JPH09230278A - 光走査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 偏向面を正弦的に揺動させてレーザビームを
往復走査させる際の、偏向周波数の変動に起因する画質
の悪化を防止する。 【解決手段】 走査開始時期検出センサ２６及び走査終
了時期検出センサ２７により実際の走査に要した走査時
間Ｔを測定する。この走査時間Ｔと予め記憶された所望
の走査時間Ｔ_obj とを比較し、両者の差が許容範囲内で
なければ光偏向素子９のコイルパターンに流れる電流量
を調整することにより、光偏向素子９の全偏向角Ａを調
整する。すると、実際の走査時間Ｔを所望の走査時間Ｔ
_obj に一致させることができるので、常に出力画像の画
質は良好である。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、電子計算機から送
られてくるコード化された信号を高速に印字出力する電
子写真方式の記録装置において、レーザビーム等のビー
ムを電子計算機等からの信号に応じて偏向、変調制御す
る光走査装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、電子計算機からの画像情報の記録
を担う記録装置として、電子写真方式による記録装置が
用いられている。以下、このような記録装置に用いられ
る従来の光走査装置について図１１を用いて説明する。
図１１は従来の光走査装置７１を示す平面図である。

【０００３】光走査装置７１は、主として、筐体７２と
感光ドラム７３から成る。筐体７２は、記録媒体である
感光ドラム７３を照射するに必要なレーザビームを形成
する全ての部材、即ちレーザユニット７６、シリンドリ
カルレンズ７７、ポリゴンミラー７８、結像レンズ７
９、ビーム検出器ユニット８０を備えている。

【０００４】レーザユニット７６は、半導体レーザ７４
とコリメータレンズ７５とから構成されている。このう
ち、半導体レーザ７４は、レーザビームを水平方向に発
振するものである。また、コリメータレンズ７５は、半
導体レーザ７４から発振されたレーザビームを入射可能
に設置されている。このコリメータレンズ７５を通過し
たレーザビームは、コリメータレンズ７５の光軸と一致
した平行ビームとなる。

【０００５】シリンドリカルレンズ７７は、コリメータ
レンズ７５より出射されたレーザビームを、６面の反射
面を有する正六角形状のポリゴンミラー７８の１つの反
射面上に入射させる。ポリゴンミラー７８は、高精度の
軸受けに支えられた軸に取りつけられ、定速回転する図
示しないモータにより駆動される。このモータの駆動に
より回転するポリゴンミラー７８によって、レーザビー
ムはほぼ水平に掃引されて等角速度で偏向される。尚、
ポリゴンミラー７８は主にアルミニウムを材料として形
成されており、その作成の際には一般に切削加工法が用
いられる。また、モータの種類としては、公知のヒステ
リシスシンクロナスモータ、ＤＣサーボモータ等が挙げ
られる。これらは、磁気駆動力により回転力を得ること
からコイルの巻線や、鉄板を含む磁気回路をモータ内に
形成することが必要となるため、その容積は比較的大き
なものとなる。

【０００６】結像レンズ７９は、ｆθ特性を有するレン
ズであり、ポリゴンミラー７８によりほぼ水平に掃引さ
れて出射したレーザビームを感光ドラム７３上にスポッ
ト光として結像させるものである。ビーム検出器ユニッ
ト８０は、画像領域を妨げない範囲に設けられ、１個の
反射ミラー８１と小さな入射スリットを有するスリット
板８２と応答速度の速い光電変換素子基板８３から成
る。上記ポリゴンミラー７８により掃引されたレーザビ
ームがスリット板８２を介して光電変換素子基板８３に
入射すると、光電変換素子基板８３はレーザビームの位
置を検出したことを表す検出信号を図示しないレーザビ
ーム出射制御装置に出力する。

【０００７】図示しないレーザビーム出射制御装置は、
この検出信号により感光ドラム７３上に画像データに応
じた光情報を与えるための半導体レーザ７４への入力信
号のスタートタイミングを制御している。上記のごとく
画像信号に応じて変調されたレーザビームは感光ドラム
７３に照射され、公知の電子写真プロセスにより顕像化
された後、普通紙等の転写材上に転写定着されハードコ
ピーとして出力される。

【０００８】しかし、従来の光走査装置７１では、上述
した通り、アルミニウム製のポリゴンミラーや、それを
駆動するためのヒステリシスシンクロナスモータ、ＤＣ
サーボモータ等を使用しているため、外形形状、重量と
も一般的に大きくなってしまい、この光走査装置を組み
込んだ記録装置の小型化に寄与し得ないという問題点が
あった。

【０００９】この点に鑑み、特公昭６０−５７０５２号
公報、特公昭６０−５７０５３号公報、実公平２−１９
７８３号公報、実公平２−１９７８４号公報、実公平２
−１９７８５号公報に記載されているような、水晶基板
を用いる機械振動子の表面にレーザビームを反射するた
めの反射鏡を形成してなる光偏向素子を有する光走査装
置も提案されている。

【００１０】例えば、特公昭６０−５７０５２号には、
図１２に示すように、バネ部９２、９３によってフレー
ム９１に支持された可動部９４と、この可動部９４に設
けられた反射鏡９５及びコイルパターン９６とを備えた
光偏向素子９０が開示されている。この光偏向素子９０
は、コイルパターン９６を磁界中に配置した状態でコイ
ルパターン９６に電流を流すことにより偏向面即ち反射
鏡９５の鏡面を正弦的に往復振動させ、反射鏡９５に入
射する光ビームを偏向走査するものである。なお、この
往復振動の周波数を偏向周波数と称する。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、特公昭
６０−５７０５２号等に開示された光偏向素子９０を用
いた光走査装置では、光偏向素子９０を大量生産する際
に個々の光偏向素子が有する偏向周波数のばらつきが大
きくなってしまう。従って、光偏向素子９０にて偏向さ
れる光ビームの偏向角速度は、各光偏向素子９０によっ
て大きな個体差が出てしまうので、このような光偏向素
子９０を用いた光走査装置を画像を記録する画像記録装
置に用いたときに、設計上の偏向角速度に従って出力さ
れる画像の位置と、実際の光偏向素子が有する偏向角速
度に従って出力される画像の位置とが異なってしまい、
原画像を正確に再現することができないという問題点が
あった。

【００１２】上記問題点を具体例に基づいて説明する。
光偏向素子９０は、上述した特公昭６０−５７０５２号
公報にも記載されている通り、単結晶水晶基板をエッチ
ングプロセスとフォトリソグラフィープロセスにより加
工したものからなるが、この水晶基板の厚みや、材質の
不均衡、あるいはエッチングプロセスの誤差により、通
常その偏向周波数の誤差は±３％程度であるため、大量
生産時には個々の光偏向素子９０による偏向周波数のば
らつきが大きい。この偏向周波数のばらつきは、光偏向
素子９０により偏向作用を受けたレーザビームが、図１
０に示すように、感光ドラム上の所定の走査開始位置Ｓ
から所定の走査終了位置Ｅへ至る時間、つまりレーザビ
ームの走査時間のばらつきとして表れてしまうため、以
下のような問題が起こる。

【００１３】今、光源である半導体レーザ４を、画像情
報に従って一定クロックに従って変調したならば、各光
偏向素子毎の上述した走査時間のばらつきに応じて、所
定の走査終了位置Ｅに書き込まれるはずの画像情報の位
置が、走査方向に±３％の範囲でずれてしまい、結果的
に、出力画像の位置ズレを生じる。

【００１４】数値例に従ってこれを具体的に説明する。
光偏向素子９０の偏向周波数のばらつきが８００Ｈｚ±
３％であり、所定の走査開始位置Ｓから所定の走査終了
位置Ｅへの距離を２１０ｍｍ（Ａ４サイズの紙面に相
当）としたとき、偏向周波数８００Ｈｚにて所定の走査
開始位置Ｓから所定の走査終了位置Ｅへ解像度３００ｄ
ｐｉにて画像情報を書き込みするような設計値にて半導
体レーザ４を一定クロックに従って変調すると仮定す
る。

【００１５】このとき、光偏向素子９０に固有の偏向周
波数が８００Ｈｚと比較して３％低ければ、所定の走査
終了位置Ｅに書き込まれるはずの画像情報は図１０の紙
面左方向に６.１ｍｍずれた走査終了位置Ｅａの位置に
書き込まれてしまい、全体的に３％縮小された出力画像
となってしまう。逆に光偏向素子９０に固有の偏向周波
数が８００Ｈｚと比較して３％高ければ、所定の走査終
了位置Ｅに書き込まれるはずの画像情報は図１０の紙面
右方向に６.１ｍｍずれた走査終了位置Ｅｂの位置に書
き込まれてしまい、全体的に３％拡大された出力画像と
なってしまう。一般にレーザビームプリンタにおいて
は、Ａ４紙面における走査終了位置のズレは±１.５ｍ
ｍ程度しか許されていないため、上述したような±６.
１ｍｍのずれが生じる構成は実用的であるとはいえな
い。

【００１６】本発明は、上記課題を解決するためになさ
れたものであり、偏向面が正弦揺動して走査を行う際に
出力画像の位置ズレを生じることのない光走査装置を提
供することを目的とする。

【００１７】

【課題を解決するための手段及び発明の効果】上記課題
を解決するため、請求項１記載の発明は、光ビームを出
射する光ビーム出射手段と、偏向面が正弦揺動すること
により前記光ビームを偏向させる光偏向手段と、前記光
偏向手段により偏向された光ビームが結像レンズを介し
て被走査媒体上を走査するように前記光ビーム出射手段
を制御する出射制御手段とを備えた光走査装置におい
て、前記光ビームが前記被走査媒体上における所定の走
査開始位置から所定の走査終了位置まで走査するのに要
する走査時間につき、所望の走査時間を設定する走査時
間記憶手段と、実際の走査時間が所望の走査時間と一致
するように、前記光偏向手段の偏向面が正弦揺動すると
きの最大角度（即ち全偏向角）を調整する全偏向角調整
手段とを備えたことを特徴とする。

