JPH1013105A - 高周波フィルタ - Google Patents

高周波フィルタ

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JPH1013105A
JPH1013105A JP8167271A JP16727196A JPH1013105A JP H1013105 A JPH1013105 A JP H1013105A JP 8167271 A JP8167271 A JP 8167271A JP 16727196 A JP16727196 A JP 16727196A JP H1013105 A JPH1013105 A JP H1013105A
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哲 大和田
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英征 大橋
Hisafumi Yoneda
尚史 米田
Moriyasu Miyazaki
守▲やす▼ 宮▲ざき▼
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 加工上の誤差等によって影響を受けにくく、
通過特性の良好な高周波フィルタを得る。 【解決手段】 誘電体基板の一方の面に中心導体と地導
体を備えたコプレーナ線路を用いた高周波フィルタにお
いて、縦続接続した複数の共振器間の結合部とその近傍
では、線路の特性インピーダンスを一定に維持しながら
中心導体の線路幅および地導体間の間隔を縮小させて隣
接する中心導体間の間隔を狭める。また、共振器と入出
力部との結合部では、中心導体の線路幅および地導体間
の間隔を拡大させ隣接する中心導体間の間隔を広げる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は高周波フィルタに
関し、主としてマイクロ波帯で、またその他の周波数帯
としては、VHF帯、UHF帯、ミリ波帯等で使用され
る高周波フィルタに関するものである。
【0002】
【従来の技術】先ず、この発明において対象となるコプ
レーナ線路について説明する。図21は、コプレーナ線
路の形状を示す斜視図であり、図中、1は誘電体基板、
2は地導体であり、2a、2bはその部分、3は中心導
体であり、誘電体基板1の同一面に中心導体3と地導体
2を備える。そして、地導体2a,2bは中心導体3の
両側に中心導体3から定められた間隔(w)をもって配
置される。このコプレーナ線路の特性インピーダンス
は、地導体2a,2bの間隔が、伝搬する高周波の波長
に対して十分小さい場合には、図22に示すように、中
心導体幅(s)と地導体間隔(s+2w)の比で決ま
る。図22は、誘電体基板1の比誘電率εrをパラメー
タとしてコプレーナ線路の特性インピーダンスを示した
図である。このように、上記のコプレーナ線路では、中
心導体幅(s)および地導体間隔(s+2w)は特性イ
ンピーダンスにより一意に決定されず、その設定は自由
度をもつ。
【0003】上記のようなコプレーナ線路を用いた高周
波フィルタの従来例について説明する。図23および図
24は、Dylan F. Williams and S.E. Schwarz, "Desig
n and Performance of Coplanar Waveguide Bandpass F
ilters", IEEE Trans. Vol.MTT-31. No.7, 1983 に掲載
されている従来の一高周波フィルタの回路基板を表すも
ので、図23はその上面図、図24は図23中の中心線
XVIII−XVIII図である。図に示すように、この高周
波フィルタはシリーズに接続された3個の共振器30と
その両端に結合された入出力線路40からなっている。
図において、1は誘電体基板、2は地導体であり、2
a,2はその部分である。そして3は共振器30の中心
導体、4は入出力線路40の中心導体である。さらに5
は共振器30の間の結合部、6は共振器30と入出力線
路40との間の入出力結合部である。ここで、共振器3
0の中心導体3の長さは、高周波フィルタの中心周波数
における約1/2波長となっている。
【0004】次に動作について説明する。前述の3つの
1/2波長共振器30および入出力線路40は、隣接す
るもの相互が結合部5または入出力結合部6において電
界結合されている。その結合量は、基本的に、結合部5
または入出力結合部6における中心導体3、4の端部の
間隔で調整される。
【0005】今、前述の3つの1/2波長共振器30
が、ほぼ同一の周波数、すなわち、フィルタの中心周波
数にて共振しているとすれば、中心周波数においては共
振器は相互に強く結合し、入出力線路40から入射した
高周波は共振器30を伝わり、もう一方の入出力線路4
0へと出力される。しかし、中心周波数から離れた周波
数においては、共振器相互の結合は非常に弱く、入出力
線路40から入射する高周波はそのほとんどが反射され
る。このように、本フィルタは、帯域通過形の通過特性
を有する高周波フィルタとして機能する。
【0006】翻って、上記の従来の高周波フィルタの結
合部5および入出力結合部6には、図25に示すような
静電容量が各部に存在する。ここで、図中のCgは中心
導体30の間、または中心導体30と40の間の結合容
量であり、Csは中心導体30、40と地導体2との間
のフリンジング容量である。一般に、帯域通過形の高周
波フィルタでは、共振器間結合部5における結合は疎に
なり、入出力結合部6での結合は密となる。
【0007】このため、図23の高周波フィルタでは、
結合部5、6において向かい合った中心導体3、4の端
部の間隔が、結合部5では広く、入出力結合部6では狭
くなっている。すなわち静電容量については、結合部5
では結合容量Cgは小であり、フリンジング容量Csは
大、入出力結合部6では結合容量Cgが大、フリンジン
グ容量Csは小となる関係がある。図26に中心導体端
部の間隔と結合容量Cgまたはフリンジング容量Csの
関係を示す。なお、図中の容量値は、中心導体3、4の
端部の間隔と中心導体幅(s)が等しい時の容量値で規
格化した値としている。図26から分かるように、結合
容量Cgは中心導体3、4の端部の間隔の大きさに反比
例し、結合容量Cgは基本的に、中心導体3または4の
断面を向かい合わせた平行平板がもつ静電容量として近
似的に考えることができる。また、フリンジング容量C
sは、中心導体端部3、4の間隔が大きくなるに従って
増加する。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】上記のような従来の高
周波フィルタにおいては、入出力結合部6においては中
心導体3、4の端部の間隔が狭くなる。図26からわか
るように、中心導体3、4の端部の間隔が小さい場合に
は、間隔の変化量に対する結合容量Cgの変化量が大き
いので、中心導体3、4の端部の間隔がパターニング誤
差などの加工上の誤差により設計寸法から変化した場
合、フィルタの通過特性が大きく劣化するという問題が
