JPH09231918A - 両面ゲッター - Google Patents
両面ゲッターInfo
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- JPH09231918A JPH09231918A JP3649096A JP3649096A JPH09231918A JP H09231918 A JPH09231918 A JP H09231918A JP 3649096 A JP3649096 A JP 3649096A JP 3649096 A JP3649096 A JP 3649096A JP H09231918 A JPH09231918 A JP H09231918A
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- Common Detailed Techniques For Electron Tubes Or Discharge Tubes (AREA)
- Vessels, Lead-In Wires, Accessory Apparatuses For Cathode-Ray Tubes (AREA)
- Cathode-Ray Tubes And Fluorescent Screens For Display (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】表示素子の外囲器の内面に広い面積のミラー部
を形成できるゲッターを提供する。 【解決手段】両面ゲッター１は、ゲッターリング２とゲ
ッターリング２内に収納されたゲッター物質３とを有し
ている。ゲッターリング２は、上面と下面が環状に開口
した上下一対の環状の収納部４，４を有する。ゲッター
物質は、ＢａＡｌ 4 合金とＮｉ粉の混合にＦｅ4 Ｎ化合
物を添加している。両面ゲッター１は支持柱６によって
外囲器内の所定位置に設置される。外囲器の内部を真空
状態に排気して排気孔を閉止し、外部から高周波を両面
ゲッター１に当て、ゲッター物質３を加熱して上側と下
側のそれぞれの面７，７に向けて蒸発させる。各面７，
７には、それぞれゲッター物質のミラー部８，８が形成
される。外囲器の内面には従来よりも広い面積のミラー
部が形成できる。
を形成できるゲッターを提供する。 【解決手段】両面ゲッター１は、ゲッターリング２とゲ
ッターリング２内に収納されたゲッター物質３とを有し
ている。ゲッターリング２は、上面と下面が環状に開口
した上下一対の環状の収納部４，４を有する。ゲッター
物質は、ＢａＡｌ 4 合金とＮｉ粉の混合にＦｅ4 Ｎ化合
物を添加している。両面ゲッター１は支持柱６によって
外囲器内の所定位置に設置される。外囲器の内部を真空
状態に排気して排気孔を閉止し、外部から高周波を両面
ゲッター１に当て、ゲッター物質３を加熱して上側と下
側のそれぞれの面７，７に向けて蒸発させる。各面７，
７には、それぞれゲッター物質のミラー部８，８が形成
される。外囲器の内面には従来よりも広い面積のミラー
部が形成できる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、各種表示素子等の
外囲器内部の真空度を保持するゲッターに関する。
外囲器内部の真空度を保持するゲッターに関する。
【０００２】
【従来の技術】一般的な蛍光表示管は、ガラス等の絶縁
基板を箱形に組み立てた外囲器の内部に、電子を放出す
る陰極と、放出された電子を制御する制御電極と、蛍光
体層を備えて電子の射突により発光する陽極とを有して
いる。外囲器の内部は高真空に保持されており、外囲器
の内部において陰極から放出された電子は制御電極に制
御され、陽極に射突して蛍光体層を発光させる。
基板を箱形に組み立てた外囲器の内部に、電子を放出す
る陰極と、放出された電子を制御する制御電極と、蛍光
体層を備えて電子の射突により発光する陽極とを有して
いる。外囲器の内部は高真空に保持されており、外囲器
の内部において陰極から放出された電子は制御電極に制
御され、陽極に射突して蛍光体層を発光させる。
【０００３】前記蛍光表示管のように内部を高真空状態
に保持された容器を有する電子素子においては、該容器
内の真空度を保持するためにゲッターが設けられる。図
