JP2778571B2 - 光ディスク原盤の露光装置 - Google Patents
光ディスク原盤の露光装置Info
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- JP2778571B2 JP2778571B2 JP8015136A JP1513696A JP2778571B2 JP 2778571 B2 JP2778571 B2 JP 2778571B2 JP 8015136 A JP8015136 A JP 8015136A JP 1513696 A JP1513696 A JP 1513696A JP 2778571 B2 JP2778571 B2 JP 2778571B2
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、光ディスク原盤の
露光装置に関する。
露光装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】図４に従来例を示す。この図４に示す光
ディスク原盤の露光システムは、レーザ光を照射する発
光部６０と、発光されたレーザ光を変調し所定の露光パ
ワーＰに設定する光変調装置５０と、変調されたレーザ
光に基づいて光ディスク原盤を露光する露光部７０と、
この露光部７０が有する光ヘッドのディスク原盤上の半
径方向位置（露光位置）ｒを検出する位置検出部８０と
を備えている。
ディスク原盤の露光システムは、レーザ光を照射する発
光部６０と、発光されたレーザ光を変調し所定の露光パ
ワーＰに設定する光変調装置５０と、変調されたレーザ
光に基づいて光ディスク原盤を露光する露光部７０と、
この露光部７０が有する光ヘッドのディスク原盤上の半
径方向位置（露光位置）ｒを検出する位置検出部８０と
を備えている。
【０００３】このうち、光変調装置５０は、位置検出部
８０により検出された半径方向位置ｒに基づいてレーザ
光に設定すべき露光パワーを算出する制御部５３と、こ
の制御部５３による露光パワーの算出結果に基づく所定
の駆動電圧ＶC を出力する駆動部５２と、この駆動部５
２により印加された駆動電圧ＶC に応じてレーザ光の露
光パワーＰを変調する音響光学素子等を有する変調部５
１とを備えている。
８０により検出された半径方向位置ｒに基づいてレーザ
光に設定すべき露光パワーを算出する制御部５３と、こ
の制御部５３による露光パワーの算出結果に基づく所定
の駆動電圧ＶC を出力する駆動部５２と、この駆動部５
２により印加された駆動電圧ＶC に応じてレーザ光の露
光パワーＰを変調する音響光学素子等を有する変調部５
１とを備えている。
【０００４】そして、位置検出部８０により露光位置ｒ
が逐次検出されると、制御部５３は、図５（ａ）に示す
ように、当該露光位置ｒの変化に対し駆動部５２から変
調部５１に印加される駆動電圧ＶC が線形的に変化する
ように制御する。
が逐次検出されると、制御部５３は、図５（ａ）に示す
ように、当該露光位置ｒの変化に対し駆動部５２から変
調部５１に印加される駆動電圧ＶC が線形的に変化する
ように制御する。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来例にあっては、変調部５１に装備された音響光学素子
等の結晶の特性により、その透過率が特に有効電圧の高
い領域又は低い領域において線形でないため、図５
（ｂ）に示すように、光ヘッドの露光位置ｒに対し実際
の露光パワーＰが一部線形に変化せず、これがため、露
光された原盤のパターンが均一性にならないという不都
合があった。
来例にあっては、変調部５１に装備された音響光学素子
等の結晶の特性により、その透過率が特に有効電圧の高
