JPH09246803A - 誘電体一体型nrd線路超電導帯域通過フィルタ装置 - Google Patents

誘電体一体型nrd線路超電導帯域通過フィルタ装置

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JPH09246803A
JPH09246803A JP8044990A JP4499096A JPH09246803A JP H09246803 A JPH09246803 A JP H09246803A JP 8044990 A JP8044990 A JP 8044990A JP 4499096 A JP4499096 A JP 4499096A JP H09246803 A JPH09246803 A JP H09246803A
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dielectric
line
filter device
superconducting
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Yohei Ishikawa
容平 石川
Seiji Hidaka
青路 日高
Noribumi Matsui
則文 松井
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Murata Manufacturing Co Ltd
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Murata Manufacturing Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 構成が簡単でありかつ製造方法が簡単であっ
て、しかも小型・軽量化することができ、単一の動作モ
ードで動作するNRD線路帯域通過フィルタ装置を提供
する。 【解決手段】 隣接する2つのNRD線路共振器が電磁
気的に結合するように複数のNRD線路共振器NR1−
NR5が並置されてなるNRD線路帯域通過フィルタ装
置である。並置された矩形筒形状の複数の誘電体線路2
1−25を互いに平行な上面部1aと下面部1bで挟設
し、上面部1aと下面部1bと複数の誘電体線路21−
25とを一体的に形成して、矩形筒形状の誘電体筺体1
を形成し、上面部1aと下面部1bの各外表面上に第1
と第2の超電導電極11a,11bが形成され、第1と
第2の超電導電極11a,11bの間隔Hを当該装置の
真空中における共振周波数の波長の半分以下に設定する
ことにより各誘電体線路21−25の外側の部分を遮断
領域とした。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、非放射性誘電体線
路(Nonradiative Dielectric Waveguide;以下、NR
D線路という。)を用いた誘電体一体型NRD線路超電
導帯域通過フィルタ装置に関する。
【0002】
【従来の技術】例えば矩形柱形状の誘電体線路の上下
を、1対の金属平板で挟設保持してなるNRD線路を形
成するときに、誘電体部材が長手方向と直交する上下高
さを半波長以下としかつ上下両端部にツバを左右方向に
延出させて断面H形に形成され、上記ツバ部を含む誘電
体部材の上下両端の外表面に金属膜を密着形成すること
により、誘電体一体型のNRD線路(以下、第1の従来
例という。)を構成することが、特開平3−27040
1号公報において開示されている。当該誘電体一体型の
NRD線路においては、振動や衝撃を受けても金属部と
誘電体部材との間が剥離することがなく、安定した電気
的特性を得ることができるという特徴を有している。
【0003】初段及び終段の誘電体共振器を導波管と直
接に結合させた誘電体装荷導波管フィルタ又は導波管直
結NRDガイドフィルタが提案されているが、当該フィ
ルタの構成では、外部Qと共振周波数とをそれぞれ独立
に調整することが難しいという問題点があった。この問
題点を解決するために、特開昭63−59001号公報
において、NRDガイド共振器と導波管とを直結させた
型の導波管直結NRDガイドフィルタであって、上記N
RDガイド共振器の共振器構成誘電体部に続いて上記N
RDガイド共振器と上記導波管との接続部に、緩衝用誘
電体部を配置した導波管直結NRDガイドフィルタ(以
下、第2の従来例という。)が提案されている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、第1と
第2の従来例で用いるNRD線路の誘電体線路の材料と
して、低誘電率材料を用いて構成されているが、小型化
の目的から高誘電率材料を用いて構成すると単一モード
伝送ができないなどの現象が観測されたことが、従来技
術文献1(篠原聡兵衛ほか,“高誘電率材料を用いた非
放射性誘電体線路の特異な伝送特性”,電子情報通信学
会論文誌,C−I,Vol.J73−C−I,No.1
1,pp.716−723,1990年11月)におい
て報告されている。従来例のNRD線路において単一モ
ード伝送できない理由としては、NRD線路の誘電体ス
トリップと金属板の間に存在する工作上避けられない微
小な空隙が単一モード伝送の帯域を狭くしているためで
あると考えられる。この問題点を解決するために、当該
従来技術文献1においては、高誘電率材料を使って構成
するための構造上の工夫として「トラップドインシュラ
ーガイド」(以下、第3の従来例という。)を提案して
いる。しかしながら、この第3の従来例では、構成が複
雑であって製造方法の工程が複雑となり、製造コストが
大幅に増大するという問題点があった。
【0005】本発明の目的は以上の問題点を解決し、構
成が簡単でありかつ製造方法が簡単であって、しかも小
型・軽量化することができ、単一の動作モードで動作す
るNRD線路帯域通過フィルタ装置を提供することにあ
