JP3570396B2 - レーザ出射パワー制御方法及びレーザ装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明はレーザ装置に関し、特にレーザ光の出射パワーを制御するための方法とレーザ装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
レーザ光源から出射されるレーザ光の出射パワーを制御する技術としてレーザ変調器を利用する技術がある。図4はその一例の構成図でり、レーザ光源1はレーザ電源2を電源として駆動され、レーザ出射口3からレーザ光11を出射する。当該レーザ光11の光路上にはレーザ変調器としてEOM( Electro Optical Modulator ) 4が配置され、前記レーザ光源1から出射されるレーザ光11の出射パワーをこのEOM4によって制御する。すなわち、EOM4は筒状構造を有し、中空部にはポッケルスセル5、出口部分にはビームスプリッタ6およびフォトディテクタ7が設けられる。ポッケルスセル5は加えられるバイアス電圧Vbによってレーザ光11の透過率を変化させ、この透過率により透過して出力されるレーザ光の実質的な出射パワーを制御する。このポッケルスセル5を透過したレーザ光11はビームスプリッタ6において一定比率で出射側レーザ光11aと分岐側レーザ光11bに分岐され、出射側レーザ光11aがレーザ出力光となる。また、分岐側レーザ光11bはフォトディテクタ7へ導かれ、ここでレーザ光の出射パワーが検出されレーザ出力(電圧値)VoutとしてALC(Auto Laser Power Control)8に入力される。ALC8は、入力されたレーザ出力Voutの電圧と、予め設定した設定パワーに相当する設定電圧Vsとを比較し、両者の差分に対応する電圧を前記ポッケルスセル5のバイアス電圧Vbとして入力する。
【0003】
このレーザ装置では、レーザ光源1からのレーザ光11の出射パワーが設定パワーよりも大きいときには、ALC8に入力されるレーザ出力Voutは設定電圧Vsよりも大きくなるため、EOM4のポッケルスセル5の透過率が小さくなるようにバイアス電圧Vbを制御する。これにより、ポッケルスセル5を透過するレーザ光が抑制され、レーザ光11の実質的な出射パワーが低減される。逆に、レーザ光源1からのレーザ光11の出射パワーが設定パワーよりも小さいときには、ALC8に入力されるレーザ出力Voutは設定電圧Vsよりも小さくなるため、EOM4のポッケルスセル5の透過率が大きくなるようにバイアス電圧Vbを制御する。これにより、ポッケルスセル5を透過するレーザ光が増大され、レーザ光の実質的な出射パワーが増大される。このようなフィードバック制御を行うことにより、出射パワーを設定パワーに制御することが可能になる。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、この種のEOMでは、ポッケルスセルに供給するバイアス電圧の値によっては、レーザ変調素子が共振したり、異常放電したりしてノイズが発生することがある。例えば、図5(a)は、EOM4から出射されるレーザ光の経時的な電圧レベルを示す図であり、ノイズが重畳していない場合である。一方、図5(b)はEOM4にある値のバイアス電圧を印加したときにレーザ光の電圧レベルに周期的なノイズが重畳された場合を示している。このようなノイズが発生すると、レーザ光の出射パワーがノイズによって不均一になり、レーザ装置を光ディスク用のレーザビームレコーダ(LBR)に使用した場合に、記録される露光パターンが不揃いとなって、再生時に読みとりエラーとなる問題が生じる。あるいは、レーザ装置をレーザ加工機に使用した場合には、レーザ光によって加工されるワークの加工パターンが不揃いとなり、加工精度が低下するという問題が生じる。
【0005】
このようなノイズを防止するためには、EOMにおいてノイズが発生する際のバイアス電圧を測定しておき、EOMに対して当該バイアス電圧を印加しないようにすることが考えられる。しかしながら、前述のようなALCを用いてEOMでの透過率を制御する方式のレーザ装置では、レーザ光源における特性のバラツキ、あるいは特性の劣化、さらにはEOM自身の経時的な特性劣化により、目的とするレーザ光の出射パワーを得るためのバイアス電圧が変化することがあり、ALCの動作中にノイズが発生するバイアス電圧がEOMに対して供給されてしまい、ノイズが発生してしまうという問題が生じる。
【0006】
本発明の目的は、ALCによりレーザ光の出射パワーのフィードバック制御を行うレーザ装置において、ノイズの発生を未然に防止することを可能にしたレーザ出射パワー制御方法及びレーザ装置を提供するものである。
【0007】
【課題を解決するための手段】
