JPH09239653A - 研磨装置 - Google Patents
研磨装置Info
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- JPH09239653A JPH09239653A JP8048676A JP4867696A JPH09239653A JP H09239653 A JPH09239653 A JP H09239653A JP 8048676 A JP8048676 A JP 8048676A JP 4867696 A JP4867696 A JP 4867696A JP H09239653 A JPH09239653 A JP H09239653A
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- Japan
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- coronal
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- employment
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- Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 被加工物と冠状雇いを高精度に研磨装置に調
整位置決めでき、研磨加工の低コスト化及び高精度化を
図る。 【解決手段】 被加工物シフト調整板１４で被加工物３
の水平方向の移動調整を行うと共に、被加工物チルト調
整板１５で被加工物３の傾斜調整を行って、研磨装置の
下軸１２の中心軸と被加工物３の中心軸とを合わせる。
次いで、被加工物３の位置はそのままの状態で、冠状雇
いシフト調整板１７で冠状雇い１９の水平方向の移動を
行うと共に、Ｚ調整軸１８により冠状雇いシフト調整板
１７の上面に対して垂直方向の移動及び傾斜を調整す
る。この冠状雇い１９の移動調整により、冠状雇い１９
の加工工具接地面２２が被加工物３の加工面５のあたか
も延長面となるように位置決めできる。
整位置決めでき、研磨加工の低コスト化及び高精度化を
図る。 【解決手段】 被加工物シフト調整板１４で被加工物３
の水平方向の移動調整を行うと共に、被加工物チルト調
整板１５で被加工物３の傾斜調整を行って、研磨装置の
下軸１２の中心軸と被加工物３の中心軸とを合わせる。
次いで、被加工物３の位置はそのままの状態で、冠状雇
いシフト調整板１７で冠状雇い１９の水平方向の移動を
行うと共に、Ｚ調整軸１８により冠状雇いシフト調整板
１７の上面に対して垂直方向の移動及び傾斜を調整す
る。この冠状雇い１９の移動調整により、冠状雇い１９
の加工工具接地面２２が被加工物３の加工面５のあたか
も延長面となるように位置決めできる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ミラーやレンズな
どの光学素子あるいは成形用金型の研磨またはスム−ジ
ング加工に用いられる研磨装置に関する。
どの光学素子あるいは成形用金型の研磨またはスム−ジ
ング加工に用いられる研磨装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、光学素子などの被加工物を研磨加
工する方法を図２により説明する。まず、研磨機下軸１
に取り付けられた貼り付け皿２上にレンズ等の被加工物
３を載置し、被加工物３を回転させながらその側面の振
れが最小となる位置に移動させることにより、研磨機下
軸１の中心と被加工物３の中心を一致させ、その状態で
貼り付け皿２に被加工物３を貼り付ける。次いで、ポリ
シャ４を被加工物３に押圧し、被加工物３とポリシャ４
の双方を回転させ、更にポリシャ４を被加工物３の一断
面上を往復揺動させることで研磨加工を行っている。そ
の際、被加工物３の外周部で図示のようにポリシャ４が
被加工物３からはみ出すことにより、ポリシャ４内での