る。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明に係る請求項1記
載の誘電体一体型NRD線路超電導帯域通過フィルタ装
置は、隣接する2つのNRD線路共振器が電磁気的に結
合するように複数のNRD線路共振器が並置されてなる
NRD線路帯域通過フィルタ装置であって、上面部と下
面部と複数の誘電体線路とを備え、並置された矩形筒形
状の複数の誘電体線路を互いに平行な上面部と下面部で
挟設し、上面部と下面部と複数の誘電体線路とを一体的
に形成してなる矩形筒形状の誘電体筺体と、上面部と下
面部の各外表面上に形成された第1と第2の超電導電極
とを備え、第1と第2の超電導電極の間隔を上記帯域通
過フィルタ装置の真空中における共振周波数の波長の半
分以下に設定することにより上記各誘電体線路の外側の
部分を遮断領域としたことを特徴とする。
【0007】また、請求項2記載の誘電体一体型NRD
線路超電導帯域通過フィルタ装置は、請求項1記載の誘
電体一体型NRD線路超電導帯域通過フィルタ装置にお
いて、上記誘電体筺体は、上面部と下面部の長手方向の
両端を連結するように形成された2つの端面部をさらに
備えて形成されてなり、上記帯域通過フィルタ装置は、
上記2つの端面部の外表面に形成された第3の超電導電
極又は金属電極をさらに備えたことを特徴とする。
【0008】さらに、請求項3記載の誘電体一体型NR
D線路超電導帯域通過フィルタ装置は、請求項1又は2
記載の誘電体一体型NRD線路超電導帯域通過フィルタ
装置において、上記誘電体筺体の上面部及び下面部と、
上記2つの端面部との間の接続部と、上記各誘電体線路
と上記上面部及び下面部との間の接続部とを面取りした
ことを特徴とする。
【0009】またさらに、請求項4記載の誘電体一体型
NRD線路超電導帯域通過フィルタ装置は、請求項1、
2又は3記載の誘電体一体型NRD線路超電導帯域通過
フィルタ装置において、上記帯域通過フィルタ装置は、
上記上面部の外表面上に形成された平面回路をさらに備
えたことを特徴とする。
【0010】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明に係
る実施形態について説明する。図1は、本発明に係る第
1の実施形態である誘電体一体型NRD線路超電導帯域
通過フィルタ装置の外観を示す斜視図であり、その正面
図を図5に示し、平面図を図6に示す。図1及び図5、
図6において、例えばBa(Sn,Mg,Ta)O3
(Zr,Sn)TiO4などの高誘電率を有するセラミ
ックスなどの誘電体材料にてなる誘電体筺体1は、それ
ぞれ矩形柱形状を有する5個の誘電体線路21,22,
23,24,25が互いに対向する平板形状の上面部1
aと下面部1bとの間で、誘電体線路21,22,2
3,24,25が互いに結合係数に応じた所定の間隔S
(間隔Sは等間隔と限らない。)を有して挟設配置さ
れ、上面部1aと下面部1bの長手方向の端部に位置す
る両端部が2つの端面部1c,1dによって連結されて
縦断面がロの字形状であって全体として矩形筒形状を有
して一体的に形成される。ここで、誘電体線路21,2
2,23,24,25はそれぞれ、その長手方向が上面
部1aと下面部1bの幅方向と平行となるように、か
つ、各誘電体線路21,22,23,24,25の長手
方向の両端が上面部1aと下面部1bの幅方向の両端か
ら所定の距離だけ離れるように並置される。上記誘電体
筺体1は、例えば、Ba(Sn,Mg,Ta)O3を用
いて切削加工又は射出成形したものを焼成して形成する
ことができる。
【0011】上面部1aと下面部1bの外表面にはそれ
ぞれ、例えば厚さ3μmを有しかつ、例えばYBCOで
ある超電導材料にてなる超電導厚膜である平板形状の超
電導電極11a,11bが蒸着法により密着形成される
とともに、2つの端面部1c,1dにはそれぞれ、上記
超電導電極11a,11bと同様の厚さと材料を有する
超電導厚膜である平板形状の超電導電極11c,11d
は、機械的強度を向上するとともに電磁遮へいを行うた
めに、蒸着法により密着形成される。ここで、上下の平
面電極である超電導電極1a,1bの間隔Hは、当該フ
ィルタ装置の中心周波数の真空中における半波長以下に
設定される。なお、超電導電極11c,11dは、例え
ばAu又はCuにてなる金属材料の電極であってもよ
い。
【0012】図8に示すように、端面部1cの中央部に
は、端面部1c及び電極11cの厚さ方向に貫通するよ
うに矩形形状の孔31hが形成され、その孔31hに、
E面である上面部31aと下面部31bと、H面である
2つの側面部とを備えた矩形導波管31がそのフランジ
31fを用いて連結される。一方、端面部1dの中央部
には、端面部1d及び電極11dの厚さ方向に貫通する
ように矩形形状の孔(図示せず。)が形成され、その孔
に、E面である上面部と下面部と、H面である2つの側
面部とを備えた矩形導波管32がそのフランジを用いて
連結される。
【0013】図7(a)はTE01モードを有する矩形導
波管の伝送電磁界を示す図であり、本実施形態において
は、LSE01モードの共振器が、図8に示すように、T
01モードの矩形導波管に結合される。これはLSE01
モードの共振器をその端面からみたときの電磁界ベクト
ルがTE01モードの断面内電磁界と良く一致するためで
ある。すなわち、電界ベクトルと磁界ベクトルがそれぞ
れ水平成分と垂直成分とで直角に交り、矩形導波管の電
界の方向は共振器の電界の方向と一致する一方、矩形導
波管の磁界の方向は共振器の磁界の方向と一致する。
【0014】当該帯域通過フィルタ装置において、超電
導電極1a,1bによって挟設された誘電体線路21乃
至25によって、LSE01モードを有し所定の共振周波
数を有するNRD線路共振器NR1乃至NR5が形成さ
れ、当該共振器NR1乃至NR5はそれぞれ所定の通過
帯域を有する帯域通過フィルタとして構成される。ここ
で、互いに隣接する2つの共振器は電磁気的に結合し、