い領域又は低い領域において線形でないため、図５
（ｂ）に示すように、光ヘッドの露光位置ｒに対し実際
の露光パワーＰが一部線形に変化せず、これがため、露
光された原盤のパターンが均一性にならないという不都
合があった。
【０００６】
【発明の目的】そこで、本発明は、上記従来例の有する
不都合を改善し、特に、露光位置によらず、原盤パター
ンを均一化することのできる光ディスク原盤の露光装置
を提供することを目的とする。
不都合を改善し、特に、露光位置によらず、原盤パター
ンを均一化することのできる光ディスク原盤の露光装置
を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、請求項１記載の発明では、レーザ光を照射する発光
部と、音響光学素子等の光変調素子を備え発光部から照
射されたレーザ光を駆動電圧に応じて変調し所定の露光
パワーに設定する変調部と、この変調部を通過したレー
ザ光を分光採取するビームサンプラと、このビームサン
プラを通過したレーザ光を取り込んで光ディスク原盤の
露光を行う露光部と、光ディスク原盤上での露光位置を
検出する露光位置検出部と、ビームサンプラより分光さ
れた光を受光し当該受光量に応じたモニタ電圧を出力す
る受光部と、変調部に駆動電圧を印加する駆動部と、露
光位置の変化に対し露光パワーが線形変化するような露
光位置ごとの駆動電圧を記憶したメモリと、このメモリ
を参照し露光位置検出部から出力される露光位置に対応
した駆動電圧が駆動部から出力されるように該駆動部を
制御する制御部とを備えている。そして、制御部は、初
期動作として、駆動電圧を変化させ該駆動電圧とモニタ
電圧との対応関係をメモリに格納した後、該モニタ電圧
を露光位置に置換し、これにより得た露光位置と駆動電
圧との対応関係をメモリに格納する、という構成を採っ
ている。
め、請求項１記載の発明では、レーザ光を照射する発光
部と、音響光学素子等の光変調素子を備え発光部から照
射されたレーザ光を駆動電圧に応じて変調し所定の露光
パワーに設定する変調部と、この変調部を通過したレー
ザ光を分光採取するビームサンプラと、このビームサン
プラを通過したレーザ光を取り込んで光ディスク原盤の
露光を行う露光部と、光ディスク原盤上での露光位置を
検出する露光位置検出部と、ビームサンプラより分光さ
れた光を受光し当該受光量に応じたモニタ電圧を出力す
る受光部と、変調部に駆動電圧を印加する駆動部と、露
光位置の変化に対し露光パワーが線形変化するような露
光位置ごとの駆動電圧を記憶したメモリと、このメモリ
を参照し露光位置検出部から出力される露光位置に対応
した駆動電圧が駆動部から出力されるように該駆動部を
制御する制御部とを備えている。そして、制御部は、初
期動作として、駆動電圧を変化させ該駆動電圧とモニタ
電圧との対応関係をメモリに格納した後、該モニタ電圧
を露光位置に置換し、これにより得た露光位置と駆動電
圧との対応関係をメモリに格納する、という構成を採っ
ている。
【０００８】（削除）
【０００９】請求項２記載の発明では、請求項１記載の
光ディスク原盤の露光装置において、制御部に、光ディ
スク原盤上の希望露光範囲及び当該希望露光範囲の内外
周における希望露光パワーをそれぞれ入力する露光条件
設定部を併設し、メモリには 、露光パワーとモニタ電圧
との対応関係を予め格納しておき、制御部は、初期動作
として、メモリを参照し露光条件設定部から入力された
希望露光パワーを対応するモニタ電圧Ｖ b1 ，Ｖ b2 に変換
すると共に露光範囲の内周位置，外周位置に対応づけて
メモリに格納し、メモリを参照し一定区間のモニタ電圧
Ｖ b1 〜Ｖ b2 に対応する区間の全ての駆動電圧Ｖ CA 〜Ｖ CB
を特定し、モニタ電圧Ｖ b1 〜Ｖ b2 を全て露光位置に置換