研磨圧力変動がおこり、このことが原因で被加工物３の
加工面５の外縁部に縁だれが発生してしまう。この縁だ
れの発生を防止するために、従来、次の２つの対策が採
られている。
工する方法を図２により説明する。まず、研磨機下軸１
に取り付けられた貼り付け皿２上にレンズ等の被加工物
３を載置し、被加工物３を回転させながらその側面の振
れが最小となる位置に移動させることにより、研磨機下
軸１の中心と被加工物３の中心を一致させ、その状態で
貼り付け皿２に被加工物３を貼り付ける。次いで、ポリ
シャ４を被加工物３に押圧し、被加工物３とポリシャ４
の双方を回転させ、更にポリシャ４を被加工物３の一断
面上を往復揺動させることで研磨加工を行っている。そ
の際、被加工物３の外周部で図示のようにポリシャ４が
被加工物３からはみ出すことにより、ポリシャ４内での
研磨圧力変動がおこり、このことが原因で被加工物３の
加工面５の外縁部に縁だれが発生してしまう。この縁だ
れの発生を防止するために、従来、次の２つの対策が採
られている。
【０００３】図３に示す第１の対策は、被加工物３の口
径を最終的に必要とする有効径６よりも大きくし、有効
径６の外側にポリシャ４を退避させる領域をとっておく
ものである。これにより、研磨加工時にポリシャ４が被
加工物３からはみ出さなくなるので、ポリシャ４内での
圧力変動はなくなり、縁だれを防止できる。被加工物３
の有効径６の外側の領域は、最終的に切り出し加工によ
り取り除かれる。
径を最終的に必要とする有効径６よりも大きくし、有効
径６の外側にポリシャ４を退避させる領域をとっておく
ものである。これにより、研磨加工時にポリシャ４が被
加工物３からはみ出さなくなるので、ポリシャ４内での
圧力変動はなくなり、縁だれを防止できる。被加工物３
の有効径６の外側の領域は、最終的に切り出し加工によ
り取り除かれる。
【０００４】また、図４に示す第２の対策は、被加工物
３の外周に冠状雇い７を設けるものである。冠状雇い７
の上面８はポリシャ４の退避幅を有し、その内周面には
ねじ９が施され、貼り付け皿１０の外周面のねじ１１に
結合されるようになっている。冠状雇い７を回転して上
下にねじ送りすることで、被加工物３の加工面５と冠状
雇い７の上面８とが同一面になるように位置決めし、加
工時のポリシャ４内の研磨圧力の変動を防ぎ、縁だれの
発生を防止している。
３の外周に冠状雇い７を設けるものである。冠状雇い７
の上面８はポリシャ４の退避幅を有し、その内周面には
ねじ９が施され、貼り付け皿１０の外周面のねじ１１に
結合されるようになっている。冠状雇い７を回転して上
下にねじ送りすることで、被加工物３の加工面５と冠状
雇い７の上面８とが同一面になるように位置決めし、加
工時のポリシャ４内の研磨圧力の変動を防ぎ、縁だれの
発生を防止している。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、被加工
物の大口径化に伴い、上記図３に示す第１の対策では、
被加工物３の有効径６の外側にポリシャ退避分を余分に
必要とするため、材料コスト的な損失が大きい。
物の大口径化に伴い、上記図３に示す第１の対策では、
被加工物３の有効径６の外側にポリシャ退避分を余分に
必要とするため、材料コスト的な損失が大きい。
【０００６】また、図４に示す第２の対策においては、
被加工物３の中心軸と冠状雇い７の中心軸と研磨機下軸
１の中心軸との３軸を、一致させなければならないが、
これらは全て機械加工精度によって決定されてしまい、
被加工物の大口径化に伴って誤差が増大してしまう。更
に、被加工物が大口径になるに従い、大型・高重量の冠
状雇いの設置作業等を考慮して冠状雇い７と被加工物３
との隙間を大きくする必要があり、また加工誤差も大き
くなるため、位置決め精度も低下していく。また、冠状
雇い７は、その上面８を被加工物３の加工面５と一致さ
せなければならないが、高さ方向は調整可能であるが、
倒れ方向は調整不可能であり、冠状雇い７の上面８が傾
斜している場合などには、上面８を被加工物３の加工面
