JPH09212863A - 光変調装置 - Google Patents
光変調装置Info
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- JPH09212863A JPH09212863A JP8015136A JP1513696A JPH09212863A JP H09212863 A JPH09212863 A JP H09212863A JP 8015136 A JP8015136 A JP 8015136A JP 1513696 A JP1513696 A JP 1513696A JP H09212863 A JPH09212863 A JP H09212863A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 露光位置によらず、原盤パターンを均一化す
ることのできる光変調装置を提供すること。 【解決手段】 音響光学素子等の光変調素子を備え露光
用のレーザ光を駆動電圧ＶC に応じて変調し所定の露光
パワーＰに設定する変調部５１と、駆動電圧ＶCを光変
調素子の最小有効電圧から最大有効電圧まで変化させた
際の当該駆動電圧ＶC と露光パワーＰとの対応関係を予
め記憶させたメモリ３と、このメモリ３に記憶された駆
動電圧ＶC と露光パワーＰとの対応関係に基づき光ディ
スク原盤上の露光位置ｒの変化に対し露光パワーＰが線
形に変化するように駆動電圧ＶC を設定制御する制御部
１とを備えたこと。
ることのできる光変調装置を提供すること。 【解決手段】 音響光学素子等の光変調素子を備え露光
用のレーザ光を駆動電圧ＶC に応じて変調し所定の露光
パワーＰに設定する変調部５１と、駆動電圧ＶCを光変
調素子の最小有効電圧から最大有効電圧まで変化させた
際の当該駆動電圧ＶC と露光パワーＰとの対応関係を予
め記憶させたメモリ３と、このメモリ３に記憶された駆
動電圧ＶC と露光パワーＰとの対応関係に基づき光ディ
スク原盤上の露光位置ｒの変化に対し露光パワーＰが線
形に変化するように駆動電圧ＶC を設定制御する制御部
１とを備えたこと。
Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、光変調装置に係
り、特に、光ディスク原盤の露光に用いる光変調装置に
関する。 【０００２】 【従来の技術】図４に従来例を示す。この図４に示す光
ディスク原盤の露光システムは、レーザ光を照射する発
光部６０と、発光されたレーザ光を変調し所定の露光パ
ワーＰに設定する光変調装置５０と、変調されたレーザ
光に基づいて光ディスク原盤を露光する露光部７０と、
この露光部７０が有する光ヘッドのディスク原盤上の半
径方向位置（露光位置）ｒを検出する位置検出部８０と
を備えている。 【０００３】このうち、光変調装置５０は、位置検出部
８０により検出された半径方向位置ｒに基づいてレーザ
光に設定すべき露光パワーを算出する制御部５３と、こ
の制御部５３による露光パワーの算出結果に基づく所定
の駆動電圧ＶC を出力する駆動部５２と、この駆動部５
２により印加された駆動電圧ＶC に応じてレーザ光の露
光パワーＰを変調する音響光学素子等を有する変調部５
１とを備えている。 【０００４】そして、位置検出部８０により露光位置ｒ
が逐次検出されると、制御部５３は、図５（ａ）に示す
ように、当該露光位置ｒの変化に対し駆動部５２から変
調部５１に印加される駆動電圧ＶC が線形的に変化する
ように制御する。 【０００５】 【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来例にあっては、変調部５１に装備された音響光学素子
等の結晶の特性により、その透過率が特に有効電圧の高
い領域又は低い領域において線形でないため、図Ｂ
（ｂ）に示すように、光ヘッドの露光位置ｒに対し実際
の露光パワーＰが一部線形に変化せず、これがため、露
光された原盤のパターンが均一性にならないという不都
合があった。 【０００６】 【発明の目的】そこで、本発明は、上記従来例の有する
不都合を改善し、特に、露光位置によらず、原盤パター
ンを均一化することのできる光変調装置を提供すること