ある。また、帯域幅の広いフィルタは、より大きな結合
量が必要となるため、実現が困難になる。
【0009】また、結合部5はフィルタの長さ方向に大
きいので、フィルタ寸法が大きくなるとともにフリンジ
ング容量Csが大きくなるという問題がある。フリンジ
ング容量Csは結合部5において回路に並列に入る容量
なので、共振器30の共振周波数に影響を与える。しか
し、フリンジング容量Csの値を正確に求めるのは容易
ではなく、設計においてはCsを近似的に求めてその効
果を考慮し、共振器30の物理長を決定する。この近似
値は値が大きくなるほど誤差が大きくなるので、フリン
ジング容量Csの値が大きくなるに従って共振器30の
共振周波数の誤差が増加し、この結果、通過特性が劣化
することになる。この問題は、特に、設計するフィルタ
が狭帯域である場合に顕著である。
【0010】上記の問題点の解決策としては、コプレー
ナ線路の中心導体幅および地導体間隔を拡大または縮小
することが考えられる。しかし、中心導体幅および地導
体間隔を拡大した場合、入出力結合部6での中心導体端
部の間隔を確保できるが、結合部5での中心導体端部の
間隔は増大する。また、逆に、コプレーナ線路の幅を縮
小した場合には、結合部5での問題点は軽減されるが入
出力結合部6では中心導体端部が接近してしまう。さら
に、中心導体上の電流の集中により線路の損失が増加す
るので、共振器の無負荷Q値が低下し、フィルタの通過
損失が増大する。
【0011】この発明は、かかる問題点を解決するため
になされたもので、良好な特性を有する高周波フィルタ
を得ることを目的とする。
【0012】
【課題を解決するための手段】この発明の高周波フィル
タは、誘電体基板の一方の面に配設された中心導体とこ
の中心導体の両側に配置された地導体とを有する1個ま
たは複数個の共振器および1対の入出力線路と、上記共
振器間を相互に結合させる共振器結合部と、上記共振器
と入出力線路とを相互に結合させる入出力結合部とを備
え、上記共振器および入出力線路を縦続接続して構成さ
れる高周波フィルタにおいて、上記共振器および/また
は入出力線路の特性インピーダンスを実質的に一定に維
持しながら上記中心導体の幅および上記地導体の間隔を
上記共振器結合部および/または上記入出力結合部とそ
の近傍において変化させたことを特徴とするものであ
る。
【0013】また、この発明の高周波フィルタは、上記
のフィルタにおいて、上記中心導体の幅および上記地導
体の間隔を上記共振器結合部とその近傍において小さく
したことを特徴とするものである。
【0014】また、この発明の高周波フィルタは、上記
の各フィルタにおいて、上記中心導体の幅および上記地
導体の間隔を上記入出力結合部とその近傍において大き
くしたことを特徴とするものである。
【0015】また、この発明の高周波フィルタは、上記
の各フィルタにおいて、上記共振器結合部に、上記中心
導体の両側の上記地導体を接続する導体ストリップを備
えたことを特徴とするものである。
【0016】次に、この発明の高周波フィルタは、誘電
体基板の一方の面に配設された中心導体とこの中心導体
の両側に配置された地導体とを有する1個または複数個
の共振器および1対の入出力線路と、上記共振器間を相
互に結合させる共振器結合部と、上記共振器と入出力線
路とを相互に結合させる入出力結合部とを備え、上記共
振器および入出力線路を縦続接続して構成される高周波
フィルタにおいて、上記共振器結合部に、上記中心導体
の両側の上記地導体を接続する導体ストリップを備えた
ことを特徴とするものである。
【0017】また、この発明の高周波フィルタは、上記
のフィルタにおいて、上記共振器結合部および/または
入出力結合部での上記地導体の間隔をその近傍の地導体
間隔より拡大したことを特徴とするものである。
【0018】次に、この発明の高周波フィルタは、誘電
体基板の一方の面に配設された中心導体とこの中心導体
の両側に配置された地導体と有する1個または複数個の
共振器および1対の入出力線路と、上記共振器間を相互
に結合させる共振器結合部と、上記共振器と入出力線路
とを相互に結合させる入出力結合部とを備え、上記共振
器および入出力線路を縦続接続して構成される高周波フ
ィルタにおいて、上記共振器結合部および/または入出
力結合部での上記地導体の間隔をその近傍の地導体間隔
より拡大したことを特徴とするものである。
【0019】さらに、この発明の高周波フィルタは、複
数の誘電体小基板を密着させてなる誘電体基板の一方の
面に配設された中心導体とこの中心導体の両側に配置さ
れた地導体とを有する1個または複数個の共振器および
1対の入出力線路と、上記共振器間を相互に結合させる
結合部と、上記共振器と入出力線路とを相互に結合させ
る入出力結合部とを備え、上記共振器および入出力線路
を縦続接続して構成される高周波フィルタにおいて、上
記複数の誘電体小基板は上記共振器結合部および/また
は上記入出力結合部において相互に密着して対向し、対
向する上記誘電体小基板の一方の端部に、上記中心導体
側から延在する地導体除去部を設けるとともに、上記地
導体除去部から延在する先端短絡スロット線路を設け、
上記地導体除去部と上記先端短絡スロット線路と上記対
向する他方の小基板の端部の地導体とで構成される略1
/2波長の線路長を有するスロット線路先端短絡スタブ
を形成したことを特徴とするものである。
【0020】また、この発明の高周波フィルタは、上記
のスロット線路先端短絡スタブを備えたフィルタにおい
て、上記地導体除去部から延在する先端短絡スロット線
路を複数設け、上記地導体除去部と上記先端短絡スロッ
ト線路と上記対向する他方の小基板の端部の地導体とで
構成される略1/2波長で個々に異なる線路長を有する
スロット線路先端短絡スタブを複数形成したことを特徴
とするものである。
【0021】また、この発明の高周波フィルタは、上記
のスロット線路先端短絡スタブを備えた各フィルタにお
いて、上記共振器および/または入出力線路の特性イン
ピーダンスを実質的に一定に維持しながら上記中心導体
の幅および上記地導体の間隔を上記共振器結合部および
/または上記入出力結合部とその近傍において変化させ
たことを特徴とするものである。
【0022】また、この発明の高周波フィルタは、上記
のスロット線路先端短絡スタブを備えた各フィルタにお
いて、上記共振器結合部および/または入出力結合部で
の上記地導体の間隔をその近傍の地導体間隔より拡大し
たことを特徴とするものである。
【0023】さらにまた、この発明の高周波フィルタ
は、上記の各フィルタにおいて、上記中心導体と地導体
とを超伝導材で構成したことを特徴とするものである。
【0024】さらにまたこの発明の高周波フィルタは、
上記の各フィルタにおいて、上記地導体間隔よりも大き
な幅を有する溝を設けた導体上に、(上記中心導体が上
記の溝の中心線に略平行にかつ上記の溝の略中心に位置
するように)上記誘電体基板を配置したことを特徴とす
るものである。
【0025】
【発明の実施の形態】
実施の形態1.図1および図2は、この発明の実施の形