９は、蛍光表示管の外囲器内等に設けられる一般的な蒸
発型のゲッターを示している。ゲッター５１は、ゲッタ
ーリング５２と呼ばれる環状で上面が開放された容器
と、ゲッターリング５２内に収納されたゲッター物質５
３とを有している。ゲッター物質は、通常Ｂａ、Ａｌ、
Ｎｉ等の粉末からなる。
に保持された容器を有する電子素子においては、該容器
内の真空度を保持するためにゲッターが設けられる。図
９は、蛍光表示管の外囲器内等に設けられる一般的な蒸
発型のゲッターを示している。ゲッター５１は、ゲッタ
ーリング５２と呼ばれる環状で上面が開放された容器
と、ゲッターリング５２内に収納されたゲッター物質５
３とを有している。ゲッター物質は、通常Ｂａ、Ａｌ、
Ｎｉ等の粉末からなる。
【０００４】例えば、蛍光表示管の製造の最終工程にお
いては、外囲器に形成された排気孔から外囲器内を排気
した後、排気孔を蓋部材等で閉止する。その後、外囲器
内に設けられたゲッター５１に外囲器の外から高周波を
当て、ゲッターリング５２にうず電流を発生させて発熱
させ、ゲッター物質を加熱蒸発させる。蒸発したゲッタ
ー物質は、ゲッターリングが対面する外囲器の内面に蒸
着し、ミラー部を形成する。このＢａ等の薄膜からなる
ミラー部が外囲器内の残留ガスを吸蔵するゲッターポン
プとして機能する。
いては、外囲器に形成された排気孔から外囲器内を排気
した後、排気孔を蓋部材等で閉止する。その後、外囲器
内に設けられたゲッター５１に外囲器の外から高周波を
当て、ゲッターリング５２にうず電流を発生させて発熱
させ、ゲッター物質を加熱蒸発させる。蒸発したゲッタ
ー物質は、ゲッターリングが対面する外囲器の内面に蒸
着し、ミラー部を形成する。このＢａ等の薄膜からなる
ミラー部が外囲器内の残留ガスを吸蔵するゲッターポン
プとして機能する。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ＦＥＤ（電界放出形表
示素子）のように薄型でデッドスペースを特徴とする真
空容器を備えた表示素子において、前述したような蒸発
型のゲッターによって残留ガスの吸着を行おうとすれ
ば、形成されるミラー部の面積を十分に大きくすること
が必要であるが、従来のゲッターはこのような要求に十
分応えているとはいえなかった。
示素子）のように薄型でデッドスペースを特徴とする真
空容器を備えた表示素子において、前述したような蒸発
型のゲッターによって残留ガスの吸着を行おうとすれ
ば、形成されるミラー部の面積を十分に大きくすること
が必要であるが、従来のゲッターはこのような要求に十
分応えているとはいえなかった。
【０００６】本発明は、表示素子等の真空容器の内面に
広い面積のミラー部を形成できるゲッターを提供するこ
とを目的としている。
広い面積のミラー部を形成できるゲッターを提供するこ
とを目的としている。
【０００７】請求項１に記載された両面ゲッターは、互
いに反対方向に開口した一対の収納部と、各収納部内に
それぞれ収納されたゲッター物質とを有し、対面する一
対のゲッター膜形成面にそれぞれミラー部を形成する。
いに反対方向に開口した一対の収納部と、各収納部内に
それぞれ収納されたゲッター物質とを有し、対面する一
対のゲッター膜形成面にそれぞれミラー部を形成する。
【０００８】
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態の第１の例を
図１によって説明する。両面ゲッター１は、ゲッターリ
ング２と呼ばれる環状の容器と、ゲッターリング２内に
収納されたゲッター物質３とを有している。このゲッタ
ーリング２は、上面と下面がそれぞれ環状に開口した一
対の環状の収納部４，４を有している。ゲッターリング
２はＮｉメッキした純鉄からなり、上下の両収納部４，
４は一体に構成されている。ゲッター物質３は、Ｂａ，
Ａｌ，Ｎｉ粉末の混合物であるが、これにＦｅ4 Ｎ化合
物を添加して、蒸発時にＮ2 を瞬間的に多量に発生させ
てＢａの蒸着膜を多孔質にし、吸蔵効果を向上させる場
合もある。
図１によって説明する。両面ゲッター１は、ゲッターリ
ング２と呼ばれる環状の容器と、ゲッターリング２内に
収納されたゲッター物質３とを有している。このゲッタ
ーリング２は、上面と下面がそれぞれ環状に開口した一