５に連続的に一致させることができない。更に、ねじ部
径が大きくなってくると、冠状雇い７の回転操作が非常
に困難になってくるという問題がある。
被加工物３の中心軸と冠状雇い７の中心軸と研磨機下軸
１の中心軸との３軸を、一致させなければならないが、
これらは全て機械加工精度によって決定されてしまい、
被加工物の大口径化に伴って誤差が増大してしまう。更
に、被加工物が大口径になるに従い、大型・高重量の冠
状雇いの設置作業等を考慮して冠状雇い７と被加工物３
との隙間を大きくする必要があり、また加工誤差も大き
くなるため、位置決め精度も低下していく。また、冠状
雇い７は、その上面８を被加工物３の加工面５と一致さ
せなければならないが、高さ方向は調整可能であるが、
倒れ方向は調整不可能であり、冠状雇い７の上面８が傾
斜している場合などには、上面８を被加工物３の加工面
５に連続的に一致させることができない。更に、ねじ部
径が大きくなってくると、冠状雇い７の回転操作が非常
に困難になってくるという問題がある。
【０００７】本発明は、上記の問題点を解決し、研磨加
工の低コスト化及び高精度化が図れる研磨装置を提供す
ることを目的とする。
工の低コスト化及び高精度化が図れる研磨装置を提供す
ることを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記問題点を解決するた
めに、本発明は、被加工物よりも小径な加工工具を用い
て被加工物を研磨またはスム−ジングするときに、前記
被加工物の加工面がその外周側で連続的に接続されるよ
うな加工工具接地面を有する冠状雇いを使用する研磨装
置であって、前記冠状雇いの位置を調整するために、冠
状雇いに対して、水平２方向の移動と該２方向によって
決定される１平面の２方向の各傾斜角と該１平面に対す
る垂直方向の移動とを任意に調整可能な冠状雇い調整機
構を設けたものである。
めに、本発明は、被加工物よりも小径な加工工具を用い
て被加工物を研磨またはスム−ジングするときに、前記
被加工物の加工面がその外周側で連続的に接続されるよ
うな加工工具接地面を有する冠状雇いを使用する研磨装
置であって、前記冠状雇いの位置を調整するために、冠
状雇いに対して、水平２方向の移動と該２方向によって
決定される１平面の２方向の各傾斜角と該１平面に対す
る垂直方向の移動とを任意に調整可能な冠状雇い調整機
構を設けたものである。
【０００９】冠状雇い調整機構を有するため、冠状雇い
の位置を任意に調整することができ、被加工物の加工面
の延長上に冠状雇いの加工工具接地面が同一面状に接続
されるように高精度に調整位置決めができる。また、被
加工物の有効径外に余分なポリシャ退避領域を必要とせ
ずに加工が行える。
の位置を任意に調整することができ、被加工物の加工面
の延長上に冠状雇いの加工工具接地面が同一面状に接続
されるように高精度に調整位置決めができる。また、被
加工物の有効径外に余分なポリシャ退避領域を必要とせ
ずに加工が行える。
【００１０】また、上記発明において、更に、前記被加
工物の位置を調整するために、被加工物に対して、水平
２方向の移動と該２方向によって決定される１平面の２
方向の各傾斜角を任意に調整可能な被加工物調整機構を
設けるのが好ましい。
工物の位置を調整するために、被加工物に対して、水平
２方向の移動と該２方向によって決定される１平面の２
方向の各傾斜角を任意に調整可能な被加工物調整機構を
設けるのが好ましい。
【００１１】被加工物調整機構及び冠状雇い調整機構を
用いれば、被加工物の口径の大小や冠状雇い等の機械加
工精度によらずに一定の誤差の範囲内で、被加工物の中
心軸と冠状雇いの中心軸と被加工物を回転駆動する研磨
装置の回転軸との３軸を一致させることができ、且つ被
加工物の加工面と冠状雇いの加工工具接地面とが同一面
状に接続されるように高精度に位置決めができる。
用いれば、被加工物の口径の大小や冠状雇い等の機械加
工精度によらずに一定の誤差の範囲内で、被加工物の中
心軸と冠状雇いの中心軸と被加工物を回転駆動する研磨