を目的とする。 【０００７】 【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、請求項１記載の発明では、音響光学素子等の光変調
素子を備え露光用のレーザ光を駆動電圧に応じて変調し
所定の露光パワーに設定する変調部と、駆動電圧を光変
調素子の最小有効電圧から最大有効電圧まで変化させた
際の当該駆動電圧と露光パワーとの対応関係を予め記憶
させたメモリと、このメモリに記憶された駆動電圧と露
光パワーとの対応関係に基づき光ディスク原盤上の露光
位置の変化に対し露光パワーが線形に変化するように駆
動電圧を設定制御する制御部とを備えた、という構成を
採っている。 【０００８】本発明では、外部から制御部に露光位置の
情報が入力されると、当該制御部は、メモリに記憶され
た駆動電圧と露光パワーとの対応関係に基づき光ディス
ク原盤上の露光位置の変化に対し露光パワーが線形に変
化するような駆動電圧を直接にに設定制御する。 【０００９】請求項２記載の発明では、変調部を通過し
たレーザ光を分光採取するビームサンプラと、このビー
ムサンプラより分光された光を受光し当該受光量に応じ
たモニタ電圧を出力する受光部とを備え、制御部が、上
記駆動電圧と露光パワーとの対応関係を駆動電圧とモニ
タ電圧との対応関係としてメモリに予め記憶させる初期
設定機能を備えた、という構成を採っている。 【００１０】請求項３記載の発明では、制御部に、光デ
ィスク原盤上の希望露光範囲及び当該希望露光範囲の内
外周における希望露光パワーをそれぞれ入力する露光条
件設定部を併設し、制御部が、露光条件設定部より入力
された希望露光範囲及び希望露光パワーに基づきメモリ
に記憶された駆動電圧と露光パワーとの対応関係から露
光位置と駆動電圧との対応関係を導出し、この露光位置
と駆動電圧との対応関係に基づき光ディスク原盤上の露
光位置の変化に対し露光パワーが線形に変化するように
駆動電圧を設定制御する変調制御機能を備えた、という
構成を採っている。 【００１１】これらにより前述した目的を達成しようと
するものである。 【００１２】 【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施形態を図１
乃至図２に基づいて説明する。 【００１３】図１において、発光部６０と露光部７０と
を結ぶ光路上には、当該発光部６０から照射されたレー
ザ光を変調する変調部５１と、変調後のレーザ光を分光
採取するためのビームサンプラ４とがそれぞれ配設され
ている。ビームサンプラ４において分光されるレーザ光
の光路上には、受光部５が配置されている。変調部５１
には、当該変調部５１に駆動電圧ＶC を印加する駆動部
５２が併設されている。また、この駆動部５２には、駆
動電圧ＶC を制御する制御部１が併設されている。更
に、この制御部１には、メモリ３と露光条件設定部２及
び露光位置検出部８０が併設されている。 【００１４】これを更に詳述すると、本実施形態におい
て、変調部５１は、例えば音響光学素子等を備えるもの
であって、外部より入力される駆動電圧ＶC の大きさに
応じてレーザ光を変調し所定の露光パワーＰに設定す
る。 【００１５】露光部７０は、光ディスク原盤上を半径方
向に走査する露光用ヘッドを備えており、ビームサンプ
ラ４を通過したレーザ光を取り込んで光ディスク原盤の
露光を行う。 【００１６】露光位置検出部８０は、露光用ヘッドの光
ディスク原盤上での位置（露光位置）を当該光ディスク
原盤の中心位置からの距離として検出し、露光位置ｒを
表示した信号を出力する。 【００１７】受光部５は、ホトダイオード等の光センサ
を備え、ビームサンプラ４により採取された光の受光量
に応じたモニタ電圧Ｖを出力する。 【００１８】露光条件設定部２は、数値入力キーやパラ
メータ指定キー等を備え、光ディスク原盤上における露
光範囲Ｒと当該露光範囲Ｒの内外周における希望露光パ
ワーＰ1 ，Ｐ2 を入力するためのものである。 【００１９】メモリ３は、ランダムアクセスメモリ（Ｒ
ＡＭ）とリードオンリメモリ（ＲＯＭ）の双方を備えて
いる。 【００２０】制御部１は、マイクロコンピュータを備
え、マイクロプログラムの実行により各種の制御を実現