対の環状の収納部４，４を有している。ゲッターリング
２はＮｉメッキした純鉄からなり、上下の両収納部４，
４は一体に構成されている。ゲッター物質３は、Ｂａ，
Ａｌ，Ｎｉ粉末の混合物であるが、これにＦｅ4 Ｎ化合
物を添加して、蒸発時にＮ2 を瞬間的に多量に発生させ
てＢａの蒸着膜を多孔質にし、吸蔵効果を向上させる場
合もある。
【０００９】収納部４の中心の孔５には、支持柱６が挿
入固定されている。支持柱６の長さは収納部４の厚さよ
りも大きく、両面ゲッター１が収納される空間、例えば
外囲器の対向する一対の面７，７の間隔に相当する。支
持柱６の上下両端は前記一対の面７，７にそれぞれ接触
しており、両面ゲッター１を一対の面７，７の間に保持
している。
入固定されている。支持柱６の長さは収納部４の厚さよ
りも大きく、両面ゲッター１が収納される空間、例えば
外囲器の対向する一対の面７，７の間隔に相当する。支
持柱６の上下両端は前記一対の面７，７にそれぞれ接触
しており、両面ゲッター１を一対の面７，７の間に保持
している。
【００１０】外囲器の内部を真空状態に排気して排気孔
を閉止した後、外囲器外部から高周波を両面ゲッター１
に当て、ゲッター物質３を加熱して上側と下側のそれぞ
れの面７，７に向けて蒸発させる。各収納部４，４にそ
れぞれ対面するゲッター膜形成面としての外囲器の各面
７，７には、それぞれゲッター物質のミラー部８，８が
形成される。外囲器の内面には従来よりも広い面積のミ
ラー部が形成できる。
を閉止した後、外囲器外部から高周波を両面ゲッター１
に当て、ゲッター物質３を加熱して上側と下側のそれぞ
れの面７，７に向けて蒸発させる。各収納部４，４にそ
れぞれ対面するゲッター膜形成面としての外囲器の各面
７，７には、それぞれゲッター物質のミラー部８，８が
形成される。外囲器の内面には従来よりも広い面積のミ
ラー部が形成できる。
【００１１】本発明の実施の形態の第２の例を図２によ
って説明する。この両面ゲッター１１は第１の例の両面
ゲッター１と略同一の構造であるが、上側の収納部４ａ
と下側の収納部４ｂとがそれぞれ別部材から構成され、
両者が溶接等の手段によって一体化されている点が異な
る。その他の構成及び外囲器内への取り付け構造、ゲッ
ター物質３を加熱蒸発させてミラー部８を形成する手段
・手順等は第１の例と同一である。
って説明する。この両面ゲッター１１は第１の例の両面
ゲッター１と略同一の構造であるが、上側の収納部４ａ
と下側の収納部４ｂとがそれぞれ別部材から構成され、
両者が溶接等の手段によって一体化されている点が異な
る。その他の構成及び外囲器内への取り付け構造、ゲッ
ター物質３を加熱蒸発させてミラー部８を形成する手段
・手順等は第１の例と同一である。
【００１２】本発明の実施の形態の第３の例を図７及び
図８によって説明する。この例は、第１及び第２の例で
説明した両面ゲッター１又は１１を有するＦＥＤ（電界
放出型素子を電子源とする蛍光表示素子）に関する。図
７は、電界放出素子を用いた蛍光表示装置の断面図であ
る。この蛍光表示装置１００の外囲器１０１は、対面す
るカソード基板１０２とアノード基板１０３をスペーサ
１０４を介して封着した構造となっている。カソード基
板１０２の内面には電界放出素子が設けられ、これと対
面するようにアノード基板１０３の内面には蛍光体を備
えた表示部としてのアノード電極が設けられている。電
界放出素子とアノード電極を可能な限り接近させるた
め、スペーサ１０４の厚さは一般に５００μｍ以下に設
定される。
図８によって説明する。この例は、第１及び第２の例で
説明した両面ゲッター１又は１１を有するＦＥＤ（電界
放出型素子を電子源とする蛍光表示素子）に関する。図
７は、電界放出素子を用いた蛍光表示装置の断面図であ
る。この蛍光表示装置１００の外囲器１０１は、対面す
るカソード基板１０２とアノード基板１０３をスペーサ
１０４を介して封着した構造となっている。カソード基
板１０２の内面には電界放出素子が設けられ、これと対
面するようにアノード基板１０３の内面には蛍光体を備
えた表示部としてのアノード電極が設けられている。電
界放出素子とアノード電極を可能な限り接近させるた
め、スペーサ１０４の厚さは一般に５００μｍ以下に設
定される。
