KR101145850B1 - 마스크 세정장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 마스크 세정장치에 관한 것으로, 세정수를 저장하는 탱크와, 상기 탱크에 저장된 세정수를 진동시켜 상기 세정수에 침지된 마스크를 세정하는 초음파발생부와, 상기 마스크를 세정수 내에 침지시키며, 상기 마스크를 상하가 역전되지 않는 상태로 회전시키는 회전지지부를 포함한다. 본 발명은 초음파발생장치에 의한 진동뿐만 아니라 세정수 내에 침지된 상태의 마스크를 회전시켜 세정효과를 보다 향상시킴으로써, 마스크를 세정하는데 소요되는 시간을 단축할 수 있는 효과가 있다.

Description

마스크 세정장치{Cleaner for mask}

본 발명은 마스크 세정장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 대면적 기판의 제조에 사용되는 포토 마스크를 세정하는 장치에 관한 것이다.

일반적으로 평판 디스플레이의 제조에서, 특정한 패턴을 형성하기 위한 방법으로, 박막 증착 후, 감광막을 도포하고, 그 감광막에 패턴을 형성하기 위하여 마스크를 사용하는 노광공정이 사용된다.

상기 마스크는 그 사용이 반복되면서, 이물의 영향을 제거하기 위하여 세정이 필요하다.

상기 평판 디스플레이의 제조에 사용되는 마스크는 그 크기가 반도체 공정의 마스크에 비하여 상대적으로 크며, 따라서 종래 마스크 세정장치는 마스크를 직접 세정액 내에 침지하고, 초음파 진동을 통해 세정력을 높여 이물을 제거하고 있다.

도 1은 종래 마스크 세정장치의 구성도이다.

도 1을 참조하면 종래 마스크 세정장치는, 세정수를 저장하는 탱크(1)와, 마스크(2)를 고정하여 상기 탱크(1)에 침지시키는 이동부(3)와, 상기 탱크(1)의 일부에 마련되어 초음파 진동을 발생시켜, 상기 세정수를 진동시킴으로써, 상기 침지된 마스크(2)를 세정하는 초음파발생기(4)를 포함하여 구성된다.

이하, 상기와 같이 구성되는 종래 마스크 세정장치의 구성과 작용을 보다 상세히 설명한다.

먼저, 상기 탱크(1)는 상면이 개방된 육면체의 구조를 가지고 있으며, 내부에는 세정수가 공급되어 저장된다.

상기 탱크(1)에 세정수가 저장된 상태에서 마스크(2)는 이동부(3)에 고정된 마스크(2)가 이동부(3)와 함께 상기 탱크(1)의 세정수 내로 침지된다.

상기 이동부(3)는 마스크(2)를 세운 상태로 고정하여 상하 이동이 가능한 구성이며, 이와 같이 마스크(2)가 침지된 상태에서 초음파발생기(4)에서 초음파를 발생시켜 탱크(1) 내의 세정수를 진동시켜 마스크(2)를 세정하게 된다.

그러나 종래 마스크 세정장치는, 세정수에 침지된 상태의 마스크(2)를 초음파발생기(4)의 진동에 의해서만 세정하기 때문에 마스크를 세정하는데 소요되는 시간이 많이 걸리는 문제점이 있었다.

상기와 같은 문제점을 감안한 본 발명이 해결하고자 하는 과제는, 마스크 세정에 소요되는 시간을 단축할 수 있는 마스크 세정장치를 제공함에 있다.

상기와 같은 과제를 해결하기 위한 본 발명 마스크 세정장치는, 세정수를 저장하는 탱크와, 상기 탱크에 저장된 세정수를 진동시켜 상기 세정수에 침지된 마스크를 세정하는 초음파발생부와, 상기 마스크를 세정수 내에 침지시키며, 상기 마스크를 상하가 역전되지 않는 상태로 회전시키는 회전지지부를 포함한다.

본 발명 마스크 세정장치는, 초음파발생장치에 의한 진동뿐만 아니라 세정수 내에 침지된 상태의 마스크를 회전시켜 세정효과를 보다 향상시킴으로써, 마스크를 세정하는데 소요되는 시간을 단축할 수 있는 효과가 있다.