する。特に、露光位置検出部８０において検出された露
光位置ｒに基づき当該露光位置ｒに対応する露光パワー
Ｐを得られるような制御信号を駆動部５２に入力する。
ここで、制御部１の処理の詳細については後述する。 【００２１】駆動部５２は、制御部１より入力された制
御信号に応じて所定の駆動電圧ＶCを変調部５１に印加
する。 【００２２】次に、本実施形態の全体動作を図２に基づ
いて説明する。 【００２３】〔初期動作〕 【００２４】まず、装置を稼働状態に設定し、発光部６
０からレーザ光を照射させる。制御部１は、駆動部５２
に制御信号を出力し、変調部５１に光変調素子の最小有
効電圧ＶC0を印加する。これにより、変調部５１を通過
するレーザ光は変調され所定の露光パワーに設定され
る。この際、制御部１は、露光パワーに対応した大きさ
で受光部５から出力されるモニタ電圧Ｖ0 を受信し、駆
動電圧ＶC0とモニタ電圧Ｖ0 との関係を対応づけて各値
をメモリ３に格納する。次に、駆動電圧ＶC を先のＶC0
よりも一定量増加させたＶC1に設定し、これにより生じ
た露光パワーに対応し出力されたモニタ電圧Ｖ1 の値を
上述と同様にＶC1と対応づけてメモリ３に格納する。以
下、駆動電圧ＶC が光変調素子の最大有効電圧Ｖm に達
するまで上記動作が繰り返し実行され、メモリ３には図
２（ａ）に示す駆動電圧ＶC とモニタ電圧Ｖとの関係が
格納される。ここで、駆動電圧を増加させてゆく際の
「一定量」は、なるべく少量に設定され、モニタ電圧Ｖ
のサンプル数を多く得ることが、後の制御における精度
向上のためには望ましい。また、メモリ３には、露光パ
ワーＰとモニタ電圧Ｖとの対応関係も予め記憶されてい
る。 【００２５】次に、制御部１は、露光条件設定部２から
光ディスク原盤表面の露光範囲Ｒ及び当該露光範囲Ｒの
内外周における希望露光パワーＰ1 ，Ｐ2 の入力を受け
付ける。ここで、露光範囲Ｒの入力は、図３に示すよう
に、光ディスク原盤の中心からの距離を用い露光範囲Ｒ
の内周の半径ｒ1 と外周の半径ｒ2 とを入力することに
より行われる。また、希望露光パワーは、露光範囲Ｒの
内周位置（半径ｒ1 ）における希望露光パワーＰ1 と外
周位置(半径ｒ2 )における希望露光パワーＰ2とを入力
することにより行われる。 【００２６】続いて、制御部１は、メモリ３に予め記憶
された露光パワーＰとモニタ電圧Ｖとの対応関係を参照
し、露光条件設定部２から入力された希望露光パワーＰ
1 ，Ｐ2 をこれに対応するモニタ電圧Ｖb1，Ｖb2に変換
し、図２（ｂ）に示すように、内周位置ｒ1 ，外周位置
ｒ2 と対応づけてメモリ３に格納する。 【００２７】次に、制御部１は、図２（ｃ）に示すよう
に、先にメモリ３に記憶させた駆動電圧ＶC とモニタ電
圧Ｖとの対応関係（図２（ａ））を参照し、一定区間の
モニタ電圧Ｖb1〜Ｖb2に対応する区間の全ての駆動電圧
ＶCA〜ＶCBを特定する。そして、制御部１は、図２
（ｄ）に示すように、図２（ｃ）におけるモニタ電圧Ｖ
b1〜Ｖb2を全て露光位置ｒ１〜ｒ２に置換し、これによ
り得た露光位置ｒと駆動電圧ＶC との対応関係をメモリ
３に格納する。 【００２８】〔露光中の動作〕 【００２９】露光動作が開始されると、露光部７０では
露光用ヘッドが光ディスク原盤の中心から半径ｒ1 の位
置に位置決めされ、当該露光位置ｒ1 が露光位置検出部
８０により検出される。制御部１は、メモリ３に格納さ
れた露光位置ｒと駆動電圧ＶC との対応関係（図２
（ｄ））を参照し、露光位置検出部８０より入力された
露光位置ｒ１に対応する駆動電圧（ＶCA）を特定する。
そして、制御部１は、駆動部５２に所定の制御信号を送
り変調部５１に駆動電圧ＶCAを印加する。 【００３０】そして、発光部６０から露光用のレーザ光
が照射されると、変調部５１を通過し露光部７０に入力
されるレーザ光の露光パワーは、図２（ｅ）に示すよう
に、希望露光パワーに等しいＰ1 に設定される。露光動
作が進行し露光位置がｒ1 からｒ2 に徐々に変化してゆ
くと、制御部１は、位置検出部８０により検出される露
光位置ｒの変化に応じメモリ３に格納された露光位置ｒ
と駆動電圧ＶC との対応関係（図２（ｄ））を参照しつ
つ駆動電圧ＶC を逐次変更してゆく。そして、露光位置