装置の回転軸との３軸を一致させることができ、且つ被
加工物の加工面と冠状雇いの加工工具接地面とが同一面
状に接続されるように高精度に位置決めができる。
【００１２】上記において、加工工具と接触する冠状雇
いの加工工具接地面部材に石膏を用いると、研磨または
スム−ジング加工により加工工具接地面が摩耗しても容
易に再生でき、冠状雇いを何回も再利用することができ
る。また、冠状雇いの加工工具接地面部材に被加工物と
同質のガラスを用いると、被加工物の加工面と冠状雇い
の加工工具接地面とが同質になるので、摩耗速度や摺動
抵抗などが同一となり、良好な加工ができると共に、長
時間加工を行っても加工面と加工工具接地面との間に段
差が生じない。また、冠状雇いの加工工具接地面部材に
金属を用いると、摩耗しにくく、長期間の使用が可能と
なる。
いの加工工具接地面部材に石膏を用いると、研磨または
スム−ジング加工により加工工具接地面が摩耗しても容
易に再生でき、冠状雇いを何回も再利用することができ
る。また、冠状雇いの加工工具接地面部材に被加工物と
同質のガラスを用いると、被加工物の加工面と冠状雇い
の加工工具接地面とが同質になるので、摩耗速度や摺動
抵抗などが同一となり、良好な加工ができると共に、長
時間加工を行っても加工面と加工工具接地面との間に段
差が生じない。また、冠状雇いの加工工具接地面部材に
金属を用いると、摩耗しにくく、長期間の使用が可能と
なる。
【００１３】
【発明の実施の形態】以下に本発明の研磨装置の一実施
形態を図１に基づき説明する。図示のように、研磨装置
の下軸１２の上端に取り付けられたベ−ス板１３上に
は、水平２軸（Ｘ１，Ｙ１）方向に自由に移動可能な被
加工物シフト調整板１４が取り付けられている。更に、
被加工物シフト調整板１４上には、３本以上の支柱で支
持され、且つ水平２軸（Ｘ１，Ｙ１）により決定される
１平面に対し任意に２方向の傾斜角（Ａ１，Ｂ１）を調
整できる被加工物チルト調整板１５が取り付けられてい
る。この被加工物チルト調整板１５上には、受け皿１６
に乗せられた被加工物３が取り付けられる。被加工物シ
フト調整板１４と被加工物チルト調整板１５とから被加
工物３の位置を調整する被加工物調整機構が構成され、
被加工物シフト調整板１４と被加工物チルト調整板１５
を調整することで、被加工物３の加工面５の位置をＸ
１、Ｙ１、Ａ１、Ｂ１の４方向に任意に調整できるよう
になっている。
形態を図１に基づき説明する。図示のように、研磨装置
の下軸１２の上端に取り付けられたベ−ス板１３上に
は、水平２軸（Ｘ１，Ｙ１）方向に自由に移動可能な被
加工物シフト調整板１４が取り付けられている。更に、
被加工物シフト調整板１４上には、３本以上の支柱で支
持され、且つ水平２軸（Ｘ１，Ｙ１）により決定される
１平面に対し任意に２方向の傾斜角（Ａ１，Ｂ１）を調
整できる被加工物チルト調整板１５が取り付けられてい
る。この被加工物チルト調整板１５上には、受け皿１６
に乗せられた被加工物３が取り付けられる。被加工物シ
フト調整板１４と被加工物チルト調整板１５とから被加
工物３の位置を調整する被加工物調整機構が構成され、
被加工物シフト調整板１４と被加工物チルト調整板１５
を調整することで、被加工物３の加工面５の位置をＸ
１、Ｙ１、Ａ１、Ｂ１の４方向に任意に調整できるよう
になっている。
【００１４】また、この被加工物調整機構とは別に、被
加工物チルト調整板１５上に、水平２軸（Ｘ２，Ｙ２）
方向に自由に移動可能な冠状雇いシフト調整板１７が取
り付けられており、更に冠状雇いシフト調整板１７上に
は、３本以上の上下（Ｚ）方向に移動可能なＺ調整軸１
８が取り付けられている。これらＺ調整軸１８によって
冠状雇い１９が支持されており、各Ｚ調整軸１８を伸縮
することにより、水平２軸（Ｘ２，Ｙ２）により定まる
１平面に対する垂直（Ｚ）方向及び１平面に対する２方
向の傾斜角（Ａ２，Ｂ２）を調整できるようになってい
る。冠状雇いシフト調整板１７とＺ調整軸１８とから冠
状雇い１９の位置を調整する冠状雇い調整機構が構成さ
