JPH0922258A - 発光素子および表示装置 - Google Patents

発光素子および表示装置

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JPH0922258A
JPH0922258A JP7170556A JP17055695A JPH0922258A JP H0922258 A JPH0922258 A JP H0922258A JP 7170556 A JP7170556 A JP 7170556A JP 17055695 A JP17055695 A JP 17055695A JP H0922258 A JPH0922258 A JP H0922258A
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JP
Japan
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conductor
electrode
phosphor
light emitting
emitting device
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JP7170556A
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Inventor
Hiroshi Sakurai
浩 櫻井
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Panasonic Holdings Corp
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Matsushita Electronics Corp
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 簡単な構成で、電子を加速するための真空空
間部を必要としない量産性を有する発光素子および表示
装置を得る。 【構成】 本発明の発光素子は、支持基板9の上に、第
1の導電体10、強誘電体11および第2の導電体12
を順次形成している。第2の導電体12は、金属電極1
3と蛍光体14とで構成され、強誘電体11上に金属電
極13および蛍光体14を順次形成したものである。電
圧印加手段であるパルス電源15は、第1の導電体10
と金属電極13との間に、正負の反転パルス電圧を印加
するものである。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、照明や表示などに用い
られる発光素子および表示装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】図15に示すように、従来の強誘電体を
用いた電子放電素子は、安定した電子放電特性を得るた
めに、ベース電極1表面に、強誘電体2および櫛形のゲ
ート電極3を順次形成し、かつゲート電極3上に、電子
を加速するためにH=約15mmの真空空間部4を介し
て陽極5を対向配置したものである。そして、例えば、
陽極5側に蛍光体を設け、パルス電源6により、ベース
電極1とゲート電極3との間に正負の反転パルス電圧を
印加し、かつ直流電源7により、ゲート電極3と陽極5
との間に直流電圧を印加し、強誘電体2表面から放出さ
れる電子8が陽極5側の蛍光体に衝突して、発光を行う
ものである(特開平5−325777号公報参照)。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来の電子放電素子を用いて発光を行うものでは、
電子8を加速するための真空空間部4を必要とするた
め、装置が大きくなり、また、製造工程において、排気
工程を必要とするため、真空空間部4の気密性を保つた
めの、容器および内部の電極3等の構造物材料が限定さ
れ、かつ、このような限定条件下で、一定レベルの気密
性を保つことが難しく歩留りを低下させるという量産性
の問題があった。
【0004】本発明は、簡単な構成でもって、電子を加
速するための真空空間部を必要としない量産性を有する
発光素子および表示装置を提供するものである。
【0005】
【課題を解決するための手段】本発明の発光素子は、第
1の導電体の表面に順次形成された強誘電体と第2の導
電体とを備え、前記第1の導電体および前記第2の導電
体の少なくとも一方に蛍光体を有するものである。
【0006】また、本発明の表示装置は、本発明の発光
素子をマトリックス状に配列したものである。
【0007】
【作用】かかる発光素子の構成により、第1の導電体と