【００１８】かかる請求項１記載の光走査装置では、光
ビーム出射手段により出射された光ビームは、光偏向手
段の偏向面に入射される。この偏向面は正弦揺動するた
め、入射した光ビームは偏向して被走査媒体に向かう。
出射制御手段は、光偏向手段により偏向された光ビーム
が結像レンズを介して被走査媒体上を走査するように光
ビーム出射手段を制御する。例えば、光偏向手段の偏向
面が正弦揺動して被走査媒体上の所定の走査開始位置に
光ビームを到達させ得る角度になったときに、出射制御
手段はそのタイミングで光ビーム出射手段により光ビー
ムを出射させる。すると、光ビームは偏向面に入射した
後、偏向して被走査媒体の所定の走査開始位置に照射さ
れ、光偏向手段の偏向面が正弦揺動するに従って光ビー
ムは被走査媒体を走査する。そして、光偏向手段の偏向
面が被走査媒体上の所定の走査終了位置に光ビームを到
達させ得る角度になったときに、そのタイミングで光ビ
ーム出射手段からの光ビームの出射を停止させる。これ
により走査が完了する。このようにして、出射制御手段
は、光ビームが被走査媒体上を走査するように光ビーム
出射手段を制御するのである。

【００１９】ここで、請求項１記載の光走査装置では、
走査時間記憶手段は、光ビームが被走査媒体上における
所定の走査開始位置から所定の走査終了位置まで（即ち
一定の長さ）走査するのに要する時間（即ち走査時間）
につき、所望の走査時間を記憶する。この所望の走査時
間としては、例えば光偏向手段の偏向面が正弦揺動する
際、予め定めた所定の偏向周波数（例えば８００Ｈｚ）
で正弦揺動するとしたときの、所定の走査開始位置から
所定の走査終了位置までに要する走査時間を記憶しても
よい。

【００２０】また、全偏向角調整手段は、実際の走査時
間が所望の走査時間と一致するように、光偏向手段の偏
向面が正弦揺動するときの最大角度（即ち全偏向角）を
調整する。例えば、所望の走査時間を上記のように設定
した場合、光偏向手段の偏向面の実際の偏向周波数が所
定の偏向周波数からズレていれば、実際の走査時間は所
望の走査時間からズレる。具体的には、偏向周波数が所
定の偏向周波数よりも小さくなれば、偏向角速度が小さ
くなるため、実際の走査時間は所望の走査時間よりも大
きくなる。この実際の走査時間を所望の走査時間に一致
させるために、全偏向角調整手段は全偏向角を調整する
のである。というのは、このような光偏向手段を備えた
光走査装置では、走査時間は全偏向角の関数として表す
ことができるため、全偏向角を調整すれば走査時間を調
整することができるからである。

【００２１】尚、全偏向角調整手段は、例えば、実際の
走査時間が所望の走査時間の許容範囲内になったとき、
実際の走査時間が所望の走査時間と一致したとしてもよ
い。このように、請求項１記載の光走査装置によれば、
偏向面が正弦揺動して被走査媒体上を走査する際、光偏
向手段の偏向面の偏向周波数が個体差によって異なって
いたり或は経時的に変化したとしても、常に安定した走
査時間に調整することができる。このため、出力画像の
位置ズレを生じることがないという効果が得られる。

【００２２】請求項２記載の発明は、請求項１記載の光
走査装置であって、前記全偏向角調整手段は、下記式
（１）に基づいて全偏向角を調整することを特徴とす
る。

【００２３】

【数５】

【００２４】但し、Ａは全偏向角、Ｂは前記所定の走査
開始位置から前記所定の走査終了位置まで走査される際
に前記光偏向手段の偏向面が偏向する角度（即ち実効偏
向角）、ｆは前記光偏向手段の偏向面が正弦揺動すると
きの偏向周波数、Ｔは走査時間である。

【００２５】実効偏向角Ｂは光走査装置の仕様として、
結像レンズの焦点距離と所定の走査開始位置から所定の
走査終了位置までの距離とから予め設定されている。ま
た、所望の走査時間Ｔ_obj も、光走査装置の仕様として
予め設定されており、偏向周波数ｆが個体によってばら
つきがあっても、常に設定されたスペックの範囲内（許
容範囲内）に調整される必要がある。

【００２６】ここで、全偏向角Ａと走査時間Ｔの関係を
図９を参照しながら説明する。図９は全偏向角Ａと走査
時間Ｔの関係を表すグラフであり、光偏向手段の偏向面
の偏向周波数が設計値どおりの値（例えば８００Ｈｚ）
であった場合の全偏向角Ａと走査時間Ｔの関係及び、偏
向周波数が±３％だけズレた７７６Ｈｚの場合と８２４
Ｈｚの場合の全偏向角Ａと走査時間Ｔの関係を示した。

【００２７】偏向周波数が設計値通りの値８００Ｈｚで
ある場合は、全偏向角Ａをあらかじめ設定された標準値
Ａ０に設定すれば、実際の走査時間Ｔは所望の走査時間
Ｔ_{ob j} に設定される。しかし、例えば偏向周波数が３％
だけ大きい（８２４Ｈｚ）場合には実際の走査時間Ｔが
所望の走査時間Ｔ_obj より短くなり、スペックからはず
れてしまうことがある。このとき、全偏向角Ａを調整す
ることによって、実際の走査時間Ｔをスペックの範囲内
に調整することができる。同様に、偏向周波数が３％小
さい（７７６Ｈｚ）場合には、実際の走査時間Ｔが所望
の走査時間Ｔ_{ob j} より長くなるため、全偏向角Ａを小さ
くする方向に変化させ、実際の走査時間Ｔがスペックの
範囲内に調整された点で、調整を終了する。

【００２８】かかる請求項２記載の光走査装置では、例
えば、実際の偏向周波数ｆを測定し、その値と所定の実
効偏向角Ｂ、所望の走査時間Ｔ_obj とから上記式（１）
より目標とする全偏向角Ａを求め、かかる全偏向角Ａと
なるように光偏向手段の偏向面を制御してもよい。この
ように、請求項２記載の光走査装置によれば、請求項１
と同様の効果を得ることができる。

【００２９】ところで、実際の偏向周波数ｆを測定し、
その値と所定の実効偏向角Ｂ、所望の走査時間Ｔ_obj と
から上記式（１）より目標とする全偏向角を求め、全偏
向角がかかる目標値となるように光偏向手段の偏向面を
制御すれば、実際の走査時間は所望の走査時間に一致す
るのであるが、全偏向角が目標値となるように光偏向手
段の偏向面を制御することは、一般的に困難な場合が多
い。というのは、光偏向手段の偏向面を正弦揺動させる
場合、例えば該偏向面の製造方法や環境温度・湿度によ
って、同じ条件で正弦揺動させた場合でも全偏向角の値
が異なることがあり、全偏向角が目標値となるように偏
向面を正弦揺動させることが難しいからである。この観
点から、下記の請求項３〜１５では、全偏向角が目標値
となるように偏向面を制御するのではなく、そのほかの
手段により実際の走査時間が所望の走査時間と一致する
ように全偏向角を調整するようにしたものである。

【００３０】請求項３記載の発明は、請求項１又は２記
載の光走査装置であって、前記走査時間を測定する走査
時間測定手段と、該走査時間測定手段により測定された
実際の走査時間と前記走査時間記憶手段により記憶され
た所望の走査時間とを比較する走査時間比較手段とを備
え、前記全偏向角調整手段は、前記走査時間比較手段の
結果に基づいて、実際の走査時間が所望の走査時間と一
致するように全偏向角を調整することを特徴とする。

【００３１】かかる請求項３記載の光走査装置では、走
査時間測定手段が実際の走査時間を測定する。そして、
走査時間比較手段が、実際の走査時間と所望の走査時間
とを比較する。全偏向角調整手段は、走査時間比較手段
の結果に基づいて、実際の走査時間が所望の走査時間と
一致するように全偏向角を調整する。

【００３２】即ち、請求項３記載の光走査装置は、全偏
向角が目標値となるように偏向面を制御するのではな
く、走査時間比較手段の結果に基づいて実際の走査時間
が所望の走査時間と一致するように全偏向角を調整する
ようにしたものである。かかる請求項３記載の光走査装
置によれば、請求項１と同様の効果を得ることができ
る。

【００３３】請求項４記載の発明は、請求項３記載の光
走査装置であって、前記全偏向角調整手段は、前記走査
時間比較手段の結果、実際の走査時間の方が所望の走査
時間よりも大きいときには全偏向角が大きくなるように
調整し、実際の走査時間の方が所望の走査時間よりも小
さいときには全偏向角が小さくなるように調整すること
を特徴とする。

【００３４】かかる請求項４記載の光走査装置では、実
際の走査時間の方が所望の走査時間よりも大きい場合に
は、上記式（１）より、全偏向角Ａを大きくすれば実際
の走査時間は小さくなり、所望の走査時間に近づく。ま
た、実際の走査時間の方が所望の走査時間よりも小さい
場合には、上記式（１）より、全偏向角Ａを小さくすれ
ば実際の走査時間は大きくなり、所望の走査時間に近づ
く。このように、走査時間比較手段の比較結果に基づき
全偏向角が増加又は減少する方向に光偏向手段の偏向面
の正弦揺動を微調整してフィードバック制御することに
より、実際の走査時間を所望の走査時間に一致させる。
かかる請求項４記載の光走査装置によれば、請求項１と
同様の効果が得られる。

【００３５】請求項５記載の発明は、請求項１記載の光
走査装置であって、全偏向角内の所定位置に設けた光ビ
ーム検出手段と、前記光偏向手段の偏向面が１周期分正
弦揺動する際、前記光ビーム検出手段が光ビームを検出
した時から再び光ビームを検出する時までの往復時間の
うち短い方の往復時間（即ち短期往復時間）を測定する
短期往復時間測定手段と、前記光偏向手段の偏向面が正
弦揺動するときの偏向周波数を測定する偏向周波数測定
手段と、前記偏向周波数測定手段により測定された偏向
周波数及び前記走査時間記憶手段により記憶された所望
の走査時間から、適正な短期往復時間を算出する短期往
復時間算出手段と、前記短期往復時間測定手段により測
定された実際の短期往復時間と前記短期往復時間算出手
段により算出された適正な短期往復時間とを比較する短
期往復時間比較手段とを備え、前記全偏向角調整手段
は、前記短期往復時間比較手段の結果に基づいて、実際
の走査時間が所望の走査時間と一致するように全偏向角
を調整することを特徴とする。