矩形導波管31は初段の共振器NR1に電磁気的に結合
する一方、終段の共振器NR5は矩形導波管32に電磁
気的に結合する。これにより、5段の帯域通過フィルタ
が縦続接続されてなる帯域通過フィルタ装置が、入力伝
送線路である矩形導波管31と、出力伝送線路である矩
形導波管32との間に設けられて構成される。
【0015】誘電体筺体1の上面部1aと下面部1bと
は、その外表面に形成された超電導電極11a,11b
を支持する機能を有するだけで、NRD線路超電導帯域
通過フィルタ装置を構成するための機能を有しない。従
って、上面部1aと下面部1bの厚さtは、上下の平面
電極である超電導電極11a,11b間の間隔Hに比較
して十分薄くなるように形成される。これにより、各N
RD線路帯域通過フィルタを構成するNRD共振器の共
振モードが乱れ、無負荷Qが劣化することを抑制するこ
とができる。
【0016】2つの端面部11c,11dは、電磁遮へ
いのための超電導膜11c,11d(又は金属電極)を
支持する機能が主な目的であるため、その厚さは機械強
度を保持する範囲で十分薄くなるように形成される。本
実施形態においては、TE01モードの矩形導波管は、図
8に示すように、LSE01モードの共振器の側面に結合
するように構成される。
【0017】本実施形態において、超電導電極11a,
11b,11c,11dを用いるために、例えば窒素ガ
スなどを用いて当該装置の周囲温度を例えば77Kの低
温まで冷却して、超電導電極11a,11b,11c,
11dを低損失で動作させる。
【0018】次いで、本実施形態のフィルタ装置におけ
る各パラメータの設定方法について図面を参照して説明
する。図21は、LSEモード、LSMモード及びTE
モードにおいて誘電体線路の伝送方向と直交する左右の
幅方向を見たときの電磁波の減衰定数の周波数特性を示
すグラフである。図21におけるシミュレーションの計
算条件は、誘電体線路21乃至25の間隔H=5.0m
m、幅W=2.5mm、比誘電率εr=24と設定し
た。図22は、LSEモード、LSMモード及びTEモ
ードにおける位相定数の周波数特性を示すグラフであ
る。図22におけるシミュレーションの計算条件は、誘
電体線路21乃至25の間隔H=5.0mm、幅W=
2.5mm、比誘電率εr=24と設定した。図23
は、LSEモード、LSMモード及びTEモードににお
いて誘電体線路の伝送方向と直交する左右の幅方向を見
たときの電磁波の減衰定数の線路幅特性を示すグラフで
ある。図23におけるシミュレーションの計算条件は、
誘電体線路21乃至25の間隔H=5.0mm、周波数
0=12GHz、比誘電率εr=24と設定した。図
24は、LSEモード、LSMモード及びTEモードに
おける位相定数の線路幅特性を示すグラフである。図2
4におけるシミュレーションの計算条件は、誘電体線路
21乃至25の間隔H=5.0mm、周波数f0=12
GHz、比誘電率εr=24と設定した。図25は、並
置された2つの誘電体線路の間隔Sに対する結合係数の
特性を示すグラフである。図25におけるシミュレーシ
ョンの計算条件は、誘電体線路の間隔H=5.0mm、
幅W=2.5mm、比誘電率εr=24と設定した。
【0019】(1)超電導電極11a,11b間の間隔
H 間隔Hは、当該フィルタ装置の真空中における共振波長
の半分以下に設定される。間隔Hをこのような制約条件
に設定することにより、各誘電体線路の間、すなわち各
誘電体線路21乃至25の外側を遮断(cut-off)領域
に設定することができる。 (2)誘電体線路21乃至25の幅W 誘電体線路21乃至25の幅Wは、その伝送方向に直交
する左右の幅方向を見たときの波の減衰定数を決定す
る。例えば、比誘電率εrが24の誘電体材料で間隔H
が5.0mmの線路であって、周波数が12GHzのと
きに、図23に示すようになり、線路の幅Wを大きくす
ることによって幅方向の減衰を急峻にすることができ
る。また、図21に示すように、各モードの減衰定数は
周波数が高くなるにつれて大きくなる。さらに、図24
に示すように、各モードの位相定数は、誘電体線路の幅
Wがある程度大きくなると飽和状態となる。 (3)誘電体線路21乃至25の長さL 誘電体線路21乃至25の長さLは各共振器NR1乃至
NR5において設定すべき共振周波数から決定される。
共振周波数は誘電体線路21乃至25の長さLと、端面
から前後方向を見たときの減衰波も含めて、ほぼ半波長
又は半波長の整数倍で共振するように決定される。
【0020】(4)誘電体線路21乃至25の間隔S 誘電体線路21乃至25の間隔Sは、隣接する2つの共
振器間の結合係数を決定する。図25に示すように、線
路の間隔Sが狭く、遮断領域における減衰定数が小さい
ほど結合係数は強くなる。図25のグラフにおいては、
比誘電率εr=24の材料を用いて間隔H=5.0m
m、線路幅W=2.5mmとして共振器NR1乃至NR
5を形成したときの結合係数kを線路間隔Sを変数とし
て示した。図25から明らかなように、線路間隔Sを
5.0mmとした場合、結合係数kは約0.4%になる
ことがわかる。 (5)誘電体材料を用いて構成される誘電体筺体1の各
部11a,11b,1c,11dの厚さt 当該厚さtは、上記の機能を果たすために必要な機械的
強度が保てるように設定される。厚さtは、間隔Hに比
較してある程度厚い場合は遮断領域における減衰定数が
急峻でなくなり結合係数kが大きくなる傾向がある。
【0021】以上のように構成されたNRD線路共振器
の位相定数の周波数特性(すなわち、分散関係)は図2
2に示す通りである。図22から明らかなように、周波
数の低い側から基本モードのTE10モード、2次のLS
01モード、3次のLSM01モードと続いて生じる。L
SE01モードとLSM01モードはそれぞれ遮断周波数f
c1,fc2を有するが、TE10モードは直流から伝搬す
る。従って、第1の実施形態において、例えば、LSE
01モードを有する共振器を構成するときは、好ましくは