【００１３】外囲器１０１内のカソード基板１０２上に
形成された電界放出素子１０５は、表示部の電子源であ
る。図８に示すように、電界放出素子１０５は、カソー
ド基板１０２の内面に形成されたカソード電極１０６
と、カソード電極１０６上に形成された抵抗層１０７
と、該抵抗層１０７上に形成された絶縁層１０８と、該
絶縁層１０８上に形成されたゲート電極１０９と、さら
に前記絶縁層１０８及びゲート電極１０９に形成された
ホール１１０内において前記抵抗層１０７上に設けられ
たコーン形状のエミッタ１１１とを有している。
形成された電界放出素子１０５は、表示部の電子源であ
る。図８に示すように、電界放出素子１０５は、カソー
ド基板１０２の内面に形成されたカソード電極１０６
と、カソード電極１０６上に形成された抵抗層１０７
と、該抵抗層１０７上に形成された絶縁層１０８と、該
絶縁層１０８上に形成されたゲート電極１０９と、さら
に前記絶縁層１０８及びゲート電極１０９に形成された
ホール１１０内において前記抵抗層１０７上に設けられ
たコーン形状のエミッタ１１１とを有している。
【００１４】外囲器１０１内のアノード基板１０３の内
面に形成されたアノード電極１１２は、前記電界放出素
子１０５と対面する位置に設けられる。アノード電極１
１２は、アノード基板１０３上に設けられた透光性の陽
極導体１１３と、該陽極導体１１３上に設けられた蛍光
体層１１４からなる。従って、前記電界放出素子１０５
から放出された電子がアノード電極１１２の蛍光体層１
１４に射突してこれを発光させれば、その発光は前記陽
極導体１１３と透光性の前記アノード基板１０３を介し
て観察される。
面に形成されたアノード電極１１２は、前記電界放出素
子１０５と対面する位置に設けられる。アノード電極１
１２は、アノード基板１０３上に設けられた透光性の陽
極導体１１３と、該陽極導体１１３上に設けられた蛍光
体層１１４からなる。従って、前記電界放出素子１０５
から放出された電子がアノード電極１１２の蛍光体層１
１４に射突してこれを発光させれば、その発光は前記陽
極導体１１３と透光性の前記アノード基板１０３を介し
て観察される。
【００１５】図７に示すように、外囲器１０１のカソー
ド基板１０２の裏面には箱形のゲッター室１２０が設け
られている。ゲッター室１２０の内部と、外囲器１０１
の内部とは、外囲器１０１のカソード基板１０２に形成
された排気孔１１５で導通している。ゲッター室１２０
には排気管１２１が接続連通されている。外囲器１０１
の製造工程において、外囲器１０１の内部は、排気管１
２１からゲッター室１２０及び排気孔１１５を介して排
気される。
ド基板１０２の裏面には箱形のゲッター室１２０が設け
られている。ゲッター室１２０の内部と、外囲器１０１
の内部とは、外囲器１０１のカソード基板１０２に形成
された排気孔１１５で導通している。ゲッター室１２０
には排気管１２１が接続連通されている。外囲器１０１
の製造工程において、外囲器１０１の内部は、排気管１
２１からゲッター室１２０及び排気孔１１５を介して排
気される。
【００１６】図７に示すように、前記ゲッター室１２０
内に前記両面ゲッター１又は１１を設けることができ
る。外部から高周波等の手段によってこの両面ゲッター
１，１１を加熱してゲッター物質３を蒸発させれば、ゲ
ッター室１２０の対面する２つの内面にミラー部８を蒸
着形成することができる。
内に前記両面ゲッター１又は１１を設けることができ
る。外部から高周波等の手段によってこの両面ゲッター
１，１１を加熱してゲッター物質３を蒸発させれば、ゲ
ッター室１２０の対面する２つの内面にミラー部８を蒸
着形成することができる。
【００１７】本発明の実施の形態の第４の例を図３及び
図４によって説明する。本例の両面ゲッター２１は、第
１の例と同一のゲッター物質３が充填された容器２２を
有している。この容器２２は、断面形状が略Ｈ形であ
り、断面に直交する方向を長手方向とする長体状の部材
である。容器２２の上面と下面はそれぞれ凹部となって
おり、これらの凹部が上下両方向に開口した一対の長い
収納部２３，２４となっている。容器２２は抵抗材料か
らなり、容器全体は一体に構成されている。容器２２の
長手方向の長さは、必要なゲッター物質の量や、ゲッタ
ーを収納する外囲器等のスペースに合わせて適当に調整