도 1은 종래 마스크 세정장치의 구성도이다.
도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 마스크 세정장치의 구성도이다.
도 3은 도 2에서 회전지지부의 사시도이다.

이하, 본 발명 마스크 세정장치의 바람직한 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다.

도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 마스크 세정장치의 구성도이고, 도 3은 도 2에서 회전지지부의 사시도이다.

도 2와 도 3을 각각 참조하면 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 마스크 세정장치는, 세정수를 저장하는 탱크(100)와, 상기 탱크(100)의 일부에 위치하여 상기 세정수를 진동시키는 초음파발생부(200)와, 상기 탱크(100)에 저장된 세정수 내에 마스크(400)를 침지시키며, 침지상태의 마스크(400)를 회전시키는 회전지지부(300)를 포함한다.

상기 회전지지부(300)는, 상기 마스크(400)의 하단과 측면 가장자리를 지지하여 고정하는 마스크고정부(310)와, 외부의 동력에 의해 상하 이동하는 이동축(321)에 고정되는 지지패널(320)과, 상기 지지패널(320)에 회전가능하게 지지되며, 각각의 편심된 위치에서 상기 마스크고정부(310)를 고정하는 다수의 회전부(333)와, 상기 지지패널(320)의 반대편에서 상기 다수의 회전부(333) 각각의 회전축에 고정되어, 벨트(334)에 의해 외부의 회전력을 동기를 맞춰 다수의 회전부(333)에 전달하여 상기 마스크고정부(310)를 회전시키는 다수의 풀리(332)와, 상기 다수의 풀리(332) 중 하나의 풀리(332)에 구동부(330)의 회전력을 전달하는 베벨기어부(331)를 포함한다.

이하, 상기와 같이 구성되는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 마스크 세정장치의 구성과 작용을 보다 상세히 설명한다.

먼저, 탱크(100)에는 세정수가 저장되어 있으며, 그 탱크(100)의 일부에는 초음파발생부(200)가 위치하여, 마스크(400)가 세정수에 침지된 상태에서 그 세정수를 진동시켜 마스크(400)를 세정한다.

상기 마스크(400)는 회전지지부(300)에 지지되어 상하 이동되며, 회전지지부(300)는 상기 마스크(400)가 세정수에 침지된 상태에서 그 마스크(400)를 회전시킨다.

상기 회전지지부(300)는 구동부(330)의 회전력을 전달받아 마스크(400)가 수직으로 세워진 상태에서 상하가 전도되지 않는 상태로 시계방향 또는 시계반대방향으로 회전시킬 수 있는 구성이면, 그 구체적인 구성에 의해 본 발명이 제한되지 않는다.

상기와 같은 회전지지부(300)의 일예를 도 3에 도시하였다.

지지패널(320)에는 다수의 회전축이 관통되어 있으며, 그 관통된 회전축의 각각의 양측에는 회전부(333)와 풀리(332)가 각각 고정되어 있다.

그리고 상기 마스크(400)는 세정면이 세정수에 접할 수 있도록 마스크고정부(310)에 의해 하단과 측면가장자리가 지지된 상태로 고정된다.

상기 지지패널(320)에는 상하로 이동될 수 있는 이동축(321)의 하단이 고정되어 있으며, 외부의 동력에 의해 그 지지패널(320)을 상하로 이동하여 세정수 내에 침지시키거나, 세정수 밖으로 배출시킬 수 있다.

상기 지지패널(320)의 일면측에 마련된 회전부(333)에는 그 회전부(333)의 회전중심인 회전축과는 편심된 위치에 상기 마스크(400)를 고정하는 마스크고정부가 고정된다.

따라서 상기 회전부(333)가 회전하면 그 회전축을 중심으로 마스크고정부(310)가 회전하게 된다. 이와 같이 상기 마스크고정부(310)의 회전속도의 동기를 맞추기 위하여 상기 풀리(332)들은 벨트(334)로 연결되어 있다.

상기 벨트(334)로 연결되는 다수의 풀리(332) 중 하나에는 그 풀리(332)의 회전축에 회전력을 전달하는 베벨기어부(331)가 결합되어 있으며, 그 베벨기어부(331)는 구동부(330)의 동력을 전달하여 풀리(332)들을 회전시키며, 그 풀리(332)들과 동일한 회전축을 공유하는 상기 회전부(333)들을 회전시킨다.