がｒ2 に到達した時点で露光動作は終了する。 【００３１】これによると、露光位置ｒに対する露光パ
ワーＰの変化は、図２（ｅ）に示すように線形の特性を
示し、露光により得られる原盤パターンの均一性を向上
することができる。また、発光部６０の劣化により元々
のレーザ光の照射量が減少してしまった場合でも、初期
動作において線形の露光パワー変化が得られるような駆
動電圧が自動的に設定されるので、高価なイオンガスレ
ーザ素子の交換時期を遅らせることができ、経済的であ
る。 【００３２】一方、予め設定された基準電圧と変調後の
レーザ光から得られるモニタ電圧とが一致するようにフ
ィードバック制御を行い所望の露光パワーを得る方式も
考えられる。しかし、この方式では露光パワーを追従さ
せるまでに多少なりとも時間を要するため高速性の追求
に一定の限界が伴うという不都合がある。これに対し、
本実施形態における光変調装置では、駆動電圧の印加に
より一義的に所望の露光パワーが設定されフィードバッ
ク制御が不要である点で露光動作の高速性向上にも好適
であるといえる。 【００３３】ここで、駆動電圧と露光パワー（モニタ電
圧）との対応関係が予めメモリ３に記憶されていれば、
ビームサンプラ４，受光部５は構成に含まれていなくと
も良い。 【００３４】 【発明の効果】本発明は、以上のように構成され機能す
るので、これによると、制御部が、メモリに記憶された
駆動電圧と露光パワーとの対応関係に基づき光ディスク
原盤上の露光位置の変化に対し露光パワーが線形に変化
するように駆動電圧を設定制御するので、光ディスク原
盤上の露光位置に対する露光パワーの変化は、線形の特
性を示し、露光により得られる原盤パターンの均一性を
向上することができる。また、発光部の劣化により元々
のレーザ光の照射量が減少してしまった場合でも、初期
動作において線形の露光パワー変化が得られるような駆
動電圧が自動的に設定されるので、高価なイオンガスレ
ーザ素子の交換時期を遅らせることができ、露光システ
ム全体の経済化にも寄与することができる、という従来
にない優れた光変調装置を提供することができる。
り、特に、光ディスク原盤の露光に用いる光変調装置に
関する。 【０００２】 【従来の技術】図４に従来例を示す。この図４に示す光
ディスク原盤の露光システムは、レーザ光を照射する発
光部６０と、発光されたレーザ光を変調し所定の露光パ
ワーＰに設定する光変調装置５０と、変調されたレーザ
光に基づいて光ディスク原盤を露光する露光部７０と、
この露光部７０が有する光ヘッドのディスク原盤上の半
径方向位置（露光位置）ｒを検出する位置検出部８０と
を備えている。 【０００３】このうち、光変調装置５０は、位置検出部
８０により検出された半径方向位置ｒに基づいてレーザ
光に設定すべき露光パワーを算出する制御部５３と、こ
の制御部５３による露光パワーの算出結果に基づく所定
の駆動電圧ＶC を出力する駆動部５２と、この駆動部５
２により印加された駆動電圧ＶC に応じてレーザ光の露
光パワーＰを変調する音響光学素子等を有する変調部５
１とを備えている。 【０００４】そして、位置検出部８０により露光位置ｒ
が逐次検出されると、制御部５３は、図５（ａ）に示す
ように、当該露光位置ｒの変化に対し駆動部５２から変
調部５１に印加される駆動電圧ＶC が線形的に変化する
ように制御する。 【０００５】 【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来例にあっては、変調部５１に装備された音響光学素子
等の結晶の特性により、その透過率が特に有効電圧の高
い領域又は低い領域において線形でないため、図Ｂ
（ｂ）に示すように、光ヘッドの露光位置ｒに対し実際
の露光パワーＰが一部線形に変化せず、これがため、露
光された原盤のパターンが均一性にならないという不都
合があった。 【０００６】 【発明の目的】そこで、本発明は、上記従来例の有する
不都合を改善し、特に、露光位置によらず、原盤パター
ンを均一化することのできる光変調装置を提供すること
を目的とする。 【０００７】 【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、請求項１記載の発明では、音響光学素子等の光変調