遮断周波数fc1と遮断周波数fc2との間で当該フィルタ
の中心周波数を設定し、かつ、LSE01モード以外のス
プリアスモードが抑圧されるように上記各パラメータを
調整することにより、主モードとしてLSE01モードを
有する共振器を構成することができる。また、第2の実
施形態において、例えば、LSM01モードを有する共振
器を構成するときは、遮断周波数fc2以上の周波数で当
該フィルタ装置の中心周波数を設定し、かつ、LSM01
モード以外のスプリアスモードが抑圧されるように上記
各パラメータを調整することにより、主モードとしてL
SM01モードを有する共振器を構成することができる。
【0022】次いで、各伝送線路の伝送モードにおける
電界分布、磁界分布および電流分布をそれぞれ図10、
図12及び図14に示す。以下、各伝送線路の伝送モー
ドにおける電界分布、磁界分布および電流分布について
説明する。 (A1)LSE01モードの伝送線路(図10) LSE01モードにおいては、伝搬方向に対して平行であ
って、上下電極である超電導電極11a,11bに垂直
な面内にのみ電界ベクトルが存在する。電流Iは誘電体
線路26の上下面に相当する電極11a,11bの中央
部分に伝搬方向と平行かつ向きを揃えて発生する。さら
に半波長ずれた点においては、その電流Iの前後の向き
が入れ替わる。側面の電極11c,11dは遮へいを目
的として設けられ、当該電極11c,11dにおいて本
質的な伝送電流Iは流れない。 (A2)LSM01モードの伝送線路(図12) LSM01モードにおいては、伝搬方向に平行であって、
上下電極である超電導電極11a,11bに垂直な面内
にのみ磁界ベクトルが存在する。電流Iは誘電体線路2
7の上下面の電極11a,11bの中央部分に伝搬方向
と垂直かつ向きを揃えて発生する。さらに半波長ずれた
点においては、その電流Iの左右の向きが入れ替わる。
側面の電極11c,11dは遮へいを目的とするために
設けられ、当該電極11c,11dにおいて本質的な伝
送電流Iは流れない。 (A3)TE10モードの伝送線路(図14) TE10モードにおいては、伝搬方向に垂直な面内にのみ
電界ベクトルが存在する。電流Iは上面の超電導電極1
1aの中央部分(線路28の)から放射状に流れ、側面
の電極11c,11dを伝わって下面の電極11bの中
央部分に向かって流れる。さらに、半波長ずれた点にお
いては、上下面の超電導電極11a,11bの電流Iの
向きが入れ替わる。従って、側面の電極11c,11d
は伝送電流Iを流すための本質的に必要な役割を果た
す。
【0023】さらに、各伝送モードの誘電体線路を有限
な長さに切断し、かつ前後が遮断領域となるように構成
した各半波長共振器の共振モードにおける電界分布、磁
界分布および電流分布をそれぞれ図11、図13及び図
15に示す。ただし、第1の実施形態で用いるLSE01
モードと、第2の実施形態で用いるLSM01モードは開
放条件で半波長共振し、TE10モードは短絡条件で半波
長共振する。通常このような共振器構造は高さ方向を伝
搬方向と見てTM11モードと呼んでいる。
【0024】(B1)LSE01モードの共振器(図1
1) 第1の実施形態で用いるLSE01モードにおいては、誘
電体線路20a内に電磁界エネルギーが集中し、誘電体
線路20aの周囲の外側部分が遮断領域であるためエネ
ルギーの閉じ込め性に優れる。電流Iは誘電体線路20
aの上下面電極である超電導電極11a,11bの中央
部分(各線路の)に集中して発生し、上下面の超電導電
極11a,11bの電流Iは面対称で同じ向きで流れ、
互いに交わらない。側面の電極11c,11dは遮へい
を目的として設けられ、当該側面の電極11c,11d
において本質的な伝送電流Iは流れない。 (B2)LSM01モードの共振器(図13) 第2の実施形態で用いるLSM01モードはLSE10より
も高次のモードであり、遮断周波数より高い周波数では
LSE01モード共振器と同様の動作を示す。すなわち誘
電体線路20b内に電磁界エネルギーが集中し、誘電体
線路20bの周囲の外側部分が遮断領域であるためエネ
ルギーの閉じ込め性に優れる。電流Iは誘電体線路20
bの上下面電極11a,11bの中央部分に集中して発
生し、上下面の電極11a,11bの電流Iは面対称で
同じ向きで流れ、互いに交わらない。側面の電極11
c,11dは遮へいを目的として形成され、当該電極1
1c,11dにおいて本質的な伝送電流Iは流れない。 (B3)TM11モードの共振器(図15) TM11モードにおいては、誘電体線路28の高さ方向に
平行な電界ベクトルが集中する。電流Iは上面の電極1
1aの中央部分から放射状に流れ、側面の電極11c,
11dを伝わって下面の電極11bの中央部分に向かっ
て流れる。さらに半周期ずれた点で、電流Iの向きが入
れ替わる。従って、側面の電極11c,11dは伝送電
流Iを流すための本質的に必要な役割を果たす。
【0025】第1の実施形態においては、上記LSE01
モードの共振器を用いて帯域通過フィルタ装置を構成す
る一方、第2の実施形態では、上記LSM01モードの共
振器を用いて帯域通過フィルタ装置を構成する。当該明
細書においては、LSEモードとLSMモードのモード
記法の取り方は、第1の添字は幅方向の節の数であり、
第2の添字は高さ方向の節の数を示す。
【0026】図2は、本発明に係る第2の実施形態であ
る誘電体一体型NRD線路超電導帯域通過フィルタ装置
の外観を示す斜視図である。第2の実施形態が第1の実
施形態と異なる相違点は、入出力端子として同軸コネク
タ41,42を設け、伝送線路として同軸線路43を用
いたことである。以下、相違点について詳述する。
【0027】図2に示すように、側面の端面部1cの中
央部に、端面部1c及び電極11cの厚さ方向に貫通す
るように円形形状の孔41hが形成され、その孔41h
に中心導体41cを有する同軸コネクタ41が同軸コネ
クタ41のリング41fを用いて装着される。中心導体