本発明のレーザ出射パワー制御方法は、バイアス制御により透過率が変化制御されるレーザ変調器によりレーザ光源から出射されるレーザ光の出射パワーをフィードバック制御するレーザ出射パワー制御方法において、前記レーザ変調器から出力されるレーザ光にノイズが発生したときに、前記レーザ変調器に入力されるレーザ光の出力レベルを変化制御して前記ノイズの発生を抑制することを特徴とする。
【0008】
また、本発明のレーザ装置は、レーザ光源と、前記レーザ光源から出射されるレーザ光の透過率を変化制御可能なレーザ変調器と、前記レーザ変調器から出力されるレーザ光の出力レベルを検出して前記レーザ変調器の透過率を変化制御するためのバイアス電圧を出力する制御回路とを備え、前記制御回路は前記レーザ変調器の出力が予め設定した出力となるように前記バイアス電圧を制御するように構成したレーザ装置において、前記レーザ変調器から出力されるレーザ光中のノイズを検出し、ノイズを検出したときにパワー微調信号を出力するノイズ検出回路と、前記パワー微調信号が入力されたときに前記レーザ光源から出力されて前記レーザ変調器に入射されるレーザ光の出力レベルを変化するレーザ光レベル変化手段とを備えることを特徴とする。
【0009】
ここで、前記レーザ光レベル変化手段は、前記パワー微調信号が入力されたときに前記レーザ光源に供給する駆動用の電流を変化させるレーザ電源により構成する。あるいは、前記レーザ光レベル変化手段は、前記レーザ光源の出射口と前記レーザ変調器の入射端との間に介挿された光学フィルタで構成され、前記光学フィルタは前記パワー微調信号が入力されたときに透過されるレーザ光の透過率を変化するように構成する。
【0010】
本発明では、レーザ変調器で検出したレーザ出力中にノイズが発生した場合にパワー微調信号を出力し、レーザ光源又は光学フィルタを制御してレーザ変調器に入力されるレーザ光のレベルを変化することで、レーザ変調器に供給するバイアス電圧が自動的に変化され、レーザ変調器において特定のバイアス電圧によって発生するノイズが抑制され、設定レーザパワーを維持したままレーザ出力におけるノイズ発生を回避する。
【0011】
【発明の実施の形態】
次に、本発明の実施形態を図面を参照して説明する。図1は本発明の第1の実施形態のブロック回路図であり、レーザ光源1はレーザ電源2を電源として駆動され、レーザ出射口3からレーザ光11を出射する。前記レーザ電源2は後述するようにパワー微調信号Spに基づいて出力電流が変化制御することが可能に構成されている。前記レーザ光11の光路上にはレーザ変調器としてEOM4が配置され、前記レーザ光源1から出射されるレーザ光11の出射パワーをこのEOM4によって制御する。前記EOM4は筒状構造を有し、中空部にはポッケルスセル5、出口部分にはビームスプリッタ6およびフォトディテクタ7が設けられる。ポッケルスセル5は加えられるバイアス電圧Vbによってレーザ光11の透過率を変化させ、この透過率により透過して出力されるレーザ光11の実質的な出射パワーを制御する。このポッケルスセル5を透過したレーザ光11はビームスプリッタ6において一定比率で出射側レーザ光11aと分岐側レーザ光11bに分岐され、出射側レーザ光11aがレーザ出力光となる。また、分岐側レーザ光11bはフォトディテクタ7へ導かれ、ここでレーザ光の出射パワーが検出されレーザ出力(電圧値)VoutとしてALC8に入力される。
【0012】
ALC8は、入力されたレーザ出力Voutと、予め設定した設定パワーに相当する設定電圧Vsとを比較し、両者の差分に対して予め設定された相関のある電圧をバイアス電圧Vbとして前記ポッケルスセル5に入力する。さらに、前記フォトディテクタ7から出力されるレーザ出力はノイズ検出回路9に入力され、レーザ出力Voutのレベル変動から図5(b)に示したようなノイズの有無が検出される。このノイズ検出には、例えばレーザ出力Voutのピーク値、あるいは当該レーザ出力Voutを微分した微分出力のピーク値を予め設定した基準値と比較することにより検出することが可能である。また、ノイズ検出回路9はノイズを検出したときにパワー微調信号Spを前記レーザ電源2に対して出力するように構成されている。
【0013】
以上の構成のレーザ装置では、図2にフローチャートを示すように、フォトディテクタ7においてレーザ光源1からのレーザ光11(分岐側レーザ光11b)のレーザ出力Voutを検出し(S101)、さらにノイズ検出回路9において当該レーザ出力にノイズが含まれているか否かを検出する(S103)。ノイズが含まれていない場合には、レーザ出力Voutと設定パワーの設定電圧Vsを比較し(S105)、レーザ出力Voutが設定電圧Vsと異なる場合にバイアス電圧Vbの制御を実行する(S107,S109)。すなわち、レーザ出力Voutが設定電圧Vbよりも大きいときには、EOM4のポッケルスセル5の透過率が小さくなるようにバイアス電圧Vbを制御する。これにより、ポッケルスセル5を透過するレーザ光11が低減され、レーザ光11の実質的な出射パワーが低減される。逆に、レーザ出力Voutが設定電圧Vsよりも小さいときには、ALC8はEOM4のポッケルスセル5の透過率が大きくなるようにバイアス電圧Vbを制御する。これにより、ポッケルスセル5を透過するレーザ光11が増大され、レーザ光の実質的な出射パワーが増大される。したがって、このようなフィードバック制御を行うことにより、出射パワーを設定パワーに制御することが可能になる。