れ、冠状雇い１９はＸ２、Ｙ２、Ｚの方向及びＸ２、Ｙ
２の２軸を含む１平面の傾斜角Ａ２、Ｂ２の５軸を任意
に移動調整することが可能となっている。
加工物チルト調整板１５上に、水平２軸（Ｘ２，Ｙ２）
方向に自由に移動可能な冠状雇いシフト調整板１７が取
り付けられており、更に冠状雇いシフト調整板１７上に
は、３本以上の上下（Ｚ）方向に移動可能なＺ調整軸１
８が取り付けられている。これらＺ調整軸１８によって
冠状雇い１９が支持されており、各Ｚ調整軸１８を伸縮
することにより、水平２軸（Ｘ２，Ｙ２）により定まる
１平面に対する垂直（Ｚ）方向及び１平面に対する２方
向の傾斜角（Ａ２，Ｂ２）を調整できるようになってい
る。冠状雇いシフト調整板１７とＺ調整軸１８とから冠
状雇い１９の位置を調整する冠状雇い調整機構が構成さ
れ、冠状雇い１９はＸ２、Ｙ２、Ｚの方向及びＸ２、Ｙ
２の２軸を含む１平面の傾斜角Ａ２、Ｂ２の５軸を任意
に移動調整することが可能となっている。
【００１５】冠状雇い１９は、その底部の基板２０上に
加工工具接地面部材２１が設けられたもので、加工工具
接地面部材２１の上面は加工工具であるポリシャ４と接
する加工工具接地面２２となっている。この実施形態で
は、加工工具接地面部材２１は非球面凹レンズである被
加工物３と同質のガラスからなる。なお、冠状雇いの加
工工具接地面部材を石膏で形成したり、あるいは、冠状
雇いを金属で一体成形したりしてもよい。また、被加工
物は球面レンズでも、あるいはミラーや成形用金型でも
よい。
加工工具接地面部材２１が設けられたもので、加工工具
接地面部材２１の上面は加工工具であるポリシャ４と接
する加工工具接地面２２となっている。この実施形態で
は、加工工具接地面部材２１は非球面凹レンズである被
加工物３と同質のガラスからなる。なお、冠状雇いの加
工工具接地面部材を石膏で形成したり、あるいは、冠状
雇いを金属で一体成形したりしてもよい。また、被加工
物は球面レンズでも、あるいはミラーや成形用金型でも
よい。
【００１６】次に、被加工物３と冠状雇い１９とを研磨
装置に調整位置決めして取り付ける方法を述べる。ま
ず、研磨装置の下軸１２と被加工物３の中心軸とを合わ
せる。これには、被加工物シフト調整板１４で被加工物
３の水平方向の移動調整を行うと共に、被加工物チルト
調整板１５で被加工物３の傾斜調整を行って軸合わせを
する。なお、高さ方向（上下方向）の調整はポリシャ４
側で行う。
装置に調整位置決めして取り付ける方法を述べる。ま
ず、研磨装置の下軸１２と被加工物３の中心軸とを合わ
せる。これには、被加工物シフト調整板１４で被加工物
３の水平方向の移動調整を行うと共に、被加工物チルト
調整板１５で被加工物３の傾斜調整を行って軸合わせを
する。なお、高さ方向（上下方向）の調整はポリシャ４
側で行う。
【００１７】次いで、被加工物３と冠状雇い１９との位
置調整を行う。これは、被加工物３の位置はそのまま
で、冠状雇い１９の位置を冠状雇いシフト調整板１７及
びＺ調整軸１８により調整する。即ち、冠状雇いシフト
調整板１７で冠状雇い１９の水平方向の移動を行うと共
に、Ｚ調整軸１８により冠状雇いシフト調整板１７の上
面に対して垂直方向の移動及び傾斜を調整する。この
際、触針式表面測定機を用いながら冠状雇い１９の加工
工具接地面２２を移動調整して、加工工具接地面２２が
被加工物３の加工面５のあたかも延長面となるよう位置
決めを行う。
置調整を行う。これは、被加工物３の位置はそのまま
で、冠状雇い１９の位置を冠状雇いシフト調整板１７及
びＺ調整軸１８により調整する。即ち、冠状雇いシフト
調整板１７で冠状雇い１９の水平方向の移動を行うと共
に、Ｚ調整軸１８により冠状雇いシフト調整板１７の上
面に対して垂直方向の移動及び傾斜を調整する。この
際、触針式表面測定機を用いながら冠状雇い１９の加工
工具接地面２２を移動調整して、加工工具接地面２２が
被加工物３の加工面５のあたかも延長面となるよう位置
決めを行う。
【００１８】上記研磨装置の下軸１２と被加工物３の中