第2の導電体との間にパルス電圧を印加すると、強誘電
体表面から電子が放出され、放出された電子が、蛍光体
を有する第1の導電体または第2の導電体を透過して蛍
光体に衝突し、衝突した電子によって励起された蛍光体
が可視光を発生するので、真空空間部を不要にすること
ができる。
【0008】また、かかる表示装置の構成により、マト
リックス状に配列した発光素子を選択的に発光させるこ
とで、画像表示を行うことができる。
【0009】
【実施例】以下、本発明発光素子の実施例について、図
面を用いて説明する。
【0010】本発明第1の実施例の発光素子は、図1に
示すように、厚さ約1mmのセラミックからなる支持基
板9の上に、Alのスパッタ膜からなる第1の導電体1
0、電子の放出量を考慮した厚さ約60μm(好ましく
は、約40〜80μm)のPZT(Pb(Zr,Ti)
3)からなる強誘電体11および第2の導電体12を
順次形成している。第2の導電体12は、電子の透過を
考慮して約10nm(好ましくは、約5〜30nmであ
る)で、かつ導電性、成膜性およびパターン加工性を考
慮したAuのスパッタ膜からなる金属電極13と、厚さ
約20μmに成膜され、かつ約5eVの低エネルギーで
励起発光する特性を持つZnS:Au,Al(ZnSは
母体、Au,Alは付活剤を表し、発光色は黄緑色であ
り、以下ZnSという)蛍光体14とで構成され、強誘
電体11上に金属電極13および蛍光体14を順次形成
したものである。電圧印加手段であるパルス電源15
は、第1の導電体10と金属電極13との間に、例えば
図2に示すような正負の反転パルス電圧を印加するもの
である。
【0011】次に、上記発明の発光素子の動作について
説明する。本発明第1の実施例は、パルス電源15によ
り、第1の導電体10と金属電極13との間に電圧を印
加すると、金属電極13が第1の導電体10に対して、
負パルス電圧から正のパルス電圧に反転した際に、強誘
電体11の表面から金属電極13方向に電子が放出され
る。放出された電子は、金属電極13に到達し、ある程
度エネルギーを失うものの、金属電極13の厚みが約1
0nmと薄いので、電子のほとんどが金属電極13を透
過して蛍光体14に衝突し、衝突した電子によって励起
された蛍光体14が可視光16を発生する。その結果、
従来の真空空間部(H=約15mm)を不要にすること
ができるので、発光素子の構造が簡単になり、かつ発光
素子の厚みを薄くすることができる。また、真空空間部
を有しないので、製造工程において、排気工程が不要と
なり、かつ真空空間部の気密性を保つための、容器およ
び電極等の構造物材料選定の裕度が大きくなり、量産性
を向上することができる。さらに、支持基板9上に、第
1の導電体10、強誘電体11および第2の導電体12
を順次形成しているので、支持基板9を有しないものに
比べ、破損しにくい信頼性の高い発光素子を得ることが
できる。
【0012】なお、上記第1の実施例の発光素子は、支
持基板9を設け、第2の導電体12に蛍光体14を有し
たものであるが、支持基板9を取除き、かつ蛍光体14
を第1の導電体10および第2の導電体12の少なくと
も一方に有するものでもよい。
【0013】また、上記第1の実施例以外に下記の材料
および成形方法等にも対応でき、第1の導電体10およ
び金属電極13については、材料が導電性であるPt,
Au,CrおよびITO透明導電膜(In23にSnな
どを添加したもの、以下、ITO透明導電膜)という)
等のもの、形成方法が真空蒸着のもの、さらに第1の導
電体10については、電子を透過する必要がないので、
厚み制限のないNiペースト等を用いて印刷により形成
するもの、強誘電体11については、材料がPLZT
((Pb,La)(Zr,Ti)O3)、BTO(Ba
TiO3)、以下PLZTという)等のもの、蛍光体1
4については、材料が導電性を有するZnO:Zn(Z
nOは母体、Znは付活剤を表し、発光色は緑であり、
以下ZnOという)等のものであっても、上記第1の実
施例と同様な効果を得ることができる。さらに、第1の
実施例の発光素子を、マトリックス状に配列し、かつそ
の発光素子を選択的に発光させることで、画像を表示す
る表示装置を得ることができる。
【0014】図3は本発明第2の実施例の発光素子を示
し、上記第1の実施例とは、支持基板9を除き、かつ蛍
光体14を有する側の第2の導電体12の上に厚さ約1
mmのガラス材料からなる透明支持基板17を設けた点
が相違している。
【0015】この第2の実施例によれば、パルス電源1
5により、第1の導電体10と金属電極13との間に電
圧を印加すると、金属電極13が第1の導電体10に対