態1による高周波フィルタの構造を示す図である。図1
は、誘電体基板の一方の面に導体薄膜で形成した中心導
体及び地導体を備えたコプレーナ線路を用いて構成した
3極の高周波フィルタ基板の上面図、図2は図1の基板
の中心線 II−II における断面図を示す。図に示すよう
にこの実施の形態1の高周波フィルタは、縦続結合され
た複数の共振器30とその両端に結合された一対の入出
力線路40を備えている。図1および図2において、1
は誘電体基板、2は地導体であり2a,2bはその部
分、3は共振器の中心導体、4は入出力線路の中心導
体、5は共振器30間の共振器結合部、6は共振器30
と入出力線路40との間の入出力結合部である。
【0026】上記の実施の形態1においては、図に示し
ているように、中心導体3、4の幅および地導体2a,
2bの間隔は、回路全体に亙って線路の特性インピーダ
ンスを一定に保ちながら、入出力結合部6近傍において
は広く、共振器結合部5近傍においては狭くなるよう、
緩やかに変化させている。このため、密な結合が必要に
なる入出力結合部6では、中心導体3、4が必要以上に
接近することを避けることができ、パターン誤差など、
加工上の問題による寸法誤差が通過特性に与える影響を
抑えることができる。さらに、疎な結合が必要になる共
振器結合部5では、中心導体3の端部の間隔を小さくで
きるのでフィルタが小形化され、また、フリンジング容
量が小さくなるので、共振器の共振周波数の誤差による
通過特性劣化を抑制できる。
【0027】また、中心導体3の幅の縮小および地導体
2a,2bの間隔の縮小は、疎な結合が必要となる共振
器結合部5の近傍でのみ行っているので、共振器の無負
荷Q値の低下が少ない。このため、通過損失の増加が少
なく、良好な特性が維持される。その他、上記のフィル
タでは、このような中心導体幅および地導体間隔の変更
を行っているが、特性インピーダンスが一定に保たれて
いるので、特別な設計手段を必要とせず、また、中心導
体幅および地導体間隔の変化を緩やかにしているので、
この変化が共振器の共振周波数に与える影響もほとんど
無い。従って、この実施の形態のフィルタでは良好な通
過特性が得られる。
【0028】以上のように、この発明の実施の形態1に
よれば、コプレーナ線路で成る1個または複数個の共振
器と入出力線路を縦続接続して構成される高周波フィル
タにおいて、個々の結合部に於ける所要の結合量に応
じ、結合部近傍から結合部に亙って中心導体幅および地
導体間隔を線路の特性インピーダンスを一定に維持しな
がら変化させている。このため、結合容量の大きな結合
部においては、中心導体幅および地導体間隔が拡大され
るので中心導体端部の接近を抑制でき、パターニング誤
差などの加工上の寸法誤差による通過特性の劣化を少な
くすることができるという効果がある。また、結合容量
の小さな結合部においては、中心導体幅および地導体間
隔が縮小されるので、中心導体端部の間隔を小さくで
き、フィルタが小形になるとともに、フリンジング容量
を小さくできるので、共振器の共振周波数の誤差を小さ
くできるという効果がある。また、中心導体幅および地
導体間隔の縮小は、疎な結合が必要となる共振器結合部
5の近傍でのみ行っているので、共振器の無負荷Q値の
低下が少なく、良好な通過特性が維持される。
【0029】実施の形態2.図3および図4は、この発
明の実施の形態2による高周波フィルタの構造を示す図
である。図3は、誘電体基板の一方の面に導体薄膜で形
成した中心導体及び地導体を備えたコプレーナ線路を用
いて構成した3極の高周波フィルタ基板の上面図、図4
は図3の基板の中心線 IV−IV における断面図を示
す。図に示すようにこの実施の形態2の高周波フィルタ
は、縦続結合された複数の共振器30とその両端に結合
された一対の入出力線路40を備えている。図3および
図4において、1は誘電体基板、2は地導体であり2
a,2bはその部分、3は共振器の中心導体、4は入出
力線路の中心導体、5は共振器30間の共振器結合部、
6は共振器30と入出力線路40の間の入出力結合部で
ある。また、7は結合部5の中心に設けた、地導体2a
と2bを接続する導体ストリップを示す。
【0030】上記の実施の形態2においては、共振器間
の共振器結合部5に地導体2aと2bを接続する導体ス
トリップ7を設けている。この導体ストリップ7によ
り、2つの中心導体3の間の結合が妨げられて結合容量
Cgが減少するので、中心導体3の端部の間隔を導体ス
トリップ7が無い場合に比べ短くでき、フィルタが小形
化できる。
【0031】また、導体ストリップ7が地導体2a,2
bを接続して短絡するので、地導体2aと2bの間で電
位差を持つような不要モードの発生および伝搬を抑制で
きる。この結果、不要モード抑制のための地導体接続用
ワイヤの数を減らすことができるなど、不要モード抑制
のための手段が簡素化される。
【0032】なお、図3の共振器30の地導体2a,2
bの間隔を、図1と同様に、共振器の結合部近傍から結
合部に亙って中心導体幅および地導体間隔を線路の特性
インピーダンスを一定に維持しながら変化させることも
できる。このようにすると、実施の形態1と2の両方の
効果を有する高周波フィルタが得られる。
【0033】以上のように、この発明の実施の形態2に
よれば、コプレーナ線路で成る、少なくとも1つの開放
端部を有する1個または複数個の共振器と入出力線路を
縦続接続して構成される高周波フィルタにおいて、上記
結合部のうち開放端部が向かい合った結合部に、中心導
体の両側の地導体を接続する導体ストリップを備えてい
る。このため、導体ストリップが2つの中心導体端部間
の結合を妨げて結合容量が減少するので、中心導体端部
の間隔を導体ストリップが無い場合に比べ短くできると
いう効果がある。また、導体ストリップが地導体を接続
して短絡するので、中心導体を挟んで地導体の間で電位
差を持つような不要モードの発生および伝搬を抑制する
とともに、これらの不要モード抑制のための金ワイヤの
数を減らすことができるという効果がある。
【0034】実施の形態3.図5および図6は、この発
明の実施の形態3による高周波フィルタの構造を示す図
である。図5は、誘電体基板の一方の面に導体薄膜で形
成した中心導体及び地導体を備えたコプレーナ線路を用
いて構成した3極の高周波フィルタ基板の上面図、図6
は図1の基板の中心線 VI−VI における断面図を示
す。図に示すようにこの実施の形態1の高周波フィルタ
は、縦続結合された複数の共振器30とその両端に結合
された一対の入出力線路40を備えている。図5および
図6において、1は誘電体基板、2は地導体であり2
a,2bはその部分、3は共振器の中心導体、4は入出
力線路の中心導体、5は共振器30間の共振器結合部、
6は共振器30と入出力線路40の間の入出力結合部で
ある。以上は、実施の形態1と同様である。また、8
は、結合部5または入出力結合部6における地導体2a
および2bに設けた切り欠き部を示す。
【0035】上記の実施の形態3においては、実施の形
態1と同様に、中心導体3、4の幅および地導体2a,