【００３６】かかる請求項５記載の光走査装置では、短
期往復時間測定手段が光ビーム検出手段の光ビームの検
出状態から実際の短期往復時間を測定する。また、偏向
周波数測定手段が実際の偏向周波数を測定し、短期往復
時間算出手段が実際の偏向周波数及び所望の走査時間か
ら適正な短期往復時間を算出する。そして、短期往復時
間比較手段が、実際の短期往復時間と適正な短期往復時
間とを比較する。全偏向角調整手段は、短期往復時間比
較手段の結果に基づいて、実際の走査時間が所望の走査
時間と一致するように全偏向角を調整する。

【００３７】即ち、請求項５記載の光走査装置は、全偏
向角が目標値となるように偏向面を制御するのではな
く、短期往復時間比較手段の結果に基づいて実際の走査
時間が所望の走査時間と一致するように全偏向角を調整
するようにしたものである。かかる請求項５記載の光走
査装置によれば、請求項１と同様の効果を得ることがで
きる。

【００３８】請求項６記載の発明は、請求項５記載の光
走査装置であって、前記短期往復時間算出手段は、下記
式（２）に基づいて適正な短期往復時間を算出すること
を特徴とする。

【００３９】

【数６】

【００４０】但し、ｔは短期往復時間、Ｂは実効偏向
角、Ｃは前記光ビーム検出手段に光ビームが入射すると
きの、前記偏向面で反射された光ビームの進行方向を示
す直線と前記偏向面の振動の中心線とがなす角度、ｆは
前記偏向面が正弦揺動するときの偏向周波数、Ｔは走査
時間である。かかる請求項６記載の光走査装置によれ
ば、請求項１と同様の効果が得られる。

【００４１】請求項７記載の発明は、請求項５又は６記
載の光走査装置であって、前記全偏向角調整手段は、前
記短期往復時間比較手段の結果、実際の短期往復時間の
方が所望の短期往復時間よりも小さいときには全偏向角
が大きくなるように調整し、実際の短期往復時間の方が
所望の短期往復時間よりも大きいときには全偏向角が小
さくなるように調整することを特徴とする。

【００４２】かかる請求項７記載の光走査装置では、実
際の短期往復時間の方が適正な短期往復時間よりも小さ
い場合には、上記式（２）より、全偏向角Ａを大きくす
れば実際の走査時間は小さくなり、所望の走査時間に近
づく。また、実際の短期往復時間の方が適正な短期往復
時間よりも大きい場合には、上記式（２）より、全偏向
角Ａを小さくすれば実際の走査時間は大きくなり、所望
の走査時間に近づく。このように、短期往復時間比較手
段の比較結果に基づき全偏向角が増加又は減少する方向
に光偏向手段の偏向面の正弦揺動を微調整してフィード
バック制御することにより、実際の走査時間を所望の走
査時間に一致させる。かかる請求項７記載の光走査装置
によれば、請求項１と同様の効果が得られる。

【００４３】請求項８記載の発明は、請求項１記載の光
走査装置であって、全偏向角内の所定位置に設けた光ビ
ーム検出手段と、前記光偏向手段の偏向面が１周期分正
弦揺動する際、前記光ビーム検出手段が光ビームを検出
した時から再び光ビームを検出する時までの往復時間の
うち長い方の往復時間（即ち長期往復時間）を測定する
長期往復時間測定手段と、前記光偏向手段の偏向面が正
弦揺動するときの偏向周波数を測定する偏向周波数測定
手段と、前記偏向周波数測定手段により測定された偏向
周波数及び前記走査時間記憶手段により記憶された所望
の走査時間から、適正な長期往復時間を算出する長期往
復時間算出手段と、前記長期往復時間測定手段により測
定された実際の長期往復時間と前記長期往復時間算出手
段により算出された適正な長期往復時間とを比較する長
期往復時間比較手段とを備え、前記全偏向角調整手段
は、前記長期往復時間比較手段の結果に基づいて、実際
の走査時間が所望の走査時間と一致するように全偏向角
を調整することを特徴とする。

【００４４】かかる請求項８記載の光走査装置では、長
期往復時間測定手段が光ビーム検出手段の光ビームの検
出状態から実際の長期往復時間を測定する。また、偏向
周波数測定手段が実際の偏向周波数を測定し、長期往復
時間算出手段が実際の偏向周波数及び所望の走査時間か
ら適正な長期往復時間を算出する。そして、長期往復時
間比較手段が、実際の長期往復時間と適正な長期往復時
間とを比較する。全偏向角調整手段は、長期往復時間比
較手段の結果に基づいて、実際の走査時間が所望の走査
時間と一致するように全偏向角を調整する。

【００４５】即ち、請求項８記載の光走査装置は、全偏
向角が目標値となるように偏向面を制御するのではな
く、長期往復時間比較手段の結果に基づいて実際の走査
時間が所望の走査時間と一致するように全偏向角を調整
するようにしたものである。かかる請求項８記載の光走
査装置によれば、請求項１と同様の効果を得ることがで
きる。

【００４６】請求項９記載の発明は、請求項８記載の光
走査装置であって、前記長期往復時間算出手段は、下記
式（３）に基づいて適正な長期往復時間を算出すること
を特徴とする。

【００４７】

【数７】

【００４８】但し、ｔ２は長期往復時間、Ｂは実効偏向
角、Ｃは前記光ビーム検出手段に光ビームが入射すると
きの、前記偏向面で反射された光ビームの進行方向を示
す直線と前記偏向面の振動の中心線とがなす角度、ｆは
前記偏向面が正弦揺動するときの偏向周波数、Ｔは走査
時間である。かかる請求項９記載の光走査装置によれ
ば、請求項１と同様の効果を得ることができる。

【００４９】請求項１０記載の発明は、請求項８又は９
記載の光走査装置であって、前記全偏向角調整手段は、
前記長期往復時間比較手段の結果、実際の長期往復時間
の方が所望の長期往復時間よりも大きいときには全偏向
角が大きくなるように調整し、実際の長期往復時間の方
が所望の長期往復時間よりも小さいときには全偏向角が
小さくなるように調整することを特徴とする。

【００５０】かかる請求項１０記載の光走査装置では、
実際の長期往復時間の方が適正な長期往復時間よりも大
きい場合には、上記式（３）より、全偏向角Ａを大きく
すれば実際の走査時間は小さくなり、所望の走査時間に
近づく。また、実際の長期往復時間の方が適正な長期往
復時間よりも小さい場合には、上記式（３）より、全偏
向角Ａを小さくすれば実際の走査時間は大きくなり、所
望の走査時間に近づく。このように、長期往復時間比較
手段の比較結果に基づき全偏向角が増加又は減少する方
向に光偏向手段の偏向面の正弦揺動を微調整してフィー
ドバック制御することにより、実際の走査時間を所望の
走査時間に一致させる。かかる請求項１０記載の光走査
装置によれば、請求項１と同様の効果が得られる。

【００５１】請求項１１記載の発明は、請求項５〜１０
のいずれかに記載の光走査装置であって、前記光ビーム
検出手段は、前記被走査媒体上を走査される光ビームの
水平同期をとるための検出器を利用したことを特徴とす
る。かかる請求項１１記載の光走査装置では、光ビーム
検出手段として、走査開始位置を揃えるために一般的な
光走査装置に装備されている検出器、即ち被走査媒体上
を走査される光ビームの水平同期をとるための検出器、
を利用している。このため、別途光ビーム検出手段を設
ける必要がなく、部品点数が削減され、コストが低減さ
れるという効果が得られる。

【００５２】請求項１２記載の発明は、請求項１記載の
光走査装置であって、前記光ビームの所定の走査点にお
ける走査速度を測定する走査速度測定手段と、前記光偏
向手段の偏向面が正弦揺動するときの偏向周波数を測定
する偏向周波数測定手段と、前記偏向周波数測定手段に
より測定された偏向周波数及び前記走査時間記憶手段に
より記憶された所望の走査時間から、前記所定の走査点
における適正な走査速度を算出する走査速度算出手段
と、前記走査速度測定手段により測定された実際の走査
速度と前記走査速度算出手段により算出された適正な走
査速度とを比較する走査速度比較手段とを備え、前記全
偏向角調整手段は、前記走査速度比較手段の結果に基づ
いて、実際の走査時間が所望の走査時間と一致するよう
に全偏向角を調整することを特徴とする。

【００５３】かかる請求項１２記載の光走査装置では、
走査速度測定手段が光ビームの所定の走査点における走
査速度を測定する。また、偏向周波数測定手段が実際の
偏向周波数を測定し、走査速度算出手段が実際の偏向周
波数及び所望の走査時間から適正な走査速度を算出す
る。そして、走査速度比較手段が、実際の走査速度と適
正な走査速度とを比較する。全偏向角調整手段は、走査
速度比較手段の結果に基づいて、実際の走査時間が所望
の走査時間と一致するように全偏向角を調整する。

【００５４】即ち、請求項１２記載の光走査装置は、全
偏向角が目標値となるように偏向面を制御するのではな
く、走査速度比較手段の結果に基づいて実際の走査時間
が所望の走査時間と一致するように全偏向角を調整する
ようにしたものである。かかる請求項１２記載の光走査
装置によれば、請求項１と同様の効果を得ることができ
る。

【００５５】請求項１３記載の発明は、請求項１２記載
の光走査装置であって、前記走査速度算出手段は、下記
式（４）に基づいて適正な走査速度を算出することを特
徴とする。

【００５６】

【数８】

【００５７】但し、Ｖは走査速度、Ｆは結像レンズの焦
点距離、Ｂは実効偏向角、Ｃは前記光ビーム検出手段に
光ビームが入射するときの、前記偏向面で反射された光
ビームの進行方向を示す直線と前記偏向面の振動の中心
線とがなす角度、ｆは前記偏向面が正弦揺動するときの
偏向周波数、Ｔは走査時間である。かかる請求項１３記
載の光走査装置によれば、請求項１と同様の効果を得る
ことができる。

【００５８】請求項１４記載の発明は、請求項１２又は
１３記載の光走査装置であって、前記全偏向角調整手段
は、前記走査速度比較手段の結果、実際の走査速度の方
が所望の走査速度よりも小さいときには全偏向角が大き
くなるように調整し、実際の走査速度の方が所望の走査
速度よりも大きいときには全偏向角が小さくなるように
調整することを特徴とする。