し、これにより得た露光位置と駆動電圧との対応関係を
メモリに格納する、という構成を採っている。
光ディスク原盤の露光装置において、制御部に、光ディ
スク原盤上の希望露光範囲及び当該希望露光範囲の内外
周における希望露光パワーをそれぞれ入力する露光条件
設定部を併設し、メモリには 、露光パワーとモニタ電圧
との対応関係を予め格納しておき、制御部は、初期動作
として、メモリを参照し露光条件設定部から入力された
希望露光パワーを対応するモニタ電圧Ｖ b1 ，Ｖ b2 に変換
すると共に露光範囲の内周位置，外周位置に対応づけて
メモリに格納し、メモリを参照し一定区間のモニタ電圧
Ｖ b1 〜Ｖ b2 に対応する区間の全ての駆動電圧Ｖ CA 〜Ｖ CB
を特定し、モニタ電圧Ｖ b1 〜Ｖ b2 を全て露光位置に置換
し、これにより得た露光位置と駆動電圧との対応関係を
メモリに格納する、という構成を採っている。
【００１０】（削除）
【００１１】これらにより前述した目的を達成しようと
するものである。
するものである。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施形態を図１
乃至図２に基づいて説明する。
乃至図２に基づいて説明する。
【００１３】図１において、発光部６０と露光部７０と
を結ぶ光路上には、当該発光部６０から照射されたレー
ザ光を変調する変調部５１と、変調後のレーザ光を分光
採取するためのビームサンプラ４とがそれぞれ配設され
ている。ビームサンプラ４において分光されるレーザ光
の光路上には、受光部５が配置されている。変調部５１
には、当該変調部５１に駆動電圧ＶC を印加する駆動部
５２が併設されている。また、この駆動部５２には、駆
動電圧ＶC を制御する制御部１が併設されている。更
に、この制御部１には、メモリ３と露光条件設定部２及
び露光位置検出部８０が併設されている。
を結ぶ光路上には、当該発光部６０から照射されたレー
ザ光を変調する変調部５１と、変調後のレーザ光を分光
採取するためのビームサンプラ４とがそれぞれ配設され
ている。ビームサンプラ４において分光されるレーザ光
の光路上には、受光部５が配置されている。変調部５１
には、当該変調部５１に駆動電圧ＶC を印加する駆動部
５２が併設されている。また、この駆動部５２には、駆
動電圧ＶC を制御する制御部１が併設されている。更
に、この制御部１には、メモリ３と露光条件設定部２及
び露光位置検出部８０が併設されている。
【００１４】これを更に詳述すると、本実施形態におい
て、変調部５１は、例えば音響光学素子等を備えるもの
であって、外部より入力される駆動電圧ＶC の大きさに
応じてレーザ光を変調し所定の露光パワーＰに設定す
る。
て、変調部５１は、例えば音響光学素子等を備えるもの
であって、外部より入力される駆動電圧ＶC の大きさに
応じてレーザ光を変調し所定の露光パワーＰに設定す
る。
【００１５】露光部７０は、光ディスク原盤上を半径方
向に走査する露光用ヘッドを備えており、ビームサンプ
ラ４を通過したレーザ光を取り込んで光ディスク原盤の
露光を行う。
向に走査する露光用ヘッドを備えており、ビームサンプ
ラ４を通過したレーザ光を取り込んで光ディスク原盤の
露光を行う。
【００１６】露光位置検出部８０は、露光用ヘッドの光
ディスク原盤上での位置（露光位置）を当該光ディスク
原盤の中心位置からの距離として検出し、露光位置ｒを
表示した信号を出力する。
ディスク原盤上での位置（露光位置）を当該光ディスク
原盤の中心位置からの距離として検出し、露光位置ｒを
表示した信号を出力する。
【００１７】受光部５は、ホトダイオード等の光センサ
を備え、ビームサンプラ４により採取された光の受光量
に応じたモニタ電圧Ｖを出力する。