2bの間隔は、回路全体に亙って線路の特性インピーダ
ンスを一定に保ちながら、入出力結合部6近傍において
は広く、共振器結合部5近傍においては狭くなるよう、
緩やかにを変化させている。このため、まず実施の形態
1と同様な作用および効果を有する。さらに、この実施
の形態3では、共振器30間の共振器結合部5および共
振器30と入出力線路40との間の入出力線路結合部6
において、地導体2a,2bに切り欠き8を備えたもの
となっている。このため、結合部5、6における地導体
2a,2bの間隔は、結合部近傍での間隔よりも拡大し
ており、結合部5、6における中心導体3、4の端部と
地導体2a,2bとの距離が大きくなっている。この結
果、結合部5または6に於けるフリンジング容量Cs
が、切り欠き8を設けない場合に比べ小さくなり、フリ
ンジング容量Csによる共振器の共振周波数の誤差を抑
制することができる。
【0036】なお、図5の高周波フィルタでは、共振器
結合部5の近傍から結合部5に亙って中心導体幅および
地導体間隔を線路の特性インピーダンスを一定に維持し
ながら変化させているが、図3のように共振器5の近傍
での中心導体幅および地導体間隔を変化させないで、共
振器結合部5での地導体に切り欠きを備え地導体間隔を
大きくすることもできる。さらにまた、図5の高周波フ
ィルタに、図3に示すように、共振器結合部5に、中心
導体の両側の地導体を接続する導体ストリップを備える
こともできる。このようにすると、それぞれ両者のもつ
効果を合わせもつことができる。
【0037】以上のように、この発明の実施の形態3に
よれば、コプレーナ線路で成り少なくとも1つの開放端
部を有する1個または複数個の共振器と入出力線路を縦
続接続して構成される高周波フィルタにおいて、結合部
での地導体間隔を隣接する線路部の地導体間隔に対して
拡大して地導体に切り欠きを備えたものとなっている。
このため、結合部においては中心導体と地導体の距離が
大きくなっているので、結合部に於けるフリンジング容
量が切り欠きを設けない場合に比べ小さくなり、フリン
ジング容量による共振器の共振周波数の誤差を抑制でき
るという効果がある。
【0038】また、この発明の実施の形態3によれば、
コプレーナ線路で成り少なくとも1つの開放端部を有す
る1個または複数個の共振器と入出力線路を縦続接続し
て構成される高周波フィルタにおいて、個々の結合部に
於ける所要の結合量に応じ、結合部近傍から結合部に亙
って中心導体幅および地導体間隔を線路の特性インピー
ダンスを一定に維持しながら変化させている。さらに、
結合部での地導体間隔を隣接する線路部の地導体間隔に
対して拡大した切り欠きを備えたものとなっている。こ
のため、実施の形態1および実施の形態3で得られる効
果の双方が得られ、より良好な通過特性を有する高周波
フィルタが得られるという効果がある。また、中心導体
幅および地導体間隔の縮小は、疎な結合が必要となる結
合部5の近傍でのみ行っているので、共振器の無負荷Q
値の低下が少なく、良好な通過特性が維持される。
【0039】実施の形態4.図7、図8および図9は、
この発明の実施の形態4による高周波フィルタの構造を
示す図である。図7は、誘電体小基板を2枚用い、これ
らの一方の面に導体薄膜で形成した中心導体及び地導体
を備えたコプレーナ線路を用いて構成した4極の高周波
フィルタ基板の上面図、図8は図7の中心線 VIII−V
III における断面図を示す。また、図9は図7における
2枚の誘電体小基板の密着部の拡大上面図である。
【0040】これらの図に示すように、この実施の形態
4の高周波フィルタは、縦続結合された複数の共振器3
0とその両端に結合された一対の入出力線路40を備え
ている。これらの図において、1A,1Bは誘電体小基
板、2は地導体であり2a,2b,2c,2dはその部
分、3は共振器30の中心導体、4は入出力線路40の
中心導体、5は共振器30間の共振器結合部、6は共振
器30と入出力線路40との間の入出力結合部、8は、
結合部5または入出力結合部6における地導体2a,2
b,2c,2dに設けた切り欠き部である。また、図8
に示すように、9は誘電体小基板1Aと1Bの密着部で
ある。
【0041】さらに図7および図9に示すように、10
A,10Bは誘電体小基板1A,1Bの端部を示し、1
1は誘電体小基板1Aの端部10Aに設けた地導体除去
部、12は上記の地導体除去部11から延在する約1/
4波長の先端短絡スロット線路である。
【0042】図9に示すように、地導体除去部11と先
端短絡線路12および基板端部10Bの地導体2cまた
は2dとは、スロット線路先端短絡スタブを構成してお
り、図9中の地導体切り欠き部8からスロット線路12
の先端まで約1/2波長の長さとなっている。
【0043】このように構成した実施の形態4において
は、実施の形態1と同様に、中心導体3、4の幅および
地導体2a,2bの間隔は、回路全体に亙って線路の特
性インピーダンスを一定に保ちながら、入出力結合部6
近傍においては広く、共振器結合部5近傍においては狭
くなるよう、緩やかにを変化させている。このため、ま
ず実施の形態1と同様な作用および効果を有する。ま
た、実施の形態3と同様に、共振器30間の共振器結合
部5および共振器30と入出力線路40との間の入出力
線路結合部6において、地導体2a,2bに切り欠き8
を備えたものとなっている。このため、実施の形態3と
同様の作用および効果をも有する。さらに、この実施の
形態4では、誘電体小基板1Aの端部10Aに、誘電体
小基板1Bの端部10Bに対応してスロット線路先端短
絡スタブを設けている。このスタブは先端にて短絡され
ているとともに長さが約1/2波長なので、フィルタの
中心周波数の近傍では、スロット線路のもう一方の端部
となる地導体切り欠き部8の位置で電流が最大となる。
従って、切り欠き部8の位置では、基板1A上の地導体
2a,2bと基板1B上の地導体2c,2dとは電気的
に短絡された状態となる。これにより、2枚の誘電体小
基板1A,1Bに亙った地導体の電気的な接続の手段が
簡素化できる。このスタブの効果はフィルタが狭帯域で
ある場合に特に有効である。
【0044】なお、図7の高周波フィルタは、中心導体
3、4および地導体2a,2bが図5のような形状をし
ているが、この実施の形態4の特徴、すなわち基板を誘
電体小基板を結合して構成し、その結合部にスロット線
路先端短絡スタブを設ける構成は、中心導体3、4およ
び地導体2a,2bが図5のような形状でなくても有効
なものである。
【0045】以上のように、この発明の実施の形態4に
よれば、コプレーナ線路で成り少なくとも1つの開放端
部を有する1個または複数個の共振器と入出力線路を縦
続接続して構成されるとともに、複数枚の誘電体小基板
に亙って構成したコプレーナ線路形高周波フィルタにお
いて、上記小基板の密着部に於ける対向する上記誘電体
小基板端部の少なくとも一方に、上記中心導体側から上
記端部に沿って地導体除去部と、上記除去部から延在し
て先端短絡スロット線路とを設け、上記除去部と上記先