【0014】
このようにしてレーザ光の出射パワーを制御している際に、レーザ光源1における特性の劣化、さらにはEOM4自身の経時的な特性劣化により、目的とするレーザ光の出射パワーを得るために必要とされるバイアス電圧が変化し、これに追従してALC8から出力されてEOM4に供給されるバイアス電圧Vbが変化され、EOM4においてレーザ出力中にノイズが発生する状況が生じることがある。このようにノイズが発生すると、ステップS103においてノイズ検出回路9は当該ノイズを検出し、パワー微調信号Spを発生してレーザ電源2に出力する(S111)。レーザ電源2はパワー微調信号Spを受けると、レーザ光源1への電流値を数パーセント微増または微減して、レーザ光源1から出射されるレーザ光11の出射パワーを変化させる(S113)。そして、レーザ光源1からのレーザ光11の出射パワーが変化することで、前述のフィードバック制御においてALC8は、変化されたレーザ光のレーザ出力に対して出射パワーが設定パワーとなるようにバイアス電圧Vbを変化させてEOM4の透過率を変化させ、EOM4から出力されるレーザ光11の出射パワーを設定パワーに制御する。したがって、以降はEOM4のバイアス電圧は異なる電圧に制御された状態となり、EOM4で生じていた共振や異常放電などによるノイズの発生ポイントがずれ、ノイズを回避することが可能となる。
【0015】
このように第1の実施形態では、簡単な構成によりレーザ光の出射パワーを設定パワーに制御する一方で、出射されるレーザ光中のノイズの発生を防止することが可能になる。すなわち、第1の実施形態では、レーザ装置を構成するレーザ光源1、EOM4の構成は従来と同様であり、レーザ電源2としてパワー微調信号Spにより出力電流が変化される電源を用い、また新たな構成要素としてノイズを検出したときにパワー微調信号Spを出力するノイズ検出回路9を追加するだけで本発明によるレーザ装置が構成でき、しかもノイズの発生を自動的に抑制、ないし防止したレーザ装置の出力パワーの制御が実現できる。
【0016】
図3は本発明の第2の実施形態のブロック構成図であり、第1の実施形態と同一部分には同一符号を付してある。この第2の実施形態では、レーザ光源1とEOM4の間に可変NDフィルタ10が設置されている。この実施形態では、前記可変NDフィルタ10は円周方向に透過率が相違されたフィルタ部10aをモータ10bによって回転角度位置を制御可能に構成したものであり、モータ10bに入力される電気信号によってフィルタ部10aを回転し、異なる透過率領域をレーザ光源1のレーザ出射口3に対向配置することで、出射されるレーザ光11の実質的な透過率を変化させる構成とされている。そして、前記モータ10bには、第1の実施形態と同様に設けられたノイズ検出回路9からのパワー微調信号Spが入力されるように構成されている。
【0017】
この第2の実施形態においては、レーザ光の出射パワーを制御する動作は第1の実施形態と全く同じである。したがって、図2のフローチャートのうち、ステップS113を「可変NDフィルタ制御」と読み替えればよい。すなわち、EOM4に供給するバイアス電圧Vbの変化に伴ってEOM4からノイズが発生する状況となり、ノイズ検出回路9でレーザ光のノイズが検出されるとパワー微調信号SpをNDフィルタ10のモータ10bに供給する。モータ10bはパワー微調信号Spを受けるとフィルタ部10aを回転させてその回転位置を変化することで、レーザ光源1のレーザ出射口3から出射されるレーザ光11の透過率を変化させ、透過するレーザ光11の透過量を数パーセント微増または微減させる。このようにレーザ光の透過量の変化に伴ってEOM4へ入射されるレーザ光の光量が変化することにより、第1の実施形態と同様にALC8は変化されたレーザ光のレーザ出力に対して出射パワーが設定パワーとなるようにバイアス電圧Vbを変化させてEOM4の透過率を変化させ、さらにEOM4から出力されるレーザ光の出射パワーを設定パワーに制御する。したがって、以降はEOM4のバイアス電圧Vbはそれまでと異なる電圧に制御された状態となり、EOM4で生じていた共振や異常放電などによるノイズの発生ポイントがずれ、ノイズを回避することが可能となる。
【0018】