【００５９】かかる請求項１４記載の光走査装置では、
実際の走査速度の方が適正な走査速度よりも小さい場合
には、上記式（４）より、全偏向角Ａを大きくすれば実
際の走査時間は小さくなり、所望の走査時間に近づく。
また、実際の走査速度の方が適正な走査速度よりも大き
い場合には、上記式（４）より、全偏向角Ａを小さくす
れば実際の走査時間は大きくなり、所望の走査時間に近
づく。このように、走査速度比較手段の比較結果に基づ
き全偏向角が増加又は減少する方向に光偏向手段の偏向
面の正弦揺動を微調整してフィードバック制御すること
により、実際の走査時間を所望の走査時間に一致させ
る。かかる請求項１４記載の光走査装置によれば、請求
項１と同様の効果が得られる。

【００６０】請求項１５記載の発明は、請求項１２〜１
４のいずれかに記載の光走査装置であって、前記走査速
度測定手段は、前記被走査媒体上を走査される光ビーム
の水平同期をとるための検出器を利用したことを特徴と
する。かかる請求項１５記載の光走査装置では、走査速
度測定手段として、走査開始位置を揃えるために一般的
な光走査装置に装備されている検出器、即ち被走査媒体
上を走査される光ビームの水平同期をとるための検出
器、を利用している。このため、別途走査速度測定手段
を設ける必要がなく、部品点数が削減され、コストが低
減されるという効果が得られる。

【００６１】請求項１６記載の発明は、請求項１〜１５
のいずれかに記載の光走査装置であって、前記光偏向手
段は、単一の絶縁基板をエッチングすることによって作
製した光偏向素子と該光偏向素子を正弦揺動させる駆動
部とを含んでなることを特徴とする。

【００６２】かかる請求項１６記載の光走査装置に用い
られる光偏向素子は、単一の絶縁基板（例えば単結晶水
晶基板など）をエッチングすることにより作製したもの
であるため、絶縁基板の厚みや、材質の不均衡、あるい
はエッチングプロセスの誤差により、通常その偏向周波
数の誤差は±３％程度となる。このため、大量生産時に
は個々の光偏向素子による偏向周波数のばらつきが大き
い。従って、このような光偏向素子を用いる従来の光走
査装置は偏向面が正弦揺動して走査を行う際に出力画像
の位置ズレを生じるおそれが大きいものである。このよ
うな光走査装置に請求項１〜１５記載の発明の構成を採
用した場合には、その効果が顕著に発揮される。

【００６３】

【発明の実施の形態】以下に、本発明の好適な実施例を
図面に基づいて説明する。尚、本発明の実施の形態は、
下記の実施例に何ら限定されるものではなく、本発明の
技術的範囲に属する限り種々の形態を採り得ることはい
うまでもない。 ［第１実施例］図１は第１実施例の光走査装置の概略説
明図、図２は光偏向素子の斜視図である。

【００６４】光走査装置１の筐体２には、被走査媒体で
ある感光ドラム３を照射するに必要なレーザビームを形
成する全ての部材、即ちレーザユニット２５（本発明の
光ビーム出射手段）、偏向器１０（本発明の光偏向手
段）、ビーム検出器１４、制御ユニット５０（本発明の
出射制御手段）が備えられている。

【００６５】レーザユニット２５は、筐体２の一部位で
ある円筒開口部６に一体化されて固定され、半導体レー
ザ４とコリメータレンズ５と鏡筒７とから構成されてい
る。このうち、半導体レーザ４は、外部から入力される
画像信号に従って強弱に変調されたレーザビームを出射
し、コリメータレンズ５に入射させる。また、コリメー
タレンズ５は、円筒形状のガラスレンズからなり、半導
体レーザ４から出射されたレーザビームを受けて平行な
レーザ光として鏡筒７の開口から出射させるものであ
る。このような円筒形状のレンズとしては、円筒軸垂直
方向に屈折率分布を持ったＧＲＩＮレンズが知られてい
る。鏡筒７は、樹脂成型品からなり、コリメータレンズ
５を、鏡筒７の外形円筒面の中心軸と、コリメータレン
ズ５の光軸がほぼ一致するように保持するものである。
半導体レーザ４とコリメータレンズ５は、半導体レーザ
４の発光点がコリメータレンズ５の光軸に略一致し、ま
た半導体レーザ４の発光点がコリメータレンズ５の焦点
に一致するように調整される。これらを調整することに
より半導体レーザ４より放射されたレーザビームはコリ
メータレンズ５を通過後、コリメータレンズ５の光軸と
略一致した平行ビームとなり、鏡筒７の開口により平行
ビームの断面形状が所定の形状となるべく規制されて出
射される。

【００６６】偏向器１０は、光偏向素子９とその光偏向
素子９を正弦振動させるための駆動部１１とからなり、
筐体２に配設されている。この光偏向素子９の構成につ
いて、図２を参照して説明する。光偏向素子９を構成す
るフレーム４１には、上部及び下部に一体形成されたバ
ネ部４２、４３を介して可動部４４が支持されている。
これら、フレーム４１、バネ部４２、４３及び可動部４
４は単一の絶縁基板によって構成されており、またこれ
らの形状は、フォトリソグラフィ及びエッチングの技術
を利用して形成される。ここで、絶縁基板としては、例
えば厚さが５×１０^-5ｍ程度の水晶基板が使用可能であ
る。なお、フレーム４１は必ずしも必要ではない。ま
た、可動部４４には反射鏡４５とコイルパターン４６と
がフォトリソグラフィ及びエッチングの技術を利用して
形成されている。この反射鏡４５の表面精度は、結像時
のビーム形状を乱さないようにするために、半導体レー
ザ４より出射されるレーザビームの波長の１／４程度と
される。また、上部及び下部のバネ部４２、４３にはそ
れぞれコイルパターン４６への導通のためのリード線４
７、４８が設けられており、上部側のリード線４７には
コイルパターン４６を飛び越して接続されるジャンパ線
４９が設けられている。尚、上述したフレーム４１、バ
ネ部４２，４３及び可動部４４の形成方法や反射鏡４５
及びコイルパターン４６の形成方法については、特公昭
６０−５７０５２号公報に詳細に記載されているので、
ここでの説明を省略する。また、偏向器１０の駆動部１
１としては、例えば永久磁石が用いられ、所定のバイア
ス磁界を形成するように配置されている。

【００６７】このように構成された本実施例の偏向器１
０では、光偏向素子９のコイルパターン４６を駆動部１
１により与えられるバイアス磁界中に配置させ、リード
線４７、４８及びジャンパ線４９を介してコイルパター
ン４６に電流を流すことにより、可動部４４が上部及び
下部のバネ部４２、４３を軸として正弦的に往復揺動運
動する。そして、可動部４４がこのような往復揺動をす
ることにより、反射鏡４５にて反射されるレーザビーム
が偏向作用を受けて水平に掃引されるのである。

【００６８】ここで、可動部４４の往復揺動によって、
レーザビームが偏向される最大角度を全偏向角Ａ（図１
参照）と呼ぶ。また、実際に画像の書き込みに利用され
る角度、すなわち走査開始位置へレーザビームが入射す
る時点での偏向角から走査終了位置へレーザビームが入
射する時点での偏向角に至る角度を、実効偏向角（図１
参照）と呼ぶ。全偏向角Ａは、例えば１００゜程度であ
るが、実効偏向角はこれより小さく８０゜程度となる。

【００６９】筐体２には偏向器１０の駆動をコントロー
ルするための偏向器ドライバ２１が設置されており、偏
向器ドライバ２１は、全偏向角Ａを調整可能な全偏向角
調整トリマ２２を備えている。結像レンズ１２は、１枚
玉のプラスチックレンズからなり、偏向器１０による偏
向作用を受けたレーザビームを感光ドラム３上に結像さ
せ、更に感光ドラム３上にてレーザビームによる走査線
が略等速で主走査方向に移動するようにＦ・ａｒｃｓｉ
ｎθ特性を有している。ところで一般の結像レンズで
は、光線のレンズへの入射角がθの時、像面上での結像
する位置ｒについて、ｒ＝Ｆ・ｔａｎθ（Ｆは結像レン
ズの焦点距離）となる関係がある。しかし、本実施例の
ように、正弦揺動する偏向器１０により反射されるレー
ザビームは結像レンズ１２への入射角が、時間と共に三
角関数的に変化する。従って、一般の結像レンズを用い
ると共に一定時間間隔で半導体レーザ４をＯＮすること
により間欠的にレーザビームを出射させて、そのビーム
スポット列を感光ドラム３上に結像させると、それらビ
ームスポット列の間隔は等間隔とはならなくなる。よっ
て、本実施例のように正弦揺動する偏向器１０を用いる
光走査装置１においては、上述のような現象を避けるた
めに、結像レンズ１２として、ｒ＝Ｆ・ａｒｃｓｉｎθ
なる特性を有するものが用いられる。このような結像レ
ンズ１２をＦアークサインθレンズと称する。

【００７０】そして、結像レンズ１２より出射されたレ
ーザビームは、感光ドラム３上への照射を妨げない領域
内でかつ往路の走査開始側に設けられた導光ミラー１３
にて光路を折り返されて、筐体２の一部分として形成さ
れているナイフエッジ２０を通過してビーム検出器１４
に導かれる。

【００７１】ビーム検出器１４は、ｐｉｎフォトダイオ
ード等の光電変換素子からなり、掃引されるレーザビー
ムを検出するものである。このビーム検出器１４は、往
路における画像情報を半導体レーザ４へ入力するスター
トタイミングを制御するための検出信号を制御ユニット
５０に出力する。これにより、偏向器１０の可動部４４
が正弦揺動する際の偏向角速度のムラによる水平方向の
信号の同期ズレを大幅に軽減でき、質のよい画像が得ら
れると共に偏向器１０に要求される偏向角速度の精度の
許容範囲を大きくすることができる。