して、負パルス電圧から正のパルス電圧に反転した際
に、強誘電体11の表面から金属電極13方向に電子が
放出される。放出された電子は、金属電極13を透過し
て蛍光体14に衝突して可視光16を発生する。発生し
た可視光16は、透明支持基板17を通して放出する。
その結果、本発明第1の実施例と同様な効果を有し、特
に、蛍光体14を有する側の第2の導電体12の上に透
明支持基板17を設けたことで、蛍光体14が透明支持
基板17により保護され、信頼性の高い発光素子を得る
ことができる。
【0016】図4は本発明第3の実施例の発光素子を示
し、上記第2の実施例とは、第1の導電体10が、約1
0nmのAuスパッタ膜からなる金属電極13aと、厚
さ約20μmで、かつ数十eVの低エネルギーで励起発
光する特性を持つZnSの蛍光体14aとで構成され、
強誘電体11上に金属電極13aおよび蛍光体14aを
順次形成している点が相違している。
【0017】この第3の実施例によれば、パルス電源1
5により、金属電極13aと金属電極13との間に電圧
を印加すると、強誘電体11の両面から交互に蛍光体1
4,14aに向けて電子が放出され、この電子によって
それぞれの蛍光体14,14aから可視光16,16a
を放出する。その結果、本発明の第2の実施例と同様な
効果を有し、特に、蛍光体14,14aを強誘電体11
のそれぞれ片面に設けたことで、両面で発光できる発光
素子を得ることができる。
【0018】なお、本発明第3の実施例は、強誘電体1
1を、第3の導電体とその両面に形成された薄膜状の強
誘電体とで構成し、第1の導電体10と第3の導電体と
の間および、第2の導電体12と第3の導電体との間に
正負の反転パルス電圧を印加するものであってもよく、
この構成においては、両面からの発光を独立に制御する
ことができる。
【0019】図5は本発明第4の実施例の発光素子を示
し、上記第1の実施例とは、金属電極13に、マスクパ
ターンを用いたウェットエッチングにより直径200μ
mの複数の円形の開口18をピッチ約300μmで形成
している点が相違している。
【0020】この第4の実施例によれば、パルス電源1
5により、第1の導電体10と金属電極13との間に電
圧を印加すると、強誘電体11から放出された電子は、
金属電極13および開口18を通って蛍光体14に衝突
し、蛍光体14から可視光16を放出する。その結果、
放出された可視光16の発光は、肉眼では蛍光体14の
全面でほぼ均一に観測され、また、電子が開口18を通
して蛍光体14に直接に衝突するので発光輝度を向上す
ることができる。
【0021】なお、本発明第4の実施例では、開口18
を有し、厚さ約10nmの金属電極13を用いた例につ
いて説明したが、開口18を有する場合、厚さのもっと
厚い金属電極13を用いてもよい。また、開口18の空
間は、強誘電体11または蛍光体14により埋めるほう
が好ましい。さらに、開口18の形状は、円形に限るも
のでなく、例えばスリットでも、上記本発明第4の実施
例と同様の効果を得ることができる。
【0022】図6は本発明第5の実施例の発光素子を示
し、上記第1の実施例とは、第2の導電体12が、厚さ
200nmのITO透明導電膜からなる金属電極13a
と、厚さ約20μmのZnSからなる蛍光体14とで構
成され、強誘電体11上に蛍光体14および金属電極1
3aを順次形成した点が相違している。
【0023】この第5の実施例によれば、パルス電源1
5により、第1の導電体10と金属電極13aとの間に
電圧を印加すると、強誘電体11から放出された電子
は、蛍光体14に直接に衝突し、衝突した電子によって
励起された蛍光体14が可視光16を発生し透明導電膜
からなる金属電極13aを通って可視光16を放出す
る。その結果、本発明第1〜4実施例に比べて、高い輝
度が得られる。
【0024】なお、本発明第5の実施例は、支持基板9
を除き、かつ蛍光体14を有する側の第2の導電体12
の上に透明支持基板を設けたものであっても、上記本発
明第5の実施例と同様の効果を得ることができる。
【0025】図7は本発明第6の実施例の発光素子を示
し、上記第5の実施例とは、支持基板9を透明支持基板
17に、第2の導電体12の蛍光体14を厚さ約20μ
mのZnOの導電性蛍光体材料からなる蛍光体19にそ
れぞれ変更し、かつ第1の導電体10が、厚さ200n
mのITO透明導電膜からなる金属電極13bと、厚さ
約20μmのZnO導電性蛍光体材料からなる蛍光体1
9とで構成され、強誘電体11上に蛍光体19および金
属電極13bを順次形成した点が相違している。
【0026】この第6の実施例によれば、パルス電源1