素子を備え露光用のレーザ光を駆動電圧に応じて変調し
所定の露光パワーに設定する変調部と、駆動電圧を光変
調素子の最小有効電圧から最大有効電圧まで変化させた
際の当該駆動電圧と露光パワーとの対応関係を予め記憶
させたメモリと、このメモリに記憶された駆動電圧と露
光パワーとの対応関係に基づき光ディスク原盤上の露光
位置の変化に対し露光パワーが線形に変化するように駆
動電圧を設定制御する制御部とを備えた、という構成を
採っている。 【０００８】本発明では、外部から制御部に露光位置の
情報が入力されると、当該制御部は、メモリに記憶され
た駆動電圧と露光パワーとの対応関係に基づき光ディス
ク原盤上の露光位置の変化に対し露光パワーが線形に変
化するような駆動電圧を直接にに設定制御する。 【０００９】請求項２記載の発明では、変調部を通過し
たレーザ光を分光採取するビームサンプラと、このビー
ムサンプラより分光された光を受光し当該受光量に応じ
たモニタ電圧を出力する受光部とを備え、制御部が、上
記駆動電圧と露光パワーとの対応関係を駆動電圧とモニ
タ電圧との対応関係としてメモリに予め記憶させる初期
設定機能を備えた、という構成を採っている。 【００１０】請求項３記載の発明では、制御部に、光デ
ィスク原盤上の希望露光範囲及び当該希望露光範囲の内
外周における希望露光パワーをそれぞれ入力する露光条
件設定部を併設し、制御部が、露光条件設定部より入力
された希望露光範囲及び希望露光パワーに基づきメモリ
に記憶された駆動電圧と露光パワーとの対応関係から露
光位置と駆動電圧との対応関係を導出し、この露光位置
と駆動電圧との対応関係に基づき光ディスク原盤上の露
光位置の変化に対し露光パワーが線形に変化するように
駆動電圧を設定制御する変調制御機能を備えた、という
構成を採っている。 【００１１】これらにより前述した目的を達成しようと
するものである。 【００１２】 【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施形態を図１
乃至図２に基づいて説明する。 【００１３】図１において、発光部６０と露光部７０と
を結ぶ光路上には、当該発光部６０から照射されたレー
ザ光を変調する変調部５１と、変調後のレーザ光を分光
採取するためのビームサンプラ４とがそれぞれ配設され
ている。ビームサンプラ４において分光されるレーザ光
の光路上には、受光部５が配置されている。変調部５１
には、当該変調部５１に駆動電圧ＶC を印加する駆動部
５２が併設されている。また、この駆動部５２には、駆
動電圧ＶC を制御する制御部１が併設されている。更
に、この制御部１には、メモリ３と露光条件設定部２及
び露光位置検出部８０が併設されている。 【００１４】これを更に詳述すると、本実施形態におい
て、変調部５１は、例えば音響光学素子等を備えるもの
であって、外部より入力される駆動電圧ＶC の大きさに
応じてレーザ光を変調し所定の露光パワーＰに設定す
る。 【００１５】露光部７０は、光ディスク原盤上を半径方
向に走査する露光用ヘッドを備えており、ビームサンプ
ラ４を通過したレーザ光を取り込んで光ディスク原盤の
露光を行う。 【００１６】露光位置検出部８０は、露光用ヘッドの光
ディスク原盤上での位置（露光位置）を当該光ディスク
原盤の中心位置からの距離として検出し、露光位置ｒを
表示した信号を出力する。 【００１７】受光部５は、ホトダイオード等の光センサ
を備え、ビームサンプラ４により採取された光の受光量
に応じたモニタ電圧Ｖを出力する。 【００１８】露光条件設定部２は、数値入力キーやパラ
メータ指定キー等を備え、光ディスク原盤上における露
光範囲Ｒと当該露光範囲Ｒの内外周における希望露光パ
ワーＰ1 ，Ｐ2 を入力するためのものである。 【００１９】メモリ３は、ランダムアクセスメモリ（Ｒ
ＡＭ）とリードオンリメモリ（ＲＯＭ）の双方を備えて
いる。 【００２０】制御部１は、マイクロコンピュータを備
え、マイクロプログラムの実行により各種の制御を実現
する。特に、露光位置検出部８０において検出された露
光位置ｒに基づき当該露光位置ｒに対応する露光パワー