端短絡スロット線路と上記対向する他の基板端部の地導
体とで略1/2波長の線路長を有するスロット線路先端
短絡スタブを形成している。このため、中心周波数近傍
の周波数において、対向する誘電体小基板上の地導体が
中心導体の近傍で相互に電気的に短絡された状態とな
る。これにより、地導体の電気的な接続の手段が簡素化
できるという効果がある。
【0046】実施の形態5.図10、図11および図1
2は、この発明の実施の形態5による高周波フィルタの
構造を示す図である。図10は、誘電体小基板を2枚用
い、これらの一方の面に導体薄膜で形成した中心導体及
び地導体を備えたコプレーナ線路を用いて構成した4極
の高周波フィルタ基板の上面図、図11は図10の中心
線 XI−XIにおける断面図を示す。また、図12は図
10における2枚の誘電体小基板の密着部の拡大上面図
である。また、図9は図7における2枚の誘電体小基板
の密着部の拡大上面図である。
【0047】これらの図に示すように、この実施の形態
5の高周波フィルタは、縦続結合された複数の共振器3
0とその両端に結合された一対の入出力線路40を備え
ている。これらの図において、1A,1Bは誘電体小基
板、2は地導体であり2a,2b,2c,2dはその部
分、3は共振器30の中心導体、4は入出力線路40の
中心導体、5は共振器30間の共振器結合部、6は共振
器30と入出力線路40との間の入出力結合部、8は、
共振器結合部5または入出力結合部6における地導体2
a,2b,2c,2dに設けた切り欠き部である。ま
た、図11示すように、9は誘電体小基板1Aと1Bの
密着部である。
【0048】さらに図10および図12に示すように、
10A,10Bは誘電体小基板1A,1Bの端部を示
し、11は誘電体小基板1Aの端部10Aに設けた地導
体除去部、12a,12b,12cは上記の地導体除去
部11から延在する約1/4波長の先端短絡スロット線
路で、この実施の形態5では3つの先端短絡スロット線
路を有する。図12に示すように、上記先端短絡線路1
2a、12b、12cと地導体除去部11、および基板
端部10Bの地導体2cまたは2dとでスロット線路先
端短絡スタブを構成している。このスタブの長さは、図
12中の地導体切り欠き部8から、スロット線路12a
の先端までが中心周波数の約1/2波長、スロット線路
12bの先端までが低域側カットオフ周波数と中心周波
数の中間の周波数における約1/2波長、そして、スロ
ット線路12cの先端までが高域側カットオフ周波数と
中心周波数の中間の周波数における約1/2波長となっ
ている。
【0049】このように構成した実施の形態5において
は、先ず実施の形態1と同様に、中心導体3、4の幅お
よび地導体2a,2bの間隔は、回路全体に亙って線路
の特性インピーダンスを一定に保ちながら、入出力結合
部6近傍においては広く、共振器結合部5近傍において
は狭くなるよう、緩やかにを変化させている。このた
め、まず実施の形態1と同様な作用および効果を有す
る。また、実施の形態3と同様に、共振器30間の共振
器結合部5および共振器30と入出力線路40との間の
入出力線路結合部6において、地導体2a,2bに切り
欠き8を備えたものとなっている。このため、実施の形
態3と同様の作用および効果をも有する。さらに、この
実施の形態5では、誘電体小基板1Aの端部10Aに、
誘電体小基板1Bの端部10Bに対応してスロット線路
先端短絡スタブを複数(3つ)設けている。こららのス
タブは、3つのスロット12の先端にて短絡されている
ので、スタブの全長に対応する3つの周波数の近傍で
は、切り欠き部8の位置で電流が最大となる。従って、
スタブが1本のみの場合に比べ、より広い周数帯域に亙
ってスロットの両側の地導体2a,2bと2c,2dは
それぞれ電気的にほぼ短絡された状態となる。これによ
り、2枚の誘電体基板1A,1Bに亙った地導体の電気
的な接続の手段が不要、または簡素化される。
【0050】以上のように、この発明の実施の形態5に
よれば、コプレーナ線路で成り少なくとも1つの開放端
部を有する1個または複数個の共振器と入出力線路を縦
続接続して構成されるとともに、複数枚の誘電体小基板
に亙って構成したコプレーナ線路形高周波フィルタにお
いて、上記小基板の密着部に於ける対向する上記誘電体
小基板端部の少なくとも一方に、上記中心導体側から上
記端部に沿って地導体除去部と、上記除去部から延在し
て先端短絡スロット線路とを設け、上記除去部と上記先
端短絡スロット線路と上記対向する他の基板端部の地導
体とで略1/2波長の線路長を有するスロット線路先端
短絡スタブを2つ以上形成している。ここで、個々のス
タブの線路長が異なるようにしている。これにより、こ
の実施の形態5は実施の形態4と同様な効果をより広い
周波数帯域に亙って得られるという効果がある。
【0051】実施の形態6.図13および図14は、こ
の発明の実施の形態6による高周波フィルタの構造を示
す図である。図13は、誘電体基板の一方の面に超伝導
薄膜で形成した中心導体及び地導体を備えたコプレーナ
線路を用いて構成した3極の高周波フィルタ基板の上面
図、図14は図13の基板の中心線 XIV−XIV にお
ける断面図を示す。図に示すようにこの実施の形態6の
高周波フィルタは、縦続結合された複数の共振器30と
その両端に結合された一対の入出力線路40を備えてい
る。
【0052】図13および図14において、1は誘電体
基板、2は超伝導体薄膜で成る地導体であり2a,2b
はその部分、3は超伝導体薄膜で成る共振器30の中心
導体、4は超伝導体薄膜で成る入出力線路40の中心導
体、5は共振器間30間の共振器結合部、6は共振器3
0と入出力線路40との間の入出力結合部である。ま
た、13は誘電体基板1の周辺部において超伝導薄膜の
地導体2a,2bの上に配置した金(Au)電極、14
は中心導体3,4を挟んで超伝導薄膜の地導体2a,2
b上に配置され(地導体2a,2bを接続するワイヤを
配置するための)金(Au)膜で成るランドである。金
電極13は、外部回路やケース(パッケージ)との電気
的接続のために用いられる。金ランド14は、中心導体
3,4を挟んで対向する二つのランド間を金ワイヤなど
を用いて接続するために用いられる。これは、地導体2
a,2bの電位を同電位にして不要なモードが線路を伝
播するのを抑えるためである。
【0053】この実施の形態6では、実施の形態1と同
様に、中心導体3、4の幅および地導体2a,2bの間
隔は、回路全体に亙って線路の特性インピーダンスを一
定に保ちながら、入出力結合部6近傍においては広く、
共振器結合部5近傍においては狭くなるよう、緩やかに
を変化させている。このため、まず実施の形態1と同様
な作用および効果を有する。さらにこの実施の形態6で
は、共振器30ならびに入出力線路40の導体膜を超伝
導薄膜を用いて形成したので、超伝導体の低損失性によ
り、共振器の無負荷Q値が増大する。従って、通過損失
の少ない高周波フィルタが得られる。
【0054】また、超伝導薄膜、特に酸化物超伝導薄膜
のような臨界温度の高い高温超伝導薄膜では、一般に、