이처럼 상기 마스크(400)는 마스크고정부(310)에 고정된 상태에서, 균형을 유지하며, 시계방향 또는 시계반대방향으로 회전하게 되며, 이 회전에 의해 세정수와의 마찰이 증가하게 된다. 이물의 세정효과가 향상된다.

따라서 본 발명은 초음파의 진동과 함께 마스크(400)가 세정수에 침지된 상태에서 회전시켜, 세정력을 보다 향상시킴으로써, 마스크(400)를 세정하는데 소요되는 시간을 단축할 수 있게 된다.

도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 마스크 세정장치의 구성도이고, 도 5는 도 4에서 캠과 회동프레임의 상세 구성도이다.

도 4와 도 5를 각각 참조하면 본 발명의 다른 실시예에 따른 마스크 세정장치는, 다수의 모터(500)에 의해 회전구동되는 편심 캠(510)과, 상기 편심 캠(510)의 회전에 의하여 회전 구동력을 지지패널(320)에 전달하는 회동프레임(520)을 포함하여 구성된다.

상기 편심 캠(510)은 편심 캠(510)의 편십부분에서 돌출되는 삽입돌출부(511)를 포함하고, 상기 회동프레임(520)은 상하역전된 'U'자 형의 프레임의 일단에 상기 삽입돌출부(511)가 회전가능하게 삽입되는 삽입공(521)을 가지며, 타단은 상기 지지패널(320)에 고정된다.

상기 도 2 및 도 3을 참조한 구성에서, 탱크(100)와 초음파발생부(200)는 그대로 사용되며, 마스크 고정부(310)와 지지패널(320)은 상호 일체로 마련되어 있으며, 구동부(330)와 베벨기어부(331)의 구성은 생략된다.

따라서 상기 모터(500)의 회전에 의하여 편심 캠(510)의 회전 중심에서 벗어난 위치의 삽입돌출부(511)가 그 회전 중심을 따라 회전하게 되며, 그 삽입돌출부(511)의 회전에 따라 회동프레임(520)이 회전하면서 상기 지지패널(320)을 회전시키게 된다.

이와 같은 구성에 의하여 본 발명은 보다 단순화된 구성과, 세정액 내에 기타의 구성품이 담기지 않은 상태에서 그 마스크를 회전과 함께 초음파를 이용한 세정이 가능하기 때문에 이물의 발생없이 세정효과를 높일 수 있게 된다.

전술한 바와 같이 본 발명에 따른 마스크 세정장치에 대하여 바람직한 실시예를 들어 상세히 설명하였지만, 본 발명은 전술한 실시예들에 한정되는 것이 아니고, 특허청구범위와 발명의 상세한 설명 및 첨부한 도면의 범위 안에서 여러 가지로 변형하여 실시하는 것이 가능하고 이 또한 본 발명에 속한다.

100:탱크 200:초음파발생부
300:회전지지부 310:마스크 고정부
320:지지패널 330:구동부
400:마스크

Claims (5)

1. 세정수를 저장하는 탱크;
   상기 탱크에 저장된 세정수를 진동시켜 상기 세정수에 침지된 마스크를 세정하는 초음파발생부; 및
   상기 마스크의 하단과 측면 가장자리를 고정하는 마스크고정부와, 상기 마스크고정부를 편심되게 고정하는 회전부와, 상기 회전부를 회전가능하게 지지하는 지지패널과, 상기 회전부를 회전시키는 구동부를 구비하며, 상기 마스크를 세정수 내에 침지시키고, 상기 마스크를 상하가 역전되지 않는 상태로 회전시키는 회전지지부를 포함하는 마스크 세정장치.
   
2. 삭제
3. 제1항에 있어서,
   상기 회전부는 다수로 마련되며, 상기 지지패널의 상기 다수의 회전부의 반대편에서 상기 회전부들의 회전축에 각각 결합되는 다수의 풀리;
   상기 다수의 풀리를 연결하는 벨트; 및
   상기 다수의 풀리중 하나의 풀리에 상기 구동부의 동력을 전달하는, 베벨기어부를 더 포함하는 마스크 세정장치.
   
4. 삭제
5. 삭제

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