を備え、ビームサンプラ４により採取された光の受光量
に応じたモニタ電圧Ｖを出力する。
【００１８】露光条件設定部２は、数値入力キーやパラ
メータ指定キー等を備え、光ディスク原盤上における露
光範囲Ｒと当該露光範囲Ｒの内外周における希望露光パ
ワーＰ1 ，Ｐ2 を入力するためのものである。
メータ指定キー等を備え、光ディスク原盤上における露
光範囲Ｒと当該露光範囲Ｒの内外周における希望露光パ
ワーＰ1 ，Ｐ2 を入力するためのものである。
【００１９】メモリ３は、ランダムアクセスメモリ（Ｒ
ＡＭ）とリードオンリメモリ（ＲＯＭ）の双方を備えて
いる。
ＡＭ）とリードオンリメモリ（ＲＯＭ）の双方を備えて
いる。
【００２０】制御部１は、マイクロコンピュータを備
え、マイクロプログラムの実行により各種の制御を実現
する。特に、露光位置検出部８０において検出された露
光位置ｒに基づき当該露光位置ｒに対応する露光パワー
Ｐを得られるような制御信号を駆動部５２に入力する。
ここで、制御部１の処理の詳細については後述する。
え、マイクロプログラムの実行により各種の制御を実現
する。特に、露光位置検出部８０において検出された露
光位置ｒに基づき当該露光位置ｒに対応する露光パワー
Ｐを得られるような制御信号を駆動部５２に入力する。
ここで、制御部１の処理の詳細については後述する。
【００２１】駆動部５２は、制御部１より入力された制
御信号に応じて所定の駆動電圧ＶCを変調部５１に印加
する。
御信号に応じて所定の駆動電圧ＶCを変調部５１に印加
する。
【００２２】次に、本実施形態の全体動作を図２に基づ
いて説明する。
いて説明する。
【００２３】〔初期動作〕
【００２４】まず、装置を稼働状態に設定し、発光部６
０からレーザ光を照射させる。制御部１は、駆動部５２
に制御信号を出力し、変調部５１に光変調素子の最小有
効電圧ＶC0を印加する。これにより、変調部５１を通過
するレーザ光は変調され所定の露光パワーに設定され
る。この際、制御部１は、露光パワーに対応した大きさ
で受光部５から出力されるモニタ電圧Ｖ0 を受信し、駆
動電圧ＶC0とモニタ電圧Ｖ0 との関係を対応づけて各値
をメモリ３に格納する。次に、駆動電圧ＶC を先のＶC0
よりも一定量増加させたＶC1に設定し、これにより生じ
た露光パワーに対応し出力されたモニタ電圧Ｖ1 の値を
上述と同様にＶC1と対応づけてメモリ３に格納する。以
下、駆動電圧ＶC が光変調素子の最大有効電圧Ｖm に達
するまで上記動作が繰り返し実行され、メモリ３には図
２（ａ）に示す駆動電圧ＶC とモニタ電圧Ｖとの関係が
格納される。ここで、駆動電圧を増加させてゆく際の
「一定量」は、なるべく少量に設定され、モニタ電圧Ｖ
のサンプル数を多く得ることが、後の制御における精度
向上のためには望ましい。また、メモリ３には、露光パ
ワーＰとモニタ電圧Ｖとの対応関係も予め記憶されてい
る。
０からレーザ光を照射させる。制御部１は、駆動部５２
に制御信号を出力し、変調部５１に光変調素子の最小有
効電圧ＶC0を印加する。これにより、変調部５１を通過
するレーザ光は変調され所定の露光パワーに設定され
る。この際、制御部１は、露光パワーに対応した大きさ
で受光部５から出力されるモニタ電圧Ｖ0 を受信し、駆
動電圧ＶC0とモニタ電圧Ｖ0 との関係を対応づけて各値
をメモリ３に格納する。次に、駆動電圧ＶC を先のＶC0
よりも一定量増加させたＶC1に設定し、これにより生じ
た露光パワーに対応し出力されたモニタ電圧Ｖ1 の値を
上述と同様にＶC1と対応づけてメモリ３に格納する。以
下、駆動電圧ＶC が光変調素子の最大有効電圧Ｖm に達
するまで上記動作が繰り返し実行され、メモリ３には図
２（ａ）に示す駆動電圧ＶC とモニタ電圧Ｖとの関係が