心軸との軸合わせのときには、例えば、Ｚ調整軸１８で
冠状雇い１９を上方に持ち上げておけば支障なく作業が
行え、また、冠状雇い１９を被加工物３の外周部に挿入
するときには、冠状雇いシフト調整板１７及びＺ調整軸
１８を用いれば、冠状雇い１９の内周面と被加工物３の
外周面との隙間が小さくても確実且つ容易に冠状雇い１
９を設置できる。
心軸との軸合わせのときには、例えば、Ｚ調整軸１８で
冠状雇い１９を上方に持ち上げておけば支障なく作業が
行え、また、冠状雇い１９を被加工物３の外周部に挿入
するときには、冠状雇いシフト調整板１７及びＺ調整軸
１８を用いれば、冠状雇い１９の内周面と被加工物３の
外周面との隙間が小さくても確実且つ容易に冠状雇い１
９を設置できる。
【００１９】なお、冠状雇い調整機構（冠状雇いシフト
調整板１７及びＺ調整軸１８）は、被加工物調整機構の
被加工物チルト調整板１５上に設けられているので、ま
ず、冠状雇い調整機構により、冠状雇い１９の加工工具
接地面２２を被加工物３の加工面５の延長面上に位置合
わせした後、被加工物調整機構により、被加工物３及び
冠状雇い１９の中心軸を研磨装置の下軸１２の回転中心
に合わせるようにすることもできる。また、冠状雇い調
整機構と被加工物調整機構とを全く独立に構成するよう
にしてもよい。更に、被加工物調整機構を省略し、冠状
雇い調整機構のみ設けるようにしてもよい。この場合、
被加工物の中心軸と研磨装置の下軸（被加工物の回転駆
動軸）との軸合わせは、従来のように、被加工物を回転
させながら、その側面の振れが最小となる位置に被加工
物を手作業で移動させることにより行えばよい。
調整板１７及びＺ調整軸１８）は、被加工物調整機構の
被加工物チルト調整板１５上に設けられているので、ま
ず、冠状雇い調整機構により、冠状雇い１９の加工工具
接地面２２を被加工物３の加工面５の延長面上に位置合
わせした後、被加工物調整機構により、被加工物３及び
冠状雇い１９の中心軸を研磨装置の下軸１２の回転中心
に合わせるようにすることもできる。また、冠状雇い調
整機構と被加工物調整機構とを全く独立に構成するよう
にしてもよい。更に、被加工物調整機構を省略し、冠状
雇い調整機構のみ設けるようにしてもよい。この場合、
被加工物の中心軸と研磨装置の下軸（被加工物の回転駆
動軸）との軸合わせは、従来のように、被加工物を回転
させながら、その側面の振れが最小となる位置に被加工
物を手作業で移動させることにより行えばよい。
【００２０】研磨加工の際には、被加工物３の加工面５
に遊離砥粒を供給しながら被加工物３及びポリシャ４を
回転させ且つポリシャ４を加工面５に押圧させつつ加工
面５上を往復揺動させることで研磨加工を行う。被加工
物３の外周部には冠状雇い１９の加工工具接地面２２が
被加工物３の加工面５の延長面のように存在するので、
図３に示すポリシャ退避領域を有する大口径の被加工物
を研磨するのと同様な良好な研磨ができる。
に遊離砥粒を供給しながら被加工物３及びポリシャ４を
回転させ且つポリシャ４を加工面５に押圧させつつ加工
面５上を往復揺動させることで研磨加工を行う。被加工
物３の外周部には冠状雇い１９の加工工具接地面２２が
被加工物３の加工面５の延長面のように存在するので、
図３に示すポリシャ退避領域を有する大口径の被加工物
を研磨するのと同様な良好な研磨ができる。
【００２１】なお、上記の実施形態では、ポリシャによ
って被加工物の研磨加工を行う場合を述べたが、被加工
物よりも小径な加工工具でスム−ジングを行う場合に
は、被加工物と接触する加工工具の表面部材にエポキシ
樹脂等の樹脂を用い、この樹脂製の表面部材と加工工具
の基体との間にシリコーンゴム等の弾性部材を設けたも
の（スム−ジング工具）を使用するのがよい。このスム
−ジング工具を用いれば、被加工物の加工面の形状に従
ってスム−ジング工具の表面部材が変形するので、加工
面の凹部などにも表面部材が密接し、遊離砥粒による良
好なスム−ジングが行える。
って被加工物の研磨加工を行う場合を述べたが、被加工
