JP2001286838A - 超音波洗浄装置並びにこれを用いた洗浄方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 本発明は分級用の篩等の目詰まり等を適切に
処理し得、且つ装置のコンパクト化と機構のシンプル化
を達成できる超音波洗浄装置の開発を技術課題とした。 【解決手段】 本発明の超音波洗浄装置は、洗浄槽１１
内の洗浄液Ｌに被洗浄体をその全体または一部が浸漬状
態になるように設置し、前記洗浄液Ｌに対し超音波振動
子ユニット１５からの超音波振動を作用させ、その超音
波振動によって生起する洗浄液Ｌ中のキャビテーション
の破壊エネルギーを利用して目的とする洗浄を行う装置
において、前記被洗浄体は、偏平な分級用の篩網２であ
り、且つ前記目的とする洗浄はこの篩網２の目詰まりの
除去であり、一方、前記洗浄槽１１は偏平状の篩網２を
ほぼ立てた姿勢で収容できる形状とするとともに、その
内面に超音波振動子ユニット１５を固定して成り、更に
洗浄槽１１内部には篩網２をほぼ立てた姿勢に保持しな
がら、これを回転させる回転支持体１３を具えたことを
特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は例えば分級用篩網等
を好適な処理対象の一つとした超音波洗浄装置並びにこ
れを用いた洗浄方法に関するものである。

【０００２】

【発明の背景】粉粒体の製造・精製分野で用いられる分
級用の篩は、その作動態様に因み使用を経るに従い目詰
まりが生ずることは免れ得ず、その都度これを洗浄して
目詰まりを解除する洗浄作業が必要とされる。この際、
粉粒の粒子径が小さくなればなるほど篩のメッシュも細
かくなり、このようなメッシュに対して微小径の粒子が
詰まってしまった場合には、その洗浄作業も極めて難し
く、単に圧縮空気等による吹き飛ばし程度の作業では洗
浄目的を充分達し得ない。

【０００３】このため、例えば特開平１１−１２８８５
８号「超音波洗浄装置」に示されるように超音波による
洗浄液中の真空キャビテーションの破壊エネルギーを利
用した洗浄を行うことが技術的なアイデアとして提案さ
れているが、このものは必ずしも実機として所期の性能
が得難く、市場には提供されていない。すなわちこのも
のは例えば被洗浄体たる円盤状の篩網を洗浄液中に完全
に没入させ、且つこのものに対してその側傍を往復動す
る長杆状のホーンタイプの超音波振動子から超音波エネ
ルギーを洗浄液に作用させるものであるが、このような
タイプでは超音波振動のより効果的な発現はホーンの長
手方向になされてしまい、ホーンの側方すなわち被洗浄
体が位置する側には計算上３／１０程度の超音波エネル
ギーしか効果が発現しない。しかもこのようなホーンタ
イプの超音波振動子は、その形状に因み超音波の発振エ
ネルギーは長手方向に対して疎密がでるものであり、こ
のものを固定した篩網の側傍を移動させた場合、洗浄状
態が不均一となることは免れ得ない。またこの従来技術
ではホーンタイプの超音波振動子が移動し、篩網は洗浄
槽中に固定状態に完全に浸漬された状態に設けられるか
ら、それを受け入れられるだけの大きさの洗浄槽が必要
となり、前記超音波振動子を駆動させるための機構等と
相まって装置自体が大型化、複雑化してしまうことは免
れ得ない。

【０００４】

【開発を試みた技術的課題】本発明はこのような背景を
考慮してなされたものであって、分級用の篩等の目詰ま
り等を適切に処理し得、且つ装置のコンパクト化と機構
のシンプル化を達成できる超音波洗浄装置の開発を技術
課題としたものである。

【０００５】

【課題を解決するための手段】すなわち請求項１記載の
超音波洗浄装置は、洗浄槽内に洗浄液を充填し、この洗
浄液に被洗浄体をその全体または一部が浸漬状態になる
ように設置し、前記洗浄液に対し超音波振動子ユニット
からの超音波振動を作用させ、その超音波振動によって
生起する洗浄液中のキャビテーションの破壊エネルギー
を利用して目的とする洗浄を行う装置において、前記被
洗浄体は、偏平な分級用の篩網であり、且つ前記目的と
する洗浄はこの篩網の目詰まりの除去であり、一方、前
記洗浄槽は偏平状の篩網をほぼ立てた姿勢で収容できる
形状とするとともに、その内面に超音波振動子ユニット
を固定して成り、更に洗浄槽内部には篩網をほぼ立てた
姿勢に保持しながら、これを回転させる回転支持体を具
えたことを特徴として成るものである。本発明によれ
ば、コンパクトで且つシンプルな機構の下に洗浄効果の
優れた超音波洗浄装置を得ることができる。