Ｐを得られるような制御信号を駆動部５２に入力する。
ここで、制御部１の処理の詳細については後述する。 【００２１】駆動部５２は、制御部１より入力された制
御信号に応じて所定の駆動電圧ＶCを変調部５１に印加
する。 【００２２】次に、本実施形態の全体動作を図２に基づ
いて説明する。 【００２３】〔初期動作〕 【００２４】まず、装置を稼働状態に設定し、発光部６
０からレーザ光を照射させる。制御部１は、駆動部５２
に制御信号を出力し、変調部５１に光変調素子の最小有
効電圧ＶC0を印加する。これにより、変調部５１を通過
するレーザ光は変調され所定の露光パワーに設定され
る。この際、制御部１は、露光パワーに対応した大きさ
で受光部５から出力されるモニタ電圧Ｖ0 を受信し、駆
動電圧ＶC0とモニタ電圧Ｖ0 との関係を対応づけて各値
をメモリ３に格納する。次に、駆動電圧ＶC を先のＶC0
よりも一定量増加させたＶC1に設定し、これにより生じ
た露光パワーに対応し出力されたモニタ電圧Ｖ1 の値を
上述と同様にＶC1と対応づけてメモリ３に格納する。以
下、駆動電圧ＶC が光変調素子の最大有効電圧Ｖm に達
するまで上記動作が繰り返し実行され、メモリ３には図
２（ａ）に示す駆動電圧ＶC とモニタ電圧Ｖとの関係が
格納される。ここで、駆動電圧を増加させてゆく際の
「一定量」は、なるべく少量に設定され、モニタ電圧Ｖ
のサンプル数を多く得ることが、後の制御における精度
向上のためには望ましい。また、メモリ３には、露光パ
ワーＰとモニタ電圧Ｖとの対応関係も予め記憶されてい
る。 【００２５】次に、制御部１は、露光条件設定部２から
光ディスク原盤表面の露光範囲Ｒ及び当該露光範囲Ｒの
内外周における希望露光パワーＰ1 ，Ｐ2 の入力を受け
付ける。ここで、露光範囲Ｒの入力は、図３に示すよう
に、光ディスク原盤の中心からの距離を用い露光範囲Ｒ
の内周の半径ｒ1 と外周の半径ｒ2 とを入力することに
より行われる。また、希望露光パワーは、露光範囲Ｒの
内周位置（半径ｒ1 ）における希望露光パワーＰ1 と外
周位置(半径ｒ2 )における希望露光パワーＰ2とを入力
することにより行われる。 【００２６】続いて、制御部１は、メモリ３に予め記憶
された露光パワーＰとモニタ電圧Ｖとの対応関係を参照
し、露光条件設定部２から入力された希望露光パワーＰ
1 ，Ｐ2 をこれに対応するモニタ電圧Ｖb1，Ｖb2に変換
し、図２（ｂ）に示すように、内周位置ｒ1 ，外周位置
ｒ2 と対応づけてメモリ３に格納する。 【００２７】次に、制御部１は、図２（ｃ）に示すよう
に、先にメモリ３に記憶させた駆動電圧ＶC とモニタ電
圧Ｖとの対応関係（図２（ａ））を参照し、一定区間の
モニタ電圧Ｖb1〜Ｖb2に対応する区間の全ての駆動電圧
ＶCA〜ＶCBを特定する。そして、制御部１は、図２
（ｄ）に示すように、図２（ｃ）におけるモニタ電圧Ｖ
b1〜Ｖb2を全て露光位置ｒ１〜ｒ２に置換し、これによ
り得た露光位置ｒと駆動電圧ＶC との対応関係をメモリ
３に格納する。 【００２８】〔露光中の動作〕 【００２９】露光動作が開始されると、露光部７０では
露光用ヘッドが光ディスク原盤の中心から半径ｒ1 の位
置に位置決めされ、当該露光位置ｒ1 が露光位置検出部
８０により検出される。制御部１は、メモリ３に格納さ
れた露光位置ｒと駆動電圧ＶC との対応関係（図２
（ｄ））を参照し、露光位置検出部８０より入力された
露光位置ｒ１に対応する駆動電圧（ＶCA）を特定する。
そして、制御部１は、駆動部５２に所定の制御信号を送
り変調部５１に駆動電圧ＶCAを印加する。 【００３０】そして、発光部６０から露光用のレーザ光
が照射されると、変調部５１を通過し露光部７０に入力
されるレーザ光の露光パワーは、図２（ｅ）に示すよう
に、希望露光パワーに等しいＰ1 に設定される。露光動
作が進行し露光位置がｒ1 からｒ2 に徐々に変化してゆ
くと、制御部１は、位置検出部８０により検出される露
光位置ｒの変化に応じメモリ３に格納された露光位置ｒ
と駆動電圧ＶC との対応関係（図２（ｄ））を参照しつ
つ駆動電圧ＶC を逐次変更してゆく。そして、露光位置
がｒ2 に到達した時点で露光動作は終了する。 【００３１】これによると、露光位置ｒに対する露光パ