43aと接地導体43bを備えた同軸線路43の端部に
同軸プラグ43pが装着され、同軸プラグ43pを同軸
コネクタ41に挿入装着することにより、同軸線路43
が同軸コネクタ41に接続される。ここで、同軸線路4
3の中心導体43aは同軸コネクタ41の中心導体41
cに接続され、同軸線路43の接地導体43bは同軸コ
ネクタ41のリング41fを介して電極11cに接続さ
れる。一方、側面の端面部1dの中央部に、端面部1d
及び電極11dの厚さ方向に貫通するように円形形状の
孔(図示せず。)が形成され、その孔に同軸コネクタ4
2が装着され、当該同軸コネクタ42に同軸線路(図示
せず。)が接続される。
【0028】同軸線路43における伝送電磁界分布は図
7(b)の通りであり、同軸線路43は同軸コネクタ4
1を介して、図9に示すように初段のLSM01モード共
振器NR1と電磁気的に結合する。同様に、終段のLS
01モード共振器NR5は、同軸コネクタを介して同軸
線路に電磁気的に結合する。すなわち、LSM01モード
共振器は、TEM伝送モードを有する同軸線路と結合す
る。これはLSM01モード共振器を端面からみたときの
電磁界ベクトルがTEMモードの断面内電磁界と良く一
致するためである。すなわち、同軸線路43の電界ベク
トルは放射状に広がる動径成分を有し、その磁界ベクト
ルは同軸状の回転方向の成分をもち直角に交わる。この
ように、共振器のLSM01モードの電磁界ベクトルと伝
送モードの断面電磁界ベクトルの形状が近似するので、
入出力の構造として結合しやすい構造となる。
【0029】図3は、本発明に係る第1の変形例である
誘電体一体型NRD線路超電導帯域通過フィルタ装置の
外観を示す斜視図である。この第1の変形例において
は、第1の実施形態と比較して、上面部1aと端面部1
c,1dとの間の接続部、及び下面部1bと端面部1
c,1dとの間の接続部における隅部2を斜面となるよ
うに面取りする一方、誘電体線路21乃至25と、上面
部1a及び下面部1bとの間の接合部3を、誘電体線路
21乃至25の側面から上面部1a及び下面部1bに対
して曲線となるように丸みをつけて面取りしている。こ
れによって、誘電体材料に応力が発生したときのひび割
れを防止する効果と、機械的強度が向上する効果が期待
できる。誘電体材料に応力が発生する要因は、例えば電
極を成膜するときの温度上昇が分布をもち部分的に膨張
する場合や、超電導フィルタを77K程度まで冷却する
ときの温度降下が分布をもち部分的に収縮する場合な
ど、急激な温度変化を部分的に与えた場合に発生する。
このように誘電体一体型に構成することが、常温(約3
00K)から窒素温度(約77K)に超電導帯域通過フ
ィルタ装置を冷却して低温動作させる場合に安定して動
作させることになる。
【0030】なお、上記第1の変形例における面取りの
方法は、斜面であってもよいし、平面であってもよい。
【0031】第1及び第2の実施形態のフィルタ装置の
動作は以下の通りである。 (1)マイクロ波、ミリ波帯における帯域通過フィルタ
として動作する。 (2)超電導電極は低温域で低損失動作する。 (3)所定寸法のNRD線路は半波長の整数倍で共振
し、周囲は遮断領域として動作する。 (4)共振電流はNRD線路の上下面の電極11a,1
1bに集中し、電極縁端部への電流は存在しない。 (5)LSEとLSMの独立した2つのモードに対して
同じ作用効果をもって動作する。
【0032】また、第1と第2の実施形態の作用効果の
詳細は以下の通りである。 (1)高信頼性 セラミックス材料の線膨張係数を表1に示し、金属材料
の線膨張係数を表2に示す。
【0033】
【表1】 セラミックス材料の線膨張係数 ─────────────────────────────────── セラミックス材料 比誘電率εr 線膨張係数ppm/K ─────────────────────────────────── (Zr,Sn)TiO4 38 6ないし7 Ba(Sn,Mg,Ta)O3 24 10.7 ───────────────────────────────────
【0034】
【表2】金属材料の線膨張係数 (理科年表 平成7年度版 国立天文台編より引用) ───────────────────── 金属材料 100K 293K ───────────────────── 銅 10.3 16.5 真鍮 − 17.5 ステンレス 11.4 14.7 ─────────────────────
【0035】表1及び表2から明らかなように、例えば
(Zr,Sn)TiO4又はBa(Sn,Mg,Ta)
3などのセラミックス材料は、金属材料の線膨張係数
に比較してきわめて小さい。また、セラミックス材料で
構成される誘電体筺体1において各部が一体的に形成さ
れるので、当該誘電体筺体1の線膨張係数は一定であ
り、冷却時には相似変形するため、低温動作させた場合
であっても、内部応力が少なく、セラミックス材料のひ
び割れ等の問題が無いという意味においてフィルタ装置
の電気的動作の信頼性が高い。
【0036】(2)低損失性 誘電体筺体1の材料として、例えばBa(Sn,Mg,
Ta)O3又は(Zr,Sn)TiO4などの低温域で低
損失な誘電体材料を用いるため、超電導帯域通過フィル
タ装置を構成したとき、超電導電極の低損失性はフィル
タの性能を決定する上で有効に働く。具体的には、YB
COを用いた場合、10GHzで50Kにおいて表面抵
抗値は約10mΩである。誘電体材料の一例における電
気的特性値は以下の通りである。 (2A)Ba(Sn,Mg,Ta)O3:εr=24,
tanδ=0.114×10-4(周波数10GHz及び
温度77Kにおいて)。 (2B)(Zr,Sn)TiO4:εr=38, ta
nδ=0.525×10-4(周波数10GHz及び温度
77Kにおいて)。 また、上記2つの誘電体材料の誘電正接の温度特性を図
16に示す。図16から明らかなように、比較的低い温