【０００６】また請求項２記載の超音波洗浄装置は、前
記要件に加え、前記超音波振動子ユニットはフラットタ
イプの振動面を有し、この振動面が篩面に対向している
ことを特徴として成るものである。本発明によれば、超
音波によって生起されるキャビテーションの破壊エネル
ギーがより効果的に被洗浄体に作用する。

【０００７】更にまた請求項３記載の超音波洗浄装置
は、前記要件に加え、前記洗浄液は、オーバーフロー状
態に循環させ、且つその循環経路途中に濾過フィルタを
設けたことを特徴として成るものである。本発明によれ
ば、洗浄液を無駄にすることがなく、且つ洗浄にあたっ
ては常時清浄な洗浄液が被洗浄体に作用する。加えて洗
浄液が一旦洗浄槽の外部に循環することにより洗浄液の
冷却も図られ、常時安定した洗浄機能を発揮する。

【０００８】更にまた請求項４記載の超音波洗浄装置
は、前記要件に加え、前記篩網を支持する回転支持体
は、回転速度の変更、回転方向の正逆転切り替え及び停
止を適宜のプログラムで設定できるようにされているこ
とを特徴として成るものである。本発明によれば、被洗
浄体が大きい場合でも例えばこれを分割した分割ゾーン
毎に入念に洗浄作用を受けることができる。

【０００９】更にまた請求項５記載の超音波洗浄装置
は、前記洗浄槽には洗浄液の存否を検知する洗浄液セン
サが設けられていることを特徴として成るものである。
本発明によれば、洗浄液センサが洗浄液の存在を検出し
ていないときには、超音波発振器を起動しないような回
路設定が可能となり、いわゆる空焚き状態となるような
状況を完全に回避し得る。

【００１０】更にまた請求項６記載の超音波洗浄装置を
用いた洗浄方法は、前記請求項１、２、３、４または５
記載の超音波洗浄装置を用いて篩網の洗浄を行う方法に
おいて、前記篩網は間欠的に回転移動させられるもので
あり、一定時間停止状態で篩網の一分割ゾーンを超音波
振動子ユニットに臨ませて洗浄を行い、その後、篩網の
未洗浄範囲にある分割ゾーンを一定時間停止した状態で
洗浄し、これを繰り返して分割ゾーン毎に篩網の洗浄を
進めてゆくようにしたことを特徴として成るものであ
る。本発明によれば、たとえ大きな被洗浄体であっても
それを分割ゾーン毎に分けて入念に洗浄することができ
る。

【００１１】更にまた請求項７記載の超音波洗浄装置を
用いた洗浄方法は、前記請求項１、２、３、４または５
記載の超音波洗浄装置を用いて篩網の洗浄を行う方法に
おいて、前記篩網の一分割ゾーンを超音波振動子ユニッ
トに臨ませた上で、回転方向を正逆転方向に切り替え、
篩網を揺動支持しながら一定時間保持して洗浄し、その
後、篩網の未洗浄範囲にある分割ゾーンを超音波振動子
ユニットに臨ませるように回転移動させ、その位置で回
転方向を正逆転方向に切り替え、篩網を揺動支持しなが
ら一定時間保持して洗浄し、これを繰り返して分割ゾー
ン毎に洗浄を進めてゆくようにしたことを特徴として成
るものである。この発明によれば、たとえ大きな被洗浄
体であってもそれを分割ゾーン毎に分けて入念に洗浄す
ることができるものであり、且つその際、被洗浄体を揺
するような状態とするから、目詰まりした粉粒体等の除
去もより効果的に行い得る。

【００１２】

【発明の実施の形態】以下本発明を図示の実施の形態に
基づいて具体的に説明する。説明にあたっては、まず本
発明の超音波洗浄装置１の具体的機構について説明し、
次にその作動態様を説明しながらこれを用いた洗浄方法
について併せ説明する。符号１は本発明たる超音波洗浄
装置であって、このものは例えば被洗浄体として粉粒体
Ａによって目詰まりしたような篩網２を好適な処理対象
とする。