物よりも小径な加工工具でスム−ジングを行う場合に
は、被加工物と接触する加工工具の表面部材にエポキシ
樹脂等の樹脂を用い、この樹脂製の表面部材と加工工具
の基体との間にシリコーンゴム等の弾性部材を設けたも
の（スム−ジング工具）を使用するのがよい。このスム
−ジング工具を用いれば、被加工物の加工面の形状に従
ってスム−ジング工具の表面部材が変形するので、加工
面の凹部などにも表面部材が密接し、遊離砥粒による良
好なスム−ジングが行える。
【００２２】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
冠状雇い調整機構を有するため、冠状雇いの位置を任意
に調整することができ、被加工物の加工面の延長上に冠
状雇いの加工工具接地面が同一面状に接続されるように
高精度に調整位置決めができる。更に、被加工物調整機
構及び冠状雇い調整機構を用いることにより、被加工物
と冠状雇いの位置を調整することができ、被加工物の口
径の大小や冠状雇い等の機械加工精度によらずに一定の
取り付け誤差の範囲内で、被加工物の中心軸と冠状雇い
の中心軸と被加工物を回転駆動する研磨装置の回転軸と
の３軸を一致させることができ、且つ被加工物の加工面
と冠状雇いの加工工具接地面とが同一面状に接続される
ように高精度に且つ容易に研磨装置に取り付けることが
できる。従って、大口径の被加工物でも高精度の加工が
行える。また、被加工物の有効径の外側に余分なポリシ
ャ退避領域を必要とせずに加工が行え、材料の低コスト
化が図れる。
冠状雇い調整機構を有するため、冠状雇いの位置を任意
に調整することができ、被加工物の加工面の延長上に冠
状雇いの加工工具接地面が同一面状に接続されるように
高精度に調整位置決めができる。更に、被加工物調整機
構及び冠状雇い調整機構を用いることにより、被加工物
と冠状雇いの位置を調整することができ、被加工物の口
径の大小や冠状雇い等の機械加工精度によらずに一定の
取り付け誤差の範囲内で、被加工物の中心軸と冠状雇い
の中心軸と被加工物を回転駆動する研磨装置の回転軸と
の３軸を一致させることができ、且つ被加工物の加工面
と冠状雇いの加工工具接地面とが同一面状に接続される
ように高精度に且つ容易に研磨装置に取り付けることが
できる。従って、大口径の被加工物でも高精度の加工が
行える。また、被加工物の有効径の外側に余分なポリシ
ャ退避領域を必要とせずに加工が行え、材料の低コスト
化が図れる。
【図１】本発明に係る研磨装置の一実施形態を示す概略
縦断面図である。
縦断面図である。
【図２】従来の研磨機の縦断面図である。
【図３】従来の縁だれ防止を図った研磨機の縦断面図で
ある。
ある。
【図４】従来の縁だれ防止を図った研磨機の縦断面図で
ある。
ある。
１ 研磨機下軸 ２ 貼り付け皿 ３ 被加工物 ４ ポリシャ ５ 加工面 ６ 有効径 ７ 冠状雇い ８ 上面 ９ ねじ １０ 貼り付け皿 １１ ねじ １２ 研磨装置の下軸 １３ ベース板 １４ 被加工物シフト調整板 １５ 被加工物チルト調整板 １６ 受け皿 １７ 冠状雇いシフト調整板 １８ Ｚ調整軸 １９ 冠状雇い ２０ 基板 ２１ 加工工具接地面部材 ２２ 加工工具接地面
Claims (5)
- 【請求項１】 被加工物よりも小径な加工工具を用いて
被加工物を研磨またはスム−ジングするときに、前記被
加工物の加工面がその外周側で連続的に接続されるよう
な加工工具接地面を有する冠状雇いを使用する研磨装置
において、前記冠状雇いの位置を調整するために、冠状
雇いに対して、水平２方向の移動と該２方向によって決
定される１平面の２方向の各傾斜角と該１平面に対する
垂直方向の移動とを任意に調整可能な冠状雇い調整機構
を設けたことを特徴とする研磨装置。 - 【請求項２】 前記被加工物の位置を調整するために、
被加工物に対して、水平２方向の移動と該２方向によっ
て決定される１平面の２方向の各傾斜角を任意に調整可
能な被加工物調整機構を設けたことを特徴とする請求項
１記載の研磨装置。 - 【請求項３】 前記加工工具と接触する前記冠状雇いの