ワーＰの変化は、図２（ｅ）に示すように線形の特性を
示し、露光により得られる原盤パターンの均一性を向上
することができる。また、発光部６０の劣化により元々
のレーザ光の照射量が減少してしまった場合でも、初期
動作において線形の露光パワー変化が得られるような駆
動電圧が自動的に設定されるので、高価なイオンガスレ
ーザ素子の交換時期を遅らせることができ、経済的であ
る。 【００３２】一方、予め設定された基準電圧と変調後の
レーザ光から得られるモニタ電圧とが一致するようにフ
ィードバック制御を行い所望の露光パワーを得る方式も
考えられる。しかし、この方式では露光パワーを追従さ
せるまでに多少なりとも時間を要するため高速性の追求
に一定の限界が伴うという不都合がある。これに対し、
本実施形態における光変調装置では、駆動電圧の印加に
より一義的に所望の露光パワーが設定されフィードバッ
ク制御が不要である点で露光動作の高速性向上にも好適
であるといえる。 【００３３】ここで、駆動電圧と露光パワー（モニタ電
圧）との対応関係が予めメモリ３に記憶されていれば、
ビームサンプラ４，受光部５は構成に含まれていなくと
も良い。 【００３４】 【発明の効果】本発明は、以上のように構成され機能す
るので、これによると、制御部が、メモリに記憶された
駆動電圧と露光パワーとの対応関係に基づき光ディスク
原盤上の露光位置の変化に対し露光パワーが線形に変化
するように駆動電圧を設定制御するので、光ディスク原
盤上の露光位置に対する露光パワーの変化は、線形の特
性を示し、露光により得られる原盤パターンの均一性を
向上することができる。また、発光部の劣化により元々
のレーザ光の照射量が減少してしまった場合でも、初期
動作において線形の露光パワー変化が得られるような駆
動電圧が自動的に設定されるので、高価なイオンガスレ
ーザ素子の交換時期を遅らせることができ、露光システ
ム全体の経済化にも寄与することができる、という従来
にない優れた光変調装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態の構成を示すブロック図で
ある。 【図２】図１に示す実施形態の全体動作を説明するため
の線図であり、図２（ａ）が駆動電圧とモニタ電圧との
対応関係を示し、図２（ｂ）が露光条件設定部より入力
された希望露光範囲と当該希望露光範囲の内外周におけ
る希望露光パワーとの対応関係を示し、図２（ｃ）が希
望露光パワーに対応する駆動電圧の特定を示し、図２
（ｄ）が露光位置と駆動電圧との対応関係を示し、図２
（ｅ）が露光位置と実際の露光パワーとの関係を示す。 【図３】光ディスク原盤の表面と希望露光範囲との関係
を示す説明図である。 【図４】従来例の構成を示すブロック図である。 【図５】図４に示す従来例の動作及び課題を説明するた
めの線図であり、図５（ａ）が露光位置と駆動電圧との
関係を示し、図５（ｂ）が露光位置と実際の露光パワー
との関係を示す。 【符号の説明】 １ 制御部 ２ 露光条件設定部 ３ メモリ ４ ビームサンプラ ５ 受光部 １０ 変調装置 ５１ 変調部 ５２ 駆動部 ６０ 発光部 ７０ 露光部 ８０ 露光位置検出部 ｒ 露光位置 Ｖ モニタ電圧 Ｖc 駆動電圧
ある。 【図２】図１に示す実施形態の全体動作を説明するため
の線図であり、図２（ａ）が駆動電圧とモニタ電圧との
対応関係を示し、図２（ｂ）が露光条件設定部より入力
された希望露光範囲と当該希望露光範囲の内外周におけ
る希望露光パワーとの対応関係を示し、図２（ｃ）が希
望露光パワーに対応する駆動電圧の特定を示し、図２
（ｄ）が露光位置と駆動電圧との対応関係を示し、図２
（ｅ）が露光位置と実際の露光パワーとの関係を示す。 【図３】光ディスク原盤の表面と希望露光範囲との関係
を示す説明図である。 【図４】従来例の構成を示すブロック図である。 【図５】図４に示す従来例の動作及び課題を説明するた
めの線図であり、図５（ａ）が露光位置と駆動電圧との
関係を示し、図５（ｂ）が露光位置と実際の露光パワー
との関係を示す。 【符号の説明】 １ 制御部 ２ 露光条件設定部 ３ メモリ ４ ビームサンプラ ５ 受光部 １０ 変調装置 ５１ 変調部 ５２ 駆動部 ６０ 発光部 ７０ 露光部 ８０ 露光位置検出部 ｒ 露光位置 Ｖ モニタ電圧 Ｖc 駆動電圧