膜を広い面積の基板上に均質に形成するのが難しい。こ
のため、図13、図14のような構造のほか、実施の形
態4および5で示したような、誘電体小基板を用いて分
割構成したフィルタに超伝導薄膜を適用することもでき
る。そのようにした場合、形成すべき超伝導薄膜の面積
が小さくできるので均質な膜が得られ易く、分割しない
場合に比べ良好な特性の超伝導フィルタを得易い効果が
ある。
【0055】以上のように、この発明の実施の形態6に
よれば、上記の実施の形態1から実施の形態6で得られ
るコプレーナ線路形高周波フィルタの中心導体および地
導体の導体膜を超伝導体膜で構成している。このため、
通常の導体膜で得られる効果に加え、超伝導体の低損失
性により通過損失の少ない高周波フィルタが得られると
いう効果がある。
【0056】実施の形態7.図16、図17、および図
18は、この発明の実施の形態7による高周波フィルタ
の構造を示す図である。図16は、実施の形態6で示し
た高周波フィルタ基板1を導体ケース(シャーシ)に実
装した高周波フィルタのー部分の上面図、図17は図1
6の高周波フィルタの中心線 XVII−XVII における
断面図、また、図18は、図16の高周波フィルタの
XVIII−XVIII 線における断面図を示す。
【0057】これらの図において、15は高周波フィル
タ基板を実装する導体ケース(シャーシ)、16は、導
体ケース15に設けた溝であり、17は導体ケース15
に実装した外部回路基板である。さらに、18は、高周
波フィルタ基板の各部を電気的に接続する金(Au)ワ
イヤを示す。その他の符号で、実施の形態6の図13お
よび図14で示したものと同一のものは、それぞれ同一
または相当部分を示し、同様の機能を有する。これらに
ついては、重複をさけるため説明を省略する。
【0058】この実施の形態7では、先ず実施の形態6
と同様な作用および効果を有する。さらに、この実施の
形態7では、基板1に超伝導体薄膜で形成された中心導
体3、4および地導体2a,2bを備え、この基板1を
実装する導体ケース15に地導体2a,2bの間隔より
も大きな幅を有する溝を設けている。このため、高周波
フィルタ基板1を溝のない導体ケース上に実装した場合
にくらべてコプレーナ線路から線路以外の導体が距離的
に離れているので、コプレーナ線路の電磁界が導体ケー
スの影響を受けにくくなっている。すなわち、導体ケー
ス15上を流れる電流が非常に少なくなるとともに、ほ
とんどの電流はコプレーナ線路を構成している超伝導体
の部分を流れることになり、導体ケース15への実装に
よる共振器の無負荷Q値の低下が抑制される。このた
め、高周波フィルタ基板が本来有している特性の劣化が
少なく、良好な特性の高周波フィルタが得られる。この
現象は、コプレーナ線路の地導体間隔が基板厚さに比べ
て大きくなる場合に顕著である。
【0059】また、実施の形態6のところでも述べたよ
うに、地導体2a,2bと導体ケース15を金ワイヤ1
8あるいは金リボン18で接続しているので、両者の電
位差により発生する不要モードは抑制されるが、一方
で、この接続により地導体2a,2bと導体ケース15
の間の空間がキャビティとなる場合がある。このキャピ
ティは誘電体が内部に詰まった空胴共振器として機能す
るため、最低次の共振モードの共振周波数が低くフィル
タの通過帯城に接近する場合には、フィルタの特性に悪
影響を与える。この問題に対し、導体ケース15に設け
られた溝16は空胴内部の実効的な誘電率を下げる作用
を為し、これによりキャピティの共振周波数をより高い
周波数へシフトすることとなり、不要なモードによるフ
ィルタ特性の劣化が防止されるという効果がある。
【0060】なお、以上の説明においては、実施の形態
6の高周波フィルタ基板を、地導体間隔よりも大きな幅
を有する溝を設けた導体上に、中心導体が溝の中心線に
略平行にかつ溝の略中心に位置するように配置した例に
ついて述べた。しかし、コプレーナ線路形高周波フィル
タの中心導体および地導体の導体膜を超伝導体膜で構成
する形態は、実施の形態6の構造に限られず、既に述べ
た各実施の形態の構造のものにも適用できるものであ
り、本実施の形態のような導体ケースを適用する構造に
ついても同様である。
【0061】実施の形態8.図18、図19、および図
20は、この発明の実施の形態8による高周波フィルタ
の構造を示す図である。図18は、実施の形態6で示し
た高周波フィルタ基板1を導体ケース(シャーシ)に実
装した高周波フィルタのー部分の上面図(上部のフタを
除いた図)、図19は図18の高周波フィルタの中心線
XIX−XIX における断面図を示す。また、図20
は、図18の XX−XX 線における断面図を示す。
【0062】これらの図において、15は高周波フィル
タ基板1を実装する導体ケース(シャーシ)、16は導
体ケース15に設けた下部の溝であり、16Bは導体ケ
ース5に設けた上部の溝である。また、17は導体ケー
ス15に実装した外部回路基板、18は高周波フィルタ
基板の各部を電気的に接続する金(Au)ワイヤを示
す。さらに19は、導体ケース15の上部の溝16Bを
塞ぐ導体フタである。その他の符号で、実施の形態6の
図13および図14で示したものと同一のものは、それ
ぞれ同一または相当部分を示し、同様の機能を有する。
これらについては、重複をさけるため説明を省略する。
以上のように、本実施の形態の高周波フィルタは、実施
の形態6で示した高周波フィルタを導体ケースおよび導
体フタによりパッケージした構造となっている。また、
実施の形態7の高周波フィルタと比較すれば、本実施の
形態では、高周波フィルタ基板1が上部の溝16Bの中
に収納され導体フタ19で遮蔽されていることが異な
る。なお、図18は導体フタ19を省略した図となって
いる。
【0063】上記の実施の形態8の高周波フィルタで
は、先ず実施の形態6および7と同様な作用および効果
を有する。次に、本実施の形態では、導体ケース15と
導体フタ19により、コプレーナ線路地導体2a,2b
および中心導体3、4の上側に導体で囲まれたキャビテ
ィが構成され、このキャビティが空胴共振器として機能
する場合がある。この点を考慮し、ここでは、想定され
る空胴共振器のもっとも低い共振周波数がフィルタ回路
の周波数帯城よりも十分高くなり、且つ、コプレーナ線
路の電磁界にほとんど影響を与えない大きさの空胴とな
るよう、導体ケース15および導体フタ19の寸法が設
定されている。これにより、フタ19を装着したことに
よるフィルタ特性の劣化を生じることなく、フィルタか
らの電磁波の放射が抑えられるとともに、フィルタ特性
を環境の影響から遮蔽することができる。なお、以上述
べた導体ケースと導体フタの適用は、実施の形態6の構
造の高周波フィルタに限られず、他の各実施の形態のも
のについても適用できるものである。
【0064】
【発明の効果】以上のようにこの発明によれば、コプレ
ーナ線路で成る1個または複数個の共振器と入出力線路
を縦続接続して構成される高周波フィルタにおいて、共
振器および/または入出力線路の特性インピーダンスを
実質的に一定に維持しながら中心導体の幅および地導体