度域においては、誘電正接がきわめて小さいことがわか
る。
【0037】(3)プロセス容易性 例えば、図18(a)に示す比較例のマイクロストリッ
プ線路共振器の場合においては、図17(b)に示すよ
うに、ステップS11からS16までの6つのプロセス
が必要となる。一方、本実施形態の超電導体電極は、当
該装置の少なくとも上下電極11a,11bのみを形成
すればよいので、図17(a)に示すように、1つのス
テップS1のみの平面に対する簡単な成膜プロセスを用
いることができる。また微細加工を必要としないので加
工精度が問題とならず加工精度の信頼性が高い。
【0038】(4)耐電力性 図19は、図18(a)の比較例のマイクロストリップ
線路共振器と、図18(b)の本実施形態のNRD線路
共振器とにおける、幅方向の位置に対する電流密度を示
すグラフである。図19から明らかなように、比較例で
は、縁端部52a,52bにおける縁端効果による電流
の異常分散が現れ、超電導電極を用いる場合には縁端部
で超電導状態が破壊されるが、本実施形態では、縁端効
果による電極縁端部への異常な電流集中がない。従っ
て、超電導電極の臨界電流密度(Jc)以下で超電導帯
域通過フィルタ装置として大きな電力を入力しても動作
することができ、大電力化に優れる。
【0039】(5)低ひずみ性 上述のように、縁端効果による電極縁端部への異常な電
流集中がないことから、相互変調歪が小さくなる等、電
力の線形性が向上する。
【0040】(6)小型設計性 電流振幅の最大値に対する電流振幅の相対レベルを示す
図20から明らかなように、本実施形態のNRD線路共
振器は、比較例のTM11モード共振器に比較して、誘電
体線路にエネルギーが集中し、周囲の遮断領域において
は減衰が速いため、共振器間の結合係数kを設定する上
で、TMモード共振器よりも短く設定でき、フィルタ装
置を、TMモード共振器に比較して小型・軽量にするこ
とができる。
【0041】(7)薄型設計性 帯域通過フィルタ装置の挿入損失は上下の平面電極11
a,11bの間隔Hにほぼ反比例するが、平面電極を超
電導化することで薄型設計が可能となる。
【0042】(8)平面回路とのハイブリッド化 図4の第2の変形例に示すように、超電導電極11a,
11bの表面は他の平面回路の接地電極として共通利用
することができるので、例えば発振回路や、周波数変換
回路、逓倍回路、増幅回路などの高周波信号処理の回路
モジュールをフィルタ装置の表面に形成することができ
る。図4の例では、電極11a上に誘電体層4を形成し
た後、誘電体層4上にパターン電極4及び端子電極6を
形成して平面回路を形成している。
【0043】以上の実施形態において、5段構成の帯域
通過フィルタ装置について説明しているが、本発明はこ
れに限らず、少なくとも1段の帯域通過フィルタ装置で
あってもよい。以上の実施形態において、側面又は端面
の電極11c,11dを形成しているが、本発明はこれ
に限らず、形成しなくてもよい。
【0044】
【実施例】第1の実施形態のLSE01モードの共振器を
用いた超電導帯域通過フィルタ装置の実施例における各
パラメータを以下に示す。 (a)フィルタ段数:5、 (b)中心周波数 :12GHz、 (c)設計帯域幅 :24MHz、 (d)リップル :0.01dB、 (e)動作温度 :77 K、 (f)誘電体材料の比誘電率:24、 (g)超電導電極の間隔H:5.0mm、 (h)誘電体線路の幅W:2.5mm、 (i)誘電体線路の間隔S:6.0mm、 (j)誘電体線路の長さL:4.2mm、 (k)フィルタ外形寸法=高さ:7.0mm;幅:6
0.0mm;奥行:15.0mm。 本発明者は、以上のように設定することにより、第1の
実施形態に係る帯域通過フィルタ装置を実現した。な
お、本実施形態においては、誘電体線路の幅Wと間隔S
と長さLを一定値としたが、特性の調整のためにそれぞ
れの寸法を調整して実施できることは言うまでもない。
【0045】
【発明の効果】以上詳述したように本発明に係る請求項
1記載の誘電体一体型NRD線路超電導帯域通過フィル
タ装置によれば、隣接する2つのNRD線路共振器が電
磁気的に結合するように複数のNRD線路共振器が並置
されてなるNRD線路帯域通過フィルタ装置であって、
上面部と下面部と複数の誘電体線路とを備え、並置され
た矩形筒形状の複数の誘電体線路を互いに平行な上面部
と下面部で挟設し、上面部と下面部と複数の誘電体線路
とを一体的に形成してなる矩形筒形状の誘電体筺体と、
上面部と下面部の各外表面上に形成された第1と第2の
超電導電極とを備え、第1と第2の超電導電極の間隔を
上記帯域通過フィルタ装置の真空中における共振周波数
の波長の半分以下に設定することにより上記各誘電体線
路の外側の部分を遮断領域とした。従って、構成が簡単
でありかつ製造方法が簡単であって、しかも小型・軽量
化することができ、単一の動作モードで動作するNRD
線路帯域通過フィルタ装置を提供することができる。本
発明の特有の効果の詳細は以下の通りである。
【0046】(1)高信頼性 表1及び表2から明らかなように、例えば(Zr,S
n)TiO4又はBa(Sn,Mg,Ta)O3などのセ
ラミックス材料は、金属材料の線膨張係数に比較してき
わめて小さい。また、セラミックス材料で構成される誘
電体筺体1において各部が一体的に形成されるので、当
該誘電体筺体1の線膨張係数は一定であり、冷却時には
相似変形するため、低温動作させた場合であっても、フ
ィルタ装置の電気的動作の信頼性が高い。 (2)低損失性 誘電体筺体1の材料として、例えばBa(Sn,Mg,
Ta)O3又は(Zr,Sn)TiO4などの低温域で低
損失な誘電体材料を用いるため、超電導帯域通過フィル
タ装置を構成したとき、超電導電極の低損失性はフィル
タの性能を決定する上で有効に働く。具体的には、YB
COを用いた場合、10GHzであって50Kにおいて
表面抵抗値は約10mΩである。 (3)プロセス容易性 例えば、比較例のマイクロストリップ線路共振器の場合