【００７２】また、ビーム検出器１４は、半導体レーザ
４と同一の一枚の基板１７平面上に配設されている。こ
のため、ビーム検出器１４と半導体レーザ４を駆動する
ための駆動回路との間の電気信号の経路を短くすること
ができるので、回路系が周囲電気ノイズによって誤動作
を起こす可能性を低くすることができる。さらに、ビー
ム検出器１４と半導体レーザ４とが同一の一枚の基板１
７平面上に配設されており、両者の駆動回路が基板１７
上に共存しているため、基板１７の枚数が低減でき、基
板間を結線するハーネス１８の本数を同時に低減するこ
ともできるという効果を合わせもっている。

【００７３】基板１７は、ネジにより筐体２に固定され
ており、ハーネス１８伝い、または、直接の外力によ
り、基板１７が力を受けて半導体レーザ４が筐体２から
抜けてしまったり、その位置がずれてしまったりするの
を防ぐという効果を持っている。

【００７４】ナイフエッジ２０は筐体２の一部分として
設けられている。なお、従来は、薄い金属を打ち抜き加
工した矩形スリット状の部品を位置調整して筐体２にネ
ジ等で固定して配設されていた。従って、本実施例のよ
うに、ナイフエッジ２０を筐体２の一部分として形成し
たことにより、部品点数を低減できるという効果が得ら
れる。

【００７５】筐体２は一般に広く用いられているガラス
繊維入りポリカーボネートにて形成されている。このた
め、各構成要素を位置精度よく担持し、振動による歪が
小さい。制御ユニット５０は、周知のＣＰＵ５１、ＲＯ
Ｍ５２、ＲＡＭ５３、タイマカウンタ５４及び入出力ポ
ート５６を備え、これらがバス５７で接続されたもので
ある。この制御ユニット５０には、入出力ポート５６を
介して、ビーム検出器１４からの検出信号が入力可能に
接続され、レーザユニット２５に制御信号（出射信号、
停射信号）を出力可能に接続され、偏向器１０に電流を
流すための信号を出力可能に接続されている。

【００７６】次に、上記光走査装置１を組立、調整する
工程における全偏向角調整処理について図３に基づいて
説明する。図３は第１実施例の全偏向角調整処理のフロ
ーチャートである。まず、所定の走査開始位置に相当す
る位置に走査開始時期検出センサ２６を設置し、所定の
走査終了位置に相当する位置に走査終了時期検出センサ
２７を設置する。これらのセンサ２６、２７は制御ユニ
ット５０に検出信号を出力するように接続されている。

【００７７】この状態で光走査装置１のスイッチがオン
されると、制御ユニット５０は、光偏向素子９のコイル
パターン４６に所定の電流を流し、また、レーザユニッ
ト２５に出射信号を出力する（Ｓ１０）。これにより、
光偏向素子９の反射鏡４５は正弦揺動を開始し、レーザ
ユニット２５はレーザビームを出射する。尚、制御ユニ
ット５０のＲＯＭ５２には、予め設定された所望の走査
時間_Tobj が記憶されている。

【００７８】制御ユニット５０は、光偏向素子９の反射
鏡４５が安定して正弦揺動するまでの準備時間が経過し
たか否かを判断し（Ｓ１１）、この準備時間が経過して
いなければ（Ｓ１１でＮＯ）、この準備時間が経過する
まで待機する。この準備時間が経過したならば（Ｓ１１
でＹＥＳ）、実際の走査時間Ｔを測定する（Ｓ１２）。
この実際の走査時間Ｔの測定は、走査開始時期検出セン
サ２６の検出信号が入力された時点から走査終了時期検
出センサ２７の検出信号が入力された時点までの時間を
測定することにより行う。

【００７９】実際の走査時間Ｔの測定終了後、この走査
時間Ｔと所望の走査時間Ｔ_obj との差の絶対値が許容範
囲内か否かを判定する（Ｓ１３）。両者の差の絶対値が
許容範囲内でなければ（Ｓ１３でＮＯ）、続いてＳ１４
で両者の大小関係を判定する。

【００８０】Ｓ１４で実際の走査時間Ｔが所望の走査時
間Ｔ_obj よりも大きければ（Ｓ１４でＹＥＳ）、全偏向
角Ａが大きくなるように全偏向角調整トリマ２２を回転
させて光偏向素子９のコイルパターン４６に流れる電流
量を調整する（Ｓ１５）。即ち、全偏向角Ａと走査時間
Ｔの関係は、

【００８１】

【数９】

【００８２】で表されるため、実際の走査時間Ｔが所望
の走査時間Ｔ_obj よりも大きいときには全偏向角Ａが大
きくなるように調整すれば、実際の走査時間Ｔは小さく
なり所望の走査時間Ｔ_obj に近づく。即ち、上記式
（１）より、偏向周波数ｆにばらつきがあったとして
も、偏向周波数ｆを測定することなく、実際の走査時間
Ｔが所望の走査時間Ｔ_obj に一致するように全偏向角Ａ
の微調整を繰り返し行えば、実際の走査時間Ｔを所望の
走査時間Ｔ_obj に一致させることができることがわか
る。

【００８３】Ｓ１４で実際の走査時間Ｔが所望の走査時
間Ｔ_objが小さければ（Ｓ１４でＮＯ）、全偏向角Ａが
小さくなるように全偏向角調整トリマ２２を回転させて
光偏向素子９のコイルパターン４６に流れる電流量を調
整する（Ｓ１６）。このように調整することで、実際の
走査時間Ｔは大きくなり所望の走査時間Ｔ_obj に近づ
く。

【００８４】そして、Ｓ１５又はＳ１６で全偏向角調整
トリマ２２を回転させてコイルパターン４６に流れる電
流量を調整した後、再びＳ１２以下の処理を繰り返す。
そして、Ｓ１３で走査時間Ｔと所望の走査時間Ｔ_obj と
の差の絶対値が許容範囲内となった時点で（Ｓ１３でＹ
ＥＳ）、この処理を終える。

【００８５】その後、走査開始時期検出センサ２６、走
査終了時期検出センサ２７を取り外す。このように、第
１実施例の光走査装置１は、組立、調整する工程におい
て実際の走査時間Ｔがスペックの範囲内になるように全
偏向角調整トリマ２２を調整してあるため、反射鏡４５
の偏向周波数が設計値通りでない場合でも、出力画像の
位置ズレを生じることがないという効果が得られる。特
に、光偏向素子９のように、単結晶水晶基板をエッチン
グプロセスとフォトリソグラフィプロセルにより加工し
たものは、水晶基板の厚みや材質の不均衡、あるいはエ
ッチングプロセスの誤差により、大量生産時に偏向周波
数のばらつきが大きいので、本実施例の上記効果が際立
って発揮される。また、全偏向角調整トリマ２２を回転
させることで光偏向素子９のコイルパターン４６に供給
する電流量を変化させて全偏向角Ａを調整するため、調
整を迅速に行うことができる。

【００８６】尚、制御ユニット５０が本発明の走査時間
記憶手段、走査時間測定手段、走査時間比較手段、全偏
向角調整手段に相当する。また、Ｓ１２が走査時間測定
手段の処理に、Ｓ１３及びＳ１４が走査時間比較手段の
処理に、Ｓ１５及びＳ１６が全偏向角調整手段の処理に
相当する。 ［第２実施例］第２実施例の光走査装置は、リアルタイ
ムで走査時間を測定し制御するものである。図４は第２
実施例の光走査装置の概略説明図である。

【００８７】第２実施例の光走査装置は、走査開始時期
検出センサ２６が筺体２における感光ドラム３の所定の
走査開始位置に相当する位置に設けられ、走査終了時期
検出センサ２７が筺体２における感光ドラム３の所定の
走査終了位置に相当する位置に設けられている点を除い
ては、第１実施例と同様であるため、同じ構成要素につ
いては同じ符号を付し、その説明を省略する。尚、両検
出センサ２６、２７は、検出信号を制御ユニット５０に
出力可能に接続されている。

【００８８】第２実施例の光走査装置は、第１実施例の
全偏向角調整処理と同様の処理を１頁分の画像を出力す
る前に行う。そして、この全偏向角調整処理が終了した
後、１頁分の画像を出力する。画像を出力する場合、制
御ユニット５０は、レーザユニット２５が画像情報に基
づいて点滅するレーザビームを出射するように制御す
る。これを受けた感光ドラム３は公知の電子写真プロセ
ス等により顕像化された後、普通紙または特殊紙より成
る転写材上に周知の転写機構及び定着機構により転写・
定着されハードコピーとして出力される。

【００８９】第２実施例では１頁分の画像を出力する前
に全偏向角調整処理を行うため、光偏向素子９の個体差
を補正できるだけでなく、偏向周波数の温度、湿度等に
よる変動や経時的に変動した場合にも、実際の走査時間
Ｔが常にスペックの範囲内に収まるように制御できる。
このため、出力画像の位置ズレを生じることがないとい
う効果が得られる。

【００９０】尚、第２実施例につき、走査開始時期検出
センサ２６の検出信号を利用して偏向周期を測定し該偏
向周期から偏向周波数ｆを求めて、この偏向周波数ｆと
所望の走査時間を上記式（１）に代入して目標とする全
偏向角Ａの値を算出し、直接全偏向角Ａを例えば角度セ
ンサでモニターしながら、全偏向角調整トリマ２２の回
転を調整してもよい。この場合にも、上記と同様の効果
が得られる。 ［第３実施例］第３実施例の光走査装置の構成は、走査
開始時期検出センサ２６及び走査終了時期検出センサ２
７を備えていない点を除いては第１実施例と同様の構成
であるため、その説明を省略する。

【００９１】光偏向素子９の反射鏡４５は正弦揺動する
ため、この反射鏡４５によって偏向されるレーザビーム
は往復運動する。このため、ビーム検出器１４には往復
それぞれ１回づつ、つまり１周期で２回づつレーザビー
ムが入射する。このときのタイムチャートを図５に示
す。ビーム検出器１４は前述のように、感光ドラム３上
への照射を妨げない領域に設置された導光ミラー１３で
折り返されたレーザビームが入射する位置に設置されて
おり、感光ドラム３側をレーザビームが往復する長期往
復時間ｔ’と、感光ドラム３の反対側をレーザビームが
往復する短期往復時間ｔが交互に発生する。この長期往
復時間ｔ’と短期往復時間ｔの和が偏向周期である。