の間隔を共振器結合部および/または入出力結合部とそ
の近傍において変化させているので、結合容量の大きな
結合部においては、中心導体幅および地導体間隔が拡大
されて中心導体端部の接近が抑制され、パターニング誤
差などの加工上の寸法誤差による通過特性の劣化を少な
くすることができるという効果がある。また、結合容量
の小さな結合部においては、中心導体幅および地導体間
隔が縮小されて、中心導体端部の間隔を小さくでき、フ
ィルタが小形になるとともに、フリンジング容量を小さ
くできるので、共振器の共振周波数の誤差を小さくでき
るという効果がある。また、中心導体幅および地導体間
隔の縮小は、疎な結合が必要となる共振器結合部の近傍
でのみ行っているので、共振器の無負荷Q値の低下が少
なく、良好な通過特性が維持される。
【0065】また、この発明によれば、コプレーナ線路
で成る、少なくとも1つの開放端部を有する1個または
複数個の共振器と入出力線路を縦続接続して構成される
高周波フィルタにおいて、共振器結合部に、中心導体の
両側の地導体を接続する導体ストリップを備えるように
したので、導体ストリップが2つの中心導体端部間の結
合を妨げて結合容量が減少し、中心導体端部の間隔を導
体ストリップが無い場合に比べ短くできるという効果が
ある。また、導体ストリップが地導体を接続して短絡す
るので、中心導体を挟んで地導体の間で電位差を持つよ
うな不要モードの発生および伝搬を抑制するとともに、
これらの不要モード抑制のための金ワイヤの数を減らす
ことができるという効果がある。
【0066】また、この発明によれば、コプレーナ線路
で成り少なくとも1つの開放端部を有する1個または複
数個の共振器と入出力線路を縦続接続して構成される高
周波フィルタにおいて、共振器結合部および/または入
出力結合部での地導体の間隔をその近傍の地導体間隔よ
り拡大するようにしたので、結合部においては中心導体
と地導体の距離が大きくなり、結合部に於けるフリンジ
ング容量は切り欠きを設けない場合に比べ小さくなり、
フリンジング容量による共振器の共振周波数の誤差を抑
制できるという効果がある。
【0067】また、この発明によれば、コプレーナ線路
で成り少なくとも1つの開放端部を有する1個または複
数個の共振器と入出力線路を縦続接続して構成されると
ともに、複数枚の誘電体小基板に亙って構成したコプレ
ーナ線路形高周波フィルタにおいて、複数の誘電体小基
板は共振器結合部および/または上記入出力結合部にお
いて相互に密着して対向し、対向する誘電体小基板の一
方の端部に、中心導体側から延在する地導体除去部を設
けるとともに、地導体除去部から延在する先端短絡スロ
ット線路を設け、地導体除去部と先端短絡スロット線路
と対向する他方の小基板の端部の地導体とで構成される
略1/2波長の線路長を有するスロット線路先端短絡ス
タブを形成するようにしたので、中心周波数近傍の周波
数において、対向する誘電体小基板上の地導体が中心導
体の近傍で相互に電気的に短絡された状態となり、地導
体の電気的な接続の手段が簡素化できるという効果があ
る。
【0068】また、この発明によれば、コプレーナ線路
で成り少なくとも1つの開放端部を有する1個または複
数個の共振器と入出力線路を縦続接続して構成されると
ともに、複数枚の誘電体小基板に亙って構成したコプレ
ーナ線路形高周波フィルタにおいて、地導体除去部から
延在する先端短絡スロット線路を複数設け、地導体除去
部と、先端短絡スロット線路と、対向する他方の小基板
の端部の地導体とで構成される略1/2波長で個々に異
なる線路長を有するスロット線路先端短絡スタブを複数
形成するようにしたので、より広い周波数帯域に亙っ
て、対向する誘電体小基板上の地導体が中心導体の近傍
で相互に電気的に短絡された状態となり、地導体の電気
的な接続の手段が簡素化できるという効果がある。
【0069】また、この発明によれば、上記のようなコ
プレーナ線路形高周波フィルタの中心導体および地導体
超伝導材で構成するようにしたので、通常の導体膜で得
られる効果に加え、超伝導材の低損失性により通過損失
の少ない高周波フィルタが得られるという効果がある。
【0070】また、この発明によれば、上記のようなコ
プレーナ線路形高周波フィルタの誘電体基板を、誘電体
基板の地導体間隔よりも大きな幅を有する溝を設けた導
体上に配置するようにしたので、高周波フィルタ基板が
本来有している特性の劣化が少なく、良好な特性の高周
波フィルタが得られる。
【0071】また、この発明によれば上記のようなコプ
レーナ線路形高周波フィルタの誘電体基板を、誘電体基
板の地導体間隔よりも大きな幅を有する溝を設けた導体
上に配置し、さらにこれを導体蓋で覆うようにしたの
で、フィルタからの電磁波の放射が抑えられるととも
に、フィルタ特性を環境の影響から遮蔽することができ
る。また、この発明の構成の特徴を複合して有するコプ
レーナ線路形高周波フィルタにおいては、それぞれの構
成による上述したような効果が複合して得られるもので
ある。以上のように、この発明によれば、小形になり、
かつ良好な通過特性を有する高周波フィルタを得ること
ができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 この発明の実施の形態1による高周波フィル
タの回路基板の上面図である。
【図2】 この発明の実施の形態1による高周波フィル
タの回路基板の断面図である。
【図3】 この発明の実施の形態2による高周波フィル
タの回路基板の上面図である。
【図4】 この発明の実施の形態2による高周波フィル
タの回路基板の断面図である。
【図5】 この発明の実施の形態3による高周波フィル
タの回路基板の上面図である。
【図6】 この発明の実施の形態3による高周波フィル
タの回路基板の断面図である。
【図7】 この発明の実施の形態4による高周波フィル
タの回路基板の上面図である。
【図8】 この発明の実施の形態4による高周波フィル
タの回路基板の断面図である。
【図9】 この発明の実施の形態4による高周波フィル
タの誘電体小基板密着部の拡大上面図である。
【図10】 この発明の実施の形態5による高周波フィ
ルタの回路基板の上面図である。
【図11】 この発明の実施の形態5による高周波フィ
ルタの回路基板の断面図である。
【図12】 この発明の実施の形態5による高周波フィ
ルタの誘電体小基板密着部の拡大上面図である。
【図13】 この発明の実施の形態6による高周波フィ
ルタの回路基板の上面図である。
【図14】 この発明の実施の形態6による高周波フィ
ルタの回路基板の断面図である。
【図15】この発明の実施の形態7による高周波フィル
タの回路基板の上面図である。
【図16】この発明の実施の形態7による高周波フィル
タの回路基板の長さ方向の断面図である。
【図17】この発明の実施の形態7による高周波フィル
タの回路基板の幅方向の断面図である。
【図18】この発明の実施の形態8による高周波フィル
タのフィルタの回路基板の上面図である。
【図19】この発明の実施の形態8による高周波フィル