5により、金属電極13aと金属電極13bとの間に電
圧を印加して、強誘電体11の両面から交互に表示する
ものであるが、蛍光体19を導電性蛍光体材料で構成し
ているので、透明導電膜を用いた金属電極13a,13
bの抵抗を下げることができ、その結果、パルス電源1
5からの電圧を低くすることができる。
【0027】図8は本発明第7の実施例の発光素子を示
し、上記第6の実施例とは、第1の導電体10および第
2の導電体12が、厚さ約20μmのZnO導電性蛍光
体材料からなる蛍光体19のみで構成されている点が相
違している。
【0028】この第7の実施例によれば、パルス電源1
5により、第1の導電体10と第2の導電体12との間
に電圧を印加して、強誘電体11の両面から交互に表示
するものであるが、第1の導電体10および第2の導電
体12を導電性蛍光体材料からなる蛍光体19のみ、す
なわち第6の実施例のような透明導電膜を有しない構成
にしているので、第6の実施例に比べ、発光輝度をさら
に向上することができる。
【0029】図9は本発明第8の実施例の発光素子を示
し、上記第1の実施例とは、第1の導電体10がストラ
イプ状に形成された複数の第1の電極20およびその引
出し線20a〜dで構成され、第2の導電体12が第1
の電極20と直交しかつ互いに平行に設けられた複数の
第2の電極21およびその引出し線21a〜dで構成さ
れ、また、隣合う第1の電極20間の隙間を強誘電体1
1により埋め、隣合う第2の電極21間の隙間を蛍光体
14により埋めている点が相違している。そして、それ
ぞれの引出し線20a〜d,21a〜dは、スイッチン
グ回路(図示せず)を介してパルス電源(図示せず)に
接続されている。
【0030】この第8の実施例によれば、スイッチング
回路を用いてパルス電源により、最初に、引出し線21
aと選択された引出し線20a〜dとの間に電圧を印加
すると、選択された引出し線21a,20a〜dが交差
する第1の電極20と第2の電極21との間の強誘電体
11から電子が放出される。放出された電子は、第2の
電極21を透過して蛍光体14に衝突して励起され、選
択された第1の電極20と第2の電極21との交差部で
可視光16を発生する。続いて、引出し線21bと選択
された引出し線20a〜dとの間に電圧を、そして、引
出し線21c,21dに順次この動作を繰り返すことに
より、画像を表示することができる。
【0031】なお、第1の電極20と第2の電極21と
が交差する第2の電極21に、第2の電極21の幅より
小さい開口またはスリットを設けたものでもよく、開口
またはスリットを設けることにより、第8の実施例のも
のに比べ、発光輝度をさらに向上することができる。
【0032】図10は本発明第9の実施例の発光素子を
示し、上記第8の実施例とは、支持基板9を除き、かつ
蛍光体14を有する側の第2の導電体12の上に透明支
持基板17を設けた点が相違している。
【0033】この第2の実施例によれば、蛍光体14を
有する側の第2の導電体12の上に透明支持基板17を
設けたことで、蛍光体14が透明支持基板17により保
護され、信頼性の高い発光素子を得ることができる。
【0034】図11は本発明第10の実施例の発光素子
を示し、上記第8の実施例とは、第2の導電体12が、
ストライプ状に形成された厚さ200nmのITO透明
導電膜からなる複数の金属電極22、その引出し線21
a〜dおよび厚さ約20μmのZnSからなる蛍光体1
4とで構成され、強誘電体11上に蛍光体14および金
属電極22を順次形成した点が相違している。
【0035】この第10の実施例によれば、強誘電体1
1から放出された電子は、直接に蛍光体14に衝突し可
視光16を発生するため、発光効率が高く、高い輝度が
得られる。
【0036】なお、本実施例では、蛍光体14を強誘電
体11上に全面に形成したものについて説明したが、Z
nSからなる蛍光体14を、ZnOからなる導電性蛍光
体14aに変更し、かつ金属電極22と同一形状にして
もよい。導電性蛍光体14aを用いることで、透明導電
膜の金属電極22の抵抗を下げることができ、その結
果、パルス電源からの電圧を低くすることができる。
【0037】図12は本発明第11の実施例の発光素子
を示し、上記第10の実施例とは、支持基板9を除き、
かつ蛍光体14を有する側の第2の導電体12の上に透
明支持基板17を設けている点が相違している。
【0038】この第11の実施例によれば、蛍光体14
を有する側の第2の導電体12の上に透明支持基板17
を設けたことで、蛍光体14が透明支持基板17により
保護され、信頼性の高い発光素子を得ることができる。