格納される。ここで、駆動電圧を増加させてゆく際の
「一定量」は、なるべく少量に設定され、モニタ電圧Ｖ
のサンプル数を多く得ることが、後の制御における精度
向上のためには望ましい。また、メモリ３には、露光パ
ワーＰとモニタ電圧Ｖとの対応関係も予め記憶されてい
る。
【００２５】次に、制御部１は、露光条件設定部２から
光ディスク原盤表面の露光範囲Ｒ及び当該露光範囲Ｒの
内外周における希望露光パワーＰ1 ，Ｐ2 の入力を受け
付ける。ここで、露光範囲Ｒの入力は、図３に示すよう
に、光ディスク原盤の中心からの距離を用い露光範囲Ｒ
の内周の半径ｒ1 と外周の半径ｒ2 とを入力することに
より行われる。また、希望露光パワーは、露光範囲Ｒの
内周位置（半径ｒ1 ）における希望露光パワーＰ1 と外
周位置(半径ｒ2 )における希望露光パワーＰ2とを入力
することにより行われる。
光ディスク原盤表面の露光範囲Ｒ及び当該露光範囲Ｒの
内外周における希望露光パワーＰ1 ，Ｐ2 の入力を受け
付ける。ここで、露光範囲Ｒの入力は、図３に示すよう
に、光ディスク原盤の中心からの距離を用い露光範囲Ｒ
の内周の半径ｒ1 と外周の半径ｒ2 とを入力することに
より行われる。また、希望露光パワーは、露光範囲Ｒの
内周位置（半径ｒ1 ）における希望露光パワーＰ1 と外
周位置(半径ｒ2 )における希望露光パワーＰ2とを入力
することにより行われる。
【００２６】続いて、制御部１は、メモリ３に予め記憶
された露光パワーＰとモニタ電圧Ｖとの対応関係を参照
し、露光条件設定部２から入力された希望露光パワーＰ
1 ，Ｐ2 をこれに対応するモニタ電圧Ｖb1，Ｖb2に変換
し、図２（ｂ）に示すように、内周位置ｒ1 ，外周位置
ｒ2 と対応づけてメモリ３に格納する。
された露光パワーＰとモニタ電圧Ｖとの対応関係を参照
し、露光条件設定部２から入力された希望露光パワーＰ
1 ，Ｐ2 をこれに対応するモニタ電圧Ｖb1，Ｖb2に変換
し、図２（ｂ）に示すように、内周位置ｒ1 ，外周位置
ｒ2 と対応づけてメモリ３に格納する。
【００２７】次に、制御部１は、図２（ｃ）に示すよう
に、先にメモリ３に記憶させた駆動電圧ＶC とモニタ電
圧Ｖとの対応関係（図２（ａ））を参照し、一定区間の
モニタ電圧Ｖb1〜Ｖb2に対応する区間の全ての駆動電圧
ＶCA〜ＶCBを特定する。そして、制御部１は、図２
（ｄ）に示すように、図２（ｃ）におけるモニタ電圧Ｖ
b1〜Ｖb2を全て露光位置ｒ１〜ｒ２に置換し、これによ
り得た露光位置ｒと駆動電圧ＶC との対応関係をメモリ
３に格納する。
に、先にメモリ３に記憶させた駆動電圧ＶC とモニタ電
圧Ｖとの対応関係（図２（ａ））を参照し、一定区間の
モニタ電圧Ｖb1〜Ｖb2に対応する区間の全ての駆動電圧
ＶCA〜ＶCBを特定する。そして、制御部１は、図２
（ｄ）に示すように、図２（ｃ）におけるモニタ電圧Ｖ
b1〜Ｖb2を全て露光位置ｒ１〜ｒ２に置換し、これによ
り得た露光位置ｒと駆動電圧ＶC との対応関係をメモリ
３に格納する。
【００２８】〔露光中の動作〕
【００２９】露光動作が開始されると、露光部７０では
露光用ヘッドが光ディスク原盤の中心から半径ｒ1 の位
置に位置決めされ、当該露光位置ｒ1 が露光位置検出部
８０により検出される。制御部１は、メモリ３に格納さ
れた露光位置ｒと駆動電圧ＶC との対応関係（図２
（ｄ））を参照し、露光位置検出部８０より入力された
露光位置ｒ１に対応する駆動電圧（ＶCA）を特定する。
そして、制御部１は、駆動部５２に所定の制御信号を送
り変調部５１に駆動電圧ＶCAを印加する。
露光用ヘッドが光ディスク原盤の中心から半径ｒ1 の位
置に位置決めされ、当該露光位置ｒ1 が露光位置検出部
８０により検出される。制御部１は、メモリ３に格納さ