タの回路基板の長さ方向の断面図である。
【図20】この発明の実施の形態8による高周波フィル
タの回路基板の幅方向の断面図である。
【図21】 この発明で扱うコプレーナ線路を表す図で
ある。
【図22】 コプレーナ線路の特性インピーダンスと、
線路の断面寸法の関係を表すグラフである。
【図23】 従来の高周波フィルタ基板の上面図であ
る。
【図24】 従来の高周波フィルタ基板の断面図であ
る。
【図25】 従来の高周波フィルタの結合部に於ける静
電容量を示す図である。
【図26】 高周波フィルタの結合部に於ける静電容量
と中心導体端部間隔の関係を表すグラフである。
【符号の説明】
1 誘電体基板、 2 地導体、 3 共振器の中心導
体、 4 入出力線路の中心導体、 5 共振器結合
部、 6 入出力結合部、 7 導体ストリップ、 8
切り欠き部、 9 基板密着部、 10 誘電体小基
板の端部、 11地導体除去部、 12 スロット線路
先端短絡スタブ、 15 導体ケース(シャーシ)、
16、16B 溝、 18 金ワイヤ、 19導体フ
タ。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 宮▲ざき▼ 守▲やす▼ 東京都千代田区丸の内二丁目2番3号 三 菱電機株式会社内

Claims (13)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 誘電体基板の一方の面に配設された中心
    導体とこの中心導体の両側に配置された地導体とを有す
    る1個または複数個の共振器および1対の入出力線路
    と、上記共振器間を相互に結合させる共振器結合部と、
    上記共振器と入出力線路とを相互に結合させる入出力結
    合部とを備え、上記共振器および入出力線路を縦続接続
    して構成される高周波フィルタにおいて、上記共振器お
    よび/または入出力線路の特性インピーダンスを実質的
    に一定に維持しながら上記中心導体の幅および上記地導
    体の間隔を上記共振器結合部および/または上記入出力
    結合部とその近傍において変化させたことを特徴とする
    高周波フィルタ。
  2. 【請求項2】 上記中心導体の幅および上記地導体の間
    隔を上記共振器結合部とその近傍において小さくしたこ
    とを特徴とする請求項1に記載の高周波フィルタ。
  3. 【請求項3】 上記中心導体の幅および上記地導体の間
    隔を上記入出力結合部とその近傍において大きくしたこ
    とを特徴とする請求項1に記載の高周波フィルタ。
  4. 【請求項4】 上記共振器結合部に、上記中心導体の両
    側の上記地導体を接続する導体ストリップを備えたこと
    を特徴とする請求項1ないし3のいずれか1項に記載の
    高周波フィルタ。
  5. 【請求項5】 誘電体基板の一方の面に配設された中心
    導体とこの中心導体の両側に配置された地導体とを有す
    る1個または複数個の共振器および1対の入出力線路
    と、上記共振器間を相互に結合させる共振器結合部と、
    上記共振器と入出力線路とを相互に結合させる入出力結
    合部とを備え、上記共振器および入出力線路を縦続接続
    して構成される高周波フィルタにおいて、上記共振器結
    合部に、上記中心導体の両側の上記地導体を接続する導
    体ストリップを備えたことを特徴とする高周波フィル
    タ。
  6. 【請求項6】 上記共振器結合部および/または入出力
    結合部での上記地導体の間隔をその近傍の地導体間隔よ
    り拡大したことを特徴とする請求項1ないし5のいずれ
    か1項に記載の高周波フィルタ。
  7. 【請求項7】 誘電体基板の一方の面に配設された中心
    導体とこの中心導体の両側に配置された地導体と有する
    1個または複数個の共振器および1対の入出力線路と、
    上記共振器間を相互に結合させる共振器結合部と、上記
    共振器と入出力線路とを相互に結合させる入出力結合部
    とを備え、上記共振器および入出力線路を縦続接続して
    構成される高周波フィルタにおいて、上記共振器結合部
    および/または入出力結合部での上記地導体の間隔をそ
    の近傍の地導体間隔より拡大したことを特徴とする高周
    波フィルタ。
  8. 【請求項8】 複数の誘電体小基板を密着させてなる誘
    電体基板の一方の面に配設された中心導体とこの中心導
    体の両側に配置された地導体とを有する1個または複数
    個の共振器および1対の入出力線路と、上記共振器間を
    相互に結合させる結合部と、上記共振器と入出力線路と
    を相互に結合させる入出力結合部とを備え、上記共振器
    および入出力線路を縦続接続して構成される高周波フィ
    ルタにおいて、上記複数の誘電体小基板は上記共振器結
    合部および/または上記入出力結合部において相互に密
    着して対向し、対向する上記誘電体小基板の一方の端部
    に、上記中心導体側から延在する地導体除去部を設ける
    とともに、上記地導体除去部から延在する先端短絡スロ
    ット線路を設け、上記地導体除去部と上記先端短絡スロ
    ット線路と上記対向する他方の小基板の端部の地導体と
    で構成される略1/2波長の線路長を有するスロット線
    路先端短絡スタブを形成したことを特徴とする高周波フ
    ィルタ。
  9. 【請求項9】 上記地導体除去部から延在する先端短絡
    スロット線路を設け、上記地導体除去部と上記先端短絡
    スロット線路と上記対向する他方の小基板の端部の地導
    体とで構成される略1/2波長で個々に異なる線路長を
    有するスロット線路先端短絡スタブを複数形成したこと
    を特徴とする請求項8に記載の高周波フィルタ。
  10. 【請求項10】 上記共振器および/または入出力線路
    の特性インピーダンスを実質的に一定に維持しながら上
    記中心導体の幅および上記地導体の間隔を上記共振器結
    合部および/または上記入出力結合部とその近傍におい
    て変化させたことを特徴とする請求項8または9に記載
    の高周波フィルタ。
  11. 【請求項11】 上記共振器結合部および/または入出
    力結合部での上記地導体の間隔をその近傍の地導体間隔
    より拡大したことを特徴とする請求項8ないし11のい
    ずれか1項に記載の高周波フィルタ。
  12. 【請求項12】 上記中心導体と地導体とを超伝導材で
    構成したことを特徴とする請求項1ないし12にのいず
    れか1項に記載の高周波フィルタ。
  13. 【請求項13】 上記誘電体基板を、上記誘電体基板の
    地導体間隔よりも大きな幅を有する溝を設けた導体上に
    配置したことを特徴とする請求項1ないし12のいずれ
    か1項に記載の高周波フィルタ。
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