【００１３】以下超音波洗浄装置１について説明する。
このものはベース１０上に洗浄槽１１を搭載した形態を
とるものであって、まずベース１０は下面にキャスタ１
０ａを具えて一例として移動可能とする。もちろん工場
設備等の関係で定置据え置きで差し支えない場合には必
ずしもキャスタ１０ａは必要としない。このベース１０
からは適宜脚状のマウントブラケット１０ｂが形成され
て、前記洗浄槽１１の下方部分を支持している。洗浄槽
１１は側面視の形状で半円よりやや大きめのＵ字型をし
た偏平な液槽であり、例えば被洗浄体たる篩網２を内部
に装填した場合、篩網２の半分よりやや上方までの範囲
が洗浄液Ｌに浸漬する程度の形状に設定される。また上
面には開放可能な蓋体１２を具える。

【００１４】このような洗浄槽１１の内部には、被洗浄
体たる篩網２の面を立てた状態に支持する回転支持体１
３を設ける。このものは洗浄槽１１の一方の側面から水
密状態に貫通している回転軸１３１に対し、回転輪状の
支持枠１３２を取り付け、更にこの支持枠１３２の外周
にクランプ１３３を設けて成るものである。なおクラン
プ１３３は位置決め片１３３ａとクランプネジ１３３ｂ
とを有し、このものにより被洗浄体たる篩網２の外枠２
ａを保持する。

【００１５】このような回転支持体１３は洗浄槽１１の
一方の側面の外部に取り付けられた駆動減速ユニット１
４の出力軸に接続され回転駆動される。なおこの回転駆
動は一方向への回転、あるいは回転、停止の繰り返し、
あるいは回転の正逆転の切り替え、回転速度の変更等、
適宜の回転態様が得られ、且つこれらの回転態様を適宜
組み合わせたプログラミング設定が可能である。

【００１６】更に前記洗浄槽１１の内部には超音波振動
子ユニット１５を設ける。このものは一例として前記駆
動減速ユニット１４を設けた側と反対側の洗浄槽１１の
側面内側に設けるものであって、矩形箱状のケーシング
１５ａの内部に多数の振動子要素１５ｂを張り付けて形
成したものである。また超音波振動子ユニット１５にお
ける振動子要素１５ｂに超音波振動を生起させるための
超音波発振器１６を前記ベース１０上に配置する。

【００１７】更に洗浄槽１１には洗浄液Ｌの処理に関与
する部材が設けられるものであって、まず洗浄槽１１の
内側周面側にはオーバーフロートラフ１７を設ける。こ
れにより洗浄槽１１内の洗浄液Ｌのレベルが設定され
る。そしてこのオーバーフロートラフ１７から外部に循
環パイプ１８の出口側が接続される。この循環パイプ１
８はその途中にポンプＰを介在させるとともに、このポ
ンプＰの出口側にトラップ１８１を配置し、更にその後
段にフィルタ１８２及びこのフィルタ１８２を経由しな
いバイパス１８３を設け、更にその先端側を給液口１８
４に接続させる。また洗浄槽１１の下面からはドレンパ
イプ１９を引き出し、途中にドレンコック１９ａを介在
させる。なお前記循環パイプ１８による洗浄液Ｌの循環
を行わない場合、直接オーバーフローした洗浄液Ｌをド
レンパイプ１９と合流させて排除するようにしてももと
より差し支えない。なお符号Ｓは例えばフロートスイッ
チ等を利用した洗浄液センサであり、また符号Ｃははコ
ントロールスイッチである。

【００１８】本発明の超音波洗浄装置１の具体的な構造
は以上述べたような内容を有するものであって、以下こ
のものによる洗浄態様を説明する。 （１）洗浄液の充填 まず洗浄液Ｌを例えば給液口１８４から、あるいは別途
給液ホース等を洗浄槽１１の上方に臨ませて洗浄槽１１
内に流入させる。なお充填する洗浄液Ｌの量は前記オー
バーフロートラフ１７の存在を前提とし、オーバーフロ
ートラフ１７からオーバーフローするまで洗浄液Ｌを充
填するほか、洗浄液センサＳの出力等に応じて洗浄液Ｌ
の供給を停止する等、適宜の手段がとり得る。