においては、図17(b)に示すように、ステップS1
1からS16までの6つのプロセスが必要となる。一
方、本実施形態の超電導体電極は、当該装置の少なくと
も上下電極11a,11bのみを形成すればよいので、
図17(a)に示すように、1つのステップS1のみの
平面に対する簡単な成膜プロセスを用いることができ
る。また微細加工を必要としないので加工精度が問題と
ならず加工精度の信頼性が高い。
【0047】(4)耐電力性 図19から明らかなように、比較例であるマイクロスト
リップ線路共振器では、縁端部52a,52bにおける
縁端効果による電流の異常分散が現れるが、本実施形態
では、縁端効果による電極縁端部への異常な電流集中が
ない。従って、超電導電極の臨界電流密度(Jc)以下
で超電導帯域通過フィルタ装置として大きな電力を入力
しても動作することができ、大電力化に優れる。 (5)低ひずみ性 上述のように、縁端効果による電極縁端部への異常な電
流集中がないことから、相互変調歪が小さくなる等、電
力の線形性が向上する。 (6)小型設計性 電流振幅の最大値に対する電流振幅の相対レベルを示す
図20から明らかなように、本発明のNRD線路共振器
は、比較例のTM11モード共振器に比較して、誘電体線
路にエネルギーが集中し、周囲の遮断領域においては減
衰が速いため、共振器間の結合係数kを設定する上で、
TMモード共振器よりも短く設定でき、フィルタ装置
を、TMモード共振器に比較して小型・軽量にすること
ができる。 (7)薄型設計性 帯域通過フィルタ装置の挿入損失は上下の平面電極11
a,11bの間隔Hにほぼ反比例するが、平面電極を超
電導化することで薄型設計が可能となる。
【0048】また、請求項2記載の誘電体一体型NRD
線路超電導帯域通過フィルタ装置においては、請求項1
記載の誘電体一体型NRD線路超電導帯域通過フィルタ
装置において、上記誘電体筺体は、上面部と下面部の長
手方向の両端を連結するように形成された2つの端面部
をさらに備えて形成されてなり、上記帯域通過フィルタ
装置は、上記2つの端面部の外表面に形成された第3の
超電導電極又は金属電極をさらに備えた。従って、当該
帯域通過フィルタ装置の内部を外部と電磁気的に遮へい
することができるので、外部からの干渉波や妨害波の入
射を防止することができ、安定に動作させることができ
る。
【0049】さらに、請求項3記載の誘電体一体型NR
D線路超電導帯域通過フィルタ装置においては、請求項
1又は2記載の誘電体一体型NRD線路超電導帯域通過
フィルタ装置において、上記誘電体筺体の上面部及び下
面部と、上記2つの端面部との間の接続部と、上記各誘
電体線路と上記上面部及び下面部との間の接続部とを面
取りした。これによって、誘電体材料に応力が発生した
ときのひび割れを防止する効果と、機械的強度が向上す
る効果が期待できる。誘電体材料に応力が発生する要因
は、例えば電極を成膜するときの温度上昇が分布をもち
部分的に膨張する場合や、超電導フィルタを77K程度
まで冷却するときの温度降下が分布をもち部分的に収縮
する場合など、急激な温度変化を部分的に与えた場合に
発生する。このように一体型に構成することが、常温
(約300K)から窒素温度(約77K)に超電導帯域
通過フィルタ装置を冷却して低温動作させる場合に安定
して動作させることになる。
【0050】またさらに、請求項4記載の誘電体一体型
NRD線路超電導帯域通過フィルタ装置においては、請
求項1、2又は3記載の誘電体一体型NRD線路超電導
帯域通過フィルタ装置において、上記帯域通過フィルタ
装置は、上記上面部の外表面上に形成された平面回路を
さらに備えた。従って、高周波信号処理の平面回路モジ
ュールをフィルタ装置の表面に形成することができ、装
置の全体を小型・軽量化することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明に係る第1の実施形態である誘電体一
体型NRD線路超電導帯域通過フィルタ装置の外観を示
す斜視図である。
【図2】 本発明に係る第2の実施形態である誘電体一
体型NRD線路超電導帯域通過フィルタ装置の外観を示
す斜視図である。
【図3】 本発明に係る第1の変形例である誘電体一体
型NRD線路超電導帯域通過フィルタ装置の外観を示す
斜視図である。
【図4】 本発明に係る第2の変形例である誘電体一体
型NRD線路超電導帯域通過フィルタ装置の外観を示す
斜視図である。
【図5】 図1の帯域通過フィルタ装置の正面図であ
る。
【図6】 図1の帯域通過フィルタ装置の平面図であ
る。
【図7】 (a)は第1の実施形態の帯域通過フィルタ
装置におけるTE01モードの矩形導波管の伝送電磁界分
布を示す、当該矩形導波管における伝送方向に平行な面
で切断された縦断面図であり、(b)は第1の実施形態
の帯域通過フィルタ装置におけるTE01モードの矩形導
波管の伝送電磁界分布を示す、当該矩形導波管における
伝送方向に垂直な面で切断された縦断面図であり、
(c)は第2の実施形態の帯域通過フィルタ装置におけ
る同軸線路の伝送電磁界分布を示す、当該同軸線路にお
ける伝送方向に平行な軸を通過する面で切断された縦断
面図であり、(d)は第2の実施形態の帯域通過フィル
タ装置における同軸線路の伝送電磁界分布を示す、当該
同軸線路における伝送方向に垂直な面で切断された縦断
面図である。
【図8】 (a)は第1の実施形態のLSEモードの帯
域通過フィルタ装置の電界分布を示す、矩形導波管にお
ける伝送方向に平行な面(図1のA−A’)で切断され
た縦断面図であり、(b)は第1の実施形態のLSEモ
ードの帯域通過フィルタ装置の磁界分布を示す、矩形導
波管における伝送方向に平行な面(図2のB−B’)で
切断された縦断面図である。
【図9】 (a)は第2の実施形態のLSMモードの帯
域通過フィルタ装置の電界分布を示す、同軸線路におけ
る伝送方向に平行な軸を通過する面で切断された縦断面