【００９２】この偏向周期から偏向周波数ｆを求めれ
ば、短期往復時間ｔと、所定の走査開始位置から所定の
走査終了位置までに要する時間即ち走査時間Ｔとは、下
記式（２）の関係により１対１に対応しているため、走
査時間Ｔの代わりに短期往復時間ｔをモニターしなが
ら、全偏向角Ａを調整することで走査時間Ｔを所望の走
査時間Ｔと一致するように制御することが可能である。
尚、下記式（２）において、Ｃは、導光ミラー１３にレ
ーザビームが入射するときの、光偏向素子９の反射鏡４
５で反射されたレーザビームの進行方向を示す直線と、
光偏向素子９の反射鏡４５の振動の中心線とがなす角度
である（図１参照、以下同じ）。

【００９３】

【数１０】

【００９４】この第３実施例の光走査装置における全偏
向角調整処理は、実際の走査時間Ｔを直接測定する代わ
りに、書き込み信号のスタートタイミングを制御するた
めのビーム検出器１４の検出信号から実際の偏向周波数
ｆを求めると共に短期往復時間ｔ（反射鏡４５が１周期
分正弦揺動する際、ビーム検出器１４がレーザビームを
受けた時から再びレーザビームを受ける時までの往復時
間のうち短い方の往復時間）を測定し、この短期往復時
間ｔに基づいて全偏向角Ａを調整し、実際の走査時間Ｔ
を所望の走査時間Ｔ_obj に一致させるものである。

【００９５】第３実施例の全偏向角調整処理について、
図６を参照しながら説明する。図６は第３実施例の全偏
向角調整処理のフローチャートである。尚、第３実施例
の光走査装置は、第２実施例と同様、この全偏向角調整
処理を１頁分の画像を出力する前に行う。そして、この
全偏向角調整処理が終了した後、１頁分の画像を出力す
る（画像出力については、第２実施例と同様にして行
う）。

【００９６】光走査装置１のスイッチがオンされると、
制御ユニット５０は、光偏向素子９のコイルパターン４
６に所定の電流を流し、また、レーザユニット２５に出
射信号を出力する（Ｓ３０）。これにより、光偏向素子
９の反射鏡４５は正弦揺動を開始し、レーザユニット２
５はレーザビームを出射する。尚、制御ユニット５０の
ＲＯＭ５２には、予め設定された所望の走査時間Ｔ_obj
が記憶されている。

【００９７】制御ユニット５０は、光偏向素子９の反射
鏡４５が安定して正弦揺動するまでの準備時間が経過し
たか否かを判断し（Ｓ３１）、この準備時間が経過して
いなければ（Ｓ３１でＮＯ）、この準備時間が経過する
まで待機する。この準備時間が経過したならば（Ｓ３１
でＹＥＳ）、実際の偏向周波数ｆを測定する（Ｓ３
２）。この実際の偏向周波数ｆの測定は、制御ユニット
５０がビーム検出器１４の検出信号を受けた時から次の
ビーム検出器１４の検出信号を受けるまでの往復時間ｔ
_m1、及び、前記次のビーム検出器１４の検出信号を受け
た時から更に次のビーム検出器１４の検出信号を受ける
までの往復時間ｔ_m2を測定し、それぞれＲＡＭ５３に記
憶する。そして、往復時間ｔ_m1と往復時間ｔ_m2の和即ち
偏向周期を求め、この偏向周期の逆数を算出して偏向周
波数ｆを求める。

【００９８】続いて、適正な短期往復時間ｔ１を上記式
（２）により算出する（Ｓ３３）。即ち、上記式（２）
のＴとして所望の走査時間Ｔ_obj 、ｆとしてＳ３２で求
めた偏向周波数ｆを代入し、得られるｔを適正な短期往
復時間ｔ１とする。その後、ＲＡＭ５３に記憶した往復
時間ｔ_m1と往復時間ｔ_m2のうちいずれか短い方を実際の
短期往復時間ｔとしてＲＡＭ５３に記憶し（Ｓ３４）、
この実際の短期往復時間ｔと適正な短期往復時間ｔ１と
の比較を行い、両者の差の絶対値が許容範囲内か否かを
判定する（Ｓ３５）。両者の差の絶対値が許容範囲内で
なければ（Ｓ３５でＮＯ）、続いてＳ３６で両者の大小
関係を判定する。

【００９９】Ｓ３６で実際の短期往復時間ｔが適正な短
期往復時間ｔ１より小さければ（Ｓ３６でＮＯ）、全偏
向角Ａが大きくなるように全偏向角調整トリマ２２を回
転させて光偏向素子９のコイルパターン４６に流れる電
流量を調整する（Ｓ３７）。ここで、実際の短期往復時
間ｔが適正な短期往復時間ｔ１よりも小さいということ
は、上記式（２）から実際の走査時間Ｔは所望の走査時
間Ｔ_obj より大きいので、Ｓ３７のように調整すること
で、実際の走査時間Ｔを小さくして所望の走査時間Ｔ
_obj に近づけるのである。

【０１００】一方、Ｓ３６で実際の短期往復時間ｔが適
正な短期往復時間ｔ１よりも大きければ（Ｓ３６でＹＥ
Ｓ）、全偏向角Ａが小さくなるように全偏向角調整トリ
マ２２を回転させて光偏向素子９のコイルパターン４６
に流れる電流量を調整する（Ｓ３８）。ここで、実際の
短期往復時間ｔが適正な短期往復時間ｔ１よりも大きい
ということは、上記式（２）から実際の走査時間Ｔは所
望の走査時間Ｔ_obj より小さいので、Ｓ３８のように調
整することで、実際の走査時間Ｔを大きくして所望の走
査時間Ｔ_obj に近づけるのである。

【０１０１】そして、Ｓ３７又はＳ３８で全偏向角調整
トリマ２２を回転させてコイルパターン４６に流れる電
流量を調整した後、再びＳ３２以下の処理を繰り返す。
そして、Ｓ３５で実際の短期往復時間ｔと適正な短期往
復時間ｔ１Ｔとの差の絶対値が許容範囲内となった時点
で（Ｓ３５でＹＥＳ）、この処理を終える。

【０１０２】このように、実際の短期往復時間ｔをフィ
ードバック制御することで、実際の走査時間Ｔを所望の
走査時間Ｔ_obj と一致するように制御することができ
る。このため、反射鏡４５の偏向周波数が設計値通りで
ない場合でも、出力画像の位置ズレを生じることがない
という効果が得られる。また、第３実施例では、書き込
み信号のスタートタイミングを制御するための前記ビー
ム検出器１４を用いて、走査時間を制御できるため、あ
らたに走査時間測定用の光電変換素子を備える必要がな
い。

【０１０３】尚、制御ユニット５０が本発明の走査時間
記憶手段、短期往復時間測定手段、偏向周波数測定手
段、短期往復時間算出手段、短期往復時間比較手段、全
偏向角調整手段に相当する。また、Ｓ３２が短期往復時
間測定手段及び偏向周波数測定手段の処理に、Ｓ３３が
短期往復時間算出手段の処理に、Ｓ３５及びＳ３６が短
期往復時間比較手段の処理に、Ｓ３７及びＳ３８が全偏
向角調整手段の処理に相当する。 ［第４実施例］第４実施例の光走査装置の構成は、第３
実施例と同様の構成であるため、その説明を省略する。

【０１０４】この第４実施例の光走査装置における全偏
向角調整処理は、実際の走査時間Ｔを直接測定する代わ
りに、書き込み信号のスタートタイミングを制御するた
めのビーム検出器１４の検出信号から偏向周波数ｆを求
めると共に長期往復時間ｔ’（反射鏡４５が１周期分正
弦揺動する際、ビーム検出器１４がレーザビームを受け
た時から再びレーザビームを受ける時までの往復時間の
うち長い方の往復時間）を測定し、この長期往復時間
ｔ’に基づいて全偏向角Ａを調整し、実際の走査時間Ｔ
を所望の走査時間Ｔ_obj に一致させるものである。

【０１０５】偏向周期から偏向周波数ｆを求めれば、長
期往復時間ｔ’と、所定の走査開始位置から所定の走査
終了位置までに要する時間即ち走査時間Ｔとは、下記式
（３）の関係により１対１に対応しているため、走査時
間Ｔの代わりに長期往復時間ｔ’をモニターしながら、
全偏向角Ａを調整することで走査時間Ｔを所望の走査時
間Ｔ_obj と一致するように制御することが可能である。

【０１０６】

【数１１】

【０１０７】第４実施例の全偏向角調整処理について、
図７を参照しながら説明する。図７は第４実施例の全偏
向角調整処理のフローチャートである。尚、第４実施例
の光走査装置は、第２、３実施例と同様、この全偏向角
調整処理を１頁分の画像を出力する前に行う。そして、
この全偏向角調整処理が終了した後、１頁分の画像を出
力する。

【０１０８】光走査装置１のスイッチがオンされると、
制御ユニット５０は、上記Ｓ３０〜Ｓ３２と同様のＳ４
０〜Ｓ４２の処理を行う。Ｓ４２で実際の偏向周波数ｆ
を測定した後、適正な長期往復時間ｔ２を上記式（３）
により算出する（Ｓ４３）。即ち、上記式（３）のＴと
して所望の走査時間Ｔ_obj 、ｆとしてＳ４２で求めた偏
向周波数ｆを代入し、得られるｔを適正な長期往復時間
ｔ２とする。

【０１０９】その後、ＲＡＭ５３に記憶した往復時間ｔ
_m1と往復時間ｔ_m2のうちいずれか長い方を実際の長期往
復時間ｔ’としてＲＡＭ５３に記憶し（Ｓ４４）、この
実際の長期往復時間ｔ’と適正な長期往復時間ｔ２との
比較を行い、両者の差の絶対値が許容範囲内か否かを判
定する（Ｓ４５）。両者の差の絶対値が許容範囲内でな
ければ（Ｓ４５でＮＯ）、続いてＳ４６で両者の大小関
係を判定する。