【００１９】（２）被洗浄体の設定 一方このようにした後、被洗浄体たる篩網２を洗浄槽１
１内に取り付ける。もちろんこの作業は前記洗浄液Ｌの
充填に先立って行ってもよい。この作業は洗浄槽１１内
における回転支持体１３の支持枠１３２に対し篩網２を
取り付けるものであって、具体的には篩網２の円環状の
外枠２ａを支持枠１３２におけるクランプ１３３の位置
決め片１３３ａに係止させた後、その外側からクランプ
ネジ１３３ｂによって押さえ付けて、支持枠１３２に対
し篩網２を固定状態に取り付ける。

【００２０】（３）洗浄 このような準備がされた後、コントロールスイッチＣを
適宜操作して洗浄を開始する。すなわちコントロールス
イッチＣの操作によって超音波発振器１６に給電され、
超音波発振器１６による周波数２６ｋＨｚ程度の超音波
振動が振動子要素１５ｂに発現するように伝えられ、超
音波振動子ユニット１５におけるケーシング１５ａの振
動面１５ｃから超音波振動を洗浄液Ｌに伝達してゆく。
そしてこの超音波振動により洗浄液Ｌ内には微細な真空
気泡が生起し、このものが生起する都度瞬間的に破壊さ
れるような状態となり、そのキャビテーションの破壊エ
ネルギーが被洗浄体たる篩網２に作用し、これを振動な
いしは歪ませて粉粒体Ａの目詰まりを解除してゆくので
ある。そしてこの際、洗浄液Ｌをわずかずつ供給し続け
ると、その分オーバーフロートラフ１７から洗浄液Ｌが
トラップ１８１及びフィルタ１８２を通過し、洗浄液Ｌ
面に溜まりがちな汚染粒子等が排除され、同時に作用中
に昇温する洗浄液Ｌの冷却が図られる。このような基本
原理の下、更に洗浄方法として次のような方法がとられ
る。

【００２１】（３−１）連続洗浄（図４参照） 超音波振動子ユニット１５による洗浄作用が有効顕著な
範囲は概ねこのものに臨んだ範囲であり、被洗浄体たる
篩網２が超音波振動子ユニット１５に臨む位置は篩網２
の一部の範囲に限定されている。従って全範囲を洗浄す
るにはこのものを回転させるようにして洗浄を行う。す
なわち駆動減速ユニット１４を駆動させ、回転軸１３１
を比較的低速、例えば一分間に一回転程度の速度で回転
させてゆき、超音波振動子ユニット１５の洗浄作用が篩
網２の全面に行き渡るようにして洗浄を行うのである。
因みに例えば連続回転の場合、１２０回転程度で例えば
２５０メッシュの篩網２の場合、粒径６２μｍ程度の目
詰まりがほぼ完全に洗浄し得る。なお洗浄が目下行われ
ている範囲を洗浄範囲Ｚａ、洗浄済み範囲をＺｂ、未洗
浄範囲をＺｃとして図示並びに説明する。

【００２２】（３−２）分割ゾーン毎洗浄（図５参照） 先に述べた手法は篩網２を連続回転させて、順次洗浄範
囲が相対的に移動するような形態であったが、例えば篩
網２を図５に示すように何分割かして分割ゾーンを仮想
し、この各分割ゾーンを洗浄範囲Ｚａに臨ませて洗浄を
行うような手法が可能である。すなわち分割ゾーン毎の
洗浄の一例としては、まず図５（ａ）に示すように分割
ゾーンが８分割されている場合、分割ゾーンＺ１〜Ｚ８
のうち、例えば分割ゾーンＺ１を超音波振動子ユニット
１５の作用する洗浄範囲Ｚａに臨ませ、ここで洗浄を行
う。そして図５（ｂ）に示すようにこの洗浄が済んだ分
割ゾーンＺ１を移動させ、新たな未洗浄範囲にあった分
割ゾーンＺ２の位置が洗浄範囲Ｚａに臨むようにする。
このような各分割ゾーンＺ１〜Ｚ８毎の洗浄を一定イン
ターバルで行い、全体の洗浄を行う。もちろん分割ゾー
ンＺ１〜Ｚ８を一巡した状態で完全な洗浄ができれば、
その状態で洗浄を完了してもよいが、それを一巡のみで
はなく二巡、三巡させるような洗浄方法をとることも可
能である。また、その後あるいは途中で連続回転移動に
切り替えて洗浄を継続することも可能である。