する。
図４によって説明する。本例の両面ゲッター２１は、第
１の例と同一のゲッター物質３が充填された容器２２を
有している。この容器２２は、断面形状が略Ｈ形であ
り、断面に直交する方向を長手方向とする長体状の部材
である。容器２２の上面と下面はそれぞれ凹部となって
おり、これらの凹部が上下両方向に開口した一対の長い
収納部２３，２４となっている。容器２２は抵抗材料か
らなり、容器全体は一体に構成されている。容器２２の
長手方向の長さは、必要なゲッター物質の量や、ゲッタ
ーを収納する外囲器等のスペースに合わせて適当に調整
する。
【００１８】容器２２は、外囲器の内部か、又は外囲器
に連通するゲッター室の内部において、その両端に設け
られる図示しない脚部によって設置される。そして、容
器２２の長手方向の両端部から通電することにより、上
下の各収納部２３，２４内のゲッター物質３が加熱され
て蒸発し、それぞれ対面する上下の面７，７にそれぞれ
ミラー部８，８を蒸着形成する。
に連通するゲッター室の内部において、その両端に設け
られる図示しない脚部によって設置される。そして、容
器２２の長手方向の両端部から通電することにより、上
下の各収納部２３，２４内のゲッター物質３が加熱され
て蒸発し、それぞれ対面する上下の面７，７にそれぞれ
ミラー部８，８を蒸着形成する。
【００１９】本発明の実施の形態の第５の例を図５によ
って説明する。この両面ゲッター３１は第４の例の両面
ゲッター２１と略同一の構造であるが、容器３２の長手
方向に沿って上側に開口した上側の収納部３３と、容器
の長手方向に沿って下側に開口した下側の収納部３４と
が、それぞれ別部材から構成され、両者が溶接等の手段
によって一体化されている点が異なる。その他の構成及
び外囲器内への取り付け構造、ゲッター物質３を加熱蒸
発させてミラー部８を形成する手段・手順等は第４の例
と同一である。
って説明する。この両面ゲッター３１は第４の例の両面
ゲッター２１と略同一の構造であるが、容器３２の長手
方向に沿って上側に開口した上側の収納部３３と、容器
の長手方向に沿って下側に開口した下側の収納部３４と
が、それぞれ別部材から構成され、両者が溶接等の手段
によって一体化されている点が異なる。その他の構成及
び外囲器内への取り付け構造、ゲッター物質３を加熱蒸
発させてミラー部８を形成する手段・手順等は第４の例
と同一である。
【００２０】本発明の実施の形態の第６の例を図６によ
って説明する。この両面ゲッターは第１の例の両面ゲッ
ター１と略同一の構造である。第１の例では、ゲッター
リング２の中心の孔５に挿入された支持柱６によって両
面ゲッター１が支持されていたが、本例では、ゲッター
リング２の側周面に固定された支持脚４２，４３によっ
て外囲器内又はゲッター室内等に設置される。支持脚
は、３本の上支持脚４２と、３本の下支持脚４３からな
る。両支持脚４２，４３とも、ゲッターリング２の側周
面に等角度間隔で基端側が固定され、先端側が上方又は
下方に向いている。各支持脚４２，４３の先端側は、当
接する面との接触面積が広くなるように折り曲げられて
いる。
って説明する。この両面ゲッターは第１の例の両面ゲッ
ター１と略同一の構造である。第１の例では、ゲッター
リング２の中心の孔５に挿入された支持柱６によって両
面ゲッター１が支持されていたが、本例では、ゲッター
リング２の側周面に固定された支持脚４２，４３によっ
て外囲器内又はゲッター室内等に設置される。支持脚
は、３本の上支持脚４２と、３本の下支持脚４３からな
る。両支持脚４２，４３とも、ゲッターリング２の側周
面に等角度間隔で基端側が固定され、先端側が上方又は
下方に向いている。各支持脚４２，４３の先端側は、当
接する面との接触面積が広くなるように折り曲げられて
いる。
【００２１】
【発明の効果】本発明の両面ゲッターによれば、ゲッタ
ーを収納している空間を区画する面の対面する二面にミ
ラー部を形成するので、面積の広いミラー部を形成で
き、表示管等の外囲器等のような真空容器に設ければ、
その真空度を維持乃至向上させることができる。また、
ゲッターを収容する空間の容積は小さくてすむ。従っ
て、ＦＥＤ等の薄型表示素子の真空容器等に適用すれ
ば、その薄型であるという利点を損なうことなく、ゲッ