【0039】なお、第1の導電体10を、ストライプ状
に形成された厚さ200nmのITO透明導電膜からな
る複数の金属電極、その引出し線および厚さ約20μm
のZnSからなる蛍光体14で構成し、強誘電体11上
に蛍光体14および金属電極を順次形成することで、強
誘電体11の両面からの表示もできる。また、この構成
において、強誘電体11を、第3の導電体とその両面に
形成された薄膜状の強誘電体とで構成してもよい。
【0040】図13は本発明第12の実施例の発光素子
を示し、上記第11の実施例とは、第2の導電体12
が、ストライプ状に形成された厚さ約20μmのZnO
からなる導電性蛍光体19およびその引出し線21a〜
dのみで構成されている点が相違している。
【0041】この第12の実施例によれば、第11の実
施例のような透明導電膜を有しないので、透明導電膜に
よる可視光16の減衰がなく、高い輝度が得られる。
【0042】なお、第1の導電体10を、ストライプ状
に形成された厚さ約20μmのZnOからなる導電性蛍
光体およびその引出し線21a〜dで構成することで、
強誘電体11の両面からの表示もできる。
【0043】次に本発明の作用効果を確認した実験例に
ついて説明する。図14は代表的な本発明実施例の発光
素子において、パルス電圧の周波数と発光輝度の関係に
ついて表わしたものである。
【0044】図14において、曲線aは図1に示す構成
の本発明第1の実施例の発光素子、曲線bは図5に示す
構成の本発明第4の実施例の発光素子、曲線cは図6に
示す構成の本発明第5の実施例の発光素子、曲線dは図
8に示す構成の本発明第7の実施例の発光素子につい
て、発光輝度をそれぞれ示したものである。実験条件は
上記それぞれの実施例で説明した通りであり、また第1
の導電体と第2の導電体との間の印加電圧については、
例えば図2に示すような+150Vと−250Vとのパ
ルス電圧で行ったものである。
【0045】図14から明らかなように、本発明の発光
素子は、曲線a、曲線b、曲線cおよび曲線dの順序で
発光輝度が高く、また、例えばパルス電圧の周波数10
00Hzの場合における発光輝度が、いずれの曲線も約
3cd/m2 以上あり、発光素子として充分使用できる
ことがわかる。曲線aから、第2の導電体12の金属電
極13を電子が透過していることがわかる。曲線aおよ
び曲線bから、開口18を有していない金属電極13の
もの(曲線a)より、開口18を有する金属電極13の
もの(曲線b)の方が、約2倍の高い輝度を得ることが
わかる。曲線a、曲線cおよび曲線dから、金属電極1
3を介して電子を蛍光体14に衝突させるもの(曲線
a)より、金属電極13a,13bを介することなく、
電子を蛍光体14,19に直接に衝突させるもの(曲線
cおよび曲線d)の方が約6倍以上の高い輝度を得るこ
とがわかる。
【0046】以上、本発明の発光素子および表示装置
は、上記本発明第1〜12の実施例以外に、本発明第1
〜12の実施例のそれぞれを組合わせたものも含むもの
である。
【0047】
【発明の効果】以上説明したように、第1の導電体の表
面に順次形成された強誘電体と第2の導電体とを備え、
第1の導電体および第2の導電体の少なくとも一方に蛍
光体を有することにより、従来の真空空間部を不要にす
ることができるので、発光素子および表示装置の構造が
簡単になり、かつ発光素子および表示装置の厚みを薄く
することができる。また、真空空間部を有しないので、
製造工程において、排気工程が不要となり、真空空間部
の気密性を保つための、容器および電極等の構造物材料
選定の裕度が拡大し、量産性を向上することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明発光素子の第1の実施例の要部構成図
【図2】同第1の実施例のパルス電圧波形図
【図3】同第2の実施例の要部構成図
【図4】同第3の実施例の要部構成図
【図5】同第4の実施例の要部構成図
【図6】同第5の実施例の要部構成図
【図7】同第6の実施例の要部構成図
【図8】同第7の実施例の要部構成図
【図9】同第8の実施例の要部構成図
【図10】同第9の実施例の要部構成図
【図11】同第10の実施例の要部構成図
【図12】同第11の実施例の要部構成図
【図13】同第12の実施例の要部構成図
【図14】同第1、第4、第5および第7の実施例にお
いて、印加電圧の周波数と発光輝度の関係を示す図
【図15】従来の表示装置の要部構成図
【符号の説明】
9 支持基板 10 第1の導電体 11 強誘電体 12 第2の導電体 13 金属電極 14 蛍光体 15 電圧印加手段