【０１１０】Ｓ４６で実際の長期往復時間ｔ’が適正な
長期往復時間ｔ２より大きければ（Ｓ４６でＹＥＳ）、
全偏向角Ａが大きくなるように全偏向角調整トリマ２２
を回転させて光偏向素子９のコイルパターン４６に流れ
る電流量を調整する（Ｓ４７）。ここで、実際の長期往
復時間ｔ’が適正な長期往復時間ｔ２よりも大きいとい
うことは、上記式（３）から実際の走査時間Ｔは所望の
走査時間Ｔ_obj より大きいので、Ｓ４７のように調整す
ることで、実際の走査時間Ｔを小さくして所望の走査時
間Ｔ_obj に近づけるのである。

【０１１１】一方、Ｓ４６で実際の長期往復時間ｔ’が
適正な長期往復時間ｔ２より小さければ（Ｓ４６でＮ
Ｏ）、全偏向角Ａが小さくなるように全偏向角調整トリ
マ２２を回転させて光偏向素子９のコイルパターン４６
に流れる電流量を調整する（Ｓ４８）。ここで、実際の
長期往復時間ｔ’が適正な長期往復時間ｔ２より小さい
ということは、上記式（３）から実際の走査時間Ｔは所
望の走査時間Ｔ_obj より小さいので、Ｓ４８のように調
整することで、実際の走査時間Ｔを大きくして所望の走
査時間Ｔ_obj に近づけるのである。

【０１１２】そして、Ｓ４７又はＳ４８で全偏向角調整
トリマ２２を回転させてコイルパターン４６に流れる電
流量を調整した後、再びＳ４２以下の処理を繰り返し行
う。そして、Ｓ４５で実際の長期往復時間ｔ’と適正な
長期往復時間ｔ２との差の絶対値が許容範囲内となった
時点で（Ｓ４５でＹＥＳ）、この処理を終える。

【０１１３】このように、実際の長期往復時間ｔ’をフ
ィードバック制御することで、実際の走査時間Ｔを所望
の走査時間Ｔ_obj と一致するように制御することができ
る。このため、反射鏡４５の偏向周波数が設計値通りで
ない場合でも、出力画像の位置ズレを生じることがない
という効果が得られる。また、第４実施例では、第３実
施例と同様、書き込み信号のスタートタイミングを制御
するための前記ビーム検出器１４を用いて、走査時間を
制御できるため、あらたに走査時間測定用の光電変換素
子を備える必要がない。

【０１１４】尚、制御ユニット５０が本発明の走査時間
記憶手段、長期往復時間測定手段、偏向周波数測定手
段、長期往復時間算出手段、長期往復時間比較手段、全
偏向角調整手段に相当する。また、Ｓ４２が長期往復時
間測定手段及び偏向周波数測定手段の処理に、Ｓ４３が
長期往復時間算出手段の処理に、Ｓ４５及びＳ４６が長
期往復時間比較手段の処理に、Ｓ４７及びＳ４８が全偏
向角調整手段の処理に相当する。 ［第５実施例］第５実施例の光走査装置の構成は、第３
実施例と同様の構成であるため、その説明を省略する。

【０１１５】この第５実施例の光走査装置における全偏
向角調整処理は、実際の走査時間Ｔを直接測定する代わ
りに、所定の走査点における走査速度Ｖを測定し、この
走査速度Ｖに基づいて全偏向角Ａを調整することによ
り、実際の走査時間Ｔを所望の走査時間Ｔ_obj に一致さ
せるものである。

【０１１６】第５実施例の光走査装置において、ビーム
検出器１４は、小さな入射スリットと応答速度の速い光
電変換素子基板から成る（例えば、図１１の一対のスリ
ット板８２、８２により形成された入射スリットと応答
速度の速い光電変換素子基板８３を参照）。この入射ス
リットのスリット幅は一定であるため、ビーム検出器１
４の入射スリットにレーザビームが入射し始めてからス
リット幅を通過するまでの時間ｔｓ（図５参照）を測定
すれば、導光ミラー１３を設置した位置での走査速度Ｖ
が得られる。即ち、制御ユニット５０が、ビーム検出器
１４の検出信号の出力が開始された時点からその出力が
終了するまでの時間ｔｓを測定すれば、導光ミラー１３
を設置した位置における走査速度Ｖが求められる。

【０１１７】また、偏向周期から偏向周波数ｆを求めれ
ば、走査速度Ｖと、所定の走査開始位置から所定の走査
終了位置までに要する時間即ち走査時間Ｔとは、下記式
（４）の関係により１対１に対応しているため、走査時
間Ｔの代わりに走査速度Ｖをモニターしながら、全偏向
角Ａを調整することで実際の走査時間Ｔを所望の走査時
間Ｔ_obj と一致するように制御することが可能である。
尚、下記式（４）中、Ｆは結像レンズ１２の焦点距離で
ある。

【０１１８】

【数１２】

【０１１９】第５実施例の全偏向角調整処理について、
図８を参照しながら説明する。図８は第５実施例の全偏
向角調整処理のフローチャートである。尚、第５実施例
の光走査装置は、第２〜４実施例と同様、この全偏向角
調整処理を１頁分の画像を出力する前に行う。そして、
この全偏向角調整処理が終了した後、１頁分の画像を出
力する。

【０１２０】光走査装置１のスイッチがオンされると、
制御ユニット５０は、上記Ｓ３０〜Ｓ３１と同様のＳ５
０〜Ｓ５１の処理を行う。Ｓ５１で準備時間が経過した
ならば（Ｓ５１でＹＥＳ）、実際の走査速度Ｖを測定
し、ＲＡＭ５３に記憶する（Ｓ５２）。この実際の走査
速度Ｖの測定は、制御ユニット５０がビーム検出器１４
の検出信号の出力が開始された時点からその出力が終了
するまでの時間ｔｓを測定することにより、ビーム検出
器１４の所定のスリット幅を通過するのに要する時間が
わかるため、導光ミラー１３を設置した位置での走査速
度Ｖが求められる。

【０１２１】続いて、実際の偏向周波数ｆを測定する
（Ｓ５３）。この処理は、第３実施例のＳ３２と同様で
ある。続いて、適正な走査速度Ｖ１を上記式（４）によ
り算出する（Ｓ５４）。即ち、上記式（４）のＴとして
所望の走査時間Ｔ_obj 、ｆとしてＳ５３で求めた偏向周
波数ｆを代入し、得られるＶを適正な走査速度Ｖ１とす
る。

【０１２２】そして、実際の走査速度Ｖと適正な走査速
度Ｖ１との比較を行い、両者の差の絶対値が許容範囲内
か否かを判定する（Ｓ５５）。両者の差の絶対値が許容
範囲内でなければ（Ｓ５５でＮＯ）、続いてＳ５６で両
者の大小関係を判定する。Ｓ５６で実際の走査速度Ｖが
適正な走査速度Ｖ１より小さければ（Ｓ５６でＮＯ）、
全偏向角Ａが大きくなるように全偏向角調整トリマ２２
を回転させて光偏向素子９のコイルパターン４６に流れ
る電流量を調整する（Ｓ５７）。ここで、実際の走査速
度Ｖが適正な走査速度Ｖ１より小さいということは、上
記式（４）から実際の走査時間Ｔは所望の走査時間Ｔ
_obj より大きいので、Ｓ５７のように調整することで、
実際の走査時間Ｔを小さくして所望の走査時間Ｔ_obj に
近づけるのである。

【０１２３】一方、Ｓ５６で実際の走査速度Ｖが適正な
走査速度Ｖ１より大きければ（Ｓ５６でＹＥＳ）、全偏
向角Ａが小さくなるように全偏向角調整トリマ２２を回
転させて光偏向素子９のコイルパターン４６に流れる電
流量を調整する（Ｓ５８）。ここで、実際の走査速度Ｖ
が適正な走査速度Ｖ１より大きいということは、上記式
（４）から実際の走査時間Ｔは所望の走査時間Ｔ_obj よ
り小さいので、Ｓ５８のように調整することで、実際の
走査時間Ｔを大きくして所望の走査時間Ｔ_objに近づけ
るのである。

【０１２４】そして、Ｓ５７またはＳ５８で全偏向角調
整トリマ２２を回転させてコイルパターン４６に流れる
電流量を調整した後、再びＳ５２以下の処理を行う。そ
して、Ｓ５５で実際の走査速度Ｖと適正な走査速度Ｖ１
との差の絶対値が許容範囲内となった時点で（Ｓ５５で
ＹＥＳ）、この処理を終える。

【０１２５】このように、実際の走査速度Ｖをフィード
バック制御することで、実際の走査時間Ｔを所望の走査
時間Ｔ_obj と一致するように制御することができる。こ
のため、反射鏡４５の偏向周波数が設計値通りでない場
合でも、出力画像の位置ズレを生じることがないという
効果が得られる。また、この第５実施例では、第３実施
例と同様、書き込み信号のスタートタイミングを制御す
るための前記ビーム検出器１４を用いて、走査時間を制
御できるため、あらたに走査時間測定用の光電変換素子
を備える必要がない。

【０１２６】尚、制御ユニット５０が本発明の走査時間
記憶手段、走査速度測定手段、偏向周波数測定手段、走
査速度算出手段、走査速度比較手段、全偏向角調整手段
に相当する。また、Ｓ５２が走査速度測定手段の処理
に、Ｓ５３が偏向周波数測定手段の処理に、Ｓ５４が走
査速度算出手段の処理に、Ｓ５５及びＳ５６が走査速度
較手段の処理に、Ｓ５７及びＳ５８が全偏向角調整手段
の処理に相当する。 ［上記実施例の変形例］上記各実施例にて示したような
光偏向素子９とバイアス磁界を与えるための駆動部１１
としての永久磁石とからなる正弦揺動共振型偏向器のみ
でなく、たとえば、永久磁石の代わりの駆動部として積
層圧電素子と機械的変倍てこ機構を用いた正弦揺動共振
型偏向器や、電磁駆動型のガルバノミラーのうち、レー
ザビームを偏向する偏向手段の機械共振点にて偏向に作
用する素子が正弦的に揺動するような型のものであれ
ば、いずれのものでもその偏向周波数が個体間でばらつ
いたり、または、環境変動による偏向周波数の変化とい
う共通の問題点を持ち得るため、上述した本実施例の主
旨に添う構成をとることが可能となり、それにより得ら
れる効果は本実施例と同様に大きいものである。