図であり、(b)は第2の実施形態のLSMモードの帯
域通過フィルタ装置の磁界分布を示す、同軸線路におけ
る伝送方向に平行な軸を通過する面で切断された縦断面
図である。
【図10】 (a)はLSE01モード伝送線路の電界分
布を示す斜視図であり、(b)はLSE01モード伝送線
路の磁界分布を示す斜視図であり、(c)はLSE01
ード伝送線路の電流分布を示す斜視図である。
【図11】 (a)は第1の実施形態で用いるLSE01
モード共振器の電界分布を示す斜視図であり、(b)は
LSE01モード共振器の磁界分布を示す斜視図であり、
(c)はLSE01モード共振器の電流分布を示す斜視図
である。
【図12】 (a)はLSM01モード伝送線路の電界分
布を示す斜視図であり、(b)はLSM01モード伝送線
路の磁界分布を示す斜視図であり、(c)はLSM01
ード伝送線路の電流分布を示す斜視図である。
【図13】 (a)は第2の実施形態で用いるLSM01
モード共振器の電界分布を示す斜視図であり、(b)は
LSM01モード共振器の磁界分布を示す斜視図であり、
(c)はLSM01モード共振器の電流分布を示す斜視図
である。
【図14】 (a)はTE10モード伝送線路の電界分布
を示す斜視図であり、(b)はTE10モード伝送線路の
磁界分布を示す斜視図であり、(c)はTE10モード伝
送線路の電流分布を示す斜視図である。
【図15】 (a)はTM11モード共振器の電界分布を
示す斜視図であり、(b)はTM11モード伝送線路の磁
界分布を示す斜視図であり、(c)はTM11モード伝送
線路の電流分布を示す斜視図である。
【図16】 低温域で低損失性を有するセラミック材料
の誘電正接の温度特性を示すグラフである。
【図17】 (a)は本実施形態である超電導帯域通過
フィルタ装置における電極形成処理の処理フローを示す
フローチャートであり、(b)は比較例であるマイクロ
ストリップ線路共振器を用いた帯域通過フィルタ装置に
おける電極形成処理の処理フローを示すフローチャート
である。
【図18】 (a)はマイクロストリップ線路共振器の
外観を示す斜視図であり、(b)はNRD線路共振器の
外観を示す斜視図である。
【図19】 図18(a)のマイクロストリップ線路共
振器と図18(b)のNRD線路共振器とにおける幅方
向における位置(図18(a)のC−C’及び図18
(b)のD−D’)に対する電流密度を示すグラフであ
る。
【図20】 (a)はNRD線路共振器の電流密度分布
を示す平面図であり、(b)はTM11モード共振器の電
流密度分布を示す平面図である。
【図21】 LSEモード、LSMモード及びTEモー
ドにおいて誘電体線路の伝送方向と直交する左右の幅方
向を見たときの電磁波の減衰定数の周波数特性を示すグ
ラフである。
【図22】 LSEモード、LSMモード及びTEモー
ドにおける位相定数の周波数特性を示すグラフである。
【図23】 LSEモード、LSMモード及びTEモー
ドににおいて誘電体線路の伝送方向と直交する左右の幅
方向を見たときの電磁波の減衰定数の線路幅特性を示す
グラフである。
【図24】 LSEモード、LSMモード及びTEモー
ドにおける位相定数の線路幅特性を示すグラフである。
【図25】 並置された2つの誘電体線路の間隔Sに対
する結合係数の特性を示すグラフである。
【符号の説明】
1…誘電体筺体、 1a…上面部、 1b…下面部、 1c,1d…端面部、 2,3…隅部、 4…誘電体膜、 5…パターン電極、 6…端子電極、 11a,11b,11c,11d…超電導電極、 21,22,23,24,25…誘電体線路、 31,32…矩形導波管、 41,42…同軸コネクタ、 43…同軸線路、 50…平面回路、 W…誘電体線路の幅、 S…誘電体線路の間隔、 H…超電導電極間の間隔、 L…誘電体線路の長さ、 Lc…上面部及び下面部の長さ、 E…電界、 H…磁界。

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 隣接する2つのNRD線路共振器が電磁
    気的に結合するように複数のNRD線路共振器が並置さ
    れてなるNRD線路帯域通過フィルタ装置であって、 上面部と下面部と複数の誘電体線路とを備え、並置され
    た矩形筒形状の複数の誘電体線路を互いに平行な上面部
    と下面部で挟設し、上面部と下面部と複数の誘電体線路
    とを一体的に形成してなる矩形筒形状の誘電体筺体と、 上面部と下面部の各外表面上に形成された第1と第2の
    超電導電極とを備え、 第1と第2の超電導電極の間隔を上記帯域通過フィルタ
    装置の真空中における共振周波数の波長の半分以下に設
    定することにより上記各誘電体線路の外側の部分を遮断
    領域としたことを特徴とする誘電体一体型NRD線路超
    電導帯域通過フィルタ装置。
  2. 【請求項2】 上記誘電体筺体は、上面部と下面部の長
    手方向の両端を連結するように形成された2つの端面部
    をさらに備えて形成されてなり、 上記帯域通過フィルタ装置は、上記2つの端面部の外表
    面に形成された第3の超電導電極又は金属電極をさらに
    備えたことを特徴とする請求項1記載の誘電体一体型N
    RD線路超電導帯域通過フィルタ装置。
  3. 【請求項3】 上記誘電体筺体の上面部及び下面部と、
    上記2つの端面部との間の接続部と、上記各誘電体線路
    と上記上面部及び下面部との間の接続部とを面取りした
    ことを特徴とする請求項1又は2記載の誘電体一体型N
    RD線路超電導帯域通過フィルタ装置。
  4. 【請求項4】 上記帯域通過フィルタ装置は、上記上面
    部の外表面上に形成された平面回路をさらに備えたこと
    を特徴とする請求項1、2又は3記載の誘電体一体型N
    RD線路超電導帯域通過フィルタ装置。
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