Claims (17)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 第1の導電体の表面に順次形成された強
    誘電体と第2の導電体とを備え、前記第1の導電体およ
    び前記第2の導電体の少なくとも一方に蛍光体を有する
    ことを特徴とする発光素子。
  2. 【請求項2】 強誘電体が、第3の導電体とその両面に
    形成された薄膜状の強誘電体層とで構成されていること
    を特徴とする請求項1記載の発光素子。
  3. 【請求項3】 蛍光体を有する側の第1の導電体または
    第2の導電体、または前記第1の導電体および前記第2
    の導電体の上に透明支持基板を設けたことを特徴とする
    請求項1または請求項2記載の発光素子。
  4. 【請求項4】 蛍光体を有しない側の第1の導電体また
    は第2の導電体、または前記第1の導電体および前記第
    2の導電体の上に支持基板を設けたことを特徴とする請
    求項1〜3のいずれかに記載の発光素子。
  5. 【請求項5】 第1の導電体または第2の導電体、また
    は前記第1の導電体および前記第2の導電体が、薄板状
    の金属電極と前記金属電極表面に形成された蛍光体とで
    構成されていることを特徴とする請求項1〜4のいずれ
    かに記載の発光素子。
  6. 【請求項6】 蛍光体と強誘電体との間にある第1の導
    電体または第2の導電体、または前記第1の導電体およ
    び前記第2の導電体の金属電極が、スリットまたは開口
    を有することを特徴とする請求項5記載の発光素子。
  7. 【請求項7】 蛍光体と強誘電体との間にある第1の導
    電体または第2の導電体、または前記第1の導電体およ
    び前記第2の導電体の金属電極の厚さを、約5〜30n
    mとしたことを特徴とする請求項5または請求項6記載
    の発光素子。
  8. 【請求項8】 第1の導電体および前記第2の導電体の
    少なくとも一方が、薄板状の透明電極と前記透明電極表
    面に形成された蛍光体とで構成されていることを特徴と
    する請求項1〜3のいずれかに記載の発光素子。
  9. 【請求項9】 蛍光体が導電性材料であることを特徴と
    する請求項1〜8のいずれかに記載の発光素子。
  10. 【請求項10】 第1の導電体がストライプ状に形成さ
    れた複数の第1の電極で構成され、第2の導電体が前記
    第1の電極と直交しかつ互いに平行に設けられた複数の
    第2の電極で構成され、前記第1の電極および前記第2
    の電極の少なくとも一方に蛍光体を有することを特徴と
    する請求項1〜4のいずれかに記載の発光素子。
  11. 【請求項11】 蛍光体を有する側の第1の電極または
    第2の電極、または前記第1の電極および前記第2の電
    極に、絶縁被覆をしていることを特徴とする請求項10
    記載の発光素子。
  12. 【請求項12】 蛍光体が絶縁性材料であることを特徴
    とする請求項10または請求項11記載の発光素子。
  13. 【請求項13】 蛍光体を有する側の第1の電極または
    第2の電極、または前記第1の電極および前記第2の電
    極が、透明電極材料で構成されていることを特徴とする
    請求項10〜12のいずれかに記載の発光素子。
  14. 【請求項14】 蛍光体を有する側の第1の電極または
    第2の電極、または前記第1の電極および前記第2の電
    極が薄板状の金属材料で構成され、かつ前記金属材料の
    厚さを5〜30nmとしたことを特徴とする請求項10
    〜12のいずれかに記載の発光素子。
  15. 【請求項15】 請求項1〜14のいずれかに記載の発
    光素子を備え、第1の導電体と第2の導電体との間に電
    圧印加手段を設けたことを特徴とする表示装置。
  16. 【請求項16】 電圧印加手段が、正負の反転パルス電
    圧を印加する電源であることを特徴とする請求項15記
    載の表示装置。
  17. 【請求項17】 請求項1〜14のいずれかに記載の発
    光素子を、マトリックス状に配列したことを特徴とする
    表示装置。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2007051996A (ja) * 2005-08-19 2007-03-01 Ngk Insulators Ltd 電子線照射装置

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