ターポンプとしての高い排気効果を得るゲッターミラー
部を形成することができる。
ーを収納している空間を区画する面の対面する二面にミ
ラー部を形成するので、面積の広いミラー部を形成で
き、表示管等の外囲器等のような真空容器に設ければ、
その真空度を維持乃至向上させることができる。また、
ゲッターを収容する空間の容積は小さくてすむ。従っ
て、ＦＥＤ等の薄型表示素子の真空容器等に適用すれ
ば、その薄型であるという利点を損なうことなく、ゲッ
ターポンプとしての高い排気効果を得るゲッターミラー
部を形成することができる。
【図１】本発明の実施の形態の第１の例を示す断面図で
ある。
ある。
【図２】本発明の実施の形態の第２の例を示す断面図で
ある。
ある。
【図３】本発明の実施の形態の第４の例を示す断面図で
ある。
ある。
【図４】本発明の実施の形態の第４の例を示す斜視図で
ある。
ある。
【図５】本発明の実施の形態の第５の例を示す断面図で
ある。
ある。
【図６】本発明の実施の形態の第６の例を示す斜視図で
ある。
ある。
【図７】本発明の実施の形態の第２の例を示す断面図で
ある。
ある。
【図８】本発明の実施の形態の第２の例が適用される表
示管の拡大断面図である。
示管の拡大断面図である。
【図９】従来のゲッターの斜視図である。
１，１１，２１，，３１ 両面ゲッター ３ ゲッター物質 ４，２３，２４，３３，３４ 収納部 ７ ゲッター膜形成面としての面 ８ ミラー部
Claims (1)
- 【請求項１】 互いに反対方向に開口した一対の収納部
と、各収納部内にそれぞれ収納されたゲッター物質とを
有し、対面する一対のゲッター膜形成面にそれぞれミラ
ー部を形成する両面ゲッター。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3649096A JPH09231918A (ja) | 1996-02-23 | 1996-02-23 | 両面ゲッター |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3649096A JPH09231918A (ja) | 1996-02-23 | 1996-02-23 | 両面ゲッター |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09231918A true JPH09231918A (ja) | 1997-09-05 |
Family
ID=12471273
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3649096A Pending JPH09231918A (ja) | 1996-02-23 | 1996-02-23 | 両面ゲッター |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09231918A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100322453B1 (ko) * | 1999-08-20 | 2002-03-13 | 김순택 | 형광 표시관 |
| JP2006185813A (ja) * | 2004-12-28 | 2006-07-13 | Hitachi Ltd | 表示装置 |
| JP2006185837A (ja) * | 2004-12-28 | 2006-07-13 | Hitachi Displays Ltd | 画像表示装置 |
| JP2006196194A (ja) * | 2005-01-11 | 2006-07-27 | Hitachi Displays Ltd | 画像表示装置 |
| CN1326178C (zh) * | 2003-02-14 | 2007-07-11 | 厦门火炬福大显示技术有限公司 | 全方向蒸散型吸气装置 |
-
1996
- 1996-02-23 JP JP3649096A patent/JPH09231918A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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