れた露光位置ｒと駆動電圧ＶC との対応関係（図２
（ｄ））を参照し、露光位置検出部８０より入力された
露光位置ｒ１に対応する駆動電圧（ＶCA）を特定する。
そして、制御部１は、駆動部５２に所定の制御信号を送
り変調部５１に駆動電圧ＶCAを印加する。
【００３０】そして、発光部６０から露光用のレーザ光
が照射されると、変調部５１を通過し露光部７０に入力
されるレーザ光の露光パワーは、図２（ｅ）に示すよう
に、希望露光パワーに等しいＰ1 に設定される。露光動
作が進行し露光位置がｒ1 からｒ2 に徐々に変化してゆ
くと、制御部１は、位置検出部８０により検出される露
光位置ｒの変化に応じメモリ３に格納された露光位置ｒ
と駆動電圧ＶC との対応関係（図２（ｄ））を参照しつ
つ駆動電圧ＶC を逐次変更してゆく。そして、露光位置
がｒ2 に到達した時点で露光動作は終了する。
が照射されると、変調部５１を通過し露光部７０に入力
されるレーザ光の露光パワーは、図２（ｅ）に示すよう
に、希望露光パワーに等しいＰ1 に設定される。露光動
作が進行し露光位置がｒ1 からｒ2 に徐々に変化してゆ
くと、制御部１は、位置検出部８０により検出される露
光位置ｒの変化に応じメモリ３に格納された露光位置ｒ
と駆動電圧ＶC との対応関係（図２（ｄ））を参照しつ
つ駆動電圧ＶC を逐次変更してゆく。そして、露光位置
がｒ2 に到達した時点で露光動作は終了する。
【００３１】これによると、露光位置ｒに対する露光パ
ワーＰの変化は、図２（ｅ）に示すように線形の特性を
示し、露光により得られる原盤パターンの均一性を向上
することができる。また、発光部６０の劣化により元々
のレーザ光の照射量が減少してしまった場合でも、初期
動作において線形の露光パワー変化が得られるような駆
動電圧が自動的に設定されるので、高価なイオンガスレ
ーザ素子の交換時期を遅らせることができ、経済的であ
る。
ワーＰの変化は、図２（ｅ）に示すように線形の特性を
示し、露光により得られる原盤パターンの均一性を向上
することができる。また、発光部６０の劣化により元々
のレーザ光の照射量が減少してしまった場合でも、初期
動作において線形の露光パワー変化が得られるような駆
動電圧が自動的に設定されるので、高価なイオンガスレ
ーザ素子の交換時期を遅らせることができ、経済的であ
る。
【００３２】一方、予め設定された基準電圧と変調後の
レーザ光から得られるモニタ電圧とが一致するようにフ
ィードバック制御を行い所望の露光パワーを得る方式も
考えられる。しかし、この方式では露光パワーを追従さ
せるまでに多少なりとも時間を要するため高速性の追求
に一定の限界が伴うという不都合がある。これに対し、
本実施形態における光変調装置では、駆動電圧の印加に
より一義的に所望の露光パワーが設定されフィードバッ
ク制御が不要である点で露光動作の高速性向上にも好適
であるといえる。
レーザ光から得られるモニタ電圧とが一致するようにフ
ィードバック制御を行い所望の露光パワーを得る方式も
考えられる。しかし、この方式では露光パワーを追従さ
せるまでに多少なりとも時間を要するため高速性の追求
に一定の限界が伴うという不都合がある。これに対し、
本実施形態における光変調装置では、駆動電圧の印加に
より一義的に所望の露光パワーが設定されフィードバッ
ク制御が不要である点で露光動作の高速性向上にも好適
であるといえる。
【００３３】ここで、駆動電圧と露光パワー（モニタ電
圧）との対応関係が予めメモリ３に記憶されていれば、
ビームサンプラ４，受光部５は構成に含まれていなくと
も良い。
圧）との対応関係が予めメモリ３に記憶されていれば、
ビームサンプラ４，受光部５は構成に含まれていなくと
も良い。
【００３４】
【発明の効果】本発明は、以上のように構成され機能す