【００２３】（３−３）分割ゾーン毎揺動（図６参照） 更に他の方法としては、前記ゾーン毎の洗浄を行うにあ
たり、更にその範囲において幾分か篩網２を往復動させ
るように移動させる手法がとり得る。すなわち駆動減速
ユニット１４のプログラム設定を行い、例えば分割ゾー
ンＺ１が概ね洗浄範囲Ｚａにあるような状態として、そ
の間で篩網２を前後に揺動支持するようにして、言わば
揺すりながら洗浄を行うのである。このようにしたとき
には超音波振動による洗浄作用に加え、篩網２自体が揺
すられることによって、より確実に篩網２に目詰まりし
た粉粒体Ａ等の除去が促進されるのである。そしてこの
作用を順次分割ゾーンＺ２〜Ｚ８まで繰り返し、更にそ
れを一巡ないしは二巡、三巡またはそれ以上の巡回数行
い、洗浄作用を完了するのである。また、その後あるい
は途中で連続回転移動に切り替え、あるいはゾーン毎の
定置洗浄に切り替えて洗浄を継続することも可能であ
る。

【００２４】

【他の実施の形態】本発明は以上述べたような実施の形
態を基本的な実施の形態とするものであるが、更に次の
ような改変が可能である。まず図７（ａ）に示すものは
被洗浄体たる篩網２が円形であることを前提として、例
えばこのものを回転させるためにキャリヤローラ状の回
転支持体１３４を用い、このものの一部を回転駆動して
篩網２が回転できるように支持してもよい。

【００２５】更にまた図７（ｂ）に骨格的に示すものは
洗浄槽１１自体を篩網２の面と直交方向に見た側断面形
状をほぼ逆台形状とし、被洗浄体たる篩網２がほぼ傾斜
するように取り付けられるような形態としてもよい。こ
のようにしたときには、例えば目詰まりしていた粉粒体
Ａが篩網２から離れた場合に、更に篩網２に接しないよ
うに排除されてゆく点で好ましいものである。

【００２６】また図７（ｃ）に示すものは洗浄槽１１自
体を被洗浄体たる篩網２の面を傾斜させるように、揺動
できるような態様としたものである。このような揺動作
用を洗浄中に行わせれば、篩網２が面方向にも揺すられ
るような結果となり、目詰まりの除去がより効果的にな
される。

【００２７】また図７（ｄ）に示すものは洗浄槽１１内
で篩網２のみが揺動できるようにしたものである。

【００２８】

【発明の効果】本発明は以上述べたような具体的な機構
を有するとともに、これを用いた洗浄方法をとることが
できるものであり、次のような効果が奏せられる。

【００２９】請求項１記載の発明によれば、コンパクト
で且つシンプルな機構の下に洗浄効果の優れた超音波洗
浄装置を得ることができる。

【００３０】また請求項２記載の発明によれば、超音波
によって生起されるキャビテーションの破壊エネルギー
がより効果的に被洗浄体に作用する。

【００３１】更にまた請求項３記載の発明によれば、洗
浄液を無駄にすることがなく、且つ洗浄にあたっては常
時清浄な洗浄液が被洗浄体に作用する。加えて洗浄液が
一旦洗浄槽の外部に循環することにより洗浄液の冷却も
図られ、常時安定した洗浄機能を発揮する。

【００３２】更にまた請求項４記載の本発明によれば、
被洗浄体が大きい場合でも例えばこれを分割した分割ゾ
ーン毎に入念に洗浄作用を受けることができる。

【００３３】更にまた請求項５記載の発明によれば、洗
浄液センサが洗浄液の存在を検出していないときには、
超音波発振器を起動しないような回路設定が可能とな
り、いわゆる空焚き状態となるような状況を完全に回避
し得る。

【００３４】更にまた請求項６記載の本発明によれば、
たとえ大きな被洗浄体であってもそれを分割ゾーン毎に
分けて入念に洗浄することができる。

【００３５】更にまた請求項７記載の発明によれば、た
とえ大きな被洗浄体であってもそれを分割ゾーン毎に分
けて入念に洗浄することができるものであり、且つその
際、被洗浄体を揺するような状態とするから、目詰まり
した粉粒体等の除去もより効果的に行い得る。