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 【請求項１】 音響光学素子等の光変調素子を備え露光
用のレーザ光を駆動電圧に応じて変調し所定の露光パワ
ーに設定する変調部と、前記駆動電圧を前記光変調素子
の最小有効電圧から最大有効電圧まで変化させた際の当
該駆動電圧と前記露光パワーとの対応関係を予め記憶さ
せたメモリと、このメモリに記憶された駆動電圧と露光
パワーとの対応関係に基づき光ディスク原盤上の露光位
置の変化に対し前記露光パワーが線形に変化するように
前記駆動電圧を設定制御する制御部とを備えていること
を特徴とした光変調装置。 【制御部２】 前記変調部を通過したレーザ光を分光採
取するビームサンプラと、このビームサンプラより分光
された光を受光し当該受光量に応じたモニタ電圧を出力
する受光部とを備え、 前記制御部が、前記駆動電圧と露光パワーとの対応関係
を前記駆動電圧と前記モニタ電圧との対応関係として前
記メモリに予め記憶させる初期設定機能を備えているこ
とを特徴とした請求項１記載の光変調装置。 【請求項３】 前記制御部に、前記光ディスク原盤上の
希望露光範囲及び当該希望露光範囲の内外周における希
望露光パワーをそれぞれ入力する露光条件設定部を併設
し、 前記制御部が、前記露光条件設定部より入力された希望
露光範囲及び希望露光パワーに基づき前記メモリに記憶
された駆動電圧と露光パワーとの対応関係から露光位置
と駆動電圧との対応関係を導出し、この露光位置と駆動
電圧との対応関係に基づき前記光ディスク原盤上の露光
位置の変化に対し前記露光パワーが線形に変化するよう
に前記駆動電圧を設定制御する変調制御機能を備えてい
ることを特徴とした請求項１記載の光変調装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8015136A JP2778571B2 (ja) | 1996-01-31 | 1996-01-31 | 光ディスク原盤の露光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8015136A JP2778571B2 (ja) | 1996-01-31 | 1996-01-31 | 光ディスク原盤の露光装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09212863A true JPH09212863A (ja) | 1997-08-15 |
| JP2778571B2 JP2778571B2 (ja) | 1998-07-23 |
Family
ID=11880412
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8015136A Expired - Lifetime JP2778571B2 (ja) | 1996-01-31 | 1996-01-31 | 光ディスク原盤の露光装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2778571B2 (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06202058A (ja) * | 1992-12-25 | 1994-07-22 | Ricoh Co Ltd | 光量制御装置 |
-
1996
- 1996-01-31 JP JP8015136A patent/JP2778571B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06202058A (ja) * | 1992-12-25 | 1994-07-22 | Ricoh Co Ltd | 光量制御装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2778571B2 (ja) | 1998-07-23 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19980407 |