るので、これによると、制御部が、メモリに記憶された
駆動電圧と露光パワーとの対応関係に基づき光ディスク
原盤上の露光位置の変化に対し露光パワーが線形に変化
するように駆動電圧を設定制御するので、光ディスク原
盤上の露光位置に対する露光パワーの変化は、線形の特
性を示し、露光により得られる原盤パターンの均一性を
向上することができる。また、発光部の劣化により元々
のレーザ光の照射量が減少してしまった場合でも、初期
動作において線形の露光パワー変化が得られるような駆
動電圧が自動的に設定されるので、高価なイオンガスレ
ーザ素子の交換時期を遅らせることができ、露光システ
ム全体の経済化にも寄与することができる、という従来
にない優れた光ディスク原盤の露光装置を提供すること
ができる。
るので、これによると、制御部が、メモリに記憶された
駆動電圧と露光パワーとの対応関係に基づき光ディスク
原盤上の露光位置の変化に対し露光パワーが線形に変化
するように駆動電圧を設定制御するので、光ディスク原
盤上の露光位置に対する露光パワーの変化は、線形の特
性を示し、露光により得られる原盤パターンの均一性を
向上することができる。また、発光部の劣化により元々
のレーザ光の照射量が減少してしまった場合でも、初期
動作において線形の露光パワー変化が得られるような駆
動電圧が自動的に設定されるので、高価なイオンガスレ
ーザ素子の交換時期を遅らせることができ、露光システ
ム全体の経済化にも寄与することができる、という従来
にない優れた光ディスク原盤の露光装置を提供すること
ができる。
【図１】本発明の一実施形態の構成を示すブロック図で
ある。
ある。
【図２】図１に示す実施形態の全体動作を説明するため
の線図であり、図２（ａ）が駆動電圧とモニタ電圧との
対応関係を示し、図２（ｂ）が露光条件設定部より入力
された希望露光範囲と当該希望露光範囲の内外周におけ
る希望露光パワーとの対応関係を示し、図２（ｃ）が希
望露光パワーに対応する駆動電圧の特定を示し、図２
（ｄ）が露光位置と駆動電圧との対応関係を示し、図２
（ｅ）が露光位置と実際の露光パワーとの関係を示す。
の線図であり、図２（ａ）が駆動電圧とモニタ電圧との
対応関係を示し、図２（ｂ）が露光条件設定部より入力
された希望露光範囲と当該希望露光範囲の内外周におけ
る希望露光パワーとの対応関係を示し、図２（ｃ）が希
望露光パワーに対応する駆動電圧の特定を示し、図２
（ｄ）が露光位置と駆動電圧との対応関係を示し、図２
（ｅ）が露光位置と実際の露光パワーとの関係を示す。
【図３】光ディスク原盤の表面と希望露光範囲との関係
を示す説明図である。
を示す説明図である。
【図４】従来例の構成を示すブロック図である。
【図５】図４に示す従来例の動作及び課題を説明するた
めの線図であり、図５（ａ）が露光位置と駆動電圧との
関係を示し、図５（ｂ）が露光位置と実際の露光パワー
との関係を示す。
めの線図であり、図５（ａ）が露光位置と駆動電圧との
関係を示し、図５（ｂ）が露光位置と実際の露光パワー
との関係を示す。
１ 制御部 ２ 露光条件設定部 ３ メモリ ４ ビームサンプラ ５ 受光部 １０ 変調装置 ５１ 変調部 ５２ 駆動部 ６０ 発光部 ７０ 露光部 ８０ 露光位置検出部 ｒ 露光位置 Ｖ モニタ電圧 Ｖc 駆動電圧
Claims (2)
- 【請求項１】 レーザ光を照射する発光部と、音響光学
素子等の光変調素子を備え前記発光部から照射されたレ
ーザ光を駆動電圧に応じて変調し所定の露光パワーに設
定する変調部と、この変調部を通過したレーザ光を分光
採取するビームサンプラと、このビームサンプラを通過
したレーザ光を取り込んで光ディスク原盤の露光を行う
露光部と、光ディスク原盤上での露光位置を検出する露