【図面の簡単な説明】

【図１】 第１実施例の光走査装置の概略説明図であ
る。

【図２】 第１実施例の光偏向素子の斜視図である。

【図３】 第１実施例の全偏向角調整処理のフローチャ
ートである。

【図４】 第２実施例の光走査装置の概略説明図であ
る。

【図５】 第３実施例のタイムチャートである。

【図６】 第３実施例の全偏向角調整処理のフローチャ
ートである。

【図７】 第４実施例の全偏向角調整処理のフローチャ
ートである。

【図８】 第５実施例の全偏向角調整処理のフローチャ
ートである。

【図９】 全偏向角Ａと走査時間Ｔの関係を表すグラフ
である。

【図１０】 出力画像の位置ズレを表す説明図である。

【図１１】 従来の光走査装置の概略説明図である。

【図１２】 従来の光偏向素子の斜視図である。

【符号の説明】

１・・・光走査装置、 ２・・・筐体、３・
・・感光ドラム、 ４・・・半導体レーザ、
５・・・コリメータレンズ、 ９・・・光偏向素
子、１０・・・偏向器、 １１・・・駆動
部、１２・・・結像レンズ、 １３・・・導光
ミラー、１４・・・ビーム検出器、 １７・・・
基板、１９・・・オリカエシミラー群、 ２５・・・レ
ーザユニット、４１・・・フレーム、 ４
２、４３・・・バネ部、４４・・・可動部、
４５・・・反射鏡、４６・・・コイルパターン、
５０・・・制御ユニット、

Claims (16)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 光ビームを出射する光ビーム出射手段
   と、 偏向面が正弦揺動することにより前記光ビームを偏向さ
   せる光偏向手段と、 前記光偏向手段により偏向された光ビームが結像レンズ
   を介して被走査媒体上を走査するように前記光ビーム出
   射手段を制御する出射制御手段とを備えた光走査装置に
   おいて、 前記光ビームが前記被走査媒体上における所定の走査開
   始位置から所定の走査終了位置まで走査するのに要する
   走査時間につき、所望の走査時間を記憶する走査時間記
   憶手段と、 実際の走査時間が所望の走査時間と一致するように、前
   記光偏向手段の偏向面が正弦揺動するときの最大角度
   （即ち全偏向角）を調整する全偏向角調整手段とを備え
   たことを特徴とする光走査装置。
2. 【請求項２】 前記全偏向角調整手段は、下記式（１）
   に基づいて全偏向角を調整することを特徴とする請求項
   １記載の光走査装置。 【数１】 但し、Ａは全偏向角、Ｂは前記所定の走査開始位置から
   前記所定の走査終了位置まで走査される際に前記光偏向
   手段の偏向面が偏向する角度（即ち実効偏向角）、ｆは
   前記光偏向手段の偏向面が正弦揺動するときの偏向周波
   数、Ｔは走査時間である。
3. 【請求項３】 前記走査時間を測定する走査時間測定手
   段と、 該走査時間測定手段により測定された実際の走査時間と
   前記走査時間記憶手段により記憶された所望の走査時間
   とを比較する走査時間比較手段とを備え、 前記全偏向角調整手段は、前記走査時間比較手段の結果
   に基づいて、実際の走査時間が所望の走査時間と一致す
   るように全偏向角を調整することを特徴とする請求項１
   又は２記載の光走査装置。
4. 【請求項４】 前記全偏向角調整手段は、前記走査時間
   比較手段の結果、実際の走査時間の方が所望の走査時間
   よりも大きいときには全偏向角が大きくなるように調整
   し、実際の走査時間の方が所望の走査時間よりも小さい
   ときには全偏向角が小さくなるように調整することを特
   徴とする請求項３記載の光走査装置。
5. 【請求項５】 全偏向角内の所定位置に設けた光ビーム
   検出手段と、 前記光偏向手段の偏向面が１周期分正弦揺動する際、前
   記光ビーム検出手段が光ビームを検出した時から再び光
   ビームを検出する時までの往復時間のうち短い方の往復
   時間（即ち短期往復時間）を測定する短期往復時間測定
   手段と、 前記光偏向手段の偏向面が正弦揺動するときの偏向周波
   数を測定する偏向周波数測定手段と、 前記偏向周波数測定手段により測定された偏向周波数及
   び前記走査時間記憶手段により記憶された所望の走査時
   間から、適正な短期往復時間を算出する短期往復時間算
   出手段と、 前記短期往復時間測定手段により測定された実際の短期
   往復時間と前記短期往復時間算出手段により算出された
   適正な短期往復時間とを比較する短期往復時間比較手段
   と、 を備え、 前記全偏向角調整手段は、前記短期往復時間比較手段の
   結果に基づいて、実際の走査時間が所望の走査時間と一
   致するように全偏向角を調整することを特徴とする請求
   項１記載の光走査装置。
6. 【請求項６】 前記短期往復時間算出手段は、下記式
   （２）に基づいて適正な短期往復時間を算出することを
   特徴とする請求項５記載の光走査装置。 【数２】 但し、ｔは短期往復時間、Ｂは実効偏向角、Ｃは前記光
   ビーム検出手段に光ビームが入射するときの、前記偏向
   面で反射された光ビームの進行方向を示す直線と前記偏
   向面の振動の中心線とがなす角度、ｆは前記偏向面が正
   弦揺動するときの偏向周波数、Ｔは走査時間である。
7. 【請求項７】 前記全偏向角調整手段は、前記短期往復
   時間比較手段の結果、実際の短期往復時間の方が所望の
   短期往復時間よりも小さいときには全偏向角が大きくな
   るように調整し、実際の短期往復時間の方が所望の短期
   往復時間よりも大きいときには全偏向角が小さくなるよ
   うに調整することを特徴とする請求項５又は６記載の光
   走査装置。
8. 【請求項８】 全偏向角内の所定位置に設けた光ビーム
   検出手段と、 前記光偏向手段の偏向面が１周期分正弦揺動する際、前
   記光ビーム検出手段が光ビームを検出した時から再び光
   ビームを検出する時までの往復時間のうち長い方の往復
   時間（即ち長期往復時間）を測定する長期往復時間測定
   手段と、 前記光偏向手段の偏向面が正弦揺動するときの偏向周波
   数を測定する偏向周波数測定手段と、 前記偏向周波数測定手段により測定された偏向周波数及
   び前記走査時間記憶手段により記憶された所望の走査時
   間から、適正な長期往復時間を算出する長期往復時間算
   出手段と、 前記長期往復時間測定手段により測定された実際の長期
   往復時間と前記長期往復時間算出手段により算出された
   適正な長期往復時間とを比較する長期往復時間比較手段
   と、 を備え、 前記全偏向角調整手段は、前記長期往復時間比較手段の
   結果に基づいて、実際の走査時間が所望の走査時間と一
   致するように全偏向角を調整することを特徴とする請求
   項１記載の光走査装置。
9. 【請求項９】 前記長期往復時間算出手段は、下記式
   （３）に基づいて適正な長期往復時間を算出することを
   特徴とする請求項８記載の光走査装置。 【数３】 但し、ｔ２は長期往復時間、Ｂは実効偏向角、Ｃは前記
   光ビーム検出手段に光ビームが入射するときの、前記偏
   向面で反射された光ビームの進行方向を示す直線と前記
   偏向面の振動の中心線とがなす角度、ｆは前記偏向面が
   正弦揺動するときの偏向周波数、Ｔは走査時間である。
10. 【請求項１０】 前記全偏向角調整手段は、前記長期往
    復時間比較手段の結果、実際の長期往復時間の方が所望
    の長期往復時間よりも大きいときには全偏向角が大きく
    なるように調整し、実際の長期往復時間の方が所望の長
    期往復時間よりも小さいときには全偏向角が小さくなる
    ように調整することを特徴とする請求項８又は９記載の
    光走査装置。
11. 【請求項１１】 前記光ビーム検出手段は、前記被走査
    媒体上を走査される光ビームの水平同期をとるための検
    出器を利用したことを特徴とする請求項５〜１０のいず
    れかに記載の光走査装置。
12. 【請求項１２】 前記光ビームの所定の走査点における
    走査速度を測定する走査速度測定手段と、 前記光偏向手段の偏向面が正弦揺動するときの偏向周波
    数を測定する偏向周波数測定手段と、 前記偏向周波数測定手段により測定された偏向周波数及
    び前記走査時間記憶手段により記憶された所望の走査時
    間から、前記所定の走査点における適正な走査速度を算
    出する走査速度算出手段と、 前記走査速度測定手段により測定された実際の走査速度
    と前記走査速度算出手段により算出された適正な走査速
    度とを比較する走査速度比較手段と、 を備え、 前記全偏向角調整手段は、前記走査速度比較手段の結果
    に基づいて、実際の走査時間が所望の走査時間と一致す
    るように全偏向角を調整することを特徴とする請求項１
    記載の光走査装置。
13. 【請求項１３】 前記走査速度算出手段は、下記式
    （４）に基づいて適正な走査速度を算出することを特徴
    とする請求項１２記載の光走査装置。 【数４】 但し、Ｖは走査速度、Ｆは結像レンズの焦点距離、Ｂは
    実効偏向角、Ｃは前記光ビーム検出手段に光ビームが入
    射するときの、前記偏向面で反射された光ビームの進行
    方向を示す直線と前記偏向面の振動の中心線とがなす角
    度、ｆは前記偏向面が正弦揺動するときの偏向周波数、
    Ｔは走査時間である。
14. 【請求項１４】 前記全偏向角調整手段は、前記走査速
    度比較手段の結果、実際の走査速度の方が所望の走査速
    度よりも小さいときには全偏向角が大きくなるように調
    整し、実際の走査速度の方が所望の走査速度よりも大き
    いときには全偏向角が小さくなるように調整することを
    特徴とする請求項１２又は１３記載の光走査装置。
15. 【請求項１５】 前記走査速度測定手段は、前記被走査
    媒体上を走査される光ビームの水平同期をとるための検
    出器を利用したことを特徴とする請求項１２〜１４のい
    ずれかに記載の光走査装置。
16. 【請求項１６】 前記光偏向手段は、単一の絶縁基板を
    エッチングすることによって作製した光偏向素子と該光
    偏向素子を正弦揺動させる駆動部とを含んでなることを
    特徴とする請求項１〜１５のいずれかに記載の光走査装
    置。