42的纵截面呈倒L型结构，第一连接板42的顶部与第一U型板41的顶部螺栓连接，第一连接板42与第一驱动机构5连接，花篮与第一U型板41连接，第一驱动机构5用于驱动第一U型板41上下运动，第一U型板41能够带动花篮上下运动。

第一驱动机构5包括驱动部件51、导向组件52，导向组件52用于对第一抛动机构4运动方向进行导向，所述驱动部件51包括第一电机511、第一齿轮512、第二齿轮513、第一转轴514、偏心轮515、旋转轴承516，所述导向组件52包括导轨521、滑块522，其中，所述第一齿轮512安装在电机511的输出端，所述第二齿轮513与第一转轴514固定连接，所述第一转轴514与偏心轮515固定连接，所述第一连接板42的底部安装有旋转轴承516，所述偏心轮515的外周与旋转轴承516相接触，所述第一齿轮512、第二齿轮513啮合，所述导轨521与侧板12固定连接，所述滑块522与第一连接板42的内侧面固定连接，所述导轨521与滑块522滑动连接，本实施例中，所述导向组件52还包括第一安装板，所述第一安装板可以与清洗槽、或者其他支撑件，只要能够将导轨521固定在槽体外，完成上述连接即可本实施例再次不予限制。

本实施例中，所述偏心轮515为两个，所述偏心轮515的外侧设有用于锁紧偏心轮515的第一轴套，两个偏心轮515分别固定在第一转轴514的两端，所述第一轴套安装在偏心轮515的外侧，所述偏心轮515的外周与旋转轴承516相接触，第一轴套用于将偏心轮515锁紧在第一转轴514上如图1-2所示。偏心轮515的重心随着偏心轮515的转动二上下运动，因此，偏心轮515的转动能够带动旋转轴承516上下运动，即能够使与旋转轴承516连接的第一抛动机构4进行上下运动，进而实现晶片的上下抛动，提高清洗效果。

作为一种优选的方案，所述第一转轴514安装有第一连接组件517，所述第一连接组件517包括第一轴承、卡箍5171、L型安装板5172、支撑板5173，所述L型安装板5172位于第一轴承的上方，所述支撑板5173位于L型安装板5172的上方，所述第一轴承套在第一转轴514的一端，所述卡箍5171套在第一轴承外，所述卡箍5171与L型安装板5172螺栓连接，所述支撑板5173的侧面设有第二连接板，所述第二连接板与L型安装板5172螺栓连接，所述支撑板5173的上部与清洗槽2连接，该结构能够将第一转轴514与与清洗槽2固定，能够将清洗槽2与第一驱动机构5连接为一个整体，避免第一驱动机构5长时间工作，使第一转轴514发生变形，增加设备的使用寿命。

作为一种优选的方案，如图2所示的第一U型板41的底部设有用于安装花篮的第一凹槽411，所述第一凹槽411的槽底设有第一通孔，所述花篮插入到第一凹槽411。第一通孔可以增加晶片与清洗液的接触，这样清洗液能够晶片的各个角度进行冲洗，提升晶片清洗效果。

作为一种优选的方案，所述第一连接板42设有多个长圆孔421，能够减轻第一连接板42的重量，减少第一抛动机构4上下运动过程中，对第一驱动机构5产生的压力，提高设备使用寿命。

具体工作过程：当第一电机511驱动第一齿轮512、第二齿轮513转动时，能够带动第一转轴514转动，第一转轴514转动又可以带动偏心轮515转动，而旋转轴承516可以随着偏心轮515中心偏移呈现上下运动，同时与旋转轴承516固定连接的第一连接板42也发生上下运动，此时导向组件52能够使第一连接板42沿导轨521的轴向方向进行上下运动，第一连接板42又带动第一抛动机构4上的晶片进行上下运动，进而增加了清洗液与晶片的接触面积，提高晶片的清洗效果。本实施中各组件采用可拆卸连接，方便安装，产品结构合理，设计巧妙，能够提高晶片的清洗效果。

对于本领域技术人员而言，本发明不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本发明的精神或基本特征的情况下，能够以其它的具体形式实现本发明。而且是非限制性的，本发明的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本发明内。

以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (7)

1.一种用于晶片清洗的抛动装置，其特征在于，包括用于抛动晶片的第一抛动机构(4)、用于驱动第一抛动机构(4)运动的第一驱动机构(5)，所述第一抛动机构(4)包括第一U型板(41)，所述第一U型板(41)的两端均连接有第一连接板(42)，所述第一连接板(42)与第一驱动机构(5)连接。

2.根据权利要求1所述的一种用于晶片清洗的抛动装置，其特征在于，所述第一驱动机构(5)包括驱动部件(51)、用于对第一抛动机构(4)运动方向进行导向的导向组件(52)，所述驱动部件(51)包括第一电机(511)、第一齿轮(512)、第二齿轮(513)、第一转轴(514)，所述第一转轴(514)的两端均连接有偏心轮(515)，所述第一齿轮(512)安装在电机(511)的输出端，所述第二齿轮(513)与第一转轴(514)固定连接，所述第一转轴(514)与偏心轮(515)固定连接，所述第一齿轮(512)、第二齿轮(513)啮合。

3.根据权利要求2所述的一种用于晶片清洗的抛动装置，其特征在于，所述偏心轮(515)为两个，所述第一连接板(42)的底部安装有旋转轴承(516)，所述偏心轮(515)的外周与旋转轴承(516)相接触；

所述导向组件(52)包括导轨(521)、滑块(522)，所述导轨(521)与侧板(12)固定连接，所述滑块(522)与第一连接板(42)的内侧面固定连接，所述导轨(521)与滑块(522)滑动连接。

4.根据权利要求3所述的一种用于晶片清洗的抛动装置，其特征在于，所述偏心轮(515)的外侧设置有用于将偏心轮(515)锁紧的第一轴套，所述偏心轮(515)安装在第一转轴(514)的一端，所述第一轴套安装在偏心轮(515)的外侧。

5.根据权利要求2所述的一种用于晶片清洗的抛动装置，其特征在于，所述第一转轴(514)安装有第一连接组件(517)，所述第一连接组件(517)包括第一轴承、卡箍(5171)、L型安装板(5172)、支撑板(5173)，所述L型安装板(5172)位于第一轴承的上方，所述支撑板(5173)位于L型安装板(5172)的上方，所述第一轴承套在第一转轴(514)的一端，所述卡箍(5171)套在第一轴承外，所述卡箍(5171)与L型安装板(5172)螺栓连接，所述支撑板(5173)的侧面设有第二连接板，所述第二连接板与L型安装板(5172)螺栓连接。

6.根据权利要求1所述的一种用于晶片清洗的抛动装置，其特征在于，所述第一U型板(41)的底部设有第一凹槽(411)，所述第一凹槽(411)的槽底设有第一通孔。

7.根据权利要求1所述的一种用于晶片清洗的抛动装置，其特征在于，所述第一连接板(42)设有多个长圆孔(421)。

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