光位置検出部と、前記ビームサンプラより分光された光
を受光し当該受光量に応じたモニタ電圧を出力する受光
部と、前記変調部に駆動電圧を印加する駆動部と、露光
位置の変化に対し露光パワーが線形変化するような露光
位置ごとの駆動電圧を記憶したメモリと、このメモリを
参照し前記露光位置検出部から出力される露光位置に対
応した駆動電圧が前記駆動部から出力されるように該駆
動部を制御する制御部とを備え、前記制御部は、 初期動作として、前記駆動電圧を変化させ該駆動電圧と
モニタ電圧との対応関係をメモリに格納した後、該モニ
タ電圧を露光位置に置換し、これにより得た露光位置と
駆動電圧との対応関係をメモリに格納する ことを特徴と
した光ディスク原盤の露光装置。 - 【請求項２】 請求項１記載の光ディスク原盤の露光装
置において、 前記制御部に、前記光ディスク原盤上の希望露光範囲及
び当該希望露光範囲の内外周における希望露光パワーを
それぞれ入力する露光条件設定部を併設し、 前記メモリには、露光パワーとモニタ電圧との対応関係
を予め格納しておき、前記制御部は、初期動作として、 前記メモリを参照し露光条件設定部から入力された希望
露光パワーを対応するモニタ電圧Ｖ b1 ，Ｖ b2 に変換する
と共に前記露光範囲の内周位置，外周位置に対応づけて
メモリに格納し、 前記メモリを参照し一定区間のモニタ電圧Ｖ b1 〜Ｖ b2 に
対応する区間の全ての駆動電圧Ｖ CA 〜Ｖ CB を特定し、 モニタ電圧Ｖ b1 〜Ｖ b2 を全て露光位置に置換し、 これにより得た露光位置と駆動電圧との対応関係をメモ
リに格納することを特徴とした光ディスク原盤の露光装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8015136A JP2778571B2 (ja) | 1996-01-31 | 1996-01-31 | 光ディスク原盤の露光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8015136A JP2778571B2 (ja) | 1996-01-31 | 1996-01-31 | 光ディスク原盤の露光装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09212863A JPH09212863A (ja) | 1997-08-15 |
| JP2778571B2 true JP2778571B2 (ja) | 1998-07-23 |
Family
ID=11880412
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8015136A Expired - Lifetime JP2778571B2 (ja) | 1996-01-31 | 1996-01-31 | 光ディスク原盤の露光装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2778571B2 (ja) |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06202058A (ja) * | 1992-12-25 | 1994-07-22 | Ricoh Co Ltd | 光量制御装置 |
-
1996
- 1996-01-31 JP JP8015136A patent/JP2778571B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH09212863A (ja) | 1997-08-15 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19980407 |