この第2の実施形態では、レーザ装置のレーザ光源、EOMの構成は従来と同様であり、レーザ光源の出力側に可変NDフィルタを配置するとともに、ノイズを検出したときにパワー微調信号を出力するノイズ検出回路を配置するだけで本発明によるレーザ装置が構成でき、しかもノイズの発生を自動的に抑制、ないし防止したレーザ装置の出力パワーの制御が実現できる。さらに、第2の実施形態では、EOMに入力するレーザ光の出力を変化させる際に、第1の実施形態のようにレーザ光源の制御電流を変更する必要がないため、レーザ光源の安定発振を損なうことがなく、安定した出射パワー制御が可能になる。
【0019】
ここで、前記各実施形態ではレーザ変調器としてはEOMを用いた例を示しているが、バイアス電圧の変動によってレーザ光の透過率を変化させるとともに、あるバイアス電圧によってノイズが発生することがあるレーザ変調器であれば同様に適用することができる。例えば、AOM(Acoustic Optical Modurator)を用いてもよい。
【0020】
また、ノイズ発生時にレーザ変調器に入力されるレーザ光の出力を変化させるための手段として第1の実施形態ではレーザ光源の出力電流を制御する構成としているが、レーザ光源に内蔵の回路の一部の定数をバワー微調信号によって変化して実質的なレーザ光の出力を変化させるようにしてもよい。また、第2の実施形態で用いるNDフィルタは、例示した回転構造のものに限られるものではなく、直線移動型のフィルタ、あるいは楔型フィルタ等、種々の構成のものを用いることが可能である。
【0021】
【発明の効果】
以上説明したように本発明は、バイアス制御により透過率を変化制御可能なレーザ変調器によりレーザ光源から出射されるレーザ光をフィードバック制御するようにしたレーザ装置において、レーザ出力中にノイズが発生した場合にパワー微調信号を出力し、当該パワー微調信号に基づいてレーザ光源又は光学フィルタを制御してレーザ変調器に入力されるレーザ光のレベルを変化することで、レーザ変調器に供給するバイアスが自動的に変化され、レーザ変調器において特定のバイアス電圧によって発生するノイズが抑制され、設定レーザパワーを維持したままレーザ出力におけるノイズ発生を回避することができるという効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のレーザ装置の第1の実施形態のブロック構成図である。
【図2】本発明のレーザ装置の動作を説明するためのフローチャートである。
【図3】本発明のレーザ装置の第2の実施形態のブロック構成図である。
【図4】従来のレーザ装置の一例のブロック構成図である。
【図5】レーザ出力中に含まれるノイズを説明するための信号波形図である。
【符号の説明】
1 レーザ光源
2 レーザ電源
3 レーザ出射口
4 EOM
5 ポッケルスセル
6 ビームスプリッタ
7 フォトディテクタ
8 ALC
9 ノイズ検出回路
10 可変NDフィルタ
11 レーザ光
Claims (5)
- バイアス制御により透過率が変化制御されるレーザ変調器によりレーザ光源から出射されるレーザ光の出射パワーをフィードバック制御するレーザ出射パワー制御方法において、前記レーザ変調器から出力されるレーザ光にノイズが発生したときに、前記レーザ変調器に入力されるレーザ光の出力レベルを変化制御して前記ノイズの発生を抑制することを特徴とするレーザ出射パワー制御方法。
- レーザ光源と、前記レーザ光源から出射されるレーザ光の透過率を変化制御可能なレーザ変調器と、前記レーザ変調器から出力されるレーザ光の出力レベルを検出して前記レーザ変調器の透過率を変化制御するためのバイアス電圧を出力する制御回路とを備え、前記制御回路は前記レーザ変調器の出力が予め設定した出力となるように前記バイアス電圧を制御するように構成したレーザ装置において、前記レーザ変調器から出力されるレーザ光中のノイズを検出し、ノイズを検出したときにパワー微調信号を出力するノイズ検出回路と、前記パワー微調信号が入力されたときに前記レーザ光源から出力されて前記レーザ変調器に入射されるレーザ光の出力レベルを変化するレーザ光レベル変化手段とを備えることを特徴とするレーザ装置。
- 前記レーザ変調器は、前記バイアス電圧がある電圧に達したときに透過されるレーザ光中にノイズを発生させる特性を有する変調器であることを特徴とする請求項2に記載のレーザ装置。
- 前記レーザ光レベル変化手段は、前記パワー微調信号が入力されたときに前記レーザ光源に供給する駆動用の電流を変化させるレーザ電源により構成したことを特徴とする請求項3に記載のレーザ装置。
- 前記レーザ光レベル変化手段は、前記レーザ光源の出射口と前記レーザ変調器の入射端との間に介挿された光学フィルタで構成され、前記光学フィルタは前記パワー微調信号が入力されたときに透過されるレーザ光の透過率を変化するように構成されていることを特徴とする請求項3に記載のレーザ装置。
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