【００３６】

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の超音波洗浄装置を一部分解して示す透
視斜視図である。

【図２】同上洗浄液の循環経路を併せ示す正面図並びに
平面図である。

【図３】同上縦断側面図並びにクランプ周辺の拡大図で
ある。

【図４】篩網を連続回転させて行う洗浄態様を示す模式
図である。

【図５】篩網を分解ゾーンに分けて行う洗浄態様を示す
模式図である。

【図６】篩網を分解ゾーンに分け、更に往復動させて行
う洗浄態様を示す模式図である。

【図７】部分的構成を異にする他の実施の形態を示す骨
格的正面図並びに側面図である。

【符号の説明】

１ 超音波洗浄装置 ２ 篩網 ２ａ 外枠 １０ ベース １０ａ キャスタ １０ｂ マウントブラケット １１ 洗浄槽 １２ 蓋体 １３ 回転支持体 １３１ 回転軸 １３２ 支持枠 １３３ クランプ １３３ａ 位置決め片 １３３ｂ クランプネジ １３４ 回転支持体 １４ 駆動減速ユニット １５ 超音波振動子ユニット １５ａ ケーシング １５ｂ 振動子要素 １５ｃ 振動面 １６ 超音波発振器 １７ オーバーフロートラフ １８ 循環パイプ １８１ トラップ １８２ フィルタ １８３ バイパス １８４ 給液口 １９ ドレンパイプ １９ａ ドレンコック Ａ 粉粒体 Ｃ コントロールスイッチ Ｌ 洗浄液 Ｐ ポンプ Ｓ 洗浄液センサ Ｚ１〜Ｚ８ 分割ゾーン Ｚａ 洗浄範囲 Ｚｂ 洗浄済み範囲 Ｚｃ 未洗浄範囲

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 洗浄槽内に洗浄液を充填し、この洗浄液
   に被洗浄体をその全体または一部が浸漬状態になるよう
   に設置し、前記洗浄液に対し超音波振動子ユニットから
   の超音波振動を作用させ、その超音波振動によって生起
   する洗浄液中のキャビテーションの破壊エネルギーを利
   用して目的とする洗浄を行う装置において、前記被洗浄
   体は、偏平な分級用の篩網であり、且つ前記目的とする
   洗浄はこの篩網の目詰まりの除去であり、一方、前記洗
   浄槽は偏平状の篩網をほぼ立てた姿勢で収容できる形状
   とするとともに、その内面に超音波振動子ユニットを固
   定して成り、更に洗浄槽内部には篩網をほぼ立てた姿勢
   に保持しながら、これを回転させる回転支持体を具えた
   ことを特徴とする超音波洗浄装置。
2. 【請求項２】 前記超音波振動子ユニットはフラットタ
   イプの振動面を有し、この振動面が篩面に対向している
   ことを特徴とする請求項１記載の超音波洗浄装置。
3. 【請求項３】 前記洗浄液は、オーバーフロー状態に循
   環させ、且つその循環経路途中に濾過フィルタを設けた
   ことを特徴とする請求項１または２記載の超音波洗浄装
   置。
4. 【請求項４】 前記篩網を支持する回転支持体は、回転
   速度の変更、回転方向の正逆転切り替え及び停止を適宜
   のプログラムで設定できるようにされていることを特徴
   とする請求項１、２または３記載の超音波洗浄装置。
5. 【請求項５】 前記洗浄槽には洗浄液の存否を検知する
   洗浄液センサが設けられていることを特徴とする請求項
   １、２、３または４記載の超音波洗浄装置。
6. 【請求項６】前記請求項１、２、３、４または５記載の
   超音波洗浄装置を用いて篩網の洗浄を行う方法におい
   て、前記篩網は間欠的に回転移動させられるものであ
   り、一定時間停止状態で篩網の一分割ゾーンを超音波振
   動子ユニットに臨ませて洗浄を行い、その後、篩網の未
   洗浄範囲にある分割ゾーンを一定時間停止した状態で洗
   浄し、これを繰り返して分割ゾーン毎に篩網の洗浄を進
   めてゆくようにしたことを特徴とする超音波洗浄装置を
   用いた洗浄方法。
7. 【請求項７】前記請求項１、２、３、４または５記載の
   超音波洗浄装置を用いて篩網の洗浄を行う方法におい
   て、前記篩網の一分割ゾーンを超音波振動子ユニットに
   臨ませた上で、回転方向を正逆転方向に切り替え、篩網
   を揺動支持しながら一定時間保持して洗浄し、その後、
   篩網の未洗浄範囲にある分割ゾーンを超音波振動子ユニ
   ットに臨ませるように回転移動させ、その位置で回転方
   向を正逆転方向に切り替え、篩網を揺動支持しながら一
   定時間保持して洗浄し、これを繰り返して分割ゾーン毎
   に洗浄を進めてゆくようにしたことを特徴とする超音波
   洗浄装置を用いた洗浄方法。