加工工具接地面部材に、石膏を用いたことを特徴とする
請求項１または２記載の研磨装置。 - 【請求項４】 前記加工工具と接触する前記冠状雇いの
加工工具接地面部材に、前記被加工物と同質のガラスを
用いたことを特徴とする請求項１または２記載の研磨装
置。 - 【請求項５】 前記加工工具と接触する前記冠状雇いの
加工工具接地面部材に、金属を用いたことを特徴とする
請求項１または２記載の研磨装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8048676A JPH09239653A (ja) | 1996-03-06 | 1996-03-06 | 研磨装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8048676A JPH09239653A (ja) | 1996-03-06 | 1996-03-06 | 研磨装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09239653A true JPH09239653A (ja) | 1997-09-16 |
Family
ID=12809932
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8048676A Pending JPH09239653A (ja) | 1996-03-06 | 1996-03-06 | 研磨装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09239653A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2009096219A1 (ja) * | 2008-01-31 | 2009-08-06 | Konica Minolta Opto, Inc. | 金型加工方法、射出成形用金型、及び光学素子 |
| WO2020202696A1 (ja) * | 2019-03-29 | 2020-10-08 | 株式会社ロジストラボ | 光学素子の製造方法 |
| JP2021119393A (ja) * | 2015-12-02 | 2021-08-12 | カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー | 光学面を研磨する方法及び光学素子 |
| CN115319625A (zh) * | 2022-08-11 | 2022-11-11 | 浙江百康光学股份有限公司 | 工件抛光工艺 |
-
1996
- 1996-03-06 JP JP8048676A patent/JPH09239653A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2009096219A1 (ja) * | 2008-01-31 | 2009-08-06 | Konica Minolta Opto, Inc. | 金型加工方法、射出成形用金型、及び光学素子 |
| JP2021119393A (ja) * | 2015-12-02 | 2021-08-12 | カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー | 光学面を研磨する方法及び光学素子 |
| WO2020202696A1 (ja) * | 2019-03-29 | 2020-10-08 | 株式会社ロジストラボ | 光学素子の製造方法 |
| JP2020166135A (ja) * | 2019-03-29 | 2020-10-08 | 株式会社ロジストラボ | 光学素子の製造方法 |
| CN115319625A (zh) * | 2022-08-11 | 2022-11-11 | 浙江百康光学股份有限公司 | 工件抛光工艺 |
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